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Algunos ejemplos

• El seleniuro de zinc

• El telururo de zinc

• Materiales semimagnéticos: Hg1-xMnxTe

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

1
Crecimiento cristalino
de materiales II-VI

1800
1700
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
ZnSe
1600
L 1 1526
1500 1500

1400 L 1 + L 2 L 2
1300
1200
1100
1360 3 8 .1
Método
1000
900
800
Recristalización
en Fase Sólida
700
600
500
4 1 9 .5
400
300
221
200
Zn
100 Se
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100

1-LO
deep

2-LO
Zn A t o mic P e r c e n t Se I
1

3-LO
d

deep

4-LO
1
I
PL Intensity (a.u.)

dee p
I

deep
I

1
2

1
I
FX 2.757 ------------------
2.762 ---
FX n= 2

2Ar
5Se
I 10Se
1

2.8 2.76 2.72 2.68


Energy (eV)

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

2
El Telururo de Zinc, (ZnTe)

Aspectos de interés
– Interés académico
– Potencial substrato para la epitaxia
– Fabricación de diodos emisores en el verde

Problemática
– Derivada de la dificultad de obtención de monocristales
– Derivada de la dificultad de dopado tipo n

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

3
El Telururo de Zinc, (ZnTe)

Algunas propiedades

Estructura Blenda de zinc


Parámetro de malla 6.089 Å
Temperatura de fusión 1295 ºC
Densidad 5.636 g/cm3
Dureza 54.54 Kg/mm2
Ionicidad 0.61
Coef. Expansión térmica 8.3 10-6 K-1
Conductividad térmica 0.14 W/cmK
Banda prohibida 2.28 eV a 300K

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

4
El Telururo de Zinc, (ZnTe)

Objetivos

Crecer monocristales de buena calidad estructural


Analizar sus propiedades estructurales y físicas, en correlación
con las condiciones de crecimiento
Estudiar sus posibilidades como substrato para la epitaxia
Analizar la respuesta frente a tratamientos térmicos y
tensiones mecánicas
Profundizar en las técnicas y mecanismos de crecimiento
cristalino

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

5
Crecimiento cristalino del ZnTe

Crecimiento a partir del fundido estequiométrico

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
1400
1340
1300 1300
L 1 +L 2
1215
1200
6 5 .4

1100
Alta Temp. Fusión
1000

900 Conocimiento parcial


800
del D.F.
700

600
Desconocimiento del
500 punto exacto de la
449
4 1 9 .5 7
400 fusión congruente
Te Te
300

200
Evaporación a la Tf
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
Zn VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ
A t o mic P e r c e n t Te

6
Crecimiento cristalino del ZnTe

Crecimiento en fase gaseosa (PVT y CVT)

•Buenos cristales obtenidos por el grupo del Institute of


Physics, Polish Academy of Sciences. Prof. A. Mycielski.
•Problemas:
-Dificultad de mantener las condiciones termodinámicas
en la interfase móvil durante largos períodos de tiempo
-Dificultad de obtención de grandes monocristales

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

7
Crecimiento cristalino del ZnTe

Las técnicas de “baja temperatura”


como alternativa

• Los métodos en disolución:


El método THM
El método CTHM

La recristalización en fase sólida, RSS

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

8
Crecimiento cristalino del ZnTe

Método CTHM

Condiciones experimentales:
A partir de los elementos constituyentes: Zinc en forma
cilíndrica y Teluro elemental
Temperatura de trabajo 950 ºC
Velocidad de crecimiento 3 mm/día
Gradiente abrupto a ambos lados de la zona disolvente

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

9
Crecimiento cristalino del ZnTe

Resultados:

Síntesis y crecimiento en el mismo proceso


Obtención de un lingote policristalino
de varios centímetros de longitud.
Grandes monocristales con buena
calidad estructural

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

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Materiales semimagnéticos,
Hg1-xMnxTe

Aspectos de interés
– Interés académico
– Temática infra-roja
– Detectores controlados por campo magnético
Problemática
– Derivada de la dificultad de obtención debido a la
alta presión de vapor del mercurio
– Inhomogeneidades locales
– Inhomogeneidades longitudinales y radiales
– Poca pureza del Manganeso
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

11
Materiales semimagnéticos,
Hg1-xMnxTe

Algunas propiedades:

Estructura Blenda de zinc


Parámetro de malla 6.641-0.121x Å
Temperatura de fusión > 700 ºC (x≈0.11)
Densidad 8.12-3.37x g/cm3
Banda prohibida 0.190 eV a 300K

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

12
Materiales semimagnéticos,
Hg1-xMnxTe

Objetivos:

Crecer monocristales de buena calidad estructural


Crecer monocristales con homogeneidad composicional
Analizar sus propiedades estructurales y de propiedades
físicas, en correlación con las condiciones de crecimiento
Profundizar en las técnicas y mecanismos de crecimiento
cristalino

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

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Materiales semimagnéticos,
Hg1-xMnxTe
Crecimiento a partir del fundido estequiométrico
• Ha sido el método mas
ampliamente utilizado
• Cristales inhomogeneos axial y
longitudinalmente debido a la
gran separación entre las líneas
solidus-liquidus.
• Presíntesis del compuesto.
Alta presión de mercurio
• Contaminación por las
impurezas del manganeso

Una alternativa: Crecimiento Bridgman de la aleación a partir de sus


componentes binarios VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

14
Materiales semimagnéticos,
Hg1-xMnxTe

Las técnicas de “baja temperatura”


como alternativa

• Los métodos en disolución:


El método THM
El método CTHM
El método CTHM
La recristalización en fase sólida, RSS

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

15
Crecimiento cristalino del Hg1-xMnxTe

Método CTHM
a partir de los
componentes binarios,
MnTe y HgTe

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

16
Crecimiento cristalino del Hg1-xMnxTe

Método CTHM

Condiciones experimentales:

Compuestos binarios MnTe y HgTe


para obtener Hg0.89Mn0.11Te
Temperatura de crecimiento 600ºC
Velocidad 2 mm/día

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

17
Crecimiento
Crecimiento
CTHM
de HgTe
de HgTe

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
800

700
L 670

600

500
4 4 9 .5 7
411
400 85

300

200

Te
100

0
Hg y Te elemental
Hg
-3 8 . 8 3
Disolvente: Te
-1 0 0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
Temperatura 520ºC
Hg A t o mic P e r c e n t Te
v= 2mm/día

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

18
Crecimiento CTHM de HgTe

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

19
Crecimiento THM de MnTe
Síntesis y Crecimiento
Reacción de Mn y Te en forma
elemental. T=950ºC. Fusión a
1175ºC, 2horas
Crecimiento THM con Te
Temperatura 800ºC;v= 2.5 mm/dia

8 00 800ºC 1 cm

7 50

temperature (ºC)
7 00

6 50

6 00

8 10 12 14 16 18 20
le n g th (c m )

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

20
Materiales II-VI

HgTe HgSe ZnTe


Método
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
900 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
800
1800

799 1700
800 L
700 2 L 2
670 755 L 1600
L 740 3 1526
L 1 L 1 1500
708 1500
700 3 1 .1 685
600 6 9 .8 8 7 .3 8 L 1 + L 2 L 2

CTHM
1400
1360 3 8 .1
600 1300

500 1200
4 4 9 .5 7 500 1100
411 1000
400 85
400 900
α -H g S e 800
300 300 700

2 2 0 .9 5 600
200 200 500
4 1 9 .5
400
Te 100
100 Se 300
221
200
0 Zn
0 -3 8 . 6 100 Se
-3 8 . 8 3
Hg 0
-1 0 0
Hg 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
-1 0 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
Zn A t o mic P e r c e n t Se
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 Hg A t o mic P e r c e n t Se
Hg A t o mic P e r c e n t Te

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

21
Crecimiento THM de MnTe

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

22
Crecimiento CTHM de Hg1-xMnxTe

600 600ºC 1 cm

550

temperature (ºC)
500

450

400

8 10 12 14 16 18 20
length (cm)

CTHM
HgTe y MnTe elemental
Temperatura 600 ºC
v= 2 mm/día
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

23
Crecimiento CTHM de Hg1-xMnxTe
Resultados:

Síntesis y crecimiento a baja temperatura


• Obtención de monocristales
con excelente calidad estructural
y homogeneidad superior a la
obtenida con el método de
Bridgman
• Estructura cúbica con parámetro
de red (a=6.442±0.002 «) que de
acuerdo con la ley de Vegard
corresponde a la concentración
deseada 0.11 VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

24
Crecimiento CTHM de Hg1-xMnxTe
Resultados:

• Las medidas de absorción


óptica ponen de manifiesto la
mejor calidad composicional y
menor presencia de impurezas
en estos cristales

• Las propiedades físicas y


estructurales son comparables a
las de los mejores cristales
obtenidos por otras técnicas
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

25
Diagrama de fases ternarios

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

26
Diagrama de fases ternarios

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

27
Diagrama de fases ternarios

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

28
Crecimiento cristalino
de materiales II-VI

CdxZn1-xTe Método HgxZn1-xTe


CTHM

Hg0.85Zn0.15Te

CdxHg1-xTe

Cd0.8Zn0.2Te Cd0.2Hg0.8Te
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ
Actividad investigadora

29
Crecimiento cristalino
de materiales II-VI

ZnTexSe1-x
Transporte
en fase
ZnSe0.2Te0.8
gaseosa

ZnSexTe1-x

ZnSe0.9Te0.1
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

30
Crecimiento cristalino y caracterización
de materiales semiconductores
(semimagnéticos y otros materiales)

0 10 20 30 40 50 60 70

0 10 20 30 40 50 60 70
Zn3P2
1 21 0 0
200
L L 1173 1173 PVT
1100
1040
1 11 0 0
000 980 990
55
900
1040
850
100
8 00
0
3 .7
980 990
700
55
90
6 00
0

850
500
3 .7
80
4 00
0 0 .6 6
416

Zn
300
0 10 20 30 40 50 60 70
700 Zn A t o m ic P e r c e n t P

600
Intensity (%)
2,2,0
100 (93.14,100.0)

Bridgman
90
500 80
2,0,3
2,0,2 (101.24,73.1)
70 (79.87,70.0)
2,1,2
416 60 (87.47,60.9)

no
2,1,1
400 0 .6 6 50 (74.54,51.6)
3,0,2
40 2,0,1 0,0,4 (118.90,39.7)
(66.52,36.3) 2,1,3
(100.76,34.7)
1,0,2
Zn 30 1,0,1
(37.44,26.7)
(55.15,29.7) (109.07,30.6)

estequiométrico
1,0,3 3,0,1
300 20 (78.43,18.6) (105.12,18.2)
10 3,1,0
1,0,4
0 10 20 30 0 40 50 0,0,2
1,1,0
(45.30,0.9)
(42.58,0.2)
2,0,0
1,1,2
(61.80,1.1)
(63.92,0.1) 60 2,2,2
3,1,1
(108.57,2.4) 70
(110.58,0.0)
(113.12,0.2)
2 θ (°)

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120

Zn A t o mic P e r c e n t P

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

31
Diagrama de fases Pb-Te

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

32
Crecimiento cristalino y caracterización
de materiales semiconductores
(semimagnéticos y otros materiales)

PbTe
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
1000

900
924 THM
L

800 L y
700
CTHM
600

500
4 4 9 .5 7
4 1 0 .9
400 8 9 .1

3 2 6 .8
300
Te
Pb
200
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
Pb We ig h t P e r c e n t Te

Intensity (%)
2,0,0
100 (61.80,100.0)

90

80

70

60
1,1,1 2,2,0
50 (52.81,48.5) (93.14,46.8)
40

30

20 3,1,1
(116.77,14.4)
10
2 θ (°)
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

33
Diagrama de fases Mn-Te

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

34
Crecimiento cristalino y caracterización
de materiales semiconductores
(semimagnéticos y otros materiales)

MnTe THM HgxMn1-xTe

Hg0.89Mn 0.11Te

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

35
Diagrama de fases Cd-Mn-Te

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

36
Crecimiento cristalino y caracterización
de materiales semiconductores
(semimagnéticos y otros materiales)

CdxMn1-xTe Zn1-xCoxSe
Método de
x<0.12
Bridgman
PVT

Cd0.5Mn0,5Te Cd0.6Mn0,4Te
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

37
Algunos ejemplos

• El seleniuro de zinc

• El telururo de zinc
• Materiales semimagnéticos: Hg1-xMnxTe

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

38
El Seleniuro de Zinc, ZnSe

• Algunos aspectos de interés


– Interés académico
– Potencial tecnológico en la “temática del azul”
– Fabricación de diodos emisores en el azul
– Temática infra-roja

• Problemática
– Derivada de la dificultad de obtención de monocristales
– Derivada de la dificultad de dopado tipo p
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

39
El Seleniuro de Zinc, ZnSe

Algunas propiedades

Estructura Blenda de zinc


Parámetro de malla 5.668 Å
Temperatura de fusión 1524 ºC
Tem. transición fase, S-S 1425 ºC
∆H (Hexagonal-cúbica) 946 J/mol
Densidad 5.26 g/cm3
Dureza 92 Kg/mm2
Ionicidad 0.63
Coef. expansión térmica 6.8 10-6 K-1
Conductividad térmica 0.19 W/cmK
Banda prohibida 2.67 eV a 300K

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

40
El Seleniuro de Zinc, ZnSe

Objetivos

Crecer monocristales de buena calidad estructural


Analizar sus propiedades estructurales y físicas, en correlación
con las condiciones de crecimiento
Estudiar sus posibilidades como substratos para la epitaxia
– Analizar la respuesta frente a tratamientos térmicos y
tensiones mecánicas
Profundizar en las técnicas y mecanismos de crecimiento
cristalino

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

41
Crecimiento cristalino del ZnSe

Crecimiento a partir del fundido estequiométrico


0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
1800

1700

1600
L 1 1526
1500 1500

1400 L 1 + L 2 L 2

1300 1360 3 8 .1

1200
• Alta Temp. Fusión
1100

1000
• Transición de fase S-S
900

800

700
• Conocimiento parcial
600 del D.F.
500

400
4 1 9 .5
• Desconocimiento del
300

200
Zn
221
punto exacto de la fusión
100

0
Se
congruente
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
Zn A t o m ic P e r c e n t Se
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ • Evaporación a la Tf

42
Crecimiento cristalino del ZnSe

Crecimiento en fase gaseosa (PVT y CVT)

• Buenos cristales obtenidos recientemente por el Grupo


del Dr. Korostelin en el Lebeden Physical Inst.
•Problemas:
- Dificultad de mantener las condiciones
termodinámicas en la interfase móvil durante largos
períodos de tiempo
- Técnicamente complejo. Dificultad de aplicación
- Dificultad de obtención de grandes monocristales
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

43
Crecimiento cristalino del ZnSe

Las técnicas de “baja temperatura”


como alternativa

• Los métodos en disolución:


El método THM
El método CTHM

La recristalización en fase sólida, RSS

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

44
Crecimiento cristalino del ZnSe

Crecimiento en disolución
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
1800

1700

1600
L 1 1526
1500 1500

1400 L 1 + L 2 L 2

1300 1360 3 8 .1

1200
• Poca solubilidad en
1100

1000
Se y Zn
900

800 • Otros disolventes


700
contaminan, (PbCl2)
600

500

400
4 1 9 .5 • Algunos resultados
300 recientes apuntan
221
200

100
Zn hacia el Te/Se.
Se
0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
• Cristales con
Zn
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ
A t o m ic P e r c e n t Se inclusiones de Te

45
Crecimiento cristalino del ZnSe

La recristalización en fase sólida, RSS

Condiciones experimentales:
Material CVD policristalino
Preparación superficial y geometría de la muestra
Recristalización isoterma a 998 ºC
Presión de Selenio o Argón

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

46
Crecimiento cristalino del ZnSe

Resultados:

Obtención de monocristales de excelente calidad estructural.


Tamaño dependiente de la duración de la experiencia y
presión de trabajo
Mayor velocidad de crecimiento con la mayor presión de
selenio (10 atm)
Ligera evaporación y deposición superficial en las
experiencias con baja presión de Argón (2 atm)

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

47
Crecimiento cristalino del ZnSe
Recristalización en fase sólida

Completa Parcial
(cristales del orden del cm3)

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

48
Fotoluminiscencia en el ZnSe

Objetivos:

• Estudio de la respuesta fotoluminiscente en cristales


obtenidos a partir de la recristalización
• Correlación de la respuesta con las condiciones de
crecimiento cristalino
• Determinación de defectos e impurezas
• Modificación de la respuesta por tratamientos
superficiales y térmicos
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

49
Material RSS

2 atm Argón

5 atm Selenio
ZnSe

10 atm Selenio

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

50
La modelización y simulación numérica como
herramienta en el crecimiento cristalino

El método THM.
Estudio numérico de crecimiento de
HgTe

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

51
Motivación aplicada

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

52
Modelización del crecimiento THM

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

53
Modelización del crecimiento THM
a) Continuity equation

∂ρ ∂( ρu) 1 ∂(rρv)
+ + =0
∂t ∂z r ∂r

where ν is the fluid density, u the axial velocity and v the radial velocity.

b) Momentum equation

axial direction:

∂ ∂ 1∂ ∂P ∂ ∂u 1 ∂ ⎡ ∂u ∂v ⎤
( ρu) + (ρuu) + (rρvu) = − + (2µ ) + rµ( + ) + ρg
∂t ∂z r ∂r ∂z ∂z ∂z r ∂r ⎢⎣ ∂r ∂z ⎥⎦

radial direction:

∂ ∂ 1∂ ∂P ∂ ⎡ ∂u ∂v ⎤ 1 ∂ ∂v 1 v
( ρv) + (ρuv) + (rρvv) = − + ⎢µ( + )⎥ + (r2µ ) − (2µ )
∂t ∂z r ∂r ∂r ∂z ⎣ ∂r ∂z ⎦ r ∂r ∂r r r

where P is the static pressure,?ν is the molecular viscosity of the fluid and g is the gravitational acceleration

c) Energy equation

∂ ∂ ∂ ∂ ∂T 1 ∂ ∂T ∂P ∂P ∂P
(ρh) + (ρuh) + (ρvh) = (k ) + (rk ) + + u + v + Sh
∂t ∂z ∂r ∂z ∂z r ∂r ∂r ∂t ∂z ∂r

where h is the enthalpy, T is the temperature, k is the thermal conductivity of the fluid and Sh is a source term

that can include sources of enthalpy.

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

54
Modelización del crecimiento THM

900

Experimental axial temperature


Calculated axial temperature
800 Wall temperature
El cálculo del campo de
700
Temperature (K)

temperaturas en el
600
horno permite la
500
determinación de la
400
temperatura de las
300 paredes del mismo que
0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25 0.30 0.35

Axial position (m) ajusta la temperatura


axial obtenida
Perfil de temperatura
Fig. 4 experimentalmente

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

55
Modelización del crecimiento THM

Proceso de resolución en tres niveles

Nivel 1
Se determina el campo de temperaturas considerando la
radiación, la conducción y la convección. Se conoce así la
temperatura en la interfase de crecimiento y disolución que
ajusta el valor de la concentración en el liquido junto con la
longitud de la zona liquida considerando el diagrama de
fases

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

56
Modelización del crecimiento THM

Proceso de resolución en tres niveles

Nivel 2

La temperatura en las paredes de la ampolla es considerada


como condición de contorno para el cálculo más exacto del
campo de temperaturas en el interior de la ampolla de
crecimiento y en particular la zona liquida en la que ahora
incorporamos la convección.

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

57
Modelización del crecimiento THM

Proceso de resolución en tres niveles

Nivel 3

Se plantea un proceso dinámico de desplazamiento de las


temperaturas que produce una diferencia de concentraciones
entre ambas interfases que ajustan el problema global
teniendo en cuenta el diagrama de fases.

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58
Modelización del crecimiento THM

Pos. 0.085m Pos. 0.090m Pos. 0.095m Pos. 0.100m


Tsta. 753.5 K Tsta. 754.5 K Tsta. 755 K Tsta. 759.5 K

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

59
Modelización del crecimiento THM

Curvas de Isoconcentración

0.515

Posición 0.090m
0.511 0.5137

0.510

0.512

Posición 0.125m
0..506

VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

60
Modelización del crecimiento THM

Lingote de HgTe
Programa coordinado de
alimentación de potencia en
función del intercambio “real” de
calor

Los primeros resultados


experimentales han conducido a un
Puerta abierta al desplazamiento y reducción de la
zona con inclusiones
trabajo experimental
VICENTE MUÑOZ SANJOSÉ

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