Micromoteurs électrostatiques

à capacité variable

par Emmanuel SARRAUTE

Maître de conférences au Conservatoire National des Arts et Métiers
Laboratoire d’électricité signaux et robotique
et Isabelle DUFOUR
Chargé de recherche au CNRS
Laboratoire d’électricité signaux et robotique

1. Techniques de micro-usinage ............................................................... D 3 770 - 2

2. Effets d’échelle dans les convertisseurs électromécaniques ..... — 3
2.1 Forces mises en jeu ..................................................................................... — 3
2.2 Évolutions dimensionnelles des forces ..................................................... — 4
2.3 Conséquences sur le comportement dynamique ..................................... — 6
3. Principes de fonctionnement des moteurs à capacité variable — 6
3.1 Différentes structures .................................................................................. — 6
3.2 Modélisation du comportement statique .................................................. — 7
4. Dimensionnement et critères d’optimisation .................................. — 8
4.1 Choix du matériau rotorique ...................................................................... — 8
4.2 Influence des paramètres géométriques ................................................... — 8
4.2.1 Paramètres recherchés....................................................................... — 8
4.2.2 Contraintes technologiques............................................................... — 9
4.3 Modélisation analytique.............................................................................. — 9
4.3.1 Première approche ............................................................................. — 9
4.3.2 Deuxième approche ........................................................................... — 10
4.4 Synthèse des règles de dimensionnement ............................................... — 10
4.5 Illustration .................................................................................................... — 11
5. Simulation du comportement dynamique ........................................ — 12
5.1 Modèle électromécanique .......................................................................... — 12
5.1.1 Équations électriques ......................................................................... — 12
5.1.2 Équations mécaniques ....................................................................... — 13
5.1.3 Modèle électromécanique global...................................................... — 13
5.2 Illustrations................................................................................................... — 14
5.2.1 Micromoteur étudié............................................................................ — 14
5.2.2 Positionnement sur un pas ................................................................ — 14
5.2.3 Fonctionnement quasi dynamique — 14
5.2.4 Fonctionnement dynamique établi ................................................... — 14
6. Conclusion et perspectives................................................................... — 16
Pour en savoir plus........................................................................................... Doc. D 3 770

L a volonté de miniaturiser les actionneurs ne date pas d’hier et les progrès

accomplis en ce domaine, par l’industrie horlogère notamment, le prouvent.
Mais alors que les méthodes classiques d’usinage ont atteint leurs limites, de
nouvelles techniques de fabrication, issues pour la plupart des procédés utilisés
en micro-électronique, permettent maintenant de réaliser des pièces méca-

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niques à l’échelle micrométrique. Les premiers micromoteurs usinés sur silicium

apparaissent à la fin des années 1980. Dans des domaines d’application où les
dimensions jouent un rôle très important, comme par exemple le génie médical
et biologique, l’espace et l’instrumentation, l’enjeu est considérable.
À l’image des moteurs « classiques », c’est-à-dire de taille macroscopique, plu-
sieurs principes de fonctionnement peuvent être mis en évidence. Cependant,
nous nous restreindrons dans cet article à l’étude des micromoteurs électrosta-
tiques à capacité variable. Après avoir présenté quelques procédés de fabrica-
tion et réalisations, nous étudierons les effets de la miniaturisation sur les
performances statiques et dynamiques des convertisseurs électromécaniques.
L’intérêt des systèmes électrostatiques étant mis en évidence dans les très peti-
tes dimensions, nous aborderons les principes de fonctionnement et présente-
rons ensuite une méthode systématique de dimensionnement qui, sur la base de
règles topologiques simples et d’un cahier des charges donné, permet de définir
une structure optimale en terme de couple moyen maximal. Enfin, pour mieux
apprécier les performances théoriques de ce type de micromoteur, nous étudie-
rons son comportement dynamique et présenterons des résultats de simulation
correspondant à plusieurs configurations de fonctionnement.

1. Techniques Rayons UV
de micro-usinage Masque
pour rayon UV

C’est dans les années 1960 qu’apparaissent les premiers procédés Résine
de micro-usinage permettant de réaliser des membranes sus- photosensible
pendues et d’autres éléments intervenant dans la composition de Substrat
capteurs de pression ou d’accélération. Il s’agit de micro-usinage en silicium
monocristallin
volumique. Le principe consiste à appliquer un masque photolitho-
graphique sur du silicium monocristallin que l’on irradie par UV. Les a insolation par des rayons UV d'une résine
photosensible à travers un masque de photolithographie
zones exposées sont ensuite gravées avec des produits alcalins de
façon à dégager des formes diverses selon l’orientation cristallogra-
phique du silicium (figure 1).
Apparaissent ensuite de nouveaux procédés permettant de réali-
ser des formes et des objets mécaniques plus complexes. Le micro-
usinage de surface consiste à graver chimiquement un film mince
de silicium polycristallin préalablement déposé en phase gazeuse b gravure chimique sélective de la couche de silicium
sur un substrat constitué de couches d’oxyde que l’on peut dissou-
dre chimiquement, laissant ainsi apparaître des pièces suspendues
ou mobiles (figure 2). Les premières réalisations ont permis de
fabriquer des balanciers utilisés comme détecteurs de vibration.
C’est à la fin des années 1980 qu’apparaissent les premiers micro-
moteurs rotatifs réalisés par micro-usinage de surface [1], [2] et [3].
Cependant, cette technique ne permet de réaliser que des structures Membrane souple
planaires, avec des épaisseurs de quelques micromètres au maxi- c élimination de la résine photosensible résiduelle
mum. Or, dans le cas des micromoteurs à entrefer radial, le couple
est fonction de l’épaisseur. Figure 1 – Exemple de micro-usinage volumique
Une équipe allemande du centre de recherche nucléaire de
Karlsruhe propose, alors, un procédé permettant de réaliser des
micro-objets véritablement en 3D. Le procédé, baptisé LIGA [4] couches structurelles, offrent des résultats comparables [5] avec un
(LIthographie Galvanoformung Abformung), consiste à réaliser un équipement conventionnel.
moule dans une couche épaisse de polymère par photolithographie
(figure 3). Mais, cette fois, l’irradiation se fait par des rayons X à Les figures 4 a et 4 b montrent une vue d’ensemble et une vue
haute énergie qui pénètrent profondément (plusieurs centaines de rapprochée d’un micromoteur électrostatique réalisé par micro-usi-
micromètres) dans la couche de polymère. Les cavités formées sont nage de surface au LAAS (Laboratoire d’analyse et d’architecture
ensuite remplies par un métal déposé par électrolyse. des systèmes) de Toulouse [6] et [7]. Ce micromoteur se compose
Même si les structures ainsi réalisées ont un grand rapport de d’un stator et d’un rotor dentés, en silicium polycristallin rendu
forme (rapport de la hauteur à la largeur), le procédé LIGA reste, de conducteur par dopage. Le facteur de forme reste très faible avec
par l’utilisation de rayons X issus d’un synchrotron, une techno- une épaisseur de 1,5 µm pour un diamètre rotorique de 120 µm;
logie onéreuse. D’autres procédés, basés sur la galvanoplastie des l’entrefer est de 3 µm. La figure 4 a montre les chemins d’amenée

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Silicium polycristallin

Couche
sacrificielle
Substrat

a dépôt d'une couche de silicium polycristallin sur un substrat

Rayons UV
Masque
pour rayon UV

résine a
photosensible

b insolation par rayons UV d'une résine photosensible

à travers un masque de photolithographie

c gravure chimique de la couche de silicium polycristallin

Pièce mobile 1 à 3 µm

1 à 3 µm

b
d libération de la pièce de silicium par enlèvement
sélectif de la couche sacrificielle
Figure 4 – Micromoteur électrostatique
Figure 2 – Exemple de micro-usinage de surface

du potentiel jusqu’au moteur ainsi que les plots de connexion avec

une alimentation extérieure.
Rayons X Même si les techniques de fabrication utilisées ici sont très
sophistiquées, la conception mécanique des micromoteurs actuels
est assez rudimentaire dans la mesure où il n’est pas encore pos-
Masque sible de réaliser de bonnes liaisons mécaniques. Pour minimiser les
pour rayons X
frottements de solides mis en jeu, on réalise des paliers en nitrure
Couche épaisse
100 à 300 µm de polymère de silicium [1] ou des traitements de surface par greffage de molé-
3 µm Couche sacrificielle cules lubrifiantes [8]. Malgré cela, les surfaces de solides en contact
Substrat étant relativement importantes par rapport à la taille même des
structures, les frottements secs jouent un rôle non négligeable sur le
a insolation par rayons X d'une couche de polymère
comportement dynamique des machines et limitent leur durée de
préalablement déposée sur un substrat
vie.

b développement de la couche de polymère 2. Effets d’échelle

Nickel
dans les convertisseurs
électromécaniques
c dépôt par électrolyse de nickel ou d'un autre métal
Pièce mobile 2.1 Forces mises en jeu
100 à 300 µm
Lorsque l’on décide d’étudier et de dimensionner un actionneur
1 à 3 µm
électrique de taille micrométrique, la première interrogation est de
savoir quel type de forces il faut utiliser. Si, dans les dimensions
d libération de la pièce de nickel par enlèvement classiques, l’utilisation des forces magnétiques est évidente, la
du polymère résiduel et de la couche sacrificielle question reste posée lorsque l’on s’approche du domaine micromé-
trique. La plupart des mécanismes de conversion électromécanique
Figure 3 – Procédé LIGA utilisables pour les microsystèmes sont connus et étudiés dans les

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gammes de dimensions plus classiques. Ils sont basés sur l’utili- 2.2 Évolutions dimensionnelles des forces
sation :

— du champ électrique pour les systèmes électrostatiques, piézo- Si l’on applique une homothétie de rapport h aux deux structures
électriques...; étudiées, les nouvelles dimensions géométriques s’expriment en
fonction des anciennes par :
— du champ magnétique pour les systèmes électromagnétiques,
magnétostrictifs...; x ’ = hx ; y ’ = hy ; z ‘ = hz

— d’effets thermiques pour les systèmes à changement de
phase, matériaux à mémoire de forme...
Indépendamment des problèmes technologiques de mise en
œuvre, il est intéressant d’étudier les effets d’une miniaturisation
sur les performances statiques et dynamiques de ces systèmes.
Nous nous limiterons dans cet article à l’étude des convertisseurs
électrostatiques et électromagnétiques. Pour cela, nous avons
retenu deux structures simples constituées chacune d’une poutre
pouvant être soumise à une force électrique (tableau 1). Les forces
calculées par dérivation de l’énergie emmagasinée se présentent
sous des formes tout à fait similaires, faisant apparaître les contri-
butions :
— des matériaux présentant une aimantation ou une polarisation
permanente pour lesquels s’introduit une composante continue non
commandable;
— des courants dans les enroulements ou des tensions entre les
électrodes dont les valeurs sont imposées par la commande;
— des interactions entre les deux sources précédentes, c’est-à-
dire aimantation/courant et polarisation/tension.
Ces formulations où interviennent les dimensions géométriques
et les paramètres électriques se prêtent bien à une étude dimen-
sionnelle pouvant tenir compte des contraintes propres à chaque
système.
Pour indiquer que les dimensions varient comme h, la surface
comme h 2 et le volume comme h 3, nous adoptons la notation
proposée par W. S. N. Trimmer [9] :
x ≡ [ h1 ] ; S ≡ [ h2 ] ; 9 ≡ [ h3 ]
Les forces définies précédemment n’étant pas fonction des seules
dimensions géométriques, mais également des paramètres élec-
triques, magnétiques et électrostatiques, il est nécessaire de déter-
miner l’influence de ces dernières grandeurs, en tenant compte des
contraintes propres associées à chaque système.
■ Influence de l’induction rémanente B r
Les propriétés magnétiques d’un matériau ferromagnétique sont
des fonctions assez complexes du champ magnétique, de la tempé-
rature, mais aussi de l’histoire magnétique du matériau, c’est-à-dire
des conditions dans lesquelles il a été aimanté. Dans le cadre d’une
étude dimensionnelle, et dans la mesure où le volume du matériau
ferromagnétique reste suffisant pour que ces propriétés magné-
tiques soient conservées, on peut considérer l’induction rémanente
Br de l’aimant comme invariante avec les dimensions :
Br ≡ [ h 0 ]
■ Influence du courant I
L’intensité du courant I dépend des contraintes liées aux phéno-
mènes d’échauffement et de saturation magnétique. Pour de petites
puissances et en assimilant la microstructure à un corps homogène,
on peut estimer l’échauffement de façon approximative en énon-
çant les deux hypothèses [10] :

Tableau 1 – Forces électriques d’origine magnétique et électrostatique

Structure électromagnétique Structure électrostatique

Poutre mobile V
soumise à la force F

(d1, ε 1)
(d1, µ 1) Électrode 1 F
(d2,ε 2)
µ ≡∞ F
(d2, µ 2) S
S Isolant
nI Pr
Mr Électrode 2

Énergie électromagnétique Énergie électrostatique

d 2 Br d 2 Dr
2 2
- + nI
----------- ------------ + V
1 µ2  1  ε2 
W = --- -------------------------------- W = --- ------------------------------
-
2  d1 d2  2  d1 d2 
---------- + --------- - --------- + -------- -
 µ S µ S  ε S ε S
1 2 1 2
Force électromagnétique Force électrostatique
d2 Br 2 d2 Br d2 Dr 2 d2 Dr
S  ------------ + ( nI ) 2 + 2 ------------ nI S  ------------ + (V ) 2 + 2 ------------ V
1 µ2 µ2 1 ε2 ε2
F = --- ------------------------------------------------------------------------------------ F = --- --------------------------------------------------------------------------------
-
2 d d 2 2 d d 2
µ 1  -----1- + -----2-  1
ε 1  ------ + ------ 2
µ1 µ2 ε1 ε2

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● la chute de température par conduction est négligeable; constante et l’induction magnétique due aux courants diminue avec
l’échauffement est alors déterminé par la convection naturelle; les dimensions.
● seules les pertes par effet Joule PJ sont prises en compte.
■ Influence de la tension
Dans ces conditions, l’échauffement ∆T est déterminé par
l’expression : Dans un système électrostatique, la tension disruptive Vd au-delà
de laquelle se crée un arc électrique entre deux électrodes suit, dans
PJ
∆ T = ---------- des conditions de champ uniforme, l’évolution donnée par la courbe
αS α de Paschen [11] en fonction du produit pression x distance
(figure 5).
où α représente le coefficient de convection agissant sur la surface
extérieure Sα du système. Cette courbe indique qu’à pression donnée, pour des distances
Les pertes par effet Joule dans un bobinage électrique s’écrivent inter-électrodes inférieures à 6 bar.µm, la tension disruptive aug-
en fonction de la résistivité ρ, du volume 9 du conducteur et de la mente lorsqu’on réduit les dimensions! C’est un phénomène très
densité de courant J par : intéressant que l’on peut chercher à exploiter pour les microsys-
tèmes qui permet de développer des densités d’énergie, donc des
PJ = ρ 9 J 2 efforts, très importants. Cependant, les relevés qui ont permis d’éta-
blir cette courbe correspondent à des conditions expérimentales
Ainsi, maintenir un échauffement constant conduit aux évolutions très particulières qui ne sont pas réalisées en pratique. Aussi, pour
suivantes : notre étude, nous nous sommes placés dans le cas le plus défavo-
rable en ne faisant pas intervenir l’augmentation de la tension
PJ disruptive dans les dimensions micrométriques :
J ≡ [ h1 / 2 ] ; I ≡ [ h3 / 2 ] ; ------ ≡ [ h Ð1 ] ; BI ≡ [ h 1 / 2 ]
9
V ≡ [ h1 ] ; E ≡ [ h0 ]
Dans ces conditions, tout risque de saturation magnétique est
écarté car l’induction rémanente de l’aimant est considérée comme E champ électrique.

Tension disruptive
(valeur de crête)
Vd (kV)

103

102

5
Température : 20 °C
2

101

10

10 –1
10 –3 2 5
10 –2 2 5
10 –1 2 5
10 2 5
101 2 5
102 2 5
103
Produit pression distance (bar. mm)

Publication n° 52 de la CEI (1960)

Norme italienne 42.1 (1963)
Norme C 41050 de l'UTE (1960)
IEEE standard n°4 (ANSI .C 68 .1)
British standard 358 (1960)
VDE 0433

S. Schreier
Seeliger
Figure 5 – Courbe de Paschen pour l’air
H. Bertein (d’après [11])

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■ Influence de l’induction rémanente D r
L’induction rémanente D r acquise par un matériau ferroélectrique
dépend, en intensité et en direction, du champ électrique E qui a été
appliqué. Si les dimensions géométriques restent suffisantes pour
que l’on puisse encore raisonner d’un point de vue macroscopique,
on peut considérer que D r reste invariante lors d’une réduction
homothétique des dimensions, de sorte que :
Dr ≡ [ h 0 ]
Si l’on tient compte des considérations précédentes, on déter-
mine les évolutions dimensionnelles des forces.
Structure électromagnétique avec ∆ T ≡ [ h 0 ] :
F≡ [ h2 ] + [ h3 ] + [h 5 ⁄ 2]
Br I Br + I
Structure électrostatique avec E ≡ [ h 0 ] :
F ≡ [ h 2 ] Dr + [ h 2 ] V + [ h 2 ] Dr + V
Ces résultats indiquent que les forces d’origine magnétique et
électrostatique évoluent de façon différente avec la miniaturisation.
Dans la mesure où elles chutent bien moins vite, l’utilisation des
forces électrostatiques dans les très petites dimensions semble
devenir intéressante. Bien sûr, cette étude n’indique que des ten-
dances et ne permet pas de déterminer les frontières dimension-
nelles à partir desquelles on préconise l’utilisation de tel ou tel type
d’actionneur. Indépendamment de toute considération technolo-
gique de fabrication, on peut montrer [7] que les moteurs électros-
tatiques ne sont véritablement intéressants que pour des valeurs
d’entrefer de l’ordre de quelques micromètres.
2.3 Conséquences
sur le comportement dynamique
Les différentes évolutions des forces calculées précédemment
vont avoir une répercussion notable sur le comportement dyna-
mique global de la structure lors d’une réduction des dimensions.
Pour simplifier l’étude, on peut modéliser la poutre par un système
mécanique équivalent constitué d’une masse ponctuelle M pouvant
se déplacer suivant la direction x. La masse M est soumise à une
force motrice d’origine électrique f et des forces antagonistes f R.
L’équation du mouvement de M s’écrit :
M xúú (t ) = f (t ) − f r (t )
Dans le cadre d’une étude comparative, les propriétés méca-
niques de la poutre sont supposées identiques pour les deux struc-
tures et seules les forces électriques mises en jeu apportent un
caractère discriminant sur le comportement dynamique. En négli-
geant f r et en supposant f = F, indépendante du temps, on détermine
l’accélération, la vitesse et le temps de parcours de la masse entre
deux positions par :
F 2 xF
xúú = ----- ; xú = ---------- ; t =
M M
On en déduit la densité volumique de puissance mécanique :
Pm 1 xF 3
------- = ---- ---------
9 9 2M
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À l’exception des pertes par effet Joule, les évolutions de ces
grandeurs sont conditionnées par les différentes évolutions de la
force électrique que l’on a déterminées précédemment :
h2 h Ð1 h0
F ≡ h5 / 2 ; xúú ≡ h Ð 1/2 ; xú ≡ h 1 / 4
h3 h0 h1 / 2
h1 Pm h Ð1 PJ −
t ≡ h3 / 4 ; ------- ≡ h Ð1 / 4 ; ------- ≡ h Ð3 / 4
9 Pm
h1 / 2 h1 / 2 h Ð3 / 2
Ces résultats nous amènent à faire les constatations suivantes :
■ Dans le cas le plus défavorable où les forces évoluent en [ h 3 ] , ce
qui correspond à un système électromagnétique sans aimant, à
échauffement constant, la miniaturisation n’est pas véritablement
intéressante dans la mesure où l’accélération reste inchangée et la
densité volumique de puissance mécanique se dégrade. De plus, le
rendement se dégrade très fortement car la puissance mécanique
diminue plus rapidement que les pertes par effet Joule.
■ Par contre, pour les forces évoluant en [ h 5 / 2 ] et [ h 2 ] , ce qui
correspond respectivement au cas d’un système électromagnétique
à aimant à échauffement constant et au cas d’un système électros-
tatique à champ électrique constant, la miniaturisation améliore la
dynamique du système et permet de développer des densités volu-
miques de puissance mécanique plus importantes. Cette étude sou-
lève donc l’intérêt de ces deux dernières structures pour les
microsystèmes. Cependant, si l’on se place maintenant d’un point
de vue technologique, les micromoteurs électrostatiques sont plus
intéressants car plus simples à réaliser et moins « encombrants ».
En effet, un micromoteur électrostatique est uniquement composé
d’électrodes métalliques ou en silicium fortement dopé, séparées
par un isolant, tandis qu’un micromoteur électromagnétique néces-
site la réalisation de microbobinages qui prennent une place relative
importante. De plus, la fabrication de micro-aimants et de micro-
bobinages reste délicate.
3. Principes
de fonctionnement
3.1 Différentes structures
On peut imaginer trois grandes familles de micromoteurs à capa-
cité variable (MCV) qui se distinguent par la disposition relative du
rotor par rapport au stator et par le type de mouvement généré par
le rotor.
■ Les micromoteurs à entrefer radial, dont nous avons présenté un
exemple de réalisation au paragraphe 1, ont été les plus étudiés à ce
jour car ils se distinguent par leur relative simplicité de fonction-
nement et de réalisation. Comme on peut le voir sur la figure 6 a, les
électrodes statoriques et rotoriques sont disposées radialement de
part et d’autre de l’entrefer. En fonctionnement pas à pas, le rotor
2 xM
------------ suit un mouvement rotatif en s’alignant successivement avec les
F électrodes statoriques alimentées.
■ Les micromoteurs à entrefer axial fonctionnent suivant le même
principe (figure 6 b). Le couple généré étant proportionnel à la
variation du coefficient de capacité des électrodes statoriques, on
cherche, dans cette structure, à l’augmenter en mettent en jeu des
surfaces d’électrodes plus importantes. Cependant, les efforts
__________________________________________________________________________________ MICROMOTEURS ÉLECTROSTATIQUES À CAPACITÉ VARIABLE
a 2
b mécaniques, C 11 oscille autour d’une valeur moyenne en passant
c C m = --- ( C c + C 0 )
Figure 6 – Différents types de micromoteurs électrostatiques
axiaux qui en découlent posent beaucoup de problèmes liés à la
stabilité mécanique du rotor.
■ Les micromoteurs à rotation désaxée (figure 6 c ) sont assez inté-
ressants puisque la force motrice est, contrairement aux deux cas
précédents, la composante normale de force d’attraction du rotor
vers le stator qui est plus importante que la composante tangen-
tielle. Le mouvement de rotation est, alors, créé par le roulement du
rotor dans le stator. Bien que ce mouvement soit désaxé (présence
de balourd), cette structure présente un effet réducteur qui permet
de développer des couples plus importants pour des vitesses plus
faibles.
3.2 Modélisation
du comportement statique
La topologie des MCV est maintenant connue. Ils se présentent
sous la forme d’une structure à stator et rotor dentés. Chacune des
dents qui joue le rôle d’électrodes est reliée à une source de tension
extérieure permettant d’imposer une valeur de potentiel par rapport
à un potentiel de référence que l’on choisira nul pour simplifier
l’écriture. En supposant le potentiel établi sur chacune des élec-
trodes, le champ électrique, de distribution spatiale fixe, maintient
le rotor dans une position donnée. Lorsque l’on tend à déplacer le
rotor, la modification de l’énergie mise en jeu est à l’origine d’un
couple électrostatique synchronisant, ou couple statique. En consi-
dérant les électrodes correspondant à la phase 1, maintenues à un
potentiel V1, toutes les autres électrodes étant mises au potentiel
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zéro de référence, la quantité de charges Q1 portée par le conduc-
teur équivalent à cette phase 1 est donnée par :
Q1 = C 11V1
où C11 représente le coefficient de capacité du conducteur équi-
valent de la phase 1. L’énergie électrostatique associée au conden-
sateur ainsi constitué vaut :
1
W 1 = --- C 11 ( V 1 ) 2
Cette énergie électrostatique, convertible en travail mécanique,
nous permet de calculer le couple généré sur le rotor par dérivation
suivant l’angle de rotation mécanique θ m :
∂ W 1 ∂ C 11
T 1 = -------------1- = --- V 12 --------------
∂ θm 2 ∂ θm
Cette formulation est tout à fait intéressante car elle montre que
seule la variation spatiale du coefficient de capacité C 11 est à l’ori-
gine du couple statique. Lorsque le rotor se déplace de 2π radians
périodiquement d’une valeur maximale à une valeur minimale. On
en déduit alors que la caractéristique angulaire du coefficient de
capacité C 11 est une fonction périodique de θm dont la période
spatiale est égale au pas dentaire rotorique. En introduisant la
notion d’angle électrique θe = P θm, son développement en série har-
monique limité au premier ordre s’écrit :
C 11 = C m + C p cos θe
avec
1
2
1
C p = --- ( C c Ð C 0 )
2
où P représente le nombre de pôles, C c et C 0 les valeurs du coeffi-
cient de capacité lorsque le rotor se trouve respectivement en posi-
tion de conjonction et d’opposition par rapport à la phase 1
considérée, C m et C p sa valeur moyenne et son amplitude. On en
déduit l’expression de l’énergie électrostatique et celle du couple
statique :
1 1
W 1 = --- C m V 12 + --- C p V 12 cos θ e
2 2
1
T 1 = Ð --- PC p V 12 sin θ e
2
Bien que P apparaisse en facteur dans la formulation du couple,
on ne peut conclure directement que l’accroissement du nombre de
pôles augmente proportionnellement le couple car C p est égale-
ment affecté par la modification de P . Nous étudierons au paragra-
phe suivant les aspects liés au dimensionnement et à l’influence de
P sur le couple statique.
La figure 7 représente les variations spatiales théoriques du coef-
ficient de capacité, de l’énergie électrostatique et du couple statique
associé en fonction de la position du rotor. Le principe de fonction-
nement, mis en évidence ici, est tout à fait similaire à celui d’un
moteur pas à pas électromagnétique classique [13] et l’on peut alors
définir toutes les notions qui en découlent (couple de maintien,
couple de démarrage, précision statique, stratégie d’alimentation,
etc.). Ainsi, lorsque l’on applique au rotor une charge mécanique, le
couple statique équilibre de façon stable le couple résistant exté-
rieur dans la partie de la caractéristique angulaire du couple où
l’énergie électrostatique est supérieure à sa valeur moyenne.
D 3 770 − 7
MICROMOTEURS ÉLECTROSTATIQUES À CAPACITÉ VARIABLE __________________________________________________________________________________

Nous voyons de façon évidente que la force développée est

C11 d’autant plus importante que la permittivité ε2 est grande. La limite
de F, lorsque ε2 tend vers l’infini, devient analogue à la force mise en
jeu dans une structure purement métallique (c’est-à-dire avec un
matériau 2 conducteur, le matériau 1 restant gazeux, de l’air par
Cp exemple). En conséquence, il est préférable de réaliser des moteurs
Cm électrostatiques à stator et rotor métallique ou avec des matériaux
–π π semi-conducteurs fortement dopés, pour développer le maximum
θe
de couple.

4.2 Influence
a coefficient de capacité des paramètres géométriques
W

Dans la suite, nous allons nous intéresser exclusivement aux

micromoteurs électrostatiques à entrefer radial.

–π π
θe
4.2.1 Paramètres recherchés

La structure géométrique du micromoteur est entièrement déter-

minée par les neuf paramètres suivants (figure 8) :
b énergie — N r,N s nombre de dents rotoriques et de plots statoriques (on
peut alors en déduire les pas polaires rotoriques et statoriques :
T1
α r0 = 2π ⁄ N r

et α s0 = 2π ⁄ N s );

–π π θe — β r0 , β s0 angles dentaires rotoriques et statoriques (et donc les

coefficients d’encombrement rotorique et statorique :

β r = β r0 ⁄ α r0
c couple statique
et β s = β s0 ⁄ α s0 );
Figure 7 – Caractéristiques angulaires théoriques
— r rayon extérieur du rotor;
— h s, h r hauteur des plots statoriques et des dents rotoriques;
4. Dimensionnement — l longueur du micromoteur;

et critères d’optimisation — e espace entre le rotor et le stator.

Dans une optique de dimensionnement, il est nécessaire de déter- α r°

miner l’influence des paramètres liés à la nature des matériaux, à la
géométrie et à l’alimentation, afin de définir, à partir d’un cahier des
charges, une structure optimale en terme de couple de démarrage
maximal. Dans le cadre de cette étude, nous nous sommes limités à
l’alimentation classique des moteurs pas à pas, c’est-à-dire phase
par phase.
β r° r
hr

4.1 Choix du matériau rotorique hs

Nous avons exprimé au paragraphe 2 les efforts mis en jeu dans

une structure électrostatique. Dans le cas où le système ne possède α s°
pas de polarisation permanente, on exprime la force par :

1 SV 2 e
F = --- -----------------------------------
2 d d 2 β s°
ε 1  -----1- + -----2-
ε 1 ε 2 Figure 8 – Paramètres géométriques

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4.2.2 Contraintes technologiques
Les neuf paramètres géométriques recherchés doivent être
compatibles avec le procédé de fabrication utilisé. La longueur l du
micromoteur (en pratique son épaisseur) qu’il est possible d’obtenir
dépend du choix des procédés de fabrication que l’on a abordés au
paragraphe 1. Pour les procédés classiques de micro-usinage de
surface utilisés en microélectronique, comme par exemple les
dépôts et gravures anisotropes de films minces, l’épaisseur maxi-
male qu’il est possible d’obtenir peut atteindre quelques micromè-
tres. Pour les procédés plus spécifiques, permettant la fabrication de
micro-objets véritablement en 3D, l’épaisseur maximale peut attein-
dre quelques centaines de micromètres. Dans tous les cas, un entre-
fer e inférieur à 1 µm n’est pas raisonnablement envisageable car
cela supposerait que le jeu mécanique axial du rotor soit bien infé-
rieur. D’autre part, pour estimer l’encombrement total du micro-
moteur, il faut tenir compte de la place nécessaire pour les plots de
connexion dont la surface est de l’ordre de 100 µm x 100 µm.
4.3 Modélisation analytique
4.3.1 Première approche
La modélisation analytique proposée est basée sur une linéarisa-
tion par parties de la caractéristique angulaire du coefficient de
capacité lié à chacune des phases statoriques (figure 9). Cela est une
approximation qui ne tient pas compte des effets de bord. D’autre
part, nous supposons que la capacité varie linéairement lorsque la
surface en regard des dents rotoriques et des plots statoriques varie
elle aussi linéairement. L’angle mécanique θm a pour origine la
position d’opposition du rotor par rapport au plot statorique ali-
menté. La capacité est donc constante pendant une durée
angulaire :
2 θ 1 = α r0 Ð β r0 Ð β s0
autour de la position d’opposition et pendant :
θ 3 = max ( β r0 , β s0 ) Ð min ( β r0 , β s0 )
autour de la position de conjonction. Elle évolue linéairement
pendant des périodes de longueur θ 2 = min ( β r0 , β s0 ) .
C11 C11
Cc Cc
Co Co
θ1 θ2 θ3 θ2 θ1 θm θ1 θ2
T1 plot T1 plot
θ2 θm α r° / q
a cas min (β r°, β s°) < α r° / q b cas min (β r°, β s°) > α r° / q
Figure 9 – Première modélisation des caractéristiques angulaires
de C11 et T1
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Pour cette modélisation, nous avons besoin d’estimer les valeurs
de la capacité pour les positions de conjonction C c et d’opposition
C 0. Pour la position de conjonction, nous supposons que le champ
électrique est équivalent à celui créé par un condensateur plan
infini. Pour cela, il faut que l’entrefer e soit petit par rapport aux
dimensions des surfaces rotoriques et statoriques en regard, c’est-
à-dire r min ( β r0 , β s0 ) et l. Dans ce cas, la capacité C c a pour expres-
ε rl
sion C c = ------- min ( β r0 , β s0 ) . En ce qui concerne la capacité C 0 nous
e
supposons qu’elle est négligeable par rapport à C c.
Dans le cas d’une alimentation en pas à pas, chaque phase est
alimentée dans la partie croissante de la capacité (figure 9). Deux
cas de figure se présentent.
■ Si la durée angulaire de croissance de la capacité,
θ 2 = min ( β r0 , β s0 ) , est plus petite que la durée angulaire disponible
pour alimenter chaque phase, α r0 ⁄ q (q étant le nombre de phases
du moteur), alors chaque phase est alimentée pendant la durée
angulaire θ 2 = min ( β r0 , β s0 ) . Les caractéristiques angulaires de
couple ne se recouvrant pas, ce moteur présente des ondulations de
couple qui dégradent sa valeur moyenne donnée par l’expression :
Ns Nr ε rl
〈 T 〉 = ------------- V 2 ------- min ( β r0 , β s0 )
4π e
où Ns = pq,
p étant le nombre de plots par phase.
■ Dans le cas contraire, chaque phase étant alimentée pendant la
durée angulaire α r0 ⁄ q inférieure à θ 2 = min ( β r0 , β s0 ) , les caracté-
ristiques de couple se chevauchent, éliminant ainsi les ondulations.
Le couple moyen développé est maximal et vaut :
V 2 ε rl
〈 T 〉 = p ------- -------
2 e
■ Ainsi, nous voyons qu’il est possible d’optimiser la structure du
moteur pour maximiser le couple moyen. À partir des expressions
présentées précédemment et en tenant compte du fait que
β s0 < α s0 , β r0 < α r0 et β s0 < α r0 Ð β r0 (l’angle interdentaire rotorique
doit être supérieur à l’angle dentaire statorique pour que la capacité
à la position d’opposition soit faible), nous obtenons l’expression du
couple moyen optimal que l’on peut obtenir en fonction de β r
(figure 10).
θ3 θ2 θ1 θm
<Topt>
Tmax
θm
0 βr
1/q 1 – (1 / q) 1
Tmax = pV 2 ε r l/2e
Figure 10 – Couple moyen optimal en fonction de β r
D 3 770 − 9
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ple d’une phase n’est pas constant mais varie linéairement en fonc-
C11 tion de l’angle mécanique (figure 11).
Cc Ce phénomène se traduit à nouveau par un non-chevauchement
des caractéristiques angulaires, et donc par l’apparition d’ondula-
tions de couple. Pour diminuer au maximum ces ondulations et aug-
menter le couple moyen, il faut élargir le plus possible la zone
Co
durant laquelle la capacité est croissante. Il faut donc maximiser
min ( β r0 , β s0 ) tout en gardant toujours les angles β r0 et β s0 tels
que :
θm
α r0 ⁄ q < β r0 < α r0 ( 1 Ð 1 ⁄ q )
T1 plot
et α r0 ⁄ q < β s0 < min [ α s0 , α r0 ( 1 Ð β r ) ] .

Les zones dans lesquelles il faut rechercher le maximum de

min ( β r0 , β s0 ) apparaissent en bleu (figure 12).
D’après cette seconde étape de modélisation, le minimum
d’ondulation avec le maximum de couple moyen est obtenu pour
θm les deux configurations suivantes :
Ns
Figure 11 – Deuxième modélisation des caractéristiques angulaires — si ------ < 2
de C11 et T1 Nr
α0
alors β r0 = β s0 = ------r-
2
Le maximum de couple moyen correspond à une configuration
telle que : Ns
— si ------ > 2
Nr
α r0 ⁄ q < β r0 < α r0 ( 1 Ð 1 ⁄ q )
alors β s0 ≈ α s0
et α r0 ⁄ q < β s0 < min [ α s0 , α r0 ( 1 Ð β r ) ] . et α s0 < β r0 < α r0 Ð α s0
Dans ce cas, l’alimentation des plots statoriques est faite pendant
la durée angulaire maximale α r0 ⁄ q et le couple total du moteur est Contrairement au cas des moteurs électromagnétiques pour
constant et égal à : lesquels il faut garder une place pour les bobinages, la valeur de
α s0 Ð β s0 peut être très faible. Il suffit, pour des questions d’isole-
Tmax = 〈T 〉 = pV 2ε rl /2e
ment électrique, de laisser un espace suffisant entre deux plots sta-
À la vue de ce résultat, différents angles rotoriques et statoriques toriques consécutifs et la configuration β s0 ≈ α s0 est envisageable.
peuvent fournir le même couple constant. Cependant, pour aller
plus loin, il est nécessaire de tenir compte des effets de bord pour
affiner le modèle.
4.4 Synthèse des règles
de dimensionnement
4.3.2 Deuxième approche

Le modèle présenté précédemment est basé sur la linéarisation
par parties de la capacité entre stator et rotor. En réalité, les change-
ments de pentes de cette caractéristique sont plus doux et l’on peut
considérer que, entre deux zones, la capacité varie comme le carré
de l’angle mécanique. Il y a donc des zones dans lesquelles le cou-
La méthode précédente nous conduit, dans le cas d’une alimen-
tation phase par phase, à quelques règles topologiques simples qui
permettent, à partir d’un cahier des charges donné, de définir la
géométrie optimale en terme de couple moyen maximal du micro-
moteur. Ces règles sont énoncées dans le tableau 2.

β s° β s° β s°

α s°
α r° (1 – 1 /q )
α s°

Optimum Optimum
α r° /2 α r° /2 α r° /2 Optimum

α s°

α r° /q α r° /q α r° /q

α r° /q α r° /2 α r° (1 – 1 /q ) β r° α r° /q α r° /2 α r° (1 – 1 /q ) β r° α r° /q α r° /2 α r° (1 – 1 /q ) β r°

Figure 12 – Choix optimal des angles β r0 et β s

0

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Tableau 2 – Synthèse des règles de dimensionnement Capacité

C11 (fF)
Paramètres Dimensionnement 4,5

e limite inférieure de technologie 4

, limite supérieure de technologie
3,5
r limite supérieure compte tenu de la place disponible
3
hr h r > r min ( β r0 , β s0 )
2,5
hs limite inférieure de technologie
q 3 2
p le plus grand possible avec p < r π/20 e 1,5
Ns pq
1
Nr 2 Ns /3
0,5
β r0 π/Nr
β s0 π/Nr 0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
Angle mécanique (°)

Le couple est inversement proportionnel à e et proportionnel à r Couple statique

et l. Ainsi, en fonction des limites technologiques, l’entrefer e le plus (pN.m)
faible et la longueur l la plus grande doivent être choisis alors que le 80
rayon r doit être le plus grand possible compte tenu de la place
disponible après déduction de l’encombrement des connexions. 60
La valeur de la hauteur des dents rotoriques h r n’apparaît pas
dans la modélisation mais elle intervient en fait dans la valeur de la 40
capacité d’opposition C 0 : cette capacité diminue avec h r et tend
vers une limite pour r min ( β r0 , β s0 ) ⁄ h r = 1 . La hauteur des dents 20
rotoriques h r doit donc être telle que h r > r min ( β r0 , β s0 ) .
0
La hauteur des dents statoriques h s n’intervient pas non plus
dans le modèle. Cependant, h s est choisi faible afin de minimiser – 20
l’encombrement du moteur et les capacités entre deux plots stato-
riques consécutifs. Ce point est différent du cas magnétique dans – 40
lequel les dents statoriques doivent être suffisamment longues afin
de disposer d’assez de place dans les encoches. – 60
Les paramètres restant à déterminer sont le nombre de dents
rotoriques N r et le nombre de plots statoriques Ns. Une première – 80
étape consiste à choisir le nombre de phases q. Pour un moteur à 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
denture symétrique, q doit être supérieur ou égal à 3. En effet, avec Angle mécanique (°)
une seule phase, le moteur ne peut produite un couple positif que
Figure 13 – Calcul du coefficient de capacité C11 et du couple T1
sur une demi-période électrique au maximum et, avec deux phases,
pour β r = 1/3 − simulation par éléments finis (points), modèle
le couple total est nul pour certaines positions. Afin d’éviter d’avoir
analytique (lignes)
une alimentation trop compliquée, on choisit rarement un nombre
de phases supérieur à 3. Le choix q = 3 paraît donc simplifier l’ali-
mentation tout en conduisant à un couple correct (pas de passage
par zéro). Pour q = 3, le rapport N s / N r peut être égal à 3, 3/2, 3/4, 4.5 Illustration
3/5... Pour un rapport N s / N r égal à 3, la durée angulaire de crois-
sance de la capacité est β s0 qui est très proche de α s0 mais toujours
Pour illustrer notre propos et valider notre approche par rapport à
inférieur. Cette durée étant inférieure à α r0 ⁄ 3 , il y aura inévitable- d’autres méthodes de calcul, nous avons comparé nos résultats
ment une ondulation de couple. Par contre, pour les autres rap- avec ceux issus d’un code de calcul des champs par éléments finis
en 2D (figures 13 et 14). Ces résultats concernent deux structures
ports N s / N r, la durée de croissance étant β r0 = α r0 ⁄ 2 , il n’y a pas de micromoteur, l’une optimisée dans le choix de l’angle β r, l’autre
de problème d’ondulation de couple. Afin que l’hypothèse du con- non, les autres grandeurs étant communes (N s = 6, N r = 4,
densateur plan soit satisfaite et donc que la capacité Cc soit maxi- r = 250 µm, e = 3 µm, l = 10 µm, β r0 = β s0 ).
π Ns Ces courbes permettent de montrer la bonne adéquation entre les
male, il faut que r β r0 = r ------- ------ >> e . Il faut donc un rapport N s / N r résultats du modèle purement analytique et ceux de la simulation
pq N r
par éléments finis. D’autre part, on constate bien que le moteur pour
le plus grand possible. Pour cette raison le rapport 3/2 est choisi.
lequel les angles ont été optimisés (β r = 1/2) permet effectivement
Afin de déterminer N s et N r, il reste à choisir le nombre p de plots
d’avoir un couple de démarrage égal au couple maximal (pas
par phase (Ns = pq = 3p ; N r = 2Ns /3). Le nombre de plots p doit être d’ondulations).
le plus grand possible de façon à avoir un couple maximal tout en
L’intérêt de l’approche présentée dans cet article réside dans le
restant dans l’hypothèse du condensateur plan r β r0 > 10 e , c’est- fait qu’elle est analytique et qu’elle ne nécessite que très peu de
à-dire p < r π /20 e. calculs. La limite pour l’utilisation de cette modélisation est la même

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Capacité Couple moteur

C11 (fF) (nN.m.m–1.V –2)
20
7
18
72/48
6
16
66/44
5 14

12 60/40
4

10 54/36
3
8 48/32
2
42/28
6
1 36/24
4 30/20
24/16
0 2 18/12
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 12/8
6/4
Angle mécanique (°) 0
0 50 100 150 200 250
Rayon rotorique (µm)

Couple statique
(pN.m)
80
Figure 15 – Évolution du couple moyen optimal en fonction du rayon
60 pour un entrefer de 1,5 µm

40

20 5. Simulation du
0
comportement dynamique
– 20

– 40 Il s’agit dans ce dernier paragraphe d’étudier le comportement

dynamique d’un micromoteur « en situation », en essayant de tenir
– 60
compte aussi fidèlement que possible de la nature de la charge
– 80 mécanique entraînée ainsi que des frottements secs et visqueux
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 soumis au rotor.

Angle mécanique (°)

Figure 14 – Calcul du coefficient de capacité C11 et du couple T1

pour β r = 1/2 − simulation par éléments finis (points), modèle
5.1 Modèle électromécanique
analytique (lignes)

5.1.1 Équations électriques

que pour les programmes de simulation en deux dimensions : il faut
que la longueur l du moteur soit plus importante que l’entrefer e afin
de pouvoir négliger les effets de bords suivant la troisième dimen-
sion, qui ne sont pris en compte dans aucun de ces deux cas.
Ainsi, pour un cahier des charges donné en termes d’encom-
brement maximal (micromoteur et plots de connexions), nous
avons calculé [14] le couple moyen optimal que peut développer un
micromoteur, en fonction du rayon rotorique, pour une valeur
d’entrefer fixée de 1,5 µm. Ces résultats (figure 15) indiquent éga-
lement le nombre de dents rotoriques et statoriques adapté à
chaque configuration. Ainsi, si l’on souhaite réaliser un micro-
moteur dont le rayon rotorique est de l’ordre de 50 µm, la configura-
tion optimale conduit à une structure de type N s / N r = 12/8, déve-
loppant un couple moyen optimal de l’ordre de 1 nNm · m−1V−2.
Une telle structure a été réalisée et testée expérimentalement par
une équipe de recherche du Massachusetts Institut of Technologie
de Boston [15].
Le comportement électrique des structures électrostatiques peut
être explicité par des relations de linéarité entre les potentiels et les
quantités de charges sur tous les conducteurs en présence. Les
coefficients intervenant dans ces relations sont, exclusivement,
fonction de la géométrie du système et de la nature du matériau dié-
lectrique entre les conducteurs. Considérons le cas de la machine
représentée sur la figure 16 où chaque électrode i est maintenue à
un potentiel U i par l’intermédiaire d’une source de tension exté-
rieure V i en série avec une résistance R i. Le vecteur des quantités
de charges [Q (t )] est relié au vecteur des potentiels sur chaque élec-
trode [U (t )] par la relation matricielle :
[Q (t )] = [C (θ(t ))][U (t )]
où [C (θ(t ))] représente la matrice des coefficients de capacité et
d’influence. Ces coefficients dépendent de la position angulaire θ du
rotor par rapport au stator.

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charge mécanique), l’équation donnant la réponse dynamique du

Y (µm) rotor s’écrit :
d
J ----- Ω ( t ) = T élec ( t ) Ð T visq ( t ) Ð T sec ( t )
60 dt
55 où Ω (t ) représente la vitesse angulaire du rotor, J le coefficient
d’inertie du rotor, Télec (t ) le couple électrique, Tvisq (t ) et Tsec (t ) les
50
couples résistants dus aux frottements visqueux et secs.
45
Le calcul du coefficient d’inertie J se fait facilement à partir des
40 dimensions géométriques du rotor et de la masse volumique du
35 matériau qui le compose (2,3 · 103 kg · m−3 pour le silicium poly-
30 cristallin).
25 Le couple électrique Télec (t ) est calculé à partir de la dérivée angu-
laire de la coénergie électrique du système :
20
1 ∂
15 T élec ( t ) = --- [ U ( t ) ] t · ------ [ C ( θ ( t ) ) ] · [ U ( t ) ]
2 ∂θ
10
Les frottements visqueux sont supposés directement propor-
5
tionnels à la vitesse de rotation du rotor :
0 Tvisq (t ) = B · Ω(t )
5 15 25 35 45 55 65
X (µm) B étant déterminé à partir des dimensions géométriques de la struc-
ture et du coefficient de viscosité de l’air [7]. Pour une vitesse de
Module du champ électrique E (V/m) rotation donnée, le couple résistant dû aux frottements secs est
sensiblement proportionnel à la réaction normale qui s’exerce au
point de frottement entre le rotor et le substrat et entre le rotor et
0.0 338310.0 676620.0 son axe de rotation. La réaction normale entre le rotor et le substrat
Figure 16 – Répartition du champ électrique pour une alimentation est due au poids du rotor lui-même mais surtout à une force élec-
de 1V trique axiale générée par une polarisation parasite du rotor. Cette
polarisation parasite est d’autant plus importante que l’amplitude
de la tension d’alimentation est grande. La réaction normale entre le
rotor et l’axe de rotation, due au décentrage du rotor par rapport à
La loi d’Ohm permet d’établir une relation de linéarité entre le l’axe, est également d’autant plus importante que l’amplitude de la
vecteur des potentiels d’alimentation [V (t )] et le vecteur des tension d’alimentation est grande.
courants [I (t )] dans chaque résistance. En notant [R ] la matrice des
résistances en série, on a : Le couple résistant dû aux phénomènes de frottement sec peut
donc être estimé de la façon suivante :
[V (t )] = [U (t )] + [R ] [I (t )]
Tsec (t ) = (c1 + c2U 2) · sign (Ω(t ))
Les courants s’expriment en fonction des charges par :
Cette modélisation des frottements secs fait apparaître un terme
constant, c1, prenant en compte le poids du rotor que l’on calcule
d
[ I ( t ) ] = ----- [ Q ( t ) ] facilement à partir de sa géométrie et de la masse volumique du
dt matériau qui le compose. Il apparaît également un terme fonction
du potentiel d’alimentation au carré, c2U2, prenant en compte les
En combinant les trois équations précédentes, on obtient une efforts axiaux et radiaux auxquels est soumis le rotor et qui peuvent
équation matricielle différentielle qui régit le comportement élec- être estimés analytiquement à partir des relations générales de
trique du moteur : l’électrostatique [7].
d Le comportement dynamique du rotor est donc entièrement
----- [ Q ( t ) ] = [ R ] Ð1 [ V ( t ) ] Ð [ R ] Ð1 [ C ( θ ( t ) ) ] Ð1 [ Q ( t ) ] décrit par l’équation :
dt
d
L’ordre de la matrice [C (θ(t ))] est fonction du nombre total d’élec- J ----- Ω ( t ) = T élec ( t ) Ð B
trodes et du type d’alimentation. Pour une alimentation triphasée, il dt
apparaît trois groupements de conducteurs au stator et un groupe- · Ω ( t ) Ð ( c 1 + c 2 U 2 ) · sign ( Ω ( t ) )
ment au rotor et l’ordre de la matrice [C ] vaut quatre. Dans la
mesure où le rotor est constamment maintenu au potentiel zéro,
l’ordre peut être réduit à trois. 5.1.3 Modèle électromécanique global

L’étude du comportement dynamique d’une micromachine à

5.1.2 Équations mécaniques capacité variable est basée sur la résolution numérique du modèle
électromécanique établi précédemment et défini par le système
Comme nous l’avons vu au paragraphe 1, la conception même matriciel suivant :
des micromoteurs est assez rudimentaire d’un point de vue mécani-
que de sorte que les frottements de solides en contact jouent un rôle d
----- [ Q ( t ) ] = [ R ] Ð1 [ V ( t ) ] Ð [ R ] Ð1 [ C ( θ ( t ) ) ] Ð1 [ Q ( t ) ]
non négligeable sur le comportement dynamique de structures, sur- dt
tout aux instants de démarrage et d’arrêt du moteur. De plus, d
compte tenu des vitesses de rotation théoriques importantes que ----- Ω ( t ) = T élec ( t ) Ð B ? Ω ( t ) Ð ( c 1 + c 2 U 2 ) ? sign ( Ω ( t ) )
dt
peuvent atteindre ces micromachines [15] [16], les frottements vis-
d
queux dus au milieu fluide dans lequel évolue le rotor doivent être ----- θ ( t ) = Ω ( t )
pris en considération. Le couple résistant extérieur étant nul (pas de dt

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Le couple électrique Télec (t ) est calculé à partir de la connaissance

des tensions d’alimentation et de la matrice des coefficients de Angle rotorique (°)
capacité et d’influence. La matrice [R ] est une donnée du problème 15
et les paramètres mécaniques B, c 1 et c 2 sont soit calculés analyti-
quement, soit déterminés expérimentalement.
10
Pour une alimentation en tension [V (t )], les variables d’états du
système sont donc les quantités de charges [Q (t )], la vitesse angu-
laire [Ω (t )] et la position angulaire θ (t ). La résolution du système 5
repose sur la connaissance de la matrice des coefficients de capacité
et d’influence [C (θ (t ))] pour n’importe quelle position de θ. Cette
matrice peut être déterminée analytiquement à partir du modèle 0
présenté au paragraphe 4 ou à l’aide d’un code de calcul des
champs par éléments finis.
–5

–10
5.2 Illustrations
–15
5.2.1 Micromoteur étudié 0 50 100 150 200 250 300 350 400
Temps (µs)
a relevé expérimental
Pour illustrer nos calculs, nous avons simulé [7] le fonctionne-
ment dynamique d’un micromoteur réalisé par une équipe du MIT
[15], dont les données géométriques ainsi que les paramètres méca- Angle rotorique (°)
niques sont reportés sur le tableau 3. 15

10
Tableau 3 – Valeurs numériques des paramètres
géométriques et mécaniques du micromoteur 5
réalisé au MIT [15]
N s = 12 J = 2,2 · 10−20 Nm · rad−1 · s−2 0
Nr = 8 B = 2,2 · 10−16 Nm · rad−1 · s
e = 1,5 µm c 1 = 9,4 · 10−14 Nm –5

l = 2,2 µm c 2 = 1,3 · 10−16 Nm · V−2

– 10
r = 50 µm

– 15
0 100 200 300 400
5.2.2 Positionnement sur un pas Temps (µs)
b simulation
La figure 17 compare les oscillations du rotor lors du franchis-
sement d’un pas calculées par simulation et mesurées expérimenta- Figure 17 – Positionnement dynamique sur un pas
lement. Dans cet essai, on applique sur une des phases du moteur
un créneau de tension d’amplitude 95 V de façon à réaliser un pas
de déplacement. La similitude des résultats s’exprime bien sûr par extrêmement rapide du moteur qui peut atteindre une vitesse angu-
le choix des paramètres mécaniques déterminés à partir de l’expé- laire de l’ordre de 110 000 révolutions/seconde en quelques dizaines
rience. Cependant, les résultats de simulation proviennent éga- de microsecondes.
lement d’une prédétermination du modèle électrique du moteur par
calcul en 2D. Cela signifie qu’une modélisation en 2D du champ
électrique reste valable malgré la très faible épaisseur de la machine
(2 µm). Cet essai valide par conséquent la méthode d’étude retenue. 5.2.4 Fonctionnement dynamique établi

Le fonctionnement dynamique établi correspond à l’alimentation

5.2.3 Fonctionnement quasi dynamique
Nous abordons maintenant l’analyse du comportement fré-
quentiel du micromoteur commandé en boucle ouverte. Le fonc-
tionnement quasi dynamique correspond à l’accomplissement par
le rotor d’une série de pas à une fréquence suffisamment faible
pour que le processus d’oscillations soit pratiquement amorti au
commencement de chaque nouveau pas. La fréquence d’alimen-
tation électrique maximale, en fonctionnement quasi dynamique,
est alors fonction du temps d’amortissement des oscillations du
rotor et vaut, pour ce moteur, 1 333 Hz. La figure 18 montre un
fonctionnement quasi dynamique pour une fréquence de 1 000 Hz et
une amplitude de tension de 100 V. On mesure ici la dynamique
de la machine par des fréquences quelconques de manière à opérer
divers fonctionnements (démarrage, variation de vitesse, etc.).
Nous avons simulé un démarrage correspondant à une accéléra-
tion constante de la machine jusqu’à une vitesse de rotation de
300 000 révolutions/seconde définissant un régime permanent
(figure 19). L’accélération est assurée en imposant une rampe de
fréquence d’alimentation en fonction du temps. Lorsque la fré-
quence augmente, les oscillations de la vitesse diminuent et le fonc-
tionnement se rapproche alors de celui d’une machine synchrone.
Lorsque l’on augmente encore la fréquence d’alimentation, il y a
perte de synchronisme. Cette vitesse de rotation maximale vaut
380 000 révolutions/seconde pour la structure étudiée. Cette
dernière étude met donc en évidence les aptitudes possibles de ces

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__________________________________________________________________________________ MICROMOTEURS ÉLECTROSTATIQUES À CAPACITÉ VARIABLE

Tension (V) Tension (V)

100 100

50 50

0
0
0 0,5 1
Temps (µs) 0 1 2 3
Temps (µs)
a tension d'alimentation
a tension d'alimentation
Vitesse angulaire
Vitesse angulaire (en 105 tr / min)
(en 105 tr / min)
4
2

1 2

0 0

–1 –2
0 0,5 1 0 1 2 3
Temps (µs) Temps (µs)
b vitesse angulaire b Vitesse angulaire

Position angulaire (°) Position angulaire (°)

40 3 000

2 000
20

1 000

0
0

– 20 - 1 000
0 0,5 1 0 1 2 3
Temps (µs)
Temps (µs)
c position angulaire c position angulaire
Couple
(en 10-10 N.m) Couple (en 10 –10 N.m)
0,2
0,2

0,1 0,1

0,0 0

– 0,1 – 0,1

– 0,2
– 0,2
0 0,5 1
0 1 2 3
Temps (µs) Temps (µs)
d couples d couples
couple électrique couple de frottement sec
couple électrique
couple de frottement sec couple de frottement visqueux
couple de frottement visqueux Figure 19 – Démarrage progressif par une rampe de fréquence
jusqu’à 40 kHz
Figure 18 – Réponse quasi dynamique pour fe = 1 000 Hz

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MICROMOTEURS ÉLECTROSTATIQUES À CAPACITÉ VARIABLE __________________________________________________________________________________

micromoteurs pour des applications qui requièrent de très grandes
vitesses comme le perçage ou le rabotage à l’échelle micronique!
6. Conclusion et perspectives
Les microsystèmes sont définis comme étant des systèmes
miniaturisés qui assurent plusieurs fonctions telles que la percep-
tion de l’environnement, la mise en forme, le traitement et la trans-
mission des données, une prise de décision et une action sur
l’environnement. Dans des domaines d’application comme, par
exemple, l’ingénierie de la santé, l’automobile, l’espace, les télé-
communications, etc., les avantages liés à la miniaturisation sont
nombreux : diminution de la consommation de l’énergie, accroisse-
ment des fonctionnalités, utilisation de matériaux nobles, etc. Si la
faisabilité de plusieurs approches technologiques a été démontrée,
la filière silicium offre cependant la possibilité de réaliser une inté-
gration très poussée des dispositifs et d’en réduire les coûts par la
mise en œuvre de méthodes de fabrication collectives. Le concept
de « microsystèmes intégrés » prend alors tout son sens. Les réali-
sations spectaculaires, ces dernières années, de différents capteurs
(jauges de contraintes, sondes de température, détecteurs optiques,
etc.) et micromoteurs micro-usinés sur silicium sont là pour en
témoigner.
Même si certaines réalisations sont déjà passées au stade indus-
triel (capteur d’accélération pour Air-Bag par exemple), les travaux
présentés dans cet article restent encore du domaine de la recher-
che. Les processus technologiques de fabrication doivent être amé-
liorés et les lois physiques et comportementales à l’échelle
micronique étudiées (microtribologie, etc.). De plus, il est encore
très difficile, aujourd’hui, de réaliser des chaînes cinématiques
complexes mettant en œuvre des engrenages, de façon à récupérer
le mouvement de rotation produit par un micromoteur.
L’avenir des microtechnologies semble très prometteur et il est
fort probable que dans quelques années, elles auront profondément
changé le paysage industriel en conception et réalisation des systè-
mes électroniques intégrés.

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Micromoteurs électrostatiques
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