Documente Academic
Documente Profesional
Documente Cultură
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Ni Cu Zn Sn
20-Oct-11 Al2O3Sample1 (F573) 20-Oct-11
Center 630 130 2900±200 170±17 8 144±11 2 <0.6 1.1 1.3 36±3 45 3 6±0.7
30,-30 970 150 3150±200 880±60 9 40±5 3 <0.6 1.5 1.2 14±0.9 12.4 1.1 2±0.6
-30,30 1900 90 2600±200 245±20 10 44±5 3 <0.6 1.3 1.1 14±0.9 12.6 0.9 1.8±0.6
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn Sn
1-Sep-11 Al2O3 RT-009-2113 1-Sep-11
Center 1700~ 246±19 1600±100 340±20 <5 6.4±1.2 2.6±0.5 <0.6 <0.4 <0.7* 11.6±0.8 <0.2 0.8±0.2 2.6±0.3
30,-30 1650~ 290±20 2000±120 290±19 <5 <5* 1.5±0.4 <0.6 <0.4 <0.3 14±0.9 <0.2 <0.5* 1.6±0.2
-30,30 1860~ 290±20 2100±130 390±20 <5 5±1.1 2.4±0.5 <0.7* <0.4 <0.8* 14±0.9 <0.3 <0.3 0.8±0.2
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
22-Aug-11 Al2O3 RT-106-6909 22-Aug-11
Center 320~ 92" 520±30 320±20 <5 <5 2±0.5 <0.6 0.8±0.2 <0.6* 4.9±0.4 <0.2 <0.4* 1.8±0.2
30,-30 410~ 97" 480±30 330±20 <5 <5 2±0.5 <0.6 0.5±0.2 <0.4 2.9±0.3 <0.2 <0.3 1.1±0.2
-30,30 470~ 104" 540±30 320±20 <5 <5* 2.2±0.5 <0.6 <0.4 <0.5* 2.6±0.3 <0.2 <0.3* 0.4±0.2
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
16-Aug-11 Al2O3 RT-106-4813 16-Aug-11
Center 330~ 65" 470±30 300±20 <5 <5 1.7±0.4 <0.6* <0.4 <0.4* 7.4±0.5 <0.2 1.1±0.2 3.7±0.3
30,-30 380~ 117" 390±30 295±19 <5 <5 <0.9 <0.6 <0.4 <0.4 4.2±0.3 <0.2 <0.3 0.6±0.2
-30,30 340~ 80" 420±30 360±20 <5 <5 1.3±0.5 <0.6 <0.4 <0.5 5.6±0.4 <0.2 <0.3 <0.4
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
5-Aug-11 Al2O3 RT-106-4817 5-Aug-11
Center 330~ 106" 500±30 330±20 <5 <5 1.9±0.5 <0.6 <0.4 <0.7* 6.3±0.5 <0.2 <0.4* 1.2±0.2
30,-30 400~ 120" 430±30 400±30 <5 <5* <1.6^* <0.6 <0.4 <0.4 4.8±0.4 <0.2 <0.3 <0.4
-30,30 380~ 130" 460±30 450±30 <5 <5* <1.5^* <0.6 <0.4 <0.9* 6.1±0.5 <0.2* 1.0±0.1 1.2±0.2
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
23-Jul-11 Box 1 slot 1 23-Jul-11
Center <412 <150 1270±80 100±8 <3 23±2 <1.1 <0.8 <0.5 <0.4 2.2±0.3 <0.3 0.4±0.2 7.7±0.6
PEREGRINE SURVELLIANCE LOG: METALLIC IMPURITIES
Date X (mm) Y (mm) W-Lb1 Al Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Sn Date Location
Spec < 1000 E10 < 5E10 < 500 E10 < 5E10 < 5E10 < 5E10 < 5E10 < 5E10 < 5E10
30,-30 <298 <170 1300±80 113±9 <3 20±2 1.8±0.6 <0.7 <0.5 <0.4 2.8±0.3 <0.3 <0.5 6.9±0.5
-30,30 <429 <160 1870±110 123±9 <3 18±1.9 <1.1 <0.7 <0.5 <0.4 4.8±0.4 <0.3 1.9±0.2 7±0.5
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
15-Jul-11 Box 2 slot 2 15-Jul-11
Center <372 <120 450±30 95±8 <3 <2 <1.9* <0.6 <0.4 <0.3 1.4±0.2 <0.3 <0.3 <0.4
30,-30 <278 <80 440±30 90±8 <4 9±1.4 2.3±0.5 <0.6 <0.5 <0.4 1.7±0.2 <0.3 <0.3 <0.5
-30,30 <488 180±16 630±40 133±10 <3 <3 <1.1 <0.7 <0.5 <0.4 4.5±0.4 <0.3 1.2±0.2 4.3±0.4
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
15-Jun-11 Slot 25 15-Jun-11
Center <223 <60 600±40 265±17 <2 4.5±0.9 1.0±0.4 <0.5 <0.4 <0.3 0.5±0.1 <0.2 <0.3 <0.4
30,-30 616 <90 660±40 300±19 <2 7.4±1.1 <0.8 <0.5 <0.4 <0.4 20±1.3 <0.2 <0.3 1.1±0.2
-30,30 1058 <62 690±40 400±30 <3 110±7 6±0.7 <0.6 <0.4 0.6±0.2 10±0.7 <0.2 0.5±0.1 3.4±0.3
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
1-Jun-11 slot 1 RT-008-0669 1-Jun-11
Center <579 114 750±50 330±20 <2 16.4±1.5 <1.1 <0.5 <0.4 <0.3 3±0.3 <0.2 0.6±0.1 3.5±0.3
30,-30 688 164 850±50 290±19 <2 14±1.4 <0.8 <0.6 <0.4 <0.3 0.35±0.4 <0.2 <0.3 3±0.3
-30,30 <803 <210 1200±70 280±18 <3 16±1.6 <0.9 <0.6 <0.4 <0.3 6.6±0.5 <0.3 <0.6 3±0.3
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
19-May-11 RT-103-1261 19-May-11
Center <504 900±60 280±19 290±19 <2 213±13 1.9±0.5 <0.6 <0.7 24.5±1.6 75±5 <0.4 <0.3 1.8±0.2
30,-30 <504 1000±60 264±18 240±16 <3 166±10 2.8±0.5 <0.6 <0.5 4±1.5 114±7 <0.3 <0.3 1.9±0.2
-30,30 <526 1200±70 350±20 215±14 <3 150±10 3.8±0.6 <0.6 <0.8±0.3 28±1.8 138±8 <0.2 <0.3 2.7±0.3
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
5-May-11 slot 1 5-May-11
Center <300 <42 350±20 250±17 <3 <2 <1 <0.6 <0.4 <0.3 1.6±0.2 <0.4 <0.3 <0.4
30,-30 <370 85±11 640±40 410±30 <3 <2.4 <0.9 <0.7 <1.1 <0.3 1.3±0.2 <0.3 <0.3 <0.5
-30,30 <343 66±9 480±30 234±16 <3 <2 <0.6 <0.7 <0.4 <0.4 1.4±0.2 <0.2 0.4±0.2 1.0±0.2
Wafer Si+ P+ S Cl K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Cu Zn
19-Apr-11 slot 25 19-Apr-11
Center 1000 <136 930±60 560±40 <3 <2 <1.4 <0.6 <0.7 <0.4 17.5±1.2 <0.3 <0.4 0.8±0.2
30,-30 1050 260 115070 420±30 <3 12±1.6 <1.0 <0.7 <0.5 <0.4 18.5±1.2 <0.3 <0.4 1.1±0.2
-30,30 1020 340 108070 210±14 <3 12.6±1.5 <0.9 <0.6 <0.6 <0.3 26.4±1.7 <0.3 <0.3 1.4±0.2