Desarrollo de una Plataforma de

Fabricación y Estudio de Dispositivos

para Microfluı́dica

Gabriel Furtado Paes

Universidad de Buenos Aires

Facultad de Ingenierı́a
Buenos Aires
11 de Abril de 2016
 ii

Resumen
En este trabajo se presenta en detalles el desarrollo y construcción de una plataforma de
litografı́a óptica por barrido para la fabricación rápida de microestructuras directamente hi-
drofı́licas en NOA60 y NOA84, polı́meros fotocurables por luz UV. Este método provee una
alternativa al método tradicional que utiliza PDMS como matriz, permitiendo más rapidez
en desarrollos de prototipos y un bajo costo de inversión e operativo.
En este trabajo se logró producir microcanales desde 20 hasta 140micrones de altura, utili-
zando 3 métodos de producción distintos: El primero se basa en imprimir de forma negativa
el canal o la microestructura en una plataforma de vidrio y luego utilizarlo como molde para
la impressión en PDMS. El segundo y el tercero se diferencian en la etapa de cerrado del
canal, uno se utiliza una tapa de vidrio con los agujeros de entrada y salida previamente he-
chos con base en el dibujo CAD, y el otro es cerrado con una pieza en PDMS lisa, utilizando
tratamiento supercifial con plasma para mejorar la adhesión y la hidrofilicidad del PDMS.
Al final se puso en prueba los microcanales producidos y se levantó data sobre la velocidad de
avance del liquido en los distintos canales y la relación con el angulo de mojado equivalente
de cada uno.

Palabras clave: microfluidica, lab-on-a-chip, NOA60, hidrofilicidad.

Contenido
Resumen II

1. Introducción 1
1.1. Introducción a la Microfluidica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.2. História de la Microfluidica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.3. Microfabricacion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2. Objetivos 8
2.1. Antecedentes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.2. Objetivos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

3. Aparato Experimental 14
3.1. Cambios iniciales en la PMF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.2. Seleción de la Resina . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.3. Spin Coating y Control de Altura . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.4. Enfoque . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.5. Potencia del Láser, Energı́a de Polimerización y Control de Resolución . . . 19

4. Procedimientos 22
4.1. Alineación, Calibración y Enfoque . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
4.1.1. Unidades de translación vertical y horizontal . . . . . . . . . . . . . . 22
4.1.2. Sistema Óptico . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
4.1.3. Enfoque . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
4.2. Protocolo de fabricación . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
4.2.1. Microcanales sellados con PDMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
4.2.2. Microcanales sellados con substratos vidrio . . . . . . . . . . . . . . . 28
4.2.3. Moldes para fabricación en PDMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

5. Resultados y Conclusiones 30

Bibliografı́a 35
1 Introducción
El presente trabajo representa una parte inicial de un proyecto de investigación llevada a
cabo en el marco de una tesis doctoral en ingenierı́a mecánica, realizada en el laboratório de
fotónica y en el laboratório de fluidodinámica de la Facultad de Ingenierı́a de la Universidad
de Buenos Aires.
Entre los objetivos del proyecto estan el estudio experimental del fenomeno de electrosmosis
para control de flujos en la escala micoscopia utilizando circuitos integrados de lab-on-a-
chip. En esta primera parte se busca desarrollar una tecnica alternativa de producción de
microcanales, que sea menos custosa y más rápida que el método tradicional, que utiliza de
una sala limpia y procesos muy lentos y onerosos.

1.1. Introducción a la Microfluidica

La microfluı́dica es un campo de la ciencia dedicado al estudio y manipulación de fluidos
en redes de canales del orden de las decenas o centenas de micrómetros, llamados micro-
canales. En los microcanales fluye un volumen tı́pico de fluido que puede estar en el rango
desde del microlitro (10−6 ) hasta el picolitro (10−12 ), lo que es una gran ventaja presentada
por el surgimiento por los dispositivos de microfluidica: la posibilidad de trabajar con bajas
cantidades de muestras y reactantes. Siendo un tema de investigación relativamente nuevo
(los mayores avances se dieron en los últimos veinte años) en la microfluı́dica convergen dis-
tintas áreas de la fı́sica y de la quı́mica, y expone comportamientos fluı́dicos muy distintos a
los esperados para dimensiones macroscópicas. Esto permitió a los investigadores encontrar
aplicaciones de lo más variadas, desde el estudio de biologı́a molecular, análisis de ADN,
detección de enfermedades y sı́ntessis quı́mica hasta óptica y tecnologı́a de la informacı́on.Al
ser una ciencia en desarrollo todavı́a deben superarse varios obstáculos y dar importancia
sobre la elección de las aplicaciones y desarrollar las estrategias para completar el ciclo de
desarrollo, incluyendo la comercialización.

Una de las primeras aplicaciones de la tecnologı́a microfluı́dica fue para análisis molecular.
Esto radica en la ventaja que posee de trabajar con pequeñas cantidades de muestras y reac-
tantes. De ésta forma se puede llevar a cabo separaciones y detecciones con alta resolución y
sensibilidad, bajos costos, tiempos cortos, y permite además la reutilización de los dispositi-
vos de ensayo. Por otro lado, se ha descubierto que el riesgo al trabajar con bacterias tóxicas,
 2 1 Introducción

o inclusive sustancias explosivas, se reduce drásticamente mediante la miniaturización de la

escala de la reacción. Existen ciertos casos donde los sistemas microfluı́dicos son útiles he-
rramientas para investigadores biológicos. Por ejemplo, las células eucariotas al unirlas y
extenderlas, poseen dimensiones lineales de 10 − 100µm, con lo cual son aptas para sistemas
microfluı́dicos fabricados mediante PDMS, material con excelentes propiedades ópticas, baja
toxicidad, y permeable a dióxido de carbono y oxı́geno. Éste material a su vez permite ser
moldeado para obtener microcámaras para hacer crecer y observar células. Desde el punto
de vista biológico, la microfluidica es especialmente relevante considerando que la mayorı́a
de los procesos biológicos incluyen transporte de fluidos a pequeña escala en algún punto.
Ejemplos de esto van desde la transferencia molecular a través de membranas celulares, hasta
la difusión de oxı́geno en los pulmones, o el flujo de sangre en redes de arterias microscópicas.

La biotecnologı́a no solo se dedica al análisis in vitro, se está transformando para el trata-

miento médico in vivo. El impacto en este campo de estas nuevas tecnologı́as tiene muchas
ramificaciones: el monitoreo de órganos vitales en pacientes en riesgo será posible, las técni-
cas de miniaturización disminuirán las intervenciones dentro del cuerpo humano, micro y
nano-partı́culas funcionales podrán ayudar al guiado de drogas hacia sus objetivos dentro
del cuerpo. Las intervenciones in vivo se facilitan por la reducción del tamaño de los dispo-
sitivos, reduciendo a su vez la invasión de los sistemas de dosificación de drogas.

Además de mostrar la evidente ventaja de trabajar con menor cantidad de fluido, el flujo
se caracteriza por ser laminar con lo cual favorece ampliamente la capacidad de control y
manipulación de moléculas en tiempo y espacio. La difusión juega un rol muy importan-
te en dichas escalas. Por otro lado estos canales angostos disipan calor más eficientemente
por lo que se pueden utilizar mayores campos eléctricos disminuyendo el efecto adverso del
calentamiento por efecto Joule. Por ello, los ensayos requieren menos tiempo. En escala ma-
cromolecular, los fluidos se mezclan de forma convectiva; por ejemplo, la mezcla de leche
cuando se revuelve junto al café, o humo con aire al salir por una chimenea. Éste tipo de
mezclas se caracterizan por ser las fuerzas inerciales de mayor preponderancia que las fuerzas
viscosas. En cambio, en microsistemas, los fluidos no se mezclan convectivamente. Cuando
dos flujos se encuentran en un microcanal, éstos siguen su curso y fluyen en paralelo, sin
vórtices ni turbulencia, y la única mezcla existente es la debida a la difusión de moléculas a
través de la interfase de los lı́quidos [29]. A su vez, el flujo en microcanales forma la base de
nuevos sistemas ópticos, desde guı́as de ondas que comprende un lı́quido con alta refracción
en régimen laminar hasta aplicaciones en lentes y espejos de Bragg.

La utilización de pequeñas cantidades de fluido en los sistemas microfluı́dicos hizo posible la

1.1 Introducción a la Microfluidica 3

aplicación de un fenómeno hasta entonces poco explorado que pasa a tener un rol fundamen-
tal en los dispositivos de microfluı́dica, la electroosmosis. Flujo electroosmótico se denomina
a la utilización de campos eléctricos para gobernar el movimiento del fluido. Cuando un
lı́quido con iones en solución, por ejemplo agua, es puesto en un microcanal, se establece
una interacción entre los iones disueltos y la pared del canal. Dicha interacción fisicoquı́mica
da lugar a la polarización de la superficie, y ası́ se establece una concentración de iones en
las cercanı́as de la pared. La distribución de cargas mencionadas se denomina la doble capa
eléctrica (DCE). Al establecer un potencial eléctrico, los iones son puestos en movimiento, y
ése movimiento es transmitido al resto del fluido. El perfil de velocidades obtenido se deno-
mina tipo 0 enchuf e0 dado la forma plana que posee. Es decir, todos los puntos de la sección
se mueven a la misma velocidad, a diferencia del perfil parabólico de velocidades debido a
una diferencia de presión. La ventaja del perfil tipo 0 enchuf e0 radica en su aplicación para
la separación de especies iónicas, como se verá más adelante. A su vez, la utilización de un
campo eléctrico para la puesta en movimiento del fluido trae aparejado la ventaja de pres-
cindir de actuadores mecánicos, como bombas, válvulas, etc. Éstos son propensos a fallas y
poseen elevados costos de fabricación por su reducido tamaño.

Aparte de la manipulación de especies iónicas en solución (ej. cadenas proteicas, ADN), otra
aplicación con fuerte interés comercial es la manipulación de flujos multifase. Estos son la
manipulación de microburbujas y microgotas dispersos en un gas o lı́quido, lo cual conlleva
a la producción de partı́culas poliméricas, emulsiones y espumas. Las microgotas a su vez
sirven como compartimentos para estudiar reacciones orgánicas rápidas.

Finalmente, es posible integrar todos los pasos del análisis en un solo chip (cargado de la
muestra, lavado, reacciones, separación, detección, etc.). Esta integración reduce el contacto
humano, contaminación ambiental, tiempo de análisis. En estos dispositivos (LOC: lab on a
chip), esta integración reduce enormemente el costo por análisis, permitiendo además la pa-
ralelización de los estudios. También pueden integrarse a dispositivos de mano, permitiendo
los análisis en zonas de difı́cil acceso.

Un importante recurso que los microsistemas biotecnológicos encuentran en la microfluı́dica

reside en la automatización y streamlining de los procesos biológicos, como fue demostrado
en el biochip de ADN: el uso de microchips con miles de micro-reservorios (Wells)-cada una
para el análisis de una secuencia especı́fica de ADN- reduce considerablemente el tiempo ne-
cesario para el proceso de reconocimiento. Un chip como tal realiza muchas operaciones en
serie. De otro modo se necesitarı́an diferentes manipulaciones y mucho tiempo para obtener
el mismo resultado.

La Microfluı́dica se ha transformado en una tecnologı́a poderosa con muchas aplicaciones

relevantes en ciencias biológicas. Más de tres décadas de investigación han permitido un sin
 4 1 Introducción

número de técnicas que mejoran ensayos biológicos, tanto mediante la miniaturización de

métodos existentes, como mediante el desarrollo de nuevos métodos analı́ticos. Sin embargo,
existen razones por las cuales todavı́a la microfluı́dica no llega a tener alcance masivo aún
dentro del bioanálisis, su área de mayor aplicación. Una de las razones, por ejemplo, es la
preparación de la muestra. Muestras biológicas, en particular muestras clı́nicas (por ejemplo
sangre), son generalmente diluidas y complicadas. Por eso, antes de que estas muestras sean
analizadas con dispositivos microfluı́dicos, deben ser adecuadas a una forma compatible con
el análisis pretendido. Estas no siempre son posibles de ser llevadas a cabo en escala micro.
Otros inconvenientes que se presentan al trabajar en escalas tan pequeñas son la detección,
bombeo, válvulas, almacenaje de reactante, etc.

Se espera que en un futuro la microfluı́dica pueda ser una tecnologı́a práctica y comercial-
mente viable. A su vez, servirá como herramienta para aquellos quienes no son expertos en
la fı́sica de los fluidos; por ejemplo médicos, biólogos, oficiales de policı́a y hasta empleados
de la salud pública; para usos como monitoreo de salud pública, estudios ambientales y otras
aplicaciones médicas. Para ello se requiere de la inversión de corporaciones y empresas, para
que sea de uso masivo y económicamente viable.

1.2. História de la Microfluidica

La evolución de la microfluı́dica se puede analizar como consecuencia de cuatro ramas cientı́fi-
cas de estudio que se abocaron al desarrollo de ésta tecnologı́a, siendo estas; el análisis mo-
lecular, biodefensa, biologı́a molecular y microelectrónica [29].

La primera área de desarrollo fue el análisis molecular. Los orı́genes de la microfluı́dica des-
cansan sobre métodos microanalı́ticos: la cromatografı́a en fase gaseosa (GPC, Gas- Phase
Chromatography), la cromatografı́a lı́quida de alta eficiencia (HPLC, High- Pressure Liquid
Chromatography) y la electroforesis capilar (CE, Capillary Electrophoresis). Los métodos
mencionados revolucionaron, en formato capilar, el análisis quı́mico. Dado el éxito en las
aplicaciones antedichas, se incentivó el perfeccionamiento de éstos métodos hacia formatos
más versátiles y compactos.

La segunda área de desarrollo mencionada, biodofensa, fue al final de la guerra frı́a con el
aumento de la producción de armas quı́micas y biológicas de destrucción masiva. De manera
de oponerse a esta amenaza, la agencia de defensa para investigación de proyectos avanza-
dos (DARPA) del Departamento de Defensa de los Estados Unidos de América, apoyó una
serie de programas en la década del 90 con el objetivo de desarrollar detectores de amenazas
quı́micas y biológicas. Estos programas fueron un estı́mulo para el crecimiento de la tecno-
logı́a microfluı́dica.
1.2 História de la Microfluidica 5

La tercera fuente que propulsó la tecnologı́a fue gracias a la explosión de la genómica en

la década del 80, seguido por la llegada de otras áreas de microanálisis relacionadas a la
biologı́a molecular, como ser la secuenciación de alto rendimiento de ADN. Estos desarrollos
fueron potencialmente significativos en una amplia gama de tecnologı́as, como ser de análisis
de ADN o el transporte y detección de agentes quı́micos o biológicos. Desde el punto de
vista de la biotecnologı́a, los microchips permitieron reducir considerablemente los tiempos
requeridos para el reconocimiento de secuencias de ADN. Otra ventaja que aportan estos mi-
crocomponentes, es la reducción de los costos de análisis biológicos gracias a la baja cantidad
de reactantes que se requieren. Si bien los biochips siguen siendo costosos en su fabricación,
gracias a la evolución y estudio de materiales más económicos como vidrio o plásticos, se
espera una disminución notable del precio.

Por último, la cuarta contribución a microfluı́dica fue dentro de la rama de la microelectróni-

ca. El objetivo inicial era que la tecnologı́as satisfactoriamente utilizadas para la creación de
sistemas microelectrónicos (MEMS, micro-electromechanical systems), sean aplicables direc-
tamente para microfluı́dica. Fue debido a esto que los primeros dispositivos microfluı́dicos
fueron hechos de silicio y vidrio. Luego, éstos fueron reemplazados por materiales poliméri-
cos, por ejemplo el PDMS. Para muestras biológicas acuosas, la utilización de dispositivos
de vidrio y silicio son innecesarios e inapropiados.

Desde principios de la década del 90, se realizaron progresos significativos en el desarrollo

de dispositivos microfluı́dicos basados en tecnologı́as MEMS (micro- electromechanical sys-
tems). Éstos incluyen sistemas de bioanálisis, sensores de flujo, micro-válvulas y esquemas
de micro propulsión [4].

Dentro de la microfluı́dica, el bombeo electroosmótico surgió como alternativa a los compo-

nentes mecánicos que se requerı́an para la manipulación del fluido (bombas, válvulas, etc.).
Electroósmosis y electroforesis son clave en los procesos de transporte en una gran variedad
de aplicaciones bioanalı́ticas incluyendo electroforesis capilar, foco isoeléctrico y electrocro-
matografı́a capilar [19].

Por último, el estudio de microfluı́dica se vio fuertemente impulsado con la incorporación de

la técnica de velocimetrı́a micro-PIV. Desde la década de 1980, la velocimetrı́a por imagen de
partı́culas (PIV) se convirtió en un método popular para la medición de campos de velocidad
[24, 23, 30]. Meinhart et al. [22] fueron quienes presentaron mediciones PIV para flujos en
micro canales. A su vez, Herr et al. [13] investigaron el perfil de velocidades de flujos bajo
movimiento electrocinético con técnicas fluorescentes [14]. Actualmente ya existen técnicas
de micro-PIV para la obtención de campos de velocidades en tres dimensiones [16].
 6 1 Introducción

1.3. Microfabricacion
La introducción de sistemas miniaturizados para bioanalysis necesitó encontrar soluciones
adecuadas para la fabricación de sistemas microfluı́dicos [2, 3, 26]. En la literatura, canales
microfluidicos son fabricados utilizando una variedade de procesos y materiales, al princi-
pio, los microcanales eran fabricados utilizando silicona y vidrio [25]. Esta técnica presenta
algunas desventajas, primero por ser relativamente complexa, lenta y onerosa, también por
apresentar limitaciones para la geometria del canal debido al difı́cil manejo del vidrio (glass
wet etching). El Poly-dimethylsiloxano (PDMS) y el SU-8 son materiales que han ganado un
privilegiado status en el mundo de la microfabricación en los últimos años. El SU-8 es una
resina de fotocurado negativo desarrollada a principios de 1990 [8] y tiene una gran ventaja,
la alta capacidad de reproductividad para pequeñas dimensiones [20], una desventaja de la
resina seria la dificultad de separarla del molde (por ejemplo una oblea de silicio) cuando
terminada, por completo, la polimerización. Microcanales de PDMS ofrecen alta flexibilidad
y alta reproductividad cuando aplicado a alguna técnica con molde, por esta razón el PDMS
es uno de los materiales más utilizado en fabricación de microcanales [7]. Sin embargo el
PDMS es un material naturalmente hidrofóbico lo que dificulta su utilización con fluidos
acuosos (como es el caso de casi todos fluidos en el campo de la biologia), distintas alter-
nativas, como tratamientos superficiales con plasma, son propuestos en la literatura, pero
estos solo son capaces de reverter la hidrofobicidad del PDMS por un tiempo limitado [12, 27].

En los últimos años fue introducido un nuevo material a la franja de posibilidades para la
fabricación de microcanales, son llamados de optical adhesives y producidos por distintas
empresas en el mundo, las mas comunes para este tipo de aplicación son los NOA’s (Norland
Optical Adhesive) de la empresa Norland Optics, son resinas fotocurables con baja energı́a
de polimerización desarrolladas para pegar partes ópticas de precisión, este tipo de mate-
rial presenta una ventaja primordial en la fabricación de microcanales por ser naturalmente
hidrofı́lico. Muchos trabajos recientes han propuesto la utilización del NOA en reemplazo
al PDMS, utilizando las mismas técnicas con moldes que se aplicaban a la producción en
PDMS, logrando canales naturalmente hidrofı́licos y bajando mucho el tiempo de fabrica-
ción, gracias a la rápida polimerización del NOA [15, 21].

Los procesos de microfabricación que utilizan resinas fotocurables como el SU-8, PDMS o
NOA utilizan técnicas de fotolitografia. Es una técnica óptica para la transferencia de un
patrón a un substrato, los patrones deben ser binarios, es decir no puede transferirse grises,
ni color, ni profundidad a la imagen. El método de fotolitografia más utilizado actualmente
para la producción de microcanales es un método indirecto que se utiliza de un molde fabri-
cado a partir del patrón que se desea reproducir. El patrón es primeramente transferido a
una capa de polı́mero foto-sensible, lı́quida, depositada sobre el substrato. Luego se utiliza
el negativo creado como molde para la polimerización de otro substrato reproduciendo el
1.3 Microfabricacion 7

formato exacto del primero (Darling, 2013).

Los hitos más importantes en el desarrollo de ésta tecnologı́a pueden ser resumidos en los
siguientes

1826 Joseph Nicephore Niepce, en Chalon, Francia, toma la primer fotografı́a utilizando
bitumen de Judea en un plato de peltre, revelado usando aceite de lavanda y alcoholes
minerales.

1843 William Henry Fox Talbot, en Inglaterra, desarrolla gelatina dicromatada, patentado
en Gran Bretania en 1852.

1935 Louis Minsk de Eastman Kodak desarrolla el primer fotopolı́mero sintético, poly vinyl
cinnamato, la base para el primer negativo fotoresistente.

1940 Otto Suess de Kalle Div. de Hoechst AG, desarrolla el primer fotoresistente positivo
basado en diazoquinone.

1954 Louis Plambeck, Jr., de Du Pont, desarrolla la placa de tipografı́a polimérica dycryl.

Trabajos recientes proponen otro tipo de litografı́a para la producción de microcanales, un

método directo que emprega mascaras para delimitar áreas o lı́neas a serem polimeradas.
Las máscaras representan la codificación binária del curado, las partes opacas representan
donde no va ser curado y las partes transparentes indican donde va haber la polimerización
de la resina. Após el curado se lava el suporte y se elimina toda la resina no curada. Este tipo
de fabricación es mucho más rápido que la fabricación por medio de moldes y utiliza mucho
menos material. La limitación del método está en la impresión de la máscara en una hoje
de material transparente con resolución suficiente para la reproducción de las dimensiones
deseadas para el microcanal.
2 Objetivos
Tı́picamente el proceso de fabricación en litografı́a óptica consiste en múltiples etapas, co-
menzando por la elaboración de una máscara la cual se utilizará para transferir el diseño al
material final elegido para la estructura. Normalmente se emplean tecnologı́as de alto costo
en la fabricación de la máscara para posteriormente utilizarla en la producción masiva a
bajo costo. Esto mismo hace a estas técnicas idóneas para la producción a gran escala e
imprácticas para las etapas de prototipado o producción a muy baja escala. Este trabajo
tiene como objetivo el desarrollo de una plataforma unificada que permita realizar todas
las etapas de fabricación para las cuales actualmente se utilizan múltiples equipos, ası́ como
la análisis de la estructura creada, permitiendo esto acelerar los tiempo y simultáneamente
bajar los costos considerablemente. Se está buscando simplificar radicalmente la etapa de
desarrollo de los çhips”de microfluı́dica, obteniendo la capacidad de evaluar un dispositivo
fabricado, re-diseñarlo, re-fabricarlo y poder estar estudiando una versión mejorada en cues-
tión de horas o incluso minutos. Algo similar es completamente irrealizable con las técnicas
mencionadas anteriormente, las cuales por otro lado podrı́an llegar a ser de mayor utilidad
para la fabricación en cantidad, ya que a partir de una única mascara es posible fabricar
muchos dispositivos en paralelo, pero solo del diseño para la cual fue creada.

2.1. Antecedentes
La primera incursión en la fabricación de estructuras utilizando adhesivos foto-curables surge
en un trabajo presentado en el 2001 por un grupo de investigación Húngaro [10] en el cual se
utilizó un láser de dos fotones para crear y manipular rotores micrométricos a partir de NOA
63, una resina polimérica foto-curable por UV (figura 2-1). En dicho trabajo se demostró la
factibilidad del método para la fabricación de dispositivos mecánicos totalmente funcionales
y se estudió la dinámica de movimiento de algunos de ellos.

En 2008 un grupo francés [1] publicó un trabajo que proponı́a un método para fabricar sis-
temas de micro patrones en forma de adhesivo para el montaje y construcción de sistemas
microfluidicos en apenas pocos minutos. El método parte de un molde de PDMS del canal
a ser reproducido y a partir de este punto utiliza NOA 81 para la impresión del patrón en
una fina capa transparente de resina polimerizada que suele ser muy flexible y se adhiere
2.1 Antecedentes 9

Figura 2-1: Imagen del diseño y del rotor fabricado para una posición arbitraria (izq.) y
visto desde su eje de rotación (der). La ultima fotografı́a muestra el rotor en
movimiento al ser enfocado por el láser (IR 994nm, 20mW).[10]

optimamente al vidrio y al PDMS, funcionando como un adhesivo.

Dos años después un grupo Austriaco [28] publicó un trabajo proponiendo una serie de tra-
tamientos superficiales para el control de la mojabilidade de una superficie plomerizada de
NOA 81. Los tratamientos que van desde exposición a plasma de O2 hasta la dilución de
pequeñas cantidades de APTES (H2 N(CH2 )3 Si(OC2 H5 )3 ) al polimero antes del proceso de
curado, controlan efectivamente la mojabilidad de la superficie polimérica hasta por lo menos
40 dı́as.

El grupo que hoy esta sedeado en el Laboratorio de Fotónica de la Universidad de Buenos

Aires, en el cual se llevó a cabo el trabajo actual también viene colaborando con el avanzo
de la tecnologı́a de microfabricación a nivel internacional hace más de 10 años. En 2005, en
un trabajo conjunto entre McGill University y la Universidad de Buenos Aires [5], se empleó
un láser de pulsos ultracortos para excitación por dos fotones (Ti:Sa 750nm con pulsos de
100fs) para polimerizar la misma clase de resinas (NOA’s). En ese trabajo la inclusión de
colorantes en el compuesto no solo permitió la fabricación de objetos fluorescentes sino tam-
bién explotar un mecanismo no-lineal de curado con el cual se accedió, tiempo más tarde, a
escalas sub/micrométricas de fabricación. Este trabajo estuvo enfocado en la fabricación de
micro-estructuras fluorescentes y biocompatibles para microscopia de especı́menes vivos (ver
Figura 2-2.b). En los años siguientes, en otro trabajo se logró, optimizando las condiciones
de excitación, alcanzar escalas nanométricas en la fabricación [17]. En la Figura 2-2.c se
observa la topografı́a de una de dichas estructuras.

Siguiendo esta lı́nea de investigación, en el Laboratorio de Electrónica Cuántica (UBA) se

concluyeron en años recientes dos tesis doctorales [5, 18] en las cuales, explotando la no-
linealidad del proceso de percolación en compuestos formados por resinas foto-curables y
colorantes mencionada anteriormente, se logro vencer el lı́mite de difracción de la luz al
 10 2 Objetivos

Figura 2-2: Imágenes bicolor obtenidas en un microscopio láser de barrido, en verde se

observan neuronas del hipocampo de ratas sobre una grilla fluorescente con
ADS675MT para seguimiento y monitoreo.[5]

fabricar estructuras un 60 % más pequeñas que el haz que realizó el grabado, alcanzando
detalles de hasta 100nm [18].

Es importante comentar que en esta clase de desarrollos tı́picamente se utilizan microscopios

comerciales como soporte primario del sistema.

Durante el año 2012 la empresa Toklet S.R.L. se propuso impulsar el desarrollo de un equipo
autónomo especı́ficamente diseñado para la fabricación de micro-estructuras por litografı́a
óptica, inicialmente pensado para la fabricación de moldes para sellos de PDMS aunque fácil-
mente extrapolable a otras aplicaciones. A lo largo del siguiente año se finalizo este desarrollo
culminándose con la entrega del primero de estos equipos a un grupo de investigación en la
ciudad de Córdoba (Instituto de Investigación Médica ”Mercedes y Martin Ferreyra”).

Finalmente en 2014 en un trabajo publicado por A. Gortari [11], se presentan los últimos
logros a respeto del desarrollo de este tipo de tecnologı́a por grupos de la Universidad de
Buenos Aires. En aquel trabajo se construyó lo que serı́a el primero modelo de la platafor-
ma ya con muchas partes mecánica, ópticas y electrónicas en su forma final. La plataforma
construida por Gortari (Figura 2-3) conta con un laser monocromático que a través de
un sistema de traslación ejecuta el recorrido de un dibujo, previamente hecho en una plata-
forma CAD, y polimeriza una fina capa de resina (NOA) puesta sobre un substrato de vidrio.

Todas las partes ópticas y electrónicas están acopladas a un sistema de jaulas que permite
el fácil acoplamiento de nuevos módulos y facilita el alineamiento de todas las partes del
sistema. El recorrido del haz empieza en el diodo montado sobre el primero modulo del
sistema de jaulas y luego por una lente de colimación posicionada a pocos centimetros del
diodo. Una vez colimado, el haz empieza a viajar libremente a dentro del sistema de jaulas,
2.1 Antecedentes 11

Figura 2-3: Vista general de la plataforma básica para microfluı́dica proyectado por [11]. De
izquierda a derecha sobre el nivel inferior se puede observar la entrada del láser
acoplado a fibra, el detector 4Q y la cámara de vı́deo. En la parte superior se
puede observar el revólver de objetivos con un objetivo 10X en uso y el soporte
vertical motorizado para el substrato.
 12 2 Objetivos

Figura 2-4: Diagrama de conexiones de la plataforma. Las flechas indican el sentido del flujo
de datos o instrucciones.[11]

pasando por cada modulo y sus componentes ópticos. En el recorrido el haz es reflejado por
dos espejos, el primero dicroico y el segundo un espejo elı́ptico (en el transcurso de ida), el
espejo elı́ptico sirve para dirigir el haz al substrato y el dicroico para que la parte del haz que
se refleja en el substrato pueda llegar al sensor de una cámara que servirá para la etapa de
enfoque, alineación y medición del haz. En la etapa de alineación y enfoque del sistema en el
cual se agrega un divisor de haz para que el haz reflejado en el substrato llegue al detector
4Q, y a partir de las señales generadas por el detector se determina el punto de enfoque del
haz. Dicha técnica de enfoque fue desarrollada años antes por un trabajo de otro grupo de
la Universidad de Buenos Aires [6] y también se encuentra detallada en el trabajo de Gortari.

El sistema de control de la plataforma alcanzó su forma final en el marco del trabajo de

Gortari, y involucra básicamente la potencia del láser y las variables asociadas a la unidad
de traslación. La figura 2-4 ilustra el diagrama de bloque de dicho control, para la interfaz
PC-usuario se hizo un programa en Labview para ingresar los valores de referencia y también
controlar las variables manualmente si deseado. El programa lee el dibujo en formato dxf y
crea la secuencia de control para la unidad de traslación y la fuente del láser.

El trabajo de Gortari consistió principalmente en la integración y desarrollo de los compo-

nentes principales encargados de la fabricación de muestras mediante la misma técnica de
litografı́a óptica utilizada anteriormente en otros equipos de microfabricación, dejando soli-
das bases para perfeccionar la plataforma y el proceso de microfabricación y la continuación
del proyecto en la inclusión de las funciones relacionadas con la caracterización y estudio de
los dispositivos.
2.2 Objetivos 13

2.2. Objetivos
La plataforma propuesta y construida por Gortari será el punto de partida para este tra-
bajo que tiene como objetivo llegar a la versión final de la dicha plataforma, logrando ası́
un equipo único capaz de realizar todas las etapas de producción de sistemas de microca-
nales y su análisis por medio de observación directa (microscopio), captura de imagen o vı́deo.

En este trabajo también se aspira lograr el control y estudio de otras variables en el proceso
de fabricación, como:

Control de altura del canal

Control de energı́a de polimerización

Control de resolución

Control de verticalidad de las estructuras fabricadas

Sistematización de los procesos de pre y post lavado (limpieza del substrato)

Estudio y elección de resinas más apropiadas

Otro importante objetivo del trabajo actual es en relación a la repetitividad de las mues-
tras, las pruebas realizadas por Gortari tuvieran algunos éxitos pero en su gran mayorı́a las
estructuras se dañaron en el proceso de post-lavado. Para lograr la forma final de la plata-
forma, esta tiene que ser capaz de producir microestructuras con mucha repetitividad según
el mismo proceso de fabricación sin agregar estructuras extras en el dibujo de los canales
perdiendo ası́ resolución.

En este trabajo se propone 3 tipos de productos finales capaces de seer fabricador por la
plataforma:

microcanales sellados con porta-objetos de vidrio

microcanales sellados con porta-objeto de vidrio y oblea lisa de PMDS

moldes para fabricación de microcanales en PDMS

3 Aparato Experimental
Como mencionado anteriormente el presente trabajo tiene como punto de partida los desa-
rrollos del trabajo de Gortari (2014) y propone alguno cambios para la mejor adecuación a
los objetivos del proyecto y mejor funcionamiento de la plataforma en general.

3.1. Cambios iniciales en la PMF

A principio con la intención de bajar significativamente los costos de producción de la pla-
taforma y adaptándose a la disponibilidad de recursos del proyecto, se decidió cambiar el
conjunto láser-fibra óptica por el propio diodo láser incorporado al cabezal del dector 4Q,
como habı́a inicialmente propuesto Gortari en su trabajo, también por este ser de mucho
más fácil acceso, ya que es parte integral de equipos de vı́deo-juegos comerciales y puede ser
encontrado en todos los paı́ses.

Para la colimación se substituyó la lente que se acoplaba a la punta de la fibra óptica por
un objetivo 20x acromático de microscopio de la marca Edmund Optics, eliminando ası́ gran
parte de las aberraciones cromáticas y de borde que se obtendrı́an con otros tipos de lentes
más sencillas. Y esta por su vez fue montada sobre un soporte que permite el ajuste mi-
crometrico de posición longitudinal logrando una colimación muy precisa en el recorrido del
haz. El diodo láser por su vez esta montado en un suporte que permite el ajuste fino angular
lo que es esencial en la alineación del haz en el sistema de jaulas.

3.2. Seleción de la Resina

Hoy en dı́a hay enumeras resinas foto-curables que estarı́an aptas para aplicación en litografı́a
óptica, en este trabajo se utilizaran resinas del fabricante Norland Optics por la referencia
del grupo, que tiene más de 5 años de experiencia con este tipo de resina. Entre los productos
ofrecidos por el fabricante la que más se adecua al método de fabricación propuesto seria el
NOA 84 que tiene un pico de absorción en 405nm -longitud de onda del haz que emite el
láser- todas las otras son curadas por UV o demandan más energı́a de curado comparado con
el NOA 84. Sin embargo esta resina presenta una alta inhibición del curado en la presencia
3.3 Spin Coating y Control de Altura 15

del oxigeno lo que impide su completa polimerización. Observando este aspecto, que es de-
terminante, la resina más adecuada para el trabajo es el NOA 60 que no presente inhibición
del curado en la presencia del oxigeno pero tiene sus pico de absorción todos en el espectro
UV, demandando mucho más energı́a lumı́nica para polimerizarse.

Las pruebas realizadas revelaron que las máximas potencias proveı́das por el láser son capa-
ces de polimerizar el NOA 60 hasta una altura superior a 150 micrones, y la baja absorción
a esta longitud impide que el haz sature en potencia, creando lı́neas de espesor optimo sin
la necesidad de filtros, garantizando una buena resolución.

3.3. Spin Coating y Control de Altura

La altura del canal es un parámetro muy importante a ser controlado dado que es una
determinante para el volumen de fluido que circula a dentro y determinante para la escala
del sistema. El control de la altura se hace por dos etapas, la primera es el control de la
cantidad de resina puesta sobre el substrato para obtener una primera aproximación por un
calculo simples de volumen:

VN OA
Hf = As ubs

Donde Hf es la altura del filme de resina, VN OA es el volumen de resina y As ubs es el área

del substrato. Para alturas mayores de 35µm este es el Ão nico método aplicado.
Para alturas inferiores a 35µm se utiliza también el Spin Coater para ayudar a esparcir la
resina y lograr capas finas con espesor homogéneo. En general el espesor del film creado por
Spin Coater es proporcional al inverso de la raı́z cuadrada de la velocidad de rotación del
substrato.

1
Hs ∝ √
ω

La determinación exacta del espesor de un film generado depende de las propriedades del
fluido, de la concentración de solvente y la tasa de evaporación, que por su vez esta asociada
a una serie de variables termodinámicas locales, por lo tanto vamos a considerar apenas
los datos experimentales de calibración del Spin Coater presentados en la figura 3-1 como
función de la corriente con que se lo alimenta. Siendo la corriente mı́nima de alimenta-
ción del Spin Coater de 0.138 A, lo que produce una capa de 35µm de espesor, limitando
ası́ el uso del Spin Coater para producir capas de hasta 35µm de espesor con buena precisión.
 16 3 Aparato Experimental

Figura 3-1: Relación entre el espesor del film creado por el Spin Coating y la corriente de
alimentación.

3.4. Enfoque
El procedimiento de enfoque se divide en dos partes una de ellas se utiliza de la cámara y
livefeeding (explicada en el próximo capı́tulo), la otra utiliza el sensor 4Q para confirmar o
ajustar el foco. Este sistema de enfoque esta basado en un trabajo de la Universidad Nacio-
nal de Taiwan [9] y posteriormente perfeccionada por trabajos de la Universidad de Buenos
Aires [6], consiste en generar una señal eléctrica de error de foco (denominada FE o Focus
Error) que permita cuantificar el desenfoque de un haz sobre una superficie reflectante. Para
generar la señal FE se utiliza un detector de 4 cuadrantes (4Q) y un haz astigmático, el cual
en este sistema es generado por una lente cilı́ndrica. Dicho detector consiste en un arreglo
de 4 fotodiodos idénticos y contiguos formando un cuadrado, cada uno de los cuales entrega
(electrónica de por medio) una señal de tensión proporcional a la cantidad de luz incidente.
La constante de proporcionalidad puede ser configurada externamente de modo de permitir
operar en un amplio rango de intensidades.

Al tratarse de un haz astigmático habrá dos planos diferentes sobre los cuales el haz se
enfocará parcialmente, primero en un eje y luego en otro. En cada uno de estos planos la
sección del haz será elı́ptica con ambos ejes mayores perpendiculares entre sı́ y por lo tanto
existirá algÃo n plano intermedio en el cual la sección necesariamente tenga que ser circular,
tal como se observa en la Figura 3-3, al igualarse las cinturas del haz en cada dirección.

Dado que este haz astigmático proviene de la reflexión en la superficie a enfocar, la idea
consiste en fijar el detector 4Q sobre el plano donde la sección del haz es circular cuando la
superficie está perfectamente enfocada (adicionalmente el haz entre la lente de enfoque y de
colimación estará colimado). A partir de esta configuración, al desplazar la superficie a enfo-
3.4 Enfoque 17

Figura 3-2: Circuito integrado con el detector 4Q y fotografı́a óptica de su interior. Los
dos detectores centrales en el chip corresponden a la detección de IR (780nm,
superior) y de rojo/violeta (650nm y 405nm, inferior).[11]

Figura 3-3: Posibles proyecciones del haz astigmático sobre el detector 4Q en función de la
distancia relativa entre la superficie reflectante (substrato o espejo) y el foco del
haz.[11]
 18 3 Aparato Experimental

Figura 3-4: Señal FE (error de foco) en función de la incidencia del haz astigmático sobre el
detector4Q. Esta proyección dependerá de a que distancia del foco se produce
la reflexión del haz en la superficie a enfocar.[11]

car a lo largo del eje óptico, la reflexión sobre esta estará desplazada y esto producirá que la
sección sobre el 4Q sea una elipse a lo largo de una diagonal del detector o la otra dependiendo
del sentido en el que ocurrió el desplazamiento. Finalmente esta información se convierte en
la señal de tensión FE al realizar la operación aritmética F E = (A+C)−(B+D) siendo A, B,
C, D las tensiones provenientes de cada uno de los cuadrantes. Se puede ver como esta opera-
ción evidencia cuando la sección del haz sobre el 4Q es circular (A = B = C = DyF E = 0V )
o cuando la sección es elı́ptica sobre una diagonal (A + C > B + D → F E > 0) o la otra
(A + C < B + D → F E < 0). Si la reflexión se alejara mucho del foco, las elipses llenaran
los 4 fotodiodos de manera casi homogénea tendiendo la señal FE nuevamente a cero, como
muestra la figura 3-4.
3.5 Potencia del Láser, Energı́a de Polimerización y Control de Resolución 19

3.5. Potencia del Láser, Energı́a de Polimerización y

Control de Resolución
El láser seleccionado para la plataforma es el láser azul del cabezal de lectura y grabación de
tecnologı́a Bluray, presente en varios dispositivos electrónicos desde computadoras a conso-
las de vı́deo-juegos y son encontrados en el mercado tanto adentro del cabezal entero como
modelos similares por separado (como el modelo GH04P21A2GE de Sharp) . Dicho diodo-
láser posé su pico de emisión en 405nm de longitud de onda y llegan a proveer una potencia
lumı́nica de hasta 105mW . Sus modos no son filtrados y posé dos modos principales, lo
que puede llegar a ser un limitante cuando se quiere lograr resoluciones cada vez mejores,
como señaló Gortari en su trabajo, pero para los objetivos del trabajo se llegó a resultados
satisfactorios con estos diodos-láser.

La resina seleccionada fue el NOA 60, producida por la empresa Norland Optics. Es una
resina liquida incolora que se polimeriza cuando expuesta a luz ultravioleta, tiene su máxi-
ma absorción entre 350nm y 380nm. El uso del NOA 60 elimina la necesidad de etapas
de pré-mezcla, secado o baking (horneado) de la muestra comÃo n en otros tipos de resinas
foto-curables. Por ser un adhesivo hecho para pegar partes ópticas, tiene optima adhesión al
vidrio. La caracterı́stica principal que hace el NOA 60 idóneo para esta aplicación es por no
presentar inhibición del curado en la presencia de oxigeno.
La energı́a necesaria para un curado completo de dicha resina es de 3J/cm2 . Como la resina
absorbe muy poco en la longitud de onda de emisión del láser es necesario controlar las otras
variables para que se suministre la cantidad adecuada de energı́a para curar el NOA 60, para
eso dos variables se hacen de primordial importancia, la primera es el área de incisión del
haz, que por su vez depende del tamaño de la cintura del haz que es lo que determina la
resolución de la impresión, cuanto mejor se logra enfocar el láser y disminuir su cintura más
concentrada estará la potencia y mejor será la resolución, sin embargo, como mencionado
antes, esta variable encuentra tiene su limite precoz por la presencia de multimodos. La otra
variable es la velocidad de barrido del láser que debe ser controlada para proveer toda la
energı́a que demanda el NOA 60 para su polimerización. La altura se mostró irrelevante para
el calcula de la energı́a de curado y resolución.

Por medio de análisis de imágenes del haz reflejado por una superficie en su local de enfoque
captadas por la cámara se logro tener una aproximación de la cintura dentro las limitaciones
de saturación y linealidad del sensor. El diámetro del haz (Dhaz ) obtenido es de aproximada-
mente 10µm, lo que corresponde a un área de 7,8x10−5 mm2 , ası́ podemos calcular fácilmente
la velocidad de barrido del láser para lograr un curado completo,

P otxt
EN OA60 xfa bs =
A
 20 3 Aparato Experimental

Figura 3-5: Potencia lumı́nica proveida por el láser en función de la corriente corriente de
alimentación.

(E)N OA60 xA
t=
P ot
.

Donde EN OA60 es la energı́a de polimerización del NOA 60, fa bs es el factor de absorción de

luz a 405nm por la resina, P ot es la potencia proveı́da por el láser, A el área del haz y t el
tiempo de exposición. Dado que el haz recorre una vez su diámetro mientras ilumina una
misma área podemos sacar finalmente la relación entre el tiempo de exposición y la velocidad
de barrido:

Dhaz
v=
t
Para mejor determinación de la precisión de impresión de la plataforma es imprescindible la
determinación del espesor de la lı́nea trazada por el haz, esta por su vez está directamente
relacionado al nivel de potencia absorbida y la forma gaussiana del haz. Este factor recibe
especial atención en la fabricación de moldes (forma negativa del canal) porque el espesor
impreso representa directamente el espesor del canal, y en el caso de fabricación de los pro-
pios canales el espesor de la lı́nea tiende a estrechar el canal diseñado originalmente. Por lo
tanto es necesario saber bien cual es el espesor impreso para poder combinar lineas paralelas
3.5 Potencia del Láser, Energı́a de Polimerización y Control de Resolución 21

Figura 3-6: Propagación de un haz gaussiano el la vecindad del foco. El eje z es la dirección
de propagación, w es la cintura del haz y b el parametro confocal.

a punto de lograr el espesor deseado para los moldes o compensar el estrechamiento del canal.

Para controlar la verticalidad de las estructuras fabricadas hay analizar la forma asintotica
del haz en su punto de enfoque, figura 3-6. En todo el trayecto de enfoque del haz este incide
y después se expande con un angulo caracterı́stico, en el caso del diodo-láser utilizado 19◦
(medio-angulo), o sea en cualquier plano que se cure la resina estará impreso el angulo de
incidencia, con todo las pruebas empı́ricas mostraron que cuando se posiciona el plano de
foco justo al centro del espesor de la capa de resina la estructura creada suele tener bases
bien verticales.
4 Procedimientos

4.1. Alineación, Calibración y Enfoque

4.1.1. Unidades de translación vertical y horizontal
De manera equivalente para los tres ejes motorizados en la plataforma de microfluı́dica,
la calibración consiste en elegir y asignarle al sistema que controla los movimientos las
unidades que el usuario y/o los programas de fabricación vayan a utilizar. La manera de
hacer esto es correlacionar las unidades elegidas con la unidad intrı́nseca de la electrónica de
los motores paso a paso, denominada 0 tics0 , la cual a su vez está relacionada con la cantidad
de pasos de los motores (64tics = 1paso). El desplazamiento efectivo por paso dependerá
de la mecánica de cada unidad de traslación, no siendo equivalente un paso de motor para
la platina horizontal a un paso en el posicionador vertical. Teniendo en cuenta los tamaños
usuales de los dispositivos fabricados se opto por trabajar en milı́metros, contemplando la
facilidad de un eventual cambio a micrones si fuera necesario. El procedimiento en sı́ se realiza
desde el programa SMCView provisto por el fabricante (Standa en ambos casos) en el cual se
asignan dos posiciones arbitrarias tanto en las unidades elegidas como en tics, determinando
unı́vocamente la relación buscada. A fin de minimizar el error, se eligió en todos los casos
dos puntos lo más distantes entre sı́ que fuera posible, siendo estos los extremos de carrera
del posicionador. Esta distancia es fácil de medir con cualquier instrumento externo y la
elección del valor en mm especı́fico de cada punto es arbitraria pero determinara donde
queda el origen para cada eje. Por practicidad se buscó que el origen de movimiento quede
centrado con respecto al rango total del posicionador. Adicionalmente para la unidad de
traslación horizontal, se alineó el origen con el centro del soporte del substrato a fin de
maximizar el rango de movimiento en cualquier dirección durante la fabricación.
Si bien la precisión lograda en la calibración recién será realmente importante al momento
de fabricar dispositivos, durante las etapas de desarrollo se contó con errores porcentuales
siempre inferiores al 5 % a través de una rápida medición indirecta con calibre (con respecto
aun punto estático, error absoluto total inferior a 0,5 mm resultando en errores relativos de
3,8 % vertical y 0,7 % horizontal). Es importante resaltar que estos valores son fácilmente
reducibles hasta al menos un 1 % mejorando dicha medición y que no afectan la precisión
del equipo sino que están relacionados con una relación de escala.
4.1 Alineación, Calibración y Enfoque 23

Figura 4-1: Desplazamiento máximo en una de las direcciones de la unidad de traslación

(izq.) y la ventana de configuración del SMCView en la cual se carga la calibra-
ción.

4.1.2. Sistema Óptico

El sistema óptico de la plataforma para microfluı́dica consta con diez grados de libertad para
ajustar la totalidad de los componentes, sin embargo, no deja de ser una tarea relativamente
sencilla que solo habrá que llevar a cabo ocasionalmente en caso de encontrar alguna dificul-
tad o en el caso de desarmar y re-armar el equipo. El procedimiento consiste en un ajuste
secuencial de los grados de libertad siguiendo el camino realizado por el haz al mismo tiempo
que se incorporan algunos de los componentes como el espejo elı́ptico y el revólver con los
objetivos.
Gracias al sistema de jaulas ensambladas,tanto el haz proveniente del diodo, cuanto la lente
de colimación ya están centrados sobre el eje óptico por lo que la primera instancia consiste
en ajustar la dirección del haz con los 2 grados de libertad en su posicionador angular. Con la
ayuda de un centrador auxiliar (disco con un pequeño orificio) conectado al cubo del sistema
de jaulas enfrentado al colimador es fácil corregir la punterı́a del haz hasta lograr que este
atraviese los cubos exactamente por sus centros.

Una vez logrado esto se posiciona angularmente el espejo dicroico (Thorlabs mod. DMLP505R)
de manera que reflecte el haz hacia un segundo centrador situado al final del segmento, nue-
vamente centrado gracias a la colinealidad de los conectores de los cubos. El paso siguiente
será instalar el espejo elı́ptico encargado de reflejar el haz verticalmente. Este espejo está
montado sobre otro posicionador angular diagonal de dos ejes y este paso requiere la insta-
lación auxiliar de 4 varillas verticales a fin de instalar un tercer centrador 15cm por encima
del espejo para poder apuntar el haz en una perfecta vertical perpendicular a la unidad de
translación horizontal.
 24 4 Procedimientos

Figura 4-2: Proceso de alineación, etapa inicial, alineación angular del haz con ayuda del
centrador.

Una vez logrado esto, al instalar el revólver con el objetivo tendremos el haz enfocándose en
la dirección vertical hacia el soporte del substrato (Figura 4-3).
Para la siguiente etapa se utiliza un espejo auxiliar montado sobre el soporte del substrato
a fin de lograr una reflexión suficientemente intensa tal que sea fácil visualizar el haz reinci-
dente al sistema. A fin de que el objetivo pueda colectar la mayor cantidad de luz reflejada
posible, el espejo deberá estar perfectamente perpendicular al haz (y por lo tanto paralelo al
plano de la unidad de traslación horizontal). Para esto el soporte del substrato cuenta con
dos grados de libertad angulares que permitirán reinyectar la reflexión por el mismo camino
óptico logrado en las etapas anteriores.

Para finalizar, la Ão ltima etapa consiste en la instalación del divisor de haz (Thorlabs mod.
BSN10R) que desviará un 10 % de la reflexión hacia el detector 4Q. La posición angular
del divisor será tal que maximice la señal de todos los cuadrantes en simultaneo (Suma
A+B+C+D). Esto indicará que el haz incidente sobre el detector está lo más centrado
posible sobre los cuadrantes (no necesariamente en el centro todavı́a) restando ajustar el
posicionador bidireccional sobre el cual el detector 4Q está montado para un ajuste fino,
siempre utilizando la señal Suma como referencia.
4.1 Alineación, Calibración y Enfoque 25

Figura 4-3: Etapa final de alineación con todos los dispositivos instalados y alineados.

4.1.3. Enfoque
Una vez alineada y calibrada toda la plataforma se puede iniciar la etapa de enfoque. Para
lograr un bueno y controlado enfoque es necesario antes garantizar una buena colimación por
todo el recorrido del haz antes de enfocar. La lente de colimación es un objetivo de micros-
copio 20x, como ya mencionado antes, y esta por su vez esta montada en un posicionador
micrométrico longitudinal (en la dirección de propagación del haz. Siendo ası́, para colimar
el haz se retira el objetivo de enfoque, proyectando ası́ el haz para fuera de la plataforma, se
trata de enfocar el láser lo más lejos posible solamente cambiando la posición micrométrica
de la lente de colimación. La precisión y efectividad de este procedimiento se basa en cuanto
lejos el láser es proyectado, nuestra experiencia nos muestra que una distancia de 8m es
suficiente para colimar el haz en todo su recorrido dentro de la plataforma (se puede utilizar
espejos para agrandar el recorrido).

La etapa siguiente es el Enfoque de hecho, se utiliza dos procedimientos comparativos y

complementares. El primero solo utiliza el livefeed de la cámara, primero, con una luz de
fondo, hace foco en la faz del substrato que quiere enfocar, luego ya con el láser se corre el
substrato en el eje Z para que el foco del láser coincida con la imagen de la faz del vidrio,
para eso el foco de la cámara tiene que acompañar substrato, lo que para nuestro caso es
impractico. Por lo tanto se aplica una solución analı́tica basada en el esquema de los rayos
reflejados y formación de imagen presentado en la figura 4-4: se hace foco en el substrato
 26 4 Procedimientos

Figura 4-4: Esquema del procededimiento de enfoque del haz. (Arriba) foco inicial arriba
del substrato. (Abajo) foco inicial abajo del substrato .

luego se busca el foco del láser sin tocar el foco de la cámara, la distancia medida entre estos
dos punto tiene que ser corrida 2 veces para el mismo sentido en que fue medido. Después se
ajusta de vuelta el foco de cámara y se verifica si la faz del substrato donde se quiere enfocar
aparece en foco junto con el láser.

El segundo es utilizando la señal de error de foco del sensor 4Q, como fue mostrado en el
capı́tulo anterior. El procedimiento consiste en desplazar el soporte del substrato en el eje Z
hasta encontrar la posición que cera el error de foco.

4.2. Protocolo de fabricación

Para las 3 aplicaciones finales de la plataforma el proceso de fabricación es igual diferen-
ciándose apenas en el dibujo o en la etapa final. De modo general, el proceso de fabricación
se puede dividir en 3 etapas:

Preparación del substrato: Se deberá eliminar sistemáticamente cualquier residuo exis-

tente sobre la superficie. Elementos tales como polvo ambiental o sustancias oleosas
afectaran sustancialmente la adherencia de la resina fotocurable dañando la muestra
de manera absoluta al no resistir la etapa de lavado posterior. Una vez logrado esto,
4.2 Protocolo de fabricación 27

se coloca la mı́nima cantidad necesaria de resina fotocurable a fin de cubrir el área

requerida por el diseño a fabricar, como demostrado en la sesión 3.3.

Polimerización en la plataforma: Esta es la etapa más simple, tan solo requiere de

montar el /los substratos sobre el soporte de la plataforma, cargar los archivos con
el diseño a producir e iniciar el proceso desde el programa de LabView. El tiempo
requerido puede variar considerablemente entre un diseño y otro pero tı́picamente está
en el rango 5-25 minutos.

Lavado de la muestra: Siendo la etapa más delicada de la fabricación puede requerir

cierta práctica y/o entrenamiento por parte del usuario. Se utilizan solventes como el al-
cohol etı́lico para lavar el substrato, eliminando la resina liquida, dejando Ão nicamente
la resina que curó y adhirió al substrato.

Sellado y/o post-curado: Esta etapa se diferencia para las tres posibles aplicaciones de la
plataforma, ası́ como el orden en que aparecen, pero en todo los casos se recomienda que
se haga una etapa de post-curado para completar el proceso de crosslink en la resina.
Dicha etapa se consiste en exponer la muestra ya totalmente lavada a luz ultravioleta
provista de un led UV.

El protocolo de fabricación empieza con la preparación del substrato de vidrio sobre el cual
se va a polimerizar la resina. Se probó básicamente dos tipos de limpieza donde las dos
se mostraron eficientes en distintos niveles para el proceso de fabricación. La primera fue
simplemente limpiar el substrato con un papel humedecido con solvente (alcohol etı́lico, iso-
propı́lico o acetona) frotándole bien contra las faces del vidrio eliminando ası́ todo el posible
resquicio grasoso y de partı́culas del substrato y luego dejarlo secar al aire en un local libre
de polvo o partı́culas grandes en el aire. Las pruebas realizadas muestran que este proce-
dimiento ya es suficiente para garantizar buena adherencia de la resina en el substrato y
garantizar que el haz pase sin resistencia través del substrato para curar la resina puesta
en la otra faz, sin embargo se probó también luego del protocolo de limpieza presentado
la aplicación de plasma de O 2 sobre la faz que se depositará la resina, esa técnica mejoró
significativamente la adhesión de la resina polimerizada y también la esparsión homogénea
de grandes cantidades de resina en el la faz del substrato, como es el caso cuando se quiere
fabricar estructuras con alturas superiores a 40µm .
El control de altura de la estructura a ser fabricada se da parte en la etapa de la deposición
de la resina sobre el substrato, parte en la etapa del Spin Coating como vimos en la sección
3.3.

Una vez listo el substrato con la resina ya con la altura deseada y homogénea es la vez de la
plataforma hacer su trabajo, se eligen los parámetros y se carga el dibujo a través del soft-
ware de control y la plataforma va a recorrer el láser segÃo n lo fue comandado sobre la resina.
 28 4 Procedimientos

La ultima etapa es la del lavado final con la finalidad de eliminar la resina no curada, ese
proceso suele ser muy delicado y varia de acuerdo con la resina que se utiliza y el espesor (o
la precisión) de las lı́neas dibujadas. Para la producción de los microcanales en cuestión se
sumerge el substrato en alcohol etı́lico hasta que la resina no curada se diluya en el alcohol
(alcohol puro en el caso de utilizar NOA 60 y alcohol a 80 % en el caso de utilizar NOA 84), se
repite el proceso dos o tres veces más sumergiendo por apenas algunos segundos para que se
lave bien la resina no curada pegada a las estructuras polimerizadas. Si necesario aplicar una
corriente suave y continua de alcohol diluido para lavar partes que no salieron en las etapas
anteriores. Hay grupos que logran limpiezas muy eficaces en este tipo de microfabricación
aplicando técnicas de sonicado con solventes, lo que podrı́a traer una mayor mecanización
del proceso de lavado.

4.2.1. Microcanales sellados con PDMS

Una de las opciones de fabricación con la plataforma propuesta es producir las estructuras
laterales sobre un substrato de vidrio y sellarlo con una pieza liza de PDMS, aÃo n que el
PDMS no posé caracterı́sticas deseable para ensayos con fluidos en base acuosa por ser hi-
drofóbico, por medio de tratamientos superficiales se puede reverter esta caracterı́stica por
un tiempo limitado. Una vez terminada, lavada y seca la base del microcanal fabricada por
la plataforma, se perfora la pieza de PDMS sobre los reservórios para la entrada y salida
de fluido y luego se aplica plasma de O2 sobre la faz va estar en contacto con el vidrio y
finalmente manualmente se alinean los reservórios y se apoya la pieza sobre el substrato.
La superficie de PDMS cuando expuesta al plama de O2 se vuelve muy adherente al vidrio
sellando de forma perfecta el canal produciendo adı́ un canal con carácter hidrofı́lico por por
lo menos 40 dı́as.

4.2.2. Microcanales sellados con substratos vidrio

Otro posible modelo para los microcanales es encerrar el canal entre dos substratos de vidrio,
para eso se hace necesario agregar una otra etapa de fabricación, una vez terminada el pro-
tocolo base se perfora un otro substrato de vidrio y se lo posiciona sobre la microestructura
alineando las perforaciones a los reservórios. Este procedimiento debe ser hecho luego el post
lavado en el proceso de fabricación para que se aproveche el estado ”semi-curado”de la resina
para unir el substrato-tapa al substrato-base, una vez bien posicionados se inicia una nueva
etapa de curado donde se expone el montaje a un led UV para que la resina termine de
polimerizar uniendo los dos substratos.
4.2 Protocolo de fabricación 29

4.2.3. Moldes para fabricación en PDMS

Para la fabricación de un canal en PDMS es necesario un molde ”negativo”sobre el cual se
polimeriza el PDMS, la plataforma también es capaz de producir dichos moldes por el mismo
proceso explicado anteriormente, cambiando nada más que el dibujo a ser reproducido. En
este proceso es muy importante que se haga una etapa de post curado para enrigidecer la
estructura y completar el proceso de cross linking. Esta etapa puede ser empleada en todas
los procesos de fabricación de la plataforma pero es especialmente esencial en este dado que
el proceso de replica en PDMS exige que la estructura a ser replicada sea bien solida y re-
sistente para lograr máxima precisión.
5 Resultados y Conclusiones
La plataforma en su configuración actual se mostró apta para realizar 2 tipos de servicio
que resultan en 3 posibilidades de producción de canales. El primer servicio seria imprimir
directamente el contorno de los canales en el substrato de vidrio con la posibilidad de dos
tipos de sellado, con PDMS o con vidrio, lo que resulta en dos tipos de canales con proprie-
dades de mojabilidad distintas. La figura 5-1 muestra los canales producidos y su respectivo
dibujo en CAD, el canal impreso tiene 0,5mm de ancho y 15µm de altura en el caso del
sellado con vidrio y 42µm de altura en el caso del sallado con PDMS. El otro servicio serı́a
la impresión del negativo del canal para aplicarla como molde en procesos de producción en
PDMS o otra resina, como presentado en la figura 5-2.

Las figuras 5-3, 5-4, 5-5 y 5-6 son fotos tomadas por un microscopio óptico y por la pla-
taforma misma con un aumento de 40x y 10x. En las fotos se ve bien la diferencia entre los
modos que acaban creando lineas de distintos espesores, lo que puede llegar a ser inacep-
table en algunos casos. Para nuestro caso es más importante que las estructuras estén bien
derechas y definidas, y que la altura esté bien pareja en todo el canal.

En algunos casos (como en la figura 5-3) se observa que la resolución aplicada no es suficien-
te para la fabricación de ciertos diseños de canales obstruyendo parcialmente el flujo, para
evitar este defecto es necesário llevar en cuenta en la hora del diseño del canal tal variable
y verificar que resolución es adecuada para la fabricación de dicho canal. Otra posible falla
observada en la figura 5-4 es el lavado demasiado agresivo tanto quı́micamente, utilizando
solventes muy fuertes como acetona, tanto mecánicamente, aplicando chorros de solventes
directamente a la estructura. Esta última falla observada en la figura 5-4 también puede
suceder caso la estructura no esté completamente curada en la etapa de lavado.

Gracias al trabajo de Gortari que desarrolló la base experimental de esta plataforma, se

pudo perfeccionar los aspectos que hicieron falta para el buen funcionamiento de la misma
y aplicar esfuerzos para sistematizar las etapas de microfabricación, posibilitando al final
que la plataforma sea capaz de producir 2 tipos de canales distintos y también moldes para
fabricación en PDMS, ahorrando tiempo y gastos empleados en los procesos tradicionales de
microfabricación conocidos hasta el presente.

Los canales producidos y sellados con PDMS o vidrio tienen una resolución más grosera
 31

Figura 5-1: Desplazamiento máximo en una de las direcciones de la unidad de traslación

(izq.) y la ventana de configuración del SMCView en la cual se carga la calibra-
ción.

Figura 5-2: Desplazamiento máximo en una de las direcciones de la unidad de traslación

(izq.) y la ventana de configuración del SMCView en la cual se carga la calibra-
ción.
 32 5 Resultados y Conclusiones

Figura 5-3: Imagenes tomadas por microscopio óptico con aumento de 40x. Estructura de
microcanal impresa sobre substrato de vidrio.

Figura 5-4: Impresiones defectuosas de moldes para fabricación en PDMS vistas con aumen-
to de 10x. (der) Asociación de lineas para creación de islas para microcontactos.
(izq) Bifurcación de flujo.
 33

Figura 5-5: Impresión exitosa de molde para fabricación en PDMS vista con aumento de
40x (der) y 10x (izq).

Figura 5-6: Impresión directa de canal sobre substrato de vidrio. Imagen captada por la
plataforma en aumento de 10x.
 34 5 Resultados y Conclusiones

para evitar que se dañen en la etapa de sellado manual, la posibilidad de producir canales
con mejor resolución esta en el control y mecanización del proceso de sellado, utilizando
posicionadores por ejemplo. Otra posible mejora en la resolución de los canales seria en la
inversión en un mejor láser acoplado a fibra que filtre los modos no deseados y permita un
mejor enfoque y una cintura de haz más chica.

La etapa de polimerización en la plataforma alcanzó su máximo potencial en este proyecto

con los elementos utilizados, seria posible mejorar la calidad del haz si eligiéramos poner un
láser acoplado a fibra óptica que filtrara los modos no deseados, pero para nuestra aplicación
el costo para tal cambio no justifica el gaño de resolución. Las demás etapas si se podrı́a
mejorar con empleando dispositivos para mecanizar más los procesos en cuestión, como por
ejemplo la aplicación de un sonicador en la etapa de lavado o cambiar el Spin Coater por
uno que tenga más rango en bajas velocidades.

En una etapa inicial del proyecto se empeñó en utilizar la resina NOA 84 que posé alta
absortividad en la longitud utilizada de 405nm, sin embargo las energı́as absorbidas eran
demasiada altas creando una linea muy ancha para las resoluciones deseadas, aun con altas
velocidades de barrido y potencia mı́nima del láser. Además la inhibición del curado de esta
resina en la presencia del oxigeno se mostró ser un obstáculo difı́cil de transponer, se trató
curar con un film de nylon cubriendo el substrato sin buenos resultados. A esta altura el
NOA 60 ya se mostró más apto a este tipo de aplicación.
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