Senzori MEMS pentru aplicaţii industrial

Dezvoltatorii de aplicaţii mobile, la fel ca şi cei de aplicaţii pentru jocuri sau

automotive, au fost primii care au aflat avantajele utilizării senzorilor MEMS.
Aceşti senzori deschid o multitudine de opţiuni pentru aplicaţii în industrie,
medicină şi sfera aparatelor electrocasnice.

Deosebit de atractive pentru multe aplicaţii sunt accelerometrele pe 3 axe. Cu un

cost mult sub 1 Euro şi o multitudine de caracteristici, acestea oferă un raport
excelent calitate – preţ. Printre produsele care se remarcă în prezent şi care conţin
accelerometrele cu 3 axe MEMS se numără LIS3DH de la STMicroelectronics şi
BMA250E de la Bosch Sensortec.
Ambele sunt extrem de eficiente energetic, au dimensiuni reduse şi, prin urmare,
sunt recomandate în special pentru aplicaţii în dispozitivele mobile. Datorită
modului low power, consumul de energie al modelelor ST LIS3DH poate fi redus
la numai 2μA, iar senzorul de la Bosch Sensortec are nevoie de mai puţin, de 5μA.
Cu ajutorul funcţiei Wake-up on Motion (“trezire la mişcare”), consumul de
energie pentru toate aplicaţiile este redus semnificativ şi durata de viaţă a bateriei
va creşte. Aplicaţia este setată iniţial în modul “sleep“, iar în momentul în care
senzorul MEMS înregistrează o mişcare, aplicaţia este reluată (Gestionarea
Inteligentă a Energiei).
Dimensiunile carcaselor senzorilor de 3 × 3 × 1mm (LIS3DH) sau 2 × 2 × 0,95mm
(BMA250E) sunt ideale pentru aplicaţiile în care spaţiul este esenţial.
Ambele modele oferă valori exacte cu privire la intervalele programabile de
măsurare de ± 2g, ± 4G, ± 8G şi ± 16G, cu o sensibilitate de la 1mg/unitate binară
pentru LIS3DH sau 256LSB/g pentru BMA250E în intervalul de 2g. Senzorii au o
rezoluţie digitală de 12-biţi sau 10-biţi, iar compensarea tipică 0g de-a lungul
întregului ciclu de viaţă este de ± 40 mg la ST şi ± 80 mg la Bosch.

Accelerometrul LIS3DH de la ST vine cu un

consum de curent de numai 2μA
în modul ultra low-power

Multitudinea de caracteristici oferă nenumărate posibilităţi pentru aplicaţii

Ambele accelerometre dispun de funcţia freefall detection (“detectarea căderii
libere”), care este în prezent utilizată cu precădere în hard-drive-urile laptop-urilor
astfel: capul de scriere şi cel de citire sunt aduse într-o poziţie sigură, de îndată ce
senzorul înregistrează căderea liberă. Pe acest principiu, şi utilaje, cum ar fi
ferăstrăul cu lanţ sau macaraua cu control de la distanţă, sunt aduse într-o stare de
siguranţă la depistarea căderii libere, prin intermediul opririi de urgenţă. Datorită
detectării celor mai mici mişcări şi vibraţii, cum ar fi schimbarea poziţiei,
accelerometrele sunt eficiente în protecţia împotriva actelor de vandalism sau furt,
de exemplu din conductele de petrol, de gaze, automate sau obiecte de valoare.

Înregistrarea de vibraţii poate fi utilizată pentru a verifica funcţionarea

corespunzătoare a utilajului şi pentru a declanşa oprirea de urgenţă în caz de
funcţionare neconformă. Aplicaţiile HMI pot fi furnizate prin folosirea unor
senzori cu caracteristici noi, îmbunătăţite. Cu ajutorul aşa-numitului display profile
switching (“comutarea profilului ecranului”), alinierea imaginii în unităţile de
comandă portabile poate fi adaptată, atunci când ecranul este rotit la 90° – similar
cu aparate foto digitale.
Funcţia flat detection permite, de exemplu, prin recunoaşterea poziţiei, oprirea
sunetului (la smartphone) sau întreruperea unei aplicatii dacă există vibraţii. În
multe aplicaţii, este posibil controlul accelerometrelor printr-o atingere sau o
atingere dublă. Aceasta elimină necesitatea existenţei unui buton suplimentar şi
astfel dă posibilitatea unui control simplificat.
Atractive pentru aplicaţiile mobile de fitness sau pentru monitorizarea sănătăţii
sunt şi funcţiile de pedometru şi monitorizarea activităţii, care pot fi realizate prin
intermediul accelerometrelor cu 3 axe. Acestea înregistrează acţiunile de mişcare
ale utilizatorilor şi, astfel, calculează distanţa parcursă şi numărul de calorii arse. În
eventualitatea unei căderi, în timpul unei excaladări de exemplu, senzorul
detectează căderea liberă şi, în cazul în care corpul nu se mişcă, acesta declanşează
o un apel de urgenţă.
Atât STMicroelectronics cât şi Bosch Sensortec, oferă instrumente software şi
hardware pentru testări preliminare cu senzori MEMS, cu o interfaţă grafică uşor
de utilizat. Astfel că dezvoltatorii pot crea şi testa intensiv diferite setări şi apoi le
pot aplica direct. În acest scop, ambii producători pun la dispoziţie plăci de
programare, interfaţa de programare pentru aplicaţii (API) şi unităţi drive de nivel
scăzut.

Accelerometrul BMA250E de la Bosch Sensortec

este de dimensiuni reduse şi are un consum
minim de energie.

O multitudine de tipuri de senzori

În plus faţă de accelerometre, pe piaţă este disponibilă o paletă largă de tipuri de
senzori MEMS. Astfel, microfoanele MEMS combină calitatea ridicată a sunetului
şi rezistenţa cu dimensiunile minime, pentru aplicaţii de recunoaştere şi comandă
vocală.
Comparativ cu microfoanele electrice clasice convenţionale (ECM), modelele
MEMS sunt mai fiabile şi rezistente şi au caracteristici mai bune pe curba de
temperatură. În prezent, acestea sunt puţin mai scumpe decât microfoanele
convenţionale, dar în curând vor ajunge la acelaşi preţ sau chiar mai ieftine.
Acestea sunt potrivite nu numai pentru aplicaţiile HMI industriale, ci şi pentru
sistemele de navigaţie, sistemele handsfree sau sistemele pentru conferinţe.
STMicroelectronics oferă modele digitale (MP34DT/ DB01/MP45DT02) şi
analogice (MP33AB01/B01H), cu un raport semnal-zgomot de până la 63dB, la un
răspuns în frecvenţă foarte joasă. (20Hz până la 20kHz). Senzorii de viteză
unghiulară contribuie la o mai mare securitate, ca de exemplu în cazul
bormaşinilor. Aceştia depistează turaţia bormaşinii atunci când burghiul se
blochează în beton şi asigură oprirea de urgenţă.

Datele senzorului de presiune BMP180

de la Bosch Sensortec în timpul unei deplasări
cu liftul.

Diagrama de măsurare a nivelului

folosind senzorul de presiune MEMS LPS331AP
de la STMicroelectronics

Senzorii de presiune barometrică MEMS măsoară presiunea aerului şi calculează

valoarea înălţimii coloanei cu o precizie de 25cm. Astfel, senzorii de presiune des-
chid noi posibilităţi de aplicare pentru navigaţia în mediul interior, în parcările
magazinelor sau în parcurile auto. Pot ajuta chiar şi în operaţiunile pompierilor şi
poliţiei, salvând vieţi, prin afişarea locurilor din clădiri în care se găsesc persoane
accidentate.
În sistemele de navigaţie, acestea oferă poziţia exactă a vehiculului pe străzi cu mai
multe benzi.
Prin combinarea mai multor senzori, posibilităţile se extind aproape nelimitat.
De exemplu, în cazul unei maşini de spălat: senzorii de presiune pot măsura
nivelul, în timp ce accelerometrele detectează încărcarea şi senzorii optici verifică
gradul de încălzire al apei, astfel încât programul de spălare/uscare să poată fi
adaptat într-un mod optim.
Combinaţii de senzori
Producătorii au recunoscut şi avantajele combinării diferitelor tipuri de senzori
oferind un mixt într-un singur modul, cum ar fi LSM330D de la
STMicroelectronics.
Accelerometrul cu 3 axe LIS3DH şi giroscopul în 3 axe L3GD20 au o carcasă de
doar 3 × 5.5 × 1mm. Acestă din urmă oferă o scară completă de măsurare, de la ±
250 dps până la ± 2000 dps şi beneficiază şi de oprire programată.
Aceeaşi combinaţie de accelerometru cu 3 axe (BMA255) şi giroscop cu 3 axe
(BMG160) este oferită şi de Bosch Sensortec, prin modelul BMI055, cu
dimensiuni de 3 × 4,5 × 0,95 mm, aceasta fiind cea mai mică unitate de măsură
inerţială (IMU) disponibilă în prezent pe piaţă. Cele 6 DoF ale sale (6 DoF, Grade
de Libertate) şi consumul redus de energie, de numai 5,15mA în modul de operare
complet, fac ca acest model să fie ideal pentru cerinţele exigente ale aplicaţiilor
pentru electronicele de larg consum, cum ar fi aplicaţiile de jocuri de pe consolele
multimedia, telefoanele inteligente şi PC tablete. Cu rezoluţia sa înaltă, de 16-biţi
(giroscop) şi 12-biţi (accelerometru), oferă rezultate precise şi fiabile la masurare;
BMI055 dispune, de asemenea, şi de un raport semnal-zgomot excelent. Scara sa
de măsurare poate fi programată, de la ± 125 dps până la ± 2000 dps, pentru
giroscop şi de la ± 2 g la ± 16 g, pentru accelerometru.
Acesta din urmă este, de asemenea, caracterizat printr-o compensaţie zero-g mică,
de numai 70mg standard. Interfeţele digitale I2C şi SPI oferă posibilităţi multiple
de comunicaţii de date.
Astfel de senzori sau module MEMS ×DoF nu numai că acceptă aplicaţii pentru
jocuri, dar permit şi monitorizarea de la distanţă a pacienţilor sau a persoanelor în
vârstă, fără a restrânge libertatea de mişcare a acestora. Astfel, senzorul
“recunoaşte” o cădere şi acţionează pentru a avertiza un însoţitor. De asemenea,
persoanele cu probleme psihice, care s-au rătăcit, pot fi găsite cu uşurinţă. Terapia
ocupaţională, antrenamentele sportivilor şi dozele de medicamente pot fi adaptate
cu precizie la profilul individual de mişcare şi proiectate în mod eficient. În
aparatele pentru monitorizarea tensiunii arteriale, senzorul poate verifica poziţia
braţului şi, deci, asigură o măsurare corectă. În zootehnie, cu un asemenea senzor
MEMS cantitatea de mâncare poate fi adaptată individual, în funcţie de câtă
mişcare face fiecare animal în parte.
Multifuncţionale
Modulele de senzori care combină un număr mai mare de modele de senzori au o şi
mai mare libertate de mişcare. STMicroelectronics a introdus recent un asemenea
modul multi-senzor: iNEMO M1 (System on board) care combină un senzor
geomagnetic cu 6 axe LSM303DLHC (accelerometru cu 3 axe + senzor magnetic
cu 3 axe), un giroscop cu 3 axe L3GD20, precum, un microcontroler pe 32 de biţi
STM32 şi un software specific pentru fuziunea senzorilor – cu

dimensiuni de numai 13 × 13 × 2 mm. Astfel, iNEMO M1 are aproape toate

percepţiile simţului uman şi, într-o oarecare măsură, le şi depăşeste. În acest fel,
modulul detectează acceleraţii liniare, viteze unghiulare şi câmpul magnetic al
Pământului, prin care se pot determina cu precizie locaţia, mişcările şi direcţia
acestora. Software-ul combină semnalele de ieşire ale tuturor senzorilor.
Distorsiunile şi inexactităţile din măsurători sunt corectate automat prin algoritmii
de predicţie şi de filtrare. Giroscopul L3GD20 înregistrează mişcările de
rostogolire, înclinare şi balansare, pe o scară liberă selectabilă, între ± 250°/s, ±
500°/s şi ± 2000°/s. Senzorul geomagnetic LSM303DLHC are o scară de măsură
programabilă de ± 2g, ± 4g, ± 8g şi ± 16g, pentru accelerometru şi de la ± 1,3
Gauss până la ± 8,1 Gauss, pentru senzorul magnetic, precum şi o ieşire I2C. Cu
aceste caracteristici, iNEMO aduce şi mai mult realism aplicaţiilor de jocuri şi
realităţii virtuale interfaţă om – maşină, robotică şi dispozitive portabile de
navigaţie, precum şi în monitorizarea pacientului.