Fabricatie si metrologie

În controlul calității suprafețelor obiectelor s-au înregistrat progrese importante. Acest lucru
se datorează folosirii metodelor deja convenționale ale microscopiei electronice prin baleiere
(Scanning Electron Microscopy - SEM) și microscopiei laser prin baleiere (Scanning Laser
Microscopy - SLM), în care suprafața obiectului este baleiata cu o raza laser cu diametrul de 1 µm,
precum și a unei metode mai noi, microscopia cu sonda prin baleiere (Scanning Probe
Microscopy - SPM).

Aceasta metoda permite accesul la structuri materiale foarte mici din domeniul
subnanometric. Microscopia optică convențională este adesea insuficientă atât timp cât nu poate
detecta defectele atomice din cristale sau defectele din circuitele integrate. Aceste structuri au
dimensiunile tipice de ordinul câtorva nanometri.

Microscopia cu sonda prin baleiere are o rezoluție extrem de ridicată, care pana acum nu a
fost atinsă și care poate merge pana la nivelul atomic. Aceasta tehnologie oferă noi posibilități
pentru localizarea defectelor.

Instrumentele SPM pot fi folosite ca microscoape cu forță (atomică) prin baleiere

(Scanning Force Microscopes -SFM), (denumite și simplu microscoape cu forță atomică
(Atomic Force Microscopes - AFM)) sau ca microscoape cu tunelare prin baleiere (Scanning
Tunneling Microscopes - STM).

Măsurătorile sunt nedistructive și permit examinarea tridimensională, fără contact direct a

suprafeței oricărei structuri cu dimensiunile de ordinul micrometrilor pana la nanometri; toleranțele
fiind în domeniul nanometrilor.

Aceasta va conduce la o mai mare înțelegere a proprietăților fizice și chimice ale

materialelor și suprafețelor, și în final va îmbunătăți calitatea microstructurilor. Aceste microscoape
au o rezoluție foarte înaltă de aproximativ 0,3 nm și pot urmări chiar manipulările unui atom
individual.

Pentru a putea lucra in lumea nano-dimensională, sunt necesare sonde micromecanice care
au un vârf de câțiva micrometri lungime. Aceste sonde se așază pe suprafața microstructurii la o
distanta de un nanomertu de aceasta. Principiul măsurătorilor STM folosește efectul tunel cunoscut
din mecanica cuantică.
Tunelarea se produce între doua medii conductoare între care se aplică o anumita tensiune;
suprafețele celor două medii sunt separate una de cealaltă printr-un strat izolator sau prin vid
(Fig. 1).

Fig. 1 Piezo-transformatorul și principiul măsurării

microscopului cu tunelare prin baleiere

1
 Curentul de tunelare care curge între vârful sondei (atașata la un piezo-transformator 3D) și
suprafața scanată, este măsurat. Curentul este menținut constant păstrând distanța de măsurare vârf-
suprafața constantă.
Acest lucru se obține prin activarea piezo-traductorilor folosiți pentru poziționarea vârfului
sondei. Deplasarea piezo-traductorilor individuali dă indicații asupra structurii suprafeței.

Instrumentele SFM folosesc forțele de atracție care apar între vârful sondei și atomii
suprafeței microstructurii. In locul unui piezo-transformator, sonda în cazul instrumentului SFM
este fixată pe o tija în consolă foarte mică care are elasticitate mică. Tija este făcută să vibreze și
este ghidată pe suprafața structurii.

Forțele atractive rezultante determina tija să se abată de la modul de vibrație imprimat

inițial. Aceasta abatere este măsurată fie direct folosind senzori pentru forțele piezo-electrice sau
piezo-rezistive, integrați, în sonda sau indirect.

Aceasta abatere este măsurata fie direct folosind senzori pentru forțele piezo-electrice sau
piezo- rezistivi, integrați, în sonda sau indirect folosind principii ale măsurătorilor capacitive sau
optice.

De exemplu, mișcarea tijei poate fi înregistrată de un senzor cu laser (Fig. 2). Este măsurată
schimbarea poziției razei laser care este reflectata de tija, Unghiul de reflexie poate fi exact corelat
cu mișcarea sondei.

Fig. 2 Principiul de măsurare al unui microscop cu

forță atomică prin baleiere folosind un laser

Prin procedee de prelucrare electronică aceasta informație poate conduce la o imagine de

înaltă rezoluție a structurii suprafeței, în figura 3 este prezentată sonda de siliciu a unui microscop
cu forță atomică prin baleiere care folosește principiul de măsură capacitiv. Aici mișcarea tijei este
înregistrată prin schimbarea capacității între tija și celălalt electrod plasat deasupra ei.

Aceste metode pot fi folosite pentru a găsi defectele direct după fiecare pas de fabricație,
ceea ce va preveni propagarea acestora și astfel va creste calitatea produselor și va scădea costurile.
Performanța acestor instrumente în controlul calității poate fi crescută folosind o metoda de sondare
paralelă, care economisește și timp.

2
 Fig. 3 Fotografia unei sonde de siliciu la un
microscop cu forță atomica prin baleiere care
folosește principiul de măsurare capacitiv

Rânduri de sonde pot fi integrate într-un singur instrument, prin care totuși la fiecare sonda
se poate avea acces individual (Fig. 4).

Fig. 4 Rânduri de sonde SFM

Figura 5 arata imaginea suprafeței unei structuri PMMA produsa prin metoda LIGA, data de
un microscop cu forța atomica prin baleiere.

Fig. 5 Exemplul unei măsurători folosind SPM

3
 Exista și alte aplicații imaginabile ale MST în tehnologia de producție. În multe procese de
producție uneltele de asamblare ghidate de senzori sau mașinile unelte cu vibrații mici cer o precizie
înaltă.
De exemplu, în cazul unei mașini de rectificat se produc adesea vibrații între piesa
prelucrata și unealtă, ceea ce reduce considerabil performanța. Acest lucru poate produce zgârieturi
de ordinul câtorva micrometri pe suprafața piesei. Pentru a rezolva problema, pot fi folosiți
microactuatori care sa ajute la atenuarea drastică a vibrațiilor.

Exista multe alte aplicații potențiale ale MST care pot fi folosite în produse din aproape
toate sectoarele vieții umane. De exemplu, produsele electronice de larg consum și tehnologia
computerelor oferă multe aplicații pentru microsisteme.
Capetele de scriere pentru imprimantele cu jet de cerneala sau capetele de scriere/citire
pentru discuri sunt numai câteva exemple bune de micro-componente care sunt deja produse în
masa .
Întregul domeniu al microroboticii investigat în prezent poate conduce la posibile aplicații în
medicină, prelucrarea de precizie, metrologie, biologie și multe altele.

Există de asemenea, multe aplicații ale MST, în care micro actuatorii și microsenzorii joaca
un rol important, mulți dintre ei fiind specifici unei aplicații.