Universitatea "Politehnica" din Bucureşti

Facultatea de Inginerie Mecanică si Mecatronică

Departamentul de Mecatronică si Mecanică de Precizie

Tehnologia LIGA

Lithographie – Galvanoformung – Abformung

Litografie – Galvanoplastie – Modelare/turnare

Prof. Dr. Ing. Georgeta Ionaşcu

Curs MNT
Pentru obţinerea microstructurilor metalice şi din polimeri, dezvoltate în
spaţiu, pe 2 1/2 axe şi pe 3 axe, cu raport mare între înălţimea şi
dimensiunea lor în plan (raport de aspect), a fost făcut cunoscut, în anul
1980, procedeul LIGA. Cel care a comunicat apariţia acestui nou procedeu
de lucru a fost Wolfgang Ehrfeld, de la Centrul de Cercetări Nucleare din
Karlsruhe. Prima realizare a fost o minicentrifugă pentru separarea izotopilor
de uraniu, din nichel, a cărei dimensiune minimă în plan era de 5 µm şi avea
o înălţime de 300 µm.
Procedeul şi-a găsit numeroase aplicaţii: zone Fresnel, elemente fluidice,
lentile şi prisme din PMMA, microcontacte din nichel, microbobine de cupru,
cleme metalice şi roţi dinţate din nichel formate pe un substrat separat şi
asamblate ulterior cu arborii, prisme hexagonale din nichel - adaosuri
metalice pentru materiale compozite, duze pentru trefilarea fibrelor din
materiale plastice, microturbine din nichel sau cupru - cu fibră optică
integrată pentru măsurarea turaţiei turbinei, micromotoare magnetice,
micromotoare electrostatice, măşti metalice pentru structurarea în plasmă a
suprafeţelor asferice nanometrice.

Curs MNT
 Spre deosebire de procesele de microprelucrare a siliciului
prezentate anterior, la aplicarea procedeului LIGA grosimea stratului de
rezist corespunde înălţimii dorite a microstructurii, deci va fi de câteva sute
de micrometri; substratul se preferă a fi metalic, iar dacă este dielectric sau
semiconductor - el va fi acoperit înainte cu un strat metalic subţire care să-i
confere proprietăţi conductiv - electrice; rezistul utilizat este PMMA
(denumirea comercială: PLEXIGLAS); masca prin intermediul căreia este
configurat stratul de rezist este de o construcţie specială, astfel încât să
aibă calităţi absorbante sau transparente pentru radiaţia utilizată; radiaţia X
sincrotronică folosită, de lungime de undă 0,1...2 nm are calitatea de a fi
foarte puternică - pentru a putea acţiona pe întreaga grosime foarte mare a
rezistului, are o divergenţă foarte mică apreciată la ≈5 mrad (practic,
radiaţia este paralelă) şi aceasta permite obţinerea pereţilor verticali de
mare înălţime (de altfel, litografia cu radiaţie X sincrotronică poartă şi
numele de "litografie adâncă").

Curs MNT
 Procedeul LIGA se referă exclusiv la
structuri a căror înălţime depăşeşte 100 µm
ajungând până la 1 mm şi care au nevoie, în
etapa de litografie, de radiaţie X
sincrotronică; aceeaşi succesiune de etape
de lucru (litografie, galvanizare, formare –
turnare / presare) poate fi, însă, întâlnită şi
pentru alte structuri, cu înălţimi mult mai mici
şi care permit utilizarea, în etapa de litografie,
fie a electronoreziştilor - cu expunere la
fascicul de electroni, fie a fotoreziştilor - cu
expunere la radiaţii ultraviolete.
Pentru obţinerea microstructurilor 3D
există mai multe variante care se deosebesc
între ele prin etapa de expunere. Radiaţia X
poate fi înclinată cu unghiuri diferite faţă de
suprafaţa rezistului, poate fi rotită sau
expunerea se poate face secvenţial - în
fiecare secvenţă folosindu-se câte o mască
cu configuraţie diferită.
Principiul procedeului LIGA 2 1/2D

Curs MNT
 Etapele de expunere şi developare reprezintă faza de LITOGRAFIE.
Utilizând depunerea galvanică rezultă un profil negativ al formei obţinute din
rezist; se poate depune cupru, nichel, aur sau orice alt metal; depunerea este
selectivă şi se face pe substratul conductiv neacoperit de configuraţia din rezist.
Dacă grosimea stratului metalic depus este inferioară grosimii stratului de PMMA,
după îndepărtarea rezistului se obţine microstructura metalică unicat. Dacă
depunerea galvanică continuă până la acoperirea completă a modelului de
PMMA, se obţine o formă cu goluri reprezentând negativul modelului. Rigiditatea
formei depinde de grosimea stratului metalic care acoperă modelul. Aceasta este
etapa de GALVANIZARE.
În continuare, prin aplicarea unei plăci de injectare prin reţeaua căreia se
poate injecta material plastic, se pot obţine rapid şi ieftin numeroase cópii din
polimeri; este faza de MODELARE/TURNARE/INJECTARE.
Poate urma o a doua GALVANIZARE care va copia - în negativ - profilul
structurilor din polimeri, fixate la placa de injectare. Placa metalică de turnare,
acoperită în prealabil cu un strat de separare, va servi drept electrod, iar
depunerea galvanică va reprezenta copia independentă metalică (producţie de
serie). Forma din polimeri poate constitui modelul pentru PRESAREA pulberilor
ceramice; se obţin astfel piese unicat a căror desprindere de pe model se va face
prin distrugerea acestuia.
Curs MNT

Componentele senzorului pentru
acceleraţie
Prima structură mobilă fabricată prin
metoda LIGA a fost un senzor de deplasare
pentru un accelerometru. Acesta este o
masă care oscilează, făcută din nichel şi
ataşată la un arc de tip consolă. Ea este
aşezată între doi electrozi conectaţi la un
substrat. Distanţa până la electrozi pe
fiecare parte a masei este de 3 µm;
înălţimea structurii este de 100 µm. Atunci
când sistemul senzorial este accelerat,
distanţa dintre masă şi electrozi se
modifică, ceea ce schimbă capacitatea
sistemului capacitiv format din masa şi
electrozi. Mărimea acestei schimbări este o
indicaţie a mărimii acceleraţiei. Senzorul
este echipat cu un limitator mecanic de
suprasarcină (jos dreapta), care protejează
structura de eventuale defectări.
Curs MNT
 Metoda LIGA permite, de
asemenea, execuţia de
componente mobile care
nu sunt nici conectate la
substrat, nici la o altă
componentă structurală.
De exemplu, este
posibilă realizarea de
microturbine sau de
micromotoare cu rotoare
Rotorul unei microturbine fabricat prin suspendate liber, care
tehnologia LIGA, în comparaţie cu capul unei sunt reţinute de un ax
furnici. Rotorul este din nichel şi are un pentru rotaţie.
diametru de 260 µm şi o înălţime de 150 µm.

Curs MNT
 Succesiunea etapelor de realizare a
unei microturbine prin procedeul
LIGA, combinat cu tehnica stratului
de sacrificiu

Fig. a si b: schita de ansamblu;

Fig. c1: configurarea stratului de
sacrificiu prin litografie optica
(fotolitografie) si corodare chimica
umeda;
Fig. c2: litografie adanca cu raze X;
Fig. c3prim: galvanizare 1;
Fig. c3secund: galvanizare 2.

Curs MNT
 Microturbina realizata din Ni prin procedeul LIGA,
inainte de utilizare (stg.) si dupa utilizare (dr.) – cateva mii de rotatii
 Figura prezintă o micropompă care a fost
dezvoltată în cadrul unui sistem de microanaliză
pentru dozarea şi transportul unor cantităţi mici de
lichide şi gaze. Pompa este capabilă să transporte
cantităţi microscopice de fluid la un senzor de
măsurare şi apoi să le îndepărteze.
Carcasa pompei constă dintr-o structură din aur,
de 100 µm înălţime, fabricată prin tehnica LIGA, o
placă de sticlă şi un film subţire de titan cu grosimea
de aproximativ 2.7 µm. În interiorul pompei se află o
cameră cu diametrul de 5 mm şi două compartimente
pentru valve, fiecare având un diametru de 1 mm.

Valvele sunt făcute dintr-o membrană din poliamidă, elastică şi foarte durabilă. Pompa are un
raport de compresie ridicat, care se obţine cu ajutorul unui actuator pneumatic extern. Acest
actuator împinge în jos membrana pompei (partea din mijloc a filmului de titan) până la nivelul
inferior al camerei. O creştere a presiunii determină desprinderea membranei de poliamidă a valvei
de ieşire de membrana de titan, deoarece este mai elastică. Valva se deschide şi mediul din interior
este împins afară. În acelaşi timp, valva de intrare este închisă pentru că membrana de poliamidă
este în contact cu membrana de titan. Dacă membrana pompei se mişca în sus, presiunea şi stările
valvelor se inversează şi mediul pătrunde în pompă. Dispozitivul poate transporta 70 µl/min de apă
şi respectiv 86 µl/ min de aer.

Curs MNT

Un comutator bistabil fluidic fabricat prin control 1 este aplicat un semnal de
tehnologia LIGA: a) desen schematic; b) un
prototip de 500 µm înălţime fabricat din PMMA cu presiune,
o duză având diametrul de 30 µm
Curs MNT
Componente pentru elemente de
control microfluidice care au aplicaţii
biomedicale.
Traseul unui fluid poate fi
comandat alternativ într-un mod
bistabil prin impulsuri de presiune de
la un canal de control. În timpul
funcţionarii, fluidul aderă la unul din
cei doi pereţi – comutator datorită
efectului Coandă. Traseul este stabil
atâta timp cât există numai perturbări
mici. Această condiţie defineşte o
stare 1 şi pe figură fluidul curge prin
ieşirea 1. Atunci când la poarta de
control sub forma unei creşteri de
jetul de fluid se
reorientează prin ieşirea 2,
comutatorul trecând în starea 2.
Comutatorul nu necesită piese
mobile.