Glodeanu Cristian FCIMISBM 161 Cu Avizul Corectat 1

Universitatea Tehnică a Moldovei
Studiul biosenzorilor pe baza de oxid de

zinc
Student: Glodeanu Cristian
Coordonator: Sidorenko Anatolie

Dr.hab.în ştiinţe fizico-matematice, prof.univ.
Chişinău – 2020
Ministerul Educaţiei, Culturii şi Cercetării al Republicii Moldova

Facultatea Calculatoare, Informatică şi Microelectronică
Departamentul Microelectronică şi Inginerie Biomedicală
Aprob
Șef departament MIB
Şontea Victor, prof.univ., dr.
_________________________
„_____”_____________ 2020
Studiul biosenzorilor pe baza de oxid de zinc
Teză de licenţă
Student:_____________________Glodeanu Cristian ISBM-161

Coordonator:_________________Sidorenco Anatolie
Dr.hab.în șt.fizico-mat.,prof.univ.
Consultant:__________________Svetlana Gorobievshi
Dr.hab.,prof.univ.econ.
Consultant:__________________ Artur Buzdugan
Dr.hab.,prof.univ.
Chişinău – 2020
Facultatea Calculatoare, Informatică şi Microelectronică

Departamentul Microelectronică şi Inginerie Biomedicală
Programul de studii Ingineria sistemelor biomedicale
Aprob
Șef departament MIB
Şontea Victor, prof.univ., dr.
_________________________
„_____”_____________ 2020
CAIET DE SARCINI
pentru proiectul/teza de licenţă al studentului
Glodeanu Cristian
1. Tema proiectului/tezei de licență Studiul biosenzorilor pe baza de oxid de zinc_____________

_________________________________________________________________________________
confirmată prin hotărârea Consiliului facultății nr. _1_ din „__29__” _____mai_____ 2020
2. Termenul limită de prezentare a proiectului/tezei de licență „____1__” ____iunie___ 2020
3. Date iniţiale pentru elaborarea proiectului/tezei de licență datele inițiale au fost luate din 3
surse , cărți , internet , si consultarea cu specialiștii in domeniu ______________________________
_________________________________________________________________________________
4. Conţinutul memoriului explicativ__________________________________________________
1. Introducere_______________________________________________________________
2. Studiul literaturii in domeniu,cu scopul obținerii unui biosenzor______________________
3. Oxidul de zinc și pulverizarea magnetron________________________________________
4. Obținerea de pelicule subțiri prin evaporare termica la instalația VUP-4_______________
5. Argumentarea economica a proiectului _________________________________________
5. Conţinutul părţii grafice a proiectului partea grafica a rezultatelor obținute este prezentată in
capitolul 4 , sub forma de grafice ,care reprezintă proprietațile filmelor oxidului de zinc .__________
___________________________________________________________________________
___________________________________________________________________________
6. Lista consultanţilor:
Consultant Capitol Confirmarea realizării activităţii
Semnătura Semnătura
consultantului (data) studentului (data)
Gorobievsci S. Argumentarea economică
Buzdugan A. Control normativ
7. Data înmânării caietului de sarcini 01.06.2020____________________________________
Coordonator Sidorenco A._________________________________________________

semnătura
Sarcina a fost luată pentru a fi executată de către studentul Glodeanu Cristian

_____________________________________________________________________
semnătura, data
PLAN CALENDARISTIC
Termenul de
Nr. crt. Deenumirea etapelor de elaborare/proiectare Nota
realizare a etapelor
1 Studierea literaturii de specialitate 28.01.2020
2 Analiza cercetarilor deja existente 11.02.2020
3 Studierea ZnO in contextul pieții 19.02.2020
4 Determinarea cerințelor proiectului 25.02.2020
5 Determinarea sarcinilor proiectului 26.02.2020
6 Studiera utilajului existent pentru cercetare 03.04.2020
7 Procesul de obținere a oxidului de zinc 13.04.2020.
8 Cercetarea proprietaților ZnO 26.04.2020
Student Glodeanu Cristian ____________________

semnătura
Conducător de proiect/teză de licență Sidorenco Anatolie__________________________

________________ __semnătura
UNIVERSITATEA TEHNICĂ A MOLDOVEI
FACULTATEA CALCULATOARE, INFORMATICĂ ŞI MICROELECTRONICĂ
DEPARTAMENTUL MICROELECTRONICĂ ŞI INGINERIE BIOMEDICALĂ
PROGRAMUL DE STUDII MICROELECTRONICA ŞI NANOTEHNOLOGII
AVIZ
la teza de licenţă
Tema: Studierea biosenzorilor de baza de oxid de zinc

Studentul: Glodeanu Cristian, gr.ISMB-161
1. Actualitatea temei. Dezvoltarea biosenzorilor pe bază de oxid de zinc reprezintă o nouă direcție în
chimia bioanalitică modernă. Relevanța acestui subiect este asociată cu necesitatea de a îmbunătăți
sensibilitatea, selectivitatea și viteza de detectare a analitelor țintă.
2. Caracteristica proiectului de licenţă Teza de licență constă din introducere, patru capitole, surse
bibliografice, concluzie și anexe. În lucrarea sunt cerecetate cele mai importante proprietăți ale
oxidului de zinc asociate utilizării acestuia în scopuri bioanalitice. Sunt prezentate diverse exemple de
morfologii și metode de producere a nanostructurilor pe bază de ZnO, sunt cercetate metode pentru
modificarea și imobilizarea unei biomatrice pe NPs ZnO, iar biosenzorii sunt clasificați în funcție de
tipul receptorului și metoda de preluare a semnalului analitic. Teza include 35 de figuri, 8 tabele, 25 de
surse bibliografice.
3. Analiza prototipului
− Zhao Z., Lei W., Zhang X., Wang B., Jiang H. ZnO-Based Amperometric Enzyme Biosensors // Sensors.
2010. V. 10. № 2. P. 1216-1231
− А. Х. Абдуев и др. УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев на основе
оксида цинка. Письма в ЖТФ, 2017, том 43, вып. 22, с.40-47
4. Estimarea rezultatelor obţinute. Au fost effectuate analiza caracteristicilor spectrale și
electrofizice ale filmelor ZnO/sticlă obținute prin pulverizare magnetron care indică posibilitatea
utilizării lor ca transductor fizic în proiectarea biosenzorului.
5. Corectitudinea materialului expus Materialul expus corespunde normelor și regulilor în vigoare.
6. Calitatea materialului graphic Materialul grafic expus corespunde normelor și regulilor în
vigoare.
7. Valoarea practică a tezei. Peliculele ZnO/sticlă obținute în condiții de laborator prin pulverizare
magnetron au caracteristici utile din punct de vedere a consumatorului. Valoarea practică constă în
capacitatea de a controla grosimea filmelor și rezistivitatea acestora. În viitor, filmele pot fi utilizate
pentru a modifica și imobiliza biomatrice pe baza peliculelor ZnO.
8. Observaţii şi recomandări. Din păcate, situația epidemiologică din Republica Moldova nu a
permis pregătirea practică cu drepturi depline pentru mai mult de două luni. Din acest motiv, Christian
Glodianu nu a putut obține pe deplin abilitățile practice necesare.
9. Caracteristica studentului şi titlul conferit. Studentul Glodianu Christian a manifestat un
interes acut în timpul practicii de licență și pe parcursul realizării tezei de licență în sine, a acumulat
anumite cunoștințe practice și teoretice în domeniul proiectării și funcționării biosenzorilor. În acest
timp, el a făcut cunoștință cu tehnologia de producere a peliculelor de ZnO pe substraturi de sticlă prin
metoda de pulverizare magnetron, a luat cunoștință de metodologia de studiu a proprietăților lor
spectrale (de transmisie) și electrofizice (efectul Hall). Teza corespunde cerințelor, este expusă la un
grad de promovare bun și merită aprecierea cu o notă bună, iar studentul Glodianu Christian merită
conferirea titlului de licențiat în inginerie biomedicală.
Lucrarea în forma electronică corespunde originalului prezentat către susținere publică.
Coordonatorul tezei de licență

_academician, profesor universitar, doctor habilitat______________________Sidorenko Anatolie
(titlul ştiinţifico-didactic, titlul științific semnătura, data numele, prenumele)
REZUMAT (RO)
În vederea susținerei licenței , am elaborat o lucrare cu titlul “ Studiul

biosenzorilor pe baza de oxid de zinc”
Lucrarea cuprinde:4 capitole,32 figuri,8 tabele,25 surse bibliografice
Cuvinte-chee: nanoparticule,detectie,moleculara.
Scopul lucrarii: scopul proiectului este de a oferi un studiu teoretic şi experimental
pentru a studia propetațile oxidului de zinc .

Obiective generale: cercetarea proprietaților filmelor oxidului de zinc .
Teza cuprinde introducere,4 capitole concluzii si bibliografie.
Mi-am ales sa abordez această temă deoarece in primul rind , am avut ocazia sa efectuez practica la
“Institutul de inginerie electronica si nanotehnologii”, unde este prezent tot utilajul necesar pentru
efectuarea unei cercetari asupra unui metal , in al 2 rînd este o tema destul de interesentă cu o
perspectivă în viitor.
Lucrarea este structurata in 4 capitole ,primul capitol este “Studiul literaturii in domeniu , cu scopul
obținerii unui biosensor”,aici am adus exemple din literatura pe care am însușit-o, am vorbit despre
compoziția biosenzorilor , clasificarea biosenzorilor dupa traductori , am adus exemple de biosenzori
pe baza de ZnO si am inceput să explic cum are loc imobilizarea unei biomatrici pentru a face
cunoștină cu depunerea stratului germinativ .Al 2 capitol , la fel este un studiu in literatură , cu scopul
de a face cunoștintă cu elementele de baza în crearea unui substrat de oxid de zinc , aici vorbesc
despre principiul de pulverizare magnetron si efectul hall.În al 3 capitol , care este și cel mai mare , voi
vorbi despre clasificarea filmelor si metodele de bază pentru obținerea lor , caracteristicile vidului ,
evorarea termică a materialelor în vid , asta ceea ce ține de teorie , dupa care merge etapa cea mai
importantă , procesul si pașii de obținere a filmelor de ZnO , unde voi vorbi despre tot procesul , de
efectuarea a pulverizării magnetron și obținere a filmelor de ZnO, dupa care voi trece la cercetarea
proprietaților electrice a acestora , unde voi aduce niște grafice si exemple . Ultimul capitol este
argumentarea economica , unde vom face niște calcule pentru a vedea dacă se merită o cercetare de asa
tip , vom face cunosțintă cu punctele slabe si puternice,dupa care urmeaza concluzia.
SUMMARY (ENG)
In order to support the license, I developed a paper entitled "Study of zinc oxide
biosensors"
The paper includes: 4 chapters, 32 figures, 8 tables, 25 bibliographic sources
The aim of the paper: the aim of the project is to provide a theoretical and experimental study
to study the properties of zinc oxide.
General objectives: research of the properties of zinc oxide films.
The thesis includes introduction, 4 chapters conclusions and bibliography.
I chose to approach this topic because first of all, I had the opportunity to do the internship at the
"Institute of Electronic Engineering and Nanotechnologies", where all the equipment needed to
conduct research on a metal is present, secondly it is a topic quite interesting with a perspective on the
future.
The paper is structured in 4 chapters, the first chapter is "Study of literature in the field, in order to
obtain a biosensor", here we brought examples from the literature we learned, we talked about the
composition of biosensors, classification of biosensors by translators, we brought examples of ZnO-
based biosensors and I began to explain how the immobilization of a biomaterial takes place to get
acquainted with the deposition of the germ layer. The 2nd chapter is also a study in the literature, in
order to get acquainted with the basic elements in creating of a zinc oxide substrate, here I talk about
the principle of magnetron spraying and the hall effect.In the 3rd chapter, which is also the largest, I
will talk about the classification of films and the basic methods for obtaining them, vacuum
characteristics, thermal evaporation of materials in a vacuum, this is related to the theory, after which
goes the most important stage, the process and the steps of obtaining ZnO films, where I will talk
about the whole process, performing magnetron spraying and obtaining ZnO films, after which I will
go to research their electrical properties, where I will bring some graphics and examples. The last
chapter is the economic argumentation, where we will make some calculations to see if such a research
is worthwhile, we will get acquainted with the weak and strong points, followed by the conclusion.
CUPRINS
INTRODUCERE ..................................................................................... 1
1.STUDIUL LITERATURII ÎN DOMENIU ,CU SCOPUL OBȚINERII UNUI
BIOSENZOR..................................................................................................2
1.1. Compoziția unui biosenzor............................................................................... 2
1.2. Clasificarea biosenzorilor dupa biotraductor.....................................................3
1.3. Exemple de biosenzori ......................................................................................6
1.4 Imobilizarea biomatricii ...................................................................................13
2. OXIDUL DE ZINC ȘI PULVERIZAREA MAGNETRON...............16

2.1. Oxidul de zinc ..................................................................................................16
2.2 Pricipiul de pulverizare magnetron ...................................................................19
3.OBȚINEREA DE PELICULE SUBȚIRI PRIN EVAPORARE TERMICA LA
INSTALAȚIA VUP-4 ...................................................................................24
3.1 Clasificarea filmelor și metodele de bază pentru obținerea lor……………......24
3.2. Caracteristici ale procesului de aplicare a filmelor în vid .................................27
3.3. Metode de producere și control al vidului .................................................29
3.4. Evaporarea termică a materialelor în vid ...........................................................33
3.5 Procesul si pașii de obținere filmelor ZnO........................................................37
3.6 Studierea proprietăților electrice .........................................................................41
3.7 Caracteristicile straturilor de ZnO:Al obținute...................................................43
4. ARGUMENTAREA ECONOMICĂ A PROIECTULUI ....................48

4.1. Actualitatea și utilitatea temei. Analiza SWOT.... ....................................48
4.2. Planificarea managerială a lucrărilor de proiectare...................................50
4.3. Estimarea costului proiectului...................................................................53
CONCLUZII....................................................................................................................52
BIBLIOGRAFIE............................................................................................................54
UTM 714.9 001 ME

Mod. Coala Nr. document Semnăt. Data
Elaborat Glodeanu C. Litera Coala Coli
Conducător Sidorenco A. 1 57
Studiul biosenzorilor pe baza
Consultant Buzdugan A.
de oxid de zinc UTM FCIM
Contr. norm. Railean S.
ISBM - 161
Aprobat Şontea V.
INTRODUCERE
Biosenzorii in ultimele decenii au avut si au un rol foarte important in medicina , aceste mici
dispozitive sunt studiate foarte intens , deoarece cu ajutorul acestora viața poate fi usurata
considerabil[1] . Piața biosenzorilor se extinde rapid, dar mulți biosenzori noi și inovatori probabil nu
vor ajunge niciodată pe piață. Pe fața sa, câmpul biosenzor a intrat într-o epocă de aur. Piața globală a
biosenzorilor valorează acum aproape 7.000 milioane de dolari, în creștere de la doar 5 milioane dolari
în 1987, iar aceste vânzări contribuie la finanțarea cercetării în următoarea generație de tehnologii
biosenzore. Între timp, finanțările guvernamentale pentru cercetarea biosenzorilor au crescut, în special
pentru aplicații militare și de securitate, precum detectarea armelor chimice și biologice.Mai mult
decât atât, evoluțiile recente ale nanotehnologiei oferă potențialul de detectare extrem de sensibilă și
senzori mici, lipsiți de acțiune, care ar putea fi implantate la pacienți sau încorporate în îmbrăcăminte.
Multe grupuri de cercetare explorează potențialul proiectării biosenzorilor pe baza nanotuburilor de
carbon, a punctelor cuantice și a polimerilor imprimați molecular (MIPs).
Ideea creării biosenzorilor datează din experimentul realizat de fiziologul german Max Kremer în
1906, când a arătat că concentrația de acid într-un lichid este proporțională cu potențialul electric care
apare între părțile lichidului situate pe laturile opuse ale membranei de sticlă . Primul biosenzor de tip
modern a fost proiectat de Leland Clark Jr. (1918-2005) în 1956 ,pentru a detecta oxigenul, ulterior
acest electrod a fost denumit „electrod Clark”[1]. Până în 1962, Clark a demonstrat primul electrod
enzimatic amperometric pentru detectarea glucozei. În 1969, George Gilbo și Joseph Montalvo Jr. au
creat primul biosenzor potențiometric pentru detectarea ureei. Primul biosenzor comercial a fost
dezvoltat în 1975 de către Yellow Spring Instruments (YSI).
Scopuri și obiective :
Obiectivele acestei lucrari sunt :

1. Dezvoltarea unei metode de producere a filmelor conductoare, de oxid de zinc pe substraturi de
sticlă (ZnO / sticlă) prin intermediul pulverizării magnetron.
2. Studierea posibilității de utilizare a filmelor ZnO / sticlă ca electrod biosensor pentru sinteza
ulterioară a nanostructurilor ZnO pe acesta
3. Cercetarea caracteristicilor spectrale și electrice ale filmelor ZnO
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 2
Mod Coala Nr. document Data
.
1.STUDIUL LITERATURII ÎN DOMENIU CU SCOPUL OBȚINERII UNUI
BIOSENZOR
Biosenzorul este un dispozitiv care măsoară reacțiile biologice sau chimice prin generarea de semnale
proporționale cu concentrația unui analit în reacție[1]. Biosenzorii sunt folosiți în aplicații precum
monitorizarea bolii, descoperirea medicamentelor și detectarea poluanților, microorganisme
provocatoare de boli și markeri care sunt indicatori ai unei boli în fluidele corporale (sânge, urină,
salivă, transpirație).
1.1. Compoziția unui biosenzor
Biosenzorii constau din trei părți:
1.Bioreceptor (material biologic ) microorganisme, nanoparticule , receptorii celulari, enzime,

anticorpi, acizi nucleici, etc.
2.Convertor, care funcționează pe principii fizice și chimice, (optic, piezoelectric, electrochimic etc.),
care convertește semnalul care apare ca urmare a interacțiunii de la analit cu elementul bioselectiv într-
un alt semnal care este mai ușor de măsurat[1];
3.Electronice ,care include in numai decît un amplificator de semnal , procesor, care răspund în primul
rând pentru afișarea rezultatelor într-un mod ușor de vizualizat.
Fig.1. Compozitia unui biosenzor[1].
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001ME 3
.
Bioreceptorul este conceput pentru a interacționa cu analitspecific de interes pentru a produce un efect
măsurabil de traductor.Selectivitatea ridicată pentru analit printre o matrice de alte componente
chimice sau biologice este o cerință esențială a bioreceptorului.În timp ce tipul de biomoleculă utilizată
poate varia foarte mult, biosenzorii pot fi clasificați în funcție de tipurile comune de interacțiuni
bioreceptori care implică: anticorpi/antigeni, enzime/ligand, acizi nucleici/ADN, structuri/celule
celulare sau materiale biomimetice.
Traductoarele și electronicele pot fi combinate, de exemplu, în sistemele de microsenzori bazate pe

CMOS. Componenta de recunoaștere, adesea numită bioreceptor, folosește biomolecule din organisme
sau receptori modelați după sisteme biologice pentru a interacționa cu analitul de interes.Această
interacțiune este măsurată prin biotraductor, care produce un semnal măsurabil proporțional cu
prezența analitului țintă în eșantion.Scopul general al proiectării unui biosenzor este de a permite
testarea rapidă și convenabilă în punctul de îngrijorare sau de îngrijire de unde a fost achiziționat
eșantionul.
1.2 Clasificarea biosenzorilor dupa biotraductor
Biosenzorii pot fi clasificați după tipul lor de biotraductor. Cele mai frecvente tipuri de
biotraductori utilizate în biosenzori sunt:
1.biosenzori electrochimici
2.optici
3.piezoelectrici
4.piroelectrici
5.gravimetrici
6.electronice
Fig. 1.1. tipurile de biotraductori[1].
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 4
.
Biosenzori electrochimici , se bazează în mod normal pe cataliza enzimatică a unei reacții care
produce sau consumă electroni (astfel de enzime sunt numite pe bună dreptate enzime
redox).Substratul senzorului conține de obicei trei electrozi; un electrod [3] de referință, un electrod de
lucru și un contor de electrod.Analitul țintă este implicat în reacția care are loc pe suprafața
electrodului activ, iar reacția poate provoca fie transferul de electroni pe stratul dublu (producerea unui
curent), fie poate contribui la potențialul stratului dublu (producerea unei tensiuni).Putem măsura fie
curentul (rata fluxului de electroni este acum proporțională cu concentrația de analit) la un potențial
fix, fie potențialul poate fi măsurat la zero curent (acest lucru oferă un răspuns logaritmic).Rețineți că
potențialul electrodului activ sau activ este sensibil la încărcarea spațiului, iar acest lucru este adesea
utilizat.În plus, detectarea electrică directă și fără etichetă a peptidelor și proteinelor mici este posibilă
prin încărcăturile lor intrinseci, utilizând tranzistori biofuncționalizați cu efect de câmp sensibil iioni.
Biosenzorii optici reprezintă cel mai frecvent tip de biosenzor. Aici oferim o scurtă clasificare, o
descriere a principiilor de funcționare și a aplicațiilor lor bioanalitice. Accentul principal este pus pe
cei mai utilizați biosenzori optici, care sunt biosenzorii bazate pe rezonanță plasmonică (SPR), bazate
pe rezonanță plasmatică, incluzând imagini SPR și SPR localizate[5]. În plus, sunt descrise alte
sisteme de biosenzori optici, cum ar fi fluorescența undelor evanescente și biosenzorii bioluminescenți
din fibre optice, precum și spectroscopie interferometrică, elipsometrică și reflectometrică și
biosenzori de împrăștiere Raman îmbunătățită la suprafață. Biosenzorii optici discutați aici permit
detectarea sensibilă și selectivă a unei game largi de analite incluzând viruși, toxine, medicamente,
anticorpi, biomarkeri tumori și celule tumorale.
Biosenzorii piezoelectrici sunt un grup de dispozitive analitice care lucrează pe un principiu al

înregistrării interacțiunii de afinitate[2]. O platformă piezoelectrică sau un cristal piezoelectric este o
componentă senzoră care lucrează pe principiul schimbării oscilațiilor datorită unei mase legate pe
suprafața cristalului piezoelectric. În această revizuire, sunt prezentate și discutate biosenzorii cu
suprafața lor modificată cu un anticorp sau antigen, cu un polimer imprimat molecular, cu informații
genetice precum ADN-ul catenar unic și biosenzori cu receptori legați de organice de origine
biochimică. Părțile de recunoaștere menționate sunt frecvent combinate cu utilizarea nanoparticulelor
și sunt introduse în acest mod și aplicații. Este prezentată o imagine de ansamblu a literaturii actuale și
metodele prezentate sunt comentate.
Piroelectricitatea (din cele două cuvinte grecești pir care înseamnă foc și electricitate) este o
proprietate a anumitor cristale care sunt natural polarizate electric și, ca urmare, conțin câmpuri
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 5
.
electrice mari. Piroelectricitatea poate fi descrisă ca capacitatea anumitor materiale de a genera o
tensiune temporară
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 5
.
atunci când sunt încălzite sau răcite.Schimbarea temperaturii modifică pozițiile atomilor ușor în
structura cristalului, astfel încât polarizarea materialului se schimbă. Această schimbare de polarizare
dă naștere la o tensiune peste cristal. Dacă temperatura rămâne constantă la noua sa valoare, tensiunea
piroelectrică dispare treptat din cauza curentului de scurgere. (Scurgerea se poate datora electronilor
care se deplasează prin cristal, ionilor care se deplasează prin aer sau scurgerii de curent printr-un
voltmetru atașat de-a lungul cristalului.).
1.3 Exemple de biosenzori
1. Pentru masurarea glucozei in singe :
Glucoza este un carbohidrat esențial și o sursă crucială de energie în sistemele biologice ale oamenilor
și ale altor organisme. Este un ingredient fundamental al grăsimii produse în sistemul metabolic.
Întrucât este o componentă foarte necesară a corpului uman, cercetătorii s-au concentrat prin urmare pe
fabricarea biosenzorilor de glucoză pentru a monitoriza nivelul de glucoză din sânge. Una dintre cele
mai bune tehnici posibile pentru a determina valoarea medie a glucozei pentru un grup de celule este
rezonanța magnetică nucleară. Această tehnică este o modalitate nedestructivă și indirectă de a strânge
informații despre concentrația de glucoză din sânge. Pentru măsurarea directă a concentrațiilor de
glucoză, biosenzorii pe baza nanomaterialelor ZnO sunt considerați o alternativă bună la metodele
prezente [4,5]. Astfel de rapoarte privind măsurătorile intracelulare nu sunt foarte frecvente în
literatura de specialitate [5]. Reacțiile pentru detectarea moleculei de glucoză cu senzori pe bază de
enzimă ZnO / glucoză oxidază sunt date în următoarele ecuații:
H2O2 + O2 + β-d-glucoză → δ-d-gluconolactonă + H2O2 (1)

δ-d-gluconolactonă → d-gluconat – + 2H + (1.1)
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 6
.
Fig. 1.2 Schema biosenzorului de masurat glucoza [18].
Reacția este foarte specifică datorită alegerii analitului și a enzimei glucoză oxidază care are o
funcționalitate excelentă cu produse precum δ-gluconolactona împreună cu peroxidul de hidrogen.
Combinația dintre aceste două produse și consumul de oxigen din soluție funcționează pentru a
produce un semnal electronic pentru detectarea moleculelor de glucoză. Etapa de reacție chimică are
loc atunci când gluconolactona reacționează cu apa la pH neutru și se transformă în forma ionică, ion
gluconat și protoni, așa cum se arată în ecuația de mai sus.
Îintr-un studiu a fost raportat fabricarea unui biosensor la scară microscală pe bază de ZnO și
detectarea moleculelor de glucoză pe intervalul de concentrație de la 500 nM la 1 mM de soluție
tampon și teste ale răspunsului electrochimic împotriva unui electrod de referință standard. Curba
electrochimică a afișat un răspuns liniar de sensibilitate de 40,2 mV pe deceniu, așa cum se arată în
( fig 1.3 ) [18]. Rezultatele obținute pentru adipocitele umane (50 ± 15 pM) au fost comparabile cu
rezultatele obținute pentru țesuturile musculare de șobolan pentru o concentrație extracelulară de
glucoză de 10 nM [39]. Un răspuns potențial stabil a fost obținut pentru măsurătorile intracelulare după
injectarea de 10 nM insulină ca o cantitate suplimentară de soluție extracelulară, unde rezultatul
măsurat intracelular în ovocitele de broască a fost de 125 ± 23 pM. Valorile crescute ale concentrațiilor
de glucoză (50 ± 15 până la 125 ± 15 pM) și (125 ± 23 pM până la 250 ± 19 pM) au fost observate
pentru adipocitele umane și, respectiv, ovocitele de broască, la câteva minute după injectarea insulinei.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 7
.
Fig.1.3. Răspunsul electrochimic al biosenzorului la scară microscopică față de gama logaritmică a
electrolitului de glucoză[18].
Măsurătorile obținute folosind biosenzorii ZnO funcționali pe bază de nanorod au relevat rezultate
foarte consistente pentru valorile de glucoză prezente în adipocitele umane și ovocitele de broască, așa
cum se arată în ( fig.1.4a, b) . Un alt raport [17] s-a concentrat pe detectarea glucozei cu nanoflak de
ZnO ca o alternativă la structurile nanorod ZnO; efortul a fost făcut pentru a sintetiza nanoflakele ZnO
direct pe un vârf ascuțit de sticlă borosilicată pentru o penetrare blândă în membrana celulară.
Rezultate îmbunătățite, cu o mai bună selectivitate și sensibilitate, cu o limită de detecție mai mică și
eficiență mai mare au fost revendicate datorită raportului suprafeței mai mare.
Fig.1.4. (a) Mecanismul activării induse de insulină a absorbției glucozei. (b) Impactul inducției de
insulină în soluția extracelulară pe curba de răspuns la ieșire în timpul măsurărilor de detectare a
glucozei intracelulare[21].
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 8
.
O altă caracteristică a acestei abordări poate fi existența potențială a microcavităților care pot capta
cantități mai mari de membrană a glucozei oxidazei, care este un parametru cheie, nu numai pentru a
detecta biomolecula, ci și pentru selectivitatea, sensibilitatea și eficiența măsurătorilor..
Istoria crearii biosenzorului de masurat glucoza :

Tabelul 1.Etapele creării biosenzorului de măsurat glucoza
Anul Eveniment
1962 Prima descriere a unui biosenzor de Clark și Lyons
1967 Primul electrod enzimatic practic de Updike și Hicks
1973 Electrod enzimă cu glucoză bazată pe detectarea peroxidului de hidrogen
1975 Relansarea primului biosenzor comercial, adică analizor YSI
1976 Primul pancreas artificial (mile)
1982 Primul electrod enzimatic de ac pentru implantarea subcutanată de către Shichiri
1984 Primul biosenzor glucozic amperometric mediat cu ferocen
1987 Lansarea biosenzorului glicemic MediSense ExacTech
1999 Lansarea unui senzor comercial de glucoză in vivo (MiniMed)
2000 Introducerea unui monitor portabil de glucoză neinvaziv (GlucoWatch)
2. Senzori de colesterol
Colesterolul este o biomoleculă foarte importantă, care este crucială pentru diverse funcții în
celulele vii. Un nivel controlat al concentrației de colesterol în fluxul sanguin este foarte
necesar, deoarece acest nivel echilibrat de colesterol poate ajuta la asigurarea funcționării
corecte a organismului, cum ar fi producerea de acizi biliari și hormoni sexuali, procese de
semnalizare etc. [19,20]. Determinarea nivelului de colesterol în fluxul sanguin este de o
importanță vitală și se poate realiza prin reacția chimică dintre enzima colesterol oxidaza și
oxigenul prezent în soluțiile tampon.
Conform literaturii disponibile, natura bifuncțională a enzimei colesterol oxidază este
responsabilă de inițierea reacției funcția sa de catalizator pentru a produce un Δ5-3-ketosteroid
împreună cu peroxidul de hidrogen printr-un proces de oxidare (ecuația (1)) ) Ulterior, et5-3-
ketosteroidul suferă un proces de izomerizare imediat după finalizarea primei etape și o
tranziție a protonului intramolecular între aranjamentul 4β și 6β. Se formează un stable4-3-
ketosteroid
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 9
.
stabil datorită capacității speciale a enzimei de colesterol oxidază unde poate produce o
modificare chimică specifică a steroidului în prezența grupului 3β-hidroxil (Ecuația (2)) [21].
Procesul complet de reacție este prezentat în următoarele ecuații:
Cholesterol + O2 → Δ5-3-ketosteroid + H2O2 (1.2)
Δ5-3-ketosteroid → Δ4-3-ketosteroid (1.3)
Biosenzorul de colesterol de fabricație folosind nanoane ZnO cultivate pe un microwire argintiu

subțire, unde nanofirele crescute erau extrem de orientate în ceea ce privește suprafața sârmei [22]. În
figura (1.5.a) este prezentată o imagine cu microscop electronic de scanare (SEM). O schemă a
măsurării diferenței de potențial electrochimic între biosenzorul de colesterol față de un electrod de
referință standard și mecanismul sugerat împreună cu modificările rezultate în molecula de colesterol
pot fi observate în fig (1.5 c.) Acesta este același proces de reacție chimică menționat în ecuațiile (1)
și (2) și considerat responsabil pentru generarea unui potențial în împrejurimile biosenzorului fabricat.
Raportul ridicat de suprafață / volum al nanofilelor a fost considerat ca unul.
dintre cei mai importanți parametri pentru a atinge o curbă de sensibilitate excelentă de ~ 35,2 mV
pe deceniu, dovedind valorile îmbunătățite ale potențialului din mediul biosenzor al colesterolului, cu
concentrația crescândă a colesterolului soluții tampon. Răspunsul electrochimic al rezultatelor
măsurate a relevat capacitatea excelentă de detectare pe o scară logaritmică largă, cuprinsă între 1 × 10
–6 M și 1 × 10–2 M concentrații de colesterol .
Fig.1.5 Imaginea SEM a nanoamelor ZnO crescute chimic pe un fir de argint. (b, c) Configurarea
experimentală și mecanismul de reacție al procesului de detectare a colesterolului [22].
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 10
.
3. Senzori cu ion de zinc
Zincul este un cation important în sistemele biologice care participă la mai multe funcții, astfel încât
este necesară monitorizarea concentrației ionilor de zinc în sânge. Această verificare a concentrației
variate de Zn2 + poate avea un impact pozitiv asupra exprimării genelor, a funcției sistemului imunitar
și a eficienței enzimelor. Intr-un raport au fost prezentate rezultate despre adecvarea unui senzor bazat
pe nanorod ZnO pentru detectarea Zn2 +, unde accentul a fost fabricarea unei sonde de biosensibilitate
Zn2 + -selectivă pentru răspunsul electrochimic al senzorului fabricat [24]. Capacitatea sondei de
biosensibilitate bazată pe nanorod ZnO încapsulată de membranele ionofore a fost verificată prin
monitorizarea măsurătorilor in vivo ale speciilor biologice [23]. Curba de răspuns electrochimic pentru
diferite concentrații de Zn2 + de la 1 pM la 100 mM în soluții tampon fosfat a fost trasă pentru a testa
sensibilitatea biosenzorului, iar rezultatele măsurate au relevat un răspuns liniar bun de ~ 35 mV pe
deceniu în condiții de temperatură ambientală (23 ± 2) ° C, așa cum se arată în (fig.1.6.) Ecuația
următoare arată reprezentarea reacției celulare potențiale electrochimice sugerată în această lucrare:
Fig.1.6. Curba de calibrare pentru detectarea ionilor de zinc folosind nanorode ZnO acoperite cu
ionofor [24].
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 11
.
Diversi parametri ai senzorului fabricat au fost evaluați ca limita de detecție, timpul de răspuns,
reproductibilitatea, repetabilitatea etc. Studiul prezentat a considerat reproducibilitatea dispozitivului
ca
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 11
.
un parametru important, astfel încât un set de cinci senzori independenți a fost fabricat păstrând fix
toate celelalte achiziții. parametrii, inclusiv membrana ionofora. Membrana ionofora conține O, S, N,
etc., care nu sunt considerate numai elemente cheie responsabile de generarea unei interacțiuni
electrostatice între Zn2 + și matricea ZnO activă, ci și pentru stabilitatea dispozitivului pentru o
perioadă mai lungă de timp.
De asemenea, a fost investigat impactul valorilor variate ale pH-ului și temperaturii soluției tampon de
fosfat cu scopul de a ilustra capacitatea senzorului în orice condiție de mediu particulară. Autorii au
sugerat că suprafața membranei ionofore nu este foarte stabilă atunci când este expusă unei distribuții
ionice variate precum cea găsită într-un mediu acid sau bazic, iar răspunsul electrochimic începe să
scadă pe măsură ce valoarea pH-ului se îndepărtează de neutralitate. Cea mai mare valoare a
răspunsului potențial electrochimic a fost găsită în intervalul neutru de pH 7–8;. (Fig.1.7.a) arată
rezultatele obținute din soluția ZnNO3 preparată în soluția tampon fosfat, care a fost utilizată pentru
testarea soluțiilor analitice pentru intervalul de pH de la 4 la 10 și cele mai bune rezultate sunt afișate
la valoarea de pH de 7,4. S-a observat impactul temperaturii ridicate pentru domeniul cuprins între 20
și 80 ° C, tendința curbei măsurate este în direcția ascendentă până când valoarea temperaturii
soluției ajunge la 45 ° C; cu toate acestea, acesta scade brusc pe măsură ce traversează limita de 50 ° C,
așa cum se arată în( Fig 1.7.b.)
Fig.1.7. (a, b) Impactul valorilor diferite ale pH-ului și temperaturii asupra curbelor de răspuns ale
senzorului de ioni de zinc[23].
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 12
.
Degradarea răspunsului electrochimic este legată de biodegradabilitatea la temperaturi mai ridicate și
de slăbirea forțelor de legare a membranei. În plus, creșterea energiei cinetice a celorlalți ioni prezenți
în soluție poate împiedica accesul Zn2 + la suprafața biosenzorului.
1.4 Imobilizarea biomatricii
Imobilizarea unei biomatrice pe un suport solid este un moment cheie în crearea nu numai
a biosenzorilor electrochimici, ci și a multor alte tipuri de biosenzori. Prin atașarea unei enzime, a unui
anticorp sau a altor molecule biologic active la suprafața unui purtător, este posibilă creșterea
stabilității chimice a unei biomolecule și, mai important, utilizarea eficientă a proprietăților specifice
ale materialului purtător (conductivitate electrică, proprietăți luminescente) pentru a detecta un
eveniment analitic, care este o reacție chimică[3]. În legătură cu problema imobilizării biomatricei, un
rol important este modificarea suprafeței pentru atașarea ulterioară a biomoleculelor.
În timpul imobilizării cu ajutorul unor reactivi speciali, enzima este „fixată” fie pe suprafața
adsorbantilor, de exemplu, silicagel, cărbune sau celuloză, sau introdusă în filmul unui polimer poros,
sau „cusută” pe un substrat covalent, adică prin intermediul unor legături chimice. În acest caz, enzima
este fixată, nu mai este mobilă, nu este spălată din biocapa și efectul catalitic este păstrat. În (Fig.1.8 )
este o reprezentare schematică a metodelor de imobilizare enzimatică la biosenzori. După cum se vede
în (Fig.1.8), când imobilizează enzimele folosind o varietate de metode pentru fixarea lor, inclusiv
combinate. Biosenzorii pot fi de asemenea construiți cu ajutorul așa-numitei tehnologii volumetrice, în
care componentele individuale alcătuiesc un singur ansamblu fizic. Deși în prezent sunt aplicate în
practică astfel de biosenzori, acestea au dezavantaje și există dificultăți în fabricarea lor. De fapt,
acoperirea strat după strat a unui electrod[7] sau a oricărui traductor solid cu membrană trebuie să fie
reproductibilă. Tehnologia adecvată de formare a suprafeței ar trebui să permită fabricarea unui
electrod suficient de mic. În plus, biosenzorii cu membrane relativ groase oferă timpi de răspuns mai
lungi și există dificultăți în calibrarea acestora. Avansele dezvoltării microelectronicii au împins
dezvoltatorii de proiecte de biosenzori către soluții noi. S-a dovedit că promite să folosească așa-
numita tehnologie plană (fotolitografie, tehnologie de acoperire cu semiconductor etc.), potrivit căreia
așa-numitul un biocip care combină un sistem de senzori, un traductor, un convertor analog-digital și
un microprocesor pentru măsurarea semnalului analitic și calcularea rezultatelor analizei. Deși astfel
de biochipuri pot fi replicate, principala problemă în acest caz va fi reproductibilitatea stării, adică
microstructura de suprafață cu un strat de enzimă activă biologic[3]. În acest caz, optimizarea unei
astfel de structuri pare, de asemenea, o sarcină dificilă, în contrast cu tehnologia volumetrică
implementată de prezența mai multor straturi moleculare în proiectarea părții senzoriale.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 13
.
Cu toate acestea, „designul molecular” în construcția viitorilor biosenzori poate concura cu versiunea
lor volumetrică.
E E
E E
E E E
E E
E
а б в
E
E E E E
E
E E E
E
Fig. 1.8. Reprezentarea schematică a metodelor de imobilizare a enzimelor la biosenzori.[16]
a - legare covalentă la suprafața electrodului, b - reticulare, c - adsorbție pe un purtător (electrod),

legare covalentă și cusut la un substrat (electrod), captură electronică de către un purtător (într-un film)
polimer).
Materialul pentru crearea purtătorului trebuie să posede o combinație de proprietăți care să permită cea
mai reușită modificare (cu eficiență ridicată, costuri reduse ale resurselor materiale și de timp) a
suprafeței sale, imobilizarea biomatricei pe suprafața modificată și un semnal analitic de calitate cerut.
Printre aceste caracteristici, se poate indica o suprafață specifică ridicată, costuri reduse, stabilitate
chimică, ușurință de modificare a suprafeței, precum și proprietăți semiconductoare necesare pentru
obținerea tipurilor specifice de semnal analitic. Nanostructurile de oxid de zinc devin din ce în ce mai
populare atât ca purtător, cât și ca convertor, datorită combinației optime a proprietăților de mai sus.
Nanomaterialele sunt utilizate pentru a crea biosenzori în primul rând datorită faptului că au un raport
mare suprafață / volum și pot conține un număr semnificativ mai mare de receptori bioanalitici decât
materialele din film sau în vrac. Nanomaterialele pot ajuta la menținerea activității enzimei[4], la
prevenirea degradării biomatricei și asigură transferul eficient de electroni între centrele active ale
enzimei și electrodului. Avantaj important
ZnO înainte de alte materiale utilizate în scopuri bioanalitice, cum ar fi aurul, platina [2], nanotuburile
de carbon [3], este variabilitatea și simplitatea relativă a metodelor sale și posibilitatea de a sintetiza
oxidul de zinc nanostructurat cu o mare varietate de morfologii (Fig.1.8.)
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 14
.
În prezent, ZnO este obținut sub formă de nanorode (nanofire), nanocline, nanosote, nanorings,
nanoribbons, nanosprings (nanospirale), nanocelule, tetrapode, precum și pelicule subțiri și acoperiri.
O astfel de diversitate a nanostructurilor ZnO, atât în materie de morfologie, cât și în proprietăți, o
distinge de alte materiale și trebuie remarcat faptul că reactivii inițiali sunt foarte ieftini, relativitatea
simplității sintezei unor astfel de structuri și posibilitatea scalării proceselor de sinteză. Obțineți ZnO
nanocristalin pe substraturi și în stare dispersată [4]. Substratul este un purtător solid, adesea o
componentă a unui biosenzor pentru transmiterea unui semnal analitic. În acest caz, sinteza este
realizată direct pe electrozi sau substraturi conductoare pentru cele electrice sau electrochimice
ulterioare.Sinteza omogenă este de asemenea posibilă, adică nanostructurile ZnO pot fi sintetizate pe
pelicule ZnO.
Fig.1.9.Varieta nanostructurilor oxidului de zinc [3]
Dintr-o revizuire a literaturii asupra stării actuale a proprietăților fizico-tehnologice ale biosenzorilor
pe bază de oxid de zinc, se pot trage următoarele concluzii:

1. În prezent, întrebările privind crearea biosenzorilor sensibili bazate pe nanostructuri ZnO sunt de
mare interes. Capacitatea de a efectua teste rapide și precise pentru anumiți toxici este deosebit de
importantă în legătură cu răspândirea pandemiei coronavirusului.
2. Nanoparticulele ZnO sunt nanozimele, adică. nanoparticule care imită enzime naturale care nu
sunt inferioare în selectivitate și activitate față de peroxidază naturală.[12] Nanoparticulele sintetizate
ZnO pot fi utilizate în diagnosticul medical.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 15
.
3. La fabricarea biosenzorilor pe bază de ZnO, unul dintre cei mai importanți parametri care
afectează nanostructurile de oxid de zinc este crearea unui strat germinat
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 15
.
2.OXIDUL DE ZINC ȘI PULVERIZAREA MAGNETRON
2.1 Oxidul de zinc
Oxid de zinc (oxid de zinc) ZnO este o pulbere cristalină incoloră, insolubilă în apă,
îngălbenind la încălzire și sublimând la 1800 ° C.
Fig.2.Oxidul de zinc[6].
Proprietăți fizice :
Conductivitatea termică: 54 W / (m · K) [6].
Oxidul de zinc este un semiconductor cu decalaj direct, cu un interval de 3,36 eV. Schimbarea naturală
a raportului stoechiometric către îmbogățirea oxigenului îi conferă un tip de conductivitate electronică.
Când este încălzită, substanța își schimbă culoarea: alb la temperatura camerei, oxidul de zinc devine
galben. Acest lucru se explică printr-o scădere a intervalului de bandă și o mutare a marginii în
spectrul de absorbție de la regiunea UV la regiunea albastră a spectrului vizibil.
Proprietăți chimice :
Chimic, oxidul de zinc este amfoteren - reacționează cu acizii pentru a forma sărurile de zinc
corespunzătoare; atunci când interacționează cu soluții alcaline, formează tetra- și hexahidroxozincate
complexe (de exemplu, Na2 [Zn (OH) 4], Ba2 [Zn (OH) 6], etc.) ):
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 16
.
Fig.2.1.Legatura chimică a oxidului de zinc[6].
Metode de obținere :
1. Arderea vaporilor de zinc în oxigen („procesul francez”).
2. Descompunerea termică a unor săruri de zinc:
3. Acetat de Zn (CH3COO) 2;
4. Hidroxid de Zn (OH) 2;
5. Carbonat de ZnCO3;
6. Azotat de Zn (NO3) 2.
7. Prăjirea oxidativă a sulfurii de ZnS.
8. Utilizarea sintezei hidrotermale
9. Extragerea din praf și nămoluri a instalațiilor metalurgice feroase, în special fier vechi (conține
o proporție semnificativă de fier zincat).
Folosirea:
1.În industria chimică
2.In medicină :
Ca o componentă a medicamentelor externe utilizate în dermatologie. Are efecte antiinflamatoare,

uscare, adsorbante, astringente și antiseptice.
Se aplică sub formă de pulbere, unguent, pastă, liniment. Este una dintre componentele mai multor
preparate dermatologice și cosmetice complexe, cum ar fi unguentul de zinc, Pasta Lassara etc.
Efectul farmacologic se datorează faptului că oxidul de zinc formează albuminate și denaturează
proteinele. Atunci când este aplicat pe suprafața afectată, reduce efectele exudării, inflamației și iritării
țesuturilor, formează o barieră protectoare împotriva acțiunii factorilor iritanți.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 17
.
Poate fi utilizat pentru dermatită, incluzând scutec, erupție de scutec, erupție a scutecului, răni
superficiale și arsuri (arsuri solare, tăieturi, zgârieturi), leziuni cutanate ulceroase (ulcere trofice), boli
de presiune, eczeme în stadiul acut, herpes simplex, streptoderma.
Tabelul. 2.Proprietațile diferitor oxizi metalici[21].
Dupa cum vedem , ZnO dupa numarul de proprietați este pe primul loc in medicina,cu o mulțime de
molecule țintă
1.Este biocompatibil
2.Transfer de electroni
3.Non-toxic
4.Nanomorfologii diverse
3. În electronică
Oxidul de zinc este utilizat pentru producerea varistorilor, care sunt folosiți la armatoarele de
supratensiune modernă (RP) pentru a înlocui armatoarele învechite pline cu gaz.În plus, pulberea de
oxid de zinc este un material promițător ca mediu de lucru pentru laserele cu pulbere[6] .Un LED
albastru a fost creat pe baza oxidului de zinc Pelicule subțiri și alte nanostructuri pe bază de oxid de
zinc pot fi utilizate ca senzori biologici și gaz sensibi.
Oxidul de zinc este, de asemenea, o parte din pastele termoreductoare, de exemplu pasta KPT-8.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001ME 18
.
2.2 Principiul de pulverizare magnetron
Pulverizarea magnetron - reprezintă un proces fizic de depunere din vapori (PVD) în

care materialul este îndepărtat fizic de pe Țintă prin bombardament ionic[9]. Termenul de pulverizare
„sputteren” provine din limba germană, şi înseamnă „ruperea în particule mici şi cu o caracteristică
explozivă a sunetului”
Fig 2.2.Princpipiul de pulverizare[9]
Fig.2.3. Structura magnetronului[9]
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001ME 19
.
Magneții permanenți sunt plasați direct sub țintă, creând un câmp magnetic aproape paralel cu
suprafața catodului. O descărcare anormală de gaz este aprinsă între anod și catod. Ca urmare,
electronii sunt eliminați din catod, care sunt prinși de un câmp magnetic și fac o mișcare în spirală în
acest câmp sub acțiunea forței Lorentz. Electronii captați de câmpul magnetic conduc ionizarea
suplimentară a atomilor de gaz inert, ceea ce crește astfel intensitatea bombardării cu ioni a suprafeței
catodului și, în consecință, provoacă o creștere a vitezei de pulverizare.
Principalele caracteristici interrelaționate care determină viteza de pulverizare a unei ținte includ
tensiunea de descărcare, curentul de descărcare, presiunea gazului de lucru și inducerea câmpului
magnetic de lângă suprafața catodului. Argonul este utilizat în mod obișnuit ca gaz de lucru în
sistemele de sputtering magnetron.
Pe lângă viteza ridicată de pulverizare, sistemele magnetron au o serie de caracteristici specifice,

principala dintre ele fiind lipsa de bombardare a substratului de către electronii secundari cu energie
mare[9], care sunt principala sursă de defecte de radiație în acoperirea și încălzirea substraturilor. Într-
un sistem de sputtering magnetron, electronii secundari sunt captați de o capcană magnetică și nu
bombardează substratul, ceea ce îi asigură o temperatură relativ scăzută. Acest lucru permite utilizarea
acestor sisteme pentru acoperirea substraturilor de materiale cu rezistență la căldură relativ redusă
(materiale plastice, polimeri, hârtie).
Avantajele acestei metode în comparație cu alte metode de acoperire:
1) rata mare de depunere;

2) absența aproape completă a supraîncălzirii suprafeței piesei, în timp ce electronii sunt prinși
de câmpul magnetic și, prin urmare, nu provoacă formarea de efecte de radiație;
3) uniformitate ridicată a acoperirilor;
4) un grad scăzut de contaminare a peliculelor, deoarece procesul de acoperire se desfășoară la o
presiune suficient de scăzută p = 10-2 Pa.
Această tehnica s-a dezvoltat rapid în ultimii douăzeci de ani, ca urmare a creșterii cererii industriale
de filme funcționale de înaltă calitate. Astăzi, pulverizarea magnetron depășește adesea
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 20
.
alte tehnici utilizate.Magnetronii convenționali, dezvoltați la începutul anilor ’70, au fost un pas
important în depășirea limitărilor procesului de pulverizare , care a fost cunoscut și utilizat de mulți
ani, în ciuda capacității sale industriale limitate. Apoi, eficacitatea magnetronului a scazut pe la
sfârșitul anilor '80 din cauza dezvoltarii sistemelor cu câmpuri închise cu mai multe surse,dar la
începutul anilor 1990 au schimbat din nou jocul, oferind industriei un set de tehnologii de depunere
excepționalmente versatile și performante. O dezvoltare ulterioară recentă, pulverizare magnetron
pulsatil (PMS) duce la capacitatea de a depune acoperiri complet dense și fără defecte de materiale
izolante, în special oxizi la viteze mari de depunere, evitând arcerea și îmbunătățirea calității
depozitului.
2.2.1 Efectul Hall
În 1879, fizicianul american Edwin Hall [10] a efectuat un experiment trecând un flux
magnetic printr-o placă subțire de aur. În timpul experimentului, el a descoperit apariția unei diferențe
de potențial la marginile plăcii și s-a format efectul Hall. Principiul efectului Hall este una dintre cele
mai populare teorii pentru măsurarea câmpurilor magnetice. În acest post, se va discuta despre efectul
Hall: principiul funcționării sale, explicația teoriei, formulei, aplicației, inclusiv calcule pentru
tensiunea Hall, coeficientul Hall, concentrația purtătorului, mobilitatea Hall și densitatea câmpului
magnetic.
Principiul efectului Hall explică comportamentul transportatorilor de sarcină atunci când sunt expuși
câmpurilor electrice și magnetice. Acest principiu poate fi considerat ca fiind expansiunea forței
Lorentz, care este forța care acționează asupra purtătorilor de încărcare (electroni și găuri) care trec
printr-un câmp magnetic.
Senzorii care lucrează pe acest principiu se numesc senzori Hall. Acești senzori au o mare cerere și
sunt foarte utilizați, de exemplu, senzori de proximitate, comutatoare, senzori de viteză a roții, senzori
de poziție și așa mai departe.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 00 1ME 21
.
Fig 2.4. Principiul efectului Hall[10]
Coala
Semnăt
UTM 714.9 00 1ME 21
.
Principiul efectului Hall:
Principiul efectului Hall spune că atunci când un conductor sau un semiconductor cu un curent care
curge într-o direcție este introdus perpendicular pe câmpul magnetic, tensiunea poate fi măsurată în
unghi drept față de calea curentă.
Deci, devine clar că o încărcare negativă se acumulează pe una din marginile plăcii noastre sub
acțiunea forței Lorentz, și o încărcare pozitivă pe marginea opusă. Există o diferență de potențial între
cele două muchii ale plăcii și, cu alte cuvinte, o tensiune electrică. Diferența va crește până când va
echilibra forța Lorentz. Diferența de potențial care apare specific în astfel de cazuri se numește
tensiune Hall și este calculată după formula:
VH = I b / q n d , ( 2.1)
Unde:
I - Curentul care curge prin senzor

b - rezistența câmpului magnetic
q – sarcina electrincă
n - este numărul de transportatori de încărcare pe unitatea de volum
d - este grosimea senzorului
Coeficientul hall
El este reprezentat de RH. Formula coeficientului Hall: RH este 1 / (qn). Coeficientul Hall (R H) este
pozitiv dacă numărul de găuri ale încărcării pozitive este mai mare decât numărul de electroni ai
sarcinii negative. În mod similar, coeficientul Hall (RH) este negativ dacă numărul electronilor de
sarcină negativă este mai mare decât numărul de găuri ale încărcării pozitive.
Concentrația transportatorului
Concentrația de electroni din purtătorul de încărcare este indicată ca „n”, iar „găuri” ca „p”. Expresia
matematică pentru concentrația operatorilor de transport:
n or p = 1 / q*RH (2.2)
Mobilitatea hall :
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 22
.
Mobilitatea hall pentru electroni este reprezentată ca „μ n”, iar pentru găuri - ca „μ p”. Expresie
matematică pentru mobilitate :
µn or µp = σ n RH , (2.3)
Unde :
μn – conductivitatea datorată electronilor
μp - conductivitatea datorată găurilor
Densitatea fluxului magnetic
Densitatea fluxului magnetic este indicată de litera "B". Formula pentru densitatea fluxului magnetic:
B = VH*d / RH * I (2.4)
Unde :
VH - tensuinea hall
RH – coefficientul hall
I - Curentul care curge prin senzor
d - este grosimea senzorului
Aplicarea principiului efectului Hall :
1. Echipament pentru măsurarea câmpului magnetic.

2. Multiplicator de aplicații pentru a asigura înmulțirea reală.
3. Tester de efect de hall pentru măsurarea curentului direct.
4. Măsurarea unghiului de fază. De exemplu, atunci când măsurați poziția unghiulară a arborelui
cotit, pentru a alinia cu precizie unghiul de aprindere al bujiei
5. Senzori de deplasare liniară sau unghiulară. De exemplu, pentru a determina poziția scaunelor
auto și a centurilor de siguranță și a acționa ca o blocare pentru a controla airbagul.
6. Senzori de proximitate.
7. Senzori cu efect hall
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 23
.
8. Pentru a determina viteza de rotație a roții și, în consecință, ajuta sistemul de frânare anti-
blocare (ABS).
Cum poate fi utilizat efectul Hall pentru a determina tipul de semiconductor utilizat :
Coeficientul Hall spune totul. Dacă coeficientul Hall este negativ, acest lucru înseamnă că principalii
purtători de încărcare sunt electroni. Și având în vedere că numărul de electroni este mai mare în
comparație cu găurile semiconductoarelor n, acest lucru indică clar că semiconductorul de tip n testat.
În mod similar, dacă coeficientul Hall este pozitiv, aceasta înseamnă că găurile sunt principalele
purtătoare de încărcare. Și având în vedere că numărul de găuri este mai mare decât electronii din
semiconductori de tip p, acest lucru indică clar că semiconductorul de tip p testat.
3.OBȚINEREA DE PELICULE SUBȚIRI PRIN EVAPORARE TERMICA LA

INSTALAȚIA VUP-4
3.1 Clasificarea filmelor și metodele de bază pentru obținerea lor
Obținerea de filme subțiri de înaltă calitate a straturilor semiconductoare,metale și dielectrice

este o condiție necesară pentru crearea de dispozitive cu stare solidă de orice complexitate folosind
metode moderne ,tehnologie planară.Proprietățile filmelor subțiri pot varia semnificativ de
materialul masiv , în special cu grosimi de film de mai mulți nanometri.
Filme subțiri. Conceptul de „film subțire” este foarte condiționat. Același film poate fi „subțire” într-
un fel și „gros” în altul. Cu toate acestea, o astfel de diviziune capătă un sens fizic clar atunci când este
considerată o caracteristică fizică specifică sau o anumită stare structurală.
Criteriul pentru starea de „film subțire” a unui metal în ceea ce privește conductivitatea electrică este,
de exemplu, condiția h <L, unde L este calea medie liberă a electronilor. La h << L, conductivitatea
electrică a filmului este cu câteva ordine de mărime mai mică decât cea a unui metal în vrac datorită
împrăștierii multiple a electronilor difuzi prin limitele sale. Pentru proprietățile optice, criteriul pentru
starea filmului subțire este condiția h <l, unde l este lungimea de undă a luminii. La h << l, o substanță
opacă devine transparentă sau translucidă.Criteriul stării cu film subțire pentru proprietățile fizico-
mecanice poate fi grosimea critică hcr, sub care apare o structură cu un singur bloc cu o grosime a
filmului într-o peliculă policristalină sau cu un singur cristal. Odată cu scăderea h, temperatura de
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 24
.
topire scade, structura cristalului și structura domeniului se schimbă, apar noi efecte datorită creșterii
contribuției energiei de suprafață etc.
Filmele subțiri diferă prin material (metal, semiconductor, dielectric, superconductor etc.), structură
(cristal unic, policristalin, amorf), natura distribuției materiei în strat (solid și insulă), metoda de
depunere etc.
Caracterizarea metodelor de producție. Pentru a obține pelicule subțiri, se folosesc diverse procese
fizice și chimice. Aceste procese pot fi împărțite în 3 clase: fizice, chimice și combinate.
1.Metodele fizice pentru producerea de pelicule subțiri includ: evaporarea în vid (termică, fascicul de
electroni, discret), pulverizare ion-plasmă (catod, ion magnetron, fascicul ionic, reactiv), laser, arc în
vid.
2.La substanțe chimice: depunere electrochimică, depunere de vapori folosind reacții chimice, creștere
termică, anodizare.
3. Metodele de combinare pentru producerea de pelicule combină atât procese fizice cât și chimice
(depunere chimică termionică și plasmatică, anodizare a gazelor).
Conceptul de vid
Starea rarefiată a gazului, adică. o stare în care presiunea gazului într-un volum închis închis sub
atmosferică se numește vid. „Vacuum” în latină înseamnă gol.
Tehnologia vidului ocupă un loc important în producerea structurilor de film. Pentru a crea un vid în
camera de lucru, gazele trebuie pompate din acesta. Nu se poate realiza un vid ideal, iar în camerele de
lucru evacuate ale instalațiilor tehnologice există întotdeauna o anumită cantitate de gaze reziduale,
care determină presiunea în camera evacuată (adâncimea sau gradul de vid).
În Sistemul Internațional de Unități (SI), unitatea de presiune este Pascal (Pa), care este 1N pe 1m 2 (N /
m2). Unitatea din afara sistemului, un milimetru de mercur (mmHg), care corespunde unei presiuni a
unei coloane de mercur de 1 mm la 0 ° C, este foarte răspândită în tehnologia vidului.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 25
.
Între aceste unități de presiune există următoarele relații: 1 mmHg. Artă. = 133,3 Pa sau 1 Pa = 7,5 ·
10-3 mmHg
După cum s-a menționat, conform teoriei molecular-cinetice, toate moleculele (atomii) de gaze sunt în
mișcare termică constantă aleatorie. În mod convențional, putem distinge calea unei molecule
individuale (Fig. 3.1.). Mișcarea aleatorie a moleculelor este explicată prin coliziunile lor reciproce. Ca
rezultat
Fig.3.1. Mișcarea termică a moleculelor într-un gaz rarefiat[3].
3.2. Caracteristici ale procesului de aplicare a filmelor în vid
Procesul de aplicare a filmelor subțiri în vid constă în crearea (generarea) unui flux de particule
direcționate către substratul care trebuie tratat și condensarea lor ulterioară cu formarea straturilor de
film subțire pe suprafața care urmează să fie acoperite.
Astfel, atunci când se aplică filme subțiri, trei procese principale au loc simultan: generarea unui flux
direcționat de particule ale substanței depuse; trecerea particulelor într-un spațiu (vid) rarefiat de la
sursa lor la suprafața de tratat; depunerea (condensarea) particulelor pe suprafață cu formarea
straturilor de film subțire.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 26
.
Fig.3.2.. Schema de aplicare a filmelor subțiri în vid:[3].
De unde :
1 - substrat, 2 - generator de flux de particule, 3 - etanșant, 4 - bază, 5 - cameră de vid (capac)
În conformitate cu această schemă, instalațiile sub vid pentru aplicarea filmelor subțiri, în ciuda
varietății scopului și designului lor, constau în următoarele elemente principale: o sursă pentru
generarea unui flux de particule din materialul depus[11]; un sistem de vid care asigură condițiile
cerute pentru proces; dispozitive de poziționare a transportului care furnizează substraturi în zona de
depunere a filmului și orientarea suprafețelor tratate în raport cu fluxul de particule al materialului
aplicat.
Procesul de aplicare a filmelor subțiri în vid constă din următoarele operații de bază:
1. Instalarea și fixarea substraturilor care urmează să fie prelucrate pe suportul suportului cu

capacul ridicat;
2. Închiderea (sigilarea) camerei de lucru și pomparea acesteia la vidul necesar;
3. Includerea unei surse care creează un flux atomic (molecular) al substanței depuse;
4. Aplicarea unei pelicule cu o anumită grosime, cu o sursă permanentă de curgere a particulelor
și un sistem de vid;
5. Oprirea sursei de curgere a particulelor, răcirea substraturilor și lăsarea aerului în camera de
lucru la presiunea atmosferică;
6. Ridicarea capacului și scoaterea suporturilor tratate din suportul suportului.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 27
.
Fig. 3.3. Mișcarea particulelor de substanță aplicată în vid mediu (a) și ridicat (b)[2]
De unde :
1 - pereți ai camerei; 2,9 - particule depuse pe peretele camerei; 3 - o particulă depusă pe reversul
substratului; 4 - substrat; 5.10 - particule depuse pe partea frontală a substratului fără coliziuni; 6 - o
particulă depusă pe partea frontală a substratului după o coliziune; 7 - sursa fluxului de particule; 8 -
umbră din substrat.
Când se aplică filme în vid mediu (Fig. 3.3, a), particulele substanței depuse au o natură diferită a
mișcării. Unele dintre ele, atunci când se îndreaptă spre substrat, suferă un număr mare de coliziuni
cu moleculele de gaz, iar traiectoria mișcării lor are forma unei linii rupte. În acest caz, orientarea
inițială a mișcării particulelor este complet încălcată. Drept urmare, unele particule 6 după o serie de
coliziuni cad pe substrat. O parte din particulele 5 ajung pe ea fără coliziuni[14]. Unele particule 2 nu
cad pe substrat, ci se condensează pe pereții camerei 1, formând un strat de film uniform. Coliziunea
particulelor individuale 3 poate duce chiar la depunerea filmului pe partea inversă a substratului 4.
Atunci când filmele sunt depuse în vid mare (Fig. 3..3, b), particulele substanței depuse zboară
independent de-a lungul căilor drepte, fără coliziuni reciproce și coliziuni cu molecule de gaz, fără a-și
schimba direcția și se condensează (particulele 9 și 10) pe pereții camerei 1 și suprafața substratului 4.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 28
.
3.3. Metode de producere și control al vidului
3.3.1. Tehnica vidului
Pentru a obține un vid tehnologic de 10-7 mmHg. Artă. aplicați diverse tipuri de pompe de
vid. În funcție de presiunea inițială, acestea sunt împărțite în două grupuri: vid înainte și vid mare.
Primul grup include pompe care încep să pompeze la presiunea atmosferică și asigură un vid
preliminar (supravacuum) de 10-2 - 10-3 mm RT. Art. Și pompele cu vid mare care funcționează în
intervalul de la supravacuum și de mai sus.
Fig.3.4. Schema instalației de vid inalt universal – 4 ( VUP-4 )[3]

Pentru a obține un vid tehnologic, pompele din prima și a doua grupă sunt combinate într-o unitate de
vid, care include o cameră de vid, supape de comutare, capcane de siguranță, circuite de automatizare,
circuite de măsurare a vidului, viteze de depunere etc.
Principala caracteristică a unei pompe de vid este viteza de pompare, adică. cantitatea de gaz care trece
prin intrarea pompei pe unitatea de timp (l / s).
Cele mai simple principii de funcționare sunt pompele de adsorbție înainte-vid, bazate pe capacitatea
suprafețelor pre-degazate de a absorbi gazele datorate adsorbției fizice
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 29
.
Zeolitul este utilizat ca adsorbant. Zeolitul este numit o substanță spongioasă, fină, poroasă, cu
dimensiunea porilor a mai multor angstromi. Pentru răcirea adsorbantului, pe vas se pune un vas de
evacuare cu azot lichid, iar pentru regenerare se folosește un încălzitor. Principalele dezavantaje ale
pompelor de adsorbție sunt consumul ridicat de azot lichid, pomparea slabă a hidrogenului, care are
cea mai mică dimensiune a moleculelor și gazele inerte.
Pompele mecanice anterioare cu vid cu garnitură de ulei funcționează modificând periodic volumul
camerei de pompare. Calitatea pompelor mecanice anterioare de vid depinde de montarea pieselor de
frecare. Reducerea fluxului de gaz se realizează datorită etanșării uleiului a suprafețelor de frecare.
Folia de ulei creează impermeabilitatea gazelor la îmbinările mobile.Uleiul folosit ca etanșant trebuie
să aibă o presiune scăzută de vapori, să nu fie oxidat în aer și să aibă o vâscozitate pentru a crea o
peliculă de etanșare puternică. Pompele turbomoleculare cu vid mare se bazează pe principiul
transmiterii moleculelor de gaz în mișcare direcțională care rămân în vid ridicat datorită unei suprafețe
care se mișcă rapid. Căderea de presiune este proporțională cu viteza, suprafața și greutatea moleculară
a gazului.Proiectarea ansamblului pompat al pompei turbomoleculare este similară unui condensator
variabil. Distanța dintre rotorul și plăcile statorului este de aproximativ 1 mm, plăcile au găuri cu
margini teșite, ceea ce duce la o mișcare radială a moleculelor din axa pompei. Prin urmare,
diferențialul de presiune este direcționat de la axă către pereții laterali. În unele modele de pompe
turbomoleculare, rotirea rotorului poate ajunge până la 100.000 rpm.Pompele turbomoleculare
pompează până la 10-9 mm Hg. Art. Dar au selectivitate: pentru gazele mai grele, compresia (raportul
dintre presiunea de ieșire și presiunea de intrare) este mai mare decât pentru lumină. Prin urmare, în
vid final, rămâne doar hidrogen în cameră.
Pompele cu jet de abur (difuzie) cu vid ridicat funcționează pe principiul distribuirii vitezei
suplimentare de gaz moleculelor reziduale de gaz și se bazează pe captarea moleculelor gazului
evacuat de către un jet de aburi al fluidului de lucru, care le antrenează din volumul evacuat. Lichidul
de lucru se încălzește în cazan, vaporii rezultați intrând în duze și le lasă la viteză mare.
Un flux de aburi traversează camera de lucru a pompei. Peretele opus al camerei este răcit, vaporii se
condensează, eliberând moleculele gazului pompat, iar condensul curge înapoi în cazan. O pompă
primară este conectată la ieșirea pompei.
Ca fluid de lucru, se folosesc uleiuri de distilare speciale, lichide organosilicon și mercur.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 30
.
Pompele cu jet de abur pe bază de ulei sunt funcționale ieftine, permit obținerea unui vid de până la
10-8 mm Hg. Artă. Cu toate acestea, moleculele de ulei pot intra în camerele de vid evacuate.
Moleculele de ulei care pătrund în volumul procesului se stabilesc pe substraturi. Diferite tipuri de
capcane sunt utilizate pentru a capta moleculele de ulei.
Pompele cu ioni Getter au avantajul că contaminarea cu hidrocarburi a camerelor de vid este redusă la
minimum deoarece nu au o sursă intensă de ioni. Pompele cu ioni Getter folosesc fenomenul de
absorbție a gazului de filmul depus. Absorbția se desfășoară atât ca urmare a chemisorbției, cât și a
„cablajului” atomilor inerți. Gazul este absorbit de un strat proaspăt depus de titan, aliaj de titan-
molibden sau crom în urma sublimării, fasciculului de electroni sau a pulverizării ionilor pe cavitatea
pompei. În ultimul caz, pompele se numesc descărcare electrică. Procesul de pompare a pompelor de
ioni getter implică ionizarea moleculelor de gaz reziduale cu electroni emiți de catod. Eficiența
ionizării depinde de probabilitatea unui electron care întâlnește o moleculă de gaz. Probabilitatea crește
odată cu alungirea căii electronilor. Pentru aceasta se folosește asimetria câmpului electric sau a unui
câmp magnetic extern. O pompă pre-degazată poate da un vid de până la 10-9 mmHg.
3.3.2. Tehnica de măsurare a vidului
Instrumentele pentru măsurarea presiunilor scăzute totale în tehnologia vidului se numesc

manometre. Termenul de calibre a vidului este folosit și în literatură și practică. Cele mai multe
manometre constau din două elemente: un senzor - convertor de semnal și o unitate de măsură.
Prin principiul acțiunii, manometrele pot fi reduse la următoarele clase:
1. Manometre lichide, în care presiunea sau diferența de presiune măsurată este echilibrată de
presiunea coloanei de lichid (manometre în formă de U și modificările acestora).
Manometre de compresie, a căror acțiune se bazează pe legea compresiunii izoterme a unui gaz ideal
(manometre McLeod).
3. Calibrele de deformare folosind un element sensibil un burduf, o membrană etc. Mărimea

deformării elementului senzor este o măsură a presiunii.
4. Manometre termice care utilizează dependența conductivității termice a gazului de presiune. Acestea
sunt împărțite în termocuple și manometre de rezistență.
5. Manometre de ionizare în care presiunea este determinată de valoarea curentului ionic. Un grup
mare de dispozitive din această clasă este împărțit la rândul său în:
a) descărcarea electrică, al cărei principiu se bazează pe dependența parametrilor descărcării electrice

într-un gaz cu frecvență redusă de presiune;
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 31
.
b) ionizarea electronică, ionizarea gazelor în care este realizată de un flux de electroni accelerat de un
câmp electric.
Fig 3.5. Manometru[25].
Întregul grup de manometre poate fi, de asemenea, împărțit în instrumente de acțiune directă și
indirectă.
Manometrele directe sunt instrumente care măsoară direct presiunea gazului. Proprietățile gabaritului
acestor calibre pot fi calculate în avans sau obținute prin calibrare cu instrumente dinamometrice.
Citirea presiunii manometrului direct este fundamental independentă de compoziția gazului și de
temperatura acestuia. Aceste dispozitive acoperă o gamă de 10 - 10-3 Pa, iar eroarea lor relativă este
mai mică, cu cât presiunea este mai mare. Manometrele de acțiune directă includ lichid, compresie și
deformare. Manometrele indirecte nu măsoară presiunea în sine, dar o parte din funcția sa și, de regulă,
constau dintr-un senzor (manometru) și o unitate de măsurare radio-tehnică. Citirea presiunii (semnalul
de ieșire) pentru manometrele indirecte depinde de tipul de gaz și de temperatura acestuia.
Balanțele indirecte ale manometrului sunt calibrate în unități de presiune sau unități electrice. În
ultimul caz, la instrumente este atașată o curbă de calibrare a conversiei sau este dată sensibilitatea
acestuia. Curbele de calibrare sunt compilate la calibrarea instrumentelor cu acțiune indirectă cu
manometre directe și, strict vorbind, sunt adevărate numai pentru condițiile care reproduc condițiile de
calibrare.
Măsurarea presiunilor sub 1,33*Pа10-3 Pa (10-5 mmHg) este practic posibilă doar cu instrumente
indirecte, deoarece forțele la astfel de presiuni sunt neglijabile (la 1,33 *10 -3 Pa ~ 1,3*10- 8 kg/cm2).
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 32
.
Astfel, presiunea ca sarcină își pierde sensul. La astfel de presiuni, un alt parametru este mai indicativ -
concentrația moleculară, adică densitatea particulelor de gaz pe unitate
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 32
.
volum, care, întâmplător, este măsurat prin manometre indirecte.
La măsurarea presiunilor cu manometre indirecte, precizia de citire nu este ridicată datorită influenței
unui număr mare de factori dificil de luat în considerare (modificări ale compoziției și temperaturii
gazelor, procese de absorbție și desorbție în senzor etc.). Eroarea de măsurare a presiunii variază de
obicei între 10 și 60% din valoarea măsurată[15].
3.4. Evaporarea termică a materialelor în vid
Esența acestei metode este încălzirea unei substanțe în vid până la o temperatură când energia
vibrațională medie a particulelor sale crește atât de mult încât devine mai mare decât energia de legare
cu alte particule[12] și părăsesc suprafața (se evaporă) și se propagă în spațiul liber, formând abur. În
acest caz, sunt posibile două scheme de evaporare: faza solidă - faza lichidă - faza de vapori și faza
solidă - faza de vapori. A doua schemă de evaporare se numește sublimare sau sublimare.
Evaporarea termică a oricărei substanțe se caracterizează prin temperatura de evaporare, presiunea de
vapori și rata de evaporare.În timpul evaporării într-un sistem închis între particulele evaporate și cele
condensate, se stabilește un echilibru dinamic, care corespunde presiunii de vapori de echilibru (vapori
saturați). Dependența de temperatură a presiunii de vapori într-o formă generală este descrisă prin
ecuația Clipperon-Clausis.
lg P = AT-1 + B lg T + CT + DT2 + E (3.1)
Unde :
A, B, C, D,E - constante caracteristice unei substanțe date.
Temperatura la care presiunea de vapori a unei substanțe deasupra suprafeței sale este de 1,33 Pa se
numește temperatura de evaporare a substanței.
Viteza de evaporare a unei substanțe (cantitatea de substanță în grame care lasă 1 cm2 de suprafață
liberă timp de 1 sec la temperatura condițională T este determinată de formula Hertz-Knudsen
Vis = AP (M / T) 1/2, (3.2)
Unde :
A - este coeficientul de proporționalitate,
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 33
.
M - este greutatea moleculară a substanței.
Distribuția naturală a substanțelor se evaporă în spațiul deasupra evaporatorului este determinată de

parametrii principali doi: presiunea de lucru în camera de vid și densitatea de flux a atomilor și
moleculelor se evaporă.
Dacă există o presiune de vapori care se evaporă (metal) în cameră de vid este ordonată la 10-1 Pa sau
mai puțin, moleculele atomi atomici substanțiali se evaporă până la locul substratului, fără coliziuni
între ele și cu molecule de privire reze. În acest caz, acestea sunt reglabile moleculare în evaporarea și
condensarea acestora, pentru îngrijirea legilor Lambert-Knudsen sunt valabile:
- distribuția spațială a fluxului de materie vaporizată de pe o suprafață plană este proporțională cu cos a
(a - este unghiul dintre direcția de propagare a vaporilor și normalul la suprafață);
- numărul de particule care cad pe suprafața substratului este invers proporțional cu pătratul distanței
dintre evaporator și substrat.
În conformitate cu legea Lambert - Knudsen, evaporarea materiei are loc neuniform în toate direcțiile,
dar mai ales în direcții apropiate de suprafața normală față de cea evaporată, unde cos a, are o valoare
maximă.Cantitatea de substanță care este depusă pe suprafața opusă depinde și de poziția acestei
suprafețe în raport cu evaporatorul.
Viteza de evaporare a metalelor pure în vid este determinată numai de temperatură. Când aliajele se
evaporă în vid, presiunea de vapori a fiecărei componente deasupra topiturii este determinată de
compoziția acesteia și diferă de presiunea de vapori a componentei pure la aceeași temperatură.
Aceasta determină dependența vitezei de evaporare a aliajului nu numai de temperatura de evaporare,
ci și de compoziția topiturii. Modificarea presiunii de vapori a fiecărei componente asupra topiturii la o
temperatură fixă poate fi cuantificată folosind legea Raoult. Să existe un aliaj binar format din
componentele A (solventul este componenta principală a aliajului) și B (substanța dizolvată este
componenta de aliere a aliajului). În conformitate cu legea lui Raoult, o scădere a presiunii de vapori a
solventului A la o anumită temperatură este proporțională cu fracția molară a solutului B.
Se introduce următoarea notare: PA este presiunea de vapori a componentei pure A; PAB este
presiunea de vapori a componentei A în prezența componentei B în topitură; nA și nB sunt fracțiile
molare ale componentelor; NA și NB sunt numărul de moli de solvent și, respectiv, de substanță
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 34
.
dizolvată; SA și CB - fracțiuni de masă ale componentelor A și B. Atunci se ia forma notării
matematice a legii lui Raoul
(3.3)
Pentru majoritatea sistemelor reale (aliaje), legea lui Raoult nu este aplicabilă, fie păstrează o anumită
gamă de compoziții și temperaturi de evaporare.
Temperatura substratului și viteza de condensare afectează în mod semnificativ structura filmelor

rezultate. Acest efect este diferit pentru materialele cu puncte de topire diferite. În cazul unui material
cu temperaturi scăzute, rata de depunere este puternic influențată de rata de depunere. Deoarece
diferența dintre temperatura substratului și temperatura de topire a materialului este mică, nucleele
mici de film rămân mult timp în stare lichidă. Mai mult, în cazul unei rate de condensare ridicate,
nucleele individuale cresc rapid și se contopesc în stare lichidă, formând cristalite mari. Drept urmare,
structura filmului este cu granulație grosieră. Cu condensarea lentă, solidificarea apare cu mult înainte
ca nucleele care au apărut să atingă o dimensiune la care se ating între ele. În acest caz, apare un film
cu granulație fină.
Atunci când materialele cu un punct de topire ridicat sunt depuse pe un substrat cu o temperatură
scăzută, nucleele din momentul apariției lor sunt formațiuni solide. Prin urmare, mecanismul
considerat mai sus nu apare în acest caz. Cu toate acestea, rata de condensare afectează structura
formațiunii în cazul depunerii de materiale la temperaturi ridicate. Acest lucru se datorează faptului că
o modificare a vitezei de depunere duce la o modificare a raportului numărului de molecule de gaze
reziduale care intră în substrat la numărul de atomi ai materialului depus. La o viteză scăzută de
condensare, o cantitate mare de gaze este absorbită de film și se formează o structură mai puțin
regulată.
O modificare a temperaturii substratului afectează structura filmului după cum urmează. Când o
peliculă este pulverizată pe un substrat având o temperatură scăzută, se obține o structură fină
cristalină. Acest lucru se datorează faptului că la o temperatură scăzută, atomii care au căzut pe
substrat migrează cu greu. Drept urmare, un număr mare de embrioni se îmbină într-un film cu
granulație fină. Odată cu creșterea temperaturii substratului, intensitatea migrației atomilor crește. Prin
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 35
.
urmare, embrionii apar numai în găuri potențiale profunde. În acest caz, atomii depuși ulterior nu
creează noi nuclee, dar, migrând, se alătură nucleelor existente pe substrat. Ca urmare, concentrația de
boabe în creștere este scăzută, iar
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 35
.
filmul este cu granulație grosieră. Procesul tehnologic de condensare a vaporilor și formarea unei
pelicule subțiri pe substrat în faza solidă nu este lung. Drept urmare, structura filmului nu corespunde
structurii cu energie internă scăzută, iar o astfel de structură nu este stabilă. În timp sau cu o schimbare
de temperatură, această structură se schimbă și, în consecință, caracteristicile electrice ale filmului se
schimbă și ele. Prin urmare, pentru a stabiliza caracteristicile filmelor subțiri, se recomandă ca acestea
să fie antrenate la o temperatură ridicată după pulverizare. În acest caz, filmul se transformă în
granulație grosieră.
Structura filmului obținut prin evaporarea în vid, pe lângă acești factori, este afectată de gradul de vid,
de tipul materialului de substrat, de natura prelucrării sale, de curățenia suprafeței și de alți factori.
Pentru a sintetiza toate aceste numeroase modificări, au fost propuse un număr mare de metode de
producție. Având în vedere metodele de producere a oxidului de zinc, se pot distinge două grupuri
principale de metode: obținerea de ZnO nanocristalin pe substraturi și în stare dispersată. În primul
caz, un substrat - un purtător solid este adesea un element integrant al unui biosenzor pentru
transmiterea unui semnal analitic. În acest caz, sinteza se realizează direct pe electrozi sau substraturi
conductoare pentru măsurători electrice sau electrochimice ulterioare. În acest caz, suportul solid ar
trebui să aibă o aderență suficientă la ZnO pentru creșterea și funcționarea ulterioară a unor astfel de
structuri, care sunt cel mai adesea reprezentate de două morfologii principale: pelicule ZnO
policristaline cu diferite grosimi și tablouri de nanorode. Straturile nanocristaline au o suprafață
dezvoltată și prezintă un avantaj mare în suprafața specifică în comparație cu filmele continue. O
caracteristică caracteristică a matriților nanorod este faptul că fiecare nanorod individual este un singur
cristal. Ca rezultat, nu există granițe de-a lungul direcției de creștere a acestor tije și, prin urmare, este
facilitat transportul electronilor. Mărimile caracteristice ale nanorodelor ZnO cu un singur cristal sunt
de obicei cuprinse între 50 și 200–300 nm în diametru și mai multe micrometri în lungime. Un rol
important pentru utilizarea practică îl joacă continuitatea stratului de nanorod și ordonarea verticală a
acestora, ceea ce este deosebit de important atunci când se creează structuri multistrat și se aplică
contacte superioare.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 36
.
3.5 Procesul si pașii de obținere filmelor ZnO
Prelucrarea substraturilor a fost efectuată imediat înainte de instalarea lor în cameră.

Substraturile de sticlă au fost degresate într-un amestec de crom (6 g K2Cr2O7 + 10 ml H2O + 100 ml
H2SO4) la temperatura camerei timp de 20-30 minute. Apoi au fost bine spălate și uscate cu un uscător
de păr.
Dispozitivul de pulverizare magnetron (MRU) este montat sub capota postului de vid VUP-4 și este
utilizat pentru producerea de pelicule de oxid și metal.
Fig.3.6 Instalarea magnetronului sub capota Vup-4

Proiectarea tabloului de comandă nu implică nici o modificare a dispozitivului cu capac al stâlpului de
vid. Instalarea și demontarea tabloului de comandă se efectuează în 15-20 de minute. Astfel,
magnetronul planar completează setul de dispozitive tehnice și extinde semnificativ caracteristicile
operaționale ale stației de vid VUP-4.
Sistemul magnetic este format din samariu-cobalt central și magneți cu inel. Magneți cu poli invers,
dar montați simetric strict pe un circuit magnetic format din material magnetic moale.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 37
.
Magnetronul este plasat într-o carcasă răcită cu apă, formată dintr-o bază inoxidabilă și un cilindru de
cupru. Ambele părți sunt interconectate printr-o garnitură de cauciuc cu o piuliță de unire. Part
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 37
.
superioară a cilindrului de cupru răcit activ servește ca bază pentru catodul țintă. Întregul ansamblu
catodic este fixat rigid pe partea inferioară a camerei de vid a stâlpului, asigurând astfel legarea la
pământ a acestuia.
Principalii parametri operaționali ai magnetronului sunt tensiunea la electrozi, curentul de
descărcare, puterea de descărcare, componenta radială a inducției câmpului magnetic și presiunea
gazului. La selectarea modurilor de operare este necesar să se țină seama de interdependența puternică
a acestor parametri. O caracteristică constantă este inducerea unui câmp magnetic. La suprafața
titularului țintă, acesta este de 30 mT. Din experimentele efectuate, următoarele condiții de funcționare
magnetron au corespuns condiției optime pentru producerea de filme ZnO: presiune parțială inițială P0
= 2x10-5 mmHg, presiune argon în camera de lucru P1 = 5x10 -3mmHg, tensiune între electrozii U =
300 v. În aceste condiții, filmele ZnO au grosimea de 200–500 nm, transparența de 80–90% și s-a
format rezistența de la 40 la 500 Ω.
Pașii care trebuie efectuați :
1. Răspundem la întrebările de securitate.

2. Obținem permisiunea profesorului de a efectua partea experimentală.
3. Pornim pompele.
3.1 Apăsam butonul „Rețea”, fn.
3.2 Deschidem supapa PV (pre-vid în RO).
3.3 Pornim indicatorul de calibru PMT-4M. Verificați curentul lămpii (trebuie să fie 110-140mA).
3.4 Apăsam butonul FV pentru a controla vidul scăzut.
3.5 Apăsam butonul BB pentru a deschide apa de la pompa cu vid ridicat; se deschide supapa de
pompare în jos pentru pompa cu vid înalt.
3.6.Apăsam butonul DN pentru a porni încălzirea pompei. Așteptați 30-40 mi-năut
3.7.Apăsam butonul „Program”.
3.8.Apăsam butoanele PV, PV, reglarea vidului scăzut (1,2 mV pe scara superioară).
3.9.A deschidem obturatorul pentru a pompa la vid mare în RO (la stânga din
RO).
3.10. Pornim „Emisie”. și setați valoarea tensiunii cu o șurubelniță
5 mV.
3.11 Apăsam butonul „Zero” și setați rezistența corespunzătoare
rom 0 mV.
3.12 Apăsambutonul "10-4", așteptați introducerea acului gabaritului
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 38
.
pentru 1mV, apăsați butonul "10-5". Scara superioară prezintă presiune
vmm.rt.st. aproximativ (2-4) 10-5.
4. Încărcam RO cu evaporatoare și substrat
4.1 Închideți obturatorul, apăsați ФВ, deschideți supraalimentatorul rotind șurubul inferior în sens
invers acelor de ceasornic. Aerul curge în RO.
4.2 Deschideți RO cu mâna.
4.3 Încărcați doi evaporatori: 3 cu crom și 4 cu cupru. Instalare substratul.
4.4 Ștergeți sigiliul PO cu alcool. Capac inferior RO. Închideți conducta de scurgere rotind șurubul
inferior în sens orar.
4.5 Apăsam butonul PV pentru a pompa PO la un vid preliminar, controlați pe scala superioară 1,2 mV
4.6 Apăsam butonul BB și butonul "Prog.", Deschideți obturatorul și începeți să pompați de la PO la
un vid ridicat. Așteptați aproximativ 5 minute.
4.7 Pornim „Emisie”, verificați 5 mV.
4.8.Apăsam „Zero” pentru a seta sau verifica 0 mV.
5.9. Repetăm tranziția .
6. Executarea pulverizării.
5.1 Introduceți cheia în orificiul de 5V.
5.2 Închidem evaporatorul 3 cu o a doua cheie.
unsprezece
5.3 Apăsam butonul „Utilizați”. Setați încet cu „Reg.
curent 60-80A. Urmărim evaporarea. Atenţie! Curentul nu trebuie să depășească
80A.
5.4 După formarea unei suprafețe de oglindă continuă, îndepărtăm „Reg. până la poziția de pornire.
5.5 Apăsăm butonul „Utilizați”.
5.6 Cu o a doua cheie, opriți evaporatorul 3 și închidem evaporatorul 5 pentru cupru.
5.7. Repetați tranziția 6.3. Asigurați-vă că cupru se topește înainte de a începe să se evapore.
Schimbăm vizual culoarea substratului.
5.8 Repetăm 6.4 și 6.5.
5.9 Scoatem substratul cu pelicula pulverizată. Pentru a face acest lucru, repetați tranzițiile 5.1 și 5.2.
6. Dezactivam instalarea.
6.1.Închidem RO.
6.2 Închidemscurgerea.
6.3 Apăsam butonul PV. Așteptați 1-2 minute.
6.4 Apăsam butonul BB.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 39
.
6.5 Apăsam butonul DN.
6.6 Așteptăm aproximativ o oră să se răcească ziua.
6.7.Apăsăm butonul O (final).
6.8 Apăsăm butonul FN pentru a opri pompa primă.
6.9 Dezactivăm PV.
6.10 Oprim indicatorul de vid.
6.11 Apăsăm butonul „Rețea”.
7. Calculăm distribuția condensului pe suprafața substratului pentru evaporatorul tipului „element

elementar” pe baza legilor Lambert - Knudsen, ținând cont de geometria RO. Măsurăm distanța de la
evaporator la substrat.
8. Măsurăm rezistența pătratului filmului în nouă puncte din centru și de-a lungul diagonalelor
substratului utilizând dispozitivul IUS-3.
Rezultatul :
Fig.3.7. Oxdiul de zinc (film)
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 40
.
3.6 Studierea proprietăților electrice
Pentru cercetarea proprietăților electrice a probelor masive de n-ZnO, pe muchiile din margine
au fost depuse contact ohmice în formă de picături de indiu : două contacte electrice și două perechi de
contacte Hall pe marginile opuse. Contactele s-au topit timp de 20 de minute la temperatura de 300°С
în cuptorul gradat,în vid ,produs de instalația VUP-4.
Fig. 3.8. Schema instalației de vid inalt universal – 4 ( VUP-4 )[3]

Cum am spus mai sus în calitate de contacte metalice pentru peliculele subțiri de n-ZnO, a fost
folosit Al , care a fost depus prin evaporarea termică pe probă în vid la o temperatură de 200°С. Au
fost folosite 4 contacte de Al amplasate în colțurile unui pătrat cu latura de 7mm. În fig 3.9. este
prezentată fotografia unei probe obținute prin metoda descrisă mai sus.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 41
.
Fig 3.9. Testarea proprietaților placii de ZnO.
Baza circuitului de măsurare este o metodă electrometrică pentru măsurarea emf, care este
asigurată de rezistența ridicată la intrare a voltmetrelor digitale utilizate. Diagrama bloc a instalației
pentru studiul proprietăților cinetice este prezentată în Fig. 3.10. Semnalul măsurat din proba a fost
alimentat prin unitatea de comutare БК (1) pe voltmetru DC В7-46/1 (2) cu rezistența de intrae = 109 
Ω. Proba a fost alimentată de o sursă de curent continuu Б5-49 (4). Valoarea curentului prin probă a
fost măsurată cu un voltmetru digital universal В7-21А (5) cu rezistența etalon. Unitatea de comutare a
permis schimbarea direcției curentului prin probă. Proba studiată a fost plasat între poli de un
electromagnet (M), care a fost alimentat folosind o sursă de curent continuu Б5-47 (6). Valoare
curentului ce trecea prin bobina magnetului se măsura cu voltmetrul В7-21А (7) cu rezistență etalon.
Temperatura probelor în timpul măsurării, controlată de un termocuplu cupru-constant (Т), conectat la
voltmetru В7-46/1 (8), constituea, constituea 20-25 °С. Măsurătorile se efectuau în câmp magnetic
continuu (BZ) cu tensiunea de 10 V.
Proprietățile cinetice a peliculelor ZnO au fost efectuate prin metoda Van der Pauw. Formula de
calcul a coificientului Hall (RH) în cazul probelor vrac și a peliculelor subțiri:
VHd
RH=
IBZ (3.4),
unde VH – tensiunea efectului Hall, d – grosimea probei, I – intensitatea curentului prin probă.
Formulele pentru calcularea rezistivității pentru probele vrac și, respectiv, pentru peliculele subțiri
sunt prezentate mai jos:
ρ= rezistivitatea (3.5),
πd
ρ= R
ln 2 (4.3),
unde R - rezistența, măsurată de pe perechea de contacte Van der Pauw. Mobilitatea Hall () calculată
după relația cunoscută:
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 42
.
μ=R H / ρ (3..6).
Eroarea totală de măsurare a coeficienților cinetici a fost  (5÷10)% pentru efectul Hall și  3% pentru
electroconductibilitate.
Fig 3.10 Diagrama bloc a instalației pentru studiul proprietăților cinetice ale semiconductorilor.
3.7 Caracteristicile straturilor de ZnO:Al obținute.
O serie de probe ZnO: Al s-au depus prin pulverizare magnetron pe sticlă la diferitele puteri a
curentului camerei de descărcare: 10, 20 și 30 mA. Toate probele au fost împărțite în două părți,
jumătate din toate probele tăiate au fost tratate termic în vid. Mai întâi, s-au măsurat spectrele de
transmitanță ale probelor tratate termic, așa cum este reprezentat în (fig.3.11.) Spectrele obținute sunt
tipice pentru oxidul de zinc. Pentru probele obținute la un curent de 20-30 mA, se observă o scădere
bruscă a spectrului de transmitanță la o lungime de undă de 340 nm. Absorbția optică care provoacă
acest declin este, de obicei, atribuită auto-absorbției ZnO. Energia corespunzătoare spectrului de
transmisie este de 1240/(nm)  3,6eV. În același timp, lărgimea benzii interzise a ZnO ușor dopat
este de 3,3 eV . Creșterea observată a decalajului de bandă obținută prin măsurători optice poate fi
atribuită efectului Burstein-Moss: în semiconductori puternic dopați, nivelul Fermi se ridică adânc în
banda de conducție, tranzițiile optice din banda de valență se pot termina numai deasupra nivelului de
energie Fermi, ceea ce determină o creștere aparentă a lățimii zonei interzise. În regiunea de lungime
de undă a spectrelor de transmisie, se observă un model de interferență. Poziția minimelor și
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 43
.
maximelor poate fi utilizată pentru a calcula grosimea probelor utilizând următoarea formulă: 2da =
m(/2) sau d = m/4a, unde d este grosimea
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 43
.
probei,  este lungimea de undă a picului spectrului de transmisie, a - este indicele de refracție m –
numărul de jumătăți de undă care sunt amplasate pe o grosime de 2d. Când m este impar, trebuie
observat un minim, când m este par, un maxim. În (Fig.3.11). este reprezintată valorile m pentru
fiecare spectru și în paranteze lungimea de undă corespunzătoare. Indicele de refracție al ZnO slab
depinde de nivelul dopajului și este de 2,000,05 pentru o lungime de undă de 500 nm. În această
lucrare, a se consideră a fi 2,00. Rezultatele calculelor vitezei de creștere a peliculelor subțiri ca
funcție a puterii curentului camerei de descărcare sunt prezentate în (Fig.3.12.) Această relație este
complexă; poate distinge două zone. În zona (1) această dependență este mai degrabă exponențială, iar
în zona (2) (în intervalul 20 - 30 mA) dependența este aproape liniară. În (Fig.3.13). Rezistența
specifică a probelor înainte și după tratarea termică în vid este prezentată pentru diferite puteri a
curentului din camera de descărcare. Toate probele netratate au o rezistivitate relativ ridicată de
ordinul 10-1 cm. Tratarea termică în vid reduce considerabil ρ, aproximativ cu două ordine de
mărime. În acest caz, cu o creștere a puterii curentului în camera de descărcare, se observă o scădere
monotonică a lui ρ până la 210-3 cm.
Fig 3.11.. Transmitanța spectrală a probelor ZnO:Al
Care au fost crescute în timp de 50 min cu indicarea puterii curentului în camera de descărcare. La
felsunt demonstrate și picurile, în baza cărora a fost calculate grosimea straturilor subțiri.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 44
.
Fig.3.12. Dependența vitezei de creștere a straturilor subțiri ZnO:Al de puterea camerii de
descărcare.
Fig.3.13. Dependența rezistenței specifice a peliculelor subțiri ZnO:Al de puterea camerii de

descărcare, până și după tratarea termică în vid.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 45
.
Fig 3.14. Dependența concentrației purtătorilor de sarcină și a lor mobilitate în straturile subțiri
ZnO:Al de puterea curentului în camera de descărcare.
Pentru a analiza motivul scăderii rezistenței specifice a probelor studiate, s-au efectuat măsurători
ale efectului Hall, ceea ce a făcut posibilă calcularea atât a concentrației purtătorilor de sarcină (n), cât
și a mobilității lor (μ). Rezultatele de calcul sunt prezentate în ( Fig.3.14) . Se poate observa că, odată
cu creșterea puterii camerei de descărcare, nivelul de dopaj cu impurități de Al și concentrația
purtătorilor de sarcină liberi practic nu se schimbă și se situează la un nivel de 4,5 × 1020 cm-3.
Dimpotrivă, cu o creștere a puterii curentului camerei de descărcare se observă clar o creștere
monotonă a mobilității purtătoare la o valoare de 8 cm2 / Vs. Această creștere a mobilității determină o
creștere generală a conductibilității (scăderea ρ) a probelor studiate.
Comparând rezultatele obținute, putem concluziona că tratarea termică a probelor de ZnO: Al în
vid este necesar pentru a reduce rezistența acestora. O astfel de tartare termică ar trebui să
îmbunătățească perfecționarea structurală a peliculelor subțiri și să reducă densitatea compensatorilor
acceptori a vacanțelor de zinc . Probabil, cu creșterea puterii camerei de descărcare, care conduce la un
mediu gazos mai dens din care se produce creșterea peliculelor subțiri, perfecționarea structurală a
straturilor subțiri ce cresc se îmbunătățește. Aceasta favorizează creșterea mobilității purtătorilor de
sarcină și a conductibilității straturilor de ZnO: Al.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 46
.
4. ARGUMENTAREA ECONOMICĂ A PROIECTULUI
4.1 Actualitatea și utilitatea temei. Analiza SWOT
În ultimele decenii , interesul fața de biosenzori a crescut exponențial , ceea ce a dus la

creșterea cerinței , respectiv si a ofertei .În momentul actual statistica arata ca rata medie de creștere
anuală (AAGR) pentru piața biosenzorilor este în jur de 7,5%. Unele sectoare precum
nanobiotehnologia au o rată de creștere mai mare (8,2%), în timp ce altele cum ar fi monitorizarea
alimentelor și biosenzorii folosiți în agricultură, au o rată de creștere mai mică cu 7,2%. Rata de
creștere a screeningului cu un randament mare pentru depistarea țintelor medicamentoase este de
7,5%. Cu toate acestea, întrucât în prezent acest sector domină piața biosenzorilor (77%), acest
procent de 7,5%, este și AAGR al pieței de biosenzori pentru toate aplicațiile de biosenzori. În plus,
piața pentru 1.screening-ul cu randament ridicat și 2.analiza medicală pentru anul 2004 a fost
estimată la 1.255 miliarde USD, respectiv 181,4 milioane dolari.
Fig.4.Procentul si repartajarea vinzarilor de biosenzori[17].
Deci , am vazut ca oferta biosenzorilor pe piața este in crestere favorabila,dar aici apare o alta
problema,apar cereri noi , si deaceea este nevoie de a studia proprietațile de ZnO pentru a-l utiliza in
crearea sau schimbarea metodei de construcție a noilor tipuri de biosenzori.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 47
.
NP-urile ZnO care apar într-o varietate foarte bogată de dimensiuni și forme vor oferi o gamă largă de
proprietăți. Metodele pentru prepararea stabilă a ZnO NPs au fost dezvoltate pe scară largă în ultimii
ani, care includ în principal metoda precipitațiilor chimice, metoda sol-gel, metoda pirolitică în stare
solidă, metoda mecanicochimică fără soluție și metoda biosintezei.
ZnO ca un nou tip de nanomaterial cu costuri reduse și cu toxicitate scăzută, au atras un interes
extraordinar pentru diverse domenii biomedicale, inclusiv anticancer, antibacterian, antioxidant,
antidiabetic și antiinflamator, precum și pentru furnizarea de medicamente și bioimagistică aplicații [9,
12]. NPs mai mici de 100 nm sunt considerate a fi relativ biocompatibile, care susțin aplicațiile lor
biomedicale și reprezintă o proprietate puternică în promovarea cercetării biomedicale.
Intr-un experiment a folosit extractul natural de lemn santal roșu (RSW) ca agent antidiabetic
eficient în conjugarea cu Nns ZnO. Activitatea antidiabetică a fost evaluată cu ajutorul analizei de
inhibare a α-amilazei și a α-glucozidazei cu extracte pancreatice murine și intestine subțiri .Rezultatele
au arătat că conjugatul de ZnO-RSW a avut un procent moderat mai mare de inhibare (20%) împotriva
α-amilazei pancreatice porcine și au fost mai eficiente împotriva glucozidazei pancreatice murine brute
decât oricare dintre cele două elemente (RSW și ZnO NPs). ZnO-RSW conjugat a afișat 61,93% din
inhibarea glucozidazei, în timp ce NN-urile ZnO și RSW au prezentat 21,48% și, respectiv, 5,90%.
Tabelul 4. Analiza SWOT a folosirii ZnO.
Mediul intern
Puncte forte(Strengths) Puncte slabe(Weaknesses)
1. Cost de producție scazut 1. Necesitatea de investiții
2. Necesitatea unui laborator pentru un
2. Oferta nouă
studiu complex
3. lipsa unei analize comparative a
3. Posibilitatea de a trata noi boli avantajelor biologice ale acesteia cu alte
nanoparticule metalice
-
4. Au o toxicitate scazuta si îsi pastrează
-
integritatea biochimică
5. Poate fi folosit la mai multe tipuri de
-
biosenzori
6. Posibilitatea studierii in paralel și a altor
-
tipuri de metale
Mediul extern
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 48
.
Oportunități(Opportunities) Riscuri(Threats)
1.In timpul studierii in vivo pot fi oarecare
1. Creșterea numarului de biosenzori
daune in urma reacției organismului
2. Posibilitatea extinderii studiilor asupra
2.Pierdere de timp și bani.
altor metale/nemetale pentru biosenzori
Posibilitatea tratarii unor boli mortale pentru -
om
4.2. Planificarea managerială a lucrărilor de proiectare
Pentru a putea incepe sa facem o cercetare este necesar de a stabili încă de la început etapele
de dezvoltare, termenele acestora și responsabilii pentru fiecare etapă. Fiecare proiect ce se planifica a
fi dezvoltat cuprinde etape standard, cum ar fi cautarea informațiiei actuale despre studiul al ZnO ,
procurarea dispozitivelor si a materialelor necesare, elaborarea unei scheme generale. Majoritatea
etapelor pot fi indeplinite independent .
Fig.4.1. Diagrama Gantt de distribuire a timpului pe etapele de dezvoltare.
4.2.1 Estimarea cheltuielilor de proiectare

Cercetarea proprietaților de zinc nu a fost foarte costisitor ,deoarece la locul de practica
majoritatea dispozitivelor erau deja prezente,daca sa luăm de la zero , atunci cheltuielile ar fi foarte
mari.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 49
.
Tabelul 4.1. Fonduri fixe.
Denumirea Prețul Perioada de Suma
Nr. Unități Uzura, lei
materialului unitar utilizare, zile totală, lei
1 Vup-4 30000 1 14 30000 397,72
2 voltmetru DC
6325 1 14 6325 83,85
В7-46/1
Total: 36325 480,97
Calcularea uzurii pentru fondurile fixe:
S t∗N a
U FF= ∗T (4.1)
N zileîn an u
unde, St – costul inițial al utilajului, lei
N a – norma de uzură anuală a utilajului (25%),
T u – timpul de utilizare a utilajului în proiect, zile.
30000∗0,25
U ( 1) = ∗14=397,72
264
6325∗0,25
U ( 1) = ∗14=83,85
264
Tabelul 4.2.Fonduri circulante.

Denumirea materialului Prețul, lei Unități Suma totală, lei
Stilou 6 2 12
Caiete 8 2 16
Masca medicala 5 8 40
Manuși 10 3 30
Spirt metilic 40 1 40
Voltmetru TELWIN DV300 260 1 260
Magnetron 325 1 325
Ampermetru KASAN TF – 60 60 1 60
Sursa de curent c.B5-49 759 1 759
Multimetru digital U. В7-21А 965 1 965
Sursa de curent c. B5-47 2320 1 2320
Total: 4827
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 50
.
Cheltuieli indirecte de producție :
Tabelul 4.3 Cheltuielile indirecte.

Prețul Preț/durata
Nr Tarif, Preț/zi,
Cheltuieli Consumul lunar, proiectului
. lei lei
lei (65 zile)
1 Energie electrică 1,87 50kW 95,5 3,1 206
2 Apa 8 3m^3 24 0,8 52
3 Internet - - 260 8,6 563
4 Serviciu transport 2 6 km 48 4 104
5 Argon 486 0.05 litri 24,3 0,81 52,65
6 Indiu 3349 0,01kg 33,49 1,11 72,5
Total: 1050,15
Calculul cheltuielilor indirecte pe durata de elaborare a proiectului:

Pl∗T u
C= (4.2)
30 zile
unde, Pl – preț lunar, lei

T u – timpul de realizare a proiectului, zile
95.5∗65 zile
C 1= =206 lei
30 zile
24∗65 zile
C 2= =52lei
30 zile
260∗65 zile
C 3= =563lei
30 zile
48∗65 zile
C 4= =89,1lei
30 zile
24,3∗65 zile
C 5= =52,65
30 zile
33,49∗65 zile
C 6= =72,56
30 zile
4.2.2. Cheltuieli directe privind retribuirea muncii
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 51
.
Tabelul 4.4 Calculul fondului de retribuire a muncii.
Numărul Primele de
Salariul Salariul Defalcările
de zile Asigurare
Nr. Funcția tarifar tarifar la în Fondul
implicat în Medicală,
lunar, lei temă, lei Social, lei
proiect lei
Proiect
1 65 5255 0 1320 583
Manager
Salariul final va fi calculat conform formulei:

S ∗N
Sf = t (4.3)
Nt
unde Sf – salariul final, lei
St – salariul tarifar, lei
N – numărul de zile implicat în proiect,
Nt – numărul de zile lucrătoare într-o lună.
Calcularea salariului tarifar pentru fiecare salariat:
5000
Sf 1 = ∗17=4254 lei
21
Suma contribuțiilor în Fondul Social(FS) :

FS1=4254∗0,23=978lei
valoarea primei de Asigurare Medicală Obligatorie (AM). :
AM 1=4254∗0,035=148,89
Consumul total pentru retribuirea muncii :

C t=4254+ 978+148,89=5380,39
124,7
4.3. Estimarea costului proiectului

Tabelul 4.5 Prețul de cost al produsului.
N
Suma, Ponderea
r Tipul de cheltuieli
lei cheltuielii, %
.
1 Salariul tarifar 5255 42,14
2 Fondul de Asigurări Sociale 978 7,84
3 Primele de Asigurare Medicală 148,89 1,19
4 Cheltuieli indirecte 1050,15 8,42
5 Uzura mijloacelor fixe 480,97 3,85
6 Fonduri circulante 4827 38,7
Total 12470 100,00
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 52
.
CONCLUZII
În final pot spune ca nu orice persoana poate sa se ocupe cu cercetarea unui anumit metal , de
exemplu același ZnO, din mai multe cauze , cum ar fi , utilajul prea costisitor,dificultate extrem de
mare în cercetarea și elaborarea unui nou tip de biosenzor , si in cel mai rau caz riscam sa ramînem
doar cu cunoștințele pe care le-am obținut in urma cercetarii de asa tip .Aceste cunostințe nu pot fi
propuse pieții , în comparație cu un proect ori un dispozitiv elaborat, ele necesită doar o continuare a
studiului si elaborării unui dispozitiv.Fiind student mă bucur ca am avut această ocazie de a studia un
asa tip de metal .
Nn-urile ZnO au prezentat aplicații biomedicale promițătoare bazate pe anticancer, antibacterian,
antidiabetic, antiinflamator, administrarea de medicamente, precum și o activitate de imagistică
bioimagistică. Datorită toxicității inerente a NP-urilor ZnO, acestea au efecte puternice de inhibare
împotriva celulelor canceroase și a bacteriilor, prin inducerea generarii ROS intracelulare și prin
activarea căii de semnalizare apoptotică, ceea ce face din ZnO NPs potențiali candidați ca anticancer și
agenți antibacterieni. În plus, NP-urile ZnO au fost, de asemenea, bine cunoscute pentru a promova
biodisponibilitatea medicamentelor terapeutice sau a biomoleculelor atunci când funcționează ca
purtători de medicamente pentru a obține o eficiență sporită a terapiei. Mai mult decât atât, cu
capacitatea de a scădea glucoza din sânge și creșterea nivelului de insulină, ZNO NPs au arătat
potențialul promițător în tratarea diabetului și atenuarea complicațiilor sale, care pot fi evaluate în
continuare., o atenție considerabilă datorită proprietăților sale unice optice, semiconductoare,
piezoelectrice și magnetice. Nanostructurile ZnO prezintă proprietăți interesante, inclusiv eficiență
catalitică ridicată și capacitate puternică de adsorbție. Recent, interesul sa concentrat asupra aplicării
ZnO în biosensibilitate datorită punctului său izoelectric ridicat (9.5), biocompatibilității și cineticii
rapide de transfer de electroni. Astfel de caracteristici pledează pentru utilizarea acestui material
interesant ca membrană biomimică pentru imobilizarea și modificarea biomoleculelor. Această
revizuire evidențiază utilizarea potențială a ZnO în electrozii și biosensibilitatea modificată.
NP-urile ZnO sunt listate ca un fel de substanță sigură de către FDA. Cu toate acestea, unele aspecte
critice ale NP-urilor ZnO trebuie încă să fie examinate în continuare, care includ următoarele: 1.lipsa
unei analize comparative a avantajelor biologice ale acesteia cu alte nanoparticule metalice, 2.
limitările toxicității ZnO NPs pentru sistemele biologice rămân a o problemă controversată în
cercetările recente, 3. lipsa unei cercetări randomizate bazate pe dovezi care explorează în mod special
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 53
.
rolurile terapeutice în îmbunătățirea activităților anticanceroase, antibacteriene, antiinflamatorii și
antidiabetice și 4. lipsa de cunoștințe despre studiul animalelor corespunzătoare despre anticancerul
său, antibacterian , activități antiinflamatorii și antidiabetice. În urma studiilor axate pe problemele
menționate mai sus, s-ar putea elucida și înțelege utilizarea potențială a nanoparticulelor ZnO în
domeniile terapeutice și biomedicale de diagnostic. Considerăm că nanomaterialele ar promova în mod
dramatic dezvoltarea medicamentului și că se estimează că nanoparticulele ZnO vor contribui mai
interesant în aceste domenii.
Mulţumesc pentru atenţie !!
BIBLIOGRAFIE
1. https://en.wikipedia.org/wiki/Biosensor
2. А. Х. Абдуев и др. УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев на
основе оксида цинка. Письма в ЖТФ, 2017, том 43, вып. 22, ( . A. Kh. Abduev și colab.
Creșterea asistată de radiații UV a straturilor conductoare transparente pe bază de oxid de zinc.
Scrisori în JTF, 2017, Volumul 43, nr. 22 )
3. .А. Х. Абдуев и др. Влияние температуры роста на свойства прозрачных проводящих

пленок ZnO, легированных галлием. Физика и техника полупроводников, 2010, том 44,
вып. (.A. H. Abduev și colab. Efectul temperaturii de creștere asupra proprietăților filmelor
transparente conductoare ZnO dopate cu galiu. Fizica și tehnologia semiconductorilor, 2010,
Volumul 44, Ediția.)
4. Zhao Z., Lei W., Zhang X., Wang B., Jiang H. ZnO-Based Amperometric Enzyme
Biosensors // Sensors. 2010. V. 10. № 2. P. 1216 ( Zhao Z., Lei W., Zhang X., Wang B.,
Biosensorii enzimelor amperometrice bazate pe Jiang H. ZnO // Senzori. 2010. V. 10. Nr 2. P.
1216( Zhao Z., Lei W., Zhang X., Wang B., Biosensorii enzimelor amperometrice bazate pe
Jiang H. ZnO // Senzori. 2010. V. 10. Nr 2. P. 1216)
5. Clark L.C., Lyons C. Electrode Systems for Continuous Monitoring in Cardiovascular
Surgery // Annals of the New York Academy of Sciences. 1962. V. 102. № 1. P. 29. ( lark
L.C., Lyons C. Sisteme de electrozi pentru monitorizare continuă în chirurgie cardiovasculară //
Analele Academiei de Științe din New York. 1962. V. 102. No. 1. P. 29.
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 54
.
6. https://ro.wikipedia.org/wiki/Oxid_de_zinc
7. Lata S., Batra B., Karwasra N., Pundir C.S. An amperometric H2O2 biosensor based on
cytochrome c immobilized onto nickel oxide nanoparticles/ carboxylated multiwalled carbon
nanotubes/polyaniline modified gold electrode // Process Biochemistry. 2012. V. 47. № 6. P.
992 (Lata S., Batra B., Karwasra N., Pundir C.S. Un biosenzor amperometric H2O2 pe bază de
citocrom c imobilizat pe nanoparticule de oxid de nichel / nanotuburi de carbon cu mai multe
părți carboxilate / electrod din aur modificat polianilină // Biochimie de proces. 2012. V. 47. Nr
6. P. 992)
8. Dai Z., Fang M., Bao J., Wang H., Lu T. An amperometric glucose biosensor constructed by
immobilizing glucose oxidase on titanium-containing mesoporous composite material of no. 41
modified screen-printed electrodes // Analytica Chimica Acta. 2007. V. 591. № 2. P. 195.( Dai
Z., Fang M., Bao J., Wang H., Lu T. Un biosenzor amperometric de glucoză construit prin
imobilizarea glucozei oxidazei pe material compozit mesoporos conținând titan de nr. 41
electrozi printați cu ecran modificat // Analytica Chimica Acta. 2007. V. 591. Nr 2. P. 195.)
9. https://en.wikipedia.org/wiki/Sputter_deposition
10. https://en.wikipedia.org/wiki/Hall_effect
11. Qureshi A., Gurbuz Y., Howell M., Kang W.P., Davidson J.L. Nanocrystalline diamond film
for biosensor applications // Diamond and Related Materials. 2010. V. 19. № 5–6. P. 457.(
Qureshi A., Gurbuz Y., Howell M., Kang W.P., Davidson J.L. Film de diamante nanocristaline
pentru aplicații de biosenzori // Diamant și materiale conexe. 2010. V. 19. Nr 5-6. P. 457.)
12. Zhang Y., Wang M., Huang L. Fabrication of a Sensitive Electrochemical Biosensor for
Detection of DNA Hybridization Based on Gold Nanoparticles/ CuO Nanospindles Modified
Glassy Carbon Electrode // Chinese Journal of Chemistry. 2012. V. 30. № 1. P. 167.( Zhang Y.,
Wang M., Huang L. Fabricarea unui biosensor electrochimic sensibil pentru detectarea
hibridizării ADN-ului bazat pe nanoparticule de aur / Nano-nuclee CuO cu electrod din sticlă
modificată // Revista chineză de chimie. 2012. V. 30. Nr 1. P. 167)
13. Wang Z.L. The new field of nanopiezotronics. Materials Today. 2007. V. 10. № 5. P. 20. ( 13.
Wang Z.L. Noul domeniu al nanopiezotronicii. Materiale astăzi. 2007. V. 10. Nr 5. P. 20.)
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 55
.
14. Li Z., Yang R., Yu M., Bai F., Li C., Wang Z.L. Cellular Level Biocompatibility and Biosafety
of ZnO Nanowires // J. of Physical Chemistry C. 2008. V. 112. № 51. P. 20114 ( Li Z., Yang
R., Yu M., Bai F., Li C., Wang Z.L. Biocompatibilitatea și biosecuritatea la nivel celular a
Nanowires ZnO // J. de Chimie Fizică C. 2008. V. 112. Nr. 51. P. 20114)
15. Ellmer K., Klein A., Bernd R. Transparent Conductive Zinc Oxide. Springer Berlin Heidelberg.
2008) (Ellmer K., Klein A., Bernd R. Oxid de zinc conductiv transparent. Springer Berlin
Heidelberg. 2008)
16. Medyantseva E., Varlarnova R., Gitnaletdinova D., Fattakhova A., Budnikov G. An
amperometric monoamine oxidase biosensor for determining some antidepressants // J. of
Analytical Chemistry. 2008. V. 63. № 3. P. 275.( Medyantseva E., Varlarnova R.,
Gitnaletdinova D., Fattakhova A., Budnikov G. Un biosenzor monoaminoxidază
amperometrică pentru determinarea unor antidepresive // J. de chimie analitică. 2008. V. 63. Nr
3. P. 275.)
17. https://www.gminsights.com/industry-analysis/biosensors-market
18. Asif, M.H.; Ali, S.M.U.; Nur, O.; Willander, M.; Brannmark, C.; Stralfors, P.; Englund, U.H.;
Elinder, F.; Danielsson, B. Functionalised ZnO-nanorod-based selective electrochemical sensor
for intracellular glucose. Biosens. Bioelectron. 2010, 25, 2205–2211. (18. Asif, M.H .; Ali,
S.M.U .; Nur, O .; Willander, M .; Brannmark, C .; Stralfors, P .; Englund, U.H .; Elinder, F .;
Danielsson, B. Senzor electrochimic selectiv funcționalizat pe bază de ZnO-nanorod pentru
glucoză intracelulară. Biosens. Bioelectron 2010, 25, 2205-2211.)
19. (Ikonen, E. Cellular cholesterol trafficking and compartmentalization. Nat. Rev. Mol. Cell Biol.
2008, 9, 125–138. )Ikonen, E. Traficul și compartimentarea celulară a colesterolului. Nat. Rev.
Mol. Biol celular. 2008, 9, 125–138.
20. Isaccsohn, J. Yale University School of Medicine Heart Book; Hearst Books: New York, NY,
USA, 1992. (Isaccsohn, J. Yale University School of Medicine Book Heart; Hearst Books:
New York, NY, SUA, 1992. )
21. Isaccsohn, J. Yale University School of Medicine Heart Book; Hearst Books: New York, NY,
USA, 1992. (Israr, M.Q .; Sadaf, J.R .; Engquist, I .; Nour, O .; Willander, M .; Danielsson, B.
Caracterizarea structurală și aplicațiile biocompatibile ale nanoshehe-urilor grafenice pentru
miniaturizarea biosenzorului potentiometric al colesterolului. J. Biosens. Bioelectron 2011, 2. )
22. Ibupoto, Z.H.; Elhag, S.; Nur, O.; Willander, M. Fabrication of sensitive potentiometric
cholesterol biosensor based on Co3O4 interconnected nanowires. Electroanalysis 2014, 26,
1928–1934.( Ibupoto, Z.H .; Elhag, S .; Nur, O .; Willander, M. Fabricarea biosenzorului
Coala
Semnăt
UTM 714.9 001 ME 56
.
potențialometric de colesterol sensibil bazat pe nanofirele interconectate Co3O4. Electroanaliză
2014, 26, 1928-1934.)
Asif, M.H.; Fulati, A.; Nur, O.; Willander, M.; Brannmark, C.; Stralfors, P.; Borjesson, S.I.; Elinder, F.
Functionalized zinc oxide nanorod with ionophore-membrane coating as an
Coala
Semnăt
UTM 714.9 024 ME 57
.

Glodeanu Cristian FCIMISBM 161 Cu Avizul Corectat 1

Încărcat de

Informații document

Titlu original

Drepturi de autor

Formate disponibile

Partajați acest document

Partajați sau inserați document

Opțiuni de partajare

Vi se pare util acest document?

Este necorespunzător acest conținut?

Drepturi de autor:

Formate disponibile

Glodeanu Cristian FCIMISBM 161 Cu Avizul Corectat 1

Încărcat de

Drepturi de autor:

Formate disponibile

Universitatea Tehnică a Moldovei

Studiul biosenzorilor pe baza de oxid de

Student: Glodeanu Cristian

Coordonator: Sidorenko Anatolie

Universitatea Tehnică a Moldovei

Studiul biosenzorilor pe baza de oxid de zinc

Student:_____________________Glodeanu Cristian ISBM-161

Facultatea Calculatoare, Informatică şi Microelectronică

1. Tema proiectului/tezei de licență Studiul biosenzorilor pe baza de oxid de zinc_____________

7. Data înmânării caietului de sarcini 01.06.2020____________________________________

Coordonator Sidorenco A._________________________________________________

Sarcina a fost luată pentru a fi executată de către studentul Glodeanu Cristian

3 Studierea ZnO in contextul pieții 19.02.2020

4 Determinarea cerințelor proiectului 25.02.2020

5 Determinarea sarcinilor proiectului 26.02.2020

6 Studiera utilajului existent pentru cercetare 03.04.2020

7 Procesul de obținere a oxidului de zinc 13.04.2020.

8 Cercetarea proprietaților ZnO 26.04.2020

Student Glodeanu Cristian ____________________

Conducător de proiect/teză de licență Sidorenco Anatolie__________________________

Tema: Studierea biosenzorilor de baza de oxid de zinc

Coordonatorul tezei de licență

În vederea susținerei licenței , am elaborat o lucrare cu titlul “ Studiul

Lucrarea cuprinde:4 capitole,32 figuri,8 tabele,25 surse bibliografice

pentru a studia propetațile oxidului de zinc .

The paper includes: 4 chapters, 32 figures, 8 tables, 25 bibliographic sources

2. OXIDUL DE ZINC ȘI PULVERIZAREA MAGNETRON...............16

4. ARGUMENTAREA ECONOMICĂ A PROIECTULUI ....................48

UTM 714.9 001 ME

Obiectivele acestei lucrari sunt :

1.1. Compoziția unui biosenzor

Biosenzorii constau din trei părți:

1.Bioreceptor (material biologic ) microorganisme, nanoparticule , receptorii celulari, enzime,

Fig.1. Compozitia unui biosenzor[1].

Traductoarele și electronicele pot fi combinate, de exemplu, în sistemele de microsenzori bazate pe

1.2 Clasificarea biosenzorilor dupa biotraductor

Fig. 1.1. tipurile de biotraductori[1].

Biosenzorii piezoelectrici sunt un grup de dispozitive analitice care lucrează pe un principiu al

1.3 Exemple de biosenzori

1. Pentru masurarea glucozei in singe :

H2O2 + O2 + β-d-glucoză → δ-d-gluconolactonă + H2O2 (1)

Istoria crearii biosenzorului de masurat glucoza :

Cholesterol + O2 → Δ5-3-ketosteroid + H2O2 (1.2)

Δ5-3-ketosteroid → Δ4-3-ketosteroid (1.3)

Biosenzorul de colesterol de fabricație folosind nanoane ZnO cultivate pe un microwire argintiu

1.4 Imobilizarea biomatricii

Fig. 1.8. Reprezentarea schematică a metodelor de imobilizare a enzimelor la biosenzori.[16]

a - legare covalentă la suprafața electrodului, b - reticulare, c - adsorbție pe un purtător (electrod),

Fig.1.9.Varieta nanostructurilor oxidului de zinc [3]

2.1 Oxidul de zinc

Ca o componentă a medicamentelor externe utilizate în dermatologie. Are efecte antiinflamatoare,

Tabelul. 2.Proprietațile diferitor oxizi metalici[21].

Pulverizarea magnetron - reprezintă un proces fizic de depunere din vapori (PVD) în

Fig 2.2.Princpipiul de pulverizare[9]

Fig.2.3. Structura magnetronului[9]

Pe lângă viteza ridicată de pulverizare, sistemele magnetron au o serie de caracteristici specifice,

Avantajele acestei metode în comparație cu alte metode de acoperire:

1) rata mare de depunere;

2.2.1 Efectul Hall

I - Curentul care curge prin senzor

μp - conductivitatea datorată găurilor

Densitatea fluxului magnetic

Aplicarea principiului efectului Hall :