Sunteți pe pagina 1din 15

UNIVERSITATEA TEHNICĂ ″GHE.

ASACHI″ IAŞI

FACULTATEA DE ELECTRONICĂ, TELECOMUNICAŢII


ŞI TEHNOLOGIA INFORMAŢIEI

PROIECT SISTEME MICRO-ELECTROMECANICE

METODE DE TESTARE A
SISTEMELOR MICRO-ELECTROMECANICE

Îndrumător, Masterand,
Ş.l. Dr. Ing. D. Ionescu Ionuţ Pintilei
An II – RC
Introducere

Un sistem micro electro-mecanic este un dispozitiv format din diferite


componente (mecanice, electrice şi electronice) de dimensiuni extrem de reduse,
integrate pe un strat de siliciu. Acest tip de de sistem semiconductor este capabil
să combine capacităţile de calcul ale microelectronicii cu capacităţile de percepţie
şi control ale micro-senzorilor şi micro-actuatorilor. Marele avantaj al acestor
microsisteme integrate este acela că pot fi realizate compact, dimensiunile
acestora fiind de ordinul micrometrilor. După ce senzorii achiziţionează datele de
la stimuli, intervine modulul electronic care are rolul de a procesa aceste date, ca
în cele din urmă, să fie generate anumite comenzi la ieşirea sistemului funcţie de
rezultatul procesării datelor.
Odată ce sistemele micro electro-mecanice pot procesa funcţii optice,
chimice, termice, electronice, mecanice şi biologice, acestea pot opera ca
dispozitive precum accelerometre, senzori de presiune, microfoane, giroscoape,
etc., cu posibilitatea combinării mai multor funcţii pe acelaşi microsistem. Acestea
sunt utilizate extensiv în câteva domenii, cum ar fi : automotive, electronică,
bunuri de larg consum, tehnologie.
Sistemele micro electro-mecanice necesită un înalt nivel al cunoştinţelor de
fabricare respectiv proiectare, pentru a crea componente funcţionale conform
cerinţelor, având dimensiuni cât mai compacte.
Pe departe, toate sistemele micro electro-mecanice sunt formate din micro-
componente dispuse pe un strat subţire de silicon. Aceste microsisteme sunt
dispuse pe stratul de silicon, dar procesul de fabricare constă în parcurgerea mai
multor etape. Înafară de silicon şi arseniură de Ga, cele mai utilizate în industria
semiconductoare, alte materiale precum quartz-ul, materiale piezoelectrice,
Pyrex, polimeri, plastice şi ceramice sunt utilizate frecvent.
Deoarece sistemele micro electro-mecanice sunt fabricate cu ajutorul altor
dispozitive electronice, fabricarea respectiv costul materialelor trebuie menţinute
la un preţ relativ mic. Din acest motiv, pentru a menţine costurile cât mai reduse,
aceste teste sunt efectuate utilizând celule de test a sistemelor micro electro-
mecanice (MTC – MEMS Test Cells).
În acest moment, există 2 modalităţi de testare a sistemelor micro electro-
mecanice :
● testare pe bandă (microsistemele sunt dispuse grupat aşa cum sosesc
de la procesul de fabricaţie)
● testare singulară (fiecare microsistem este testat separat)
Prima modalitate de testare este aplicată concurent unui grup de
microsisteme, în mod normal la sfârşitul procesului de fabricare, exact înainte de
separarea fiecărui microsistem în parte, în timp ce a doua modalitate este
efectuată doar pe un singur microsistem la un moment dat.
Desigur, ambele metode au atât avantaje cât şi dezavantaje : în cazul primei
metode, sistemele micro electro-mecanice depistate ca fiind rebuturi, nu mai pot
fi identificate după procesul de separare a grupului de microsisteme; iar în cazul
celei de-a doua metode, microsistemele separate implică o manipulare mai
greoaie. Câţiva producători de astfel de microsisteme optează pentru metoda de
testare singulară (fiecare microsistem în parte), după care aceştia, în mod direct,
pot trimite produsul către client. Această strategie presupune un proces de
testare şi împachetare a produsului fără ca sistemele micro electro-mecanice să
fie avariate.
Pe durata de testare şi manipulare, microsistemele sunt supuse la factori ce
pot cauza defectarea acestora : forţe inerţiale, coliziuni, presiune negativă.
Pentru a evita astfel de factori nedoriţi care pot afecta buna funcţionare a
microsistemelor, procesul de manipulare trebuie să fie proiectat astfel încât
şocurile mecanice respectiv accelerările, să aibă un grad cât mai scăzut. Din
acest punct de vedere există o serie de studii efectuate asupra acestor
fenomene, iar scopul aceste lucrări este de a prezenta într-un mod general
procesul de testare a sistemelor micro electro-mecanice şi în particular, efectele
forţelor ce acţionează asupra microsistemelor, pe toată durata procesului de
testare.

Tipuri de MTC. Structura unui MTC

Celula de test a sistemelor micro electro-mecanice ce implementează


modalitatea de testare singulară este bazată pe o serie de module cu diferite
funcţii. În principal, structura unei celule de test este alcătuită din 5 module, aşa
cum se observă în fig. 1 :
● echipamentul de alimentare (încărcare) a microsistemelor în celula
de test
● unitatea de manipulare
● unitatea de generare a stimulilor
● unitatea de testare (tester)
● echipamentul de descărcare a microsistemelor din celula de test

Figura 1. Structura bloc a unei celule de test (MTC)


Înainte şi după procesul de testare, microsistemele pot fi stocate şi
transportate în diferite modalităţi. Metoda cea mai comună este utilizarea unei
benzi : o platformă specifică din material plastic dotată cu spaţii de depozitare a
microsistemelor. Această platformă este specifică oricărui tip de microsistem, dar
este standardizată conform legii semiconductoarelor. În cele ce urmează, sunt
prezentate cele 5 module ce alcătuiesc structura celulei de test a
microsistemelor.

a. Echipamentul de încărcare

Principala funcţie a acestui echipament este de a furniza microsistemele ce


trebuie testate către unitatea de manipulare a acestora. Sistemele micro electro-
mecanice pot fi transportate către etapa finală de test în mod ordonat sau
neordonat. Ordonat, se poate realiza prin intermediul unei benzi transportoare
sau a unui tub, iar neordonat se transportă un număr diferit de microsisteme de
la un lot la altul, ce urmează a fi testat.
Banda transportoare respectiv tubul conţin microsisteme orientate, deoarece
premergător etapei de furnizare a microsistemelor către unitatea de manipulare,
are loc etapa de aranjare a microsistemelor. Această etapă premergătoare nu
este efectuată în cazul în care sistemele micro electro-mecanice sunt neordonate.
Echipamentul de încărcare în cazul benzii transportoare este sub formă de
matrice, format dintr-un număr de linii respectiv coloane (fig. 2). Astfel la
intersecţia fiecărei linii cu o coloană, se găseşte depozitat un microsistem.
Periodic, funcţie de viteza de preluare a microsistemelor existente pe linia
curentă de către unitatea de manipulare, celelalte linii de stocare a benzii
transportoare sunt încărcate cu microsisteme. Acest proces are avantajul unei
preluări rapide de către unitatea de manipulare a unui număr mare de
microsisteme, într-un timp relativ scurt.

Figura 2. Echipament de încărcare de tip matrice


Figura 3. Echipament de încărcare de tip “castron”
Dacă microsistemele sunt încărcate în modul neordonat, un element ajutător
de tip “castron” (fig. 3) este utilizat pentru a încărca microsistemele în celula de
test. Odată ce microsistemele sunt transportate neordonat, acest dispozitiv are
rolul şi de a le orienta şi a le depozita într-o poziţie de aşteptare pentru ca
acestea să fie preluate apoi de următorul modul.
În final, dacă sistemele micro electro-mecanice sunt încărcate ordonat într-un
tub, unitatea de manipulare le preia utilizând un echipament de încărcare ce este
bazat pe gravitaţie pentru a extrage microsistemele din tub. Această metodă
prezintă un dezavantaj major, datorită faptului că şocul mecanic la extragere
poate fi uneori destul de ridicat, ceea ce duce la defectarea sistemelor micro
electro-mecanice.

b. Unitatea de manipulare

Acest modul ce face parte din celula de test a microsistemelor este


fundamental pentru testarea singulară a acestora. De fapt, acesta permite să
preia microsistemele pregătite în echipamentul de încărcare şi apoi să le plaseze
fizic în celula de test, gata pentru începerea procesului de testare. Câteodată,
acelaşi modul de manipulare permite să plaseze microsistemele în celula de test
şi apoi să le preia din aceasta şi să le furnizeze echipamentului de descărcare.
Acest modul poate fi realizat utilizând diferite tehnologii.
Modulul este alcătuit dintr-un cap mobil ce efectuează mişcări de-a lungul
unui plan de lucru orizontal (XY), unelte de preluare (ridicare) ce execută
mişcări de-a lungul axei Z, prin intermediul actuatorilor pneumatici (fig. 4).

Figura 4. Unitatea de manipulare


c. Unitatea de generare a stimulilor

Celula de test se bazează pe unitatea de stimuli proiectată să genereze


stimuli adecvaţi ce depind de tipologia respectiv tehnologia sistemelor micro
electro-mecanice. Pentru a fi testate, este necesar ca microsistemele să fie
plasate în socluri conectate cu pini electrici, specifice sistemelor de testat. Aceşti
pini permit achiziţionarea semnalelor electrice de la microsistemele ce sunt
testate, şi apoi transmise către unitatea de testare, unitate ce va decide dacă
rezultatul testului este valid sau nu. Ca şi exemplu, unitatea de stimuli utilizată
pentru accelerometre şi giroscoape este alcătuită dintr-o placă ce conţine un
număr definit de spaţii unde microsistemele sunt depuse, montate pe un sistem
de axe ortogonale. Acest sistem permite 2 sau 3 grade unghiulare de libertate,
astfel încât placa să poată fi poziţionată în poziţia în care este nevoie.

d. Unitatea de testare

Această unitate achiziţionează semnalele de la microsistemul ce este supus


testării şi apoi pe baza semnalelor achiziţionate, efectuează o procesare prin care
se verifică validitatea acestora în raport cu foaia de catalog a microsistemului.
Dacă se depistează la un moment dat o neconcordanţă între semnalul
achiziţionat respectiv semnalul corect se generează rezultatul de respins, iar în
cazul contrar când toate semnalele achiziţionate corespund semnalelor din foaia
de catalog, se generează rezultat valid (admis).

e. Echipamentul de descărcare

Al 5-lea modul ce alcătuieşte o celulă de test a sistemelor micro electro-


mecanice permite ambalarea acestora în cutii adecvate, ca mai apoi să fie
vândute clienţilor. În mod normal, acest echipament este proiectat să separe
microsistemele rejectate (defecte) de cele valide, în funcţie de rezultatele
invalide ce pot apărea.

Testarea MEMS-urilor : accelerometre

În cele ce urmează, este prezentat un studiu de caz ce se adresează


dificultăţilor întâlnite în cazul testării microsistemelor de tip accelerometru,
precum şi găsirea unor soluţii pentru eliminarea acestora.
Tehnologia microsistemelor şi totodată reducerea costurilor de fabricaţie sunt
într-o continuă progresie. Exemple prin care se justifică reducerea costurilor
sunt : reducerea dimensiunilor, îmbunătăţirea randamentului, procesul de
integrare a componentelor într-un microsistem.
Accelerometrul ce urmează a fi supus procesului de testare, reprezintă un
circuit integrat ce deţine o interfaţă digitală şi traductoare, toate acestea
asamblate într-un SOIC (Small Outline Integrated Circuit) cu 16 pini.
Principalele componente ale acestui accelerometru sunt prezentate în figura
5. Traductorul G-Cell este construit pe baza tehnicilor de micro-prelucrare de
suprafaţă. Semnalul de intrare preluat de accelerometru este supus unei
conversii capacitate-tensiune. Dispozitivul conţine de asemenea un amplificator
cu capacităţi comutate ce are offset ajustabil şi câştig variabil. Accelerometrul
prezintă un filtru Bessel de tip trece jos, a cărui frecvenţă de tăiere poate fi
selectată între valorile de 400 respectiv 700 Hz. Semnalul rezultat la ieşirea
filtrului este amplificat şi apoi memorat la pinul extern Vout . Totodată, etajul
final al acestui accelerometru conţine un bloc ce are rolul de a furniza valoarea
compensării de temperatură pentru senzitivitate.

Figura 5. Principalele componente ale accelerometrului

Testul iniţial al microsistemelor apare la finalizarea fabricării structurii


hardware a acestora. Aceste teste iniţiale sunt efectuate atât pentru traductor
cât şi pentru componentele integrate specifice diverselor aplicaţii (Application
Specific Integrated Circuit). Intenţia primară a acestor teste este de a proba
validitatea fabricării structurii hardware şi de a asigura funcţionalitatea corectă a
dispozitivului. Platformele de test ale microsistemelor dedicate accelerometrelor
pot diferi în funcţie de modelul produs. Atunci când are loc fabricarea unui număr
extrem de mare a acestor microsisteme, variaţille parametrilor electrici pot
apărea de la un dispozitiv la altul.

Componentele sistemului de test

Primul pas în dezvoltarea echipamentelor de testare a microsistemelor a fost


acela de a realiza un echipament de testare standard, structura acestuia fiind
divizată pe mai multe module ce asigură o testare completă şi corectă a
microsistemelor. Divizarea sistemului în componente a permis focalizarea pe
obţinerea unor soluţii optime de proiectare a componentelor, înainte de a
considera sistemul de testare ca un sistem complet. Un model pentru testarea
unei platforme MEMS este reprezentat în figura 6. Principalele componente ale
unui model de test a sistemelor micro electro-mecanice sunt : echipament cu
funcţie de testare automată, unitatea de manipulare, platforma de
testare şi unitatea de generare a stimulilor fizici. Modulul responsabil
pentru stabilirea valorii temperaturii şi modulul de interfaţare electrică au fost
proiectaţi astfel încât aceştia să poată fi reutilizaţi şi în cazul altor sisteme de
test.

Figura 6. Componentele sistemului de testare a MEMS-urilor

a. Echipamentul de testare automată

Acest modul reprezintă „inima” întregului sistem de test. Echipamentul de


testare automată sau aşa după cum a fost denumit mai sus, unitatea de
testare, asigură generarea stimulilor electrici precum şi achiziţionarea
semnalelor ce intervin în procesul de testare. Un sistem micro electro-mecanic
tipic are 2 principale funcţii ce trebuie luate în considerare pe parcursul
procesului de testare. Prima funcţie este realizată de traductor, care efectuează
conversia unei forme de energii într-o altă formă de energie. Pentru cazul
accelerometrului, traductorul efectuează conversia energiei generată de
acceleraţie în energie electrică utilizând capacităţi produse prin
microprelucrări de suprafaţă. Cea de-a doua funcţie implică prelucrarea,
modelarea şi achiziţia semnalelor analogice/digitale. Această a doua
funcţionalitate a echipamentului de testare automată este întâlnită la majoritatea
dispozitivelor semiconductoare din industrie. Echipamentul de testare automată
trebuie să corespundă cerinţelor în funcţie de semnalele variate utilizate pe
durata calibrării şi testării microsistemelor. În cazul accelerometrelor,
echipamentul de testare automată trebuie să includă atât surse de semnal
analogice cât şi digitale precum şi procesări de semnal analogice/digitale.
Stimulii fizici asociaţi cu sistemul de testare a microsistemelor reprezintă acea
parte a stimulilor electrici ce generează apoi mişcare fizică. Stimulii fizici sunt
direcţionaţi către accelerometru în urma generării acestora de către software-ul
prezent în unitatea de testare. Acest fapt asigură o bună precizie, sincronizare a
stimulilor fizici şi a capturii semnalelor generate la ieşirea microsistemului.
Sursa de semnal analogic constă în generarea stimulilor mecanici.
Echipamentul de testare automată trebuie să fie capabil ca, simultan, să preia
răspunsul accelerometrului testat la aplicarea acestor stimuli, şi răspunsul
generat de un accelerometru de referinţă calibrat. Simultaneitatea capturii celor
2 răspunsuri şi cunoaşterea sensibilităţii accelerometrului calibrat permite calculul
sensibilităţii dispozitivului testat fără a controla cu precizie unitatea de generare a
stimulilor mecanici. Nivelul de capabilitate a capturii semnalelor analogice de
către unitatea de testare depinde în mod direct de capabilităţile de procesare a
semnalelor. Componentele hardware şi software utilizate exclusiv pentru
procesarea de semnal au rolul de a extrage şi a analiza formele de undă din
cadrul semnalelor achiziţionate.

b. Unitatea de manipulare

Principalul rol al unităţii de manipulare este de a transporta dispozitivul testat


către spaţiul (soclul) unde este efectiv testat, de a asigura testarea în condiţii
optime a microsistemului, de a transporta dispozitivul în locuri corespunzătoare,
în funcţie de rezultatul generat de către unitatea de testare.
Un astfel de modul de manipulare pentru testarea accelerometrelor este un
sistem dotat şi cu posibilitatea reglării temperaturii, şi care poate manipula
simultan până la 16 sisteme micro electro-mecanice (figura 7).

Figura 7. Unitate de manipulare a accelerometrelor


c. Unitatea de generare a stimulilor fizici

În cazul testării sistemelor micro electro-mecanice de tip accelerometru,


aplicarea unei acceleraţii de valoare cunoscută dispozitivului, va genera
transferarea unei deplasări mecanice sau acceleraţii de la un vibrator
electrodinamic prin intermediul a multiple interfeţe mecanice către microsistemul
aflat în procesul de testare. Figura 8 prezintă o astfel de unitate de generare a
stimulilor fizici pentru microsisteme de tip accelerometru. Chiar în forma sa cea
mai simplă, această unitate de generare a stimulilor fizici generează un complex
proces mecanic ce variază funcţie de mai mulţi factori : frecvenţă, temperatură şi
dispozitivul testat.
Implementările anterioare ale sistemelor de test pentru accelerometre erau
constituite din sisteme de dimensiuni ridicate, proiectate în funcţie de
accelerometrul ce trebuia testat. Aceste implementări au fost ineficiente, datorită
celor 2 mari dezavantaje : sisteme de testare de dimensiuni mari, inflexibilitatea
utilizării acestora în raport cu schimbările tehnologice frecvente ale
microsistemelor. Datorită acestor schimbări tehnologice ale microsistemelor,
unităţile de test implementate anterior trebuiau re-condiţionate astfel încât să fie
posibilă testarea noilor produse apărute. Aceste re-condiţionări generau costuri
enorme pentru producători şi astfel s-au dezvoltat sistemele de testare ce
asigurau o modularitate şi flexibilitate sporită.

Figura 8. Unitatea de generare a stimulilor fizici pentru accelerometre


Figura 9. Diagrama de interconectare a elementelor unui sistem de testare
nemodular

Pentru a face posibilă creşterea flexibilităţii unităţilor de test, s-au proiectat


sisteme de testare complete formate din unităţi modulare. Modularitatea unui
sistem de testare este obligatorie, pentru a satisface cerinţele tehnologiilor de
astăzi.

Figura 10. Diagrama de interconectare a elementelor unui sistem de testare


modular

În primă fază, s-au proiectat unităţile de manipulare astfel încât să fie


universale pentru orice tip de sisteme micro electro-mecanice. Astfel, toate
interfeţele mecanice care interacţionează direct cu sistemul micro electro-
mecanic sunt pre-definite. Aceasta determină o flexibilitate sporită în
implementarea testării fizice a sistemelor şi în utilizarea unităţii de manipulare cu
alte dispozitive (unităţi modulare). Chiar şi în cazul efectuării de modificări în
interiorul produsului, atât timp cât package-urile rămân aceleaşi, doar modificări
ale conexiunilor platformei de instalare a microsistemelor şi a unităţii de generare
a stimulilor fizici trebuie realizate. Reprezentarea grafică a unui sistem de testare
modular este prezentată în figura 10.
Un aspect important rezultat în urma implementării modulare este acela că
unitatea de generare a stimulilor fizici necesită o complexitate ridicată.
Constrângeri severe sunt aplicate în cazul geometriei sistemului de generare a
stimulilor fizici, datorită interfeţei fixe a unităţii de manipulare. Ca şi rezultat,
sisteme complexe mecanice sunt încă necesare pentru a realiza interfaţarea în
raport cu geometria fizică a unităţii de manipulare.
Multe din proprietăţile mecanice ale subsistemelor stimulilor fizici variază
funcţie de frecvenţă, timp, temperatură etc. În raport cu modul de proiectare a
sistemului, unele dintre aceste proprietăţi pot rămâne constante. În
implementările anterioare, mici variaţii au fost observate iar sistemele invariante
în timp au fost modelate ca în figura 11. Acest model a fost valabil pentru
majoritatea condiţiilor anterioare de testare. Sistemele de generare a stimulilor
fizici, în acest caz, erau formate doar din dispozitive mecanice cu un grad sau
două de libertate în regiunea de funcţionare de interes. Noile sisteme proiectate
sunt sisteme cu mai multe grade de libertate în regiunea de funcţionare.
Adiţional, funcţiile de transfer şi răspunsurile acestor sisteme trebuie să fie
invariante în timp, ceea ce implică din nou crearea unor sisteme
costisitoare/complexe. Noile sisteme proiectate, prezintă o altă configuraţie faţă
de cele anterioare. Astfel, acestea prezintă sisteme de control cu buclă închisă,
ce au rolul principal de a reduce în totalitate variaţiile sistemului şi variaţiile de
test.

Figura 11. Model anterior al sistemului de generare a stimulilor fizici

Chiar şi în forma sa cea mai simplă, sistemul de generare a stimulilor fizici


pentru accelerometre este proiectat ca un sistem de control cu buclă închisă aşa
cum se observă în figura 12.
Pentru acest sistem cu buclă închisă, H reprezintă funcţia de transfer a
subsistemului. Bucla de reacţie are rolul de a ajusta/corecta variaţiile sistemului.
Figura 12. Sistem cu buclă închisă de generare a stimulilor fizici

d. Interfaţa electrică

Interfaţa electrică asigură conexiunea dintre echipamentul de testare


automată şi unitatea de manipulare, platforma de testare respectiv unitatea de
generare a stimulilor fizici.
Este o componentă principală pentru asigurarea integrităţii semnalelor de
test. Figura 13 prezintă elementele de circuit necesare pentru testarea
microsistemelor de tip accelerometru. Componentele pasive R1 şi C1 formează
un filtru trece jos, cu frecvenţa de tăiere aproximativ 16 kHz, astfel încât la
ieşirea acestuia să rezulte doar semnalul de ieşire dorit, iar celelalte semnale
parazit să fie rejectate. Condesatorul C2 are rolul de a suprima nivelul zgomotului
generat de tensiunea de alimentare VDD. Fixarea acestor componente în soclul
de testare trebuie să se facă cât mai aproape de microsistemul supus testării.
Soclul de testare nu trebuie să asigure doar contact electric perfect între
componente ci şi rigorile impuse de unitatea de generare a stimulilor fizici, în
acest caz variaţia nivelului de acceleraţie, frecvenţă şi temperatură.

Figura 13. Pinii de conexiune a dispozitivului testat şi componentele pasive pentru


suprimarea nivelului de zgomot
e. Platforma de testare

Un kit de testare pentru sisteme micro electromecanice reprezintă un pachet


de reguli de proiectare care are la bază stimuli combinaţi, electrici şi fizici, care
trebuie controlaţi pentru a pune la punct si/sau a testa dispozitivul. În cazul
accelerometrelor, stimulii fizici utilizaţi pentru testarea acestora sunt nişte vibraţii
sinusoidale a căror valoare a frecvenţei este egală cu o valoare din intervalul
frecvenţelor din banda audio. Tipic, sistemul de excitaţie şi cel de fixare a
dispozitivului au valori de vârf rezonante în acelaşi interval de frecvenţe. Punctele
de contact trebuie să fie suficient de apropiate de dispozitiv, astfel încât forţa de
prindere/fixare ce acţionează asupra dispozitivelor să nu afecteze dispozitivul
testat, respectiv procesul de testare. Totodată, platforma de testare trebuie să
conţină şi soclul dedicat componentelor pasive prezentate anterior. Sistemul de
contact necesită un înalt nivel de robusteţe şi rezistenţă pentru a putea fi capabil
să reziste în timp, chiar şi după milioane de dispozitive testate. Un contact cu
performanţe scăzute poate cauza nevalidarea testului, datorită valorii rezistenţei
de contact mare. Se pot întâmpla şi alte excepţii, de exemplu, un anumit pin
electric al dispozitivului poate fi lăsat în aer, datorită contactului electric
defect/deformat. Aceste cazuri trebuie evitate, deoarece afectează întregul
proces de testare şi astfel pot produce consecinţe grave.

Tendinţe de viitor pentru testarea MEMS-urilor

În viitor, se conturează două mari provocări ce vor interveni în domeniul


testării micro sistemelor electromecanice. Prima dintre ele va fi concretizată prin
înlocuirea sistemelor analogice de testare cu sisteme digitale de înaltă
complexitate şi cu o funcţionalitate flexibilă, robustă. Sistemele
microelectromecanice evoluează la fel de rapid ca şi tehnologia, şi astfel
sistemele de testare vor trebui să ofere noi oportunităţi : interfeţe digitale,
comunicaţii prin unde radio, testare automată încorporată, generarea rapoartelor
etc.
Cea de-a doua provocare majoră o reprezintă reducerea costurilor de testare.
Pentru orice producător, costurile trebuie să fie minime pentru orice operaţie
efectuată. O eficienţă ridicată în strategia de testare va asigura un impact pozitiv
pentru reducerea costurilor.
Bibliografie

D. Ionescu, Note de curs

D. Ionescu, Îndrumar de laborator

http://www.itcprogramdev.org/itc2003proc/Papers/PDFs/0033_3c.pdf

http://www.nexusmems.com/documents/28_7%20MEMS%20Test%20Challenges%20Application
s%20solutions%20and%20future%20visionsl.pdf

http://www.rle.mit.edu/media/pr143/27.pdf

http://www.intechopen.com/articles/show/title/low-shock-manipulation-and-testing-of-micro-
electro-mechanical-systems-mems-