Sunteți pe pagina 1din 135

PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE

PROIECTAREA CIRCUITELOR VLSI CMOS

Dan NICULA
Universitatea TRANSILVANIA din Braşov
Departamentul de Electronică şi Calculatoare

E-mail dan.nicula@unitbv.ro
URL www.danNicula.ro

- Versiunea 2014 – 2015 -

Pagina de web a cursului


DanNicula.ro/vlsi

© 2014 DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 2

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 1
DanNicula.ro/vlsi bibliografie

www.cmosvlsi.com

© 2014 DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 3

DanNicula.ro/vlsi bibliografie

Sediul central –
Depozit
Cota III.16846
5 exemplare
© 2014 DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 4

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 2
DanNicula.ro/vlsi bibliografie

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 5

Evaluare

• Examen oral
• 3 Subiecte
• Bibliografie pe sit curs
DanNicula.ro/vlsi

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 6

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 3
Ce înseamnă “VLSI”?
xSI Denumire Dimensiune Realizare
SSI Small Scale Integration < 10 porți porţi şi bistabile
MSI Medium Scale Integration < 100 porți numărătoare, registre, memorii
LSI Large Scale Integration < 10.000 porți procesoare simple
VLSI Very Large Scale Integration < 100.000 porți procesoare complexe
ULSI Ultra Large Scale Integration > 100.000 porți system-on-chip

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 7

Temă: Inventatorii circuitului integrat

The History of the Integrated Circuit


http://inventors.about.com/od/istartinventions/a/intergrated_circuit.htm

The Integrated Circuit of Jack Kilby and Robert Noyce


http://history-computer.com/ModernComputer/Basis/IC.html

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 8

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 4
Livrare temă pe email

• FROM: <student>@student.unitbv.ro
• TO: dan.nicula@unitbv.ro
• SUBJ: STUD_PCI - Tema “Inventatorii CI”
• Termen: 1 săptămână (începând de azi)
• Prezentare: PPT atașat

Sugestie: http://www.powershow.com/

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 9

Lingoul de siliciu

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 10

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 5
Direcţii de dezvoltare a circuitelor integrate digitale

• Tehnologia – micşorarea
dimensiunii tranzistoarelor

• Calitatea suportului de
Siliciu
– creşterea ariei wafer-ului
– reducerea numărului de
defecte

• Perfecţionarea
circuitelor implementate
– circuite cu mai puţine
tranzistoare pentru aceleaşi funcţii

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 11

Cronologia realizărilor în domeniul VLSI

http://www.chipsetc.com/computer-technology-timeline.html

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 12

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 6
Se mai utilizează azi tuburi cu vid?

http://www.youtube.com/watch?v=R-PGMgy5nds&feature=player_detailpage#t=91

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 13

CAPITOLE

1 – Introducere
2 – Teoria tranzistorului MOS
3 – Tehnologia CMOS
4 – Memorii
5 – Subsisteme speciale
6 – Metodologia de proiectare
7 – Testare, depanare, verificare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 14

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 7
CAPITOL 1 – Introducere

1.1. Scurt istoric CMOS


1.2. Tranzistorul MOS
1.3. Logica CMOS
1.4. Fabricare și layout CMOS
1.5. Caracteristici tehnologie CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 15

1.1. Scurt istoric CMOS

• CMOS - Complementary Metal-Oxide-Semiconductor


• Efectul MOS-FET (J. Lilienfeld, 1925, O. Heil 1935)
• Primul calculator MOS: 1965
• Tehnologie nMOS: 1971
• Tehnologie CMOS: putere scăzută

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 16

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 8
Memoria 1101 SRAM și Microprocesorul 4004

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 17

Număr de tranzistoare în procesoarele Intel

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 18

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 9
Frecvența de ceas a procesoarelor Intel

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 19

Tendințe în domeniul VLSI

Dimension Increase in Metal-Oxide-Semiconductor Memories and Transistors


Hideo Sunami, Hiroshima University, Japan
"Advances in Solid State Circuit Technologies", book edited by Paul K Chu, ISBN 978-953-307-086-5

• Dimensiune litografie CMOS


• Număr de tranzistoare pe chip
pentru DRAM
• Număr de tranzistoare pe chip
pentru microprocesoare
• Număr de biți de memorie pe
chipFlash

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 20

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 10
Evoluția procesului tehnologic

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 21

Legea lui Moore

http://www.intel.com/technology/mooreslaw/index.htm

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 22

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 11
Legea lui Moore

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 23

1.2. Tranzistorul MOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 24

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 12
Tranzistoare MOS – secțiune transversală

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 25

Tranzistorul nMOS – definire L și W

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 26

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 13
Tranzistoare MOS: simboluri și modele de comutare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 27

Comparație: Tranzistor MOS – Tranzistor bipolar

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 28

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 14
1.3. Logica CMOS

1.3.1. Inversorul CMOS


– Tabel de adevăr
– Simbol
– Structură inversor CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 29

1.3.2. Porțile logice NAND și NOR

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 30

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 15
1.3.3. Porți logice CMOS – Complementary MOS

Regulă:
Reţeaua pMOS pMOS
de sus este pull-up
network
complementară
faţă de reţeaua inputs
nMOS de jos output
serie → paralel
paralel → serie nMOS
pull-down
network

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 31

Comutatoare
serie-paralel

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 32

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 16
Recapitulare: Simboluri porți logice

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 33

1.3.4. Porți logice compuse

Y = ( A ⋅ B) + (C ⋅ D )

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 34

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 17
1.3.4. Porți logice compuse

Y = ( A + B + C) ⋅ D

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 35

1.3.5. Comutatoare cu tranzistoare MOS

• Comutator n-MOS (“0” tare, “1” slab)


• Comutator p-MOS (“0” slab, “1” tare)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 36

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 18
De ce tranzistorul nMOS transmite “1 slab”?

VDD
VDD

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 37

1.3.6. Poartă de transmisiune

• Transmission Gate, TG [engl.]


• Transmite: “0” tare, “1” tare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 38

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 19
Buffer neinversor

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 39

Poarta AND cu 4 intrări – implementări CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 40

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 20
1.3.7. Inversorul tri-state

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 41

1.3.7. Inversorul tri-state

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 42

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 21
1.3.8. Multiplexor

Y = S ⋅ D1 + S ⋅ D0

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 43

Multiplexoare implementate cu porţi de transmisiune

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 44

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 22
1.3.9. Circuite secvențiale - Latch

D CLK Q+
0 0
1 1
X Q

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 45

1.3.9. Circuite
secvențiale -
Bistabil D

D CLK Q+
0 0
1 1
X X Q

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 46

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 23
1.4. Fabricare și layout CMOS

1.4.1. Secţiune transversală printr-un inversor CMOS


realizat în proces n-well

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 47

1.4.2.
Procesul
tehnologic
CMOS

Măști utilizate
pentru
inversorul
CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 48

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 24
Procesul
tehnologic
CMOS

Secțiuni
transversale la
procesarea
n-well

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 49

Procesul
tehnologic
CMOS

Secțiuni
transversale la
procesarea
polisiliciu și
difuzie N

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 50

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 25
Procesul tehnologic CMOS
Secțiuni transversale la procesarea
difuziei P, contacte și metalizări

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 51

1.4.3. Reguli de proiectare layout

Reguli λ, Mead și Conway

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 52

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 26
1.5. Caracteristici tehnologie CMOS (1)

• Amplitudine logică maximă - ieşirea atinge VDD


şi VSS.
• Timpi de creştere şi de cădere de acelaşi ordin de
mărime.
• Memoriile pot fi implementate atât dens cât şi cu
consum redus de putere.
• Porţile de transmisiune transferă bine ambele
nivele logice, permitând utilizarea eficientă a
structurilor de multiplexoare, latch-uri şi bistabile.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 53

1.5. Caracteristici tehnologie CMOS (2)

• Disipaţia de putere este minimă - aproximativ


nulă în regim static.
• Tensiunea de alimentare 1.5 - 15 V. Tensiune
de prag între nivelele logice este un procent din VDD.
• Densitate mare de împachetare - un inversor
necesită numai două tranzistoare.
• Layout-ul încurajează structurile regulate şi
uşor de automatizat.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 54

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 27
Probleme (1)

1. Proiectaţi structurile de porţi CMOS care


implementează următoarele funcţii:

Z = A⋅ B ⋅ C ⋅ D
Z = ( ( ( A ⋅ B ) + C ) ⋅ D)
Z = A+ B+C+ D
Z = ( A ⋅ B ) + C ⋅ ( A + B)
Z = ( ( A ⋅ B ⋅ C ) + D)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 55

Probleme (2)

2. Implementaţi cu porţi CMOS următoarea funcţie:

Z = A⋅ B ⋅C + A ⋅ B ⋅C + A ⋅ B ⋅C + A⋅ B ⋅C

3. Implementaţi un multiplexor 4:1 în două versiuni:


– Ca cu circuit combinaţional oarecare,
– Cu porţi de transmisiune.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 56

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 28
Probleme (3)

4. Proiectaţi un latch D care poate fi resetat de un


semnal asincron RESET, independent de starea
semnalului CLK (RESET = 1 → Q = 0).

5. Proiectaţi un bistabil D care poate fi setat de un


semnal asincron, independent de starea semnalului
CLK (SET = 1 → Q = 1).

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 57

CAPITOLUL 2 - Teoria tranzistorului MOS

2.1. Introducere
2.2. Caracteristici I(V)
2.3. Efecte secundare
2.4. Modelul de semnal mic
2.5. Inversorul CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 58

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 29
Temă: Tranzistorul MOS

• Link-uri la articole, demo, animații, filme educative


• Imagini, secțiuni, descrierea funcționării, aplicații

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 59

Livrare temă pe email

• FROM: <student>@student.unitbv.ro
• TO: dan.nicula@unitbv.ro
• SUBJ: STUD_PCI - Tema “MOS”
• Termen: 1 săptămână (începând de azi)
• Prezentare: PPT atașat

Sugestie: http://www.powershow.com/

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 60

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 30
Recapitulare: Convenţie de notaţii

iDS(t) = IDS + ids(t) = IDS + Ids sin ωt

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 61

Recapitulare: Simboluri de tranzistoare MOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 62

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 31
2.1. Introducere

Tranzistor MOS = dispozitiv semiconductor în care


conducţia este asigurată de purtători majoritari.
Curentul prin canalul de conducţie dintre sursă şi
drenă este modulat de tensiunea aplicată între
poartă (G) şi sursă (S).

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 63

Tranzistor MOS = Robinet pentru curent

How Transistors Work - The MOSFET


http://www.youtube.com/watch?v=QO5FgM7MLGg&feature=BFa&list=PLA7442DB6DDBA3C0D

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 64

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 32
Analogie între un robinet de apă și un tranzistor MOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 65

Moduri de
operare ale
capacitorului
MOS
a) acumulare

b) golire

c) inversie
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 66

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 33
Temă: Care este diferența?

• Joncţiunea PN a tranzistoarelor bipolare - joncţiunea PN


din stratul de inversie al tranzistoarelor nMOS

• Tranzistor MOS - tranzistor bipolar

• Tranzistor MOS cu canal indus - tranzistor MOS cu canal


inițial

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 67

Livrare temă pe email

• FROM: <student>@student.unitbv.ro
• TO: dan.nicula@unitbv.ro
• SUBJ: STUD_PCI - Tema “Diferența”
• Termen: 1 săptămână (începând de azi)
• Prezentare: Mesaj text, în corpul mesajului email,
maximum 100 cuvinte.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 68

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 34
nMOS - Regiune de blocare

Lipsă canal
IDS = 0
Vgs = 0 Vgd
+ g +
- -
s d
n+ n+

p-type body
b

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 69

nMOS - Regiune liniară

Vgs > Vt
Vgd = Vgs
+ g +
- -
s d
Apare canalul n+ n+ Vds = 0

Apare curent IDS p-type body

Funcţionare b

similară cu a unui Vgs > Vt


Vgs > Vgd > Vt
rezistor liniar +
-
g +
-
s Ids
d
n+ n+
0 < Vds < Vgs-Vt
p-type body
b

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 70

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 35
nMOS - Regiune de saturaţie

Canal se blochează la drenă


IDS independent de VDS
Curentul se saturează

Vgs > Vt
g Vgd < Vt
+ +
- -
s d Ids

n+ n+
Vds > Vgs-Vt
p-type body
b

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 71

2.2. Caracteristici I(V) - IDS (VGS)

Depletion Enhancement
(cu golire, cu canal inițial) (cu îmbunătățire)
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 72

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 36
Regiuni de operare ale tranzistorului MOS

• Blocare (sub tensiunea de deschidere)


• Liniară
• Neliniară
• Saturație

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 73

Tensiuni poartă-canal

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 74

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 37
Dimensiuni tranzistor MOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 75

Tensiunea de prag

Tensiune de Vt = Vtmos + V fb
prag MOS ideal Sarcina la
Tensiune de interfaţa oxid-
benzi semiconductor
Qb netede
Vt mos = 2Φ b + Q fc
Cox V fb = Φ MS −
Diferenţa potenţialelor de
Cox
Sarcina de extracţie a electronului din metal
volum ΦM şi semiconductor ΦS.
ΦMS = ΦM - Φs
KT  N A 
Φb = ln 
q  ni 
Potenţial de volum:
diferenţa de potenţial
Qb = 2⋅εSi ⋅ q⋅ NA ⋅ 2⋅Φb
între nivelul Fermi al
semiconductorului dopat
şi al celui intrinsec. ε SiO
Cox = 2

xox Capacitate oxid

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 76

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 38
Tensiunea de prag depinde de:

• Materialul conductor din care este realizată poarta (Al,


PoliSi, Cu)
• Materialul izolator din care este realizată poarta (SiO2)
• Grosimea stratului de oxid (xox)
• Impurităţile de la suprafaţa Si-SiO2
• Tensiunea sursă-substrat

Qb Q fc
Vt = 2Φb + + Φ MS −
Cox Cox
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 77

Caracteristici IDS(VDS) – Regiunea liniară

I DS = β (VGS − Vt ) ⋅ VDS Canal uniform

µε  W  Factor de câştig al
β=   tranzistorului MOS
xox  L 
µε
Kp =
xox
Factor de
câştig al
procesului

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 78

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 39
Regiunea neliniară

 2
VDS 
I DS = β (VGS − Vt ) ⋅ VDS − 
Canalul se
 2  îngustează la
• Potenţialul de-a lungul canalului
drenă
nu mai este neglijabil
• Câmpul slăbeşte lângă drenă

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 79

Regiunea de saturaţie

I DS =β⋅
(VGS −Vt )
2
Canalul se
2 închide la
drenă

• După saturaţie,
forma şi dimensiunile
canalului se
păstrează
(aproximativ).

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 80

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 40
Caracteristica IDS(VDS)

I DS = 0

I DS = β (VGS − Vt ) ⋅ VDS
 2
VDS 
I DS = β (VGS − Vt ) ⋅VDS − 
 2 

I DS = β ⋅
(VGS −Vt )
2

2
• Purtătorii majoritari sunt acţionaţi de două
câmpuri electrice:
• Eperpendicular – generat de VGS, are ca efect
atragerea purtătorilor în canal
• Eparalel – generat de VDS, are ca efect
punerea în mişcare a purtătorilor în canal
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 81

Cum poate fi făcut βn = βp ?

W 
Tranzistorul pMOS mai lat decât cel nMOS β = Kp 
L
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 82

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 41
Caracteristici statice: IDS (VGS), IDS(VDS)

Depletion
(cu canal inițial)

Enhancement
(cu canal indus)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 83

2.3. Efecte secundare - Variaţia mobilităţii purtătorilor

viteza medie de drift a purtatorilor (V) [cm/s]  cm 2 


µ=  
câmp electric (E) [V/cm] V ⋅ s 
N A ↑⇒ µ ↑
T ↑⇒ µ ↑

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 84

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 42
Efectul modulării lungimii canalului

Lef = L − Lshort
ε Si
Lshort = 2 ⋅ [VDS − (VGS − Vt )]
q⋅ NA

W
Lshort ↑⇒ Lef ↓⇒ ↑⇒ β ↑⇒ I DS ↑
L

I DS = β ⋅
(V GS − Vt )
2
⋅ (1 + λ ⋅ V DS )
2

λ - factor de modulare a lungimii


canalului, determinat empiric
0.02 – 0.005 [1/V]

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 85

Efectul de substrat

Vt = Vt0 + γ ⋅ [ (2 ⋅ Φ + V b SB ) + 2⋅Φ ]
b

Vt ≈ Vt0 + γ ⋅ VSB

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 86

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 43
Efectul de substrat

Creşterea tensiunii sursă-


substrat Vsb1=0, Vsb2≠0,
determină creşterea tensiunii
de prag Vt2>Vt1.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 87

Temă: Viteză de drift

• Prezentați noțiunea de ”viteză de drift a unei sarcini


electrice într-un conductor”.

http://www.youtube.com/watch?v=KgbqPKZU5IA

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 88

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 44
Livrare temă pe email

• FROM: <student>@student.unitbv.ro
• TO: dan.nicula@unitbv.ro
• SUBJ: STUD_PCI - Tema “Viteza de drift”
• Termen: 1 săptămână (începând de azi)
• Prezentare: Mesaj text, în corpul mesajului email,
maximum 100 cuvinte.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 89

Modele SPICE ale tranzistoarelor MOS

LEVEL 1 – model construit pe baza relaţiilor IDS(VDS) şi


pe includerea unor efecte secundare.

LEVEL 2 – curent calculat pe baza fizicii dispozitivului.

LEVEL 3 – model semiempiric care se bazează pe


parametrii selectaţi astfel încât să se potrivească
circuitelor reale.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 90

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 45
Modelul SPICE - Level 1

Parametru Notaţie nMOS pMOS Unităţi Descriere


VTO Vt 0.7
0
0.7 V Tensiune de prag
KP Kp 8 x 10-5 2.5 x 10-5 A/V2 Factor de câştig al procesului
GAMMA γ 0.4 0.5 V1/2 Coeficient de variaţie a tensiunii de
prag datorită polarizării substratului
PHI Φ s = 2 ⋅ Φ b 0.37 0.36 V Potenţial de suprafaţă la inversie
puternică
LAMBDA λ 0.01 0.01 V-1 Coeficient de modulare a lungimii
canalului
TOX xox 2 x 10-8 2 x 10-8 m Grosimea stratului de oxid
NSUB NA 2 x 1016 4 x 1016 cm-3 Concentraţia de impurităţi a
substratului

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 91

2.4. Modelul de semnal mic al tranzistorului MOS


Frecvențe joase

G D
vds
gmvgs rds id = g m v gs +
rds
S S

 V2  ∂I DS
I DS = β (VGS − Vt ) ⋅VDS − DS  gm = = β .VDS
 2  ∂VGS VDS

I DS = β ⋅
(VGS −Vt )2 ∂I DS
2 gm = = β .(VDS − Vt )
∂VGS VDS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 92

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 46
Modelul de semnal mic al tranzistorului MOS
Frecvențe joase
v
id = g m v gs + ds
rds

 V2  1 ∂I DS
I DS = β (VGS − Vt ) ⋅VDS − DS  = = β .[(VGS − Vt ) − VDS ]
 2  rds ∂VDS VGS

1
≈ β .(VGS − Vt )
rds

I DS = β ⋅
(VGS −Vt )2 1 ∂I DS
= =0
2 rds ∂VDS VGS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 93

Modelul de semnal mic al tranzistorului MOS


Frecvențe înalte

G D

gmvgs rds
S S

G D

gmvgs r ds
S S
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 94

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 47
Recapitulare: Semnal mic

Semnal mic = permite modelarea comportamentului


dispozitivelor neliniare prin ecuații liniare.
Amplitudinea
semnalului mic
reprezintă valoarea
maximă a amplitudinii
unui semnal care
păstrează dispozitivul
activ în ipoteza de
funcționare liniară.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 95

Recapitulare: Semnal mic, tranzistor nMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 96

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 48
Recapitulare: Convenţie de notaţii

iDS = IDS + ids = IDS + Ids sin ωt

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 97

2.5. Inversorul CMOS

VGSp = Vin – VDD VDSp = Vout – VDD

VGSn = Vin VDSn = Vout

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 98

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 49
Relaţii între tensiuni în
cele 3 moduri de operare ale inversorului CMOS

Tip Blocare Liniară Saturaţie


P VGSp > VTp VGSp < VTp VGSp < VTp
Vin > VTp +VDD Vin < VTp + VDD Vin < VTp +VDD
VDSp > VGSp – VTp VDSp < VGSp - VTp
Vout > VGSp – VTp + VDD
Vout > Vin – VTp Vout < Vin – VTp

N VGSn < VTn VGSn > VTn VGSn > VTn


Vin < VTn Vin > VTn
VDSn < VGSn - VTn VDSn > VGSn – VTn

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 99

Caracteristica de transfer ideală a inversorului CMOS

Vout

VDD

Vin
VDD/2

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 100

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 50
Caracteristica de transfer a inversorului CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 101

Moduri de operare ale inversorului CMOS (1)

• Regiunea A
• nMOS – blocat 0 ≤ V ≤ V
in t n
• pMOS – regiune liniară

I DSn = 0 Tip Blocare Liniară Saturaţie


P VGSp > VTpy VGSp < VTp VGSp < VTp

I DSp = − I DSn = 0 Vin > VTp +VDD Vin < VTp + VDD
VDSp > VGSp – VTp
Vin < VTp +VDD
VDSp < VGSp - VTp

Vout > VGSp – VTp + VDD

Vout = VDD N VGSn < VTn


Vout > Vin – VTp
VGSn > VTn
Vout < Vin – VTp
VGSn > VTn
Vin > VTn Vin > VTn
VDSn < VGSn - VTn VDSn > VGSn – VTn

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 102

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 51
Moduri de operare ale inversorului CMOS (2)

• Regiunea B V
V t ≤ V in ≤ DD

• nMOS – saturaţie n
2
Tip Blocare Liniară Saturaţie

• pMOS – regiune liniară P VGSp > VTpy VGSp < VTp VGSp < VTp

Vin > VTp +VDD Vin < VTp + VDD Vin < VTp +VDD
VDSp > VGSp – VTp VDSp < VGSp - VTp
Vout > VGSp – VTp + VDD
Vout > Vin – VTp Vout < Vin – VTp

I DSn
(V − V tn )2
= β n ⋅ in
N VGSn < VTn VGSn > VTn
Vin > VTn
VGSn > VTn
Vin > VTn

2 VDSn < VGSn - VTn VDSn > VGSn – VTn

 (V − V DD )2 
= β p  (V in − V DD − V tp )⋅ (V out − V DD ) − out
I DSp 
 2 

( ) (V
V out = V in − V t p + in − Vt p ) − 2 ⋅  V
2
in −
V DD  β
− V t p  ⋅ V DD − n ⋅ V in − V t n
βp
( )2

 2 

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 103

Moduri de operare ale inversorului CMOS (3)

• Regiunea B V
V t ≤ V in ≤ DD

• nMOS – saturaţie n
2
• pMOS – regiune liniară

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 104

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 52
Moduri de operare ale inversorului CMOS (4)

• Regiunea C
V
• nMOS – saturaţie V in = DD
2
• pMOS – saturaţie
I DSn = β n ⋅
(Vin − Vtn )2
2

I DSp = − β p ⋅
(Vin − VDD − Vtp )2
Tip Blocare Liniară Saturaţie
2
P VGSp > VTpy VGSp < VTp VGSp < VTp
Vin > VTp +VDD Vin < VTp + VDD Vin < VTp +VDD βn
VDD + Vtp + Vtn ⋅
VDSp > VGSp – VTp VDSp < VGSp - VTp
βp
Vout > VGSp – VTp + VDD
Vin =
Vout > Vin – VTp Vout < Vin – VTp
βn
N VGSn < VTn VGSn > VTn VGSn > VTn 1+
Vin > VTn Vin > VTn βp
VDSn < VGSn - VTn VDSn > VGSn – VTn
VDD V
− Vtn < Vout < DD − Vtp
2 2
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 105

Moduri de operare ale inversorului CMOS (5)

• Regiunea C
V
• nMOS – saturaţie V in = DD
2
• pMOS – saturaţie

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 106

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 53
Moduri de operare ale inversorului CMOS (6)

• Regiunea D V DD
≤ V in ≤ V DD − V t
• nMOS – regiune liniară 2 p

• pMOS – saturaţie
Tip Blocare Liniară Saturaţie
P VGSp > VTpy VGSp < VTp VGSp < VTp

Vin > VTp +VDD Vin < VTp + VDD Vin < VTp +VDD

I DSp = −β p ⋅
(V
in −VDD −Vtp )
2 VDSp > VGSp – VTp

Vout > VGSp – VTp + VDD


Vout > Vin – VTp
VDSp < VGSp - VTp

Vout < Vin – VTp

2 N VGSn < VTn VGSn > VTn


Vin > VTn
VGSn > VTn
Vin > VTn

 Vout 
2 VDSn < VGSn - VTn VDSn > VGSn – VTn

I DSn = βn (Vin −Vtn ) ⋅Vout − 


 2 
βp
( ) (
Vout = Vin −Vtn − Vin −Vtn − ) 2

βn
(
⋅ Vin −VDD −Vt p
)2

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 107

Moduri de operare ale inversorului CMOS (7)

• Regiunea D V DD
≤ V in ≤ V DD − V t
• nMOS – regiune liniară 2 p

• pMOS – saturaţie

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 108

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 54
Moduri de operare ale inversorului CMOS (8)

• Regiunea E VDD − Vt p ≤ Vin


• nMOS – regiune liniară
• pMOS – blocat
Tip Blocare Liniară Saturaţie
P VGSp > VTpy VGSp < VTp VGSp < VTp

Vin > VTp +VDD Vin < VTp + VDD Vin < VTp +VDD
VDSp > VGSp – VTp VDSp < VGSp - VTp

Vout > VGSp – VTp + VDD


Vout > Vin – VTp Vout < Vin – VTp

I DSp = 0
N VGSn < VTn VGSn > VTn VGSn > VTn

Vin > VTn Vin > VTn


VDSn < VGSn - VTn VDSn > VGSn – VTn

I DSn = − I DSp = 0
Vout = 0

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 109

Moduri de operare ale inversorului CMOS (9)

Reg Condiţie pMOS nMOS Ieşire


A 0 ≤ Vin ≤ Vtn liniar blocat Vout = VDD
B V DD liniar saturat Ecuaţia (1)
Vt n ≤ Vin ≤
2
C Vin =
VDD saturat saturat Vout ≠ f (Vin )
2
D VDD
≤ Vin ≤ VDD − Vt p saturat liniar Ecuaţia (2)
2
E VDD − Vt p ≤ Vin blocat liniar Vout = VSS

( ) (V
Vout = Vin − Vt p + in − Vt p ) − 2 ⋅ V
2
in −
VDD  β
− Vt p  ⋅ VDD − n ⋅ Vin − Vtn
βp
( )2
(1)
 2 

βp
( ) (V
Vout = Vin − Vtn − in − Vtn )
2

βn
(
⋅ Vin − VDD − Vt p
)
2
(2)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 110

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 55
2.4.2. Raportul βn/βp

• Pragul de comutare:
βn
V DD + V tp + V tn ⋅
βp
V in =
βn
1+
βp

β (T ) = β0 ⋅α ⋅ T −1.5

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 111

Raportul Wn/Wp

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 112

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 56
Marginea de zgomot

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 113

CAPITOLUL 3 - Tehnologia CMOS

3.1. Realizarea wafer-ului de siliciu


3.2. Tehnologii CMOS elementare
3.3. Realizarea tranzistoarelor MOS
3.4. Reguli de proiectare a layout-ului
3.5. Îmbunătățiri ale procesului tehnologic CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 114

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 57
Tehnologia CMOS

• Tehnologia de realizare a dispozitivelor


semiconductoare
• Înţelegerea potenţialului şi a limitărilor tehnologiei
• Fundamentul regulilor geometrice
• Interfaţa inginer proiectant – inginer fabricant

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 115

Tehnologia CMOS, pe bază de siliciu

• Siliciu pur (intrinsec) este un material


semiconductor.
• Conductivitatea electrică a Si poate fi variată câteva
ordine de mărime prin introducerea de impurităţi.
• Substanţe dopante: acceptori (tip P), donori (tip N).
• Joncţiune PN: alăturare fizică a două zone de tipuri
diferite.
• Dispozitive semiconductoare: aranjarea unor
joncţiuni în diferite structuri.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 116

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 58
3.1. Realizarea wafer-ului de siliciu

Realizarea lingoului
de siliciu:
Metoda Czochralski

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 117

Metoda Czochralski

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 118

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 59
Realizarea wafer-ului de siliciu

• Diametre: 75mm-300mm
• Temperatura: 1425 ºC
• Atmosferă: He, Ar
• Viteză de avans: 30-180 mm/h

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 119

Wafer de siliciu

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 120

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 60
Temă: Tehnologia de realizare a
lingoului și wafer-ului de siliciu

Sugestii
• How do they make Silicon Wafers and Computer Chips?
http://www.youtube.com/watch?v=aWVywhzuHnQ
• Silicon Ingots being made at the Jinko Solar facility
http://www.youtube.com/watch?v=v9_G1F8Ctf4
• Silicon Wafer Production
http://www.youtube.com/watch?v=AMgQ1-HdElM

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 121

Livrare temă pe email

• FROM: <student>@student.unitbv.ro
• TO: dan.nicula@unitbv.ro
• SUBJ: STUD_PCI - Tema “Lingoul și wafer-ul de
siliciu”
• Termen: 1 săptămână (începând de azi)
• Prezentare: PPT atașat

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 122

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 61
Tehnologii CMOS

• n-well
• p-well
• twin-well
• triple-well
• Silicon-On-Insulator (SOI)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 123

3.2. Tehnologii CMOS elementare

• Fotolitografia
• Oxidarea
• Epitaxia
• Depunerea
• Implantarea ionică
• Litografie cu fascicul de electroni

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 124

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 62
Fotolitografia

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 125

Difuzia selectivă

Difuzia selectivă = se bazează pe abilitatea materialelor


măştii de a fi barieră pentru materialele dopante:
– Creşterea măștii cu pattern-ul selectiv.
– Expunerea suprafeţei la sursa dopantă.
– Eliminarea măştii.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 126

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 63
Oxidarea

• Oxidare umedă:
– Proces rapid
– Vapori de apă la temperatura 900-1000 ºC
– Realizarea oxidului de izolare
• Oxidare uscată:
– Proces lent
– Oxigen pur la temperatura 1200 ºC
– Calitate mai bună a oxidului
– Realizarea oxidului de poartă

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 127

Straturi de oxid

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 128

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 64
Servicii de oxidare termică

• Grosime start de oxid: 250Å - 3.0um.


• Uniformitate tipică: +/-1%.
• Timp de realizare: 1 - 2 săptămâni
• Dimensiune wafer: 2 – 13 inch
• http://www.imatinc.com

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 129

Epitaxia

• Epitaxia = proces tehnologic ce constă în creşterea


unui strat de Si cu o structură unicristalină pe o
suprafaţă de Si unicristalin prin expunerea suprafeţei
Si la o sursă de material dopant (la temperatură
înaltă).

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 130

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 65
Depunerea

• Depunerea = proces tehnologic prin care materialul


dopant se depune prin evaporare pe suprafaţa de Si,
urmată de un ciclu termic necesar pentru conducerea
impurităţilor în volumul de Si.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 131

Implantarea ionică

• Implantarea ionică = expunerea suprafeţei de Si unui tir de atomi dopanţi.


Atomii dopanţi traversează suprafaţa Si şi pot crea regiuni interne cu
concentraţii diferite. Pentru a evita procesele de difuzie, este necesară
păstrarea unei temperaturi cât mai joase în celelalte zone.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 132

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 66
Litografie cu fascicul de electroni

• Litografie cu fascicul de electroni – nu necesită


mască, este similară cu imprimanta unui calculator.
– Pattern format direct din datele digitale (nu există imagini
intermediare).
– Modificare rapidă a pattern-urilor.
– Pattern-uri diferite în zone diferite în wafer.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 133

3.3. Realizarea tranzistoarelor MOS

Definire zone well

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 134

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 67
Formarea oxidului de poartă

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 135

Realizarea zonelor de poartă și sursă/drenă

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 136

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 68
Alinierea zonelor de poartă și sursă/drenă

• Când se depune siliciu peste oxid de siliciu SiO2 sau alte


suprafețe fără formă unică de cristalizare se realizează siliciu
policristalin (polisiliciu, poly).
• Polisiliciul nedopat are rezistivitate mare. Rezistivitatea poate
fi redusă prin implantare cu materiale dopante.
• Poarta servește drept mască pentru doparea prin care se
realizează zonele de sursă și de drenă. În acest mod,
simultan cu alinierea precisă a sursei şi drenei pe o parte şi
cealaltă a porţii, se obţine doparea polisiliciului de poartă şi
transformarea acestuia într-un bun conductor.
• Procesul se numeşte “proces de auto-aliniere a porţii de
polisiliciu”.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 137

LDD, difuzie adâncă, planerizare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 138

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 69
Metalizare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 139

Contactul metal-semiconductor

• Metal – semiconductor de tip N (contact redresor)

 qV A

I A = I 0  e − 1
KT

 
• Metal – semiconductor de tip P (contact ohmic)

VA
IA =
RSC
© 2014. DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 140

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 70
Efectul de “latch-up”

• Efect parazit care determină apariţia unei stări de


scurt-circuit între VDD şi GND.
• Efectul conduce la distrugerea circuitului sau cel puţin
la necesitatea de a opri sistemul.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 141

Eliminare efect de “latch-up”


• Eliminarea efectului
– Reducerea valorilor rezistenţelor
– Reducerea ß
• Tehnici de layout
– Fiecare well să aibă contact de substrat
– Fiecare contact de substrat să fie conectat prin metal direct la un pad
de alimentare (fără polisiliciu)
– Plasarea contactelor de substrat cât mai aproape de sursa
tranzistoarelor
• Structuri I/O
– Separare fizică a tranzistoarelor nMOS şi pMOS
– Inele de gardă
• p+ în jurul nMOS conectate la GND
• n+ în jurul pMOS conectate la VDD
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 142

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 71
Inele de gardă

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 143

3.4. Reguli de proiectare layout

• Prescripţii pentru realizarea măştilor utilizate la


fabricarea cirucite integrate.
• Compromis performanţă-randament.
• NU reprezintă graniţa între fabricarea corectă şi
incorectă.
• Geometria măştilor.
• Interacţiunea dintre straturi.
• Unitate elementară: lățimea minimă a unei suprafețe
– Reguli de proiectare scalabile: parametrul lambda λ
– Dimensiune absolute: reguli micronice

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 144

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 72
Reguli de desenare - proces CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 145

Reguli de desenare – proces CMOS (color)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 146

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 73
Reguli de proiectare n-well CMOS

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 147

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 148

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 74
Reguli de proiectare layout CMOS

Referință web:
Vendor-independent, scalable rules (MOSIS SCMOS Rules)
Design Rules

MOSIS Scalable CMOS (SCMOS)


(Revision 8.00)
Updated: May 11, 2009

http://www.mosis.com/files/scmos/scmos.pdf

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 149

Stick diagram

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 150

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 75
Stick diagram – convenție

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 151

Stick diagram – inversor

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 152

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 76
Stick diagram – NAND cu 2 intrări

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 153

Inversorul CMOS - layout

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 154

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 77
Layout simbolic
pentru inversor
A: Tranziţie directă de la schemă
B: Layout cu tranzistoare orizontale
C: Layout care permite existenţa
liniilor metalice orizontale pe la
mijlocul celulei
D: Layout care permite existenţa
liniilor metalice orizontale
deasupra şi dedesuptul celulei

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 155

Layout simbolic
pentru inversor
A, B: Conectare cu metal2
C, D: Conectare cu metal3

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 156

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 78
Layout simbolic
pentru inversor
A: Dimensiune mare
B: Mai multe inversoare în
paralel
C: “Tranzistor circular”

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 157

3.6.2. Layout simbolic pentru poarta NAND

A: Tranziţie directă de la schemă


B: Layout cu tranzistoare orizontale
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 158

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 79
3.6.2. Layout simbolic pentru poarta NAND

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 159

Layout simbolic pentru poarta NOR

A: Tranziţie directă de la schemă

B: Layout cu suprafaţă de drenă mai mică (conectată la ieşire)


© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 160

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 80
Format de descriere a layout-ului

• GDS II - Graphic Database System


• Straturi codificate cu cifre
• Tape-out

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 161

3.5. Îmbunătăţiri ale procesului tehnologic CMOS

• Interconectări
• Elemente de circuit
– Capacitoare
– Rezistoare
– Inductoare
– Tranzistoare bipolare
– Memorie Flash

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 162

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 81
Interconectări

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 163

Capacitoare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 164

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 82
Rezistoare

• PoliSi rămas nedopat


• Suprafeţe NiCr ajustate cu fascicul laser
– (LWT – Laser Wafer Trimming)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 165

Inductoare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 166

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 83
Tranzistor bipolar

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 167

Memoria Flash

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 168

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 84
Memoria Flash

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 169

Temă:
Tehnologia de realizare a memoriilor dinamice

• Celula DRAM
• Tipuri de memorii DRAM

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 170

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 85
Livrare temă pe email

• FROM: <student>@student.unitbv.ro
• TO: dan.nicula@unitbv.ro
• SUBJ: STUD_PCI - Tema “Tehnologia DRAM”
• Termen: 1 săptămână (începând de azi)
• Prezentare: PPT atașat

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 171

CAPITOLUL 4 - Memorii

4.1. Introducere
4.2. SRAM
4.3. DRAM
4.4. ROM

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 172

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 86
4.1. Introducere – Categorii de memorii

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 173

4.1. Introducere – Clasificări

• ROM = Read Only Memory


• RAM = Random Acces Memory (Read/Write Memory)

• Volatile
• Nevolatile

• Statice
• Dinamice

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 174

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 87
Memorii nevolatile accesibile doar pentru citire

• Mask ROM – programabilă la fabricație (hardwired)


• Programmable ROM (PROM) – programabilă o
singură dată de către utilizator (fuzible arse la
tensiuni mai mari decât cele de utilizare normală)
• Erasable PROM (EPROM) – informația este stocată
ca sarcină electrică, posibil de șters cu raze ultra-
violete
• Electrical Erasable PROM (EEPROM) = posibil de
șters în circuit
• Flash = variantă de EEPROM cu posibilitate de
ștergere la nivel de bloc
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 175

Arhitectura matricii de memorie

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 176

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 88
4.2. SRAM – Static RAM

• Informația este stocată în interiorul structurii de


circuit (buclă).
• Suprafața celulei de memorie mai mică decât a unui
bistabil.
• Pentru realizare în tehnologie CMOS nu sunt
necesare etape suplimentare.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 177

12T SRAM Cell

bit
write

write_b

read

read_b

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 178

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 89
6T SRAM Cell

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 179

Layout SRAM

GND BIT BIT_B GND

VDD

WORD

Cell boundary

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 180

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 90
4.3. DRAM – Dynamic RAM

• Informația este stocată sub forma de sarcină


electrică într-un capacitor.
• Necesită reîmprospătarea (engl. refresh) informației
datorită curenților reziduali prin capacitor.
• Cea mai mică suprafață a celulei de memorie, mult
mai mică decât a celulei SRAM.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 181

1T DRAM Cell

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 182

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 91
Trench Capacitor – DRAM Cell

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 183

4.4. ROM – Read-Only Memory

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 184

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 92
Celula de memorie Flash

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 185

CAPITOLUL 5 - Subsisteme speciale

5.1. Capsule
5.2. Semnalul de ceas
5.3. Circuite I/O

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 186

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 93
5.1. Capsule

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 187

5.1. Capsule

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 188

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 94
ASIC
Application Specific Integrated Circuit

© 2014. DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 189

5.2. Semnalul de ceas

• Ceas logic
• Ceas fizic

• Skew – defazaj al semnalului de ceas datorită


propagării în spațiu (între două puncte ale circuitului).
• Jitter – defazaj al semnalului de ceas datorită
propagării în timp (modificări rapide ale mediului,
tensiune de alimentare, zgomot).
• Drift – defazaj al semnalului de ceas datorită
modificărilor lente ale mediului (temperatură).
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 190

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 95
Parametrii asociaţi semnalului de ceas

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 191

Temă: Starea de metastabilitate a bistabilelor.

- stabil - - bistabil -

- metastabil - - indiferent - - instabil -

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 192

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 96
Livrare temă pe email

• FROM: <student>@student.unitbv.ro
• TO: dan.nicula@unitbv.ro
• SUBJ: STUD_PCI - Tema “Metastabilitate”
• Termen: 1 săptămână (începând de azi)
• Prezentare: PPT atașat

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 193

Setup, hold, skew

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 194

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 97
Arhitectura sistemului de ceas
• Modulul generator de ceas – primește un semnal de ceas
extern și produce un semnal de ceas global, pe baza PLL sau
DLL.
• Distribuția de ceas – rețea de propagare a ceasului spre
elementele de comutare care asigură un defazaj (skew) minim.
• Condiționarea locală a ceasului – primește ceasul global și
produce ceasurile fizice necesare comutării circuitelor.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 195

Modulul generator de ceas

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 196

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 98
PLL - DLL
• PLL – Phase Lock Loop – utilizează un oscilator (circuit
analogic) pentru a crea un nou ceas. Permite multiplicarea
frecvenței de ceas.
• DLL – Digital Delay Loop – utilizează o linie de întârziere
variabilă care întârzie ceasul de intrare.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 197

Sincronizarea ceasurilor cu PLL

• Sincronizarea unui semnal de ceas intern cu un


semnal de ceas primit din exterior

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 198

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 99
Sincronizarea ceasurilor cu PLL

• Frecvenţa ceasului intern mai mare decât frecvenţa


ceasului extern.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 199

Distribuţia semnalului de ceas

• Grilă/rețea
• Arbore H
• Coloană vertebrală (spine)
• Ad-hoc
• Hibrid

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 200

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 100
Condiționarea locală a ceasului

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 201

5.3. Circuite I/O

• VDD și GND
• Intrări
• Ieșiri
• Bidirecționale
• Analogice

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 202

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 101
Pad-uri pentru VDD și GND

• Suprafețe metalice care conectează capsula la


rețeaua de disribuție a alimentării de pe chip.
• Cele mai multe chip-uri performante alocă aproape
jumătate de pini pentru alimentare.
• Multe chip-uri utilizează alimentări separate pentru
circuitele de intrare-ieșire și pentru circuitele logice.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 203

Pad-uri de ieșire

• Curent de ieșire suficient de mare pentru comanda


circuitelor de sarcină (fan-out, rise time, fall time).
• Eliminare efect de latch-up.
• Adaptare caracteristică de curent continuu DC.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 204

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 102
Inele de gardă

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 205

Pad-uri de intrare

• Protecție electrostatică.
• Intrare trigger-Schmitt.
• Circuite de protecţie la supratensiuni.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 206

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 103
Pad-uri bidirecţionale

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 207

CAPITOLUL 6 – Metodologia de proiectare

6.1. Introducere
6.2. Strategii de proiectare structurată
6.3. Metode de proiectare
6.4. Metodologii de proiectare
6.5. Aspecte economice ale proiectării
6.6. Foaia de catalog și documentația

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 208

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 104
6.1. Introducere: Diagrama Y – Gajski-Kuhn
• Domenii de descriere
– comportamental
• secvenţial
• concurent
– structural
• familia logică
• distribuţie ceas
– fizic
• chip-uri
• plăci
• Nivele de abstractizare
– arhitectural/funcţional
– RTL
– porţi logice, circuit/tranzistor

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 209

6.2. Strategii de proiectare structurată

• Metrici pentru evaluarea performanţelor unui proiect


– performanţa în funcţionare: viteză, consum, funcţie,
flexibilitate
– dimensiunea/costul chip-ului (die de siliciu)
– timpul de proiectare (costul proiectării și planificarea)
– ușurința verificării și testabilitatea (costul proiectării și
planificarea)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 210

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 105
Strategii de proiectare structurată

• Ierarhia – împărţirea unui modul în submodule până


când complexitatea poate fi stăpânită în detaliu
(“divide-et-impera”). Componente virtuale. Module IP.
• Regularitatea – divizarea în module care să satisfacă
aceleaşi reguli, refolosirea modulelor, bus-uri
standard.
• Modularitatea – submodulele să aibă funcţii şi
interfeţe bine definite. System-On-Chip (SoC).
• Localitatea – mascarea aspectelor interne modulelor.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 211

Sumar: proiectare structurată

Software Hardware

Ierarhie Subrutine, biblioteci Module

Regularitate Iteraţii, refolosire cod, CD-CC, refolosire module,


proceduri OO celule standard, matrici
regulate
Modularitate Interfeţe de proceduri Interfeţe de module bine
bine definite definite
Localitate Vizibilitate locală, fără Conexiuni interioare
variabile globale modulelor şi ieşiri prin
registre

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 212

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 106
6.3. Metode de proiectare
Microprocesoare/Microcontrollere/DSP
Circuite cu logică programabile (PLD/FPGA)
Celule standard (Standard cell Design, Semi-custom
Design)
Proiectare la nivel de layout (Full-custom Design)
System on a Chip (SoC)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 213

Sumar: Comparație metode de proiectare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 214

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 107
6.4. Metodologii de proiectare
Set de proceduri care
permit proiectanților
derularea activităților
de realizare a
circuitului integrat
pornind cu
specificațiile și
terminând cu
realizarea fizică fără
erori.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 215

Sinteza comportamentală (ASIC Design Flow)

• RTL = Register Transfer Level (model HDL la un


nivel de detaliere care permite sintetizatoarelor
deducerea resurselor hardware).
• Intrări
– Cod RTL
– Constrângeri
– Biblioteca de componente, specifice tehnologiei.
• Ieșiri
– Netlist
– Informații legate de timp

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 216

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 108
Metodologie sinteză comportamentală RTL

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 217

RTL = Model HDL care specifică:

• Controlul, cu specificaţii if-then-else sau case


• Iteraţii
• Ierarhie
• Dimensiunea datelor (în biţi)
• Operaţii secvenţiale sau paralele
• Registre şi alocarea acestora
• Operaţii aritmetice şi logice

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 218

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 109
Proiectarea și verificarea logică

• Proiectarea se porneşte de la specificații prin


realizarea unui model HDL (Verilog sau VHDL) utilizat
atât pentru simulare cât și pentru sinteză.
• Simulatoare
– Ncsim – Cadence
– VCS – Synopsys
– ModelSim – Mentor Graphics

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 219

Sinteza RTL

• Pe baza modelului RTL se generează un netlist cu


primitive din biblioteca de componente asociată
tehnologiei alese.
• Sintetizatoare
– Design Compiler – Synopsys
– RTL Compiler – Cadence

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 220

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 110
Verificarea funcțională și formală

• Compararea echivalenței logice a două descrieri.


• Verificare formală
– Formality – Synopsys
– Conformal – Cadence

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 221

Analiză statică de timp - STA

• Static Timing Analysis – STA = determinarea


timpilor de propagare a semnalelor pe toate căile de
propagare prin considerarea timpilor de propagare
prin componente și prin căile de interconectare.
• Necesită experiență pentru eliminarea căilor false
(false path).
• STA
– PrimeTime – Synopsys
– ETS – Cadence

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 222

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 111
Inserare logică de test

• Automatic Test Pattern Generator – ATPG =


determinarea timpilor de propagare a semnalelor pe
toate căile de propagare prin considerarea timpilor de
propagare prin componente și prin căile de
interconectare.
• Built-In Self-Test - BIST = modificarea registrelor
pentru inserarea de puncte de test.
• Design for test:
– DFT Max/Tetramax – Synopsys

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 223

Exemplu: Inserare de registre pentru testare - BIST

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 224

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 112
Analiză de putere disipată

• Analiză efectuată pe un set de stimuli de test, pe un


simulator prin evaluarea capacității comutate la
fiecare tranzacție.
• Power Analysis:
– PrimePower, Powermill – Synopsys

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 225

Generarea automată de layout – sinteză fizică

• Transformarea
netlist-ului
abstract într-o
reprezentare
fizică prin
plasarea și
rutarea
componentelor
primitive pe
layout-ul
circuitului
integrat.
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 226

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 113
Formate de date utilizate în etapa de back-end

• Design Exchange Format = DEF


• Library Exchange Format = LEF
• Extended Standard Parasitic Format = ESPF
• Standard Parasitic Exchange Format = SPEF
• Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis
= SPICE

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 227

Etape în etapa de back-end

• Plasare (Placing)
• Floorplan (Floorplanning)
• Rutare (Routing)
– Globală (Global Rounting)
– Detaliată (Detailed Routing)
• Extragere parametrii paraziți (Parasitic Extraction)
• Analiza de timp (Timing Analysis)
• Rutarea semnalului de ceas (Clock Rounting)
• Analiza de putere (Power Analysis)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 228

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 114
Layout al unui chip realizat cu celule standard

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 229

Comparație FPGA - ASIC

Field Application
Programmable Specific
Gate Integrated
Array Circuit

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 230

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 115
Comparație FPGA - ASIC

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 231

6.5. Aspecte economice ale proiectării

Ctotal Cost de
S total = producţie a
1− m unui CI

Preţ de
vânzare Profitul
(Selling price) planificat
(margin)

C total = NRE + C rep + C fix

NRE = Non Recurring Engineering (costuri plătite o


singură dată, costul cu proiectarea şi prototipul)
Crep = Cheltuieli repetitive (la fiecare IC)
Cfix = Cheltuieli fixe
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 232

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 116
6.5. Aspecte economice ale proiectării

NRE = Etotal + P total Etotal = costul cu inginerii proiectanţi


Ptotal = costul cu prototipul

C rep = C proces + C capsula + C test

W
C proces = W = costul wafer-ului
N ⋅ YW ⋅ Y PA
N = număr de circuite pe wafer
YW = Randament wafer
YPA = Randament încapsulare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 233

Planificarea proiectării

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 234

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 117
6.6. Foaia de catalog și documentația

• Foaia de catalog
– Sumarul
• numele, indicativul
• scurtă descriere
• lista de caracteristici
• schema bloc
– Descrierea pinilor
• Numele, tipul şi descrierea pinilor
– Descrierea modului de funcţionare
– Specificaţii DC
– Specificaţii AC
– Schema capsulei
• Manualul principiilor de operare
• Manualul de Utilizare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 235

Exemple de foi de catalog


WWW

http://www.micron.com
http://www.ti.com
http://www.nxp.com

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 236

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 118
CAPITOLUL 7 – Testare, depanare, verificare

7.1. Introducere
7.2. Teste funcţionale și logice
7.3. Teste de depanare
7.4. Teste de producție
7.5. Proiectarea pentru testabilitate
7.6. Boundary-scan

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 237

7.1. Introducere în testare, depanare, verificare

• “Dacă nu testaţi, nu va funcţiona.


Garantat.”
• “Testarea poate pune în evidenţa
defectele, nu absenţa acestora.”
• Cele mai multe chip-uri greşite
iniţial au eşuat din vina
proiectantului.
• Chip-ul se comportă conform
simulărilor dar funcţia proiectată
nu este cea aşteptată de restul
sistemului.
© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 238

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 119
Testare! Testare! Testare!

• Testarea este una din cele mai scumpe etape de


proiectare a unui chip
– Verificarea logică reprezintă uneori mai mult de 50% din efortul de
proiectare
– Depanarea prototipului poate avea enorme implicații relativ cu costul
final
– Livrarea de chip-uri defecte poate falimenta firma
• “Legea lui 10” – costurile eliminării defectelor, în funcție
de etapa în care sunt depistate:
• Wafer $0.01 – $0.10
• Chip $0.1 - $1
• Placă $1 - $10
• Sistem $10 - $100
• Utilizator $100 - $1000

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 239

Teste

• Teste funcţionale și logice – simulare înainte de tape-out,


punerea în evidență a corectitudinii implementării (față de
specificații).

• Teste de depanare – post manufacturare, pentru confirmarea


ca chipul funcționeză corect la viteza dorită.

• Teste de producţie – verifică funcționarea înainte de livrare și


posibile defecte de fabricație.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 240

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 120
7.2. Teste funcţionale și logice

• Cu ce se compară?
Model de referință
(golden model), HDL, C.
• Cum se compară? Model
pentru mediul exterior.
• Când se compară? La
orice modificare automată
a modelului (netlist-ului).

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 241

Vectori de test

• Completitudine: setul de vectori să acopere cât mai


multe scenarii
• Cazuri particulare (corner cases): scenarii cu valori
extreme.
• Vectori aleatorii și determiniști
• Măsura calității vectorilor de test: fault coverage

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 242

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 121
Concepte legate de testare logică și funcțională

• Testbench
– Generator de vectori de test = model pentru lumea exterioară modulului de testat
– Permite aplicarea vectorilor de test modulului de testat (preluarea vectorilor din fișiere
externe sau generarea acestora pe baza unor algoritmi).
– Simulare limbaje mixte: Verilog, VHDL, SystemVerilog, SystemC, C.
– Verificare automată prin comparare cu valori așteptate.
• Regression testing
– Scripturi în limbaje de nivel înalt care rulează iterativ seturi largi de teste
– O bună practică: rularea testelor de regresie în fiecare noapte
• Version control
– Software pentru gestiunea versiunilor de cod (CVS)
• Bug Tracking
– Software pentru gestiunea bug-urilor

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 243

7.3. Teste de depanare

• “Chip-ul iese bine din prima doar din noroc”


• Cauza cea mai frecventă a defectelor o reprezintă
simularea insuficientă a modelului.
• Greutatea testării este determinată de lipsa accesului
la toate punctele din interior: Probe points
• eBeam = fascicul de electroni cu care se poate
măsura tensiunea într-un puct în interiorul chip-ului
• Focused Ion Beam (FIB) = fascicul cu care se pot
tăia sau reface conexiuni pe chip

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 244

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 122
Reprezentări Shmoo

• Grafic bidimensional
– Tensiune(frecvență) sau
– Frecvență(temperatură)

Verticală = perioada
ceasului [ns]
Orizontală = tensiunea de
alimentare [V]
* indică picarea testului

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 245

7.4. Teste de producție

• O particulă de praf pe wafer este suficientă pentru a


distruge un chip
– randament < 100%
– trebuie testate chip-urile înainte de livrare
• Modele de defecte
– stuck-at-1
– stuck-at-0
– short-circuit
– open-circuit

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 246

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 123
Defecte CMOS
“Stuck-at-0” şi “Stuck-at-1”

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 247

Defecte CMOS “punţi”

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 248

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 124
Defecte CMOS ce cauzează curent static IDD

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 249

Concepte de testare

• Observabilitate = capacitatea de a deduce starea


unui nod interior chip-ului prin acces la pinii externi.
• Controlabilitate = capacitatea de a modifica starea
unui nod interior chip-ului prin acces la pinii externi.
• Testabilitate = Observabilitate + Controlabilitate

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 250

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 125
7.5. Proiectarea pentru testabilitate

• Testarea ad-hoc
• Proiectarea circuitelor pentru testare
• Built-In Self-Test (BIST)
• Testarea IDDQ
• Proiectarea pentru manufacturabilitate

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 251

Testarea ad-hoc

• Plan de testare
– partiţionarea circuitelor mari
– inserarea de puncte de test
– multiplexoare
– stare de reset

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 252

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 126
Proiectarea circuitelor pentru testare:
Bistabile cu facilități de Scanare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 253

Testarea IDDQ

• VDD supply current Quiescent

• Avantaj: Măsurătoare externă chip-ului


• Dezavantaj: Tehnica a încetat să fie eficientă odată
cu creşterea curentului de scurgere la tensiuni sub
tensiunea de prag.

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 254

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 127
Testarea cu Boundary-Scan

• IEEE 1149
• JTAG (Joint Test Action Group)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 255

TAP

• Test Access Port


– TCK
– TMS
– TDI
– TDO
– TRST*

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 256

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 128
Arhitectura TAP

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 257

Controller TAP

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 258

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 129
CONCLUZII

• Calificări necesare pentru “IC Designer”


• Suport software
• Metodologia de proiectarea a unui circuit integrat
• Ierarhizarea abstractizărilor în proiectarea circuitelor
integrate

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 259

Calificări necesare pentru “IC Designer” (1)

• Circuitele FPGA sunt minunate pentru învățare și


deprinderea calificărilor, dar calificarea pentru
proiectarea ASIC necesită muncă mai îndelungată
(absentă la proiectanții cu FPGA).
• Deși tehnologia CMOS este complexă, majoritatea
erorilor de proiectare sunt datorită modelării
funcționale incorecte.
• Orice inginer software poate scrie Verilog (sintaxă
similară cu C) până când aude despre “semnal de
ceas”.

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 130
Calificări necesare pentru “IC Designer” (2)

• PERL - Practical Extraction and Report Language


(dacă nu ați auzit până acum și vreți să proiectați
vreodată circuite integrate, este cazul să cautați pe
Google cuvântul “PERL”)
• TCL – Tool Command Language (similar cu sugestia
de mai sus)
• Cunoștințe legate de procesul de dezvoltare software
se aplică și la proiectare de circuite integrate (Version
Control, Build Process, Bug Tracking etc.)
• Cunoștințe despre aplicații sunt necesre pentru a fi un
arhitect bun.

Suport software

• EDA - Electronic Design Automation (lumea EDA


este populată de minunați ingineri software care
crează algoritmi complicați și interfețe grafice
inovative dar foarte rar proiectează circuite integrate).
• Nu există un set de programe care să permită
proiectarea completă a unui circuit integrat. Inevitabil,
vor fi necesare scripturi specifice sau programe care
să facă trecerea de la un software la altul.
• Odată cu avansul tehnologic, anumite subiecte (ca
integritatea semnalelor și rețeaua de alimentare) vor
necesita la fel de multă atenție ca și proiectarea
logică.

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 131
Metodologia de proiectare a
sistemelor digitale integrate

Descriere

Sinteză

Ideea fundamentală a cursului


Implementare

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 263

Metodologia de proiectare a
sistemelor digitale integrate

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 264

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 132
Ierarhizarea abstractizărilor în
proiectarea circuitelor integrate (1)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 265

Ierarhizarea abstractizărilor în
proiectarea circuitelor integrate (2)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 266

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 133
Ierarhizarea abstractizărilor în
proiectarea circuitelor integrate (3)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 267

Ierarhizarea abstractizărilor în
proiectarea circuitelor integrate (4)

© 2014 - DanNicula.ro PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE 268

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 134
Metodologia de proiectarea a unui Circuit Integrat
• Front End
– Architecture
– RTL Coding – Register Transfer Level
– Test Bench
– Lint
– CDC checks - Clock Domain Crossing
– Synthesis
– DFT – Design For Testability
– STA – Static Timing Analysis
– Power Estimation
• Back End
– Floorplan
– PowerPlan
– Timing Constraints refinement
– Placement
– Optimization
– Global Routing
– CTS - Clock-Tree Synthesis
– Detailed Routing
– Timing Closure
– Physical Verification
• ECO - Engineering Change Order

PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


PROIECTAREA CIRCUITELOR VLSI CMOS

Dan NICULA
Universitatea TRANSILVANIA din Braşov
Departamentul de Electronică şi Calculatoare

E-mail dan.nicula@unitbv.ro
URL www.danNicula.ro

- Versiunea 2014 – 2015 -

© 2014 - PROIECTAREA CIRCUITELOR INTEGRATE


DanNicula.ro 135

S-ar putea să vă placă și