STUDII SI CERCETARI PRIVIND CARACTERIZAREA STRATURILOR

SUBŢIRI DE TiN OBINUTE PRIN METODA CVD

1.4. Analiza difractometrică

Analiza structurii cristaline a filmelor a fost efectuată prin difractie de raze-X (XRD),
Difracţia de raze X (XRD) este utilizată atât la identificarea fazelor cristaline ale unui
material cât şi la estimarea proprietăţilor structurale şi microstructurale ale acestor faze,
cum ar fi dimensiunea cristalitelor, orientarea preferenţială, defectele structurale,
microtensiunilor celulei elementare etc. În cazul filmelor subţiri, această tehnică permite
determinarea stresului sau tensiunii precum şi a grosimii filmelor. Variaţia dimensiunilor
cristalitelor, a stresului precum şi a grosimii induc efecte de lărgire ale maximelor de
difracţie. Fiind o tehnică nedestructivă, difracţia de raze X poate fi utilizată şi pentru
studii in situ.
În figura 21 este prezentatǎ difracția unui fascicol de raze X pe o familie de plane
cristaline cu distanţa interplanară d; unghiul de difracţie 2reprezintă unghiul format de
razele X incidente şi difractate . Condiția de formare a unui maxim de difracție este dată
de relația lui Bragg: 2dsinθ = nλ , unde λ este lungimea de undă a radiației X. Intensitatea
razelor X difractate este înregistrată în funcţie de unghiul de difracţie. Identificarea
structurii cristaline se realizează prin compararea difractogramei înregistrate cu datele
existente în bazele de date (JCPDF – Joint Committee of Powder Diffraction Files).
Extragerea informaţiilor structurale globale din difractogramele de raze X se face pornind
de la trei mărimi măsurabile şi anume: intensităţile integrale ale maximelor de difracţie;
poziţiile unghiulare ale maximelor; profilul maximelor de difracţie (lărgimea la semi-
înălţime, aria etc.).

Figura 21. Schema de difracţie a unui fascicol de raze X.

Poziţia liniilor de difracţie pentru materialele policristaline permite determinarea

distanţelor interplanare dhkl cu ajutorul relaţiei Bragg (2dhkl sin θ = nλ, unde: n - ordin de
difracţie cu valori 1, 2,...; θ - unghi de difracţie; λ- lungimea de undă a radiaţiei);
Spectrul de difractie permite analiza calitativǎ şi cantitativǎ a fazelor. Proporţia cu
care fazele componente participă la amestec se poate determina cu aproximaţie din
intensităţile relative ale liniilor de difracţie corespunzătoare. Calculul dimensiunii
cristalitelor se face cu ajutorul relaţiei lui Scherrer D = 0.9λ/(βcosθ), unde: D este
dimensiunea cristalitelor, λ este lungimea de undă a radiaţiei, βeste FWHM (”full
width at halfmaximum”) lărgimea la semiînălţime a liniei de difracţie iar θ reprezintă
pozitia maximului de difractie.
Difractograma s-a obţinut cu un difractometru prevăzut cu un goniometru
orizontal (fig.22). S-a folosit un catod de molibden cu lungimea de undă λ = 0,709Å,
tensiunea aplicată este de 30KV la o intensitate de curent de 10 mA.

Figura 22.Difractometrul cu radiaţii X, Tip DRON – 3

Figura 23. Analiza XRD pentru stratul subţire de TiN la temperatura de lucru: 1050°C
 După cum relevă analiza la un unghi θ =21,73° se obţine un maxim corespunzător
planului (200).(figura 23)
Cel de-al doilea maxim al curbei corespunde planului(111) care apare pentru un
unghi θ = 18,25°.
Cel de-al treilea maxim al curbei corespunde planului (220) care are valoarea
unghiului θ = 31,26°.
Rezultatul este favorabil şi certifică existenţa stratului de TiN (la maximele curbelor
difractometrice).

Figura 24. Analiza XRD pentru stratul subţire de TiN la temperatura de lucru: 950°C

La temperatura de 950°C maximul picului corespunde unghiului θ = 18,20°

corespunzator planului (111) . (figura 24).
Cel de-al doilea maxim al curbei corespunde planului(200) care apare pentru un unghi θ
= 21,58°.
Cel de-al treilea maxim al curbei corespunde planului (220) care are valoarea
unghiului θ = 29,5°.
Rezultatul este favorabil şi in acest caz, se certifică existenţa stratului de TiN (la
maximele curbelor difractometrice).
 1.5. Determinarea microdurităţii straturilor subţiri

Microduritatea straturilor subţiri poate fi măsurată cu ajutorul metodei Vickers

sau Knoop care utilizează un identor de diamant. Penetrarea identorului (o piramidă
tetragonală sau rombică) se realizează dinamic, microduritatea determinandu-se cu un
microscop optic după forma şi mărimea microurmei lăsată pe suprafaţa stratului.
Încercarea de microduritate Vickers se face conform cu STAS 7057 – 78 şi se
execută cu sarcini de 0,0098– 9,80 N (0,001...1,0 kgf).
Microduritatea se calculează cu relaţia‫׃‬

136
0,102  2  F  sin
HV0,05  2  0,102  1,8544  F  0,1891  F
d2 d2 d2
Unde, F– exprimat în N

136
2 F  sin
HV  2  1,8544  F
2
d d2
Unde F– exprimat în kgf/mm2
d1  d 2
d– diagonala medie a urmei; d  [mm]
2

Valorile microdurităţii Knoop (sau Vickers) sunt evaluate folosind următoarele

relaţii:
Mv = Kv · P / d2 ; Pv = d / 7
Mk = Kk · P / d2 ; Pk = d / 30,5
în care: Mv – microduritatea Vickers, in kg/mm2
Kv – 1854,4
P – sarcina in g
d – diagonala urmei pătratice sau rombice care rămâne pe strat
după apăsarea cu varful de diamant, în µm
Pv (sau Pk) – adâncimea de pătrundere în strat
Mk – microduritatea Knoop, în kg/mm2
Kk = 14228
Determinarea experimentală
Microduritatea straturilor a fost realizată prin metoda Vickers realizată cu ajutorul unui
microscop optic de tip LECA M-400-H1 (Hardness Testing Machine), echipat cu o
interfaţă (Autostage Controller AT-201, LecoCorp) figura 25.

Figura 25. (a) Micro-tester LECA M-400-H1,

(b) Principiul de măsurare a microdurităţii prin metoda Vickers.
Microduritatea plăcuţelor acoperite este reprezentată în tabelul 1.5.1.

Tabelul 1.5.1. Microduritatea plăcuţelor acoperite cu TiN

Numarul Timp Numar Diagonala d2 Sarcina Microduritate
determina apasare diviziuni d [µm] [µm2] [N] HV0,05
rilor [s] [MPa]
1 15 2,78 0,80 0,64 0,001 28520
2 15 3,97 1,14 1,31 0,002 28310
3 15 6,30 1,81 3,28 0,005 28260
15
4 8,88 2,56 6,58 0,010 28180
15
5 14,11 4,05 16,5 0,025 28090
15
6 20,03 5,75 33,11 0,050 28000
 Microduritatea a fost măsurată cu metoda Vickers. Determinările de microduritate s-
au efectuat pe plăcuţe acoperite cu straturi subţiri de nitrură de titan cu grosimi diferite de
6µm, 8µm şi 10µm. Microduritatea Vickers nu este o constată ca duritatea Vickers, cu
toată asemănarea geometrică a amprentelor, ci scade în general cu creşterea sarcinii de
încercare, fiind funcţie de mărimea amprentei.
Testele de microduritate arată o valoare a durităţii HV 0,05 = 28000 MPa, valoare
care este în concordanţă cu datele din literatura de specialitate, în raport cu microduritatea
substratului (94% WC- 6%Co) care este de HV0,05 = 14980 MPa.
În figura 26 este reprezentată microduritatea plăcuţelor acoperite cu TiN in sectiune
transversala iar in figura 27 este prezentata duritatea stratului fata de substrat.

Figura 26. Variaţia microdurităţii stratului depus – secţiune transversală, mărire x2000

Figura 27. Duritatea stratului de TiN 28000 MPa fata de substrat 14980 MPa