UNIVERSITATEA DIN ORADEA

FACULTATEA DE INGINERIE ELECTRICĂ ŞI

TEHNOLOGIA INFORMAŢIEI
DOMENIUL / PROGRAMUL DE STUDIU: TEHNOLOGII AUDIO-VIDEO ȘI
TELECOMUNICAȚII
FORMA DE ÎNVĂŢĂMÂNT: ZI

APLICAȚII ALE MEMs-

URILOR ȘI MEMs-URI
AVANSATE

COORDONATOR ŞTIINŢIFIC
Ş.l. dr. ing. MOLDOVAN LIVIU

STUDENT
CIATĂU MĂDĂLIN ȘERBAN

ORADEA
2022
 CUPRINS

1. CAP.1 Aplicații ale MEMs-urilor

2. CAP.2 MEMs-uri avansate
3. Bibliografie
 CAP.1 APLICAŢII ALE
DISPOZITIVELOR MEMS
 

Aplicaţiile MEMS (unele sunt deja realizate, altele sunt în curs de studiu):

-Pompe pentru capetele de printare (fig. 1a);

-Accelorometre pentru activarea air-bagurilor (fig. 1b);

-Senzori de presiune (fig. 1c);

-Senzori chimici, utilizaţi mai ales în medicină. Moleculele seataşează pe o

latură a unui MEMS, schimbând frecvenţa de oscilaţie,ce poate fi măsurată;

-Displayuri electronice, bazate pe arii de micro-oglinzi;

-Sisteme de achiziţie de date, bazate pe microscoape STM

(ScanningTunneling Microscopes). Se formează o matrice

 de MEMS pe care se depun date cu ajutorul unei probe microscopice care
baleieazămatricea. Se aşteaptă a se obţine o capacitate de câţiva gigabyte;

 -Senzorii pentru controlul aerodinamic sunt plasaţi pe aripileavioanelor.

Senzorii detectează acceleraţia şi direcţia avioanelor ;

 -Relee MEMS de radio-frecvenţă, sunt incluse în sistemele sateliţilor; 

 -Senzori şi transmiţători MEMS incluse în sisteme de geo-locaţie.

 
 Fig.1 Exemple de aplicaţii cu dispozitive MEMS: a) Printer head unit
produs de SeaInkjet; b) accelerometru Analog Devices; c) senzor de presiune
Accutire; d) senzor de gaz Motorola; e) matrice de senzori IR de 100 de pixeli.

MEMS-urile din giroscoapele moderne se integrează cu sistemul electronic,

de obicei în tehnologia CMOS pentru creşterea fiabilităţii,scăderea costului şi
micşorarea dispozitivului în ansamblu. Firma Silicon Sensing produce giroscoape
ce se pot cupla pe aripile unui avion, sunt integrate în sistemele de control şi
siguranţă ale maşinilor – se detectează pierderea controlului şi se blochează roţile,
sau chiar în maşini agricole.

 Există mai multe firme (Honeywell, Analog Device, etc.) care produc
accelerometre formate dintr-un cip pe care sunt integrate MEMS-uri,
amplificatoare, circuite de detecţie a pragului, etc. Accelerometrele se utilizează şi
în ghidarea navigaţiei, prin cuplarea cu datele obţinute cu GPS.Astfel precizia de
detecţie a GPS-urilor este de câţiva metrii, iar cuplânddatele de la GPS cu datele de
direcţie şi acceleraţie obţinute cu accelerometrele se măreşte precizia detectării
poziţiei navei. În industrie,accelerometrele se utilizează la detectarea vibraţiilor
emise de subansamble,iar la detectarea unei vibraţii care este în afara intervalului
permis seîntrerupe funcţionarea aparaturii, prevenind distrugerea.

Microgiroscoapele au apărut pe piaţă mai târziu decât

accelerometrele.Sensibilitatea lor este încă scăzută şi face obiectul a numeroase
studii.

Fig. 2 Microaccelerometre, din seria ADXL, produse de firma Analig Device care

detectează acceleraţia pe două direcţii din plan.

Trei caracteristici trebuie avute în vedere la un accelerometru: domeniul de

amplitudini, domeniul de frecvenţe şi domeniul de temperaturide funcţionare.
Amplitudinea se măsoară proporţional cu acceleraţia gravitaţională g (se dau ca
unităţi număr de g). Trebuie luate în consideraremaximul vibraţiilor şi şocurilor din
mediul exterior. La ieşire accelerometrul poate afişa o tensiune electrică, un
curentelectric sau o frecvenţă a unui semnal purtător. Semnalele pot fi cuplate
serial sau paralel la un microcontroler sau computer. Există şi opţiuneaacţionării
unui comutator sau a unei alarme la depăşirea unui prag critic.

Deoarece un accelerometru este în mişcare împreună cu un obiect, asamblarea

sa la acel obiect este foarte importantă.
Realizând accelerometre pe bază de MEMS, microminiaturale, acestea  pot fi
cuplate uşor la oriceobiect în mişcare sau chiar incluse în structura mecanică sau
electrică a acestuia.

Structura de bază a unui accelerator MEMS este un ”cantilever” care este

fixat la un capăt şi se poate mişcadacă este acţionat cu o forţă F. El reacţionează ca
un resort, deplasându-se pe o distanţă Δx, proporţională cu forţa. Constanta de
proporţionalitate depinde de parametrii materialului din care este realizat
cantileverul (modulul de elasticitate, momentul de inerţie). Măsurarea deplasării se
poate efectua optic, capacitiv sau piezorezistiv. De obicei accelerometrele folosesc
fenomenul capacitiv. În figurile următoare se prezintă accelerometre în care
principiul de detectare a mişcării este capacitiv. De obicei se folosesc mai multe
structuri în paralel (electrozii sunt comuni pentru toate structurile).Semnalul
rezultat (capacitiv) este cu atât mai mare cu cât sunt mai multestructuri (vezi
fig.3b).

Fig. 3 Accelerometre MEMS cu un singur condensator a)

şi cu mai multe condensatoare b).

 Măsurarea capacităţii se poate face cu un circuit integrat cu o structură cacea
dată în fig.4. Circuitul este de tip CMOS. Accelerometrele se folosesc pe scară
largă pentru deschiderea air-bagurilor. În acest caz se detectează atingerea unui
anumit prag pentru acceleraţie, moment în care unreleu determină deschiderea
air-bagului. Există accelerometre care determină acceleraţia pe cele trei direcţii
perpendiculare. În acest cazsistemele electronice trebuie să detecteze şi să
amplifice semnalele pe celetrei direcţii.

Fig.4 Circuitul integrat de măsurare a capacităţii la accelerometrul MEMS

a) Structura;b) lay-outul.

În tabelul de mai jos se dau comparativ parametrii ai trei tipuri de

accelerometre, produse de firmele Analog Devices, Sensotec şi Entran.
 Structura circuitului anexat MEMs-ului de măsurare a acceleraţiei

din dispozitivul produs de Analog Devices (circuit integrat cu MEMS-ul)

conţine un amplificator, un demodulator şi un buffer pentru creşterea

raportului semnal / zgomot (fig.5).

Fig.5 Structura condiţionatorului de semnal pentru un accelerometru MEMS.

 Există accelerometre ce au alte principii de determinare a forţei aplicate. Unul
din sisteme este cel cu elemente piezorezistive (piezoresistivestrain gauge).
Alăturat se dă ca exemplu un monitor de vibraţie VS2, realizat de firma Electro-
Sensor. Se utilizează ca detector de vibraţii pe maşiniindustriale pentru
determinarea vibraţiilor maximela care acestea pot fi supuse fără a fi distruse.

Fig.6 Monitor de vibraţii produs de firma Electro-Sensor.

CAP.2 MEMs-URI AVANSATE
Sisteme cu senzori MEMS pe bază de piezoelectrici

  Senzorii MEMS pe bază de piezoelectrici se utilizează pentru alertăteroristă,

pentru agenţi chimici (agenţi neurotoxici) şi alţi senzori de gaze. Există senzori cu
piezoelectrici QCM (Quartz Micro Balance) ce oscileazăla frecvenţe relativ joase
(5 MHz), senzorii SAW (Surface Acoustic Wave) care oscilează la frecvenţe înalte
(100 MHz), piezoelectrici cu cantilever pesiliciu, utilizaţi la spectrometria pe baze
atomice. Detecţia substanţei dinmediul înconjurător se face pe baza fenomenului
de adsorbţie, care duce (prin schimbarea masei elementului care vibrează) la o
schimbare afrecvenţei proprii de oscilaţie. Principiile de funcţionare ale unor
senzori de tip SAW au fost stabilite încă din 1979, dar utilizarea lor implică
procese tehnologice şi circuite electronice complexe. Avantajele utilizării
dispozitivelor cu piezoelectrici constau în factori de pierdere mici,
posibilităţi variate de realizare, reproductibilitate şi posibilităţi numeroase de
caracterizare. Ca senzori de gaze pot avea selectivitate ridicată prin includerea în
structura traductoare a polimerilor chemo-selectivi. Faţă dealte tipuri de senzori de
tip MEMS, senzorii care includ şi straturi piezorezistive au avantajul că sunt şi
traductori mecano-electrici, nemaifiind nevoie de alţi traductori (ca cei capacitivi,
sau cu senzori optici). Aceasta duce la creşterea sensibilităţii senzorului (se pot
detecta unităţi de masă deordinul femtogramului), la miniaturizarea sa şi
posibilitatea de a fi inclus într-un sistem portabil, datorită consumului mic de
putere.

Primele structuri MEMS cu piezoelectric au fost realizate în 2002. Stratul

piezoelectric a fost titanat de zirconiu. În acelaşi an a fost raportată şio structură
utilizată pentru microscopia cu forţă atomică (AFM-AtomicForce Microscopy).
Sau obţinut senzori cu sensibilitatea de 10−11 −10−12g/Hz  la
detecţia vaporilor de trinitrotoluen. Sensibilitatea a fostcrescută la 10−13 g/Hz odată
cu obţinerea structurilor piezoelectrice pe nitrură de siliciu. Acestea au fost
utilizate ca senzori biologici pentrudetectarea proteinelor.
 Senzorii oscilează pe o frecvenţă proprie, care se schimbă cu
un procent foarte mic la adăugarea masei din substanţa adsorbită. Pentru măsurarea
unei frecvenţe cu multe ordine mai mici decât frecvenţa deoscilaţie se utilizează o
schemă ce include două circuite detectoare de fază,unul de măsură, ce include
senzorul FPW şi unul de referinţă, semnalele celor două circuite fiind apoi
comparate într-un microcontroler. Se măsoară un senzor de referinţă, pentru a
determina frecvenţa proprie deoscilaţie. Pentru senzorul de măsură se include în
circuit un schimbător defază, pentru a obţine noua frecvenţă de oscilaţie. Semnalul
de pe fiecare senzor este amplificat, trecut printr-un filtru “trece jos” şi apoi trimis
la microcontroler (fig.1).

Fig.1 Schema generală de măsură cu senzor FPW.

Indiferent de soluţia adoptată, funcţionarea unui senzor piezoelectric implică

utilizarea unui oscilator local de frecvenţă înaltă şi cu posibilităţi de reglarea
frecvenţei şi fazei. Oscilatorul trebuie să realizeze următoarele cerinţe: săfie stabil
şi linear la rezonanţă; să poată compensa variaţiile semnalului datde senzor prin
variaţii de fază; să aibă zgomot propriu cât mai mic. Amplificatoarele utilizate
trebuie să aibă bandă de frecvenţă şi linearitateridicate, dar offset, curent de
alimentare şi zgomot propriu reduse. Un sistem cu senzor biochimic piezoelectric,
la care datele sunt stocate într-un microcontroler, va conţine următoarele
subansamble (fig.2):

-Senzor;

-Oscilatoare locale de frecvenţă înaltă;

 -RF tunere pentru oscilatoare;

- Sursa de alimentare;

-Sistemul de achiziţie de date, incluzând microcontrolerul cuplat la

computer.

Fig.2 Configuraţia blocului de condiţionare

a semnalului.
 Microcontrolerul va funcţiona sincron cu oscilatoarele, fiind cuplat la acestea.
Datele generate vor fi stocate în memoria auxiliară pe durata măsurătorilor, după
care vor fi transmise serial către computer, unde vor figestionate şi prelucrate cu un
software dedicat.

Senzori piezoelectrici s-au obţinut şi în variantă comercială, astfelîncât agenţii

guvernamentale intenţionează să le utilizeze în clădiri oficiale, metrouri, şcoli,
pentru prevenirea atacurilor teroriste.

Fig.3 Micro-cantilever cu substrat piezorezistiv ce detectează o singură particulă

de vaccin.
 Pe de altă parte s-au realizat senzori pentru substanţe biologice, cu
sensibilitate ridicată (vezi fig.9). Acestea au posibilitatea detectării anumitor
proteine in-situ (de exemplu antigen specific pentru prostată–PSA).
 BIBLIOGRAFIE

https://www.academia.edu/17738904/INTRODUCERE_
%C3%8EN_MICROELECTRONIC%C4%82

https://www.st.com/content/st_com/en/about/innovation---technology/mems.html

https://ro.scribd.com/document/372424524/MEMS-2-G-Ionascu

http://telecom.etc.tuiasi.ro/telecom/staff/dionescu/MEMS%20referate/Utilitatea
%20senzorilor%20MEMS%20%C3%AEn%20domeniul%20automotive