Senzori Si Traductoare Final

Mihai Creţu Constantin Sărmăşanu Marius Brînzilă
SENZORI ŞI TRADUCTOARE
UH
B
I b I
d
2
1
3
5
6
SFe l Fe
4
F 7 A
 l N 2   Fe  S Fe
R L
S l Fe
o r  A 2   o  r  h
A
C Cc 
d ri r
h ln e
ri
d εr re
Editura POLITEHNIUM
2017
Editura POLITEHNIUM
Universitatea Tehnică “Gheorghe Asachi” din Iaşi
Str. Prof.dr.doc. Dimitrie Mangeron, nr. 67, 700050 Iaşi, România
Tel: 40 232 – 212324
Fax: 40 232 - 211667
E-mail: cercetare@tuiasi.ro
Editura Politehnium (fostă “Gheorghe Asachi”) este recunoscută de Consiliul Naţional

al Cercetării Ştiinţifice din Învăţământul Superior (CNCSIS)
Coordonator editură: Prof.univ.dr.ing. Carmen LOGHIN
Referenţi ştiinţifici:
Prof.univ.dr.ing. Marinel TEMNEANU

Universitatea Tehnică “Gheorghe Asachi” din Iaşi
Facultatea de Inginerie Electrică, Energetică şi Informatică Aplicată
Prof.univ.dr.ing. Codrin DONCIU

Universitatea Tehnică “Gheorghe Asachi” din Iași
Facultatea de Inginerie Electrică, Energetică și Informatică Aplicată
Tehnoredactare
Răspunderea pentru tot ceea ce conţine prezenta carte aparţine în întregime autorului
(autorilor) acesteia.
Descrierea CIP a Bibliotecii Naţionale a României

CREŢU, MIHAI
Senzori şi traductoare / Mihai Creţu, Constantin Sărmăşanu, Marius
Brînzilă. - Iaşi : Politehnium, 2017
Conţine bibliografie
ISBN 978-973-621-472-1
I. Sărmăşanu, Constantin
II. Brînzilă, Marius
681.586
Mihai Creţu Constantin Sărmăşanu Marius Brînzilă
SENZORI ŞI TRADUCTOARE
Editura Politehnium
Iasi, 2017
PREFAŢĂ
Stabilitatea şi conformitatea caracteristicilor tehnologice ale unui

proces industrial depind în mare măsură de performanţele sistemelor de
control implementate. Instrumentaţia industrială grupată într-un sistem
unificat rezolvă astăzi, în mare măsură, problema compatibilităţii care
devine esenţială în condiţiile multitudinii de aplicaţii posibile. Desigur,
nereferim la mărimile fizice neelectrice care decid evoluţia unui proces
tehnologic.
O statistică publicată cu ani în urmă în Germania, repartiza numărul
punctelor de măsurare pentru urmărirea cantitativă a diverselor mărimi
fizice în industriile de bază: metalurgie, construcţii de maşini, chimie,
prelucrarea produselor agricole, prealucrarea produselor petroliere etc. După
cum urmează:
- 40% aveau ca obiect măsurarea temperaturii
- 30% măsurarea debitelor şi tehnicilor de cântărire
- 10% măsurarea presiunii şi nivelului la fluide
- 10% măsurarea deplasărilor şi dimensiunilor
- 10% puncte de măsurare destinate analizelor chimice
De aici ar rezulta că cea mai urmărită mărime neelectrică în
procesele tehnologice industriale este temperatura.
Merită de menţionat şi faptul că producţia mondială de senzori şi
traductoare, de ordinul a 25-30 miliarde de dolari, este realizată de ţările
puternic industrializate: SUA, Japonia, Anglia, Germania, Franţa etc.
Lucrarea de faţă are un puternic caracter aplicativ, expunerea
materialelor fiind uniform-gradată începând cu noţiunile mai simple însoţite
de exemple. Se pune accent pe aspectul fizic şi pe relaţiile cantitative ale
fenomenelor, dezvoltările matematice fiind limitate la strictul necesar
înţelegerii problemelor tratate. Dar utilizatorul trebuie să fie conştient că
dispersia şi modificarea în timp a parametrilor funcţionali sunt fenomene
inevitabile care limitează performanţa.
Prefaţă
Prin dezvoltarea fără precedent a microelectronicii destinate

prelucrării datelor obţinute din măsurare şi a apariţiei senzorilor inteligenţi
„smart sensors” fenomenele menţionate anterior se pot compensa şi
performanţa ajunge maximul posibil.
S-a folosit selectiv literatura de specialitate existentă şi funcţie de
caracteristicile funcţionale şi domeniile de aplicaţie, senzorii şi traductoarele
realizate, au fost grupate pe familii.
Materialul prezentat în această lucrare se adresează inginerilor,
cercetătorilor şi studenţilor care doresc să se iniţieze şi să-şi fundamenteze
cunoştinţele în domeniul atât de dinamic şi vast al măsurărilor specifice
proceselor industriale.
Mulţumim pe această cale recenzorilor pentru observaţiile şi
recomandările primite care ne-au fost utile în redactarea finală a acestui
volum.
Primim însă cu recunoştinţă şi sugestiile cititorilor după apariţia
lucrării în perspectiva îmbunătăţirii unei ediţii viitoare.
Autorii
ii
CUPRINS
Capitolul 1. Noţiuni fundamentale 1

1.1. Definiţie 1
1.2. Clasificare 3
1.2.1. Senzori activi (de tip generator) 4
1.2.2. Senzori pasivi (de tip parametric) 4
1.2.3. Senzori compuşi 6
1.2.4. Sistem senzorial 7
1.2.5. Senzori integraţi 8
1.2.6. Senzori inteligenţi 10
1.3. Caracteristici 12
1.3.1. Calibrarea senzorilor 12
1.3.2. Mărimi de influenţă 14
1.3.3. Caracteristici metrologice 15
1.3.3.1. limitele de utilizare 15
1.3.3.2. sensibilitatea 16
1.3.3.3. liniaritatea 17
1.3.3.4. precizia 18
1.3.3.5. pragul de sensibilitate (rezoluţia) 20
1.3.3.6. timpul de răspuns 21
1.3.3.7. repetabilitatea 22
1.4. Tehnologii moderne de realizare a senzorilor 22
1.4.1. Senzori realizaţi prin tehnologia semiconductorilor 23
1.4.2. Senzori realizaţi prin tehnologia straturilor subţiri 26
1.4.3. Senzori realizaţi prin tehnologia straturilor groase 28
Capitolul 2. Circuite de adaptare pentru senzori pasivi 33

2.1. Caracteristici generale 33
2.2. Montajul potenţiometric 35
2.2.1. Măsurarea rezistenţelor 35
2.2.2. Măsurarea impedanţelor complexe 39
2.3. Puntea de măsurare 41
Cuprins
2.3.1. Măsurarea rezistenţelor (puntea Wheatstone) 41

2.3.2. Măsurarea impedanţelor complexe 50
2.4. Oscilatoare 56
2.4.1. Oscilatoare sinusoidale 56
2.4.2. Oscilatoare de relaxare 58
2.5. Adaptare de impedanţă 59
2.5.1. Amplificatorul comparator cu reacţie de curent 59
2.6. Zgomote şi interferenţe 61
2.6.1. Tensiuni parazite datorate câmpului electric 65
Capitolul 3. Detecţia sincronă 69

3.1. Etajul detector sincron 69
3.2. Parametrii detectoarelor sincrone 73
3.3. Detecţia sincronă cu schimbare de frecvenţă 74
3.4. Detector sincron cu acord automat pe frecvenţa semnalului 75
Capitolul 4. Senzori de proximitate 77

4.1. Senzori inductivi de proximitate 77
4.2. Senzori magnetici de proximitate 79
4.3. Senzori capacitivi de proximitate 79
4.4. Senzori fotoelectrici de proximitate 71
4.5. Senzori fluidici de proximitate (duză-paletă) 82
4.5.1 Senzorul cu jet liber 83
4.5.2. Senzorul cu impact de jeturi 84
4.5.3 Senzor de proximitate de tip focar 84
Capitolul 5. Senzori pentru măsurarea mărimilor

magnetice 87
5.1. Senzori bazaţi pe procedeul inductiv 87
5.2. Senzorul Hall 90
5.2.1. Efectul Hall 90
5.2.2. Aplicaţii ale senzorului Hall 95
5.2.2.1. Măsurarea inducţiei magnetice 95
5.2.2.2. Măsurarea curentului electric 97
5.2.2.3. Măsurarea puterii şi energiei electrice 98
5.2.2.4. Senzor de poziţie cu sondă Hall 101
iv
Senzori si traductoare
5.3. Senzorul Förster 102

5.4. Senzori cu rezonanţă magnetică nucleară 106
5.5. Elemente de defectoscopie magnetică nedistructivă 110
Capitolul 6. Senzori rezistivi 113

6.1. Senzori reostatici 113
6.1.1. Construcţie şi funcţionare 113
6.1.2. Tipuri constructive particulare pentru senzorul reostatic 120
6.1.3. Aplicaţii uzuale pentru nivelmetre cu plutitor 121
6.2. Senzori tensorezistivi 123
6.2.1. Construcţie şi funcţionare 123
6.2.2. Tehnologii de realizare a senzorilor tensorezistivi 128
6.2.2.1. Mărci tensometrice cu fir metalic 129
6.2.2.2. Mărci tensometrice cu folie metalică 131
6.2.2.3. Mărci tensometrice din materiale semiconductoare 132
6.2.2.4. Mărci tensometrice realizate din fir metalic tensionat între
suporturi electroizolante 133
6.2.3.Variaţia temperaturii, sursă principală de erori pentru mărcile
tensometrice 135
6.2.4.Procedee de compensare a erorilor de temperatură 135
6.2.5.Particularităţi ale circuitelor de măsurare pentru mărci
tensometrice 143
6.2.6.Particularităţi pentru elementele tensorezistive
semiconductoare 151
6.2.6.1.Extensibilitatea mărcilor tensometrice 153
6.2.6.2.Postefectul mărcilor tensometrice 153
6.2.6.3. Temperaturi limită 153
6.2.7.Problema structurilor supuse la efort şi aflate într-o mişcare de
rotaţie 155
6.2.7.1.Folosirea contactelor electrice alunecătoare 155
6.2.7.2. Folosirea cuplajului electromagnetic 157
6.2.7.3. Cuplajul inductiv cu modulare în frecvenţă 159
6.2.8.Utilizări diverse pentru sensorii tensorezistivi 160
6.2.8.1.Măsurarea puterii mecanice 161
6.2.8.2.Măsurarea presiunii 162
6.2.8.3.Măsurarea acceleraţiei 163
6.2.8.4.Măsurarea cuplului de strângere pentru diverse piese
montate prin înfiletare 163
6.2.8.5.Măsurarea deformaţiei de răsucirii 164
v
Cuprins
6.2.8.6.Măsurarea unor deplasări mici 166

6.3.Senzori termorezistivi 166
6.3.1.Principiul de funcţionare 166
6.3.2.Tipuri constructive 170
6.3.3.Constanta de timp şi timpul de răspuns la termorezistenţe 172
6.3.4.Circuite de măsurare pentru senzorii termorezistivi 173
6.3.5.Microdebitmetre termice 177
6.4.Senzori rezistivi cu fir sau strat cald 180
6.4.1.Senzori rezistivi cu fir sau strat cald pentru măsurarea vitezei
fluidelor 180
6.4.2.Senzori rezistivi cu fir cald pentru măsurarea presiunii la vid
înaintat 182
6.5.Senzori rezistivi de umiditate 185
6.6.Senzori magnetorezistivi 187
6.6.1.Senzori magnetorezistivi din material semiconductor 187
6.6.2.Potenţiometrul magnetic 192
6.6.3.Senzori magnetorezistivi din permalloy 194
Capitolul 7. Senzori capacitivi 205

7.1.Senzori capacitivi bazaţi pe modificarea distanţei dintre electrozi 207
7.2.Senzori capacitivi bazaţi pe modificarea ariei suprafeţei active a
electrozilor 210
7.3.Senzori capacitivi cu strat dielectric deplasabil 213
7.3.1. Senzori de deplasare liniară 213
7.3.2. Senzori pentru măsurarea nivelului 215
7.3.3. Senzori pentru măsurarea grosimii stratului de ghiaţă 218
7.3.4. Senzori pentru măsurarea micilor variaţii de nivel
ale lichidelor dielectrice 219
7.4. Senzori capacitivi de umiditate 222
7.4.1. Senzori pentru măsurarea umidităţii aerului 222
7.4.1.1Higrometre capacitive cu dielectric din oxid de aluminiu
(Al2O3) 222
7.4.1.2.Higrometre capacitive cu dielectric din polimeri 223
7.4.2. Senzori pentru măsurarea umidităţii lichidelor şi solidelor 224
7.5. Circuite de măsurare pentru senzorii capacitivi 225
Capitolul 8. Senzori inductivi 231

8.1.Senzor inductiv cu armătură mobilă 232
8.2. Senzor inductiv cu miez mobil 236
vi
8.3. Senzor inductiv de tip transformator 240

8.4. Senzor inductiv cu bobină mobilă 243
8.5. Inductosinul 243
8.6. Microsinul 249
8.7. Potenţiometrul inductiv 250
8.8. Sincrodetectorul 251
8.9. Rezolverul 253
8.10. Senzori inductivi de tip magnetoelastic 256
8.10.1. Senzor cu variaţie de inductivitate 257
8.10.2. Senzor cu variaţie de cuplaj 259
Capitolul 9. Senzori pentru analiza gazelor 261

9.1.Introducere 261
9.2. Senzori electrochimici cu electrolit solid 262
9.2.1. Senzori potenţiometrici 262
9.2.1.1. Principiul de măsurare 262
9.2.1.2. Elemente constructive 264
9.2.1.3. Caracteristicile senzorilor 266
9.2.1.4. Tipuri constructive 269
9.2.2. Senzori amperometrici 273
9.2.2.1. Principiul de măsurare 273
9.2.2.2. Caracteristici metrologice 274
9.2.2.3. Tipuri constructive 274
9.3. Senzori bazaţi pe variaţia impedanţei electrice 275
9.3.1. Senzori de conductivitate 275
9.3.1.1. Măsurarea conductivităţii masice 275
9.3.1.2. Măsurarea conductivităţii superficiale 276
9.3.2. Senzori bazaţi pe măsurarea capacităţii electrice 287
9.4. Senzori cu fibră optică 288
9.5. Senzori cu cuarţ piezoelectric 291
9.6. Senzori tip FET 293
9.6.1. Principiul de măsurare 293
9.6.2. Variante constructive 294
9.7. Senzori de tip catarometric 295
9.8. Senzori catalitici 299
9.9. Traductoare inductive pentru analiza gazelor 301
9.9. 1. Senzorul cu cameră inelară Magnos 302
9.9. 2. Senzorul Oxymat 304
vii
Cuprins
Capitolul 10. Senzori şi traductoare pentru roboţi 305

10.1. Paralelă între fiinţa vie şi robot 305
10.2. Elementele constitutive ale unui robot industrial 307
10.3. Senzori şi traductoare în contact cu obiectul vizat 309
10.3.1. Senzori tactili electromecanici 310
10.3.1.1.Senzorul CECIL EQUIPEMENT 310
10.3.1.2.Senzorul tactil cu două grade de libertate (JOZEF
STEFAN) 312
10.3.1.3.Senzorul dinamic PERUCHON 312
10.3.1.4.Senzor piezoelectric UMETANI 313
10.3.1.5.Senzorul tactil optoelectronic JOZEF STEFAN 314
10.3.1.6.Senzorul ESAB 315
10.3.1.7.Senzorul SWORD şi HILL 316
10.3.1.8.Senzorul activ SAF 316
10.3.1.9.Senzorul activ JOZEF STEFAN 317
10.3.2.Senzori tactili matriciali 320
10.3.2.1.Senzorul matricial PAGE 320
10.3.2.2.Senzorii matriciali GOLDGEWICHT şi TAKEDA 321
10.3.2.3.Senzorul piezoelectric matricial MATSUBARA 322
10.3.3. Pielea artificială 323
10.3.3.1.Senzor tactil tip “piele artificială” cu conductivitate
transversală 324
10.3.3.2. Senzorul integrat tip “piele artificială” 325
10.3.3.3. Senzor tactil cu elastomer tip plasă conductoare 326
10.3.3.4. Senzor tactil cu magnetorezistenţe 327
10.3.3.5. Senzor tactil cu termistoare 328
10.3.4. Senzori de efort 329
10.3.4.1. Determinarea poziţiei punctului de contact 329
10.3.4.2. Determinarea efortului între robot şi mediu 330
10.3.4.2.1. Senzorul de efort tip platformă senzorială WATSON-
DRAKE 331
10.3.4.2.2. Senzorul GOTO 334
10.3.4.2.3. Senzorul JET PROPULSION LABORATORY 335
10.3.4.2.4. Senzorul STANFORD 336
10.4. Senzori şi traductoare fãrã contact cu obiectul vizat 337
10.4.1. Senzori inductivi 337
10.4.1.1 Senzorul cu circuite magnetice 337
10.4.1.1.1. Senzor magnetic cu circuit unic 338
10.4.1.1.2. Senzori magnetici cu două circuite 339
viii
10.4.1.1.3. Senzorul magnetic cu circuite mutiple 340

10.4.1.2 Sezorul cu curenţi FOUCAULT 340
10.4.1.2.1. Senzor cu curenţi Foucault-circuit unic 341
10.4.1.2.2. Senzor cu curenţi Foucault-circuit dublu 342
10.4.1.2.3. Senzor cu curenţi Foucault-circuite multiple 343
10.4.2. Senzorul cu efect Hall 344
10.4.3. Senzorul magnetorezistiv 345
10.4.4. Senzori de proximitate capacitivi 347
10.4.5. Senzori optici 348
10.4.5.1. Detecţia proximetrică 349
10.4.5.2. Detecţia de trecere 349
10.4.5.3. Detectorul optic în cuadratură (cuadrantul) 350
10.4.5.4. Fotodioda cu efect lateral 351
10.4.5.5 Camere de luat vederi 354
10.4.5.5.1 Sisteme de viziune 2D 354
10.4.5.5.2. Sisteme de viziune selectivă 354
10.4.5.5.3 Senzori şi camere de luat vederi în infraroşu 356
10.4.5.5.4 Senzori bazaţi pe măsurarea intensităţii luminoase
generată de piesa de manipulat 358
10.4.6. Elemente sensibile şi traductoare ultrasonore 359
10.4.7. Senzori fluidici 360
10.4.8. Sensori proximetrici bazaţi pe măsurarea lungimii arcului 361
10.4.9. Senzorul termic cu unde de suprafaţă 363
10.4.10. Senzori bazaţi pe ferite termosensibile 363
10.4.11. Telemetrie si pozitionare cu microunde 365
10.4.12. Celule proximetrice integrate 365
Bibliografie 367
ix
Cuprins
x
CAPITOLUL 1
NOŢIUNI FUNDAMENTALE
1.1. Definiţie
Necesitatea culegerii de informaţii din mediul înconjurător în scopul

prelucrării lor este evidentă şi, mai mult, ea creşte odată cu evoluţia
tehnologică. Senzorii reprezintă interfaţa dintre mediu, proces, instalaţie, pe
de o parte şi sistemul electronic de măsurare şi control, pe de altă parte.
În prezent, noţiunea de senzor nu se află în urma altor concepte, cum
ar fi microprocesor, memorie sau alte componente electronice. Cu toate
acestea, nu există o definiţie exactă a termenului “senzor”, aşa cum se
regăsesc pentru alţi termeni din domeniul electric. De aceea, aproape toate
publicaţiile referitoare la senzori încep cu o definire a acestora. Plecând de
la termenul “senzor”, s-au dezvoltat şi alte noţiuni legate de acelaşi
domeniu, cum ar fi: element sensibil, sistem senzorial, senzor inteligent,
tehnologie senzorială etc.
Etimologic, cuvântul “senzor” provine din limba latină, de la
cuvântul “sensorium”, care înseamnă “organ de simţ” sau de la cuvântul
“sensus”, adică “simţ”. Plecând de la originea cuvântului, pare firesc să
evidenţiem analogia dintre senzorii tehnici şi organele senzitive umane
(figura 1.1). Ce se poate remarca din această comparaţie este faptul că atât
senzorii, cât şi organele de simţ, ca elemente independente, nu “spun” foarte
mult despre mediul înconjurător, sistemul inteligent fiind cel care creează,
de fapt, informaţia.
Capitolul 1. Noţiuni fundamentale
Om Maşină
Afişaj
Activitate
musculară
Regulator,
controler
Creier
Etaj condiţionare
(conversie, liniarizare, amplificare etc.)
Semnal electric
Organ de simţ Senzor
Semnal neelectric
Mediu Mediu
înconjurător (temperatură, presiune, deplasare etc.)
Figura 1.1. Comparaţie între senzori şi organele de simţ umane
O definiţie a noţiunii de senzor poate fi următoarea:

Senzorul este un element care converteşte mărimea (fenomenul) de
măsurat într-o caracteristică de natură electrică (sarcină, tensiune, curent
sau impedanţă), ce poate fi prelucrată şi transmisă electronic.
În figura 1.2 sunt prezentate principalele categorii de mărimi şi
fenomene care pot fi sesizate şi măsurate cu ajutorul senzorilor:
1. mărimi mecanice
a) caracteristice solidelor (viteză, acceleraţie, elasticitate, densitate,
grosime, diametru, lungime, greutate, masă, nivel, presiune,
putere, orientare, distanţă, unghi etc.);
b) caracteristice lichidelor şi gazelor (densitate, vâscozitate, volum,
viteză de curgere, presiune etc.);
2. mărimi termice (temperatură, radiaţie termică etc.);
3. radiaţii optice (intensitate, lungime de undă, polarizare, culoare, reflexie
etc.);
2
4. mărimi acustice (frecvenţă, presiune, viteză de propagare, absorbţie,

intensitate etc.);
5. radiaţie nucleară (energie, grad de ionizare, flux etc.);
6. parametri chimici (concentraţie, pH, umiditate, tipul moleculelor sau
ionilor, viteză de reacţie etc.);
7. mărimi electrice şi magnetice (tensiune, curent, fază, frecvenţă, inducţie
magnetică, intensitate etc.).
Radiaţie
electro-
Parametri magnetică Mărimi
chimici mecanice
Mărimi Mărimi
magnetice termice
Senzor
Mărimi
electrice
Figura 1.2. Fenomene convertite în mărimi electrice cu ajutorul senzorilor
1.2. Clasificare
În principiu, elementul de bază în construcţia unui senzor este

elementul sensibil. Acesta are rolul de a culege informaţii din mediul
înconjurător, deci de a sesiza fenomenul de măsurat. Pe lângă elementul
sensibil, senzorul cuprinde alte elemente adiancente, cu rol de fixare, de
protecţie, de conectare la circuitul de măsurare etc
După schema electrică echivalentă (sau după natura mărimii de
ieşire), senzorii sunt clasificaţi în două categorii:
1. senzori activi şi
2. senzori pasivi.
De asemeni, în funcţie de tipul semnalului pe care îl generează sub
acţiunea mărimii de măsurat (măsurandului), senzorul poate fi analogic sau
3
numeric. În cazul senzorilor analogici, la ieşire se obţine un semnal electric

continuu sau o variaţie continuă a unui parametru caracteristic, similare cu
variaţiile mărimii de măsurat. Senzorii numerici furnizează un semnal
discontinuu, o succesiune de impulsuri sau o combinaţie de tensiuni care,
după un anumit cod, reprezintă modul de variaţie a mărimii de măsurat.
1.2.1. Senzori activi (de tip generator)
Sub acţiunea unei mărimi de măsurat, aceşti senzori se comportă ca

surse de semnal electric, mărimea lor de ieşire fiind variaţia unei sarcini, a
unei tensiuni sau a unui curent electric. Cu alte cuvinte, principiul lor de
funcţionare are la bază efecte fizice care asigură conversia directă în energie
electrică (tensiune, curent, sarcină) a unei forme de energie proprie
măsurandului. Cele mai importante efecte care stau la baza funcţionării
senzorilor activi sunt prezentate în tabelul 1.1.
Tabel 1.1. Principii de bază pentru senzorii activi

Mărime măsurată Efect utilizat Mărime de ieşire
Temperatură Termoelectric Tensiune
Flux de radiaţii optice Piroelectric Sarcină
Fotoemisiv Curent
Fotovoltaic Tensiune
Fotoelectromagnetic Tensiune
Forţă, presiune, acceleraţie Piezoelectric Sarcină
Viteză Înducţie Tensiune
electromagnetică
Înducţie magnetică, poziţie Efect Hall Tensiune
1.2.2. Senzori pasivi (de tip parametric)
Senzorii pasivi se comportă ca impedanţe, ale căror parametri

caracteristici (rezistenţă, inductanţă sau capacitate) sunt sensibili la valorile
măsuranzilor. Variaţia impedanţei poate fi datorată acţiunii mărimii de
măsurat fie asupra caracteristicilor geometrice sau dimensionale ale
elementului sensibil, fie asupra proprietăţilor electrice ale materialului
acestuia (rezistivitate, permeabilitate magnetică, constantă dielectrică). În
cazul variaţiei parametrilor geometrici sau dimensionali, elementul sensibil
4
este constituit sub forma unui element mobil sau deformabil sub acţiunea
măsurandului.
În tabelul 1.2 se prezintă principiile fizice cele mai importante care
stau la baza funcţionării senzorilor pasivi, cât şi principalele materiale
utilizate.
Tabel 1.2. Senzori pasivi: principii fizice şi materiale

Măsurand Caracteristică electrică Material utilizat
sensibilă
Temperatură Rezistivitate Metale, semiconductoare
Temperatură foarte joasă Constantă dielectrică Sticle
Flux de radiaţii optice Rezistivitate Semiconductoare
Deformaţie Rezistivitate Aliaje de Ni, Si dopat
Permeabilitate magnetică Aliaje feromagnetice
Poziţie Rezistivitate Materiale magnetorezistive
Umiditate Rezistivitate LiCl
Constantă dielectrică Al2O3, polimeri
Nivel Constantă dielectrică Lichide izolante
Impedanţa unui senzor pasiv şi variaţiile sale se pot măsura doar

incluzând senzorul într-un circuit electric alimentat de la o sursă exterioară.
Aşadar, aceşti senzori sunt asociaţi cu circuite de adaptare (traducere) care
au rolul de a converti variaţiile de impedanţă ale elementului sensibil în
semnale electrice. Această structură senzor pasiv – circuit de adaptare este
cunoscută în general sub denumirea de traductor. Principalele tipuri de
circuite de adaptare a informaţiei obţinute de la senzorii pasivi, care se
utilizează în aplicaţii sunt:
1. montaj potenţiometric: conectarea în serie cu senzorul pasiv a unei surse
şi a unei impedanţe care poate fi sau nu de acelaşi tip cu senzorul;
2. punte de impedanţe: echilibrul acestei punţi permite determinarea
impedanţei senzorului sau dezechilibrul punţii este o măsură a variaţiei
acestei impedanţe;
3. circuit oscilant: senzorul este o componentă a unui oscilator la care
frecvenţa este fixată de valoarea impedanţei elementului sensibil;
4. amplificator operaţional: impedanţa senzorului este unul dintre
elementele care stabilesc câştigul amplificatorului.
5
Alegerea circuitului de adaptare este o etapă foarte importantă în

realizarea unui traductor, de ea depinzând caracteristici de bază ale acestuia:
sensibilitate, liniaritate, imunitate la anumiţi parametri de influenţă etc.
1.2.3. Senzori compuşi
Există situaţii în care, din motive de cost sau uşurinţă în exploatare,

se utilizează senzori care nu sunt sensibili la mărimea de măsurat, ci la unul
din efectele sale. În acest caz, un aşa-numit corp de probă este supus la
acţiunea măsurandului şi realizează o primă conversie a acestuia într-o
mărime neelectrică, pe care apoi un senzor adecvat (activ sau pasiv) o
converteşte într-un semnal de natură electrică. Acest ansamblu corp de
probă – senzor este cunoscut sub denumirea de senzor compus (figura 1.3).
Măsurand Semnal
primar Măsurand electric
Corp de probă secundar Senzor
Senzor compus
Figura 1.3. Structura unui senzor compus
Senzorii compuşi sunt utilizaţi în special în cazul măsurării

mărimilor mecanice; acestea determină deformări sau deplasări ale unor
corpuri de probă, la care sunt sensibili senzorii asociaţi. De exemplu, o
presiune poate fi măsurată prin intermediul unei membrane (care joacă rolul
corpului de probă); deformarea ei este convertită într-o mărime de natură
electrică de către un senzor tensorezistiv. De asemeni, membrana unui
microfon electrodinamic este un corp de probă al cărui mişcare este
determinată de presiunea acustică.
Dependenţa măsurand secundar – măsurand primar, caracteristică
unui corp de probă, este în general liniară, mai ales în cazul măsurării
deplasărilor şi deformaţiilor (cu condiţia să nu fie depăşită limita de
elasticitate a corpului de probă). Performanţele senzorilor compuşi sunt
stabilite printr-o etalonare globală a ansamblului corp de probă – senzor,
6
având în vedere că asocierea celor două elemente poate modifica parametrii

lor individuali.
1.2.4. Sistem senzorial
Noţiunea de sistem senzorial se referă la ansamblul elementelor care

permite obţinerea unor informaţii clare despre mărimea de măsurat,
informaţii care pot fi ulterior afişate, analizate sau utilizate în scopul
comandării unor dispozitive. Aşadar, un sistem senzorial (mai cunoscut sub
denumirea de sistem sau lanţ de măsurare) include (figura 1.4):
1. unul sau mai mulţi senzori (care pot fi sau nu de acelaşi tip), însoţiţi,
dacă este cazul, de circuite corespunzătoare de adaptare (traducere); la
ieşirea acestora se obţin semnale electrice.
2. un etaj de condiţionare a semnalelor generate de senzori, având ca scop
pregătirea acestor semnale în vederea prelucrării lor ulterioare cu
ajutorul unor sisteme numerice. Principalele funcţii realizate în această
etapă sunt: amplificare, atenuare, izolare galvanică, filtrare, liniarizare,
corecţii, conversie curent – tensiune, multiplexare, conversie analog-
numerică.
3. un etaj de prelucrare numerică a semnalelor obţinute la ieşirea blocului
de condiţionare. La acest nivel sunt utilizate calculatoare,
microprocesoare, microcontrolere ce îndeplinesc funcţii ca: gestiunea
achiziţiei de date, procesare de date (filtrare numerică, corecţii de zero,
de sensibilitate, de neliniaritate etc.), analiză de date (analiză spectrală,
analiză statistică etc.), prezentarea rezultatelor, comanda unor elemente
de control etc..
mărime semnal semnal cod

neelectrică electric electric numeric
de intrare Senzor numeric Bloc
Bloc
condiţionare prelucrare
Element
sensibil
Adaptor
numerică
Figura 1.4. Arhitectura generală a unui sistem senzorial (de măsurare)
7
1.2.5. Senzori integraţi
O etapă importantă în evoluţia senzorilor a reprezentat-o apariţia

senzorilor integraţi. Aceştia sunt componente realizate prin tehnici ale
microelectronicii, care includ pe acelaşi substrat (de obicei din Si) senzorul
propriu-zis (simplu sau compus) şi circuitele electronice de adaptare şi
condiţionare a semnalului (figura 1.5).
substrat din Si
mărime semnal
neelectrică electric
de intrare Senzor Bloc adaptare de ieşire
simplu/compus + condiţionare
Figura 1.5. Structura de principiu a unui senzor integrat
Această integrare aduce o serie de avantaje în comparaţie cu senzorii

clasici:
- miniaturizare;
- cost redus, datorită tehnologiei de producţie foarte dezvoltate;
- creşterea fiabilităţii, prin eliminarea numeroaselor conexiuni
sudate;
- protecţie mai bună împotriva semnalelor parazite, datorită
condiţionării semnalului chiar lângă sursă;
- posibilitatea realizării unor compensări (de exemplu cu variaţia
temperaturii mediului ambiant), prin includerea în aceeaşi
structură a unor senzori suplimentari;
- consum de putere redus.
În acelaşi timp, însă, senzorii integraţi au şi o serie de limitări şi
dezavantaje:
- utilizarea siliciului impune o limitare domeniului temperaturii de
lucru la aproximativ -50  +150C. De asemeni, Si nu are o serie
de proprietăţi (de exemplu, piezoelectricitatea) sau unele
proprietăţi sunt restrânse într-o anumită gamă (de exemplu,
efectul fotoelectric în domeniul infraroşu);
8
- realizarea senzorilor integraţi pune, în anumite situaţii, probleme

delicate din cauza plasării senzorului în apropierea părţii
electronice asociate. De exemplu, carcasa senzorului trebuie să
permită contactul elementului sensibil cu un mediu exterior
adesea ostil (de exemplu, la măsurarea pH-ului, a debitului, a
diverselor compoziţii gazoase), protejând în acelaşi timp
componentele electronice;
- posibilitatea apariţiei unor cuplaje parazite, cauzate de densitatea
mare pe structura integrată.
În ciuda acestor inconveniente (dintre care unele pot fi evitate),
senzorii integraţi au o răspândire tot mai mare, găsindu-şi aplicaţii în
numeroase domenii, de la construcţia de automobile la tehnologia medicală
şi industria bunurilor de larg consum.
Realizarea senzorilor integraţi are la bază tehnologii utilizate în
microelectronică, cum ar fi: tehnologia planară, tehnologia straturilor
subţiri, tehnologia straturilor groase, tehnologia microprelucrărilor.
Cercetările actuale urmăresc utilizarea de noi tehnologii şi materiale în
realizarea senzorilor integraţi, care să permită îmbunătăţirea performanţelor
şi extinderea domeniilor de utilizare ale acestor senzori.
S-au realizat până în prezent numeroase tipuri de senzori integraţi,
dintre care se pot menţiona: senzori de temperatură (AD590-Analog
Devices, LM135-National Semiconductor, STP35-Texas Înstruments),
senzori tensorezistivi, senzori bazaţi pe tranzistoare cu efect de câmp
(senzori FET-Hall, senzori GASFET, senzori ISFET), senzori cu unde
acustice de suprafaţă, senzori fotorezistivi, fotodiode, fototranzistoare etc.
În cazul senzorilor compuşi integraţi, corpul de probă este realizat
plecând de la substratul de Si care constituie suportul întregului senzor
integrat. Proprietăţile mecanice excelente ale cristalului de Si permit
realizarea unor corpuri de probă sub formă de lamelă (figura 1.6.a) sau de
membrană (figura 1.6.b), prin tehnica microprelucrărilor chimice.
9
a. tip lamelă b. tip membrană

Figura 1.6. Realizarea unui corp de probă integrat
Se pot realiza astfel senzori integraţi pentru acceleraţie (folosind

corpul de probă de tip lamelă) şi senzori integraţi de presiune (folosind
corpul de probă de tip membrană). În figura 1.7 se prezintă un exemplu de
senzor integrat pentru măsurarea acceleraţiei; deformarea corpului de probă
lamelă-masă seismică este convertită în semnal electric prin intermediul
unui strat piezoelectric de ZnO.
amplificator rezistenţă de
MOS sarcină
bornă de
ieşire (drenă) bornă de
alimentare
ZnO
piezoelectric
p+
p+
corp de
probă Si
Figura 1.7. Structura de principiu a unui senzor integrat de acceleraţie
1.2.6. Senzori inteligenţi
În prezent, se urmăreşte realizarea unor aşa-numiţi senzori

inteligenţi. Deşi această noţiune este exagerată în cazul senzorilor în
comparaţie cu inteligenţa umană, ea se referă la posibilitatea obţinerii direct
10
de la senzor a informaţiei finale asupra mărimii urmărite. Senzorul inteligent

cuprinde, aşadar, pe aceeaşi structură, următoarele elemente (figura 1.8):
1. senzorul principal, specific mărimii de măsurat şi care poate fi
identificat printr-un cod stocat într-o memorie PROM;
2. senzori secundari, cu rolul de a compensa influenţele unor mărimi
perturbatoare asupra senzorului principal;
3. circuitele de adaptare şi condiţionare aferente acestor senzori, care
permit în final obţinerea sub formă numerică a informaţiilor furnizate de
senzori;
4. un microprocesor, care îndeplineşte funcţiile de gestionare a achiziţiei
datelor şi de prelucrare numerică a informaţiei;
5. o interfaţă de comunicaţie bidirecţională, care asigură conectarea
senzorului la alte dispozitive de prelucrare numerică (de exemplu, un
calculator central) sau la alţi senzori inteligenţi printr-o magistrală
externă de comunicaţie.
interfaţă de comunicaţie
bidirecţională
mărimi de
influenţă
Senzori secundari
Circuite Microprocesor
adaptare +
condiţionare
măsurand Senzor + CAN PROM
principal programe
RAM
PROM
magistrală internă magistrală externă de

comunicaţie
Figura 1.8. Structura de principiu a unui senzor inteligent
Dezvoltarea în viitor a senzorilor inteligenţi este garantată de

avantajele pe care le oferă: miniaturizarea lanţului de măsurare,
configurabilitate la distanţă, reducerea influenţelor exterioare lanţului,
repartiţia sarcinilor de lucru etc.
11
1.3. Caracteristici
La alegerea şi utilizarea unui senzor în cadrul unui sistem de

măsurare este importantă cunoaşterea şi interpretarea corectă a
specificaţiilor sale tehnice. Aceste specificaţii se referă la comportarea
senzorului în raport cu mărimea de intrare, cu etajul următor din structura
sistemului şi cu mediul înconjurător. Importanţa fiecărui parametru
caracteristic al unui senzor depinde de mărimea de măsurat şi de sistemul de
măsurare proiectat. De exemplu, în cazul unui senzor de presiune destinat
măsurărilor într-un domeniu îngust de valori este mai important un
histerezis mic decât o liniaritate ridicată.
Performanţele tehnice ale unui senzor cuprind două categorii de
specificaţii:
1. specificaţii pentru regim static (precizie, rezoluţie, sensibilitate,
liniaritate, repetabilitate). Caracteristicile şi performanţele de regim
static se referă la situaţia în care măsurandul are o valoare constantă sau
foarte lent variabilă în timp.
2. specificaţii pentru regim dinamic, privind comportarea în domeniul timp
(constanta de timp, timpul de creştere, timpul de stabilizare, timpul
mort) şi comportarea în domeniul frecvenţă (banda de frecvenţă,
frecvenţa proprie, factorul de amortizare). Regimul dinamic al unui
senzor corespunde funcţionării acestuia în situaţia în care mărimea de
măsurat şi semnalul de ieşire variază rapid în timp.
1.3.1. Calibrarea senzorilor
Specificaţiile senzorilor sunt determinate de către producător prin

operaţia de calibrare, care permite reprezentarea sub formă grafică sau
algebrică a relaţiei dintre valorile mărimii de măsurat şi cele ale mărimii de
ieşire a senzorului, ţinând cont de toţi parametrii adiţionali care pot influenţa
răspunsul acestuia.
În cazul regimului static, măsurandul este o mărime unică, iar
senzorul se consideră insensibil sau nesupus la acţiunea unor mărimi de
influenţă (de exemplu, măsurarea distanţelor fixe cu ajutorul unui senzor
potenţiometric care nu depinde de temperatură, măsurarea unei forţe
12
constante cu senzori compensaţi termic, măsurarea unei temperaturi stabile

cu ajutorul unui termocuplu). În aceste cazuri, se realizează o calibrare
simplă, care poate fi:
1. directă, când diversele valori ale măsurandului sunt furnizate de către
etaloane sau elemente de referinţă a căror valoare este cunoscută cu
precizie ridicată;
2. indirectă (prin comparaţie), când se utilizează un senzor de referinţă
supus la acţiunea măsurandului în acelaşi timp şi în aceleaşi condiţii cu
senzorul de calibrat.
În regim dinamic, atunci când nu se poate defini răspunsul
senzorului doar prin intermediul mărimii de măsurat, trebuie specificată
printr-o calibrare multiplă influenţa fiecărui parametru adiţional.
Dacă senzorul este constituit din componente care pot avea histerezis
(mecanic sau magnetic), valoarea mărimii de ieşire nu depinde doar de
valoarea actuală a măsurandului, ci şi de valorile sale anterioare. În acest
caz, calibrarea presupune analiza senzorului supus la o succesiune ordonată
de valori ale mărimii de măsurat (din origine, în ordine crescătoare, apoi în
ordine descrescătoare, de la valoarea maximă obţinută).
Viteza de variaţie a măsurandului (cu alte cuvinte, spectrul său de
frecvenţă) este un parametru care afectează funcţionarea oricărui senzor.
Răspunsul în frecvenţă al senzorului defineşte domeniul de frecvenţă în
interiorul căruia răspunsul este optim şi cel mai adesea independent de
viteza de variaţie; în exteriorul acestui domeniu performanţele senzorului
scad în funcţie de frecvenţă. În aceste condiţii, este necesară realizarea unei
calibrări duble: pe de o parte se determină răspunsul în frecvenţă al
senzorului (obţinut prin măsurarea mărimii de ieşire în funcţie de frecvenţa
măsurandului având amplitudine constantă), iar pe de altă parte se determină
răspunsul senzorului în funcţie de amplitudinea măsurandului (la frecvenţă
fixă).
De asemeni, proprietăţile fizice ale suportului material al
măsurandului pot constitui parametri determinanţi pentru răspunsul
senzorului (de exemplu, capacitatea unui senzor capacitiv de nivel nu
depinde numai de înălţimea lichidului, dar şi de constanta sa dielectrică). În
13
acest caz, se recomandă realizarea unei calibrări separate a senzorului pentru

fiecare material cu care va fi utilizat.
În mod asemănător se procedează în cazul unor mărimi de influenţă.
De exemplu, dacă temperatura mediului modifică răspunsul senzorului, se
realizează o serie de calibrări la temperatură constantă şi repetate pentru
diverse temperaturi în domeniul de funcţionare posibil.
Pentru fiecare parametru care influenţează răspunsul senzorului,
producătorul furnizează date de calibrare corespunzătoare, pe baza cărora
utilizatorul poate determina prin interpolare mărimea de ieşire în condiţii
experimentale.
1.3.2. Mărimi de influenţă
Mărimile de influenţă sunt acele mărimi fizice “parazite” ale căror

variaţii pot conduce la modificarea mărimii electrice de ieşire a senzorului,
care nu poate fi deosebită de acţiunea măsurandului. Principalele mărimi de
influenţă la care poate fi sensibil senzorul sunt:
1. temperatura, care modifică caracteristicile electrice, mecanice şi
dimensionale ale componentelor senzorului;
2. presiunea, acceleraţia şi vibraţiile care pot crea în anumite
elemente componente ale senzorului deformaţii ce afectează
răspunsul acestuia;
3. umiditatea, la care pot fi sensibile anumite proprietăţi electrice ca
rezistivitatea sau constanta dielectrică şi care poate deteriora
izolarea electrică între componente ale senzorului sau între senzor
şi alte elemente de circuit;
4. câmpuri magnetice variabile sau statice; primele generează
tensiuni electromotoare de inducţie care se suprapun peste
semnalul util, iar celelalte pot modifica o proprietate electrică (de
exemplu, rezistivitatea);
5. frecvenţa şi amplitudinea tensiunii de alimentare.
În scopul evitării influenţei acestor mărimi asupra semnalului de
ieşire al senzorului, se urmăreşte: fie reducerea importanţei mărimilor de
influenţă la nivelul senzorului prin protejarea acestuia cu o izolare adecvată
(de exemplu, blindaj magnetic, ecran electrostatic, suport antivibrator); fie
14
stabilizarea mărimilor de influenţă la valori perfect cunoscute şi etalonarea

senzorului în aceste condiţii (de exemplu, cu surse de alimentare
regulatoare, incinte termostatate); fie utilizarea unor circuite care permit
compensarea influenţei mărimilor parazite.
1.3.3. Caracteristici metrologice
În continuare sunt prezentaţi principalii parametri caracteristici ai

unui senzor.
1.3.3.1. limitele de utilizare
Fenomenele de natură mecanică, termică sau electrică la care este

supus un senzor pot conduce, atunci când depăşesc anumite nivele impuse,
la modificarea caracteristicilor senzorului, specificate de producător. Pentru
a evita acest lucru, este importantă cunoaşterea unor limite de utilizare a
senzorului, definite prin următorii parametri:
- domeniul nominal de utilizare: corespunde condiţiilor normale de
funcţionare a senzorului; limitele sale sunt valorile extreme care pot
fi atinse permanent de mărimea de măsurat, mărimile fizice asociate
sau mărimile de influenţă, fără a fi afectate specificaţiile senzorului;
- domeniul de nedeteriorare: dacă valorile măsurandului, mărimilor
fizice asociate sau mărimilor de influenţă depăşesc limitele acestui
domeniu, caracteristicile metrologice ale senzorului suferă o
modificare reversibilă (specificaţiile senzorului revin la valorile
iniţiale atunci când condiţiile de funcţionare redevin cele ale
domeniului nominal de utilizare);
- limitele de distrugere: depăşirea acestor limite de către valorile
măsurandului, mărimilor fizice asociate sau mărimilor de influenţă
conduce la modificare de natură ireversibilă a caracteristicilor
senzorului;
- domeniul de măsurare: este definit prin diferenţa valorilor extreme
ale mărimii de măsurat, în cadrul căreia funcţionarea senzorului
satisface specificaţiile date. Adesea, domeniul de măsurare coincide
cu domeniul nominal de utilizare a unui senzor.
15
Pentru exemplificare, în tabelul 1.3 sunt prezentate specificaţiile

limitelor de utilizare pentru un senzor de forţă piezorezistiv tip N556-1.
Domeniul de măsurare (D.M.) al senzorului este 1 daN.
Tabel 1.3. Specificaţii pentru limitele de utilizare ale unui senzor

Specificaţii Măsurand Temperatura
Domeniu nominal 1 daN 0 ÷ 60ºC
Domeniu de nedeteriorare 1.5•D.M. -20 ÷ 100ºC
Limita de distrugere 3•D.M. -50 ÷ 120ºC
1.3.3.2. sensibilitatea
Sensibilitatea reprezintă una din specificaţiile cele mai importante

ale unui senzor şi se defineşte ca variaţia mărimii de ieşire a senzorului (y)
raportată la variaţia mărimii măsurate care a provocat-o (x). Ea poate fi
indicată ca sensibilitate absolută:
y
S (1.1)
x
sau ca sensibilitate relativă:
y y
S  100 [%] (1.2)
x x
Pentru diverşi senzori bazaţi pe acelaşi principiu de funcţionare,

valoarea sensibilităţii poate depinde de natura materialului sau de
dimensiunile elementului sensibil. De asemenea, sensibilitatea poate fi
funcţie de parametri adiţionali care influenţează răspunsul senzorului
(tensiunea şi frecvenţa de alimentare, temperatura mediului ambiant,
frecvenţa variaţiilor măsurandului). De exemplu, în cazul senzorilor
tensometrici din materiale semiconductoare, la care temperatura este un
parametru important, trebuie specificată pe de o parte sensibilitatea la o
temperatură dată (de exemplu, 25ºC), iar pe de altă parte coeficientul de
variaţie termică:
16
1 dS
(1.3)
S dT
Frecvenţa de variaţie a mărimii de măsurat este un alt parametru care
poate influenţa sensibilitatea; aceasta depinde de modul de funcţionare a
senzorului: funcţionare statică sau dinamică.
La senzorii cu caracteristici statice liniare, sensibilitatea este
constantă pe întreg domeniul de măsurare. În cazul senzorilor cu
caracteristici de conversie neliniare, sensibilitatea absolută nu este constantă
pe întreg domeniul de măsurare şi se pot defini numai valori locale ale
sensibilităţii:
dy y
Si   (1.4)
dx x  xi x x  xi
unde Δy, Δx sunt variaţii reduse în jurul unui punct de coordonate (xi, yi).
De exemplu, în cazul unui senzor termorezistiv de tip Pt100 (cu un
coeficient de variaţie a rezistivităţii α=0.00385 Ω/ºC), sensibilitatea are
valori diferite la diverse temperaturi (tabelul 1.4).
Tabel 1.4. Valorile sensibilităţii în funcţie de temperatură la un senzor tip Pt100

Temperatura [ºC] 0 50 100 150 200 250 300 400
S•10-3 [Ω/ºC] 3.9 3.9 3.8 3.7 3.7 3.6 3.6 3.5
1.3.3.3. liniaritatea
Un senzor este liniar într-un domeniu de măsurare atunci când

sensibilitatea sa nu depinde de valoarea măsurandului. Cu alte cuvinte, în
plaja de liniaritate a senzorului semnalul la ieşirea acestuia este proporţional
cu variaţia măsurandului. Rezultă astfel o prelucrare uşoară a semnalului în
lanţul de măsurare. În cazul în care senzorul nu este liniar, fie se urmăreşte
utilizarea senzorului pe anumite zone ale caracteristicii în care neliniarităţile
sunt reduse, fie se introduc în cadrul sistemului de măsurare circuite de
corecţie (de liniarizare) a caracteristicii senzorului.
Abaterea de la liniaritate a caracteristicilor senzorilor este evaluată
cu ajutorul erorii de neliniaritate:
17
y max
n   100 [%] (1.5)
y max  y min
O altă eroare care poate fi evidenţiată din caracteristica senzorului

este eroarea de histerezis, care apare atunci când se obţin două valori
diferite ale semnalului de ieşire pentru aceeaşi valoare a mărimii de intrare,
în funcţie de sensul de variaţie a măsurandului (crescător sau descrescător).
1.3.3.4. precizia
Precizia este indicată, în general, prin eroarea senzorului. Ţinând

cont de toate sursele de erori, precizia delimitează un interval în jurul valorii
măsurate în interiorul căruia se găseşte valoarea adevărată a măsurandului.
Cauzele erorilor care intervin asupra măsurării sunt multiple şi
complexe. O clasificare generală a acestora evidenţiază: erori sistematice şi
erori accidentale.
Erorile sistematice au valori constante sau lent variabile pentru
valori date ale mărimii de măsurat, introducând un decalaj constant între
valoarea adevărată şi valoarea măsurată. Erorile sistematice sunt cauzate, în
general, de cunoaşterea incompletă a caracteristicilor sistemului de măsurare
sau de utilizarea sa necorespunzătoare. Câteva tipuri de erori sistematice
sunt:
1. erori asupra mărimilor de referinţă (de exemplu, valoarea eronată a
temperaturii de referinţă a unui termocuplu cauzată de un amestec apă –
gheaţă impură);
2. erori asupra caracteristicilor senzorului: eroare asupra sensibilităţii sau
curbei de etalonare (de exemplu, datorate îmbătrânirii componentelor
senzorului sau acţiunii unor agenţi chimici);
3. erori datorate condiţiilor de utilizare: eroare de rapiditate (orice
măsurare realizată înaintea atingerii regimului permanent este afectată
de erori), eroare de interacţiune (chiar prezenţa senzorului poate afecta
valoarea măsurandului).
Erorile accidentale au un caracter aleator, atât ca apariţie, cât şi ca
valoare şi sens. Dacă erorile sistematice pot fi determinate prin calcul sau
procedee experimentale, erorile accidentale pot fi doar estimate pe baza
18
unor măsurări repetate. Principalele tipuri de erori accidentale care pot

afecta funcţionarea unui senzor sunt:
1. eroare de mobilitate: variaţia măsurandului sub o anumită valoare nu
conduce la o variaţie măsurabilă a mărimii de ieşire a senzorului (de
exemplu, în cazul unui senzor potenţiometric bobinat, deplasarea
cursorului pe o distanţă mai mică decât cea dintre două spire poate să nu
genereze o variaţie a rezistenţei electrice);
2. eroare de histerezis: răspunsul unui senzor poate depinde de sensul de
variaţie al mărimii de măsurat;
3. erori datorate unor semnale parazite: cuplaje, variaţii ale tensiunii de
alimentare, zgomot de fond produs de agitaţia termică a purtătorilor de
sarcină în rezistenţe sau componente active de circuit etc.;
4. erori de influenţă: dacă variaţiile mărimilor de influenţă au fost neglijate
în operaţia de calibrare, acţiunea lor poate conduce la erori mari, ce nu
pot fi compensate.
Erorile accidentale pot fi reduse în anumite situaţii printr-o serie de
metode adecvate, cum ar fi: protecţia senzorului şi a celorlalte elemente ale
sistemului de măsurare faţă de posibile cauze de erori (menţinerea la
temperatură şi umiditate controlată, stabilizarea tensiunii de alimentare,
suporturi antivibratorii, ecranări, legături la masă corespunzătoare etc.),
utilizarea unor moduri de funcţionare adecvate (măsurare diferenţială,
detecţie sincronă etc.).
Indicatorul principal pentru exprimarea cantitativă a preciziei unui
senzor îl reprezintă eroarea admisibilă sau tolerată, obţinută prin însumarea
mai multor componente de eroare, unele sistematice, care reflectă justeţea
senzorului, iar altele aleatoare, prin care se evidenţiază fidelitatea sa.
Trebuie menţionat că anumite erori pot fi specificate separat, fiind în strânsă
legătură cu particularităţi ale caracteristicii senzorului (de exemplu, eroarea
de neliniaritate, eroarea de histerezis).
Erorile admisibile sunt exprimate sub formă normată, putându-se
defini:
1. eroarea absolută:
x  a (1.6)
19
unde a este o constantă a cărei valoare este exprimată în aceleaşi unităţi ca şi

măsurandul;
2. eroarea relativă:
x
xr   100  b [%] (1.7)
x
3. eroarea raportată:
x
x R   100  c [%] (1.8)
xc
unde xc este o valoare convenţională care poate fi: limita superioară a

domeniului de măsurare (xmax), atunci când limita inferioară este zero;
diferenţa celor două limite (xmax-xmin); valoarea nominală a măsurandului.
Eroarea tolerată se exprimă sub forma unor combinaţii de erori
relative şi raportate, în cazurile când eroarea are atât o componentă
constantă independentă de valoarea măsurată, cât şi o componentă variabilă
liniar cu aceasta:
xmax
xt  (b  c ) [%] (1.9)
x
1.3.3.5. pragul de sensibilitate
Pragul de sensibilitate se defineşte ca cea mai mică variaţie a

mărimii de măsurat care determină o modificare sesizabilă a mărimii de la
ieşirea senzorului. Pragul de sensibilitate este un parametru important pentru
senzorii analogici, fiind influenţat de fluctuaţiile datorate perturbaţiilor
interne şi externe (zgomotul propriu componentelor electrice, frecările
statice, jocurile în angrenaje la dispozitive mecanice etc.).
Rezoluţia reprezintă intervalul maxim de variaţie a mărimii de intrare
necesar pentru a determina apariţia unui salt al semnalului de ieşire.
Rezoluţia este un parametru important îndeosebi în cazul senzorilor
numerici, a căror caracteristică statică variază în trepte. În acest caz,
rezoluţia este reprezentată de intervalul de cuantificare al mărimii de intrare
20
şi, pentru un domeniu de măsurare fixat, stabileşte numărul de nivele

analogice care pot fi reprezentate de semnalul de ieşire.
Rezoluţia unui senzor poate să nu fie aceeaşi pe întreg domeniul de
măsurare; în aceste situaţii, se consideră fie valoarea maximă a rezoluţiei,
fie o valoare medie (atunci când diferenţele nu sunt prea mari).
1.3.3.6. timpul de răspuns
Timpul de răspuns este o măsură a rapidităţii senzorului, adică a

vitezei cu care mărimea de la ieşirea sa urmăreşte în timp variaţiile
măsurandului. Altfel spus, timpul de răspuns este intervalul de timp scurs
din momentul apariţiei unei variaţii a mărimii de măsurat până când variaţia
mărimii de ieşire a senzorului devine egală cu o limită fixată convenţional
(ε% din valoarea finală). Aşadar, timpul de răspuns trebuie specificat
împreună cu această limită convenţională: tr(ε%).
Un senzor este cu atât mai rapid cu cât timpul său de răspuns este
mai mic. Timpul de răspuns, caracteristică a vitezei de evoluţie a regimului
tranzitoriu, poate fi exprimat în funcţie de parametrii care determină acest
regim.
Pe lângă tr(ε%) se definesc şi alţi parametri care permit cunoaşterea
mai exactă a regimului tranzitoriu (figura 1.9). În cazul în care variaţia
măsurandului determină o creştere a valorii mărimii de ieşire a senzorului,
se definesc:
1. timpul de întârziere la urcare (tîu): timpul necesar pentru ca mărimea de
ieşire y să ajungă de la valoarea iniţială la 10% din variaţia sa totală
(valoarea de regim permanent);
2. timpul de urcare (tu): intervalul de timp corespunzător creşterii mărimii
de ieşire de la 10% la 90% din variaţia totală;
3. constanta de timp (τ): caracteristică specifică elementelor de ordin întâi,
reprezintă intervalul de timp în care mărimea de ieşire atinge 63.3% din
valoarea de regim permanent;
4. coeficientul de amortizare (β) şi frecvenţa proprie (ω0): determină
timpul de răspuns al elementelor de ordinul al doilea.
În cazul scăderii valorii mărimii de ieşire a senzorului sub acţiunea
măsurandului, se definesc în mod asemănător:
21
1. timpul de întârziere la cădere (tîc)

2. timpul de cădere (tc)
x
xo
t
y
yo
1
0,9
0,1 t
0
t iu t u t ic t c
Figura 1.9. Intervale de timp caracteristice regimului tranzitoriu
1.3.3.7. repetabilitatea
Repetabilitatea este calitatea senzorului de a furniza la ieşire acelaşi

semnal atunci când la intrare se aplică repetat aceeaşi mărime de măsurat, în
condiţii identice. Eroarea de repetabilitate este determinată realizând cel
puţin două calibrări succesive; cauzele sale principale se regăsesc în erorile
aleatoare din etapa de etalonare.
1.4. Tehnologii moderne de realizare a senzorilor
În prezent, un număr încă relativ mare de senzori au dimensiuni care

adesea depăşesc 10 cm. În general, aceste dimensiuni sunt determinate nu
atât de elementul sensibil, cât de componentele adiacente (de fixare, de
protecţie, de conectare la circuitul de măsurare etc.). Astfel de senzori, care
pot fi uneori şi foarte scumpi, îşi vor găsi în viitor tot mai greu aplicaţii,
doar în anumite domenii, cum ar fi măsurări de procese industriale,
tehnologii de producţie sau robotică.
Evoluţia actuală în domeniul senzorilor este marcată de tendinţa de
realizare a unor elemente în miniatură, ale căror avantaje sunt evidente. În
22
primul rând, aceşti senzori pot fi utilizaţi pentru măsurări în spaţii mici,
inaccesibile senzorilor clasici. De asemeni, noii senzori miniaturizaţi au o
influenţă mult mai mică asupra parametrilor măsuraţi, permiţând în acelaşi
timp obţinerea unor precizii mai mari de măsurare.
Apariţia şi dezvoltarea senzorilor miniaturizaţi a fost posibilă
datorită evoluţiei rapide a tehnologiei microelectronice. Cu toate acestea,
industria senzorilor nu înregistrează în prezent acelaşi ritm de dezvoltare cu
industria microelectronică. Principalele tehnici care stau la baza realizării
acestor senzori sunt:
1. tehnologia semiconductorilor, bazată în special pe utilizarea siliciului;
2. tehnologia straturilor subţiri;
3. tehnologia straturilor groase.
În plus, există şi alte procedee moderne utilizate la realizarea
senzorilor, cum ar fi: tehnologia fibrelor optice, mecanica de precizie,
tehnologia microundelor, a laserilor, tehnologii biologice.
De asemeni, un rol important în etapa actuală de dezvoltare a
senzorilor îl are conceperea şi utilizarea unor materiale noi. În cazul
senzorilor este deosebit de importantă buna cunoaştere a materialelor ce sunt
sau pot fi folosite, în scopul înţelegerii şi optimizării mecanismului de
detecţie. Dintre materialele cele mai utilizate sau recent încercate la
realizarea senzorilor se pot menţiona: materiale semiconductoare, oxizi şi
nitriţi, sisteme catalitice, materiale ceramice, sticle, polimeri organici,
enzime, microorganisme, celule animale şi vegetale etc. În prezent, industria
senzorilor este continuu stimulată de încercările care se fac atât în ceea ce
priveşte folosirea unor materiale noi, cât şi în îmbunătăţirea tehnologiilor de
fabricaţie.
1.4.1. Senzori realizaţi prin tehnologia semiconductorilor
Siliciul este semiconductorul preferat în dezvoltarea şi realizarea

senzorilor din generaţia actuală, dată fiind experienţa utilizării sale în
industria circuitelor integrate. În prezent, atât siliciul monocristalin, cât şi
cel amorf sau policristalin prezintă un interes deosebit în producţia
senzorilor. În general, straturi subţiri din aceste materiale sunt depuse pe un
23
substrat. Odată cu perfecţionarea tehnicilor de depunere, se aşteaptă şi o

creştere a gradului de utilizare a acestor materiale.
Siliciul s-a dovedit a fi un material foarte potrivit pentru industria
senzorilor datorită efectelor fizice şi chimice pe care le manifestă într-un
domeniu relativ larg de temperatură. În tabelul 1.3 sunt prezentate
principalele efecte caracteristice siliciului şi aplicaţiile lor în industria
senzorilor.
Proprietăţile fizice ale siliciului pot fi utilizate direct pentru a măsura
mărimea dorită. De asemeni, el poate fi foarte util ca substrat pentru senzorii
realizaţi în tehnologia straturilor subţiri. Pe de altă parte, sunt situaţii în care
este necesară modificarea unor parametri caracteristici ai stratului de Si,
cum ar fi concentraţia de impurităţi, nivelul de dopare, dimensiunile fizice
etc.
Tabel 1.5. Efecte ale siliciului utilizate la realizarea senzorilor

Mărime fizică Efect utilizat Aplicaţii
măsurată
Radiaţie Fotorezistiv Fotorezistor
Fotointerfaţă Fotodiodă, fototranzistor
Ionizare Senzor de radiaţie nucleară
Fotocapacitiv Fotocondensator
Mărimi mecanice Piezorezistiv, Senzori de presiune, diodă şi
piezoelectric tranzistor piezoelectrice
Mărimi termice Termorezistiv Termorezistenţă
Termoelectric Termocuplu
Piroelectric Senzor piroelectric
Termojoncţiune Diodă şi tranzistor sensibile
Mărimi magnetice Magnetorezistiv Senzor magnetorezistiv
Hall Senzor Hall
Mărimi chimice Efect de câmp sensibil la ISFET
ioni
Una dintre reuşitele cele mai importante în acest domeniu, care

datează de la începutul anilor 1980, a fost asocierea tehnologiei
microelectronice cu tehnici de realizare a senzorilor, cum ar fi gravarea
anizotropică. A rezultat astfel o nouă tehnologie, cunoscută sub numele de
micromecanică, ce a permis realizarea unor componente mecanice sau
24
mecano – electronice pe bază de Si, cu dimensiuni de ordinul zecilor de μm.

Obiectivul acestei tehnologii constă în fabricarea de microsisteme
complexe, constând din senzori integraţi, elemente de procesare de semnal
şi elemente de comandă. Datorită excelentelor proprietăţi mecanice, siliciul
monocristalin este cel mai utilizat material în realizarea acestor noi senzori.
În plus, el este compatibil cu operaţia de gravare anizotropică, metodă
utilizată în micromecanică. La această metodă viteza de gravare este
puternic dependentă de selectivitate şi de orientarea cristalului. O altă
metodă de realizare a unor senzori prin micromecanică constă în gravarea
selectivă a siliciului pe structuri izolante; în acest caz, se utilizează Si
policristalin sau recristalizat. Prin aceste tehnici ale micromecanicii se pot
realiza structuri tridimensionale care stau la baza realizării senzorilor de
dimensiuni foarte mici, dar şi a altor elemente, cum ar fi micropompe,
microvalve, microîntrerupătoare, microfoane etc.
Utilizarea siliciului policristalin şi a siliciului amorf a condus la noi
aplicaţii în domeniul senzorilor. Cu ajutorul acestor materiale este posibilă
extinderea domeniului de măsurare la temperaturi mai ridicate şi, de
asemeni, compensarea interferenţelor, de exemplu prin reducerea offset-
ului. Sensibilitatea siliciului monocristalin, care este în principal
determinată de rezistivitatea ρ, mobilitatea μ şi timpul de viaţă τ al
purtătorilor minoritari, depinde în mare măsură de alegerea materialului de
plecare. În cazul siliciului policristalin şi al siliciului amorf, sensibilitatea
poate fi modificată substanţial în timpul operaţiei de depunere a stratului.
Fabricarea senzorilor din Si se bazează pe procedee folosite în
tehnologia semiconductorilor, dezvoltate pentru realizarea componentelor
microelectronice. De exemplu, litografia utilizată împreună cu tehnici de
acoperire şi dopare fac posibilă determinarea structurii materialelor până la
dimensiuni de ordinul μm. Tehnica siliciului planar, care domină producţia
de circuite integrate, este un element decisiv şi în fabricarea multor tipuri de
senzori din Si.
Realizarea senzorilor cu ajutorul tehnicilor din industria
semiconductorilor şi a circuitelor integrate conduce la câteva avantaje
esenţiale, cum ar fi:
- preţul redus al senzorilor în producţia de serie;
25
- miniaturizare;
- integrarea monolitică a senzorului şi a circuitelor electronice;
- realizarea de multisenzori (mai mulţi senzori pe acelaşi element).
1.4.2. Senzori realizaţi prin tehnologia straturilor subţiri
Dezvoltarea potenţialului tehnologic al microelectronicii a condus la

realizarea a tot mai mulţi senzori bazaţi pe tehnica straturilor subţiri.
Elementele de bază ale unui senzor de acest tip sunt substratul şi
materialul depunerii. Ca substrat, se folosesc, în general, materiale cum ar fi
sticlă, metal, material plastic, siliciu. Utilizarea acestuia din urmă devine
interesantă atunci când se urmăreşte integrarea senzorului şi a părţii
electronice aferente pe acelaşi suport (substrat). Cele mai utilizate elemente
sunt, însă, sticla, materialele plastice, metalele şi safirul. Straturile sensibile
depuse pe suport sunt realizate dintr-o largă varietate de materiale, de la
metal simplu la materiale semiconductoare, în funcţie de aplicaţie.
În tehnologia straturilor subţiri, grosimea depunerii este cuprinsă
între 0.01 şi 20 μm. Principalele aspecte care se au în vedere la depunerea
straturilor subţiri sunt puritatea, compoziţia, grosimea şi reproductibilitatea
acestora.
Cele mai utilizate metode pentru depunerea straturilor subţiri sunt:
- evaporare termică şi evaporare cu fascicol de electroni;
- suflare de ioni;
- depunere de vapori chimici în diverse forme.
O gamă largă de senzori pot fi realizaţi prin tehnologia straturilor
subţiri, utilizând straturi sensibile corespunzătoare:
- straturi rezistive dependente de temperatură (Pt, Au, Ni, ZnO, PVF2,
NaNO3 etc.);
- straturi sensibile la lumină (CdS, PbSe, Si, HgCdTe, polimeri
organici);
- straturi rezistive sensibile la presiune (aliaje de NiCr, Si etc.);
- straturi piezoelectrice (ZnO);
- straturi sensibile la umiditate (Ta2O5, Al2O3, polistiren);
- straturi sensibile la mărimi chimice (SnO2, ZnO2, Fe2O3, ZrO2);
26
- straturi magnetorezistive (materiale feromagnetice, materiale

magnetice amorfe).
În figura 1.10 se prezintă, ca exemplu, structura de principiu a unui
senzor de gaz realizat prin tehnologia straturilor subţiri. Stratul sensibil este
realizat în acest caz din SnO2, iar substratul din Al2O3. Astfel de senzori
sunt caracterizaţi de o bună sensibilitate şi un timp de răspuns mic. În
acelaşi timp, însă, se urmăreşte îmbunătăţirea stabilităţii şi reproductibilităţii
lor.
Electrod de I=f(Cgaz)
măsurare
(Au) Izolator (Al2O3)
Oxid metalic
(SnO2) Contacte încălzitor
Încălzitor
Figura 1.10. Structura de principiu a unui senzor de gaz realizat prin tehnologia straturilor
subţiri
Tehnologia straturilor subţiri a permis, de asemeni, realizarea unor

senzori de temperatură de dimensiuni mai mici, mai robuşti şi cu un timp de
răspuns mai mic decât al senzorilor clasici, la care elementul sensibil este un
fir metalic. Senzorii termorezistivi cu strat subţire sunt constituiţi dintr-o
peliculă de Pt, NiCr sau alte metale, realizată pe un substrat din sticlă sau
ceramică. Principalul lor inconvenient este limita joasă a temperaturii de
măsurat, datorată apariţiei fenomenului de difuzie la peste 550ºC. Se
realizează şi senzori termoelectrici (termocupluri) cu straturi subţiri (figura
1.11); o astfel de configuraţie este avantajoasă atunci când poate fi fixată pe
o suprafaţă de măsurare plată.
27
strat absorbant
metal 2 metal 1
strat izolator
Figura 1.11. Senzor termoelectric cu straturi subţiri
Fără îndoială, tehnologia straturilor subţiri reprezintă o soluţie

atractivă şi de viitor pentru industria senzorilor. Cercetările în acest domeniu
urmăresc depăşirea inconvenientelor principale ale acestei metode, în scopul
utilizării sale la scară largă în realizarea de noi senzori şi îmbunătăţirea
performanţelor celor existenţi.
1.4.3. Senzori realizaţi prin tehnologia straturilor groase
Tehnologia straturilor groase, compatibilă microelectronicii, a fost

puţin utilizată până de curând la fabricarea senzorilor, în ciuda faptului că
ocupase deja o poziţie stabilă în lumea electronicii, undeva între circuitele
imprimate cu componente discrete şi circuitele integrate. Motivul acestei
neglijări îl constituie lipsa experienţei în utilizarea acestei tehnologii ca
soluţie de realizare a senzorilor, dar şi absenţa unor materiale
corespunzătoare. În prezent, însă, se constată o creştere a importanţei acestei
tehnologii, permiţând realizarea unor senzori de dimensiuni medii, la preţuri
scăzute şi, mai mult, oferind posibilitatea integrării senzorilor cu circuitele
electronice de prelucrare a semnalelor, în vederea obţinerii unor senzori
inteligenţi.
Tehnologia straturilor groase poate fi utilizată doar la fabricarea de
componente pasive (circuite imprimate, rezistori, condensatori);
componentele active trebuie să fie adăugate la substrat într-o etapă
ulterioară, cerinţă caracteristică sistemelor hibride.
În acelaşi timp, dezvoltarea senzorilor bazaţi pe această tehnologie
necesită existenţa unor materiale (paste) compatibile cu tehnologia
straturilor groase, având bune proprietăţi de sensibilitate.
28
Principalele efecte fizico-chimice asociate senzorilor realizaţi prin

tehnologia straturilor groase sunt:
1. variaţia rezistenţei electrice:
- dependenţa liniară a rezistenţei de temperatură (anemometre,
debitmetre);
- efectele negatermistor şi pozitermistor (senzori de
temperatură);
- variaţia conductivităţii între electrozi (senzori de
concentraţie);
- efectul piezorezistiv (senzori de presiune);
- variaţia rezistenţei straturilor de suprafaţă datorită reacţiilor
chimice (senzori chimici);
2. variaţia capacităţii electrice;
3. efecte de absorbţie la suprafaţă (senzori de umiditate);
4. efectul termoelectric (senzori de temperatură);
5. efectul electrochimic (senzori de pH, senzori de aciditate).
Straturile groase sunt obţinute prin aplicarea unei paste din material
sensibil pe un suport (substrat), printr-un proces de imprimare. Materialul
este apoi uscat la o temperatură de circa 100-200 C şi ars la temperaturi de
peste 500 C. Acest proces se desfăşoară prin creşterea succesivă a
temperaturii. După ardere, elementul astfel obţinut este rupt, decupat sau
tăiat în forma dorită. Pentru imprimare se utilizează site din oţel subţire sau
nylon, peste care se aşează matriţa corespunzătoare. Sistemele multistrat se
pot obţine prin repetarea operaţiei de imprimare şi a procesului termic de
mai multe ori.
Straturile au de obicei grosimi cuprinse între 5 şi 50 μm, cu lăţimea
de aproximativ 100-250 μm. Substratul se realizează din oţel emailat, sticlă,
material plastic flexibil sau materiale ceramice. Cel mai utilizat material este
Al2O3.
Pastele rezistive şi dielectrice prezintă un interes deosebit în
fabricarea senzorilor. Glazurile rezistive sunt compuse în principal din oxizi
metalici. Caracterul rezistiv al stratului este influenţat de diverşi parametri
de proces, cum ar fi temperatura de ardere, grosimea stratului, numărul
etapelor de formare etc. Pastele dielectrice sunt constituite de obicei din
29
sticlă pisată foarte fin sau din materiale ceramice cu constantă dielectrică
mare (BaTiO3, Ta2O5 etc.).
Se remarcă varietatea mare a tipurilor de senzori ce pot fi realizaţi cu
ajutorul acestei tehnologii. Fabricarea acestor elemente implică
experimentarea unor compuşi noi sau modificarea unor materiale existente,
astfel încât acest domeniu este în prezent în plină expansiune.
Tehnologic, cele mai bune rezultate ale acestei metode s-au obţinut
în fabricarea senzorilor de temperatură, pe baza unor amestecuri (glazuri)
conţinând platină şi nichel. Numeroase variante de amestecuri rezistive sunt
folosite în construcţia senzorilor cu coeficienţi de temperatură pozitivi şi
negativi.
În acelaşi timp, tehnologia straturilor groase conduce la soluţii foarte
interesante în domeniul senzorilor chimici. Paste electrolitice solide ca ZrO2
sau paste din oxizi metalici pe bază de SnO2, ZnO, TiO2 sunt utilizate ca
materiale sensibile, iar elementele încălzitoare pot fi şi ele realizate prin
aceeaşi tehnologie. În figura 1.12 se prezintă, ca exemplu, principiul de
realizare a unui senzor de gaz cu oxid semiconductor, cu elementul sensibil
şi încălzitorul pe aceeaşi structură, fabricat de către compania FIGARO din
Japonia.
electrod
încălzitor
material
sensibil
substrat
conductor
de legătură
Figura 1.12. Structura de principiu a unui senzor de gaz realizat prin tehnologia straturilor
groase
Potenţialul tehnologiei straturilor groase privind evoluţia în

domeniul senzorilor este evident şi departe de a fi epuizat. Senzorii
30
construiţi prin această tehnologie sunt extrem de promiţători pentru

numeroase domenii prin gradul lor ridicat de precizie, dimensiunile reduse,
reproductibilitate, cât şi prin posibilitatea de a utiliza tehnici hibride în
scopul realizării circuitelor de măsurare la preţuri mici. În prezent,
principalele domenii în care se utilizează astfel de senzori sunt tehnologia
comunicaţiilor, tehnica militară, protecţia mediului, industria automobilelor,
industria alimentară şi a serviciilor.
31
32
CAPITOLUL 2
CIRCUITE DE ADAPTARE PENTRU SENZORI PASIVI
2.1. Caracteristici generale
Variaţia impedanţei unui senzor pasiv sub acţiunea mărimii de

măsurat este convertită într-un semnal electric prin asocierea unei surse de
energie electrică (sursă de tensiune sau de curent). Aceasta, împreună cu alte
elemente componente electronice (impedanţe), formează circuitul de
adaptare (traducere, condiţionare) al senzorului pasiv. Ansamblul senzor
pasiv – circuit de adaptare, cunoscut sub denumirea de traductor, va genera
la ieşire un semnal electric dependent de mărimea de măsurat.
În funcţie de tipul circuitului de adaptare, informaţia de măsurare
poate fi conţinută în:
- amplitudinea semnalului de ieşire (cazul punţilor şi al montajelor
potenţiometrice) sau
- frecvenţa acestuia (cazul oscilatoarelor).
Montajul potenţiometric are avantajul simplităţii, dar inconvenientul
său principal îl constituie sensibilitatea la semnale parazite şi la derive ale
sursei de alimentare.
Puntea, care este de fapt un dublu potenţiometru, realizează o
măsurare diferenţială, reducând substanţial influenţa semnalelor
perturbatoare. Dacă aceste circuite utilizează o sursă de tensiune
sinusoidală, informaţia de măsurare se obţine prin demodularea amplitudinii
tensiunii de ieşire, ceea ce impune ca frecvenţa sursei să fie de cel puţin 5
ori superioară frecvenţei maxime de variaţie a măsurandului. Pe de altă
parte, o frecvenţă relativ ridicată a tensiunii de alimentare favorizează
cuplajele capacitive şi inductive parazite. De aceea, atunci când senzorul şi
circuitul de adaptare au un caracter pur rezistiv, se preferă utilizarea unei
surse de alimentare continue, evitându-se necesitatea unei demodulări
Capitolul 2. Circuite de adaptare pentru senzori pasivi
ulterioare şi apariţia unor reactanţe parazite. În acest caz, însă, trebuie avută
în vedere posibilitatea apariţiei unor tensiuni termoelectromotoare
perturbatoare.
Oscilatoarele utilizate ca circuite de adaptare pot fi de tip sinusoidal
sau de relaxare. Ele generează la ieşire un semnal al cărui frecvenţă este
modulată de către informaţia de măsurare, ceea ce asigură o protecţie
ridicată împotriva semnalelor parazite şi, în plus, conversia uşoară în
semnale numerice.
Caracteristicile metrologice ale circuitului de adaptare sunt esenţiale
pentru obţinerea unei informaţii cât mai exacte despre mărimea de măsurat.
Proiectarea acestuia trebuie să aibă în vedere realizarea unei sensibilităţi şi a
unei liniarităţi cât mai bune. Sensibilitatea globală a ansamblului senzor
pasiv – circuit de adaptare este:
- atunci când semnalul de ieşire este o tensiune
vm Z s vm
S   (2.1)
Z s x x
- atunci când semnalul de ieşire este o frecvenţă

f m Z s f m
S   (2.2)
Z s x x
ΔZc – variaţia impedanţei senzorului corespunzătoare variaţiei Δx a

măsurandului;
Δvm, Δfm – variaţia amplitudinii tensiunii, respectiv frecvenţei de ieşire.
Circuitul de adaptare este liniar dacă sensibilitatea sa proprie este
independentă de impedanţa senzorului (Zs); asocierea unui circuit liniar cu
un senzor pasiv liniar conduce la obţinerea unui semnal de măsurare
proporţional cu variaţiile măsurandului. Dacă adaptorul nu este liniar, el
poate fi liniarizat prin înlocuirea uneia dintre componentele sale fixe cu un
al doilea senzor (aşa-numita funcţionare “push-pull”).
De asemeni, circuitul de măsurare trebuie să fie insensibil la
eventuale mărimi de influenţă (temperatură, radiaţii etc.) şi, mai mult,
trebuie să poată elimina efectul acestora asupra semnalului obţinut de la
senzor.
34
2.2. Montajul potenţiometric
2.2.1. Măsurarea rezistenţelor
În cazul senzorilor rezistivi, montajul potenţiometric se realizează

prin conectarea în serie cu senzorul (R) a unei rezistenţe R1 şi a unei surse de
tensiune continuă sau alternativă (es), având rezistenţa internă Rs (figura
2.1).
Rs R1
Instrument
es R ue Ri de
măsurare
Figura 2.1. Montaj potenţiometric pentru senzor rezistiv
Tensiunea de ieşire (ue) este măsurată la bornele senzorului, cu un

instrument cu rezistenţa de intrare Ri și are forma:
R  Ri
ue  es  (2.3)
R( Rs  R1 )  Ri ( Rs  R1  R)
Dacă Ri>>R, tensiunea la bornele senzorului este independentă de

prezenţa instrumentului de măsură utilizat:
R
ue  es  (2.4)
R  R1  Rs
După cum se observă din cele două relaţii, tensiunea obţinută la

ieşire ue nu variază liniar cu rezistenţa senzorului (R). Pentru ca variaţia
tensiunii măsurate să fie proporţională cu variaţia rezistenţei senzorului, se
pot utiliza diverse metode de liniarizare:
- cazul variaţiilor mici de semnal:
Dacă sub acţiunea mărimii de măsurat rezistenţa senzorului variază
de la R0 la R0+ΔR, tensiunea de ieşire variază de la ue0 la ue0+Δue:
35
R0  R 1
ue 0  ue  es  (2.5)
R0  R1  Rs 1  R
R0  R1  Rs
În cazul în care ΔR<< R0+R1+Rs, se obţine:

( R1  Rs )R
ue  es (2.6)
( R0  R1  Rs ) 2
Dacă se proiectează circuitul astfel încât R1+Rs=R0, sensibilitatea

circuitului de adaptare devine maximă:
es R
ue   (2.7)
4 R0
- alimentarea în curent:
Alimentând circuitul de la o sursă de curent de impedanţă internă Rs
foarte ridicată (Rs>>R0+R1), condiţia ΔR<< R0+R1+Rs este verificată în
orice moment. În acest caz:
e
ue  is  R , unde is  s
Rs
- montajul tip “push-pull”:
Se înlocuieşte rezistenţa fixă R1 cu un al doilea senzor, identic cu
primul, dar ale cărui variaţii sunt de semn contrar: R1=R0 -ΔR. În această
situaţie, tensiunea de ieşire are expresia:
R0  R R
ue 0  ue  es  ue  es  (2.8)
R0  R  Rs  R0  R 2 R0  Rs
Efectul mărimilor de influenţă asupra rezistenţei senzorului pot fi

reduse în cadrul montajului potenţiometric înlocuind rezistenţa fixă R1 cu o
rezistenţă având aceeaşi sensibilitate la mărimile de influenţă ca şi senzorul
(de obicei cu un alt senzor, identic cu primul). În această configuraţie, în
cazul în care doar unul din senzori este supus acţiunii măsurandului,
tensiunea de ieşire este de forma:
es R
ue   (2.9)
4 R0 1  R / R0
36
Dacă cei doi senzori funcţionează în configuraţie “push-pull”

(variaţii de semne contrare sub acţiunea aceluiaşi măsurand), se obţine:
es R
ue   (2.10)
2 R0 1  R / R0
Se observă că semnalul de ieşire este proporţional doar cu variaţiile

mărimii de măsurat, dar trebuie menţionat că sensibilitatea circuitului
depinde de mărimea de influenţă.
O altă problemă caracteristică montajului potenţiometric o constituie
faptul că variaţia de tensiune Δue, purtătoarea informaţiei de măsurare, este
suprapusă peste o tensiune iniţială ue0, în general mult mai mare. Acest lucru
poate conduce la scăderea preciziei de măsurare în cazul fenomenelor
statice, în care ΔR este constantă sau lent variabilă; este evident dificil de
măsurat o variaţie Δue=5 mV faţă de o valoare iniţială (înaintea modificării
măsurandului) ue0=5 V. În cazul fenomenelor dinamice, în care mărimea de
măsurat se modifică alternativ, se obţin variaţii de asemeni alternative ale
rezistenţei senzorului şi tensiunii de ieşire. Dacă ue0 este o tensiune
continuă, un filtru trece-sus simplu permite separarea variaţiei Δue de ue0, cu
condiţia ca frecvenţa de tăiere ft=1/2πRiC să fie mai mică decât frecvenţa
cea mai joasă a fenomenului măsurat (figura 2.2.a).
O altă soluţie de a elimina componenta permanentă a tensiunii de
ieşire o reprezintă alimentarea simetrică a circuitului (figura 2.2.b). Aceasta
presupune realizarea a două tensiuni egale şi opuse în raport cu masa, caz în
care tensiunea de ieşire are expresia:
es R  R1
ue   (2.11)
2 R  R1  Rs
Alegând R1 astfel încât valoarea sa să fie egală cu R0 (rezistenţa

iniţială a senzorului) şi presupunând Rs<<R0, la variaţia măsurandului
tensiunea de ieşire devine:
es R 1
ue    (2.12)
4 R0 1  R
2 R0
37
Tensiunea măsurată corespunde numai semnalului purtător al

informaţiei şi nu se suprapune peste o componentă permanentă. În plus, în
acest caz rămân valabile metodele de liniarizare şi de compensare a
mărimilor de influenţă, prezentate anterior.
instrument Rs/2
de
Rs R1
măsurare
C
es/2 R1
Es es/2
R Ri ue
R
Rs/2
a. b.
Figura 2.2. Eliminarea componentei permanente la montajul potenţiometric
De asemeni, în cazul montajului potenţiometric sensibilitatea este

influenţată de eventuale derive ale tensiunii de alimentare. La alimentarea
asimetrică, dacă au loc simultan variaţia rezistenţei senzorului (R=R0+ΔR)
şi o fluctuaţie a tensiunii sursei (es=es0+Δe), variaţia tensiunii de ieşire are
expresia:
Rs  R1 R0
ue  es 0   R   e (2.13)
( Rs  R1  R0 ) 2
Rs  R1  R0
Este evident dificilă separarea din Δue a părţii datorate variaţiei

măsurandului de cea cauzată de variaţia tensiunii de alimentare Δe.
În cazul alimentării simetrice, variaţiile Δe1 şi Δe2 ale tensiunilor de
alimentare se suprapun peste efectul variaţiei măsurandului (ΔR). Variaţia
globală a tensiunii de ieşire este:
es R e1  e2
ue    (2.14)
2 R0 2
38
Numai în cazul particular în care Δe1= - Δe2 se poate pune în

evidenţă variaţia rezistenţei senzorului ΔR.
2.2.2. Măsurarea impedanţelor complexe
În cazul senzorilor inductivi şi capacitivi impedanţa este complexă,

de forma: Z=R+jX. Montajul potenţiometric este realizat prin conectarea
senzorului în serie cu o impedanţă Z1=R1+jX1, ansamblul fiind alimentat de
la o sursă sinusoidală es de impedanţă internă presupusă neglijabilă (figura
2.3.a).
R1
es is
Z ue
Z ue
a. cu sursă de tensiune b. cu sursă de curent

Figura 2.3. Montaj potenţiometric pentru măsurarea impedanţei
Dacă X1=0 (impedanţa Z1 este o rezistenţă fixă R1), pentru o variaţie

a impedanţei senzorului de la Z0 la Z0+ΔZ, variaţia tensiunii la bornele sale
este:
R1  Z 1
ue  es  (2.15)
( Z 0  R1 ) 1  Z
2
Z 0  R1
Alegând R1>>|Z0|, relaţia anterioară se simplifică:

es
ue   Z (2.16)
R1
impedanţa Z fiind alimentată la curent constant i=es/R1.

Se poate utiliza chiar o sursă de curent (is), eliminând astfel
rezistenţa R1: ue  is  Z (figura 2.3.b).
39
O altă situaţie poate fi atunci când X1 şi X sunt de acelaşi semn.

Realizarea unui montaj potenţiometric în care cele două impedanţe sunt
identice are pe de o parte avantajul compensării efectului mărimilor de
influenţă, iar pe de altă parte al îmbunătăţirii liniarităţii atunci când
impedanţele variază în sensuri contrare sub acţiunea măsurandului.
La modificarea mărimii de măsurat şi a mărimii de influenţă,
variaţiile celor două impedanţe sunt:
Z1  Z0  Z1; Z  Z0  Z (2.17)
Tensiunea de ieşire are expresia:

Z 0  Z
ue  es (2.18)
2Z 0  Z1  Z
iar variaţia sa faţa de valoarea iniţială este:

es Z  Z1 1
ue    (2.19)
4 Z0 Z  Z1
1
2Z 0
Dacă impedanţa Z1, pe lângă rolul de compensare a mărimilor de

influenţă, este sensibilă şi la acţiunea mărimii de măsurat, fiind dispusă
astfel încât să aibă variaţii contrare cu Z, atunci se obţine:
es Z 1
ue    (2.20)
2 Z 0 1  Z / Z 0
Semnalul Δue este în acest caz funcţie liniară de variaţia

măsurandului şi dacă ΔZ<<Z0, atunci se obţine:
es Z
ue   (2.21)
2 Z0
Acest tip de montaj potenţiometric poate fi utilizat numai dacă cele

două impedanţe au caracter inductiv. În cazul senzorilor capacitivi apar
probleme în special din cauza apariţiei capacităţilor parazite între fiecare din
armăturile condensatorului şi masă (figura 2.4.a). Capacităţile parazite Cp2 şi
Cp3 sunt în paralel cu senzorul, variaţiile lor acoperind variaţia rezistenţei
40
senzorului. Capacitatea Cp1 apare în paralel cu sursa, influenţa ei fiind

neglijabilă dacă impedanţa proprie este foarte mare faţă de cea a sursei.
C1 ie
e
Cp1 C1 Cp1 Cp2 Ri
e
Cp2
senzor Cp3 Cp4
ue
C2 -e
C1
Cp3
a. montajul potenţiometric b. galvanometric

Figura 2.4. Influenţa capacităţilor parazite
Din acest motiv, în cazul senzorilor capacitivi se preferă mai degrabă

utilizarea unui montaj galvanometric decât a celui potenţiometric. La acest
circuit (figura 2.4.b) se măsoară un curent ie cu ajutorul unui instrument cu
rezistenţă de intrare mică. Capacităţile parazite în paralel cu Ri au o
influenţă neglijabilă, impedanţa lor fiind mult mai mare decât Ri. Neglijând
rezistenţa de intrare a instrumentului, curentul de măsurare are expresia:
ie  e  j (C1  C2 )  e  j  C (2.22)
unde C1 este capacitatea senzorului (C1=C0+ΔC), iar C2=C0.
2.3. Puntea de măsurare
2.3.1. Măsurarea rezistenţelor (puntea Wheatstone)
În principiu, circuitul în punte reprezintă un potenţiometru dublu, cu

măsurare diferenţială a tensiunii. Structura unei punţi Wheatstone este
prezentată în figura 2.5; alimentarea se face de la o sursă de tensiune es, de
rezistenţă internă Rs, iar la ieşire se conectează un dispozitiv (cu rezistenţa
de intrare Ri) care are rolul de a detecta echilibrul punţii sau de a măsura
tensiunea de dezechilibru.
41
R1 R3
Rs
ie Ri
A B
es ue
R2 R4
Figura 2.5. Structura generală a punţii Wheatstone
Se spune că puntea este echilibrată atunci când potenţialele în

punctele A şi B sunt egale, adică curentul ie este nul; aceasta corespunde
condiţiei clasice: R1·R4=R2·R3. După cum se observă, condiţia de echilibru
depinde numai de rezistenţele punţii, fiind independentă de rezistenţele
sursei şi dispozitivului de ieşire.
În general, puntea este alimentată de la o sursă cu rezistenţă internă
mică: Rs<<R1, R2, R3, R4, Ri. Dacă dispozitivul de ieşire este caracterizat de
o impedanţă de intrare de valoare ridicată (voltmetru, amplificator), curentul
ie are expresia:
R2 R3  R1 R4
ie  es  (2.23)
Ri ( R1  R2 )( R3  R4 )
iar tensiunea obţinută la ieşire este de forma:

R2 R3  R1 R4
ue  Ri  ie  es  (2.24)
( R1  R2 )( R3  R4 )
Sensibilitatea punţii Wheatstone este maximă atunci când R1=R2 şi

R3=R4.
Din motive de simplitate, rezistenţele se aleg de obicei astfel încât la
echilibru valorile lor să fie egale. Considerând cazul general în care cele
patru rezistenţe ale punţii pot varia simultan în jurul valorii lor de echilibru
(R0), tensiunea de dezechilibru are expresia:
42
R0 (R2  R1  R3  R4 )  R2 R3  R1R4

ue  es  (2.25)
4R0  2R0 (R1  R2  R3  R4 )  (R1  R2 )(R3  R4 )
2
Tensiunea de dezechilibru nu este o funcţie liniară de variaţiile

rezistenţelor punţii. În cazul în care o singură rezistenţă este variabilă (de
exemplu R2), se obţine:
es R2 1
ue    (2.26)
4 R0 1  R2
2 R0
În figura 2.6 se prezintă dependenţa raportului ue/es de variaţia

relativă a uneia din rezistenţele punţii (ΔR/R0), iniţial echilibrate; se poate
observa domeniul de variaţie cvasi-liniar din vecinătatea punctului de
echilibru.
ue/es
0.25
ΔR/R0
-1 - 0.5 0 0.5 1.0 1.5
- 0.25
- 0.5
Figura 2.6. Reprezentarea dezechilibrului punţii în funcţie de variaţia relativă a unei

rezistenţe
Dacă rezistenţa sursei (Rs) este de acelaşi ordin de mărime ca şi

rezistenţele punţii, influenţa ei asupra tensiunii de ieşire conduce la
reducerea sensibilităţii. În cazul anterior, în care doar una din rezistenţele
punţii este variabilă (R2), tensiunea de dezechilibru devine:
es R2 1
ue    (2.27)
4 R0  Rs 1  2 R0  Rs  R2
4( R0  Rs ) 2 R0
43
Dacă puntea este alimentată de la o sursă de curent (is), rezistenţa sa

proprie este net superioară rezistenţelor punţii. Tensiunea de dezechilibru, în
acest caz, este:
R2 R3  R1 R4
ue  is  (2.28)
R1  R2  R3  R4
Când toate cele patru rezistenţe ale punţii sunt variabile simultan în
jurul valorii de echilibru (R0), tensiunea de ieşire corespunzătoare
dezechilibrului punţii este:
R0 (R2  R1  R3  R4 )  R2 R3  R1R4
u e  is  (2.29)
4 R0  R1  R2  R3  R4
În cazul particular în care doar o singură rezistenţă este variabilă

(R2), se obţine:
is 1
ue   R2  (2.30)
4 R
1 2
4 R0
Comparând această expresie cu cea corespunzătoare alimentării de la

o sursă de tensiune (relaţia 2.26), se observă reducerea neliniarităţii punţii la
utilizarea unei surse de curent.
În cazul punţii Wheatstone se pot folosi, în general, metodele de
liniarizare prezentate pentru montajul potenţiometric.
- cazul semnalelor mici:
Echilibrul punţii se realizează prin intermediul celor patru rezistenţe
egale (R0), ale căror variaţii sunt mici: ΔR1, ΔR2, ΔR3, ΔR4<<R0. Se obţine în
acest caz o dependenţă liniară:
es R2  R1  R3  R4
ue   (2.31)
4 R0
Din această relaţie rezultă o proprietate importantă a punţilor în care

cele patru rezistenţe sunt identice la echilibru: variaţii egale ale rezistenţelor
din două braţe alăturate nu strică echilibrul punţii; această proprietate stă la
44
baza compensării mărimilor de influenţă şi a eliminării perturbaţiilor

determinate de variaţiile termice ale rezistenţei conductoarelor de legătură.
În scopul compensării mărimilor de influenţă, pe lângă senzorul
supus la acţiunea măsurandului x şi a mărimii de influenţă z (R2), în punte se
conectează un al doilea senzor identic cu primul (de compensare), supus
doar la mărimea de influenţă (R1):
R2  R0  R2 , cu R2  S z  z  S  x
R1  R0  R1 , cu R1  S z  z , (2.32)
unde:
S – sensibilitatea senzorului R2 la mărimea de măsurat x;
Sz – sensibilitatea celor doi senzori la mărimea de influenţă z.
Rezistenţele R3 şi R4 ale punţii fiind constante şi egale cu R0,
tensiunea de măsurare devine:
es S  x
ue   (2.33)
4 R0
fiind independentă de variaţiile mărimii de influenţă.

Sensibilitatea circuitului poate fi dublată dacă se utilizează doi
senzori de măsurare identici conectaţi în braţe opuse ale punţii şi doi senzori
de compensare (identici cu primii), în celelalte două braţe. În acest caz,
tensiunea de ieşire (la dezechilibru) devine:
es S  x
ue   (2.34)
2 R0
- funcţionare “push-pull”:
Se pot realiza două tipuri de montaje cu funcţionare “push-pull”:
1. montajul punte întreagă, la care în cele patru braţe ale punţii se
conectează patru senzori identici; variaţiile rezistenţelor în braţe
alăturate sunt opuse două câte două: ΔR1= - ΔR2, ΔR4 = - ΔR3.
Tensiunea de ieşire rezultă riguros liniară cu variaţiile de rezistenţă:
es R2  R3
ue   (2.35)
2 R0
45
sau, dacă ΔR2=ΔR3= ΔR:

R
ue  es  (2.36)
R0
2. montajul semi-punte: în două braţe ale punţii (R1 şi R2 sau R3 şi R4)

se conectează rezistenţe fixe, de valoare R0, iar în celelalte două
braţe doi senzori identici, cu variaţii de rezistenţă de sensuri
contrare. Dacă, de exemplu, ΔR1= - ΔR2 şi ΔR3=ΔR4=0, tensiunea de
ieşire are expresia:
es R2
ue   (2.37)
2 R0
Şi în acest caz tensiunea de ieşire este liniară în raport cu variaţiile

de rezistenţă, dar se observă că sensibilitatea este redusă faţă de montajul în
punte întreagă.
Variaţiile egale şi opuse ale rezistenţelor, necesare funcţionării
“push-pull”, sunt obţinute numai dacă senzorii sunt liniari şi sunt supuşi, doi
câte doi, la variaţii egale şi opuse ale mărimii de măsurat. În cazul în care
senzorii nu sunt liniari, variaţii egale şi opuse ale măsurandului nu conduc la
variaţii egale şi opuse ale rezistenţelor.
La funcţionarea “push-pull”, efectul unei mărimi de influenţă (z)
fiind acelaşi asupra fiecărui senzor, nu se poate realiza o compensare foarte
bună. De exemplu, în cazul montajului în punte întreagă, expresia tensiunii
de ieşire este:
S  x 1
ue  es   (2.38)
R0 1  S z  z / R0
Ea este proporţională doar cu variaţiile măsurandului (Δx), dar

sensibilitatea circuitului (Sc=ue/Δx) depinde de mărimea de influenţă, atât
prin sensibilitatea Sz a senzorului la mărimea de influenţă, cât şi, eventual,
prin dependenţa sensibilităţii acestuia la măsurand de mărimea de influenţă.
Mărimea de influenţă care trebuie compensată cel mai frecvent este
temperatura. În acest caz: Δz=ΔT=T-T0, T0 fiind temperatura iniţială,
corespunzătoare echilibrului punţii, pentru care toate rezistenţele din braţele
46
punţii au valoarea R0. Dacă puntea este alimentată de la o sursă de tensiune,

reducerea influenţei temperaturii asupra sensibilităţii circuitului se poate
realiza conectând în serie cu sursa o rezistenţă Rs, ale cărei variaţii termice
modifică tensiunea la bornele punţii, astfel încât sensibilitatea ansamblului
rămâne constantă (figura 2.7.a). În cazul alimentării în curent constant, se
conectează o rezistenţă Rp în paralel, pe diagonala de alimentare (figura
2.7.b).
Rs /2 Rs /2
R1 R3 is R1 R3
Rp
ue ue
es
R2 R4 R2 R4
Rs /2 Rs /2
a. alimentarea în tensiune b. alimentarea în curent

Figura 2.7. Reducerea influenţei temperaturii asupra sensibilităţii punţii
În cazul punţii de măsurare, tensiunea de dezechilibru poate fi

influenţată de rezistenţa firelor de conexiune (Rf) a senzorului, atunci când
acesta se află la o distanţă mai mare de restul circuitului. Această rezistenţă
nu afectează şi echilibrul iniţial al punţii; dimpotrivă, dacă cele două
conductoare de legătură fac parte din acelaşi braţ al punţii ca şi senzorul,
eventualele variaţii (ΔRf) ale rezistenţei conductoarelor de legătură (datorate
temperaturii, de exemplu) nu pot fi deosebite de cele ale senzorului (ΔR).
Există mai multe variante pentru a reduce efectele rezistenţei firelor
de conexiune asupra tensiunii de ieşire a punţii:
3. montajul cu trei conductoare: cel de-al treilea conductor de
legătură poate fi conectat fie la sursa de alimentare (figura 2.8.a), fie
la dispozitivul de ieşire (figura 2.8.b).
În primul caz, în condiţiile în care cele patru rezistenţe ale punţii sunt
egale la echilibru, tensiunile parazite (ep) induse în cel de-al treilea fir se
suprapun peste tensiunea sursei (es); dacă ep<<es, ele nu afectează echilibrul
47
iniţial şi perturbă puţin măsurarea la dezechilibru. În acelaşi timp, rezistenţa

firului suplimentar (Rf') se adaugă la rezistenţa internă a sursei, conducând la
scăderea sensibilităţii punţii. De aceea, se urmăreşte ca valoarea Rf' să fie cât
mai mică, ceea ce presupune un conductor de secţiune mare şi, implicit, un
cost ridicat.
Dacă cel de-al treilea fir este conectat la ieşire, rezistenţa sa este mult
mai mică decât rezistenţa de intrare a instrumentului de măsură (Ri). Ca
urmare, sensibilitatea punţii nu este afectată, în schimb tensiunile parazite ep
induse în acest conductor se suprapun peste tensiunea de ieşire, putând
perturba măsurarea. Din acest motiv, se preferă în general primul montaj, în
care cel de-al treilea fir este conectat la sursă.
R1=Ro R3=Ro
Rs R'o R3=Ro
Rs
ue
ue
Es
Rf Es
Rf R'o R'f
R1=Ro
Rf
R Rf
R'f
R
a. b.
Figura 2.8. Montaje cu trei conductoare de legătură
4. montajul cu două conductoare de compensare (figura 2.9):

senzorul, împreună cu cele două conductoare de legătură la punte,
formează unul din braţele acesteia: R2=R+2Rf. Un braţ alăturat este
constituit dintr-o rezistenţă fixă R0' şi două conductoare identice cu
cele ale senzorului, plasate în vecinătatea lor: R4=R0'+2Rf. Dacă cele
patru rezistenţe ale punţii au valori egale la echilibru, variaţiile ΔRf
ale rezistenţelor conductoarelor nu influenţează tensiunea de ieşire.
48
R1=Ro R3=Ro
Rs
ue
A B
es
R'o
D
Rf Rf Rf Rf
Figura 2.9. Montajul cu două conductoare de compensare
5. montajul cu patru conductoare: în acest caz, pentru determinarea

rezistenţei senzorului nu mai este necesar ca rezistenţele firelor de
legătură şi variaţiile lor să fie perfect identice. Montajul cu patru fire
de legătură presupune, însă, două echilibrări ale punţii, pentru două
configuraţii diferite ale conexiunilor (figura 2.10):
- în prima etapă se fac următoarele conexiuni: A cu a, D cu f, F cu
b. Puntea este echilibrată prin intermediul rezistenţei variabile
R1, a cărei valoare la echilibru (R1') corespunde ecuaţiei:
( R1  R f 1 )  R0  ( R  R f 2 )  R0
'
(2.39)
- în a doua etapă, se fac conexiunile: A cu f, D cu a, F cu e. Noul

echilibru al punţii se obţine pentru valoare R1''' a rezistenţei
variabile R1:
( R1  R f 2 )  R0  ( R  R f 1 )  R0
''
(2.40)
Din cele două ecuaţii de echilibru se obţine valoarea rezistenţei

senzorului:
R  R1
' ''
R 1 (2.41)
2
49
R1 R3=Ro
Rs
F ue E
A a B
b e
es
f R4=Ro
Rf 1 Rf 2
Figura 2.10. Montajul cu patru conductoare
2.3.2. Măsurarea impedanţelor complexe
Pierderile care pot să apară în cazul unui senzor capacitiv sunt

datorate dielectricului şi pot fi reprezentate printr-o rezistenţă de valoare
ridicată (R) în paralel cu capacitatea senzorului (C).
Schema de principiu a punţii de măsurare asociată unui senzor
capacitiv (denumită punte Nernst) este prezentată în figura 2.11. Impedanţa
senzorului are expresia:
R
Z (2.42)
1  jRC 
Condiţia de echilibru a punţii este: Ze=k·Z  R  Re / k şi

C  k  Ce , unde Ze reprezintă impedanţa de echilibrare:
Re
Ze  (2.43)
1  jReCe
50
Re C
kR'
Ce
ue
A B es
C
R'
R D
Figura 2.11. Puntea Nernst pentru senzori capacitivi
La variaţia mărimii de măsurat, impedanţa senzorului se modifică de

la Z0 la Z0+ΔZ, puntea (iniţial echilibrată) se dezechilibrează, tensiunea de
ieşire fiind:
k Z 1
ue  es    (2.44)
(k  1) Z 0 1 
2
Z
(k  1) Z 0
Dacă ΔZ<<(k+1)Z0, se obţine:

k Z
ue  es   (2.45)
(k  1) Z 0
2
Sensibilitatea punţii este maximă atunci când ea se proiectează astfel

încât k=1; în plus, în acest caz puntea este simetrică, fiind mai uşoară
compensarea impedanţelor parazite:
es Z
ue   (2.46)
4 Z0
Dacă senzorul este constituit dintr-un condensator având ca

dielectric aerul, pierderile sunt neglijabile şi impedanţa se reduce la
capacitatea senzorului; ca urmare, poate fi eliminată şi rezistenţa de
echilibrare Re. Condiţia de echilibru a acestei punţi (denumită punte Sauty –
figura 2.12.a) este: C=Ce. Variaţia capacităţii senzorului sub acţiunea
măsurandului: C=C0+ΔC generează tensiunea de dezechilibru:
51
es C
ue    (2.47)
4 C (1  C )
0
2C0
În cazul în care ΔC/C0<<1, se obţine:

es C
ue    (2.48)
4 C0
C C
Ce Ce
R' R'
ue ie
A B A Rd B es
es
C R' C R'
D D
a. b.
Figura 2.12. Puntea Sauty pentru senzori capacitivi
La senzorii capacitivi conectaţi în punte Sauty, fiecare din armăturile

condensatorului formează o capacitate parazită (Cp) în raport cu masa; astfel
de capacităţi parazite pot să apară în paralel cu rezistenţele R' ale punţii, cât
şi în paralel cu senzorul (figura 2.12.b). Primele pot avea efect neglijabil
dacă rezistenţele R' au valoare mică faţă de impedanţa capacităţilor parazite
(R'=102 – 103 Ω). Capacităţile parazite în paralel cu senzorul nu influenţează
echilibrarea punţii, dar pot afecta sensibilitatea măsurării tensiunii de
dezechilibru, dacă impedanţa instrumentului de ieşire nu este mică faţă de
cea a capacităţilor parazite. În acest caz, este mai utilă măsurarea curentului
de dezechilibru, conectând la ieşire un instrument cu impedanţă de intrare
slabă (neglijabilă faţă de cea a capacităţilor parazite):
C
ie  j  es  (2.49)
2  jR ' (Ce  C )
52
În cazul senzorilor inductivi, se pot utiliza două tipuri de circuite,

după cum pierderile în bobină sunt reprezentate printr-o rezistenţă în serie
sau în paralel: puntea Maxwell (figura 2.13.a), respectiv puntea Hay (figura
2.13.b).
Re
Re
kR' kR'
Ce
Ce
ue ue
es es
R
R
'
R R'
L L
a. puntea Maxwell b. puntea Hay

Figura 2.13. Punţi de măsurare pentru senzori inductivi
Elementele caracteristice ale celor două circuite sunt:

- pentru puntea Maxwell
Re
Z  R  jL, Z e  (2.50)
1  jReCe
- pentru puntea Hay

jLR 1  jReCe
Z , Ze  (2.51)
R  jL jCe
În funcţie de valorile elementelor din punte, rezistenţa şi inductanţa

senzorului pentru cele două montaje sunt date de relaţiile:
2
kR' 2
R ; L  k  R '  Ce (2.52)
Re
Plecând de la condiţia generală de echilibru: Ze·Z=k·R2, tensiunea de

ieşire are aceeaşi expresie pentru ambele circuite:
53
kR' Z 1
ue  es   (2.53)
(kR'  Z 0 ) 2 1  Z
kR'  Z 0
Dacă este îndeplinită condiţia: Z  kR  Z 0 , se obţine:
kR' Z
ue  es  (2.54)
(kR'  Z 0 ) 2
Sensibilitatea este maximă atunci când R=|Z0|:
R ' Z
ue  es  (2.55)
(R'  Z0 )2
Şi în cazul punţilor pentru senzori inductivi şi capacitivi se poate

realiza montajul tip “push-pull” (figura 2.14). Plasând doi senzori cu
impedanţe iniţiale identice în braţele alăturate ale punţii, se poate obţine
compensarea mărimilor de influenţă. Dacă, în plus, senzorii sunt supuşi la
variaţii de semne contrare ale mărimii de măsurat, rezultă o îmbunătăţire a
liniarităţii punţii, cât şi posibilitatea liniarizării senzorului.
C
zo+z
xo-x R
Z1
ue
A B
Z2
xo+x R
zo+z
D
Figura 2.14. Punte de impedanţe în montaj “push-pull”
În funcţie de impedanţele celor doi senzori, tensiunea de

dezechilibru are expresia:
54
es Z 2  Z1
ue   (2.56)
2 Z 0  Z1  Z 2
unde: Z1=Z0+ΔZ1, Z2=Z0+ΔZ2 sunt valorile impedanţelor celor doi senzori

la variaţia mărimii de măsurat (x) şi a mărimii de influenţă (z):
Z1  S z  z  S  x; Z 2  S z  z  S  x (2.57)
Tensiunea de ieşire a punţii poate fi scrisă sub forma:

es S  x
ue   (2.58)
2 Z (1  S z  z )
0
Z0
Se observă că tensiunea de măsurare este dependentă liniar de

variaţia măsurandului, efectul mărimii de influenţă fiind redus; dacă variaţia
impedanţei senzorilor sub acţiunea mărimii perturbatoare este mică în raport
cu valoarea Z0, se obţine:
es S  x
ue   (2.59)
2 Z0
Dacă senzorii nu sunt liniari, ci au de exemplu o caracteristică

pătratică, variaţiile egale şi opuse ale măsurandului nu conduc la variaţii
egale şi opuse ale impedanţelor:
Z1    (x)    (x) 2 ; Z 2    x    (x) 2 (2.60)
În acest caz, tensiunea de ieşire este de forma:

es   x 1
ue    (2.61)
2 Z0   (x) 2
1
Z0
  (x) 2
Frecvent  1 , ceea ce simplifică expresia anterioară:
Z0
es   x
ue   (2.62)
2 Z0
55
2.4. Oscilatoare
2.4.1. Oscilatoare sinusoidale
Frecvenţa unui oscilator sinusoidal poate fi fixată de către rezonanţa

unui circuit constituit dintr-o bobină de inductanţă L0 şi un condensator de
capacitate C0, conectate în serie sau în paralel. La frecvenţa de rezonanţă (f0)
circuitul are o impedanţă pur rezistivă:
- pentru un circuit oscilant serie:
1
f0  (2.63)
2 L0C0
- pentru un circuit oscilant paralel:
1 1
f0  1 2 (2.64)
2 L0C0 QL
unde
QL - coeficientul de calitate al bobinei si are relaţia:
2f 0 L0
QL  (2.65)
Rs
Rs fiind rezistenţa sa serie.

În general, QL2>>1; ca urmare frecvenţa de rezonanţă are practic
aceeaşi expresie pentru ambele circuite.
Dacă unul din elementele circuitului rezonant este un senzor inductiv
sau capacitiv, variaţia reactanţei sale sub acţiunea măsurandului conduce la
modificarea frecvenţei oscilaţiilor (figura 2.15).
senzor M
Amplificator V(f) Co
X Lo
Figura 2.15. Oscilator sinusoidal
56
- în cazul unui senzor inductiv:

L
f  f 0 (1  ) (2.66)
L0
- în cazul unui senzor capacitiv:

C
f  f 0 (1  ) (2.67)
C0
Dacă măsurandul variază sinusoidal în jurul unei valori x0 şi în acest

domeniu de variaţie senzorul poate fi considerat liniar (cu sensibilitatea S),
se poate scrie:
x(t )  x0  x1 cos t  L (sau C )  S  x1 cos t (2.68)
Frecvenţa instantanee a oscilatorului devine:

f (t )  f 0 (1  k  x1 cos t ) (2.69)
S S
unde k  sau k  , în funcţie de tipul senzorului.
2L0 2C0
Cu alte cuvinte, frecvenţa oscilatorului este modulată de către
informaţia de măsurare. La modul general, tensiunea de ieşire a circuitului
are expresia:
ue  E sin (t ) (2.70)
unde Φ(t) este faza instantanee.

La orice moment se poate scrie:
d(t )
 2  f (t ) (2.71)
dt
de unde rezultă:
k  x1
t
(t )  2  f (t )dt  (t )  2  f 0 (t   sin t ) (2.72)
0

Semnalul generat de oscilator devine:
57
k  x1
ue  E  sin 2  f 0 (t   sin t )  E  sin(2f 0t   sin t ) (2.73)

unde 2f 0  0 - pulsaţia iniţială;   k  0  x1 /  - indice de modulaţie.
2.4.2. Oscilatoare de relaxare
Cel mai utilizat circuit de acest tip este multivibratorul astabil (figura
2.16). El este un generator de semnale dreptunghiulare a căror frecvenţă
depinde de valorile componentelor circuitului:
a
f  (2.74)
RC
unde a – constantă de circuit.
Capacitatea C, respectiv rezistenţa R pot fi parametrii caracteristici ai
unui senzor capacitiv sau rezistiv. Variaţia acestor mărimi sub acţiunea
măsurandului conduce la modificarea frecvenţei semnalului generat de
circuit:
C
C  C0  C  f  f 0 (1  ) (2.75)
C0
sau
R
R  R0  R  f  f 0 (1  ) (2.76)
R0
Ca şi în cazul oscilatorului sinusoidal, frecvenţa circuitului

multivibrator este modulată de informaţia de măsurare.
58
E v0
R2 R1 R R2 T=T1+T2≈0.69(R1C1+RC)
C1 C
T1 T2
T1 T2
v0
t
a.
v0 T≈2RClog(1+2R1/R2)
R
+v
C
-
AO
+ t
v0 -v
R2
R1
T
b.
a. cu două tranzistoare; b. cu amplificator operaţional

Figura 2.16. Circuite tip multivibrator astabil
2.5. Adaptarea de impedanţă
2.5.1. Amplificatorul comparator cu reacţie de curent
În industrie, transmiterea semnalului de la senzori spre sistemul de

măsură se face cel mai des în buclă de curent. Pentru adaptarea de
impedanţă poate fi utilizat circuitul de tip amplificator cu reaţie negativă
(figura 2.17). Practic la ieşirea acestuia pot fi conectate diferite instrumente
de măsură fără ca impedanţa lor de intrare să aibă un efect asupra
rezultatului măsurării.
În acest caz, curentul I2 se comportă ca un curent constant. El este
într-un domeniu larg, independent de rezistenţa de sarcina Rβ. Efectiv, dacă
la cuplarea altei rezistenţe creşte valoarea Rβ, în primul rând scade curentul
I2 apoi căderea de tensiune URk. La aceeaşi valoare a lui U1, creşte UE şi prin
59
aceasta creşte iarăşi curentul I2. Aceasta creşte până ce este atinsă valoarea
sa anterioară modificării rezistenţei de sarcină.
Se pot introduce astfel, în locul lui Rβ, diferite instrumente de măsură
care nu vor influenţa rezultatul măsurării.
I1 IE I2
UE IR RE Rβ
RK
RK(I2-IR)
RV·IR
Figura 2.17. Amplificator comparator cu reacţie de curent.
Mărimea de intrare poate să fie şi un curent. În acest caz curentului

de la intrarea amplificatorului i se opune o rezistenţă neglijabilă, deci
tensiunea la intrare UE trebuie să fie cât mai mică. Pentru circuitul de intrare
putem scrie relaţiile:
UE
I E  I1  I R şi IE  (2.77)
RE
Circuitul lucrează astfel încât acum IR atinge aproape valoarea I1.

Atunci conform relaţiilor anterioare IE şi UE trebuie să aibă valori foarte
mici.
La circuitul de ieşire, rezistenţa Rk este străbătută de curenţii IR şi I2.
Atunci căderea de tensiune pe această rezistenţă va fi:
U Rk  Rk ( I 2  I R ) (2.78)
Mai departe se obţine la bornele lui Rv , căderea de tensiune

U=Rv·IR, şi suma căderilor de tensiune în ochiul de la intrare este acum:
U E   Rk ( I 2  I R )  Rv I R (2.79)
60
dar
U E  RE  I E  RE ( I 1  I R ) (2.80)
Egalând cele două expresii (2.79) şi (2.80) obţinem:

 Rk ( I 2  I R )  Rv I R  RE ( I1  I R ) (2.81)
Dacă I 1  I k este practic nul, avem:
 Rk ( I 2  I R )  R v I R  0 (2.82)
sau
IR Rk
 (2.83)
I 2 Rk  Rv
Ştiind că
I 1  I R  0 atunci I1  I R (2.84)
şi rezultă că:
Rk  Rv
I 2  I1  (2.85)
Rk
Cum UE rămâne foarte mic, curentul I1 nu se modifică la cuplarea

amplificatorului. Analog se obţine I2 ca un curent constant.
2.6. Zgomote şi interferenţe
Zgomotul este un semnal electric complet aleatoriu constituit din

însumarea de componente având atât amplitudinea cât şi faza aleatorii
(figura 2.18). Deşi valoarea sa efectivă poate fi măsurată, nu este posibil să
se determine exact amplitudinea sau faza zgomotului la un moment dat.
Pentru a caracteriza complet din punct de vedere statistic un anumit
tip de zgomot este necesar să fie cunoscute următoarele elemente:
- funcţia densitate de probabilitate (de distribuţie) de amplitudine
- funcţia densitate spectrală de putere
61
Funcţia densitate de probabilitate de amplitudine (figura 2.18) oferă

informaţie asupra probabilităţii P(e) ca amplitudinile perturbaţiilor să
depăşească o amplitudine dată ”e”.
Uzual se foloseşte distribuţia gaussiană pentru reprezentarea
tensiunii de zgomot iar zgomotul respectiv se mai numeşte gaussian.
P(e)
Figura 2.18. Reprezentarea zgomotului şi funcţei densitate de probabilitate de amplitudine
Densitatea spectrală de putere q(f) oferă informaţie asupra felului în

care puterea de zgomot este distribuită în domeniul frecvenţă, mai des
întâlnite în instrumentaţie fiind:
1. q f   const (2.86)
Acest caz corespunzând zgomotului alb adică cu o putere de zgomot

constantă în unitatea de lărgime de bandă în întreg spectru de frecvenţă.
Acest zgomot este constituit din multe componente de frecvenţă diferită la
fel cum lumina albă conţine diverse componente în spectrul vizibil.
2. q f   k 
1
(2.87)
f
Densitatea specrală de putere este invers proporţională cu frecvenţa.

Se mai numeşte zgomot ”1/f”, zgomot de joasă frecvenţă, flicker sau zgomot
de contact.
62
Puterea de zgomot într-o decadă de frecvenţă a zgomotului ”1/f”

este:
q f   df 
10 f 0 10 f 0 1
P k df k ln f  k ln 10  const
10 f 0
f0 f0 f / f0
(2.88)
Puterea de zgomot a acestui zgomot într-o decadă de frecvenţă este

deci constantă. Acest zgomot este prezent practic în toate componentele şi
dispozitivele electronice, în tranzistoare diode rezistoare, termistoare
microfoane.
3. q f   k  f 
1
(2.89)
p 2
Un astfel de zgomot este cunoscut sub denumirea de zgomot roşu.

Cu excepţia domeniului frecvenţelor joase de până la 1 kHz unde
sunt predominante zgomotele de tip 1/f sau 1/fα cu (α = 0,8 ÷ 1,2 denumit
zgomot galactic) cu diverse distribuţii de amplitudine, în rest, majoritatea
zgomotelor sunt gaussiene albe.
Zgomotul termic este generat de mişcarea aleatorie determinată de
mişcarea purtătorilor de sarcini. Este în esenţă un zgomot alb.
Se arată că valoarea efectivă a tensiunii de zgomot termic este dată
de relaţia:
VZT  4  k  T  R  f (2.90)
unde:
k = 1,38·10-23 J/K este constanta lui Boltzman
T – temperatura în grade Kelvin
R – rezistenţa sau partea reală a unei impedanţe
Δf – banda de trecere a sistemului de măsură în Hz
În particular, la T = 300 K, considerată ca temperatura camerei,
obţinem:
VZT  1,27  10 10 R  f [V] (2.91)
Din examinarea acestei relaţii se pot trage următoarele concluzii:
63
- nu are importanţă unde este situată în spectrul de frecvenţă,

banda sistemului de măsură, zgomotul termic se poate măsura la
fel de bine la frecvenţe joase şi medii cât şi la frecvenţe înalte,
- ”R” ca parte reală a unei impedanţe poate fi diferită de rezistenţa
de curent continuu, în plus reactanţele pure nu generrează
zgomot termic,
- în expresia ”tensiuniii de zgomot” apare temperatura ”T” a
impedanţei deci trebuie specificată întotdeauna şi temperatura de
lucru,
- tensiunea de zgomot nu depinde de valoarea curentului continu
sau alternativ prin elementul generator de zgomot. Zgomotul
termic apare în absenţa semnalului sau a polarizărilor de curent
continu
Zgomotul constitue o sursă de tensiune foarte mică dar care
deranjează şi poate fi măsurată prin intermediul unui amplificator (figura
2.19). De exemplu, tensiunea de zgomot generată în rezistenţa ”R” se poate
calcula cu relaţia 2.92, unde Δf reprezintă lăţimea în frecvenţă a benzii de
trecere a amplificatorului la care se conectează rezistenţa. Zgomotul apare în
terminalele electrice transportoare ca şi în toate celelalte elemente. Din
această cauză întotdeauna există limite inferioare ale tensiunilor ce pot fi
amplificate.
R A
VS
b
Figura 2.19. Montaj pentru evidenţierea tensiunii de zgomot a unui rezistor
În figură senzorul rezistiv ”R” este cuplat prin conductoarele a şi b

cu amplificatorul VS. Conductoarele a şi b împreună cu senzorul R formează
o buclă, aflată în câmpul magnetic alternativ, de exemplu aparţinând unui
transformator de reţea 50 Hz, aflat în apropiere etc. Tensiunea indusă de
64
bucla A este amplificată şi considerată ca o erorare sistematică. Când se

conectează de exemplu un difuzor la ieşirea amplificatorului, zgomotul este
sesizat ca un brum de reţea care se suprapune peste semnalul util.
Există procedee pentru diminuarea efectului acestei tensiuni:
- aparatul deranjat trebuie îndepărtat mai mult de sursa de zgomot
- bucla se realizează cât mai mică şi se orientează pe minimul
tensiunii induse
Există şi preocedee prin care legăturile de masă ale diverselor
aparate sunt conectate împreună, un exemplu fiind prezentat în figura 2.20:
d A c
Figura 2.20. Procedeu de conectare a maselor aparatelor
În figura prezentată se formează bucla A aflată de asemenea în

spaţiul în care acţionează câmpul magnetic parazit. În conductoarele dintre
bornele de masă şi pământ c şi d se induce o tensiune parazită. Din acest
motiv în unele cazuri una dintre aceste două legături se desface.
2.6.1. Tensiuni parazite datorate câmpului electric
Mai adesea apar tensiuni parazite datorate câmpului electric.

Senzorul R este cuplat cu amplificatorul Vs ca în figura 2.21. Între
conductoarele a şi b apare capacitatea C01.
În continuare conductorul d aparţine reţelei instalaţiei electrice de
230 V în spaţiul căreia se află şi circuitul de măsurare.
65
d 230V
VS
C02
a
R C01
b
Figura 2.21. Capacităţi parazite care influenţează semnalul util
Între conductoarele a şi d capacitatea este C02. Capacităţile C01 şi C02

formează astfel un divizor capacitiv de tensiune, încât la bornele lui C01 pot
apărea tensiuni parazite de până la 1 V. Tensiunea parazită la intrarea
amplificatorului este cu atât mai mare cu cât mai mare este rezistenţa R a
senzorului.
Pentru reducerea tensiunilor parazite de acest fel se folosesc legături
ecranate ca în figura 2.22. Ecranul este legat la împământare şi serveşte de
regulă ca şi conductor rece, în timp ce celălalt conductor, ecranat, purtător al
semnalului util, este numit cald.
R c
a
e d
Figura 2.22. Montaj pentru reducerea tensiunilor parazite
Elementele din figură sunt:

a – senzorul
b – legături ecranate
c – ecran
66
d – legătură cu carcasa amplificatorului

e – legătura la pământ
Corespunzător figurii şi rezistenţa R a senzorului se ecranează pe cât
posibil. În special trebuie făcută cu mare grijă ecranarea senzorului de mare
rezistentă sau impedanţă, cum este de exemplu senzorul capacitiv,
piezoelectric sau debitmetrului electromagnetic.
Tensiunile parazite exterioare se datoresc de obicei câmpului
magnetic sau electric exterior parazit. Acestea reuşesc adesea să influenţeze
clar măsurarea.
În cazul prezenţei câmpurilor electrice parazite, măsura de diminuare
a efectelor parazite cea mai utilă este ecranarea legăturilor dintre senzor şi
amplificator. Ecranul se leagă la carcasa amplificatorului şi se
împământează una dintre intrările amplificatorului. Ecranarea este cu atât
mai necesară cu cât mai mare este rezistenţa sezorului.
Influenţa câmpurilor magnetice este diminuată prin ecranarea
senzorului cu materiale magnetice moi (ex. mü-metal).
67
68
CAPITOLUL 3
DETECŢIA SINCRONĂ
Detecţia sincronă este utilizată la măsurarea tensiunilor alternative

mici conform schemei de principiu din figura 3.1.
Filtru trece-jos
Intrare
semnal Detector R
U1(t) A1 sincron A2
C Indicator analogic
sau digital
Intrare
referinţă Formator
semnale Defazor
Ue(t) dreptunghiulare
Figura 3.1. Schema de principiu a detecţiei sincrone
La una din cele două intrări ale schemei este aplicată tensiunea utilă
de măsurat, iar la cealaltă intrare, tensiunea alternativă de referinţă. Prin
intermediul unui circuit formator (trigger Schmidt, circuit basculant bistabil
etc.) se obţine un semnal dreptunghiular sincronizat cu semnalul alternativ
de referinţă, faza semnalului dreptunghiular putând fi modificată cu un
defazor reglabil. După defazare, acest semnal comandă detectorul sincron.
Semnalul de la ieşirea detectorului sincron străbate un filtru trece-jos, este
amplificat în curent continuu de către amplificatorul A2 şi este afişat apoi de
către un instrument analogic sau digital.
Prin detecţie sincronă se selctează din semnalul de intrare numai
componentele care au aceeaşi frecvenţă şi fază cu semnalul de referinţă.
Celelalte componente apar la ieşirea detectorului sincron, cu faze variabile
în timp, iar după mediere prin filtru trece-jos, acestea sunt atenuate cu atât
mai mult cu cât variaţia în timp a fazelor este mai rapidă.
Capitolul 3. Detecţia sincronă
3.1. Etajul detector sincron
U1(t) U2(t)
Uc(t)
Figura 3.2. Detector sincron
Modelul celui mai simplu detector sincron „mono-alternanţă” este

prezentat în figura 3.2. închiderea şi deschiderea întrerupătorului K este
comandată de semnalul de comandă Uc(t). În prezenţa semnalului de
comandă, K se închide iar în absenţa lui se deschide. Dacă semnalul de
intrare U1(t) este sinusoidal, u1 t   U1m sin t , iar semnalul de comandă
Uc(t) este dreptunghiular, de aceeaşi frecvenţă şi fază iniţială nulă, atunci
semnalul de ieşire U2(t) are valoare medie pozitivă pentru 0<φ<90º şi
negativă pentru 90º<φ<180º, trecând prin 0 la φ=90º. Valoare medie a
semnalului la ieşire este dat de relaţia (3.1).
T
1 2
   U1m sin t   dt 
1
U 2 med U1m (3.1)
T 0 2
În cazul unei tensiuni periodice nesinusoidale U1(t) va fi dat de

relaţia (3.2).
U1 t   K 1 U K sin Kt   K 
K 
(3.2)
unde UK sunt amplitudinile armonicilor, iar φk sunt fazele lor iniţiale. Din
cele două relaţii rezultă:
T
U K cos  K
  
 2 
U K sin Kt   K dt 
1 1
U 2 med   
T K 1 0 2

K 1 K
1   1K (3.3)
sau:
70
1  U3 U5 
U 2 med 
2 U 2 cos 1  3 cos 3  5 cos 5 .... (3.4)
Se observă din relaţia (3.4) că armonicele pare dispar, semnalul de

ieşire depinde numai de armonicele impare ale semnalului de intrare, iar
efectul armonicelor impare este invers proporţional cu ordinul armonicii.
Sensibilitatea detectorului sincron la armonicile impare constitue o
imperfecţiune a acestuia care poate deranja în unele aplicaţii. Ea poate fi,
practic, eliminată dacă amplificatorul de curent alternativ A1 care precede
detectorul sincron este selectiv.
Când semnalul de intrare este sinusoidal de frecvenţă f1≠fc, unde fc
este frecvenţa semnalului de comandă, răspunsul detectorului sincron
conţine componente alternative de frecvenţe egale cu combinaţii liniare ale
frecvenţelor f1 şi fc de forma: /f1±fc/, / f1±3fc/, / f1±5fc/ etc. Atâta timp cât
aceste frecvenţe sunt suficient de mari în comparaţie cu 1/τ, unde τ este
constanta de timp a filtrului trece-jos, componentele respective sunt, practic,
eliminate de filtru. Dacă, însă, una dinte aceste frecvenţe este comparabilă
sau mai mică decât 1/τ, la ieşirea filtrului apare o componentă alternativă de
frecvenţă joasă, sub formă de fluctuaţie a tensiunii de ieşire (fenomen de
bătăi).
Dacă semnalul de intrare este un zgomot cu spectru continuu,
detectorul sincron se comportă ca un filtru selectiv, având caracteristica de
frecvenţă din figura 3.3.
U2
1/1
1/3
1/5
1/7
1/9
f
0 fc 3fc 5fc 7fc 9fc
Figura 3.3. Caracteristica de frecvenţă a detectorului sincron
71
Lungimea benzii fiecărei linii spectrale a caracteristicii este egală cu

dublul lărgimii de bandă a filtrului trece-jos de la ieşire.
În figura 3.4 sunt prezentate câteva scheme uzuale de detecţie
sincronă monoalternanţă, conform modelului anterior, sau bialternanţă, în
care a doua alternanţă inversează faza semnalului de la intrare realizând la
ieşire un semnal de valoare medie dublă fată de detectoarele sincrone
monoalternanţă.
R U1(t)
Uc(t) ~
U2(t) ~
Uc(t) U2(t)
R1
U1(t)
T b
U1(t) R3 U2(t)
U1(t)
R2
Uc(t) U2(t)
Uc(t) d
c
Figura 3.4. Scheme uzuale de detecţie sincronă monoalternanţă şi bialternanţă

a. Detector sincron cu diode monoalternanţă
b. Detector sincron cu diode bialternanţă
c. Detector sincron cu tranzistor monoalternanţă
d. Detector sincron cu amplificator inversor şi comutatoare electronice bialternanţă
72
a. Este schema detectorului sensibil la fază monoalternanţă de tip

Walter. Se observă că în cele două alternanţe ale tensiunii de
comandă Uc(t) conduc succesiv D1 şi D2. Se schimbă astfel circuitul
de detecţie pentru sursa U1(t). La bornele rezistenţei R conectate pe
priza mediană a transformatorului se obţine U2(t), care reprezintă
semnalul de ieşire, dependent de diferenţa de fază dintre UC(t) şi
U1(t).
b. Realizează detecţia sensibilă la fază bialternenţă. Pentru aceasta cele
patru diode D1,D2,D3,D4 sunt conectate în ”inel” (circuit închis în
acelaşi sens). O diagonală a inelului de diode este conectată prin
transformatorul separator la UC(t), iar cealaltă tot printr-un
transformator la U1(t). Semnalul de ieşire se culege la capetele unei
rezistenţe conectate între prizele mediane ale celor două
transformatoare. Se realizează astfel redresarea sensibilă la fază a
ambelor alternanţe.
c. Schema clasică a unui modulator sensibil la fază cu tranzistor.
Tranzistorul T se comportă ca un comutator comandat de semnalul
UC(t) aplicat pe bază. Ieşirea U2(t) se obţine la bornele lui R3.
d. Cea mai performantă schemă este realizată cu un amplificator
operaţional în regim de invertor. Tranzistoarele cu efect de câmp
sunt comandate de UC(t). Unu dintre tranzistoare este alimentat
direct de la U1(t), iar celălalt tot de la U1(t), dar prin inversarea fazei
acesteia (1800) cu ajutorul amplificatorului operaţional în regim de
invertor.
3.2. Parametrii detectoarelor sincrone
- Rejecţia semnalelor nedorite, de exemplu a unui semnal sinusoidal

sincron defazat la π/2 faţă de semnalul de comandă poate fi de 40dB
la un detector sincron obişnuit sau 60-80dB şi chiar mai mult la un
detector sincron de bună calitate.
- Posibilitatea de supraîncărcare este un un criteriu important pentru
detecţia semnalelor slabe acoperite de perturbaţii puternice. Dacă
amplitudinea perturbaţiilor depăşeşte zona de liniaritate a
detectorului, acesta îşi pierde proprietăţile specifice şi generează
73
semnale de ieşire false. Din acest motiv, este necesar ca detectorul

sincron să fie liniar într-o zonă care să depăşească cu mult plaja
semnalelor utile de intrare. Se defineşte astfel factorul de
supraîncărcare K, fiind raportul între semnalul maxim de intrare
pentru răspuns liniar şi semnalul nominal de intrare corespunzător
extremităţii gamei de măsuare a aparatului. Pentru performanţe
modeste K=3...10. Pentru performanţe bune K=100 şi foarte bune
K>1000.
- Intervalul frecvenţelor de lucru: este un interval limitat inferior de
constanta de timp a filtrului (fmin trebuie să fie mai mare în
comparaţie cu 1/τ) şi superior de înrăutăţirea vitezei de comutaţie a
detectorului. Practic, se obţine relativ uşor fmin=1 Hz şi fmax=100
KHz.
3.3. Detecţia sincronă cu schimbare de frecvenţă
Dezavantajele provenite din răspunsul multiplu al detectorului

sincron la armonicile impare ale semnalului de intare sunt evitate la
detectoarele sincrone cu schimbare de frecvenţă. Acestea utilizează
principiul heterodinei, obţinându-se un semnal de frecvenţă fi constantă,
oricare ar fi frecvenţa semnalului de intrare. Valoarea frecvenţei
intermediare se ia suficient de mare pentru ca frecvenţă imagine care rezultă
la schimbarea de frecvenţă, să fie mult peste frecvenţa limită superioară a
aparatului. Semnalul de frecvenţă intermediară este amplificat selectiv
eliminându-se armonicele impare ale semnalului de intrare. Cum frecvenţa
intermediară este fixă, amplificatorul selectiv poate fi realizat suficient de
stabil fără dificultate. În cele ce urmează sunt prezentate detecţia sincronă şi
amplificare în curent continuu, ca la detectorul fără schimbare de frecvenţă.
Efectul schimbării de frecvenţă este avantajos mai ales la măsurarea
unor tensiuni foarte mici, la limita impusă de zgomotul care însoţeşte
semnalul util.
74
3.4. Detector sincron cu acord automat pe frecvenţa semnalului
Nu necesită semnal de comandă (referinţă, exterior). Comanda se

face cu un semnal provenit de la un oscilator intern, cu frecvenţa reglată
automat. Frecvenţa acestui oscilator trebuie variată manual până când
ajunge aproximativ egală cu frecvenţa semnalului de măsurat, cu o diferenţă
de ±5 %. În continuare, frecvenţa semnalului de măsurat se autoreglează
până când devine egală cu frecvenţa de intrare, bucla de reglaj funcţionând
cu maximarea semnalului de ieşire al detectorului sincron. Sistemul este util
pentru detectarea semnalelor periodice slabe, însoţite de zgomot cu spectru
continuu sau de semnale perturbatoare periodice, de frecvenţe foarte diferite
de frecvenţa semnalului util.
75
76
CAPITOLUL 4
SENZORI DE PROXIMITATE
Senzorii de proximitate convertesc într-o mărime electrică gradul de

apropiere dintre un obiect şi sistemul de referinţă, realizând controlul unei
anumite poziţii fără contact între referinţă şi obiectul în deplasare.
În categoria măsurărilor de proximitate intră: sesizarea poziţiei
capetelor de cursă, a interstiţiului dintre două suprafeţe, sesizarea prezenţei a
unui obiect în câmpul de lucru etc.
Acest senzor prezintă o caracteristică tip releu discernând între două
valori ce reprezintă convenţional prezenţa sau absenţa corpului controlat.
4.1. Senzori inductivi de proximitate
O schemă tipică pentru un senzor inductiv de proximitate este

prezentat în figura 4.1.
L1
O A R
L2
Figura 4.1. Schema unui senzor inductiv de proximitate
La una din cele două intrări ale schemei este aplicată tensiunea utilă
de măsurat, iar la cealaltă intrare, tensiunea alternativă de referinţă. Prin
intermediul unui circuit formator (trigger Schmidt, circuit basculant bistabil
etc.) se obţine un semnal dreptunghiular sincronizat cu semnalul alternativ
de referinţă, faza semnalului dreptunghiular putând fi modificată cu un
defazor reglabil. După defazare, acest semnal comandă detectorul sincron.
Semnalul de la ieşirea detectorului sincron străbate un filtru trece-jos, este
Capitolul 4. Senzori de proximitate
amplificat în curent continuu de către amplificatorul A2 şi este afişat apoi de

către un instrument analogic sau digital.
Prin detecţie sincronă se selctează din semnalul de intrare numai
componentele care au aceeaşi frecvenţă şi fază cu semnalul de referinţă.
Celelalte componente apar la ieşirea detectorului sincron, cu faze variabile
în timp, iar după mediere prin filtru trece-jos, acestea sunt atenuate cu atât
mai mult cu cât variaţia în timp a fazelor este mai rapidă.
Oscilatorul O întreţine un câmp magnetic alternativ (audiofrecvenţă
sau radiofrecvenţă) în jurul înfăşurărilor L1 şi L2 cuplate inductiv. Când un
corp metalic este plasat în acest câmp, în masa metalului apar curenţi
turbionari care, slăbind cuplajul inductiv al înfăşurărilor L1 şi L2, blochează
oscilaţiile, fapt care provoacă inversarea stării elementului de comutaţie.
Parametrii funcţionali de bază sunt (figura 4.2):
- Zona de acţiune uzual 3÷25 mm.
- Fidelitatea reprezentând toleranţa preciziei de reperare a punctelor de
pornire şi oprire a oscilaţiilor în condiţiile menţinerii constante a
temperaturii, tensiunii de alimentare, a sensului şi vitezei de deplasare a
obiectului de cercetat.
- Histerezisul reprezentând în aceleaşi condiţii diferenţele de poziţionare
dintre punctele de pornire şi oprire a oscilaţiilor.
- Durata impulsului de ieşire, determinată în principal de viteza de trecere
şi dimensiunile ecranului metalic.
Punct de pornire
a oscilaţiilor
Punct de oprire a Histerezis

oscilaţiilor
Za
Senzor
inductiv
Figura 4.2. Parametrii funcţionali ai senzorului inductiv de proximitate
Za – distanţă normală de detecţie.

78
4.2. Senzori magnetici de proximitate
Se compune în principiu dintr-un contact întrerupător tip releu Reed,

plasat într-un braţ al unei carcase în formă de U, şi dintr-un magnet
permanent (MP) fixat în celălalt braţ (figura 4.3). Trecerea unui obiect
feromagnetic printre braţele detectorului modifică spectrul liniilor de câmp
ale magnetului permanent, iar contactele releului nemaifiind solicitate îşi
schimbă starea.
Obiect detectat
Releu Reed
N S
MP
Figura 4.3. Senzor magnetic de proximitate
Senzorii magnetici de proximitate pot fi fără memorie, când releul

comută doar sub acţiunea magnetului, sau cu memorie, atunci când
revenirea la starea iniţială nu se poate face decât sub influenţa unui câmp
magnetic de sens contrar. Schimbarea de polaritate magnetică se obţine prin
rotaţia cu 180º a magnetului, efectuată de un dispozitiv mecanic adecvat.
4.3. Senzori capacitivi de proximitate
Elementul sensibil al unui senzor capacitiv de proximitate (figura

4.4) este un condensator care face parte dintr-un circuit oscilant. Prezenţa
unui conductor sau a unui dielectric cu permitivitatea εr>1 la o anumita
distanţă de faţa sensibilă a detectorului modifică capacitatea de cuplaj şi
amorsează oscilaţiile, zona activă uzuală fiind de 15 mm.
La detecţia conductoarelor, obiectul controlat formează cu faţa
sensibilă un condensator a cărui capacitate creşte odată cu micşorarea
distanţei de la obiect la faţa sensibilă. La detecţia izolanţilor, faţa sensibilă
reprezintă un condensator a cărui capacitate este cu atât mai mare cu cât
permitivitatea dielectrică a obiectului controlat este mai mare.
79
Pentru evitarea perturbaţiilor, la detectarea obiectelor conductoare,

acestea trebuie să legate la pământ.
Domeniu Obiect
Faţă de lucru controlat
Detector
sensibilă
Figura 4.4. Senzor capacitiv de proximitate
Un detector mai sensibil foloseşte un circuit cu intrare pe TEC

(figura 4.5.) a cărui masă este conectată la faza reţelei de curent alternativ.
Apropierea de intrare a unui obiect conectat la pământ echivalează cu
aplicarea unei tensiuni alternative la intrare. Distanţa sesizată este destul de
mare, deci capacitatea de cuplaj mică, deoarece capacitatea de intrare a
TEC-ului este foarte mare.
T1
Obiect T2
conductor
de detectat C1
10Ω 10μF
C2
1μF
~220V
Figura 4.5. Circuit de intrare pe TEC
La primirea semnalului, T1 conduce intermitent, încarcă C1, deci

aduce în conducţie pe T2 care alimentează oscilatorul de relaxare cu TUJ,
iar semnalul generat de acesta, amplificat, acţionează un releu de avertizare.
80
4.4. Senzori fotoelectrici de proximitate
Se bazează pe modificarea fluxului de radiaţii care se stabileşte între

o sursă (emiţător) şi un receptor prin prezenţa obiectului controlat. Se
disting două variante constructive:
a. Senzori tip barieră: în care emiţătorul E şi receptorul R sunt
poziţionate de o parte şi de alta a obiectului controlat (figura 4.6).
Obiectiv Obiect Obiectiv

optic detectat optic
R
~ E
Figura 4.6. Senzor tip barieră
b. Senzori tip reflector: la care fascicolul de radiaţii emis de sursă este

transmis spre receptor, situat de aceeaşi parte cu emiţătorul în raport
cu obiectul controlat, prin intermediul unui paravan reflectorizant.
Prezenţa obiectului controlat modifică intensitatea fluxului luminos
recepţionat după reflexie (figura 4.7).
Obiectiv
Obiect
optic
~ Reflector
R E
Figura 4.7. Senzor de tip reflector
La unele variante constructive, paravanul reflectorizant este chiar

obiectul controlat.
Surse emiţătoare: diode luminiscente în domeniul vizibil sau
infraroşu, lămpi cu incandescenţă.
Receptor: fotorezistenţa, fotorezistorul, fotodioda.
Adaptorul electronic: formator de impulsuri, amplificator, releu.
81
Observaţii: trebuie evitate sursele luminoase puternice, mediile

umede (aburirea lentilelor) şi îndepărtarea obiectelor puternic reflectorizante
de zona de acţiune.
4.5. Senzori fluidici de proximitate (duză-paletă)
Acest tip de senzor sesizează modificarea unuia sau mai multor

parametri ai fluidului: presiune, viteză, sens de curgere etc., sub influenţa
corpului a cărui prezenţă trebuie evidenţiată. Nivelul energetic foarte mic al
semnalelor vehiculate în sistemele fluidice face ca sesizarea proximităţii
6unui obiect să se realizeze practic fără a perturba starea sau structura
obiectului. În figura 4.8 este prezentat principiul de lucru al ansamblului
duză-paletă.
Duză
R1
Paletă
P1
P2 R2 x
Figura 4.8. Principiu de lucru al ansamblului duză-paletă
În figura 4.9 este dată caracteristica statică a dispozitivului duză-

paletă.
P2 [bar]
x [μm]
0
20 40 60 80 100
Figura. 4.9. Caracteristica statică a dispozitivului duză-paletă

82
Dispozitivul duză-paletă este realizat constructiv din două rezistenţe

pneumatice, una fixă R1 şi una reglabilă R2. Alimentarea se face cu aer
comprimat la la presiunea P1 prin rezistenţa R1 calibrată. Rezistenţa mobilă
R2 are o componentă constantă R’ datorită canalului duzei şi o componentă
variabilă R” datorită interstiţiului dintre duză şi paletă.
Distanţa x constituie mărimea de intrare iar presiunea P2 realizată cu
camera duzei reprezintă mărimea de ieşire. Prin deplasarea paletei se
modifică rezistenţa de scurgere a aerului R2”, astfel că apare o variaţie
practic proporţională a presiunii P2.
Caracteristica statică pune în evidenţă zona AB de funcţionare
liniară. Funcţie de raportul dintre diametrele celor două rezistenţe
pneumatice dar şi funcţie de tensiunea de alimentare, domeniul de lucru al
senzorului duză-paletă poate fi restrâns sau extins, în general situându-se
sub valori de 1mm.
4.5.1. Senzorul cu jet liber
Este format dintr-un ansamblu de două duze coaxiale: duza

emiţătoare 1, alimentată la o sursă de presiune constantă şi duza receptoare
2 (figura 4.10).
1 2 obiect
1
a. în absenţa obiectului b. în prezenţa obiectului
Figura 4.10. Senzorul cu jet liber
Jetul captat de duza receptoare va fi întrerupt total sau parţial în

prezenţa obiectului în spaţiul dintre cele două duze provocând deci o
scădere a presiunii în duza receptoare 2. Principalul dezavantaj al senzorilor
de acest tip constă în sensibilitatea mare la impurităţile din mediu. Astfel,
particulele care pot fi antrenate de jetul liber obturează parţial duza
receptoare ceea ce poate duce la falsificarea semnalului transmis. Senzorii
cu turbulenţă se folosesc pentru interstiţii de până la 20 mm.
83
4.5.2. Senzorul cu impact de jeturi
Acest tip de senzor de proximitate elimină dezavantajele „jetului

liber”. Duza receptoare din exemplul precedent este ea însăşi emiţătoarea
unui jet obţinut ca urmare a devierii circuitului de alimentare la presiunea Pa
printr-o rezistenţă R (figura 4.11).
1
2
Pieşire
Pa
Figura 4.11. Senzorul cu impact de jeturi
În absenţa obiectului ce urmează a fi detectat are loc impact al celor

două jeturi, astfel că, în duza 2 va exista o presiune relativ înaltă. Apropierea
unui obiect va întrerupe jetul din duza 1, astfel că jetul din duza 2 devine
practic liber şi presiunea Pieşire scade. Domeniul de utilizare: distanţe de până
la 200 mm.
4.5.3. Senzor de proximitate de tip focar
Este un senzor foarte simplu de realizat. Foloseşte o duză de forma

unui canal circular, alimentată cu o presiune constantă Pa pe circumferinţa
exterioară (figura 4.12).
Absenţa obiectului din zona de lucru a senzorului face ca jetul, cu o
viteză mare la părăsirea duzei, să antreneze masa de aer din zona interioară
ceea ce conduce la crearea unei uşoare depresiuni la ieşire. Prezenţa
84
obiectului întrerupe expansiune jetului, astfel că va apare o componentă

dinamică a presiunii circulată spre interior şi deci presiunea la ieşire creşte.
Domeniul de lucru este de 2÷6 mm şi este foarte avantajos. În plus,
senzorul este practic imun la influenţa nedorită a particulelor din mediu,
aerul provenit în circuitul de ieşire provenind de la aerul de alimentare.
Pe (depresiune) Pe (suprapresiune)
Pa Pa
obiect
a. în absenţa obiectului b. în prezenţa obiectului

Figura 4.12. Senzor de tip focar
85
86
CAPITOLUL 5
SENZORI PENTRU MĂSURAREA MĂRIMILOR MAGNETICE
În principiu aceşti senzori realizează conversia unei marimi

magnetice active sau pasive (intensitate câmp, inducţii, flux, permeabilitate
etc.) într-o mărime electrică atât pentru măsurarea marimilor magnetice
respective cât, si prin intermediul acestora, pentru determinarea altor mărimi
fizice.
Putem clasifica senzorii pentru măsurarea mărimilor magnetice în
trei categorii:
- senzori care au la bază procedeul inductiv de masurare, în regim
de impuls sau regim permanent.
- senzori care se bazează pe acţiunea câmpului magnetic asupra
unor corpuri fizice de probă;
- senzori care folosesc rezonanţă magnetică nucleară (RMN).
5.1. Senzori bazaţi pe procedeul inductiv
Senzorul care are la bază procedeul inductiv poate funcţiona în

regim de impuls sau în regim permanent. Primul mod de funcţionare este
utilizat în special pentru măsurări de laborator. În principiu, o bobină mobilă
numită si bobină sondă, cu parametri constructivi cunoscuţi (număr de spire
N, suprafaţă S) este conectată la bornele unui instrument de tip
galvanometru balistic (figura 5.1). care măsoară, în regim de impuls,
cantitatea de electricitate ce străbate înfăşurarea mobilă a galvanometrului.
Fie R rezistenţa echivalentă a întregului circuit. Sonda se
poziţionează în spaţiul în care acţionează câmpul magnetic de măsurat şi
este orientată astfel încât fluxul care înlănţuie înfăşurarea acesteia să sufere
o variaţie de la zero la valoarea maximă sau invers. Aceasta se obţine fie
prin rotirea sondei în câmp, fie prin simpla introducere sau scoatere a sondei
din câmp.
Capitolul 5. Senzori pentru măsurarea mărimilor magnetice
i(t)
R
Figura 5.1. Senzor bazat pe procedeul inductiv cu funcţionare în regim de impuls
Ca urmare a variaţiei fluxului magnetic, în sondă apare prin inducţie

o tensiune electromotoare de forma:
d
e (5.1)
dt
Curentul prin circuit are forma unui impuls:
e 1 d
i(t )    (5.2)
R R dt
Cantitatea de electricitate care străbate înfăşurarea mobilă a
galvanometrului G este:
1 d
  dt    max  0  Q    max
1 1
Q   i(t ) dt   (5.3)
R dt R R
Valoarea maximă a fluxului magnetic are expresia:
max  N  Bmax  S (5.4)
unde Bmax – valoarea maximă a inducţiei magnetice.

Ţinând cont de ecuaţia de funcţionare a galvanometrului:
Q  kb   max (5.5)
unde:
 max – amplitudinea deviaţiei indicatorului galvanometrului;
kb – constanta balistică a acestuia.
88
1 kb   max  R
kb   max    N  Bmax  S  Bmax   (5.6)
R N S
Aşadar, indicaţia instrumentului de măsurare este proporţională cu
valoarea inducţiei câmpului magnetic. Se pot realiza senzori de acest tip cu
dimensiuni foarte mici, fiind utilizaţi la măsurarea câmpurilor magnetice
continue în spaţii înguste.
În figura 5.2 se prezintă un exemplu de funcţionare în regim
permanent a senzorului bazat pe procedeul inductiv. În spaţiul de cercetat
este introdusă o bobină - sondă, care este rotită cu turaţie constantă de către
un micromotor (MM). Capetele înfaşurării sunt conectate la două inele de
contact pe suprafaţa cărora calcă o pereche de perii.
Tensiunea electromotoare indusă, alternativă sinusoidală cu
amplitudinea dependenta de inductia de cercetat, este prelucrată de către
blocul adaptor AD, iar instrument de ieşire are cadranul divizat direct în
unităţi de inducţie (T).
Evident se presupune că viteza unghiulară de rotatie a infăsurării
sondă, este constantă sau modificarea acesteia in timpul măsurării este
compensată automat de către adaptor.
IE
B AD
MM
Figura 5.2. Senzor bazat pe procedeul inductiv cu funcţionare în regim continuu
 (t )  max  cos t (5.7)
α=ωt, reprezintă poziţia unghiulară a înfăşurării mobile la un

moment dat (sau unghiul dintre normala la suprafaţa bobinei sondă şi
directia inductiei magnetice de cercetat)
89
d
e    max  sin  t    N  S  B  sin  t (5.8)
dt
Acest procedeu pentru măsurarea inducţiei magnetice a fost foarte
utilizat în trecut. S-au realizat instrumente de acest tip la firma A.E.G., cu
domenii de măsurare cuprinse între de zeci de mT şi 2.2-2.5 T.
5.2. Senzorul Hall
Din categoria senzorilor bazaţi pe acţiunea câmpului magnetic

asupra unui corp de probă fac parte senzorul Hall, senzorul Förster şi
senzorul Gauss. În acest caz, corpul de probă reprezintă un element fizic
(din material conductor, semiconductor sau feromagnetic) ale cărui
proprietăţi fizice sunt influenţate de prezenţa câmpului magnetic. Senzorii
Gauss utilizează efectul magnetorezistiv şi sunt prezentaţi în cadrul
senzorilor rezistivi.
5.2.1. Efectul Hall
Efectul Hall a fost descoperit în anul 1880. În cazul senzorului Hall,

corpul de probă este un element paralelipipedic din material semiconductor,
având lăţimea b şi grosimea d foarte mică în raport cu lungimea, respectiv
cu lăţimea (figura 5.3).
UH
B
I b I
Figura 5.3. Construcţia de principiu a senzorului Hall
Fluxul de electroni care străbate plăcuţa Hall pe direcţia curentului I,

este acţionat de o forţă perpendiculară pe directia curentului, încât în regim
90
permanent, una din feţele plăcuţei Hall ”sărăceşte”, iar cealaltă se

”îmbogăţeşte” în electroni.
Câmpul electric E care ia naştere datorită diferenţei de potenţial
electric dintre cele două feţe acţionează asupra purtătorilor de sarcini
(electroni) cu o forţă Fe  e  E , astfel că în regim permanent se stabileşte un
echilibru între forţele exercitate de câmp:
eo  B  eo  v  B (5.9)
iar diferenţa de potenţial electric între cele două feţe ale plăcuţei Hall aflate
la distanţa b, considerând câmpul electric E uniform, devine:
U  b E  bv B (5.10)
Fie un segment de lungime l a plăcuţei Hall cu lăţimea b şi grosimea
d, curentul electric I considerat ca raport între sarcina electrică şi timp se
poate scrie sub forma:
Q n  b  d  l  e0
I  (5.11)
t t
unde: n – reprezintă concentraţia de volum a sarcinilor, produsul b  d  l -
volumul fragmentului de plăcuţă Hall.
l
Raportul   reprezintă viteza de deplasare a purtătorilor de
t
sarcini electrice, şi atunci:
I  n  b  d  l   e0 (5.12)
de unde:
I
v (5.13)
b  d  n  e0
În aceste condiţii diferenţa de potenţial dintre feţele plăcuţei Hall,

numită şi tensiune Hall devine:
b BI 1 1
U  bv B    I B (5.14)
b  d  n  e0 n  e0 d
91
Adică tensiunea generată de sensorul Hall este proporţională cu

inducţia magnetică şi cu valoarea curentului care străbate plăcuţa Hall, dar
invers proporţională cu concentraţia de volum a purtătorilor de sarcini şi
grosimea plăcuţei Hall.
Principalele surse de erori ale senzorului Hall sunt:
- dependenţa de temperatură a tensiunii UH, datorată variaţiei cu
temperatura a concentraţiei purtătorilor de sarcină ai materialului
semiconductor. Pentru compensarea acestei influenţe, circuitele
de măsurare sunt prevăzute cu elemente de compensare termică.
- erori sistematice la determinarea tensiunii UH, datorate
neechipotenţialităţii electrozilor de măsurare. Aceste erori pot fi
eliminate dacă unul din contactele pentru culegerea tensiunii Hall
se realizează prin intermediul unui potenţiometru reglabil.
Purtătorii de sarcină pot fi atât electronii (sarcini negative), cât şi
golurile (sarcini pozitive). Tensiunea Hall este invers proporţională cu viteza
de deplasare a electronilor de conducţie, dar în acelaşi timp este
proporţională cu mobilitatea purtătorilor: μ=v/E, unde E reprezintă
intensitatea câmpului electric generat în plăcuţă. În principiu, acest efect
apare atât la conductoare, cât şi la semiconductoare, fiind mult mai puternic
însă la semiconductoare. Ca materiale se folosesc din acest motiv combinaţii
semiconductoare de tipul: indiu-arseniu, indiu-telur, indiu-stibiu etc. Aceste
materiale au o mobilitate ridicată a purtătorilor, însă o bandă de trecere
mică. Alte materiale ca Si, GaAs, la care mobilitatea purtătorilor este mult
mai mică, au o concentraţie mai mică de purtători pe unitate de volum şi o
dependenţă redusă de temperatură (sondele Hall pe bază de Si pot fi utilizate
până la  200  C , iar cele din GaAs până la  400  C ). Un alt avantaj al
utilizării siliciului este posibilitatea de a integra senzorul şi partea
electronică aferentă (amplificator, alimentare, circuite de prelucrare) pe
acelaşi substrat.
Având în vedere dependenţa tensiunii Hall de concentraţia, sarcina şi
de mobilitatea purtătorilor, rezultă posibilitatea de a utiliza senzorul Hall la
determinarea unor parametri de material, în special în tehnologia
semiconductoarelor.
92
În tabelul 5.1 sunt date concentraţiile şi mobilitatea purtătorilor de

sarcină.
Tabelul 5.1. Concentraţia şi mobilitatea purtătorilor de sarcină
Materialul Concentraţia n Mobilitatea μ Mobilitatea Conductivitatea
a purtătorilor a electronilor golurilor 1/Ω•cm
-3
de sarcină [cm ] de conducţie cm V
cm V /
/ s cm
s cm
Cu 8.7•1022 40 - 6•105
Si 1.5•1010 1350 480 5•10-6
Ge 2.4•1013 3900 1900 2•10-2
InSb 1.1•1016 80000 750 1•10-2
GaAs 9•106 8500 400 1•10-8
Plecând de la relaţia 5.14, se poate defini rezistenţa plăcuţei Hall prin

relaţia:
UH 1
RH   B (5.15)
I n  d  eo
Întrucât nivelele energetice ale purtătorilor de sarcină sunt

cuantificate, se poate demonstra că la inducţii de valori foarte mari şi
temperaturi joase (apropiate de 0 K ), rezistenţa RH nu poate lua decât
anumite valori. Acest lucru poate fi observat pe caracteristica RH(U),
corespunzătoare unei inducţii magnetice B≈19T şi unei temperaturi T=1.5K
(figura 5.4).
RH [kΩ]
12 a B=19 T
T=1,5 K
b
1 U [V]
Figura 5.4. Caracteristica RH(U) la senzorul Hall

93
Valorile treptelor de rezistenţă ( a, b, c ) în aceste condiţii nu depind

decât de constanta lui Planck ( h ), de sarcina electronului ( eo ) şi de numărul
z care defineşte nivelul energetic pe care se află la un moment dat purtătorii.
Cu alte cuvinte, valorile rezistenţei RH în punctele a, b, c corespund şirului:
h/2e02, h/4e02, h/8e02.
Deci, teoretic, o astfel de rezistenţă este dependentă numai de câteva
constante universale şi nu depinde nici de materialul plăcuţei Hall şi nici de
dimensiunile geometrice ale acesteia. Plecând de la aceste consideraţii, s-ar
putea realiza un etalon de rezistenţă Hall de mare precizie.
contact
U0
Uds
B
WH
grilă
p-Si
n + n +
sursă n +
drenă
Y
I
contact
H
Figura 5.5. Schema de principiu a unui senzor FET-Hall
O variantă constructivă deosebită o reprezintă senzorul FET-Hall,

obţinut prin modificarea structurii clasice a unui tranzistor cu efect de câmp
de tip MOS (figura 5.5).
Elementul Hall este reprezentat de canalul dintre sursă şi drenă al
tranzistorului; adâncimea acestui canal este variabilă în funcţie de tensiunea
aplicată grilei şi de tensiunea drenă-sursă. Tensiunea Hall este culeasă între
două contacte plasate imediat sub grila tranzistorului. Senzorii de acest tip
sunt de curând folosiţi la realizarea întrerupătoarelor fără contact la tastaturi.
94
5.2.2. Aplicaţii ale senzorului Hall
5.2.2.1. Măsurarea inducţiei magnetice
Primele utilizări ale senzorului Hall au avut ca obiect măsurarea

inducţiei magnetice. Atunci când curentul prin plăcuţa Hall este menţinut
constant, se obţine o variaţie liniară a tensiunii UH cu valoarea inducţiei
magnetice (figura 5.6).
UH [mV]
100
0 1[T] B[T]
Figura 5.6. Caracteristica UH(B) la un senzor Hall
În figura 5.7 se prezintă schema de principiu a unui teslametru cu

sondă Hall. Curentul I prin plăcuţa Hall este debitat de un generator de
curent constant Gcc , cu treptele de curent comutabile. Se măsoară
inducţia Bo a câmpului în care se află plăcuţa Hall. Pentru comutarea
domeniilor de măsurare a inducţiei se utilizează un divizor realizat din
rezistenţele R1, R2, R3; instrumentul de ieşire poate fi un milivoltmetru de
c.c. cu scara gradată direct în unităti ale inducţiei (T) sau se pot folosi
instrumente numerice.
Pentru domeniul uzual al inducţiilor magnetice (0.01÷2.5 T)
valoarea tensiunii Hall obţinute nu depăşeşte ordinul sutelor de mV.
Sonda Hall poate fi realizată cu dimensiuni foarte mici (suprafaţă de
câţiva mm2); se poate astfel măsura inducţia magnetică în spaţii înguste (în
întrefierul magneţilor permanenţi din cadrul instrumentelor electrice, în
întrefierul maşinilor electrice, electromagneţilor etc.).
95
+
I Gcc
P R1 R2 R3
UH
B0 IE
Figura 5.7. Schema de principiu a unui teslametru cu sondă Hall
Efectul Gauss: constă în dependenţa rezistenţei electrice a unei

plăcuţe semiconductoare de intensitatea câmpului magnetic incident,
exprimată în general prin relaţia
r
 A 2 H 2 (5.16)
r
în care:
r - rezistenţa electrică a semiconductorului
A - constantă constructivă a sondei depedentă de raportul dintre lungimea şi
lăţimea sondei, μ este mobilitatea purtătorilor de sarcină,
H - intensitatea câmpului magnetic.
Sondele folosite au forme mai simple decât plăcuţele Hall, dar
cerinţele în privinţa dimensiunilor lor sunt exact contrare celor care se
folosesc în cazul efectului Hall. Dacă Z=(R-R0)/R0 este variaţia relativă a
rezistenţei unei sonde de Bismut, datorită efectului Gauss se poate scrie:
Z2+βZ=α2H2, unde α şi β sunt constante constructive. După acest principiu,
cu ani în urmă firma Hartmann-Braun a realizat un teslametru cu o precizie
de 1%. După cum a observat Kampf, câmpul magnetic influenţează puternic
şi caracteristicile triodelor semiconductoare, deşi acest fenomen nu este încă
perfect pus la punct.
96
5.2.2.2. Măsurarea curentului electric
Aşa cum se observă din relaţia 5.14, rezultă posibilitatea de a măsura

cu ajutorul senzorului Hall, pe lângă inducţia magnetică, atât curentul I, cât
şi produsul B·I.
Atunci când curentul prin plăcuţa Hall este continuu, iar câmpul
magnetic este alternativ, tensiunea Hall este tot o tensiune alternativă. În
cazul câmpurilor magnetice continue, în aceleaşi condiţii, se obţine o
tensiune continuă. Dacă, însă, plăcuţa este străbătută de un curent alternativ,
atunci pentru o inducţie magnetică continuă UH este o tensiune alternativă.
Măsurarea curentului electric cu ajutorul sondei Hall se realizează
prin intermediul inducţiei magnetice (conversie curent electric – inducţie
magnetică). Curentul I de măsurat străbate o înfăşurare cu N spire,
poziţionată pe un miez feromagnetic toroidal în întrefierul căruia se plasează
sonda Hall SH (figura 5.8.a). Inducţia magnetică în întrefier, măsurată de
sondă, depinde de tensiunea magnetomotoare N·I şi, într-un domeniu larg de
valori ale curentului, se obţine proporţionalitatea UH=k·I.
SH SH
I I1
I2
+
UH AO
N N1 _
N2
R
a. simplu b. cu compensare
Figura 5.8. Ampermetru cu sondă Hall
Caracterul liniar al dependenţei UH=f(I) poate fi afectat de parametrii

miezului feromagnetic (cu alte cuvinte, de neliniaritatea dependenţei
B  f (H ) în miez). Pentru eliminarea acestui fenomen s-au dezvoltat
ampermetre Hall cu compensare (figura 5.8.b). În acest caz, miezul
feromagnetic are două înfăşurări: o înfăşurare cu N1 spire parcursă de
97
curentul de măsurat (I1) şi o înfăşurare de compensare cu N2 spire prin care

circulă curentul I2.
Tensiunea U H obţinută la bornele sondei Hall este aplicată la intrarea
unui amplificator operaţional (AO); ieşirea lui este conectată prin
înfăşurarea N 2 , respectiv rezistenţa R la masă. Căderea de tensiune pe R,
realizată de curentul I 2 , constituie semnalul aplicat intrării inversoare a
amplificatorului operaţional. Circuitul este dimensionat astfel încât la
echilibru se realizează egalitatea N1  I1  N 2  I 2 , de unde se obţine imediat
valoarea lui I1 .
S-au realizat ampermetre Hall de tip cleşte, care permit măsurarea
curentului printr-un conductor fără întreruperea fizică a acestuia (figura 5.9).
Miezul fieromagnetic M se poate deschide astfel încât să înconjoare
conductorul P străbătut de curent. Senzorul Hall măsoară inducţia
magnetică a câmpului creat în întrefierul lui M, proporţională cu valoarea
curentului prin conductor.
Recent s-au realizat ampermetre la care sonda Hall se lipeşte direct
pe conductorul parcurs de curent, putându-se măsura astfel curenţi de
valoare mare.
SH
Fig. 5.9. Ampermetru tip cleşte
5.2.2.3. Măsurarea puterii şi energiei electrice
Din relaţia 5.14 rezultă posibilitatea de a cunoaşte prin intermediul

tensiunii Hall valoarea produsului I∙B. Funcţia de multiplicator a senzorului
98
Hall a condus la utilizarea acestuia în construcţia wattmetrelor şi a

contoarelor de energie electrică.
Un wattmetru cu sondă Hall este constituit în principiu dintr-un miez
feromagnetic cu funcţionare în porţiunea liniară a caracteristicii de
magnetizare (figura 5.10). Miezul este prevăzut cu un întrefier în care se
plasează plăcuţa Hall. Înfăşurarea electromagnetică este străbătută de
curentul I z absorbit de consumator, iar prin plăcuţă circulă curentul I ,
dependent de tensiunea la bornele consumatorului.
Iz N
I
UH
Figura 5.10. Wattmetru cu sondă Hall - construcţia de principiu
În figura 5.11 se prezintă schema electrică de principiu a

wattmetrului cu sondă Hall.
iz(t)
u(t) Z
EM
R
SH
i(t) uH(t)
Figura 5.11. Schema electrică de principiu a unui wattmetru cu sondă Hall

99
Curentul prin plăcuţa Hall este dat de relaţia:

1
i(t )  2 U  sin  t (5.17)
R
unde R - rezistenţa înseriată cu plăcuţa Hall (de valoare cunoscută).
Dacă se consideră tensiunea ca origine de fază, atunci curentul
absorbit de receptor care străbate şi înfăşurarea electromagnetului EM are
expresia:
iz (t )  2  I z  sin (t   ) (5.18)
Considerând dependenţele B(H), respectiv B(Iz) liniare, inducţia

magnetică în întrefier este de forma:
b(t )  const  2  I z  sin (t   ) (5.19)
Conform relaţiei 5.14, tensiunea Hall este:

1 1
u H (t )    i(t )  b(t ) (5.20)
n  eo d
Integrând această relaţie, se obţine valoarea medie a tensiunii Hall,

care rezultă că este proporţională cu puterea activă consumată:
1
1
U H med   const  i(t )  b(t ) dt  const  I z  U  cos ( U , I z )
T 0 (5.21)
 const  I z  U  cos   const  P
Pe baza acestui wattmetru, se poate realiza un contor static de

energie electrică (figura 5.12). Tensiunea continuă UH obţinută după
integrare este convertită în impulsuri dreptunghiulare cu ajutorul unui
convertor tensiune-frecvenţă (CUF). Frecvenţa acestor impulsuri este
proporţională cu puterea electrică; contorizând în timp impulsurile obţinute
(blocul CI), se realizează practic produsul P∙t, care reprezintă energia
consumată de receptor.
100
(S)
CUF CI
Afişor
WattmetruHall
(R)
Figura 5.12. Schema de principiu a unui contor static cu sondă Hall
Faţă de contorul de tip electromecanic, contorul cu sondă Hall

prezintă o serie de avantaje importante: durată mai mare de viaţă, lipsa
elementelor în mişcare, eliminarea uzurii mecanice etc.
5.2.2.4. Senzor de poziţie cu sondă Hall
În figura 5.13 este prezentat un exemplu de utilizare a senzorului

Hall la măsurarea unor deplasări liniare mici (de ordinul milimetrilor).
Circuitul feromagnetic format din jugurile fizice 1 şi 2 şi magnetul
permanent 3 realizează un câmp magnetic în spaţiul în care se află sonda
Hall (4). Dacă în acest spaţiu se introduce o armătură feromagnetică (5),
care se deplasează pe direcţie verticală, are loc modificarea inducţiei
magnetice care acţionează asupra sondei Hall. Rezultă astfel o variaţie a
tensiunii UH în funcţie de deplasarea armăturii.
5
2 1
N S
4 3
Figura 5.13. Sistem de măsurare a deplasării cu senzor Hall
101
Deoarece dependenţa este neliniară, un astfel de sistem poate fi

utilizat mai curând ca senzor de proximitate, sesizând doar prezenţa
armăturii feromagnetice. La apariţia acesteia, valoarea inducţiei magnetice
scade întrucât liniile de câmp generate de magnetul permanent se închid prin
armătura feromagnetică, armătura ecranând magnetic sonda; în consecinţă,
scade şi tensiunea UH generată de sonda Hall, semnalizând prezenţa
obiectului urmărit.
5.3. Senzorul Förster
Senzorul Förster face parte din categoria senzorilor de tip ferosondă,

pentru măsurarea câmpului magnetic constant sau lent variabil. Ferosonda
este un senzor de tip activ, realizat din miezuri feromagnetice şi bobine şi
reprezintă unul dintre cei mai siguri şi mai puţin “zgomotoşi” senzori de
câmp magnetic, cu un consum de putere redus, gabarit şi greutate mică.
Se bazează pe comportarea diferită a materialelor feromagnetice la
magnetizarea mixtă în câmpuri alternative şi continui, fiind asemănătoare
amplificatorului magnetic. Pentru obtinerea unei sensibilităţi de măsurare
cât mai mari, materialul corpului de probă, un miez din material
feromagnetic moale, trebuie să aibă permeabilităţi iniţiale şi maxime cât mai
ridicate (permalloy, mü-metal etc.)
e1(t) N1 N2
(f)
e2(t)
(2f)
N1 N
2
Ho
Figura 5.14. Schema de principiu a unui senzor Förster
Elementul sensibil constă dintr-o sondă feromagnetică cu două

înfăşurări primare identice, fiecare cu N1 – spire conectate diferenţial la
102
sursa de tensiune alternativ sinusoidală e(t) de frecvenţă „f” şi două

înfăşurări secundare, fiecare cu N2 - spire conectate adiţional (figura 5.14.)
În absenţa câmpului continu de cercetat „H0” rezultanta tensiunii
electromotoare induse la bornele secundarului este evident nulă, întrucât
cele două tensiuni electromotoare induse în înfăşurările secundare identice
sunt de asemeni identice dar în opozitie de fază.
În prezenţa însă a câmpului „H0”, deoarece modificarea stărilor
magnetice se realizează după cicluri de histerezis nesimetrice, apare în
secundar o componentă alternativă de frecvenţa dublă a cărei amplitudine
este proporţională cu intensitatea câmpului cercetat (H0).
Acest lucru se poate demonstra simplu plecând de la sonda simplă cu
numai două înfăşurări, respectiv înfăşurarea N 1 - primară şi înfăşurarea N 2
- secundară (figura 5.15).
N N2
1
H0
Figura 5.15. Schema de principiu a unei sonde simple
Fie h(t )  H m  cos t intensitatea câmpului magnetic alternativ

realizat de înfăşurarea primară alimentată în curent alternativ şi sinusoidal,
şi b  ah3  ch relaţia de aproximare a caracteristicii de magnetizare
inducţie-câmp a miezului feromagnetic („a” şi „c” fiind constante).
În absenţa câmpului continu (H0=0), inducţia magnetică rezultantă în
miezul feromagnetic devine:
b  aH m3 cos 3 t  cH m cos t (5.22)
sau
a 3  3 
b H m cos 3t   cH m  aH m3  cos t (5.23)
4  4 
103
Dacă inducţia în miezul feromagnetic are forma de mai sus, având o

componentă cu frecvenţa fundamentală si o componentă cu frecvenţă triplă,
tensiunea electromotoare rezultantă indusă în înfăşurarea secundară va
consta din două componente, una cu frecvenţa fundamentalei, şi una cu
frecvenţă triplă (a armonicii de ordinul 3).
În prezenţa câmpului continu de cercetat (H0≠0), intensitatea
câmpului rezultant care acţionează asupra miezului feromagnetic este:
h  H m  cos t  H 0
iar inducţia rezultantă in miez:
b(t )  aH m  cos t  H 0   cH m  cos t  H 0 
3
sau
 3a 
bt   H m3 cos 3t  H m2 H 0 cos 2t   H m2  3aH m H 02  cH m  
a 3a
4 2  2  (5.24)
3a
cos t  H m2 H 0  H m H 02  cH m
2
Adică inducţia va avea o componentă pe frecvenţa fundamentalei,
una pe frecvenţa dublă, deci pe armonica a doua si una pe frecvenţa
armonicii a treia. Componenta continua a inductiei apărută în dezvoltarea de
mai sus nu ne interesează. În consecinţă în înfaşurarea secundară se vor
induce tensiuni electromotoare cu frecvenţa fundamentalei, a armonicii a
doua si a armonicii a treia.
La sonda Förster însă înfăşurările secundare identice sunt în opoziţie
şi atunci componentele tensiunilor induse cu frecvenţa fundamentalei şi
armonicii a treia (impare) se vor compensa, iar componentele tensiunilor
induse în secundar cu frecvenţa dublă, adiţionale vor determina o rezultantă
de amplitudine:
3a 2
2 H m H 0  3aH m H 0 (5.25)
2
practic funcţie liniară de valoarea intensităţii câmpului continu de cercetat
(H0).
Circuitul de adaptare asociat senzorului Förster (figura 5.16)
cuprinde un generator de semnal (G), urmat de un dublor de frecvenţă (DF),
104
un amplificator selectiv (AS) acordat pe o bandă îngustă în jurul frecvenţei

2f şi un detector sincron (DS) comandat de blocul DF. Instrumentul de ieşire
IE este gradat direct în valori ale inducţiei (corespunzător câmpului H o în
aer).
G DF
AS
(f) AS
(2f)
N1 N1
N2 N2 AS
AS D
AS IE
Ho
Figura 5.16. Circuit de adaptare pentru senzorul Förster
Sensibilitatea senzorului este de aproximativ 1 nT, valoare mai mică

decât inducţia în aer datorită câmpului magnetic terestru. Limita domeniului
de măsurare este în general 1 mT.
Senzorul Förster este în prezent un element de bază în construcţia
instrumentelor destinate măsurării câmpurilor magnetice slabe. Dintre
domeniile de utilizare cele mai importante se pot menţiona:
- prospecţiuni geomagnetice (determinarea intensităţii câmpului
magnetic terestru şi, pe această cale, sesizarea prezenţei
minereurilor feroase în scoarţa terestră);
- detectarea corpurilor feromagnetice (pe baza distorsionării
câmpului terestru în prezenţa unui obiect feromagnetic);
- măsurări de curent alternativ;
- tehnica militară (detecţia şi declanşarea minelor terestre);
- marină; cercetări spaţiale (măsurarea magnetismului razelor în
programe de căutare spaţială) etc.
105
5.4. Senzori cu rezonanţă magnetică nucleară
Fie o particulă elementară (un proton) care posedă momentul

magnetic m p . Dacă particula se află la un moment dat în spaţiul în care
acţionează câmpul magnetic continuu de intensitate H o , atunci momentul
__
magnetic m p va executa o mişcare de precesie în jurul lui H 0 , unghiul la
vârf al acestei mişcări fiind θ (figura 5.17). În acelaşi timp, asupra particulei
__ __
acţionează şi câmpul magnetic de intensitate H i ; dacă H 0 , m p şi H i sunt în
permanenţă în acelaşi plan, există tendinţa de modificare a unghiului de
__
precesie  , momentul magnetic m p orientându-se către H i .
Figura 5.17. Rezonanţa magnetică nucleară
În cazul protonului, conform mecanicii cuantice, numărul de

orientări discrete posibile, 1 respectiv  2 corespund nivelelor energetice
W1  mp  Bo şi W2  m p  Bo indiferent de valoarea lui H i care se roteşte
sincron cu m p . Diferenţa W1  W2 reprezintă cuanta de energie h  v
necesară tranziţiei momentului magnetic m p din direcţia 1 în direcţia  2 .
Se poate scrie:
W1  W2  h  v
2m p  B0  h  v (5.26)
unde h  6.6256  1034 J  s este constanta lui Planck, iar ”ν” frecvenţa
cuantei de energie.
106
Rezultă:
2  m p  Bo
v (5.27)
h
succesiv
4
  2v   m p B o (5.28)
h
sau
    Bo (5.29)
4
unde:    m p reprezintă constanta giromagnetică a particulei, iar
h
  2v este pulsaţia lui m p în mişcarea de precesie în momentul tranziţiei
între cele două nivele energetice, respectiv între orientările 1 şi  2 .
Trecerea de la 1 la  2 (în fond, schimbarea mişcării de precesie a
momentului magnetic m p al particulei) se poate realiza numai la rezonanţă,
folosind energia câmpului perturbator H i , adică numai atunci când viteza
de rotaţie a lui H i este perfect egală cu viteza unghiulară de rotaţie a lui
m p , sincronismul celor două mişcări însemnând rezonanţa.
Aşa cum se observă din relaţia 5.27 si 5.28, se obţine o dependenţă
liniară a frecvenţei ν, respectiv a pulsaţiei ω a câmpului perturbator de
inducţia magnetică a câmpului continuu (B0). Astfel spus, se poate
determina inducţia B0 măsurând o frecvenţă, în momentul sincronismului
celor două mişcări (sau al rezonanţei).
Sistemele de măsurare a inducţiei magnetice cu senzori bazaţi pe
RMN se realizează în două variante:
- cu inducţie magnetică forţată
- cu inducţie magnetică liberă
În figura 5.18 se prezintă schema de principiu a unui sistem de
măsurare cu inducţie forţată. Substanţa pentru care se cunoaşte constanta
giromagnetică  este introdusă în flaconul 4, plasat în câmpul magnetic
107
continuu al cărui inducţie B0 se măsoară. Câmpul perturbator Hi este realizat

prin intermediul unei înfăşurări 5 dispuse pe flacon, alimentată de la sursa
de înaltă frecvenţă 2. Două înfăşurări (6) alimentate de la sursa de joasă
frecvenţă 7 realizează modularea câmpului continuu de măsurat. Semnalele
generate de sursele 2 şi 7 sunt aplicate la intrările yy, respectiv xx ale unui
osciloscop (8). Funcţionarea instalaţiei constă în modificarea frecvenţei
sursei 2 până când pe ecranul osciloscopului se obţine o curbă caracteristică
de rezonanţă; în acest moment se realizează sincronismul celor două mişcări
(rotaţia lui m p şi a lui H i ). Se citeşte frecvenţa la instrumentul 1
(frecvenţmetru numeric) şi, cunoscând valoarea parametrului γ, se determină
inducţia magnetică B o .
Figura 5.18. Sistem bazat pe RMN cu inducţie forţată
Întrucât raportul semnal util – zgomot este proporţional cu

intensitatea câmpului perturbator (Hi) şi cu pătratul frecvenţei acestuia,
sistemul este utilizat la măsurarea cu precizie a câmpurilor magnetice
continue intense (H0>8 kA/m), la frecvenţe ridicate ale câmpului perturbator
(f = 2 ÷ 81 MHz).
Pentru măsurarea câmpurilor magnetice slabe s-au realizat sisteme
bazate pe RMN cu inducţie liberă (figura 5.19.a). În acest caz, flaconul F
conţinând substanţa cu parametrul γ cunoscut, prevăzut cu o înfăşurare de
__
magnetizare la exterior, este orientat cu axa paralelă la direcţia inducţiei B0 .
La exterior se află solenoidul S, cu axa perpendiculară pe cea a flaconului F,
108
şi cu înfăşurarea alimentată de la o sursă de curent continuu, denumită sursă

de polarizare (SP). Înfăşurarea exterioară a flaconului este conectată, prin
intermediul unui amplificator selectiv de bandă îngustă, la un frecvenţmetru
numeric (FN).
a. schema de principiu b. mecanismul de funcţionare

Figura 5.19. Sistem bazat pe RMN cu inducţie liberă
În funcţionare, atunci când înfăşurarea solenoidului nu este

alimentată, momentul magnetic m p al purtătorilor din flacon realizează o
__
mişcare de precesie în jurul lui B0 . Alimentând înfăşurarea solenoidului,
acesta creează un câmp de polarizare (Hp), mult mai puternic decât H0 şi cu
direcţia perpendiculară pe acesta. Ca urmare, particulele vor executa o
mişcare de precesie în jurul lui Hp. La întreruperea alimentării, momentul
magnetic m p se reorientează către direcţia câmpului H0 (figura 5.19.b). În
această perioadă de reorientare, m p execută o mişcare de precesie în spirală
(denumită precesie Larmour), şi în înfăşurare dispusă pe flacon se induce o
tensiune electromotoare a cărei frecvenţă este strict proporţională cu
inducţia magnetică B0.
Acest sistem permite măsurarea unor câmpuri continue slabe, de
ordinul a câţiva A/m. Ambele instalaţii sunt caracterizate de precizii foarte
mari de măsurare a câmpului magnetic (până la 5 105 în valori relative).
De asemeni, pe baza relaţiei 5.29, rezultă posibilitatea de a utiliza
senzorii bazaţi pe RMN la măsurarea constantei giromagnetice γ a unor
particule, cunoscând valoarea inducţiei câmpului continuu (B0) şi măsurând
109
pulsaţia ω. Pe acest principiu s-au realizat sisteme pentru măsurarea

umidităţii relative şi pentru analize chimice (determinarea prezenţei
anumitor substanţe într-un amestec).
5.5. Elemente de defectoscopie magnetică nedistructivă
Testarea nedistructivă a materialelor reprezintă una din aplicaţiile de

bază ale senzorilor de câmp magnetic de tip Förster (dar şi Hall sau Gauss).
Prin măsurarea câmpului de dispersie în jurul obiectului testat (din material
feromagnetic), se pot detecta şi localiza defecte în structura acestuia (goluri,
incluziuni, fisuri, porţiuni cu eforturi interne remanente însemnate etc.)
permeabilitatea magnetică in zonele cu defect fiind mult inferioară
permeabillităţii din porţiunile omogene ale barei feromagnetice.
Considerăm o bară feromagnetică (parte a unui circuit magnetic),
supusă acţiunii unui câmp magnetic de inducţie B1, pentru care este valabilă
relaţia (figura 5.20):
  B1  A (5.30)
unde:
Φ – fluxul magnetic care străbate bara;
A – secţiunea barei testate.
Dacă a este aria unei porţiuni cu defect din structura barei, pe baza
legii continuităţii fluxului magnetic, se poate scrie:
  A  B1  ( A  a)  B2 (5.31)
unde B2 – inducţia magnetică în porţiunea cu defect, de secţiune (A-a).
Circuit de
măsurare
Figura 5.20. Elemente de defectoscopie magnetică

110
Din relaţia 5.31 se observă creşterea valorii inducţiei magnetice în

porţiunea cu defect a barei:
A
B2  B1   B2  B1 (5.32)
Aa
În plus, în portiunea omogenă (a barei feromagnetice) din
vecinătatea defectului scade permeabilitatea magnetică a materialului, ceea
ce conduce la creşterea proporţiei din flux dispersată în mediul exterior.
Acest efect este prezentat în figura 5.21, în care sunt trasate caracteristicile
B(H) şi μ(H) ale materialului feromagnetic supus magnetizării; P1(B1, μ1)
reprezintă punctul de funcţionare pe carateristica B(H) corespunzător
porţiunii cu secţiunea A (fără defect), iar P2 (B2, μ2) punctul de funcţionare
corespunzător zonei cu defect. Se observă că μ2<μ1.
Zona cu defect este localizată cu ajutorul unui senzor de câmp
magnetic (de exemplu, un senzor Förster), care detectează la suprafaţa
exterioară a barei creşterea evidentă ale fluxului de dispersie.
Sunt detectabile cu uşurinţă defectele ale căror suprafeţe sunt practic
perpendiculare pe direcţia fluxului magnetic şi se detectează mult mai greu
defectele de formă alungită (de exemplu, fisuri axiale). Pentru a se putea
detecta ambele tipuri de defecte se recomandă magnetizarea pe două direcţii
perpendiculare a piesei de încercat.

Q1

P2
B2
B1 P1

Q2
Figura 5.21. Caracteristici ale miezului feromagnetic: B(H), μ(H)

111
Principial o instalaţie pentru defectoscopie magnetică nedistructivă

este compusă din:
- un dispozitiv de magnetizare a piesei supusă controlului;
- un dispozitiv de evidenţiere a gradientului de câmp la suprafaţa
piesei;
- un dispozitiv de demagnetizare, inaintea fiecărei încercări fiind
obligarorie demagnetizarea piesei feromagnetice supusă
controlului;
Pentru magnetizare şi demagnetizare se folosesc electromagneţi sau
uneori chiar magneţi permanenţi, iar pentru evidenţierea gradientului de
câmp, deci localizarea defectului, se folosesc senzori de câmp magnetic
(Förster, Hall, Gauss) sau procedee bazate pe particule magnetoatractive
(pulbere feromagnetică) ultimile furnizând numai informaţii calitative.
112
CAPITOLUL 6
SENZORI REZISTIVI
Senzorii rezistivi sunt senzori de tip pasiv (parametrici). Principiul

lor de funcţionare are la bază variaţia rezistenţei electrice a elementului
sensibil sub acţiunea mărimii de măsurat.
Cum în general rezistenţa electrică:
R  F ( , l, S ) (6.1)
este dependentă de rezistivitatea ”ρ” a materialului, de lungimea ”l” şi

secţiunea ”S”, variaţia rezistenţei electrice a unui element sensibil rezistiv
poate fi datorată modificării unuia din cei trei factori care intervin în relaţia
6.1. Ca urmare, senzorii rezistivi permit măsurarea unor mărimi neelectrice
care determină modificarea rezistivităţii, lungimii sau ariei elementului
sensibil.
În general modificarea lui ”ρ” ,”l” sau ”S” în diverse aplicaţii nu
sunt independente şi ca urmare este logică clasificarea senzorilor rezistivi
după mărimea neelectrică care se măsoară: senzorul reostatic pentru
deplasări liniare sau unghiulare, senzorul tensorezistiv pentru eforturi
mecanice, forţe, presiuni, senzorul rezistiv cu fir cald pentru amortizoare de
gaze, presiuni la vid înaintat, viteza gazelor, sensorul magnetorezistiv pentru
deplasări (prin intermediul inducţiei magnetice), senzorul termorezistiv
pentru temperaturi si senzorul fotorezistiv pentru intensitatea luminoasă,
flux luminosetc.
6.1. Senzori reostatici
6.1.1. Construcţie şi funcţionare
Au o construcţie similară rezistenţelor cu contact mobil (reostatelor)

mărimea neelectrică acţionând asupra contactului mobil (cursorului) fiind
Capitolul 6. Senzori rezistivi
astfel posibilă măsurarea deplasărilor liniare şi unghiulare sau a altor mărimi

(forţe, nivele la fluide, presiuni etc.) prin intermediul deplasării contactului
mobil.
Sunt realizaţi de obicei din conductor electric (constantan,
manganin,etc.) înfăşurat pe o carcasă electroizolantă. Conductorul
reostatului este acoperit cu email sau un strat de oxid care izolează spirele
între ele. Carcasa se confecţionează în mod obişnuit din ceramică sau din
material plastic; utilizându-se şi carcase din aluminiu oxidat (oxidul de
aluminiu fiind un bun izolator), pe care sunt înfăşurate conductoare din
aliaje metalice. Carcasa reostatului poate avea diverse forme: plăcuţă plană
sau cilindrică, inel plan sau cilindric, segment planetc. Contactul mobil
(cursorul) al senzorului trebuie să asigure un bun contact electric, ceea ce
implică: absenţa forţelor electromotoare de contact, rezistenţă de contact de
valoare redusă şi stabilă atât în timp, cât şi în prezenţa vibraţiilor sau a
vitezei ridicate de deplasare a cursorului. Cursorul se confecţionează din
argint, bronz fosforos, aliaje platină-iridiu sau platină-beriliu (toate
reprezentând materiale cu foarte bune proprietăţi de contact electric), sub
forma unor perii de sârmă sau perii lamelare. Suprafaţa de contact a
conductorului bobinat trebuie dezizolată; lăţimea suprafeţei de contact a
cursorului trebuie să fie de 2-3 ori mai mare decât diametrul conductorului.
După forma geometrică a rezistenţei şi, deci, după mişcarea
cursorului, senzorii reostatici se împart în două categorii:
- cu deplasare liniară a contactului mobil (carcasă cilindrică axială
pentru înfăşurare)
- cu deplasare unghiulară a contactului mobil (carcasă de formă
inelară pentru înfăşurare)
Considerăm pentru simplitate cazul unui senzor reostatic cu
deplasare unghiulară, şi carcasă inelară (figura 6.1.). Pentru senzorul ideal,
relaţia de funcţionare este de forma:
R  C  (6.2)
unde:
α – unghiul de rotaţie a cursorului (mărimea de intrare);
114
R - rezistenţa electrică măsurată între cursor şi un capăt de referinţă

(mărimea de ieşire);
C – constantă de proporţionalitate.
Din valoarea corespunzătoare unghiului maxim αmax se determină
valoarea constantei C:
Rt
C (6.3)
 max
Rt fiind rezistenţa totală a înfăşurării.
Pentru a obţine relaţii general valabile, independente de valoarea
unghiului αmax, se introduce deplasarea unghiulară relativă: a=α/αmax.
Rezistenţa senzorului în acest caz este:
R  aR (6.4)
t
Figura 6.1. Senzor potenţiometric bobinat
De multe ori este importantă cunoaşterea raportului celor două

rezistenţe parţiale ale senzorului, de o parte şi de cealaltă a cursorului.
Rk/2 Rt Rk/2
Figura 6.2. Schema echivalentă a senzorului
Dacă se consideră rezistenţa suplimentară datorată conductoarelor de

alimentare, contactelor şi altor elemente de conexiune (Rk) şi se presupune o
115
distribuţie simetrică a acesteia faţă de capete (figura 6.2.), raportul

rezistenţelor este:
0.5R  R
 k (6.4)
0.5R  R  R
k t
Notând raportul între rezistenţa suplimentară şi cea totală a
senzorului: γ=Rk/Rt, se obţine:
0.5  a
 (6.5)
0.5  1  a
Din reprezentarea grafică a dependenţei β(a) (figura 6.3.) se observă

că o valoare mărită a rezistenţei suplimentare Rk restrânge domeniul de
variaţie al raportului celor două rezistenţe, deci micşorează sensibilitatea
senzorului, dar liniarizează caracteristica de funcţionare a acestuia.
10
γ=0
8
6 γ=0.2
4 γ=0.5
γ=1
2 γ=2
0 0.2 0.4 0.6 0.8 1
Figura 6.3. Dependenţa β(a) la senzorul potenţiomentric
Liniaritatea relaţiilor caracteristice senzorului: R=a·Rt sau R=C·α

poate fi afectată şi de utilizarea unui suport necircular sau prin dispunerea
excentrică a axului rotitor, însă este afectată în principal de variaţia în trepte
a rezistenţei senzorului, la parcurgerea înfăşurării de către cursor din spiră în
spiră (figura 6.4.). La un moment dat cursorul se poate afla în contact direct
cu un singur conductor sau simultan cu două conductoare.
116
Rt
Rt/2
n
a·Rt
Figura 6.4. Caracteristica de transfer R(a)
Dacă n este numărul total de spire ale înfăşurării, rezistenţa

corespunzătoare unei poziţii α a cursorului este:
Rt
R  a  Rt  (6.6)
2n
Abaterea de la valoarea ideală a·Rt (eroarea relativă de
discontinuitate) este:
R Rt 1
  (6.7)
R 2n  a  Rt 2na
Valoarea minimă a erorii apare la capătul cursei, fiind numită factor

de treaptă:
 R  1
   (6.8)
 R  min 2n
Dacă pe carcasa inelară a unui senzor potenţiometric sunt dispuse
3600 de spire (numărul maxim utilizat în general), se obţine un factor de
treaptă 1/7200=0.014 %, valori şi mai mici pentru factorul de treaptă se
obtin la senzorii reostatici multitur.
Rezistenţele maxime ale senzorilor reostatici sunt în general cuprinse
între 1 kΩ şi 100 kΩ, dar pot atinge uneori chiar câţiva MΩ. De obicei, nu
se impune o precizie ridicată asupra valorii acestei rezistenţe în circuitele de
117
măsurare în care semnalul depinde doar de raportul R/Rt; toleranţele

rezistenţelor sunt, în general, de ±10 %.
În ceea ce priveşte liniaritatea senzorului, ea poate fi afectată de
neomogenităţi în structura sau compoziţia materialului elementului sensibil
ori de mici neregularităţi ale dimensiunilor (abateri de la forma perfect
circulară sau cilindrică axială a carcasei).
6.1.2. Tipuri constructive particulare pentru senzorul reostatic
Senzorii potenţiometrici pot fi conectaţi în circuitele de măsurare a

rezistenţelor. Cel mai utilizat este montajul potenţiometric (figura 6.5.).
Senzorul potenţiometric, având rezistenţa totală R şi lungimea înfăşurării l,
este alimentat cu tensiunea U. Dacă l1 este poziţia la un moment dat a
contactului mobil (R1 şi R2 fiind rezistenţele de o parte şi de alta a acestuia),
tensiunea obţinută la ieşire va fi:
R1
U1  U (6.9)
R
Cum înfăşurarea senzorului este uniformă:
R1  C  l1 U1 R1 l1
   (6.10)
R2  C  l2 U R l
R R2
U
l
l1 R1 U1 RS
Figura 6.5. Circuit de măsurare potenţiometric
Se obţine o dependenţă între tensiunea de ieşire şi deplasare. În

aplicaţii practice, la ieşirea circuitului se conectează un instrument sau un
118
amplificator de măsurare. Dacă RS este rezistenţa echivalentă a acestuia,

divizarea tensiunilor se realizează conform relaţiei:
R1  RS
U1 R1  RS U R1  RS
  1
U (R  R )  1 S R  R U R  R   R1 RS
R1  RS R1  RS
1 1
U1 R1  RS R1  RS
 
U R  R1  R  RS  R1  R1  RS  R1  RS R  R1  R  RS  R12
2
Fracţia se împarte cu R2, astfel:

R1 RS

U1 R R
 2 (6.11)
U R1 RS  R1 
  
R R R
RS
Se notează K  şi se ţine cont de relaţia anterioară specifică
R
R l
înfăşurării rezistive uniforme 1  1 , rezultă:
R l
l
K 1
U1 l
 2 (6.12)
U l1  l1 
 K  
l l
Se pot trage următoarele concluzii:
- voltmetrul de ieşire se poate grada direct în valori ale raportului l1/l
- ar rezulta o scară liniară dacă rezistenţa internă a voltmetrului de
ieşire este mult mai mare decât rezistenţa maximă a senzorului
reostatic
Aplicaţii la măsurarea nivelului fluidelor în rezervoare, plutitorul
determinând deplasarea contractului mobil al potentiometrului (figura 6.9.a).
În prezent se construiesc senzori potenţiometrici de tip spiralat cu
factori de treaptă foarte mici. Structura de principiu a unui asemenea senzor
este prezentată în figura 6.6. La rotirea axului 1, piuliţa 2 înaintează şi
119
împinge în canalul elicoidal 4 (care are acelaşi pas cu al înfăşurării

elicoidale 5) contactul mobil C. Acesta se va deplasa pe spirala înfăşurării
rezistive a senzorului. Pe acest principiu, cu un senzor cu 40 de spirale se
obţine un factor de treaptă de numai 0.0007 %. Cum una din cele mai
frecvente aplicaţii ale senzorului potenţiometric circular o constituie
transmisia la distanţă a unghiului de rotaţie a indicatoarelor diferitor aparate
de măsurare, construcţia sa urmăreşte micşorarea la minim a momentului de
frecare.
C
5
3
2
Figura 6.6. Senzor potenţiometric spiralat
O variantă constructivă deosebită o reprezintă senzorul

potenţiometric cu tub inelar (figura 6.7). Acesta constă dintr-un tub inelar
din sticlă 1, care poate fi rotit prin acţiunea mărimii neelectrice de măsurat.
1
2
3
a
4
Fig. 6.7. Senzor potenţiometric cu tub inelar
120
În interior sunt sudate două fire din platină 2, 3, care în funcţie de

poziţia tubului sunt mai mult sau mai puţin scurt-circuitate de mercurul care
ocupă jumătate din volumul tubului (4). Suma rezistenţelor active rămâne
aceeaşi indiferent de poziţia tubului. Faţă de senzorul potenţiometric cu
cursor, acesta are avantajul unui contact sigur, protejat contra oxidării, dar
prezintă şi dezavantajul unei sensibilităţi ridicate la vibraţii.
Pentru aplicaţii speciale se utilizează senzori potenţiometrici cu
caracteristică neliniară (de exemplu sinusoidală sau pătratică). Aceste
caracteristici se pot obţine prin diverse metode: prin realizarea unei carcase
profilate a senzorului (figura 6.8.a,b), prin utilizarea unor rezistenţe în
paralel cu înfăşurarea senzorului (figura 6.8.c) sau prin înfăşurarea
neuniformă a firului rezistiv.
R1 R2 R3 R4 R5
a. b. c.
Fig. 6.8. Senzori potenţiometrici cu caracteristică neliniară
6.1.3. Aplicaţii uzuale pentru nivelmetre cu plutitor
Una din aplicaţiile uzuale ale senzorilor potenţiometrici este

măsurarea nivelului la lichide. Diferite firme realizează nivelmetre cu
plutitor şi traductor potenţiometric. Un exemplu este prezentat în figura
6.9.a, în care senzorul potenţiometric este introdus într-un circuit de
măsurare de tip potenţiometric, alimentat cu tensiunea continuă U.
Contactul mobil al senzorului este acţionat de un plutitor (1) aflat la
suprafaţa lichidului al cărui nivel se măsoară. Valoarea tensiunii de ieşire
depinde astfel de nivelul H de măsurat. În cazul montajului de măsurare
potenţiometric, trebuie avute în vedere influenţele rezistenţei interne a sursei
121
de alimentare (Rs) şi rezistenţei de intrare a instrumentului de ieşire (Ri).

Rezistenţa Rs reduce sensibilitatea circuitului, dar nu afectează liniaritatea
atunci când Ri>>R. În schimb, liniaritatea este cu accentuată cu cât raportul
Ri/R este mai mare.
Există dispozitive la care instrumentul de ieşire (IE) este un
logometru (figura 6.9.b). În acest caz, variaţiile de nivel sunt transformate,
prin intermediul plutitorului 1, lanţului de transmisie 2, roţii 3 şi
contragreutăţii 4, în variaţii unghiulare; acestea sunt transmise prin
angrenajul 5 la cursorul senzorului rezistiv 7. Deplasarea cursorului de-a
lungul înfăşurării senzorului potenţiometric 6 determină modificarea
raportului curenţilor I1 şi I2 prin înfăşurările logometrului indicator 8. În
principiu, logometrul se poate etalona direct în valori ale nivelului, indicaţia
lui fiind independentă de valoarea tensiunii auxiliare de alimentare (E).
Există, de asemeni, senzori potenţiometrici care folosesc în locul
firului bobinat pe suport o pistă conductoare. Aceşti senzori au o rezoluţie
superioară senzorilor cu fir bobinat, limitată doar de structura granulară a
materialului pistei. În plus, inconvenientele datorate deplasării cursorului
mecanic pe pista conductoare (uzură, zgomot, cuplu de antrenare) pot fi
practic eliminate înlocuind cuplajul mecanic între axa mobilă şi pista
rezistivă printr-un cuplaj optic sau magnetic.
6
5
U R 3
+
E
- 7
U1 IE 2
4 I1 I2
1 1
a
H H
a. Dispozitiv potenţiometric b. Dispozitiv cu logometru

Figura 6.9. Dispozitive pentru nivelmetre cu plutitor
122
6.2. Senzori tensorezistivi
6.2.1. Construcţie şi funcţionare
Senzorii tensorezistivi (cunoscuţi şi sub denumirea de mărci

tensometrice) sunt destinaţi măsurării forţelor şi deformărilor mecanice
(alungire, comprimare, torsiuneetc.) în domeniul elastic.
În legea lui Hooke valabilă în domeniul elastic al deformaţiilor:
l 1 F
  (6.13)
l E S
unde:
E – modulul de elasticitate al materialului elementului mecanic supus la
efort;
Δl/l – deformaţia relativă a acestuia;
F – forţa mecanică care deformează elementul supus la effort;
S – secţiunea elementului.
Se notează σ=F/S [N/m2], care reprezintă efortul mecanic unitar (sau
forţa specifică pe unitatea de secţiune), iar ε =Δl/l şi rezultă:

 (6.14)
E
Se cunoaşte modulul de elasticitate ”E”. Se determină, prin
intermediul senzorului tensorezistiv, valoarea deformaţiei relative ”ε” şi
rezultă efortul unitar, respectiv valoarea forţei care deformează elementul
expus la efort. Cum deformaţia elementului supus efortului mecanic se
transmite şi senzorului tensorezistiv, variaţia rezistenţei electrice a acestuia
permite măsurarea pe cale electrică a deformaţiei relative ”ε”, respectiv a
efortului unitar ”σ” sau a forţei ”F”.
Fie un conductor metalic cu rezistivitatea electrică ”ρ” şi secţiunea
”S”, care se întinde sub acţiunea forţei ”F” (figura 6.10.). Rezistenţa
electrică iniţială, fără efort mecanic, a conductorului este dată de relaţia:
 l
R (6.15)
S
123
S
F F
Figura 6.10. Conductor metalic sub acţiunea fotelor ”F”
Supus la întindere, conductorul îşi va modifica evident lungimea şi

sectiunea dar, presupunem, şi rezistivitatea electrică. În domeniul elastic al
deformaţiilor, abaterile în unităţi relative ale parametrilor l, S şi ρ, având
valori foarte mici, putem folosi un procedeu de calcul similar determinării
erorilor în cazul măsurărilor indirecte.
Se logaritmeaza relaţia iniţială:
ln R  ln   ln l  ln S (6.16)
Se calculează diferenţiala:
dR d dl dS
   (6.17)
R  l S
Se trece la diferenţe finite:
R  l S
   (6.18)
R  l S
Termenii din ultima relaţie reprezentând variaţiile în valori relative
ale rezistenţei, rezistivităţii, lungimii şi secţiunii conductorului supus la
efort. Dar ţinând cont de proporţionalitatea dintre variaţiile relative ale
secţiuni si lungimii corpului omogen supus la efort:
S l
 2    (6.19)
S l
unde μ este coeficientul lui Poisson, obţinem:
R l 
  (1  2 )  (6.20)
R l 
124
Se defineşte sensibilitatea relativă a senzorului tensorezistiv (sau

factorul de conversie) ca raportul dintre variaţia relativă a rezistenţei şi
variaţia relativă a lungimii firului conductor:
R 
 1 
K R  1  2   1  2  
l l  
l l (6.21)
R
  K 
R
unde ε=Δl/l este alungirea relativă.
În tabelul 6.2 se dau valorile cunoscute, obţinute experimental,
pentru factorului de conversie K la diverse materiale.
Tabel 6.2. Valorile factorului de conversie K pentru diverse materiale

Material Platină Izo- Cromnikel Constantan Manganin Ni Si
elastic
K 6.1 3.6 2.63 2.0÷2.15 0.5 -12.1 ±(125
÷170)
Sunt cunoscute pentru majoritatea metalelor valorile coeficientului

lui Poisson: μ=0,3 la deformaţii în domeniul elastic şi μ=0,5 la deformaţii în
domeniul plastic. Tinând cont de expresia anterioară a factorului de
conversie:
1 
K  1  2  (6.22)
 
Dacă, efortul mecanic nu ar determina şi modificarea rezistivităţii
conductorului, atunci valoareaa lui K ar trebui să fie:
K  1  2  0,3  1,6 (6.23)
la deformaţii elastice şi
K  1  2  0,5  2,0 (6.24)
pentru deformaţii în domeniul plastic. Cum pentru majoritatea materialelor

în tabelul 6.2. factorii de conversie diferă sensibil de valorile de mai sus, se
125
trage concluzia logică a modificării şi a rezistivităţii sub acţiunea efortului

mecanic.
În prezent este acceptată proporţionalitatea dintre variaţiile relative
ale rezistivităţii electrice şi ale volumului, conductorului supus la efort:
 v
 m (6.25)
 v
unde ”m” reprezintă o constantă de material.
Dar v  l  S , ln V  ln l  ln S astfel:
dV dl dS
  (6.26)
V l S
sau trecând la diferenţe finite:
V l S l
   (1  2 ) (6.27)
V l S l
deci:
K  1  2  m(1  2 ) (6.28)
Plecând de la această relaţie, sunt preferate în construcţia senzorilor

tensorezistivi materialele pentru care m≈1, adică factorul de conversie este
K≈2. În acest caz, coeficientul lui Poisson nu intervine în relaţia 6.25 şi
factorul de conversie are o valoare constantă pentru deformări atât în
domeniul elastic, cât şi în domeniul plastic. Materialul care are valoarea lui
K cea mai apropiată de valoarea ideală este aliajul constantan
(58.8%Cu+40%Ni+1.2%Mn). Acesta este materialul cel mai utilizat în
construcţia senzorilor tensorezistivi, având în plus şi alte avantaje: coeficient
de variaţie a rezistivităţii cu temperatura neglijabil, iar dependenţa
deformaţie – efort mecanic, ∆l/l(σ), nu prezintă histerezis în limite largi ale
efortului σ. Singurul dezavantaj al constantanului îl constituie tensiunea
termoelectromotoare ridicată care apare la contactul cupru – constantan la
variaţii de temperatură. Această tensiune, care apare numai în curent
continuu, se suprapune peste semnalul util în circuitul de măsurare,
conducând la eronarea rezultatului.
126
Aşa cum se observă şi în tabelul 6.2, unele metale sau aliaje (Pt,
Nietc.) au factorul de conversie de valoare mai mare decât 2, ceea ce
corespunde unei sensibilităţi de măsurare mai mari. Utilizarea acestor
materiale în construcţia senzorilor tensorezistivi este, însă, limitată în
special din cauza dependenţei rezistenţei lor de temperatură, ce implică
asocierea unor circuite de compensare a efectului termic.
O categorie specială o reprezintă senzorii tensorezistivi realizaţi din
materiale semiconductoare. La aceste materiale, factorul de conversie are o
valoare mult mai mare decât la metale (K=50÷200), în schimb depinde de
temperatură, de tipul semiconductorului (n sau p), de gradul de dopare al
acestuia şi de orientarea efortului mecanic în raport cu direcţiile
cristalografice principale ale semiconductorului. În general, dependenţa
R ( ) este neliniară şi poate fi exprimată prin relaţia:
R
C C C
R  1   2  2  3  3 (6.29)
R T T2 T3
unde:
ε=Δl/l - alungirea relativă;
T – temperatura absolută [K];
C1, C2, C3 – constante.
De exemplu, în cazul unui senzor din siliciu slab dopat, la
temperatura T=300K, ecuaţia devine:
R
 175  75625 2 (semiconductor tip p, cu direcţia de orientare
R
a efortului mecanic)
R
 125  26000 2 (semiconductor tip n, cu direcţia de orientare
R
efortului mecanic)
Odată lipite pe structura de încercat, mărcile tensometrice nu se mai
pot dezlipi fără distrugerea lor fizică. Din acest motiv, determinarea valorii
factorului de conversie K al mărcilor se face de obicei prin încercări
statistice, ca medie a unui număr de mărci dintr-un lot de fabricaţie. O altă
posibilitate constă în modelarea electrică a deformaţiei mecanice. În acest
127
caz, rezistenţa R0 a mărcii se conectează în paralel cu o rezistenţă auxiliară

Rp, aleasă astfel încât rezistenţa ansamblului să fie echivalentă cu rezistenţa
mărcii supusă la efort mecanic:
R0  R p
R*  (6.30)
R0  R p
De exemplu, în cazul unui efort de comprimare:

R R0  R* Rp R0
 1 
R0 R0 R0  R p R0  R p
R R0 (1  K )
Ştiind că  K   Rp 
R0 K
Cum ΔR/R are valori foarte mici, iar valoarea lui K este de ordinul
R
unităţilor, se poate considera: R p  0 , relaţia pe baza căreia se determină
K
valoarea rezistenţei Rp.
6.2.2. Tehnologii de realizare a senzorilor tensorezistivi
Dimensiunile mărcilor tensometrice sunt cuprinse între 3 şi 150 mm

lungime, lungimile sub 20 mm fiind utilizate pentru măsurarea deformaţiilor
materialelor omogene (de exemplu, metale), iar lungimile mai mari pentru
materiale neomogene (de exemplu, beton sau lemn). Lăţimea mărcilor ia
valori între 1mm şi 60 mm.
Principalele tipuri de mărci tensometrice utilizate în prezent sunt:
a) mărci tensometrice cu fir metalic lipit pe structura supusă la efort;
b) mărci tensometrice cu folie metalică lipită pe structura supusă la
efort;
c) mărci tensometrice din materiale semiconductoare lipite pe structura
supusă la efort;
d) mărci tensometrice realizate din fir metalic tensionat pe suport
electroizolant.
128
6.2.2.1. Mărci tensometrice cu fir metalic
Senzorii de acest tip sunt de obicei constituiţi dintr-un filament din

conductor metalic lipit pe un suport electroizolant, ansamblul fiind acoperit
cu o folie protectoare (figura 6.11). Marca tensometrică astfel realizată se
fixează (prin lipire) pe structura de încercat.
folie de protecţie folie suport
adeziv de fixare
fir metalic structura de încercat
Figura 6.11. Marcă tensometrică cu fir de lipit
Firul rezistiv (elementul sensibil al mărcii tensometrice) este un

conductor cu diametrul de 0.02-0.05 mm, care trebuie să satisfacă criteriile
de sensibilitate, liniaritate, coeficient termic, histerezis, prezentate anterior.
Deformarea mecanică a structurii de încercat trebuie să fie preluată prin
intermediul adezivului şi al foliei suport de către conductoarele mărcii
tensometrice. De aceea, materialul filamentului trebuie să aibă coeficientul
de dilatare cât mai apropiat de cel al materialului piesei de încercat. La
capetele filamentului se sudează conductoare de legătură realizate de obicei
din aliaje Ni-Cu, Ni-Ag, Ni-Cr, care se îmbracă în plastic sau, pentru
aplicaţii la temperaturi înalte, în manşoane de sticlă. Suportul mărcii şi
adezivul de lipire a filamentului se aleg în funcţie de domeniul temperaturii
de lucru a senzorului. Ca suport electroizolant, cel mai adesea se utilizează
hârtie de nitroceluloză (pentru temperaturi în domeniul –70 ÷ +70˚C), cu
grosimi de ≈40 μm; pentru domenii de temperatură mai largi (–180 ÷
+120˚C) se folosesc suporturi din răşină epoxi. Adezivul de lipire poate fi pe
bază de răşini epoxidice (pentru o temperatură maximă de lucru de 150˚C la
măsurări dinamice, respectiv de 110˚C la măsurări statice), răşini fenolice
(pentru o temperatură maximă de lucru de 200˚C la măsurări dinamice,
respectiv de 120˚C la măsurări statice) sau compuşi anorganici (pentru
temperaturi de lucru de până la 400˚C).
Cel mai adesea, firul metalic al senzorului este lipit sub formă de
meandră sau grătar (figura 6.12), întrucât în acest caz cea mai mare parte din
129
lungimea totală a conductorului este orientată pe aceeaşi direcţie, care de

obicei constituie şi direcţia efortului mecanic. Dacă forţa este direcţionată ca
în figura 6.12, porţiunile transversale ale conductorului vor suferi şi ele
deformaţii mecanice, deci rezistenţa electrică a acestor porţiuni se va
modifica; de obicei, această variaţie este de sens opus variaţiei porţiunilor
liniare ale conductorului.
Figura 6.12. Marcă tensometrică tip meandră
Acest efect al deformării porţiunilor transversale conduce la apariţia

unei erori de măsurare, modificând variaţia globală a rezistenţei elementului
sensibil. Acest dezavantaj este eliminat în cazul mărcilor tensometrice
realizate dintr-un singur conductor întins pe suportul electroizolant lipite pe
structura de încercat (figura 6.13).
Figura 6.13. Marcă tensometrică cu fir metalic întins lipit pe structură
În cazul în care nu se cunoaşte direcţia efortului principal de

măsurat, se utilizează aşa-numitele rozete tensometrice, la care pe acelaşi
suport sunt lipite mai multe mărci identice, cu axele de simetrie decalate cu
unghiuri cunoscute, de exemplu 90˚ (figura 6.14.a), 60˚ (figura 6.14.b) sau
120˚ (figura 6.14.c).
La mărcile tensometrice lipite pe structură, în timpul măsurării se
contează pe proprietăţile ideale ale adezivului de lipire. Un adeziv “ideal”
transmite integral deformarea structurii la marca tensometrică; în realitate,
însă, cu timpul aderenţa dintre marcă şi structură scade; acest fenomen este
accentuat datorită temperaturilor de lucru ridicate şi fenomenului de
“îmbătrânire” a compoziţiei adezivului.
130
0
120
a. mărci dispuse la 90º b. mărci dispuse la 60º c. mărci dispuse la 120 º

Figura 6.14. Rozete tensometrice
Dacă la măsurările dinamice, acest fenomen (cunoscut sub numele

de “post-efectul mărcilor tensometrice”) este neglijabil, el are importanţă în
cazul măsurărilor care se fac pe aceeaşi structură la intervale mari de timp.
Pentru a obţine măsurări reproductibile după perioade îndelungate (de
ordinul anilor), în locul mărcilor lipite pe structură se pot folosi senzori
tensorezistivi realizaţi din fir conductor metalic întins pe suporţi
electroizolanţi (figura 6.17).
6.2.2.2. Mărci tensometrice cu folie metalică
Apariţia acestor senzori tensorezistivi a fost favorizată de

dezvoltarea tehnicilor de realizare a straturilor subţiri. Structura de grătar
obţinându-se prin gravarea fotochimică a foliei metalice, similar realizării
circuitelor imprimate în electronică (figura 6.15).
Figura 6.15. Mască tensometrică cu folie metalică
Principalul avantaj al acestor senzori constă în utilizarea mai

eficientă a suprafeţei sensibile, ceea ce conduce la realizarea unor mărci de
131
dimensiuni reduse. De asemenea, contactul termic şi mecanic dintre stratul

metalic şi piesa de încercat este mai intim; folia metalică răcindu-se mai
uşor, poate suporta încărcări mai mari de curent, ceea ce permite
funcţionarea la un curent de măsurare mai mare.
Constructiv, mărcile tensometrice cu folie semiconductoare sunt
asemănătoare celor cu fir metalic. Folia metalică, realizată de obicei din
constantan sau nicrom, cu o grosime cuprinsă între 2 şi 20 μm, este lipită pe
un suport electroizolant. La aceşti senzori, stratul metalic are o secţiune mai
mare în porţiunile transversale; variaţiile rezistenţei acestora sub acţiunea
efortului mecanic sunt neglijabile, reducându-se astfel efectele efortului
transversal.
Se realizează şi rozete cu folie metalică, pentru situaţiile în care
direcţiile de aplicare a efortului sunt necunoscute. Uzual, se folosesc 3-4
mărci identice dispuse la 60º sau 45º, permiţând determinarea direcţiilor şi
valorilor deformaţiilor.
6.2.2.3. Mărci tensometrice din materiale semiconductoare
Aceşti senzori s-au dezvoltat odată cu punerea în evidenţă a efectelor

piezorezistive în semiconductoare. Materialul semiconductor cel mai folosit
în construcţia mărcilor tensometrice este siliciul.
O variantă constructivă constă în realizarea unui filament cu o
grosime de aproximativ 25 μm, prin corodarea sau tăierea unei porţiuni
dintr-un cristal semiconductor sau chiar direct din fază gazoasă. Filamentul
este lipit pe suportul electroizolant, fiind apoi prevăzut cu conductoare de
contact electric (figura 6.16.a).
a. cu filament din Si b. cu plăcuţă din Si

Figura 6.16. Mărci tensometrice semiconductoare
132
De asemenea, se construiesc mărci tensometrice prin utilizarea unei

plăcuţe subţiri din siliciu (~100 μm grosime), de rezistivitate mare, la
suprafaţa căreia se realizează o difuzie de impurităţi. Această plăcuţă se
fixează de obicei direct pe structura încercată (figura 6.16.b).
Dacă plăcuţa de siliciu este subţire (100 – 150 μm), ea poate fi
utilizată drept tensometru ca atare, fiind lipita pe structura supusă la efort.
6.2.2.4. Mărci tensometrice realizate din fir metalic tensionat

între suporturi electroizolante
Deformarea plastică a adezivului, la mărcile tensometrice lipite pe

structura supusă la efort nu asigură stabilitatea rezultatelor măsurării pentru
perioade mai îndelungate. Acest fenomen supărător (post efect) poate fi
evitat dacă firul metalic tensorezistiv nu este lipit, ci fixat prin pretensionare
mecanică între suporţi electroizolanţi, rezultatele măsurărilor fiind stabile
chiar pe perioade de ordinul anilor.
În figura 6.17, mărcile tensiometrice sunt realizate prin înfăşurarea
cu pretensionare mecanică a conductorului tensorezistiv între ştifturile
electroizolante montate între rama fixă R şi elementul mobil M supus
tensionării în jurul pivotului P. Pentru unghiuri foarte mici de răsucire a
elementului M în sensul săgeţii înfăşurările identice din acelaşi conductor
tensorezistiv ”1” şi ”3” sunt supuse în domeniul elastic la alungire, iar
similar ”2” şi ”4” la compresiune.
(1) (2) R
(3)
P
(4)
Figura 6.17. Mărci tensometrice nelipite
133
Variaţiile rezistenţelor lor vor dezichilibra circuitul de măsurare în

punte, nivelul semnalului electric la ieşire rezultând final dependent de
unghiul de răsucire.
Forme constructive cu totul particulare o au mărcile tensometrice
care servesc măsurării deformaţiilor membranelor metalice supuse la efort.
Astfel pentru determinarea eforturilor mecanice tangenţiale în
membrane, marca tensometrcă are formă de spirală plană (figura 6.18.a), iar
pentru eforturile mecanice radiale are formă radială (figura 6.18.b).
Există şi mărci tensometrice pentru măsurarea ambelor eforturi
(tangenţiale şi radiale cumulate).
a. formă de spirală pentru eforturi tangenţiale b. formă radială pentru eforturi radiale
Figura 6.18. Mărci tensometrice ce servesc masurarii deformatiilor membranelor metalice
6.2.3. Variaţia temperaturii, sursă principală de erori pentru

mărcile tensometrice
Ca urmări a variaţiei cu ”Δθ” a temperaturii exterioare, într-o

instalaţie de măsurare cu mărci tensometrice lipite pe structură are loc:
- modificarea lungimii conductoarelor mărcii tensometrice:
l
  T   (6.31)
l
unde αT este coeficientul de dilatare termică a materialului conductor.
- deformarea structurii de încercat:
134
l
  S   (6.32)
l
unde αS este coeficientul de dilatare termică a materialului structurii de
încercat.
Variaţia rezistenţei electrice a senzorului datorată acestor efecte este:
R1
 K  ( S  T )   (6.33)
R
- modificarea rezistenţei electrice a senzorului tensorezistiv:
R2
  R   (6.34)
R
unde αR este coeficientul de temperatură al rezistivităţii conductorului
mărcii tensometrice.
Ca urmare, variaţia totală a rezistenţei electrice a mărcii tensometrice
ca urmare a modificării temperaturii cu Δθ este:
R R1 R2
   [ R  K ( S  T )]   (6.35)
R R R
Cu alte cuvinte, coeficientul global de variaţie cu temperatura a
rezistenţei mărcii este:
total   R  K ( S  T ) (6.36)
La variaţii mari de temperatură, erorile sistematice datorate efectului

termic devin exagerat de mari şi trebuie compensate.
6.2.4. Procedee de compensare a erorilor de temperatură
Principalele procedee de compensare a erorilor de temperatură la

mărcile tensometrice lipite sunt:
a. Alegerea mărcilor tensometrice şi a structurii încercate
astfel încât αtotal=0. Acest lucru este, însă, imposibil de realizat în cazul
particular al mărcilor tensometrice semiconductoare la care coeficientul de
dilatare termică αT este foarte mic şi întotdeauna diferenţa αS-αT este
pozitivă.
135
b. Compensarea individuală a mărcilor. În acest scop, senzorul

tensorezistiv este înseriat cu o rezistenţă al cărei coeficient de temperatură
este de semn contrar coeficientului termic al mărcii. În funcţie de valoarea
rezistenţei de compensare, aceasta se poate conecta în serie (figura 6.19.a)
sau în paralel (figura 6.19.b) cu marca tensometrică.
R, α
R, α RC, αC
RC, αC
a. schema serie b. schema paralel

Figura 6.19. Compensare individuală a mărcilor tensometrice
La conectarea în serie, rezistenţa totală la temperatura iniţială (t0)

este Rtotal0  R  RC , unde RC este rezistenţa elementului de compensare, iar
R – rezistenţa senzorului tensorezistiv. La variaţia cu Δθ a temperaturii,
rezistenţa ansamblului devine: Rtotal  R  R  RC   C RC  . Pentru ca
Rtotal să aibă aceeaşi valoare cu Rtotal0, este necesară îndeplinirea condiţiei:
R   C RC   0  RC C   R . Această relaţie stă la baza
alegerii elementului de compensare conectat în serie cu senzorul
tensorezistiv.
La conectarea în paralel, pe baza aceluiaşi raţionament se obţine
relaţia: RC   R C . Rezistenţa totală a grupului – marcă tensometrică plus
rezistenţa de compensare – se obţine în aceste condiţii pentru compensarea
serie:
  
Rts  R1   (6.37)
 C 
iar pentru compensarea palalel:
R
Rtp  (6.38)

1
C
136
Urmărind ca rezistenţă totală a ansamblului marcă tensometrică plus

elementul rezistiv de compensare să difere cât mai puţin de cea a senzorului
tensometric necompensat pentru a nu se modifica sensibilitatea circuitului
de măsurare în puncte, va trebui ca raportul  /  C să fie cât mai mic cu
putinţă. Din acest motiv este recomandabilă folosirea ca element de
 
compensare a termistoarelor  C  2  8% / 0 C , care însă prezintă o
neliniaritate pronunţată a dependenţei rezistenţa electrică-temperatură şi dau
rezultate bune numai pentru domenii înguste de temperatură.
c. Compensarea prin conectarea corespunzătoare a două sau
patru mărci tensometrice într-o punte de măsurare. În fond mărcile
tensometrice sunt elemente rezistive, iar modificările rezistenţelor lor ne
permit determinarea eforturilor mecanice sau a altor maşini.
Fie o punte simplă Wheastone în regim neechilibrat formată din
patru rezistenţe R1, R2, R3, R4, în care instrumentul de ieşire de tip voltmetru
are o rezistenţă de intrare practic infinită, iar sursa de alimentare de curent
continu o rezistenţă nulă (figura 6.20).
R1 R2
Uiesire
R4 R3
Uintrare
Figura 6.20. Punte Wheastone
Nivelul semnalului de ieşire este dat de relaţia cunoscută:

R1 R3  R2 R4
U iesire  U int rare (6.39)
R1  R2 R3  R4 
În particular dacă R1= R2= R3= R evident puntea este echilibrată şi
nivelul semnalului de ieşire ajunge la zero.
137
Dacă una dintre cele patru rezistenţe reprezintă o marcă tensometrică

cu rezistenţa proprie R1= R în lipsa efortului, şi cu o variaţie a rezistenţei
proprii ±ΔR în prezenţa efortului mecanic (figura 6.21) apare la ieşirea
punţii un semnal de dezechilibru:
R  R 
U  U 1   (6.40)
4R  2R 
Unde ”U” reprezintă tensiunea sursei de alimentare (cu rezistenţa
proprie practic nulă). Cum în cazurile practice pentru senzorul tensorezistiv
R R
 1 putem folosi relaţia simplificată U  U , iar sensibilitatea
R R
punţii în valori relative, devine:
U
1
S U  (6.41)
R 4
R
±ΔR
R
R
ΔU
R R
Figura 6.21. Conectarea unei mărci tensometrice în punte
Când lucrăm cu două elemente tensorezistive montate pe o structură

supusă la efort, astfel ca variaţiile rezistenţelor lor ”ΔR” să aibă semne
contrarii în absenţa efortului rezistenţe lor să fie egale, iar în punte să fie
conectate în braţe alăturate ca în figura 6.22.
138
R+ΔR
R-ΔR
ΔU
R R
Figura 6.22. Conectarea a dou mărci tensometrice în punte
Nivelul semnalului de dezechilibru la ieşirea punţii va fi:

R
U  U (6.42)
2R
iar sensibilitatea de măsurare definită anterior devine:
U
1
S U  (6.43)
R 2
R
dublă faţă de cazul anterior.
Se poate lucra cu patru elemente tensorezistive identice montate pe o
structură supusă la efort, încât variaţiile rezistenţelor lor să aibă semne
contrarii (două cu +ΔR şi două cu - ΔR), iar în punte să fie conectate ca în
figura 6.23.
R+ΔR R-ΔR
ΔU
R+ΔR
R-ΔR
Figura 6.23. Conectarea a patru mărci tensometrice în punte

139
Atunci semnalul de dezechilibru la ieşirea punţii va fi:

R
U  U (6.44)
R
şi corespunzător sensibilitatea de măsurare:

U
S  U 1 (6.45)
R
R
Se dublează din nou faţa de cazul anterior, devenind astfel de patru

ori mai mare decât în cazul punţii cu un singur element tensorezistiv.
Variaţia temperaturii determină modificari similare ale rezistenţelor
elementelor tensorezistive altfel spus, cele patru (figura 6.20) sau două
(figura 6.22) tensorezistenţe sau celor patru (figura 6.23) sau două (figura
6.22) elemente tensorezistive, iar efectele acestor modificări asupra
semnalului de dezechilibru fiind 0.
Fiind conectate în punte patru sau două elemente tensorezistive,
modificările similare ale rezistenţelor acestora la aceeaşi variaţie de
temperatură au efecte compensatorii, încât nu este afectat nivelul semnalului
de dezechilibru.
Având în vedere concluziile de mai sus, mărcile tensometrice se
montează pe structura supusă la efort astfel încât conectarea acestora într-o
punte să determine creşterea sensibilităţii simultan cu compensarea în
totalitate a efectului termic.
Sunt prezentate în continuare câteva exemple de poziţionare a
mărcilor tensometrice pe structuri, concomitent cu conectarea
corespunzătoare a acestora în punte. În figura 6.24. structura este supusă la
compresiune datorită acţiunii forţei F.
(2) (1)
Figura 6.24. Configuraţii cu 2 mărci tensometrice, una fiind pe structura supusă la efort
140
Se lucrează cu două mărci tensometrice, (1) fiind o marcă activă

afectată de efortul mecanic, iar (2) o marcă identică pasivă poziţionată în
afara structurii de încercat.
Mărcile tensometrice (1) şi (2) sunt conectate într-o punte ca în
figura 6.21. Cum numai una dintre mărci (1) îşi modifică rezistenţa la efort
şi în plus temperaturile de lucru nu sunt aceleaşi, nu se realizează nici
creşterea efectului termic.
În figura 6.25 ambele mărci sunt lipite pe aceeaşi structura supusă la
efort, dar una este activă (1) (îşi modifică rezistenţa la efort), iar cealaltă
pasivă (2) prin poziţionarea transversală faţă de direcţia efortului principal.
(1)
(2)
Figura 6.25. Configuraţii cu 2 mărci tensometrice, ambele pe structura supusă la efort
Conectate într-o punte de tipul ”2R” cu două elemente sensibile

(figura 6.22), aflându-se la aceeaşi temperatură se compensează efectul
termic, dar nu şi o dublare a sensibilităţii de măsurare.
În figura 6.26 structura supusă la efort, reprezintă o bară încastrată la
un capăt şi supusă la încovoiere datorită acţiunii forţei F la capătul liber.
(1) R+ΔR
(2) R-ΔR F
Figura 6.26. Configuraţii cu 2 mărci tensometrice, ambele pe structura supusă la încovoiere
Mărcile identice (1) şi (2) sunt lipite în poziţii perfect simetrice faţă
de axa neutră a barei încât datorită acţiunii forţei F marca (1) este supusă la
întindere, deci rezistenţa acesteia va creşte datorită efortului mecanic, iar
marca (2) suferă o compresiune, rezistenţa acesteia scăzând în aceeaşi
141
proporţie conectând senzorii (1) şi (2) tot într-o punte de tipul ”2R” se
obţine compensarea efectului termic, dar în plus şi o dublare a sensibilităţii
măsurării faţă de cazul anterior figura 6.21 al punţii cu un singur senzor
tensorezistiv.
În cazul unei structuri de formă paralelipipedică supusă la un efort de
încovoiere se utilizează patru mărci tensometrice, conectate în poziţii
simetrice pe cele două feţe ale piesei (figura 6.27.a). Sub acţiunea efortului
mecanic, mărcile 1 şi 3 se întind, iar mărcile 1 şi 4 se comprimă. Condiţiile
termice fiind aceleaşi, prin conectarea mărcilor într-o punte cu patru
elemente tensorezistive tip ”4R”, figura 6.23, se realizează compensarea
influenţei temperaturii şi, în acelaşi timp, creşterea sensibilităţii de
măsurare.
În figura 6.27.b, patru mărci tensometrice identice permit măsurarea
efortului de torsionare al unui ax. Mărcile sunt poziţionate astfel încât să
formeze unghiuri de 45˚ cu generatoarea axului. Sub acţiunea efortului de
torsionare, două mărci sunt supuse la întindere (de exemplu, 1 şi 3), iar
celelalte două la comprimare (2 şi 4). Conectând cei patru senzori în punte,
se obţine atât compensarea efectului termic, cât şi îmbunătăţirea
sensibilităţii de măsurare.
În figura 6.27.c este prezentată o structură utilizată în construcţia
cântarelor electronice. Patru mărci identice, conectate în punte, sunt lipite pe
un inel elastic, întins de către forţa F. Considerând cercul neutru al inelului
(figurat cu linie întreruptă) nedeformabil, mărcile 1 şi 3 sunt supuse la
întindere, iar mărcile 2 şi 4 la încovoiere.
1 2
1 2 1 2 4 3
4 3
4 3
a. b. c.
Fig. 6.27. Configuraţii cu 4 mărci tensometrice
142
În cazul mărcilor tensometrice semiconductoare dependenţa

rezistenţei electrice de temperatură este mult mai puternică. Compensarea
efectului termic se poate realiza individual, pentru fiecare marcă, cu ajutorul
termistoarelor sau prin conectarea în punte a două mărci. Întrucât valoarea şi
semnul factorului de conversie K depinde de tipul semiconductorului (p sau
n), sub acţiunea aceluiaşi efort mecanic variaţiile rezistenţelor a două mărci
din acelaşi material semiconductor, dar de tipuri diferite, vor fi de semne
contrare. Ca urmare nu mai este necesară lipirea mărcilor în poziţii simetrice
faţă de axa neutră a piesei încercate; pentru compensarea influenţei
temperaturii, ambele mărci se pot fixa în aceeaşi poziţie.
6.2.5. Particularităţi ale circuitelor de măsurare pentru mărci

tensometrice
Circuitele de adaptare ale mărcilor tensometrice sunt în general punţi

de curent continuu sau de curent alternativ. La proiectarea acestora se au în
vedere criteriile care să asigure liniarizarea ecuaţiei de funcţionare,
obţinerea unui nivel cât mai ridicat al semnalului de ieşire şi compensarea
erorilor de temperatură şi umiditate. Având în vedere faptul că efectele din
braţele adiacente ale punţii se scad, iar efectele din braţele opuse se adună,
în funcţie de aplicaţie şi de scopul urmărit se pot utiliza punţi cu unul ”1R”,
două ”2R” sau patru ”4R” braţe active.
La proiectarea circuitelor de adaptare se are în vedere şi evitarea
supraîncărcării termice a mărcilor tensometrice prin efect Joule. Mărcile
tensometrice au deobicei rezistenţe proprii cu valori normalizate 120, 300 şi
600 Ω, cele mai folosite fiind de 120 Ω. Mărcile cu rezistenţe mari sunt
indicate când conductoarele de prelungire sunt lungi sau se lucrează cu
contacte alunecătoare (inele de contact), rezistenţele suplimentare
(conductoare de prelungire sau contacte alunecătoare) fiind neglijabile faţă
de rezistenţa mărcilor.
Abaterile de până la 5% a rezistenţelor tensorezistenţelor nu
afectează precizia măsurării efortului mecanic datorită echilibrării iniţiale la
sensibilitatea maximă a punţii.
143
Încercarea electrică în curent se poate determina simplu considerând

o tensiune de alimentare de 5 V pentru punte în care două mărci identice de
120 Ω sunt conectate în serie (figura 6.28).
I  5V /(120  120)  20mA
120Ω 120Ω
Uiesire
Uintrare=5[V]
Figura 6.28. Valorile mărcilor tensometrice pentru verificarea punţii
Nu se lucrează cu valori mai mari ale curentului prin marca

tensometrică deoarece se supraîncălzesc conductoarele din reţeaua mărcii.
Tensorezistenţele de 300 Ω şi 600 Ω se pot alimenta şi cu tensiuni
mai mari ca 5 V. Pentru utilizări cu totul particulare se construiesc mărci
tensometrice miniatură cu lungimi care nu depăşesc 1mm şi care în punte se
alimentează cu 1 V până la 1.5 V.
La măsurările statice, când efortul mecanic este constant în timp sau
la încercările de laborator se utilizează ca circuit de măsurare puntea
Wheatstone în curent continuu, în braţele căreia se introduc mărci
tensometrice.
În general se lucrează cu puntea dezechilibrată de curent alternativ
dimensionată încât nivelul dezechilibrului să reprezinte direct pe cadranul
instrumentului de ieşire valorile deformaţiei relative Δl/l în [μm/m]. Îniţial
însă puntea cu elemente tensorezistive deobicei de tip ”2R” sau ”4R” se
echilibrează la sensibilitatea maximă în absenţa efortului mecanic,
acţionându-se asupra unor elemente reglabile de circuit, rezistenţe, respectiv
capacităţi şi numai după această operaţie se pune problema cercetării
efortului mecanic sau a deformaţiei relative la care este supusă structura.
144
1 2 +
1 2 +
R P
Ui U
4 3 4 3 i
- -
Δ Δ
U U
Figura 6.29. Punţi de măsurare de curent continuu dezechilibrate
În acelaşi timp, la punţile de c.c (figura 6.29.), peste semnalul util

(ΔU) se pot suprapune şi tensiuni parazite continue (de exemplu, tensiuni
electromotoare de contact). Pentru eliminarea influenţei acestor semnale, la
măsurarea cu puntea în c.c. dezechilibrată este obligatorie efectuarea a două
încercări (inversând polaritatea alimentării), rezultatul fiind media aritmetică
a celor două semnale de dezechilibru.
La măsurarea eforturilor dinamice (variabile în timp) se utilizează
puntea de curent alternativ cu frecvenţă purtătoare. De exemplu, o punte cu
un singur braţ activ (o singură marcă tensometrică), alimentată de la o sursă
alternativă sinusoidală cu frecvenţa de 50 Hz (figura 6.30), poate fi utilizată
pentru măsurarea unui efort dinamic cu frecvenţa de 5 Hz. Îniţial (în absenţa
efortului) puntea este echilibrată (ΔU=0); supusă la efort, marca îşi modifică
alternativ tensorezistenţa RS, sincron cu frecvenţa efortului (5 Hz). Semnalul
obţinut la ieşirea punţii va fi variabil în timp, sinusoidal, dar modulat în
amplitudine; frecvenţa purtătoare este de 50 Hz, iar frecvenţa modulatoare
este de 5 Hz.
R1 R2 C
~U(t)
(50 Hz)
~
RS R3 Δu(t) D R ue(t)
(5 Hz)
ΔU(t)
a. Puntea cu frecvenţă purtătoare b. Etaj demodulator

Figura 6.30. Circuite de adaptare de curent alternativ
145
În figura 6.31 este reprezentată evoluţia în timp a semnalului de

ieşire Δu(t). Acesta are forma sinusoidală cu frecvenţa tensiunii alternative
de alimentare a punţii de 50 Hz (care poartă denumirea de frecvenţă
purtătoare), însă este modulat în amplitudine cu semnalul periodic tot
sinusoidal cu frecvenţa de variaţie a valorii rezistenţei elementului
tensorezistiv (5 Hz) respectiv frecvenţa efortului mecanic dinamic de
cercetat.
ΔU(t) (5 Hz)
(50 Hz)
0 t
3
Figura 6.31. Evoluţia în timp a semnalului de ieşire
Întrucât evoluţia în timp a efortului dinamic este dată de componenta

de joasă frecvenţă, la ieşirea punţii se va utiliza un etaj de demodulare
(figura 6.30.b), de fapt un redresor monoalternanţă la care semnalul de ieşire
este dependent de valoarea de vârf a tensiunii alternative. Pentru ca operaţia
de demodulare să se desfăşoare corect şi astfel caracteristica de ieşire a
redresorului să urmărească fidel amplitudinea efortului dinamic (evoluţia sa
în timp), este necesar ca produsul R·C, reprezentând constanta de timp a
demodulatorului să fie mult mai mare decât perioada frecvenţei purtătoare,
dar în acelaşi timp mai mic decât perioada efortului dinamic. În general,
frecvenţa purtătoare trebuie să fie de 10-20 de ori mai mare decât frecvenţa
efortului mecanic analizat.
După demodularea, prin eliminarea purtătoarei, semnalul de
dezechilibru, care conţine informaţia privind efortul mecanic de cercetat
capătă forma din figura 6.32.
Acest semnal conţine deformarea mecanică de bază (caracteristica
punctată) ”m” reprezentând valoarea medie a efortului şi supraîncărcarea,
146
respectiv subâncărcarea, datorită regimului dinamic periodic alternativ

sinusoidal ”a”.
ΔU(t)
(a)
(m)
0 t
Figura 6.32. Semnalului de iesire demodulat
Un instrument de ieşire de tip înregistrator va înscrie pe bandă

caracteristica ”a” reprezentând evoluţia în timp a efortului mecanic periodic
la care este supusă structura de încercat, iar un instrument de ieşire analogic
de tip integrator va indica valoarea medie ”m” a aceluiaşi efort.
În cazul punţilor de curent alternativ, semnalul de dezechilibru este
mai uşor de prelucrat, având în vedere faptul că amplificarea în c.a. este mai
avantajoasă decât cea în c.c. În schimb, la punţile de c.a. trebuie compensate
şi elementele reactive parazite de circuit ale mărcilor tensometrice. Este
vorba în special despre capacităţile parazite specifice mărcilor sau care apar
între acestea şi masă. Fie o punte cu patru mărci tensometrice în care
capacităţile parazite ale mărcilor sunt concentrate în C2΄, respectiv C3΄
(figura 6.33).
1 2 C2 C2
P GFP
4 3 C3 C3
AM DSF IE
Figura 6.33. Circuit de măsurare cu compensarea capacităţilor parazite ale mărcilor

tensometrice
147
Circuitul de adaptare devine astfel o punte de tip RC, alimentată de

la generatorul de frecvenţă purtătoare GFP; echilibrarea se realizează cu
ajutorul condensatorului diferenţial C2 – C3 şi potenţiometrului P, care se
pot modifica în trepte sau cu reglaj fin. Semnalul de dezechilibru este
amplificat (AM – amplificator de măsurare) şi apoi aplicat la intrarea unui
detector sensibil la fază (DSF), care îndeplineşte rolul demodulatorului. La
ieşire se poate conecta instrumentul IE, al cărui cadran este divizat direct în
valori ale deformaţiei relative Δl/l [μm/m].
Se construiesc şi punţi tensometrice cu mai multe canale, cu ajutorul
cărora se pot determina succesiv valorile deformaţiilor în mai multe puncte
ale unei structuri.
Fie un circuit de măsurare (figura 6.34) cu două elemente
tensorezistive ( tip ”2R”), R1, R2 şi două rezistenţe variabile R3, R4 alimentat
de la generatorul frecvenţei purtătoare GFP, semnalul de dezechilibru fiind
prelucrat de către lanţul amplificator de masurare ”AM” şi detectorul
sensibil la faza ”DSF” prevăzut cu instrumentul de ieşire ”IE”.
Considerăm Riz1 şi Riz2 rezistenţele de izolaţie conectate în paralel cu
R1, R2 şi tot în paralel capacităţile parazite C01, C02 ale elementelor
tensorezistive. Ambele componente, rezistenţa de izolaţie şi capacităţi
parazite, influenţează măsurarea, cu atât mai mult cu cât valorile lor sunt
influenţate de variaţia temperaturii şi umidităţii.
R2 C02 Riz2 CE2 R3
GFP
R1 C01 Riz1 CE1 R4
AM DSF
IE
Figura 6.34. Circuit de măsurare cu compensarea capacităţilor parazite ale mărcilor

tensometrice
148
Se au în vedere capacităţile proprii ale elementelor tensorezistive,

dar şi capacităţile parazite ale acestora faţă de masă.
Similar pentru rezistenţele de izolaţie care înglobează şi izolaţia faţă
de masă.
Variaţia temperaturii şi umidităţii afectează capacităţile parazite şi
rezistenţele de izolaţie faţă de masă, dar efectul acestora asupra semnalului
de dezechilibru se anulează datorită alimentării simetrice a circuitului de
măsurare (puntea tip 2R) faţă de masă (figura 6.35).
Cp2 Rp2
R2 C2 CE2 R3
(a)
GFP
R1 C1 CE1 R4
Cp1 Rp1 AM DSF IE
Figura 6.35. Circuit de măsurare cu compensarea capacităţilor parazite, rezistentţele de

izolaţei si cele faţa de masă ale mărcilor tensometrice
în care:
- ”a”, ”b” - sunt conductoare calde ecranate care aduc semnalul de
dezechilibru din punte la intrarea simetrică a amplificatorului de
măsurare AM;
- C1, C2 - capacităţile proprii ale elementelor tensorezistive;
- R1, R2 – elemente tensorezistive aplicate pe structura supusă la efort;
- Cp1, Cp2 – capacităţile parazite faţă de masă;
- CE1, CE2 – capacităţi variabile pentru echilibrare;
- R3, R4 – rezistenţe variabile pentru echilibrare;
149
- T – transformator cu priză mediană pentru alimentarea punţii;

- GFP – generatorul frecvenţei purtătoare;
- DSF – detector sensibil la fază.
Este de remarcat faptul că generatorul GFP alimentează puntea
printr-un transformator T cu priza mediană din secundar conectată la masă.
În consecinţă capacităţile Cp1, Cp2 faţa de masă şi rezistenţele de izolaţie Rp1,
Rp2 tot faţă de masă sunt aici conectate în paralel cu cele două înfăşurări
simetrice secundare neavând nici o influenţă asupra măsurării. Rămân ca
semnificative rezistenţele proprii R1, R2 ale elementelor tensorezistive în
paralel cu capacităţile proprii ale acestora care se compensează prin
”echilibrarea iniţială a punţii” cu capacităţile CE1, CE2 respectiv rezistenţele
R3, R4. Există şi punţi cu frecvenţă purtătoare la care CE1, CE2 se modifică
automat pentru echilibrarea iniţială.
În figura 6.36 este reprezentat circuitul de măsurare când se lucrează
cu patru elemente tensorezistive, deci puntea tip ”4R”, în care rezistenţa
reglabilă coaxială RS este necesară echilibrării iniţiale în absenţa efortului a
elementelor tensorezistive.
Cp2 Rp2
T
R2 R3 C2 CE2
RS
GFP
C1 CE1
R1 R4
Cp1 Rp1
AM DSF IE
Figura 6.36. Circuit de măsurare cu patru mărci tensometrice
150
Factorul ”K” (sensibilitatea elementului tensorezistiv sau factorul de

conversie) se reglează la începutul măsurării cu puntea tensometrică,
corespunzător caracteristicilor mărcilor tensometrice utilizate. Ca frecvenţă
purtătoare se alege deobicei 5 kHz. Pentru măsurări în regim dinamic pentru
eforturi mecanice periodice se lucrează cu frecvenţa între 1 şi 10 kHz când
frecvenţa purtătoare ajunge la 50 kHz. Puntea cu frcvenţa purtătoare se
poate utiliza şi la măsurarea impedanţelor inductive sau capacitive.
6.2.6. Particularităţi pentru elementele tensorezistive

semiconductoare
Semiconductoarele şi-au găsit aplicaţii şi în realizarea elementelor

tensorezistive, de remarcat fiind valoarea ridicată a factorului de conversie
”K” (de exemplu în intervalul 120 – 170). Uzuală marcă tensorezistivă
semiconductoare se compune din stratul semiconductor ”a” depus pe un
suport izolant, şi prevăzut cu contacte electrice ”b” respectiv conductoare de
legătură cu exteriorul, totul poziţionat pe o folie electro izolantă (figura
6.37).
(b) (a) (b)
Figura 6.37. Marcă tensometrică semiconductoare
La acelaşi tip de semiconductoar supus la efort mecanic, creşterea

sau micşorarea rezistenţei electrice depinte de tipul de conductibilitate. De
exemplu pentru germaniu cu conductibitate tip ”p” rezistenţa scade, iar
pentru conductibitate de tip ”n” rezistenţa elementului sensibil creşte la
acelaşi efort de întindere. Se poziţionează pe acelaşi suport două
tensorezistenţe semiconductoare una dotată ”p” şi cealaltă dotată ”n”
(figura 6.38) care la acelaşi efort vor suferi variaţii cu semne contrare ale
rezistenţelor.
151
P N
Figura 6.38. Marca tensometrica semiconductoare de germaniu
Conectate în braţe alăturate ale unei punţi de tip ”2R” ca în schema

de principiu din figura 6.39, efectul asupra semnalului de dezechilibru se
dublează şi ca urmare se dublează şi sensibilitatea punţii.
+ΔR - ΔR
N P
Uiesire
Uintrare
Figura 6.39. Conectarea în punte a mărci tensometrice semiconductoare
La punţile cu tensorezistenţe metalice (fir metalic, sau strat subţire

metalic) acest lucru era posibil numai prin schimbarea sensului efortului
mecanic. Valoarea ridicată a factorului ”K” de conversie, face uneori inutilă
amplificarea semnalului de ieşire a punţii. În schimb factorul ”K” este
puternic dependent de temperatură, dependenţă care se poate compensa prin
conectarea unei termorezistenţe în serie cu sursa de alimentare.
152
Termorezistenţa de compensare se lipeşte pe aceeaşi structură împreună cu

elementele tensorezistive.
6.2.6.1. Extensibilitatea mărcilor tensometrice
Pentru mărcile lipite pe structuri metalice deformările de măsurat

(alungiri sau comprimări) în valori relative sunt foarte mici de ordinul 4 %
pâna la 5 % când tensorezistenţele în domeniul elastic lucrează linear.
Pentru deformări care depăşesc valori de mai sus de exemplu 10 – 20 %
trebuiesc avute în vedere şi proprietăţile elastice ale foliei.
6.2.6.2. Postefectul mărcilor tensometrice
Forţelor care determină deformarea conductoarelor sau foliei suport

a mărcilor tensometrice, li se opune aderenţa acestora pe suprafaţa structurii
supuse la efort (adică proprietăţilor stratului de adeziv) care cu timpul se
micşorează. Datorită acestui fenomen, adică a revenirii lente la starea
netensionată a stratului de adeziv, apar rezultate diferite la măsurări
efectuate asupra aceleeaşi structuri, dar la intervale de timp diferite. Acelaşi
fenomen se produce şi cu folia subţire electroizolantă suport. Postefectul sau
”alunecarea” generează erori accentuate şi de creşterea temperaturii de
lucru, dar în principiu depinzând de tipul foliei suport şi compoziţia stratului
de adeziv. Fenomenul este mai puţin supărător la măsurările în regim
dinamic sau chiar în regim static când se lucrează cu tensorezistenţe de
lungime mare.
6.2.6.3. Temperaturi limită
Valorile limită ale temperaturilor la care pot fi încă utilizate mărcile

tensometrice sunt hotărâte de materialul suport, compoziţia adezivului şi
postefectul.
În figura 6.40 pentru un element tensorezistiv metalic poziţionat pe
suport din raşină acrilică se dă dependenţa de timp, la două temperaturi
200C şi 700C constante, a abaterii relative procentuale a deformaţiei
provocată de un efort mecanic constant. Se observă că postefectul este mai
153
accentuat la temperatura de 70 0C, când numai după aproximativ o oră

deformarea relativă măsurată suferă deja o modificare de circa 1 %.
Δε/ε [%]
1.0
θ=700C
0.5
θ=200C
0.5 1.0 t [ore]
Figura 6.40. Dependenta de timp la un element tensorezistiv metalic la temperatura de

20 0C si 70 0C.
Foliile suport cât şi materialele adezive pentru măcile tensometrice

au la bază diverse tipuri de răşini (epoxidice, acrilice, fenolice etc.)
În general mărcile tensometrice cu suport organic au temperaturi
limită de utilizare în jur de +200 0C sau în cazuri cu totul speciale chiar
2800C.
Postefectul, revenirea la starea iniţială nedeformată pentru adezivi şi
suport, se produce foarte lent în timp şi atunci temperaturile limită în cazul
măsurărilor in regim dinamic sunt mai ridicate. Deasupra temperaturiilor
limită uzuale se folosesc mărci tensometrice din aliaje metalice rezistente
din punct de vedere chimic şi fizic la temperaturi ridicate.
Din această categorie se remarcă aliajul Nicrome V (80%Ni şi
20%Cr) sau aliajele Platină – Iridiu. Mărcile astfel construite, neavând folie
organică suport, sunt fixate pe o ţesătură din sticlă cu material adeziv de
tipul chiturilor ceramice elementul tensorezistiv fiind final, pentru protecţie,
acoperit, cu acelaşi material ceramic. Se pot astfel atinge temperaturi de
lucru în regim dinamic de 650 0C. Pe suprafaţa structurii supuse la efort se
poate depune printr-un procedeu cu flacără, un strat subţire de oxid de
aluminiu Al2O3 pe care se fixează cu chit ceramic elementul tensorezistiv.
Se pot astfel efectua măsurări dinamice chiar la 1000 0C. O soluţie
tehnologică interesantă presupune fixarea cu chit ceramic a structurii
154
tensorezistive, pe un suport din tablă subţire din oţel, care la rândul lui se
sudează punctiform pe structura metalică, din oţel sau fontă, supusă la efort.
6.2.7. Problema structurilor supuse la efort şi aflate într-o

mişcare de rotaţie
Pe suprafaţa unor astfel de structuri, deobicei axe mecanice care

transmit mişcarea de rotaţie de la un motor (de exemplu un motor electric)
la o maşină de lucru (maşină unealtă), sau de la o turbină cu vapori intr-o
centrală electrică la un generator electric, se pot fixa prin lipire
tensorezistenţele, iar prin conexiunile dintre acestea se pot realiza punţi
tensometrice de tip ”2R”sau ”4R”.
Se pune problema cum putem realiza conexiunea electrică cu
exteriorul acestei punţi, altfel spus cum alimentăm puntea şi cum prelevăm
semnalul de dezechilibru, structura fiind supusă la torsiune şi aflându-se
într-o permanentă mişcare de rotaţie. Există două soluţii clasice:
a) folosirea contactelor electrice alunecătoare
b) folosirea cuplajului electromagnetic
6.2.7.1. Folosirea contactelor electrice alunecătoare
Procedeul cu contact clasic (figura 6.41.a) utilizează inele metalice

pe care apasă în permanenţă perii colectoare, ca la maşinile electrice. Pe
axul supus la efort mecanic sunt lipite patru mărci tensometrice, conectate
într-o punte; conexiunile electrice ale punţii tensometrice cu circuitul de
măsurare se realizează prin intermediul inelelor metalice fixate pe ax şi al
periilor, care formează contacte alunecătoare. Două inele sunt utilizate
pentru alimentarea punţii tensometrice, iar celelalte două sunt destinate
culegerii semnalului de ieşire (tensiunea de dezechilibru a punţii). Întreg
ansamblul este închis, pentru protecţie, într-o carcasă metalică, fixată pe
rulmenţi cu bile.
Rezistenţa de contact suplimentară dintre perii şi inele este de
ordinul zecilor de mΩ şi practic nu afectează precizia de măsurare a punţii
tensometrice, imprecizia măsurării momentului de torsiune introdusă de
contactul alunecător nu depăşeşte deobicei 0,2 %. Principalul dezavantaj al
155
sistemului de măsurare cu contacte este complexitatea sa, fiind în plus

dedicat unui singur ax.
u1(t)
punte inele perii înfăşurare 1 înfăşurare 2 punte

tensometrică colectoare tensometrică
a. Procedeu cu contact electric b. Procedeu fără contact electric

Figura 6.41. Măsurarea eforturilor la piese în mişcare
Procedeul de măsurare fără contact electric se bazează pe realizarea

unui cuplaj electromagnetic. Sistemul cuprinde două înfăşurări inelare
dispuse concentric (figura 6.41.b). Înfăşurarea exterioară 1 este alimentată
cu tensiune alternativă u1(t); prin inducţie electromagnetică, la bornele
înfăşurării 2, fixată pe axul aflat în mişcare de rotaţie, apare tensiunea
alternativă u2 (t )  C  u1 (t ) . Această tensiune este utilizată pentru
alimentarea unei punţi constituită din mărci tensometrice lipite pe ax.
Semnalul de dezechilibru de la ieşirea punţii este transmis circuitului de
măsurare exterior tot prin cuplaj electromagnetic (cu ajutorul altor
înfăşurări). Factorul C din expresia tensiunii induse depinde de numărul de
spire ale celor două înfăşurări, diametrul acestoraetc. Datorită dispersiei
fluxului magnetic în exterior, pentru acelaşi număr de spire la ambele
înfăşurări, valoarea factorului C este mai mică decât 1. Prin construcţia
sistemului (dispunerea concentrică a înfăşurărilor, simetrie) se asigură
independenţa factorului C de starea de mişcare sau repaus a axului. În acest
scop, carcasa dispozitivului este fixată pe ax cu ajutorul unor rulmenţi cu
bile, de mare precizie.
Procedeul de măsurare fără contact electric este avantajos faţă de cel
cu inele şi perii colectoare (cu contact), datorită eliminării rezistenţelor
suplimentare dintre perii şi inele şi îmbunătăţirii fiabilităţii dispozitivului.
156
Pe de altă parte, sistemul bazat pe cuplaj electromagnetic este sensibil la

acţiunea câmpurilor magnetice alternative exterioare, fiind necesară
utilizarea unui ecran de protecţie.
Sistemul de măsurare fără contact electric se poate realiza şi în
varianta cu modulare în frecvenţă. Se utilizează tot cuplajul electromagnetic
între partea aflată în rotaţie şi referinţa fixă exterioară, în schimb semnalul
transmis este convertit în frecvenţă variabilă, independentă de modificarea
factorului de cuplaj C. Puntea tensometrică lipită pe axul în mişcare de
rotaţie este alimentată prin cuplaj electromagnetic, iar semnalul de
dezechilibru este convertit în frecvenţă prin intermediul unui mic convertor
fixat pe ax (figura 6.42). Frecvenţa generată este proporţională cu momentul
de torsiune de măsurat. Semnalul modulat în frecvenţă este transmis apoi în
exterior tot prin cuplaj electromagnetic, cu ajutorul înfăşurării emiţătoare
(fixată pe ax) şi al înfăşurării receptoare (plasată în vecinătatea axului).
Avantajul acestui procedeu este independenţa semnalului de ieşire de
modificarea factorului de cuplaj C şi de câmpurile exterioare parazite.
u1 înfăşurare emiţătoare
înfăşurare receptoare
înfăşurări de alimentare
punte tensometrică
Amplificator
convertor tensiune-frecvenţă
de măsurare IE
Figura 6.42. Sistem fără contact electric cu modulare în frecvenţă
6.2.7.2. Folosirea cuplajului electromagnetic
Fie două înfăşurări electrice cilindrice inelare poziţionate concentric

( figura 6.43.).
157
(b) (a)
U2(t)
Ф1(t)
U1(t)
Figura 6.43. Cuplajul electromagnetic folosind două infăşurări
Înfăşurarea ”a” alimentată de la sursa alternativ sinusoidală U1(t)

generează fluxul alternativ Ф1(t) care înlănţuie şi spirele înfăşurării ”b”
 d (t ) 
vecine, unde prin inducţie electromagnetică   1  ia naştere tensiunea
 dt 
electromotoare U2(t). Între cele două tensiuni alternative în valori
instantanee existând relaţia:
u2 (t )  k  u1 (t ) (6.46)
unde factorul de cuplaj ”k” depinde de numerele de spire, distanţa şi

poziţionarea relativă a înfaşurării lor etc. Chiar pentru un cuplaj practic
”perfect” între înfăşurăriile ”a” şi ”b”, datorită fluxului de scăpări, fluxul
Ф1(t) nu înlănţuie în totalitate spirele înfăşurării ”b” la un nr identic de spire
a ambelor înfăşurări, din care cauză k<1.
Dacă una dintre înfăşurările inelare stă în repaos, iar cealaltă se
roteşte în jurul axului comun, relaţia anterioară rămâne valabilă atâta timp
cât nu se modifică valoarea factorului de cuplaj ”k”. Pentru aceasta chiar
dacă una dintre înfăşurările se roteşte, distanţa dintre înfăşurările
concentrice simetrice trebuie să rămână constantă.
În aceste condiţii avem de a face cu un transformator cu două
înfăşurări, una fixă şi una în mişcare de rotaţie, astfel construit, încât rotaţia
nu influenţează cuplajul magnetic dintre înfăşurări, deci nu modifică
valoarea fluxului Ф(t).
În figura 6.44 se dă construcţia de principiu a unui astfel de cuplaj.
Înfăşurarea fixă ”a” este alimentată cu tensiunea alternativ sinusoidală U1(t),
iar la bornele înfăşurării mobile ”b” fixată pe axul în rotaţie şi aflată în
158
cuplaj magnetic cu ”a” se obţine prin inducţie u2 (t )  k  u1 (t ) care poate fi

utilizată pentru alimentarea fără contact a unei punţi tensometrice
poziţionată pe ax.
(a)
U2(t)
(b)
U1(t)
Figura 6.44. Constructia de principiu a unui transformator de cuplaj
Folosind rulmenţi de precizie cu bile şi realizând o construcţie

(figura 6.44) foarte îngrijită din punct de vedere mecanic, dar şi electric,
factorul de cuplaj ”k” din relaţia anterioară nu se modifică la rotaţia axului
pe care este fixată înfăşurarea mobilă ”b”.
În mod cu totul similar, se poate transmite în exterior prin cuplajul
electromagnetic a altor două înfăşurări şi semnalul alternativ de dezechilibru
din punte, semnal purtător al înformaţiei obţinute din măsurare (figura
6.41.b).
6.2.7.3. Cuplajul inductiv cu modulare în frecvenţă
Avantajele transmisiei prin cuplaj inductiv a informaţiei obţinute din

măsurarea eforturilor mecanice de torsiune la care este supus un ax aflat în
mişcare de rotaţie sunt limitate de înfluenţa factorului de cuplaj ”k” asupra
preciziei măsurării. Dacă se foloseşte modularea în frecvenţă, precizia de
măsurare devine independentă de variaţiile în exploatare a valorii factorului
de cuplaj.
Mărcile tensometrice conectate electric într-o punte ( de exemplu de
tipul ”4R”) sunt fixate prin lipire pe axul în rotaţie a cărui moment de
torsionare trebuie măsurat.
159
convertor integrat tensiune

continuă - frecvenţă înfăşurare emiţătoare mobilă
înfăşurare receptoare fixă
punte Amplificator
sursa de alimentare de
de măsurare IE
curent continu tensometrică
Figura 6.45. Sistem fără contact electric cu modulare în frecvenţă
Puntea este alimentată în curent continu de la o sursă miniaturizată

stabilzată, fixată prin lipire pe acelaşi ax.
Tensiunea de dezechilibru a punţii se aplică unui convertor integrat
tensiune – frecvenţă, deasemeni de foarte mici dimensiuni, lipit şi acesta pe
ax. La rândul său convertorul tensiune continuă – frecvenţă, alimentează
înfăşurarea emiţătoare aflată pe acelaşi ax în cuplaj electromagnetic cu
înfăşurarea receptoare mobilă conectată la adaptorul de măsurare, în fond nu
frecvenţmetru electronic, instrumentul de ieşire ”IE” fiind gradat direct în
valori ale momentului de torsiune la care este supus axul în rotaţie.
Modificarea în exploatare a factorului de cuplaj a înfăşurărilor emiţătoare şi
receptoare este neesenţială în acest caz ( u2 (t )  k  u1 (t ) ), căci acesta
afectează numai amplitudinea semnalului U2(t), dar nu şi frecvenţa acestuia,
frecvenţa fiind purtătoarea informaţiei obţinute din măsurare.
6.2.8. Utilizări diverse pentru sensorii tensorezistivi
Mărcile tensometrice sunt folosite în principal la măsurarea

eforturilor mecanice şi a deformaţiilor provocate de acestea. În acelaşi timp
prin intermediul mărcilor, efort mecanic, respectiv deformaţii, se pot
determina şi alte mărimi cum ar fi puterea mecanică transmisă presiuni,
160
acceleraţii, mici deplasărietc. Câteva exemple pentru aceste diverse aplicaţii

sunt prezentate în continuare.
6.2.8.1. Măsurarea puterii mecanice
În figura 6.46 este prezentat un sistem destinat măsurării puterii

mecanice transmise de un ax aflat în mişcare de rotaţie:
P  MT   (6.47)
unde
MT - momentul de torsiune al axului;
ω – viteza unghiulară.
Pe suprafaţa axului sunt lipite patru mărci tensometrice identice
conectate în punte. Montarea mărcilor în poziţii simetrice şi formând
unghiuri de 45˚ cu generatoarea axului asigură compensarea efectului termic
şi a eventualelor deformaţii prin încovoiere, fiind sesizat numai efortul de
torsiune. Alimentarea punţii tensometrice şi culegerea semnalului de
dezechilibru se poate realiza prin unul din procedeele prezentate anterior (cu
contact electric sau cuplaj electromagnetic). Pentru măsurarea puterii
mecanice se utilizează în plus un tahogenerator (TG) antrenat de axul în
rotaţie şi un senzor de tip Hall (SH). Astfel, semnalul de dezechilibru al
punţii tensometrice, dependent de valoarea momentului de torsiune MT,
alimentează în curent plăcuţa senzorului Hall: I  k1  M T ; în acelaşi timp,
semnalul obţinut de la tahogenerator este aplicat înfăşurării
electromagnetului senzorului Hall, realizând în întrefier un câmp magnetic
de inducţie B, dependentă de valoarea turaţiei axului: B  k2   .
Tensiunea obţinută la ieşirea senzorului Hall este proporţională cu
puterea mecanică transmisă de ax:
U H  k  B  I U H  k1  k 2  M T   U H  const  P (6.48)
Un astfel de sistem este utilizat în special în laboratoare de încercări

pentru motoare.
161
senzor Hall
punte tensometrică
TG
UH
Figura 6.46. Sistem de măsurare a puterii mecanice
6.2.8.2. Măsurarea presiunii
În acest scop, mărcile tensometrice sunt lipite pe diferite elemente

elastice care se deformează sub acţiunea presiunii de măsurat. Câteva
exemple sunt prezentate în figura 6.47.
p1 M p1 p2
B1 B2
p2 L
a. b. c.
Figura 6.47. Sistem de măsurare a presiunii cu mărci tensometrice
a. patru mărci tensometrice sunt lipite pe o membrană elastică (M)

care se deformează în funcţie de diferenţa presiunilor p1 şi p2 din cele două
compartimente. Se pot folosi mărci de forme specifice pentru măsurarea
deformaţiilor radiale şi tangenţiale.
b. patru mărci tensometrice sunt lipite pe lamela elastică L; aceasta
se înconvoaie datorită deformării burdufurilor metalice elastice B1, B2
asupra cărora acţionează presiunile de măsurat p1 şi p2. Sistemul poate lucra
ca manometru diferenţial, când ambele burdufuri sunt acţionate de presiune
162
sau ca manometru pentru presiune absolută, când una din cele două intrări
este obturată, fiind activ un singur burduf.
c. presiunea de măsurat deformează pereţii elastici ai cilindrului C, la
suprafaţa cărora sunt fixate patru mărci tensometrice.
6.2.8.3. Măsurarea acceleraţiei
În figura 6.48 se prezintă un accelerometru cu mărci tensometrice.

Masa inerţială M este fixată cu ajutorul lamelelor elastice L1, L2, pe care
sunt lipite mărcile tensometrice (1÷4). Ansamblul este introdus într-o incintă
umplută cu lichid de vâscozitate cunoscută. Acceleraţia de măsurat (a)
determină deplasarea pe direcţie orizontală a masei M, asupra căreia
acţionează o forţă: F  M  a . Datorită acestei forţe are loc deformarea
lamelelor elastice şi, astfel, dezechilibrarea punţii tensometrice, semnalul de
dezechilibru fiind dependent de acceleraţia a.
L1 L2
M
Figura 6.48. Sistem de măsurare a acceleraţiei cu mărci tensometrice
6.2.8.4. Măsurarea cuplului de strângere pentru diverse piese

montate prin înfiletare
Pe braţul unei chei mecanice sunt fixate prin lipire patru mărci
tensometrice identice conectate electric într-o punte de tip ”4R” (figura
6.49).
În timpul strângerii prin înfiletare braţul cheii mecanice se
deformează în domeniul elastic, iar nivelul semnalului de dezechilibru din
punte, estimează valoarea momentului de străpungere.
163
(m) (n)
1 1 3
3
L1 2 4
L2
Figura 6.49. Marci tensometrice fixate pe o cheie mecanica pentru masurarea cuplului
mecanic
Puntea tensometrică se poate plasa în poziţii diferite (m) sau (n) cu

modificarea factorului de scară al instrumentului de ieşire al punţii.
Pe un principiu asemănător se realizează şi chei automate de
strângere la o valoare prestabilită a cuplului.
6.2.8.5. Măsurarea deformaţiei la răsucirii (torsionare)
Pentru măsurarea deformării prin răsucire a axelor, elementele

tensorezistive se dispun ca în figura 6.50.
R2 R3
R1 R4
Fig. 6.50. Dispunerea marcilor tensometrice pe structura supusă la efortul de răsucire
Mărcile identice R1, R2, R3, R4 sunt poziţionate prin lipire la 450 faţa
de generatoarea axului încât în domeniul elastic al răsucirii axului mărcile
R1 şi R3 se alungesc, iar R2 şi R4 se comprimă.
Conectate într-o punte conform figurii 6.51 se compensează
influenţa temperaturii, dar şi eventualele tensiuni remanente existente în
structura axului. În plus la o poziţionare simetrică a celor patru mărci faţă de
axa neutră se compensează şi efectele eventualei deformări prin încovoiere
sau îndoire a aceluiaşi ax.
164
R1 R2
Uieşire
R4 R3
Uintrare
Figura 6.51. Conectarea în punte pentru măsurarea efortului de răsucire
Există rozete cu patru tensorezistenţe identice poziţionate pe aceeaşi

folie suport cu direcţionarea din figura 6.52, conectate în punte, rozeta fiind
prevăzută cu perechea de contacte ”S” pentue alimentarea punţii, respectiv
contacte pentru semnalul de dezechilibru ”D”.
R1 R2
S
D
R4 R3
Figura 6.52. Rozete cu patru mărci tensometrice identice
Cunoscând modulul polar de inerţie al axului:
d 3
WP  (6.49)
16
Se obţine momentul de torsionare M    WP şi valoarea puterii
mecanice transmise prin ax P  M T   , unde ”d” este diametrul axului, ”τ”
efortul de răsucire determinat cu puntea tensometrică lipită pe ax, iar ”ω”
viteza unghiulară de rotaţie.
165
6.2.8.6.Măsurarea unor deplasări mici
În figura 6.53 este prezentat un sistem care permite măsurarea

deplasărilor mici pe direcţie orizontală ale axului A, cu ajutorul mărcilor
tensometrice. Sistemul cuprinde un plan înclinat pe care alunecă o rolă care,
prin intermediul unui ştift, determină încovoierea lamelei elastice L la
deplasarea axului. Pe suprafaţa lamelei elastice sunt lipite patru mărci
tensometrice care măsoară deformarea acesteia şi, astfel, permit măsurarea
deplasării axului A. Dacă axul execută o mişcare de rotaţie, se poate folosi
în locul planului înclinat o piesă tronconică.
Figura 6.53. Sistem de măsurare a deplasărilor mici cu mărci tensometrice
6.3. Senzori termorezistivi
6.3.1. Principiul de funcţionare
Termorezistenţele sunt senzori rezistivi destinaţi măsurării

temperaturii, care se bazează pe dependenţa rezistenţei electrice a unor
materiale metalice sau semiconductoare, de temperatură. Variaţia rezistenţei
electrice cu temperatura se datorează atât modificării mobilităţii purtătorilor
de sarcină (deci, rezistivităţii), cât şi modificării dimensiunilor geometrice
ale materialului. Întrucât coeficientul de variaţie a rezistivităţii cu
temperatura este cu aproximativ două ordine de mărime superior
coeficientului de dilatare, acest ultim efect este neglijabil.
1. Termorezistenţele metalice se realizează uzual din metale pure
(Pt, Ni, Cu, Wetc.) şi mai rar din aliaje (Ag-Au); aliajele, deşi au rezistivităţi
electrice mai ridicate, au coeficienţi de variaţie a rezistivităţii cu temperatura
de valori mai mici decât la metale pure.
166
Relaţia de dependenţă rezistenţă electrică – temperatură R(θ) la

metale poate fi exprimată prin dezvoltarea în serie Taylor în jurul unei
temperaturi de referinţă t0, astfel:
R  R0 (1  A    B   2  ...) (6.50)
unde:
A, B – coeficienţi cu valori constante pentru anumite intervale de
temperatură, specifici metalelor utilizate;
Δθ=θ-θ0 – variaţia temperaturii.
În general, se aproximează dezvoltarea în serie Taylor până la
termenii de rang doi, iar când nu se impune o precizie de măsurare ridicată
se poate aproxima doar cu primul termen, caz în care caracteristica este
liniară.
În practică, însă, de obicei corespondenţa rezistenţă electrică –
temperatură se determină pe baza unor tabele de valori standardizate.
Principalele condiţii care se urmăresc la alegerea metalelor pentru
realizarea elementelor sensibile ale termorezistenţelor sunt:
- coeficient de variaţie a rezistivităţii cu temperatura ridicat, pentru a
obţine o sensibilitate bună; se urmăreşte parametrul R100/R0
(raportul dintre rezistenţa senzorului la 100˚C şi rezistenţa la 0˚C);
- liniaritatea caracteristicii de transfer;
- rezistivitate ridicată;
- puritate cât mai bună, pentru reproductibilitate;
- stabilitate termică şi temporală.
După natura elementului sensibil utilizat, principalele tipuri de
senzori termorezistivi metalici sunt:
● Termorezistenţe din Pt (Platină)
- Se realizează cu valori normalizate ale rezistenţelor Pt100 (100 Ω
la 0˚C), Pt46 (46 Ω la 0˚C).
- Parametrul R100/R0=1.391 pentru Pt100, respectiv R100/R0=1.387
pentru Pt46.
- Domeniul temperaturii de lucru: -200˚C ÷ +850˚C, iar pentru regim
de scurtă durată până la 1050˚C (punctul de topire a platinei este ~1780˚C).
- Dependenţa R(θ) este aproximativ liniară.
167
Observaţii:
- termorezistenţele din Pt sunt cele mai precise;
- platina se comportă în special la temperaturi mari ca un catalizator, iniţiind
şi stimulând procesele de oxidare (arderile suplimentare la suprafaţa platinei
măresc temperatura senzorului).
● Termorezistenţe din Ni (Nichel)
- Valoare normalizată: Ni100 (100 Ω la 0˚C).
- Parametrul R100/R0 pentru diverse tipuri de Ni are valori cuprinse
între 1.61÷1.68.
- Domeniul temperaturii de lucru: -50˚C ÷ +150˚C.
- Coeficientul de temperatură este mai mare la Ni decât la Pt
(sensibilitate mai bună a termorezistenţei din Ni), dar în acelaşi timp este
mai pronunţată neliniaritatea dependenţei R(θ), mai ales la temperaturi
ridicate.
● Termorezistenţe din Cu (Cupru)
- Valori normalizate: Cu100 (100 Ω la 0˚C, Cu53 (53 Ω la 0˚C)
- Parametrul R100/R0=1.246 în domeniul temperaturii de lucru
- Domeniul temperaturii de lucru: 50˚C ÷ +180˚C.
- Dependenţa R(θ) poate fi considerată liniară (coeficientul B are
valoare foarte mică).
Observaţii:
- rezistivitatea Cu este mult mai mică decât a Pt şi Ni; ca urmare, masa de
material conductor necesară pentru realizarea unei termorezistenţe din Cu o
depăşeşte pe cea necesară pentru o termorezistenţă din Pt sau Ni, de aceeaşi
valoare a rezistenţei;
- rezistivitatea Cu este puternic influenţată şi de impurităţile existente; de
aceea, este necesară utilizarea unui Cu pur;
- termorezistenţele din Cu sunt puţin utilizate în Europa, dar foarte
răspândite în America, cu valoarea normalizată Cu10 (10 Ω la 25˚C).
● Termorezistenţe din W (Wolfram)
- Parametrul R100/R0=1.27.
- Domeniul temperaturii de lucru: 0 ÷ +600˚C.
- Dependenţa R(θ) poate fi considerată liniară până la ~600.
168
Observaţii:
- wolframul are punctul de topire ridicat (peste 2500˚C) şi este foarte
rezistent din punct de vedere mecanic;
- wolframul este rezistent la oxidarea în aer, chiar până la temperatura de
600˚C.
2. Termorezistenţele semiconductoare se utilizează termistoare
(semiconductoare fără joncţiune) sau diode, tranzistoare (semiconductoare
cu joncţiune). Senzorii de acest tip au caracteristici R(θ) neliniare, domeniile
de temperatură fiind cuprinse în general între -50˚C ÷ +300˚C la
termistoare, respectiv -50˚C ÷ +140˚C la diode şi tranzistoare.
Termistoarele, ca semiconductoare fără joncţiune, au fost utilizate
iniţial în montaje electronice pentru compensări de temperatură, având un
coeficient de variaţie cu temperatura a rezistivităţii negativ
(negotermistoare). Ulterior au apărut şi pozitermistoarele (termistoare cu
coeficient de temperatură pozitiv) şi s-au realizat senzori pentru măsurarea
temperaturii.
Termistoarele sunt caracterizate de o dependenţă R(t) de formă
exponenţială:
B
R  Ae T
(6.51)
unde
A – constantă de material,
B – constantă energetică,
T este temperatura absolută.
Caracteristica poate fi liniarizată pe porţiuni, cu scăderea
coeficientului de temperatură, deci a sensibilităţii. În general, la termistoare
coeficientul de temperatură este cu un ordin de mărime superior faţă de cel
de la termorezistenţele metalice.
Rezistenţele nominale ale senzorilor nu corespund standardelor
uzuale, având valori în domeniul 10 ÷ 106 Ω. Datorită valorilor mari ale
rezistenţei electrice, chiar la distanţe mari între punctul de măsurare şi
instrument rezistenţa conductoarelor de legătură devine neglijabilă, ceea ce
înseamnă o simplificare a circuitului de măsurare.
169
La realizarea termistoarelor se utilizează amestecuri de oxizi metalici

(Fe2O3, NiO, Cu2O, Si2Oetc.), sulfuri metalice sau metale pure. Senzorii pot
avea dimensiuni foarte mici (de ordinul mm), ceea ce conduce la capacităţi
calorice reduse şi inerţie termică scăzută (timp de răspuns de ordinul msec).
Se pot măsura astfel temperaturi punctuale (de exemplu, în montaje
electronice).
Principalul inconvenient al acestor senzori îl constituie micile
diferenţe dintre caracteristicile R(θ) la diverse tipuri de termistor.
6.3.2. Tipuri constructive
Senzorii termorezistivi metalici se realizează prin bobinarea bifilară

a firului conductor (elementul sensibil) pe un suport izolant, ansamblul fiind
introdus într-o carcasă de protecţie. Firul metalic are în general un diametru
cuprins între 0.02 ÷ 0.1 mm. Suportul înfăşurării conductorului rezistiv se
alege în funcţie de domeniul temperaturii măsurabile. La temperaturi de
până la 150˚C se folosesc materiale electroizolante obişnuite (răşini); pentru
temperaturi în domeniul 150˚C ÷ 300˚C se utilizează mica şi steatit; până la
550˚C – sticlă dură; peste 550˚C – materiale ceramice speciale. Carcasa
(tubul) pentru protecţie se alege după mediul în care se efectuează
măsurările, de cele mai multe ori realizându-se din oţel inoxidabil, cu sau
fără cămaşă ceramică.
La proiectare, se are în vedere ca încărcarea electrică să nu
determine o creştere sensibilă a temperaturii senzorului, puterea disipată
fiind limitată la valoarea de 1 mW.
În figura 6.30 sunt prezentate câteva forme constructive de
termorezistenţe. În varianta standard din figura 6.30.a suportul înfăşurării
este un tub din sticlă, pe care se fixează strâns conductorul metalic bifilar.
La exterior este prevăzut un cilindru din sticlă pentru protecţie, montat astfel
încât după un tratament termic conductorul metalic îşi modifică puţin
coeficientul de temperatură al rezistivităţii, care rămâne în continuare stabil.
Suportul înfăşurării se poate realiza din foiţă de mica cu marginile
zimţate (figura 6.30.b), pe care se înfăşoară conductorul metalic; ansamblul
este fixat între alte două foiţe de mica utilizate ca izolatoare şi apoi, prin
170
intermediul a două aripioare metalice, este dispus în interiorul tubului de

protecţie.
Forma unei termorezistenţe metalice de tip industrial este prezentată
în figura 6.30.c. Tubul de protecţie metalic este prevăzut cu un manşon
pentru fixare în locul în care se măsoară temperatura. Senzorul poate fi
realizat cu patru terminale (două pentru curent şi două pentru tensiune),
permiţând măsurarea rezistenţei elementului sensibil, independent de
rezistenţa firelor de conexiune. La temperaturi ridicate (peste 800˚C), pentru
a se evita penetrarea gazelor prin teaca metalică, în special în cazul
conductorului din Pt, se utilizează un tub ceramic suplimentar pentru
protecţie. În domeniul temperaturilor negative, pentru protecţia senzorului la
umiditate, acesta se înglobează într-o masă de parafină.
Izolatori Element Tub de

(mica) sensibil protecţie
b.
a. c.
Figura 6.30. Tipuri constructive de termorezistenţe metalice
S-au realizat şi senzori termorezistivi din straturi metalice subţiri

depuse pe un suport electroizolant (sticlă dură); aceste termorezistenţe au
avantajul unor constante de timp mult mai bune decât cele cu fir metalic.
Termorezistenţele din semiconductoare au forme constructive
determinate în primul rând de obţinerea unui timp de răspuns cât mai mic.
Termistoarele de mică putere se realizează sub forma unor sfere mici (cu
diametrul mai mic de 1mm), în care sunt fixate conductoarele de legătură;
termistoarele de putere se realizează sub formă de disc, bară sau inel. Se
întâlnesc însă şi termorezistenţe cu termistoare de formă industrială.
171
6.3.3. Constanta de timp şi timpul de răspuns la

termorezistenţe
Timpul de răspuns (tr) este un parametru important al

termorezistenţelor, în special când se măsoară temperaturi variabile în timp
(de exemplu, în cazul regulatoarelor de temperatură). Constanta de timp (T)
se defineşte ca intervalul de timp în care senzorul ajunge de la temperatura
iniţială θ0 la temperatura θ1, care satisface condiţia:
1  0  0.632  ( m  0 ) (6.52)
unde θm este temperatura de măsurat.

Evoluţia în timp a temperaturii senzorului de la θ0 către valoarea de
măsurat θm corespunde unei curbe exponenţiale (figura 6.31). După un timp,
teoretic îndelungat, senzorul va căpăta temperatura θm. Se definesc următorii
parametri:
● timpul de răspuns 5% (τ5%) - intervalul de timp în care temperatura
senzorului devine 95% din diferenţa maximă θm- θ0.
● timpul de răspuns 2% (τ2%) - intervalul de timp în care temperatura
senzorului atinge 98% din diferenţa maximă θm- θ0.
θ
[˚C]
θm
0.95(θm- θ0) 0.98(θm- θ0)

0.632(θm- θ0)
θ0
T t [sec]
3T
4T
Figura 6.31. Evoluţia temperaturii la senzori termorezistivi
Sunt valabile relaţiile: τ5%=3T; τ2%=4T. Termorezistenţele metalice

au constante de timp destul de ridicate, în general între câteva secunde şi
câteva minute (de exemplu, la termorezistenţele de tip industrial Pt100,
Ni100, Cu100, T ia valori între 1.5 şi 2 minute, iar la Pt46 între 30 secunde
172
şi 1 minut). La termistoare constanta de timp este sensibil mai mică decât la

termorezistenţele metalice (de ordinul a 10-2 sec).
6.3.4. Circuite de măsurare pentru senzorii termorezistivi
Cel mai simplu circuit de măsurare pentru termorezistenţe (dar tot

mai puţin utilizat în prezent) constă în conectarea senzorului termorezistiv în
circuitul unui logometru magnetoelectric, al cărui scală este gradată în valori
de temperatură (figura 6.32.a).
R2
L
G
R1
I1 I2 -
E
AO
R Ui
R + Ue
E
θ
R=R1R‫׀׀‬2
R
L
a. cu logometru magnetoelectric b. cu amplificator operaţional

Figura 6.32. Circuite de măsurare pentru termorezistenţe
Una din înfăşurările logometrului (LG) este înseriată cu

termorezistenţa Rθ, aflată în mediul al cărui temperatură se măsoară. RL este
rezistenţa electrică a conductoarelor de legătură între instrument şi senzor.
Cealaltă înfăşurare a logometrului este înseriată cu o rezistenţă etalon RE.
Alimentând circuitul de la sursa de tensiune E, deviaţia logometrului va fi
proporţională cu raportul curenţilor care se stabilesc prin cele două
înfăşurări, având rezistenţele R1 şi R2:
I 
  f  1  (6.53)
 I2 
E E R R R 
I1  ; I2    f  2 L      f ( ) (6.54)
R1  RE R2  RL  R  R1  RE 
173
Pe cadranul termometrului astfel realizat trebuie să se noteze tipul

termorezistenţei metalice, valoarea rezistenţei liniei de legătură (RL) şi
tensiunea sursei de alimentare (E). Variaţia tensiunii E într-un anumit
domeniu nu afectează esenţial precizia măsurării; erorile maxime obţinute
cu acest circuit sunt de ordinul 1-2%.
O largă răspândire în prezent o au circuitele electronice de adaptare
pentru termorezistenţe. Schemele de măsurare sunt în general aceleaşi
pentru termorezistenţele metalice şi termorezistenţele din semiconductoare,
cu diferenţa că valoarea curentului prin termistoare este de obicei de ordinul
zecilor de μA. O variantă utilizată în special în cazul termistoarelor constă
în conectarea senzorului în circuitul de reacţie al unui amplificator
operaţional (figura 6.32.b). Dependenţa R(θ) la termistor este, în general,
exponenţială (relaţia 6.51), însă pentru un domeniu limitat de temperatură se
poate considera o variaţie hiperbolică a rezistenţei senzorului de temperatura
absolută:
1
R( )  const  (6.55)
T
Tensiunea continuă obţinută la ieşirea circuitului (Ue) este
proporţională cu valoarea absolută a temperaturii de măsurat.
O altă variantă frecvent utilizată în practică o reprezintă punţile de
termorezistenţe. În braţele unei punţi Wheatstone se conectează unul sau doi
senzori termorezistivi; puntea este echilibrată la temperatura iniţială, iar la
variaţia temperaturii tensiunea obţinută la ieşirea punţii reprezintă
informaţia de măsurare. În general, semnalul de dezechilibru este amplificat
în continuare prin intermediul unui montaj cu amplificator operaţional.
Schema din figura 6.33. este simetrică, de tip diferenţial, fiind utilizată
optim întreaga tensiune de dezechilibru a punţii. Legătura la masă se
realizează simetric faţă de intrările AO, prin intermediul sursei de
alimentare. Off-set-ul poate fi corectat cu ajutorul potenţiometrului P.
Nivelul semnalului obţinut la ieşirea circuitului este suficient de mare pentru
a fi indicat direct de un instrument de măsurare sau pentru a fi ulterior
prelucrat numeric.
174
R2
1 2 R1
R1' AO
Ue
4 3
P Ui
Figura 6.33. Punte de termorezistenţe
În figura 6.34 este prezentată o schemă de măsurare în care

termorezistenţa este conectată în circuitul de negativare al bazei unui
tranzistor, în cadrul unui amplificator diferenţial cu componente discrete.
RC1 R1 R2 RC2
IE
T1 T2
E
K
R1'
Rθ
'
RC RE R2'
R2
Figura 6.34. Circuit de măsurare cu amplificator diferenţial cu componente discrete
Astfel de circuite au stat la baza primelor termometre electronice cu

termorezistenţe, fiind utilizate în special în medicină (pentru domeniul de
temperatură 35 ÷ 45ºC). Se realizează o schemă simetrică diferenţială,
tranzistoarele T1 şi T2 având parametri cât mai apropiaţi şi condiţii de răcire
identice. Polarizarea bazei tranzistorului T2 este constantă, în timp ce
polarizarea bazei lui T1 se realizează prin intermediul unei scheme divizoare
de tensiune, în care intră şi termistorul RT. Rezistenţele R1' şi R2' servesc la
175
liniarizarea schemei, iar rezistenţa RC introdusă cu ajutorul comutatorului K

permite verificarea periodică a calibrării termometrului. Schema se poate
realiza foarte compact, obţinându-se în plus compensarea automată a
diverselor efecte (influenţa temperaturii mediului, îmbătrânirea
componentelor, variaţia tensiunii pe colectoretc.).
S-au realizat termometre prin introducerea unei termorezistenţe într-
un circuit multivibrator. Acesta este un generator de semnal alternativ
dreptunghiular, la care lăţimile semiperioadelor sunt dependente de valorile
elementelor de circuit conectate în bazele a două tranzistoare (figura 6.35.a).
În acest circuit, valorile celor două semiperioade sunt: T1  R1C1 ln 2 ;
T2  R2C2 ln 2 , cu condiţia ca R1>>RC1, R2>>RC2. Între ieşirile 1 şi 2
consumul este nul, iar capacităţile parazite din circuit sunt neglijabile faţă de
valorile C1 şi C2. Dacă elementele de circuit R1, R2, respectiv C1, C2 sunt
identice, semnalul de ieşire va avea semiperioadele cu aceeaşi lăţime şi ca
urmare valoarea medie a tensiunii de ieşire (U12) este nulă. Dacă una dintre
rezistenţele R1, R2 este un senzor de temperatură, lăţimea unei semiperioade
depinde de temperatură şi, deci, valoarea medie a tensiunii de ieşire va fi
funcţie de temperatura de măsurat: U12med  f ( ) . În circuitul din figura
6.35.b rezistenţa R1 este înlocuită cu un tranzistor, utilizat direct ca senzor
de temperatură, obţinându-se un termometru cu un factor de scală pentru
temperatură de cca. 75 mV/˚C.
-E -
T
E
RC1 R1 R2 RC2 RC1 R2 RC2
C1 C2 C2
1 2 1 2
C1
T1 T2 T1 T2
a. b.
Figura 6.35. Termorezistenţa în circuit multivibrator
176
6.3.5. Microdebitmetre termice
O aplicaţie specială a senzorilor termorezistivi constă în realizarea

microdebitmetrelor termice, destinate măsurării debitelor mici la gaze şi
lichide. Aceste tipuri de debitmetre au o serie de avantaje, cum ar fi:
măsurarea precisă şi directă a debitului masic (fără necesitatea unor corecţii,
de exemplu cu temperatura sau presiunea); nu conţin piese în mişcare, deci
au o durată mare de viaţă; sunt utilizate în medii corozive, toxice, explozive;
permit măsurarea debitului într-un domeniu larg de presiune (pmax=400bar)
şi temperatură (tmax≈400˚C); au un consum mic de energie electrică şi
gabarit redus. Există mai multe variante constructive ale acestor dispozitive,
toate însă utilizând schimbul de căldură prin convecţie realizat de fluidul
aflat în mişcare.
AT
W
1 3 2 1 3 2
SM
A
AM θ2
θ1 B
1' 2' θ1' θ2' l [cm]
Gcc
a. b.
1 2
ΔU
'
1 2'
Gcc
c.
Figura 6.36. Tipuri de microdebitmetre termice
177
În figura 6.36.a este prezentată structura de principiu a unui

microdebitmetru termic pentru măsurarea debitului masic. În interiorul unei
conducte parcursă de fluidul al cărui debit se măsoară sunt dispuşi senzorii
termorezistivi 1, 2 şi încălzitorul 3, în poziţii simetrice.
Termorezistenţele, împreună cu rezistenţele fixe 1', 2' formează o
punte iniţial echilibrată (atunci când viteza fluidului în conductă este nulă),
întrucât fluxul termic generat de încălzitor se transmite simetric la cei doi
senzori de temperatură. Dacă fluidul circulă prin conductă de la stânga la
dreapta, senzorul 1 vine în contact cu fluidul rece, iar senzorul 2 cu fluidul
încălzit; ca urmare, puntea se dezechilibrează. Un wattmetru măsoară
puterea electrică absorbită în orice moment de încălzitor. Semnalul de
dezechilibru al punţii este aplicat la intrarea unui amplificator modulator
(AM) care are drept sarcină înfăşurarea de comandă a unui servomotor
(SM); acesta va comanda deplasarea cursorului autotransformatorului (AT)
care alimentează încălzitorul de la o sursă de tensiune alternativă.
Pentru măsurarea debitului masic (masa de fluid care străbate
secţiunea conductei în unitatea de timp), sistemul de reglare automată
funcţionează cu autoechilibrare; la o diferenţă constantă de temperatură
(Δθ=θ2-θ1) se măsoară puterea consumată de încălzitor, wattmetrul putând fi
gradat direct în valori ale debitului:
R  I 2  m  c    m  const  P (6.56)
unde m – debitul masic; c – constantă.
Principalul dezavantaj al acestui dispozitiv este consumul de putere
ridicat. În plus, el este util numai pentru măsurarea debitelor foarte mici, în
special la gaze.
În figura 6.36.b se dă schema de principiu a unui debitmetru realizat
de firma SETARAM (Franţa), pentru debite de gaze în domeniul 5 ÷ 10
l/oră. Atât încălzitorul (3), cât şi senzorii de temperatură(1, 2) se află în
exteriorul conductei parcursă de fluid. Încălzitorul (un rezistor cu fir metalic
înfăşurat direct pe conductă) este alimentat la curent constant. Cum şi
rezistenţa înfăşurării încălzitorului este constantă (de exemplu, din
constantan), puterea electrică disipată în încălzitor rămâne constantă. Dacă
fluidul este staţionar, spectrul temperaturilor pe lungimea conductei este
178
reprezentat de caracteristica A; în aceste condiţii, senzorii termorezistivi vor

măsura aceeaşi temperatură. Când fluidul circulă prin conductă, de exemplu
de la stânga spre dreapta, senzorul 1 se află în contact cu porţiunea rece a
peretelui conductei, iar senzorul 2 cu porţiunea încălzită de fluidul în
mişcare. Conform caracteristicii B, diferenţa dintre temperaturile măsurate
de cei doi senzori (Δθ=θ2-θ1) este dependentă de debitul masic prin
conductă; dependenţa este aproximativ liniară, eventuale neliniarităţi fiind
datorate fenomenelor de schimb de căldură la contactul fluid – metal. Acest
tip de microdebitmetru oferă o precizie de măsurare de aproximativ 1.5 %,
cu o rezoluţie de 1/10000 din debitul maxim. Sistemul permite şi măsurarea
unor debite foarte mici de lichide (de exemplu, apă cu maxim 0.5 l/oră).
O variantă mai simplă, la care senzorii termorezistivi sunt fixaţi tot
în exteriorul conductei (deci, nu au contact direct cu fluidul) este prezentată
în figura 6.36.c. Cele două termorezistenţe metalice bobinate (1, 2) sunt
utilizate şi ca elemente de încălzire a fluidului. Porţiunea de circuit în care
se află senzorii este izolată termic prin intermediul unei carcase.
Termorezistenţele formează împreună cu două rezistenţe exterioare cu valori
fixe (1', 2') o punte alimentată la curent constant. Când fluidul nu circulă
prin conductă, temperaturile măsurate de cei doi senzori (parcurşi de acelaşi
curent şi aflaţi în aceleaşi condiţii de răcire) sunt egale. La deplasarea
fluidului (de la stânga spre dreapta), schimbul de căldură dintre
termorezistenţe (considerate ca elemente încălzitoare) se realizează prin
intermediul stratului limită metal – fluid. În vecinătatea senzorului 1 se află
fluidul rece; el se încălzeşte de la încălzitorul 1 şi apoi vine în contact cu
senzorul 2. Pe baza unor ecuaţii de bilanţ se poate demonstra uşor că
temperatura de regim permanent a termorezistenţei 1 este întotdeauna mai
mică decât cea a termorezistenţei 2. Deci, puntea se dezechilibrează şi
semnalul de dezechilibru este dependent, însă neliniar, de debitul fluidului
care circulă prin conductă. Acest dispozitiv este utilizat pentru măsurarea
debitului masic, fiind caracterizat de un timp de răspuns de ordinul a câteva
minute.
179
6.4. Senzori rezistivi cu fir sau strat cald
6.4.1. Senzori rezistivi cu fir sau strat cald pentru măsurarea

vitezei fluidelor
Un senzor de acest tip, denumit şi termoanemometru, este constituit

în principiu dintr-un fir sau un strat metalic încălzit la o anumită temperatură
prin efect Joule şi plasat în calea jetului de fluid. Metalul utilizat la
realizarea elementului sensibil trebuie să aibă un coeficient de temperatură
al rezistivităţii ridicat. În cazul gazelor se foloseşte un fir subţire (diametru
de 0.6 – 10 μm) din platină sau tungsten întins între două conductoare din
cupru sau nichel, care sunt fixate pe un soclu izolant (figura 6.37.a); în cazul
lichidelor, din motive de rezistenţă mecanică, elementul sensibil este realizat
sub forma unui strat subţire de platină depus pe un suport izolant, de obicei
de formă conică sau cilindrică şi acoperit cu cuarţ (figura 6.37.b).
tijă suport (cuarţ)

filament (Pt)
Si3N4 polisiliciu
conductor (Cu)
soclu
cavitate
conductoare substrat Si
de legătură strat sensibil (Pt)
a. cu fir cald b,c. cu strat cald

Figura 6.37. Senzori rezistivi pentru viteza fluidelor
În ultimul timp s-au dezvoltat microsenzori cu strat cald realizaţi

prin procedee de microprelucrare mecanică, compatibile cu tehnologia
integrată (figura 6.37.c). Întrucât proprietăţile termice ale substratului
influenţează funcţionarea senzorului, acesta este prevăzut cu o cavitate
(cameră de vid) care izolează stratul superior (elementul sensibil) de
substrat. Această cavitate este realizată prin tehnica corodării, sub stratul de
nitrură de siliciu (Si3N4); straturile de polisiliciu şi Si3N4 sunt formate prin
depunere de vapori chimici la presiune joasă. Coeficientul de temperatură al
rezistivităţii elementului sensibil (polisiliciu dopat uniform cu fosfor) este
aproximativ 0.09 %/˚C.
180
Senzorul cu fir (strat) cald, parcurs de curent electric, este plasat în

conducta parcursă de fluid; se produce astfel un schimb de căldură prin
convecţie, care depinde de proprietăţile fizice ale fluidului, de viteza sa şi de
diferenţa de temperatură dintre elementul sensibil încălzit şi fluid.
Temperatura de echilibru a elementului sensibil, dependentă de puterea
Joule disipată şi de viteza fluidului, se determină prin măsurarea rezistenţei
electrice a acestuia. Plecând de la ecuaţia generală de bilanţ termic (relaţia
6.15), se iau toate măsurile astfel încât să se poată neglija toate pierderile de
căldură cu excepţia celor prin convecţie (pcv). Ecuaţia de bilanţ devine:
R f  I 2  C   (v)  ( f  0 ) (6.57)
unde:
C – parametru dependent de suprafaţa de “spălare” a elementului sensibil (în
funcţie de orientarea acestuia faţă de direcţia de curgere a fluidului);
ξ(v) – coeficient de schimb de căldură prin convecţie, dependent de viteza
relativă a gazului faţă de senzor;
θf – temperatura de echilibru a elementului sensibil;
θ0 – temperatura fluidului.
În aceste condiţii, pentru C=cst. şi θ0=cst., viteza fluidului se poate
determina prin două metode:
• la curent constant (I=cst.), măsurând rezistenţa senzorului (Rf), care
depinde de viteza fluidului. Rezistenţa Rf se determină direct măsurând
căderea de tensiune la bornele sale sau prin conectarea senzorului într-o
punte Wheatstone (figura 6.38.a).
1 2 1 2
ΔU
4 3 3
4
Gcc AO
a. cu fir cald b. cu strat cald

Figura 6.38. Senzori rezistivi pentru viteza fluidelor
181
Circuitul de măsurare trebuie completat cu un etaj de compensare a

inerţiei termice a senzorului în scopul îmbunătăţirii timpului de răspuns.
• la temperatură constantă (θf=cst.), când senzorul este conectat într-
o punte Wheatstone şi se măsoară curentul necesar menţinerii echilibrului,
care este funcţie de viteza fluidului (figura 6.38.b). Avantajul acestei metode
este că efectul inerţiei termice a senzorului asupra timpului de răspuns este
mai mic.
La senzorii termoanemometrici, firul sau stratul cald este sensibil în
principal la componenta normală a vitezei fluidului (v); însă, în acelaşi timp,
el prezintă o anumită sensibilitate şi la componenta tangenţială. Se defineşte
astfel viteza la care firul (stratul) este efectiv sensibil, ca fiind:
vef  v cos 2   k  sin 2  (6.58)
unde:
k – coeficient ce caracterizează sensibilitatea la componenta tangenţială a
vitezei (cu o valoare de aproximativ 0.2);
Φ – unghiul vitezei v cu normala la elementul sensibil.
Rapiditatea răspunsului este cu atât mai bună cu cât elementul
sensibil este mai mic şi viteza v a fluidului este mai mare. Constanta de timp
depinde de tipul circuitului de măsurare (la curent constant sau la
temperatură constantă).
Faţă de procedeele electromecanice de măsurare a vitezei fluidelor
(anemometre cu elice), senzorii cu fir sau strat cald au avantajul că nu conţin
componente în mişcare, deci sunt caracterizaţi de o fiabilitate mai bună. În
schimb, domeniul vitezelor măsurate este mai îngust. Principalele domenii
de aplicaţie a acestor senzori sunt: măsurări în metrologie, tehnica
navigaţiei, instalaţii în construcţiietc.
6.4.2. Senzori rezistivi cu fir cald pentru măsurarea presiunii la

vid înaintat
S-au realizat senzori rezistivi cu fir cald pentru măsurarea gradului

de vid (denumiţi şi joje de vid). În interiorul unui tub cilindric este fixat în
poziţie axială un fir metalic subţire din platină, tungsten sau nichel, încălzit
prin efect Joule. În principiu, se utilizează dependenţa conductivităţii
182
termice a amestecului gazos în tub, în funcţie de presiunea, respectiv

densitatea acestuia. Dacă amestecul gazos se află la presiuni normale
(p=760mmHg), moleculele de gaz primesc energii suplimentare în urma
contactului cu filamentul incandescent; în drumul lor către pereţii reci ai
incintei cilindrice se ciocnesc însă cu multe alte molecule deoarece la
presiuni normale distanţa medie între două ciocniri succesive (drumul liber
mijlociu al unei molecule) are valori mici, de ordinul a 10-3mm. Din acest
motiv, la transmisia căldurii de la filament către pereţii reci participă un
număr foarte mare de molecule de gaz şi conductibilitatea termică a
amestecului gazos devine practic independentă de densitatea, respectiv
presiunea gazului.
Dacă, însă, gazul din incintă este rarefiat (p=0.001 mmHg), distanţa
dintre două ciocniri succesive poate atinge, în funcţie de natura gazului,
valori de zeci – sute de mm (la 0˚C). Aceasta înseamnă că în urma ciocnirii
cu filamentul încălzit, o moleculă poate atinge peretele incintei fără să se
ciocnească cu o altă moleculă; în acest caz, la transmisia căldurii are
importanţă numărul de molecule pe unitatea de volum, deci densitatea,
respectiv presiunea gazului din incintă.
Astfel, la vid înaintat, rezistenţa senzorului se modifică la variaţia
presiunii (figura 6.39.a); se observă că pentru o variaţie de presiune de 0.02
mmHg rezultă o variaţie de rezistenţă de 1-1.5 Ω, uşor de măsurat chiar fără
amplificare.
Rf [Ω]
mV
10
spre incinta
vidată
Gcc
8
1 20 p*10-3 [mmHg]
a. Caracteristica Rf(p) la o jojă rezistivă cu fir cald b. Jojă termică cu termocuplu

Figura 6.39. Joja de vid
183
Ca circuit de măsurare, cel mai adesea se utilizează montajul în

punte Wheatstone în care se conectează senzorul cu fir cald; alimentarea
punţii la curent constant asigură o temperatură de regim permanent a
filamentului de aproximativ 400˚C. Tensiunea de dezechilibru a punţii este
funcţie de gradul de vid din incinta analizată.
O altă soluţie constă în utilizarea unei punţi cu un singur senzor cu
fir cald, alimentată la tensiune variabilă astfel încât temperatura filamentului
să fie menţinută constantă; puntea este în acest caz cu autoreglare prin
intermediul unui amplificator diferenţial cu factor de amplificare mare, iar
semnalul de măsurare este variaţia rezultantă a tensiunii de alimentare a
punţii.
În scopul reducerii influenţei temperaturii tubului în care este dispus
filamentul cald (şi care este în contact cu mediul exterior), se utilizează
diverse soluţii, cum ar fi: asocierea jojei de vid cu un senzor de temperatură
(termistor), conectat în serie în unul din braţele punţii Wheatstone; utilizarea
a doi senzori cu fir cald identici: unul din senzori este în contact cu un
amestec etalon de gaze aflat la un grad de vid cunoscut, iar celălalt este
introdus în incinta de analizat.
Senzorii cu fir cald se utilizează pentru măsurarea gradului de vid
până la presiuni de 10-1 mmHg şi în intervalul 10-1 ÷ 10-3 mmHg. Pentru
nivele de vid mai înaintat, aceşti senzori nu mai dau rezultate bune şi se
folosesc alte metode de măsurare. În plus, semnalul de ieşire nu este o
funcţie liniară de presiune, sensibilitatea cea mai bună situându-se în zona
mediană a domeniului de măsurare. De asemeni, senzorii de acest tip trebuie
etalonaţi pentru fiecare gaz analizat. Timpul de răspuns este relativ mic
cuprins între 0.02 ÷ 0.2 sec. Precizia de măsurare depinde de modelul
senzorului, fiind în general de ordinul a 10 – 20 % din valoarea citită.
Se realizează, de asemeni, pentru măsurarea gradului de vid, joje
termice cu termocuplu (figura 6.39.b). Într-o incintă din sticlă, prevăzută la
partea inferioară cu contacte similare unui tub electronic şi în partea opusă
cu o deschidere aflată în contact etanş cu incinta vidată de analizat, este
dispus filamentul metalic (din Pt) încălzit la curent constant. Un termocuplu
în miniatură este fixat în incintă cu sudura caldă în vecinătatea filamentului
şi conectat la un instrument indicator de ieşire (milivoltmetru) etalonat în
184
unităţi de presiune. Termocuplul măsoară temperatura de regim permanent a

filamentului, dependentă de valoarea gradului de vid.
Domeniul de variaţie a temperaturii filamentului fiind limitat între
100ºC şi 200ºC, variaţia tensiunii termoelectromotoare este relativ slabă şi,
ca urmare, se utilizează termocupluri de putere termoelectrică ridicată şi
capacitate calorică slabă.
Si în acest caz este necesară reducerea influenţei variaţiilor de
temperatură ale incintei, prin introducerea unui termocuplu de compensare
suplimentar.
Ambele tipuri de senzori îşi găsesc aplicaţii în fizica industrială şi
tehnica semiconductorilor.
6.5. Senzori rezistivi de umiditate
Higrometrele rezistive sunt senzori al căror element sensibil este

constituit dintr-o substanţă higroscopică ce îşi modifică rezistivitatea
electrică în funcţie de gradul de umiditate (în general, a aerului).
Faţă de alte tipuri de higrometre, avantajul principal al acestor
senzori îl reprezintă dimensiunile lor reduse (senzori miniatură), ceea ce
permite realizarea unor măsurări punctuale, cu un timp de răspuns mic.
Pentru a realiza senzori de umiditate plecând de la acest principiu, este
necesară găsirea unor substanţe la care curba de variaţie a rezistivităţii în
funcţie de conţinutul în apă (deci, în funcţie de umiditatea relativă) prezintă
calităţile cerute de un element de măsurare: stabilitate în timp, liniaritate,
reversibilitate etc.
Pe un suport de dimensiuni mici (de ordinul a câţiva milimetri) este
depusă o anumită cantitate de substanţă higroscopică şi, de asemenea, doi
electrozi din metal necorodabil. Valoarea rezistenţei între aceşti doi electrozi
depinde în acelaşi timp de conţinutul în apă (raportul dintre masa de apă
absorbită şi masa materialului uscat) şi de temperatura substanţei
higroscopice. Aşa cum arată izotermele de absorbţie, conţinutul în apă
depinde, la rândul său, de umiditatea relativă şi de temperatură.
Ca substanţe higroscopice se utilizează, în general, materiale
ceramice poroase sintetizate din pulbere (TiO2-V2O5, MgCr2O4-TiO2,
ZnCr2O-LiZnVO4), polistiren sulfanat sau pulbere de cărbune. Anumite
185
variante constructive utilizează ca substanţă higroscopică un lichid.

Substanţele electrolitice sunt conductoare electric; rezistenţa lor depinde de
volum, care se modifică cu conţinutul în apă.
Rm[MΩ]
80
40
Rm
10
G
5
RA
0 Ur [%]
0 50 100
a. b.
Figura 6.40. a. Variaţia rezistenţei în funcţie de umiditatea relativă la un
higrometru rezistiv; b. Circuit de măsurare potenţiometric pentru higrometrul rezistiv
În figura 6.40.a este reprezentată curba caracteristică a rezistenţei în

funcţie de umiditatea relativă a elementului sensibil. Se remarcă domeniul
întins de variaţie a rezistenţei (de la mai puţin de 1 MΩ la 80 MΩ). În
realitate, rezistenţa Rm a higrometrului depinde atât de umiditate, cât şi de
temperatură; influenţa acesteia din urmă poate fi însă compensată printr-un
montaj potenţiometric (figura 6.40.b), în care rezistenţa adiţională (RA)
conectată în serie cu Rm are aceeaşi variaţie termică cu rezistenţa senzorului.
În funcţie de tipul senzorului, domeniul de măsurare este cuprins
între 5 sau 10 % şi 95 % umiditate relativă, pentru temperaturi în domeniul -
10ºC ÷ 50ºC. Unele modele industriale pot lucra chiar şi până la temperaturi
de 80ºC.
Timpul de răspuns este de ordinul a 10 secunde. Precizia de
măsurare variază de la ±2 % la ±5 %, în funcţie de modelul higrometrului.
Aceşti senzori prezintă, însă, o serie de inconveniente care au făcut
ca utilizarea lor să fie destul de limitată (neliniaritate, histerezis, influenţa
temperaturii, instabilitate etc.). Ei sunt în prezent mult mai răspândiţi,
datorită dezvoltării unor noi tehnologii de realizare (tehnologia straturilor
186
subţiri, tehnologia straturilor groase), dar şi datorită utilizării elementelor

numerice de prelucrare de semnal (de ex., microprocesoare).
Senzorii rezistivi pot fi utilizaţi şi pentru măsurarea umidităţii
lichidelor. Însă, rezistivitatea materialului higroscopic depinde de mai mulţi
de factori: pH-ul soluţiei, forma electrozilor senzorului, compoziţia
amesteculuietc. De aceea, la măsurarea conţinutului de apă în lichide sunt
preferaţi senzorii capacitivi, întrucât în acest caz se măsoară doar constanta
dielectrică a materialului, iar capacitatea nu depinde de toţi aceşti parametri.
6.6. Senzori magnetorezistivi
6.6.1. Senzori magnetorezistivi din material semiconductor
Efectul magnetorezistiv reflectă proprietatea unui material magnetic

prin care trece un curent electric de a-şi schimba rezistivitatea în prezenţa
câmpului magnetic extern. Schimbarea are loc prin rotirea magnetizării faţă
de direcţia curentului. Acest efect este utilizat în cazul materialelor
semiconductoare cu un nivel ridicat al mobilităţii purtătorilor μn. Rezistenţa
senzorului magnetorezistiv R(B) depinde neliniar de câmpul magnetic după
o formă parabolică (figura 6.41.a) conform relaţiei (6.59):
R( B)  ( B)
 (1  n B 2 )
2
(6.59)
R(0)  (0)
Conform teoriei dezvoltate pentru efectul Hall, rezistivitatea

materialului nu depinde de inducţia magnetică întrucât în regim stabil
câmpul electric Hall neutralizează perfect forţa Laplace şi nu există
deformări ale liniilor de curent. În realitate însă, apare un efect
magnetorezistiv ca urmare a ciocnirii sarcinilor libere cu reţeaua. Acest
efect poate fi evidenţiat anulând prin scurt-circuit câmpul electric Hall; forţa
Laplace deformează astfel liniile de curent, rezultând o creştere a rezistenţei
electrice. Tehnologic, acest scurt-circuit se realizează fie cu ajutorul unor
benzi subţiri din Ag depuse pe stratul semiconductor (figura 6.41.b), fie prin
intermediul unor incluziuni conductoare paralele (NiSb) în stratul
semiconductor, a căror rezistenţă specifică este mai mică cu cel puţin două
ordine de mărime decât cea a elementului semiconductor (figura 6.41.c).
187
Valoarea rezistenţei magnetorezistorului depinde de materialul

semiconductor utilizat, de concentraţia substanţei de dopare, cât şi de forma
şi dimensiunile senzorului; ea este cuprinsă în general între câţiva ohmi şi
câteva zeci de kΩ. Senzorii magnetorezistivi se realizează în general din
InSb, ca material semiconductor, depus în strat subţire (cca. 20 μm
grosime), sub formă de meandră, pe un suport (substrat) izolant (figura
6.41.d).
Ag
R [kΩ] suport strat semiconductor
10 kΩ
5
b.
R(0)
-15 B [T]
a. c. d.
Fig. 6.41. a. Caracteristica R(B) la un senzor magnetorezistiv;

b. Magnetorezistor realizat prin metalizare; c. Magnetorezistor realizat prin incluziuni
conductoare; d. Forma constructivă a unui magnetorezistor
Evident, componenta inducţiei normale la stratul semiconductor (BN)

determină efectul magnetorezistiv. Sensibilitatea senzorului la inducţia
magnetică este funcţie de materialul utilizat, de gradul de dopare a acestuia,
cât şi de natura substratului pe care este depus. În cazul unui substrat din
material nemagnetic, creşterea rezistenţei electrice este proporţională cu BN2
până la valori ale inducţiei de aproximativ 0.5 T, iar în continuare este
proporţională cu BN până la aproximativ 10 T (figura 6.41.a). Dacă
substratul este din material feromagnetic, comportarea senzorului este
identică în domeniul 0÷1.5 T, dar de la această valoare se observă o saturare
a efectului magnetorezistiv.
Senzorul magnetorezistiv este sensibil la temperatură; creşterea
temperaturii conduce la scăderea rezistenţei electrice şi, în acelaşi timp, a
sensibilităţii senzorului. Reducerea influenţei temperaturii şi îmbunătăţirea
liniarităţii se obţine prin realizarea unor configuraţii de patru
188
magnetorezistori conectaţi în punte Wheatstone şi dispuşi astfel încât

variaţiile rezistenţelor senzorilor din braţe alăturate să fie egale şi în sensuri
contrare (figura 6.42).
R1 R2
U0
R3 R4
Gcc
Figura 6.42. Punte Wheatstone cu 4 magnetorezistori
Senzorii magnetorezistivi pot fi utilizaţi la măsurarea intensităţii sau

inducţiei câmpului magnetic. Datorită timpului de reacţie scurt şi
sensibilităţii lor ridicate, magnetorezistorii pot fi destinaţi şi localizării
câmpurilor dinamice rapide. Pe de altă parte, dependenţa R(B) reprezentând
o curbă simetrică în raport cu ordonata, din valoarea rezistenţei măsurate nu
se poate determina sensul sau direcţia inducţiei magnetice.
R [kΩ]
N
1 3
R12 R23
S 2
s s [mm]
a. b.
Figura 6.43. Traductor de deplasare cu magnetorezistori şi caracteristica sa de funcţionare
189
Se poate determina direcţia câmpului doar prin utilizarea unei surse

auxiliare de câmp: un magnet permanent (figura 6.43.a). Creşterea sau
scăderea valorii magnetorezistenţei în prezenţa magnetului permanent,
determină direcţia câmpului.
Astfel rezultă o altă aplicaţie a senzorilor magnetorezistivi:
măsurarea deplasării. Dependenţa rezistenţei unei magnetorezistenţe (R12
sau R23) de poziţia ei în câmpul magnetic este prezentată în graficul din
figura 6.43.b. Se observă neliniaritatea puternică a caracteristicii în acest
caz. Pentru îmbunătăţirea liniarităţii se consideră că senzorul rezistiv se
alimentează de la o sursă de curent constant I0, ca în figura 6.44.a, rezultând
astfel relaţia
U x  Rx  I 0  const  Rx (6.60)
Dacă însă avem două magnetorezistenţe alimentate ca în figura

6.44.b (montaj diferenţial), tensiunea la ieşire rezultă proporţională cu
diferenţa rezistenţelor, conform relaţiei
U 12  U 1  U 2  I 0  ( R1  R2 ) (6.61)
I0 R U1
Rx
Ux U12
I0
I0 R U2
a. b.
Figura 6.44. Montaje ale senzorului de deplasare cu magnetorezistori
Pentru a obţine o dependenţă liniară între variaţia rezistenţei şi

deplasare, se utilizează deci, două magnetorezistenţe identice înseriate,
alimentate la curent constant; acestea reprezintă referinţa fixă şi sunt
poziţionate solidar cu partea mobilă, în vecinătatea unui magnet permanent
190
(figura 6.45.a). În figura 6.45.b sunt reprezentate dependenţele R(s) pentru

cele două magnetorezistenţe, precum şi dependenţa finală R1-R2=f(s) funcţie
de poziţia acestora în câmp. Iniţial cele două magnetorezistenţe sunt
poziţionate simetric în câmp, poziţie definită de cota s=0.
R [kΩ]
300
200
N 100 R1(s)
1 3 -8 0 8
s [mm]
-100 R1-R2
2 -R2(s)
S -200
-300
Δs
a. b.
Figura 6.45. Senzor pentru măsurarea deplasării realizat în montaj diferenţial
La deplasarea Δs a părţii mobile, are loc variaţia rezistenţelor celor

doi senzori:
R1  R0  k ( s 0  s) 2
(6.62)
R2  R0  k ( s 0  s) 2
Diferenţa dintre valorile acestor rezistenţe rezultă dependentă practic

liniar de deplasarea Δs:
R1  R2  4k  s0  s  const  s (6.63)
Dacă sunt alimentate ca în figura 6.44.b atunci este valabilă relaţia:
191
U12  I 0  ( R1  R2 )

 I 0 R0  k ( s 0  s) 2  R0  k ( s 0  s) 2  (6.64)
 I 0 4  k  s 0 s
 const  s
Se obţin asfel liniarizări acceptabile.
Faţă de alte tipuri de senzori rezistivi de deplasare, senzorii
magnetorezistivi au avantajul că măsurarea se realizează fără contact. În
schimb, precizia este mai slabă fiind necesară şi compensarea influenţei
temperaturii.
Magnetorezistenţele sunt de asemeni utilizate la realizarea unor
detectoare de proximitate. După cum senzorul este sau nu plasat într-un
câmp magnetic de inducţie B, el determină prin valoarea rezistenţei sale
starea de blocare (figura 6.46.a) sau de conducţie (figura 6.46.b) a unui
tranzistor.
R(B)
R(B)
a. b.
Figura 6.46. Detectoare de proximitate cu magnetorezistenţe şi tranzistor
6.6.2. Potenţiometrul magnetic
Potenţiometrul magnetic (figura 6.47.a) este format din două

magnetorezistenţe R1 şi R2 înseriate. Un magnet solidarizat pe axul de
rotaţie, realizează ăntr-o zonă dependentă de poziţia sa de rotaţie, o inducţie
dată. Inducţia magnetică determină o creştere importantă a rezistivităţii
părţilor din R1 şi R2 aflate în vecinătatea magnetului permanent. Tensiunea
de alimentare ES este aplicată extremităţilor 1 şi 3, semnalul de ieşire fiind
cules între punctul 2 şi una dintre celelalte extremităţi (ex. 1).
Tensiunea de ieşire este:
192
R R
Vm  1 E  1 E (6.65)
R R S R S
1 2 m
2
magnet α magnetorezistenţe
3
R1 R2
Rezistenţe fixe
Q2
1 3
R1 P2
a.
2
P1
R2
Q1
Rezistenţe fixe
70%
1
50% c.
30%
α
0 90 180 270 360
b.
Figura 6.46.
a. potenţiometrul unghiular magnetc b. dependenţa rezistenţă relativă-unghi de rotaţie
c. circuit de compensare temică
193
6.6.3. Senzori magnetorezistivi din permalloy
O categorie specială o reprezintă senzorii magnetorezistivi din

permalloy (aliaj Ni-Fe) (figura 6.47). Rezistenţa electrică a unui strat subţire
de permalloy depinde de starea sa de magnetizare.
Figura 6.47. Multisenzor magnetorezistiv din permalloy
Modificarea magnetizării de la o stare iniţială corespunzător axei de

anizotropie, prin aplicarea unui câmp exterior Hx în planul stratului de
permalloy, determină variaţia rezistivităţii maxime cu aproximativ 2-3%.
Această variaţie a rezistenţei (ΔRx) unei suprafeţe făcând un unghi ε cu axa
de anizotropie poate fi descrisă de relaţia următoare (s-au neglijat efectele
neuniformităţii câmpului de demagnetizare şi dispersiei anizotropice):
1
Rx  Rm  (hx cos 2  hx 1  hx sin 2  cos 2 )
2 2
(6.66)
2
unde :
hz – valoarea relativă a câmpului magnetic (perpendicular pe axa de
anizotropie) faţă de câmpul anizotropic Hk:

hx=Hx/Hk; – variaţia maximă a rezistenţei electrice: Rm  Rx0 .

Variaţia rezistenţei (ΔRx) este suma componentelor pătratice şi
cvasiliniare. Caracteristica de transfer este aproximativ liniară pentru ε=±45º
şi pătratică pentru ε=0º sau ε=90º. Magnetorezistorul cu ε=45º este
complementar celui cu ε=-45º; conectând doi asemenea magnetorezistori
într-o punte, se poate elimina influenţa temperaturii. Uzual, patru
magnetorezistori formând o punte sunt realizaţi pe acelaşi suport, eliminând
în acest fel necesitatea de a conecta într-un circuit elemente
magnetorezistive separate.
194
Fenomenele care apar la magnetorezistorii cu permalloy sunt foarte

complexe; în cazul general al câmpului de magnetizare cu componentele Hx
şi HB (HB de-a lungul axei de anizotropie), dependenţa ΔRx(Hx) poate fi
descrisă prin relaţia aproximativă:
1
Rx  Rm Hx (6.67)
Hk  HB
Câmpul Hk depinde de câmpul de anizotropie al stratului de

permalloy şi de câmpul de demagnetizare Hd=N·M:
H k  H k0  ( N  M ) 2  2 H k0 NM cos 2
2
(6.68)
unde:
N – factor de demagnetizare al stratului magnetorezistiv: N≈g/l (g, l –
grosimea, respectiv lăţimea traseului);
M – magnetizarea de saturaţie.
În vederea liniarizării caracteristicii de sensibilitate, la
magnetorezistorul din permalloy este necesară polarizarea acestuia cu un
câmp adiţional Hx0. De asemeni, un câmp adiţional de polarizare HB0 poate
fi uneori necesar. Câmpul de polarizare poate fi generat prin diverse metode:
- cu ajutorul unei bobine înfăşurate direct pe magnetorezistor (figura
6.48.a). În acest caz, însă, chiar şi pentru fire foarte subţiri ale
înfăşurării, grosimea magnetorezistorului creşte cu aproximativ 1mm.
- cu un strat suplimentar nemagnetic, pentru a permite circulaţia
curentului care produce câmpul de polarizare (figura 6.48.b). Izolarea
între stratul conductor şi magnetorezistor nu este necesară dacă cele
două materiale au conductivităţi diferite. Însă, valorile ridicate ale
curentului necesar pentru a genera un câmp magnetic suficient de mare
determină o încălzire suplimentară a senzorului. Prezenţa stratului
conductor peste materialul magnetorezistiv reduce sensibilitatea
senzorului, iar nivelele de semnal obţinute pot fi necorespunzătoare.
- cu un strat suplimentar realizat din material magnetic dur. Se poate
utiliza un strat din Fe3O4, CoCretc. Deşi metoda este aparent simplă,
este dificil de realizat o plăcuţă magnetică suficient de rezistentă şi
netedă. În plus, dacă magnetul este la o oarecare distanţă de
195
magnetorezistor, pierderile de câmp devin importante şi magnetul

permanent trebuie să aibă valori ridicate ale câmpului coercitiv. Dacă
magnetul este apropiat de materialul magnetorezistiv, cuplajul este
puternic şi măreşte valoarea coercitivă a stratului de permalloy.
- prin autopolarizare. Câmpul este generat de către curentul electric printr-
o bandă subţire din aur; componenta de-a lungul axei de anizotropie
polarizează stratul magnetorezistiv. Este cea mai utilizată metodă de
polarizare a senzorilor magnetorezistivi din permalloy, deşi prezintă
câteva inconveniente: câmpurile de polarizare generate astfel sunt de
obicei prea slabe (în special în cazul magnetorezistorilor mici) şi nu se
poate realiza alimentarea magnetorezistorului în curent alternativ.
- cu un strat adiţional din material feromagnetic sau antiferomagnetic
(Fe2O3, FeMnetc.), cuplat cu plăcuţa din permalloy (figura 6.48.c). În
cazul stratului antiferomagnetic se obţine cu uşurinţă controlul valorii şi
direcţiei câmpului de polarizare; însă, dependenţa de temperatură a
câmpului coercitiv este relativ pronunţată.
a. b. c.
Figura 6.48. Metode de polarizare la magnetorezistorii din permalloy
Magnetorezistorii din permalloy pot fi fabricaţi utilizând aproape

toate tehnologiile clasice de realizare a straturilor subţiri: evaporare,
pulverizare, fotolitografie, gravare. Pentru a produce anizotropia, depunerea
stratului de permalloy este realizată în prezenţa unui câmp magnetic cu
valoarea cuprinsă în domeniul 3 ÷ 10 kA/m. O calitate mai bună a vidului în
timpul procesului de depunere permite obţinerea unor parametri superiori ai
magnetorezistorilor, deşi în practică este suficient să se menţină gradul de
vid la ≈10-3 Pa. S-a observat, de asemeni, că proprietăţile substratului, cât şi
condiţiile mediului ambiant în timpul fabricării magnetorezistorului sunt
factori determinanţi pentru calitatea acestuia (de exemplu, numărul
defectelor, densitatea maximă de curent etc.).
196
Sensibilitatea magnetorezistorului creşte odată cu scăderea grosimii

stratului; însă, din considerente de omogenitate şi continuitate electrică,
practic nu se recomandă fabricarea plăcuţelor mai subţiri de 20 nm. Uzual,
grosimea stratului este de aproximativ 40-50 nm. Dacă stratul
magnetorezistiv este sub formă de meandră, sensibilitatea creşte la
micşorarea intervalului între trasee. Fotolitografia clasică permite realizarea
unor intervale de câţiva μm, în timp ce prin litografie cu bombardament de
electroni se pot atinge nivele de ordinul zecimilor de μm. Lăţimea optimă a
traseului magnetorezistiv este de câteva zeci de μm.
Conexiunile conductoare externe ale senzorului sunt sudate direct la
plăcuţa din permalloy prin tehnologiile cele mai simple. Uzual, se
depozitează conexiuni adiţionale din aur şi apoi întreaga structură este
acoperită cu un strat de SiO pentru a preveni oxidarea şi coroziunea. Se
recomandă, de asemeni, îmbătrânirea forţată a materialului magnetorezistiv.
Pe lângă deriva de zero, sensibilitatea este influenţată de
temperatură, din cauza variaţiilor Δρ şi Hk0. Pentru permalloy (NiFe)
coeficienţii corespunzători de temperatură sunt: αΔρ=-1.8 %/˚C şi αHk0=-2.2
%/˚C. Coeficientul de temperatură al sensibilităţii poate fi calculat cu
relaţia:
H k0
 s      HK 0 (6.69)
H k0  H B0  M  ( g / l )
Alegerea corespunzătoare a dimensiunilor căilor de curent şi a

materialului permite realizarea unor senzori cu corecţie de temperatură (în
ceea ce priveşte sensibilitatea). Aceasta este mai uşor de obţinut în cazul
straturilor cu valori mari ale lui HK0, adică αs≈ αΔρ- αHk0. S-a utilizat aliajul
NiFeCo cu HK0≈2 kA/m în realizarea de magnetorezistori, obţinând valori
ale coeficientului αs mai mici de 0.1 %/10˚C. Prin conectarea senzorului
într-un circuit cu reacţie magnetică negativă (figura 6.49) se elimină
influenţa temperaturii asupra sensibilităţii şi, în acelaşi timp, se reduce
eroarea de neliniaritate. Câmpul de reacţie poate fi generat de către o bobină
înfăşurată pe magnetorezistor sau cu ajutorul unui strat conductor
suplimentar.
197
Hx
Ue
HF
IF
Figura 6.49. Magnetorezistorul în circuit cu reacţie magnetică negativă
La magnetorezistorii din permalloy domeniul de măsurare a

câmpului magnetic util Hx este limitat superior de către neliniaritatea
caracteristicii ΔRx(Hx) a senzorului şi inferior de către zgomot şi eroarea de
zero. Semnalul de ieşire al senzorului este relativ mic; pentru modul liniar
de funcţionare (hx<0.1) el este sub 0.2% din tensiunea aplicată. Rezoluţia
este limitată, în cazul valorilor mici ale semnalului de ieşire, de zgomotul de
amplificare (în particular de zgomotul proporţional cu 1/f). Rezoluţia poate
fi îmbunătăţită în acest caz prin alimentarea în curent alternativ şi prin
utilizarea unei amplificări selective, împreună cu detecţie de fază. De
asemeni, în cazul magnetorezistorilor funcţionând în câmp stabil (Hx),
deriva de temperatură este factorul principal care afectează rezoluţia.
O altă sursă de erori o reprezintă direcţia câmpului de măsurat.
Senzorul detectează, în principiu, câmpul Hx în planul stratului
magnetorezistiv; în cazul unui unghi γ între direcţia câmpului măsurat şi axa
senzorului, semnalul de ieşire ar trebui să fie proporţional numai cu
componenta Hx·cosγ a câmpului. Acest lucru este echivalent cu condiţia ca
Hx·sinγ (componenta ortogonală) să nu producă semnale adiţionale de
eroare. În practică, însă, există abateri de la această stare ideală şi eroarea
datorată unghiului γ≠0 este dată de relaţia:
hx sin 
 (6.70)
1  hx sin 
Această eroare scade la creşterea câmpului Hk+HB0, simultan cu

creşterea valorii semnalului de ieşire. În cazul extrem γ≈90˚, eroarea
datorată direcţiei câmpului este mai mică de 1%, dacă hx nu depăşeşte
valoarea 0.01(Hk+HB0). Această eroare poate fi redusă semnificativ dacă doi
198
senzori conectaţi diferenţial sunt polarizaţi cu două câmpuri HB0 de direcţii

contrare.
Din punct de vedere constructiv senzorii magnetorezistivi din
permalloy se împart în trei grupe:
• microsenzori. Sunt senzori simpli, cu dimensiuni de ordinul a
câteva sute de μm, realizaţi dintr-un singur strat direcţionat de-a lungul axei
de anizotropie. În figura 6.50.a este prezentat un exemplu de astfel de senzor
(realizat de compania Bogen), utilizat pentru citirea etichetelor de preţ
codate magnetic şi a cărţilor de credit. S-au realizat, de asemeni, structuri
liniare de lăţime mică care includ mai mulţi senzori de acest tip. Structura
unui senzor liniar dublu cu trasee magnetorezistive gravate în meandră este
prezentată în figura 6.50.b.
• senzori miniatură, cu dimensiuni mai mici de 2 mm. În
proiectarea acestor senzori, sensibilitatea pe unitatea de suprafaţă este
maximizată pentru o putere disipată fixată. În figura 6.50.c se prezintă forma
unui senzor multi-traseu în punte, cu patru braţe active.
aur
Hx
strat magnetorezistiv
a. b. c.
Figura 6.50. Tipuri constructive de senzori magnetorezistivi din permalloy
• senzori cu suprafaţă mare. În realizarea şi utilizarea acestor

senzori se presupune câmpul magnetic suficient de uniform şi că nu există
limitări impuse asupra dimensiunilor. În acest caz se urmăreşte obţinerea
unei sensibilităţi cât mai mari. Singurul factor limitator este tensiunea de
alimentare; din acest punct de vedere cea mai bună soluţie o reprezintă
puntea cu patru braţe active. Pentru a creşte sensibilitatea trebuie folosite
straturi magnetorezistive mai groase (valoare mai mare pentru Δρ/ρ), dar în
acest caz creşte şi suprafaţa senzorului. O variantă constructivă deosebită o
reprezintă senzorii magnetorezistivi realizaţi din fibre din permalloy.
199
Aceste fibre, cu diametru de 15-30 μm, sunt fabricate prin tehnica

solidificării rapide; se obţine un material microcristalin cu o rezistivitate de
aproximativ 40 μΩ·cm şi un efect magnetorezistiv de 2%. Semnalul
magnetorezistiv al fibrelor este pătratic şi se poate liniariza prin aplicarea
unui câmp de polarizare longitudinal. Aceşti senzori, având o sensibilitate
foarte bună şi un preţ scăzut, pot fi utilizaţi la realizarea unor magnetometre
pentru câmpuri slabe, la detectarea poziţiei sau la detectarea dinţilor la
angrenaje.
Una din aplicaţiile uzuale ale senzorilor rezistivi din permalloy o
constituie măsurarea câmpurilor magnetice slabe. Cea mai simplă metodă
este amplificarea semnalului de ieşire a senzorului, alimentat în curent
continuu sau în curent alternativ. La măsurarea câmpurilor magnetice
continue, rezoluţia este limitată de către eroarea de zero. Conversia
densităţii de flux într-un semnal alternativ de ieşire al senzorului poate fi
realizată în mai multe moduri: magnetorezistori polarizaţi cu un câmp
alternativ de-a lungul axei de anizotropie, cu un câmp alternativ
perpendicular pe axa de anizotropie sau prin rotirea câmpului de polarizare.
În figura 6.51 se prezintă schema de principiu a unui magnetometru
cu senzori magnetorezistivi din permalloy.
zero ieşire
Hk HF Filtru
S1
U S2
Hx
+ S1
- S3
S3 Senzor
S1
PD
H
B
S3 Filtru
Figura 6.51. Magnetometru cu magnetorezistor din permalloy
200
Schema utilizează un circuit cu reacţie magnetică negativă şi are trei

moduri de lucru: S1 – senzorul este alimentat în c.c.; S2 – se aplică câmpul
alternativ de polarizare; S3 – senzorul este alimentat în c.a. şi este utilizat un
amplificator sensibil la fază. Precizia de măsurare a densităţii de flux este
mai bună de 2%, în domeniile 1, 10, 100, 1000 μT, pentru frecvenţe în gama
0 ÷ 500 Hz.
Performanţele unui astfel de magnetometru pot fi apreciate prin
comparaţie cu alte metode pentru măsurarea parametrilor similari:
magnetometrele “flux-gate” au o sensibilitate mai bună (valoare tipică 10
μV/nT) şi rezoluţie superioară, dar fabricarea lor este foarte complexă, iar
dimensiunile mult mai mari; magnetometrele cu bobină de detecţie
generează semnale de ieşire mai mari, dar acestea depind de frecvenţă şi, în
plus, necesită o bobină de dimensiuni mari; magnetorezistorii din
semiconductor şi senzorii Hall nu necesită un câmp de polarizare, dar
sensibilitatea este mult mai mică.
În concluzie, magnetometrele cu magnetorezistori din permalloy dau
rezultate foarte bune la măsurări ale câmpului magnetic în domeniul 10 ÷
1000 μT, fiind utilizate în diverse aplicaţii (busole electronice, măsurarea
interferenţei câmpurilor magnetice industriale, măsurări de câmp magnetic
care necesită senzori mici sau un domeniu larg de frecvenţă).
Simplitatea realizării, sensibilitatea ridicată, performanţele bune în
frecvenţă, izolarea galvanică intrare – ieşire au condus la utilizarea
senzorilor magnetorezistivi la realizarea unor convertoare pentru măsurări
de mărimi electrice. Senzorii liniari de câmp magnetic pot fi utilizaţi ca
transformatoare de curent continuu sau alternativ (figura 6.52.a), sumatoare
de curent (figura 6.52.b) sau multiplicatoare de curent (figura 6.52.c). În
cazul acestor transformatoare sau senzori de curent se utilizează conversia
unui câmp magnetic generat de către curent.
201
I
Iin1 I Iin
Iin Iin2 Ue
Iin2 Iin1
Ue Ue
Ue
a. b. c. d.
Figura 6.52. Convertoare de mărimi electrice cu senzori magnetorezistivi: a. transformator

de curent, b. sumator de curent, c. multiplicator de curent, d. transformator de curent de
precizie
Magnetorezistorul din permalloy sesizează câmpul în jurul traseului

de curent, putându-se astfel măsura curenţi în gamele 50, 250, 500 mA, la
frecvenţe de 0 ÷ 20 MHz, producând o tensiune de ieşire de aproximativ 35
mV. S-au realizat, de asemeni, amplificatoare integrate de putere în care
magnetorezistorul liniar este utilizat pentru a sesiza câmpul magnetic
generat de un curent de intrare circulând printr-o spirală. Curentul Ix se
determină simplu din relaţia B=2·10-7·Ix/x, prin măsurarea directă a
câmpului magnetic la distanţa x de calea de curent.
O precizie ridicată se obţine dacă curentul măsurat circulă printr-o
bobină specială sau dacă firul este alimentat printr-un miez feromagnetic.
Aceşti senzori sunt integraţi cu circuite TTL şi MOS, generând tensiuni
analogice sau informaţii numerice despre abaterea faţă de un domeniu impus
de curent. În figura 6.48.d este prezentat un transformator de curent de
precizie, utilizând metoda compensaţiei. Curentul este convertit într-un
semnal de ieşire standard (de exemplu, 0 ÷ 5 mA), cu o eroare de conversia
mai mică de 0.5 %.
Ca şi senzorii magnetorezistivi din semiconductoare,
magnetorezistorii din permalloy pot fi utilizaţi la măsurarea unor mărimi
geometrice: deplasare liniară sau unghiulară, proximitate, poziţie absolută.
Măsurarea deplasării poate fi de asemenea utilizată la determinarea vibraţiei,
presiunii, acceleraţieietc.
În figura 6.53.a se prezintă structura de principiu a unui
accelerometru magnetorezistiv, care foloseşte un magnet permanent (M)
ataşat de o membrană, având în acelaşi timp şi rol de masă seismică.
202
D
S S
M
M
a b
. .
Figura 6.53. a. Accelerometru cu senzori magnetorezistivi; b. Utilizarea
magnetorezistorului la măsurarea deplasării unghiulare
Avantajul acestui sistem de măsurare a acceleraţiei este separarea

completă a părţilor mecanice mobile de circuitele electronice asociate.
Un dispozitiv pentru măsurarea vitezei de rotaţie este prezentat în
figura 6.53.b. Acest model simplu, care poate realiza măsurarea unei
deplasări unghiulare, are magnetul permanent montat pe discul D (aflat în
mişcare de rotaţie), iar senzorul (S) pe un cadru fix. Cum senzorul operează
în acest caz ca un detector, cerinţele impuse pentru stabilitatea tensiunii de
alimentare şi erorile de temperatură sunt modeste. Din analiza semnalelor
senzorului rezultă că se pot obţine informaţii utile despre deplasarea
unghiulară chiar pentru distanţe magnet - senzor mai mari de 10 cm.
Printre alte aplicaţii importante ale senzorilor magnetorezistivi din
permalloy, se pot menţiona: testarea nedistructivă a materialelor prin
măsurarea câmpului de dispersie în jurul acestuia, măsurarea fără contact a
supracurenţilor în sistemele de distribuţie a energiei electrice, realizarea
capetelor de citire şi a detectoarelor de bule.
Principalele avantaje ale senzorilor magnetorezistivi din permalloy
sunt: posibilitatea miniaturizării, domeniu larg de frecvenţă, independenţa
sensibilităţii de frecvenţă, tehnologie relativ simplă de realizare, sensibilitate
mai bună decât a senzorilor magnetorezistivi din materiale semiconductoare.
Ca dezavantaje, trebuie menţionate: necesitatea unui câmp de polarizare,
eliminarea dificilă a erorilor de temperatură, nivelul relativ mic al
semnalului de ieşire.
203
204
CAPITOLUL 7
SENZORI CAPACITIVI
Senzorii capacitivi sunt senzori de tip pasiv (parametric) care

convertesc mărimea neelectrică de măsurat (deplasare liniară, deplasare
unghiulară, forţă, presiune, nivel, umiditate etc.) într-o variaţie de capacitate
electrică.
Constructiv, senzorii capacitivi au la bază condensatoare plane sau
cilindrice.
A
ri
εr C
h
d re
Figura 7.1. a. condensator plan b. condensator cilindric
Pentru condensatorul plan (figura 7.1.a), capacitatea electrică este de

forma:
o r  A
C (7.1)
d
unde:
ε0 – permitivitatea vidului (ε0=8.854·10-12F/m);
εr – permitivitatea relativă a mediului dintre electrozi (armături);
A – aria suprafeţei active a electrozilor;
d – distnţa dintre electrozi.
Capitolul 7. Senzori capacitivi
În cazul condensatorului cilindric (figura 7.1.b), expresia capacităţii

este:
2   o  r  h
Cc  (7.2)
r
ln e
ri
unde:
h – înălţimea de suprapunere a electrozilor cilindrici;
ri, re – razele electrozilor interior, respectiv exterior.
Din relaţiile 7.1 şi 7.2 se observă că senzorii capacitivi pot măsura
practic orice mărime neelectrică ce acţionează asupra parametrilor d, A şi εr.
În ambele cazuri, se folosesc uneori senzori capacitivi de tip
condensator plan sau cilindric cu mai multe straturi (figura 7.2), ale căror
capacităţi sunt date de relaţiile:
o A 2 o  h
C C
a1 a2 a3 1 r2 1 r3 1 r4 (7.3)
   ln   ln   ln
r1
r
2
r
3
 r1 r1  r2 r2  r3 r3
a. tip condensator plan b. tip condensator cilindric

Figura 7.2. Senzori capacitivi multistrat
206
7.1. Senzori capacitivi bazaţi pe modificarea distanţei dintre electrozi
Senzorul este constituit dintr-un condensator plan, având un electrod

fix şi unul mobil, care se deplasează sub acţiunea mărimii de măsurat. În
absenţa acesteia, capacitatea condensatorului are expresia dată de relaţia 7.1.
Dacă sub acţiunea mărimii de măsurat armătura mobilă se
deplasează, distanţa dintre electrozi micşorându-se cu Δd (figura 7.3.a),
capacitatea condensatorului devine:
o r  A
C1  (7.4)
d  d
Variaţia capacităţii electrice a senzorului este:
 1 1 d
C  C1  C   r   o  A     r o  A (7.5)
 d  d d  d (d   d )
Variaţia relativă a capacităţii este de forma:

d
C d C
   d (7.6)
C d  d C 1  d
d
Din reprezentarea grafică a variaţiei relative a capacităţii în funcţie
de deplasarea relativă a electrodului mobil (figura 7.3.b) se observă
caracterul neliniar al caracteristicii de conversie pentru acest tip de senzor.
Cu toate acestea, în cazul deplasărilor mici caracteristica senzorului poate fi
considerată liniară.
Sensibilitatea senzorului, pentru cazul Δd<<d, este cu atât mai
ridicată cu cât distanţa d dintre armăturile condensatorului este mai mică:
C A
S   0 r  2 (7.7)
d d
207
ΔC [%]
x C
25
+Q
Δd
20
d 15
10
Q 5 d [%]
5 15 d
10 20
a. schema de principiu b. caracteristica de conversie

Figura 7.3. Senzor capacitiv cu armătură mobilă
Cu senzori capacitivi cu armătură mobilă se pot măsura, aşadar, doar

distanţe foarte mici (de ordinul micrometrilor), distanţa minimă dintre
armături fiind de 10-2mm.
Senzorii capacitivi de acest tip pot fi utilizaţi şi la măsurarea
presiunii fluidelor; în acest caz, armătura mobilă este înlocuită cu o
membrană care se deformează sub acţiunea presiunii de măsurat.
Între armăturile condensatorului plan ia naştere o forţă de atracţie F
care poate fi calculată pe baza ecuaţiei de bilanţ energetic:
 W  Fdx  U  dQ (7.7)
unde:
 W – variaţia energiei câmpului electric;
Fdx – lucrul mecanic efectuat de forţele de atracţie;
U  dQ – energia consumată de sistem de la sursa de tensiune constantă U
( dQ fiind variaţia sarcinii acumulate pe electrozi ca urmare a modificării
distanţei cu valoarea dx).
Ţinând cont de relaţiile:
1 
 o r E 2  A(d  x)  o r  A 2 1
2 V
W   E 2
 dV    U  QU (7.8)
2(d  x)
o r
2 2
 o r  A  o r  A
Q  C U   U  dQ    dx (7.9)
dx (d  x) 2
din ecuaţia de bilanţ rezultă:
208
dQ dW dQ 1 dQ  o r  A  U U 2 C
F U  U  U F    (7.10)
dx dx dx 2 dx 2(d  x) 2 2 dx
Ca şi în cazul senzorilor inductivi, pentru a obţine precizii superioare
de măsurare este necesar ca forţa de atracţie dintre armături să fie cel puţin
cu un ordin de mărime inferioară forţei cu care acţionează mărimea
neelectrică asupra armăturii mobile.
Forţele de atracţie dintre plăcile condensatorului sunt în general
mici, dar efectul lor poate fi total atenuat la senzorul capacitiv diferenţial. El
este constituit din trei armături, cele exterioare fiind fixe, iar armătura
interioară mobilă, deplasabilă sub acţiunea mărimii neelectrice de măsurat
(figura 7.4).
Deplasarea armaturii mobile centrale a condensatorului are ca efect
creşterea unei capacităţi şi micşorarea celeilalte. Senzorul este conectat într-
o punte de curent alternativ formată din capacităţile C1, C2 (variabile) şi C3,
C4 (fixe).
C3
C1
Ui a
b
C2
C4
Ue
Figura 7.4. Senzor capacitiv diferenţial cu armătură mobilă, în punte de c.a.
Notând cu a şi b distanţele dintre armături în starea iniţială, variaţiile

acestora la deplasarea armăturii mobile sunt Δa, respectiv Δb. Puntea,
alimentată cu tensiunea Ui, este conectată la ieşire la un instrument de mare
impedanţă. Tensiunea obţinută la ieşire este de forma:
209
 1 1 
 
Ue  Ui  
C1 C3
 (7.11)
 1 1 1 1 
C C  
 1 2 C3 C4 
unde capacităţile parţiale ale condensatorului diferenţial sunt:
A A
C1   r o  şi C2   r o  (7.12)
a  a b  b
C3 b
Îniţial puntea fiind echilibrată, pentru a  0  U e  0 şi  .
C4 a
Înlocuind aceste valori, pentru cazul a  b se obţine:
a
Ue  Ui (7.13)
2a
adică valoarea semnalului de ieşire este proporţională cu variaţia relativă a
distanţei dintre plăci, adică variază liniar cu valoarea deplasării. Defazajul
tensiunii de ieşire faţă de tensiunea de alimentare este dependent de sensul
deplasării.
Senzorul capacitiv diferenţial cu armătură mobilă este utilizat la
măsurarea deplasărilor mici (5 ÷ 100 μm), dar şi la măsurarea presiunii
fluidelor.
7.2. Senzori capacitivi bazaţi pe modificarea ariei suprafeţei active a

electrozilor
În acest caz, senzorul de tip condensator plan are o armătură fixă şi

una mobilă, care se poate deplasa (sub acţiunea mărimii de măsurat) în plan
paralel cu cel al electrodului fix (figura 7.5). În absenţa mărimii de măsurat,
capacitatea condensatorului este:
 o r  Ao  o r  b  xo
Co   (7.14)
d d
210
La deplasarea armăturii mobile, se modifică aria suprafeţei de

suprapunere (A) a celor doi electrozi, deci valoarea capacităţii electrice a
senzorului devine:
 o r  A  o r  b  x
C  (7.15)
d d
Variaţia relativă a capacităţii senzorului este:
C xo  x  x
  (7.16)
Co xo xo
Se observă dependenţa liniară între variaţia capacităţii senzorului şi

deplasarea armăturii mobile.
d
x
xo
Figura 7.5. Senzor capacitiv plan cu modificarea suprafeţei active a electrozilor
Aceşti senzori sunt puternic afectaţi de modificarea în timpul

funcţionării a distanţei dintre armături. Acest dezavantaj poate fi mult
diminuat în cazul senzorului prezentat în figura 7.6, al cărui capacitate
electrică are expresia:
1 1 
C   o r  x  b     (7.17)
 a1 a 2 
unde d  a1  a2 – distanţa dintre armăturile fixe; b – lăţimea lor.
 o r x  b  2
Considerând: a1  a2  a  C 
a
În cazul modificării distanţei dintre armături (Δa), capacitatea
senzorului se modifică:
211
a1
a2
x
xc
U
Figura 7.6. Reducerea influenţei variaţiei distanţei dintre armături la senzorul capacitiv
plan
 1 1  2a
C    o r x  b       o r x  b  2 
 a  a a  a  a  a 2
2  o r x  b  2 1 (7.18)
  o r x  b     C   C 
a 2 a a 2 a 2
a 1 2 1 2
a a ao
Dacă la senzorul clasic o variaţie relativă a distanţei dintre armături

a
 0,1 conduce la erori de aproximativ 10 %, în cazul variantei din figura
a
7.6 erorile sunt doar de circa 1 %.
Şi în acest caz se poate realiza o variantă diferenţială, la care
armătura mobilă se deplasează în faţa a două armături fixe, modificând
astfel simultan capacităţile a două condensatoare.
Senzorii capacitivi bazaţi pe modificarea suprafeţei active a
electrozilor pot fi utilizaţi la măsurarea deplasărilor liniare chiar de ordinul
centimetrilor. În schimb, sensibilitatea acestor senzori este mai mică decât a
senzorilor cu distanţă variabilă între electrozi.
Există şi variante pentru măsurarea deplasărilor unghiulare, la care
armăturile au forma unor sectoare semicirculare (figura 7.7).
Sub acţiunea mărimii de măsurat, armătura mobilă se roteşte cu
unghiul α-α0, iar capacitatea senzorului devine:
 0 rr 2
C (   0 ) (7.19)
360d
212
α
α0
Figura 7.7. Senzor capacitiv de deplasare unghiulară
7.3. Senzori capacitivi cu strat dielectric deplasabil
7.3.1. Senzori de deplasare liniară
Între armăturile unui condensator plan se introduce un dielectric,

care se poate deplasa sub acţiunea mărimii de măsurat (figura 7.8).
E1, D1 ε1
a2  E, D a1
E1, D1
x
x0
Figura 7.8. Senzor capacitiv plan cu dielectric variabil pentru măsurarea deplasării
În acest caz, sarcina acumulată pe armături este:

x x x
Q  A  D1  o  A D (7.20)
xo xo
La suprafaţa de separaţie aer-dielectric este valabilă ecuaţia:

div E  0   o 1  E1   o  2  E2 (7.21)
Fie U tensiunea aplicată la bornele condensatorului:

E1 (a1  a2 )  a2 E2  U  E  a1 (7.22)
Capacitatea condensatorului este:

213
  
 1 1 
Q  x 2 
C   Co  1    (7.23)
U  xo a1  1   1 

 a2 2 

unde C0 este capacitatea sistemului fără dielectricul de permitivitate ε2.

Rezultă astfel o variaţie liniară a capacităţii în funcţie de valoarea x a
deplasării.
Sensibilitatea senzorului este dată de relaţia:

1 1
 C Co 2 (7.24)
 
 x xo a1  1   1
a2 2
În realizările practice, de obicei  2  1 , iar grosimea dielectricului

deplasabil se alege cât mai mare posibil, astfel încât a1/a2 ≈ 1. În acest caz,
sensibilitatea devine:
 C Co  2
  (7.25)
 x xo 1
Senzorii de tip condensator cilindric pot fi utilizaţi la măsurarea unor
distanţe mai mari (1 ÷ 100 cm). De obicei, electrodul cilindric interior este
acoperit cu un strat subţire electroizolant, având o constantă dielectrică cât
mai mare astfel încât modificarea poziţiei electrozilor să conducă la o
variaţie maximă a capacităţii senzorului (figura 7.9).
2r l l
Figura 7.9. Senzor capacitiv cilindric cu dielectric variabil pentru măsurarea deplasării
214
7.3.2. Senzori pentru măsurarea nivelului
Senzorul capacitiv cilindric poate fi utilizat la măsurarea nivelului

lichidelor în rezervoare. În cazul lichidelor conductoare, electrodul interior
este izolat cu P.V.C., polietilenă sau teflon, asigurând astfel şi protecţia
împotriva coroziunii (figura 7.10.a).
Pentru lichide electroizolante, electrodul interior este neizolat (figura
7.10.b) iar capacitatea senzorului pentru rezervorul umplut parţial cu lichid
poate fi calculată ca sumă a capacităţilor celor două condensatoare formate:
Ch – condensatorul de înălţime h, având ca dielectric lichidul; CH-h –
condensatorul de înălţime H-h, având ca dielectric aerul.
C  Ch  CH h  Co ( r  h  H  h)  Co  H  Co h( r  1) (7.26)
unde: C0 – capacitatea specifică pe cm de înălţime a rezervorului gol.
a. pentru lichide conductoare b. pentru lichide electroizolante

Figura 7.10. Senzor capacitiv cilindric pentru măsurarea nivelului
Din relaţia anterioară se observă că la capacitatea electrică fixă a

electrodului interior faţă de rezervorul gol se adaugă o capacitate liniar
variabilă cu nivelul lichidului în rezervor.
Sistemul poate fi considerat ca fiind alcătuit din două condensatoare
cilindrice conectate în serie. Dacă Ci este capacitatea între electrodul
cilindric şi exteriorul cămaşii sale electroizolante, iar Cr capacitatea dintre
exteriorul cămăşii electroizolante şi rezervorul gol, capacitatea totală a
rezervorului gol este:
215
Ci  Cr
Cg  (7.27)
C i  Cr
Pentru rezervorul plin cu un lichid având permitivitatea relativă εr,

capacitatea devine:
Ci  Cr   r
Cp  (7.28)
C i   r  Cr
Se pot calcula capacităţile specifice pe unitatea de lungime atât

pentru Cg cât şi pentru Cp şi apoi capacitatea totală a rezervorului parţial
umplut cu lichid:
Ctotal  Cth  CtH h  Cgo ( H  h)  C po  h (7.29)
Valorile uzuale ale capacităţilor acestor senzori sunt de ordinul a

10÷100 pF, iar precizia de măsurare este cuprinsă între 1 şi 3 %.
La măsurarea nivelului fluidelor se pot utiliza şi senzori capacitivi de
tip condensator plan. Fie un condensator plan cu electrozi identici de
suprafaţă A, dispuşi la distanţa a şi introduşi într-un lichid electroizolant de
permitivitate εr2 (figura 7.11).
Figura 7.11. Senzor capacitiv plan pentru măsurarea nivelului
Fie h2 – înălţimea porţiunii introduse în lichid şi h1 înălţimea

porţiunii aflate în aer. Sistemul este astfel constituit din două condensatoare
216
cuplate în paralel: C1 – condensatorul având ca dielectric aerul şi C2 –

condensatorul având ca dielectric lichidul. Capacitatea totală este:
bh1 bh
C  C1  C2   o  r1    o  r2  2 (7.30)
a a
Notând h1  h2  h , h2 h   şi  r1  1 , se obţine expresia:
h h   b
C  b o  1   r2  2   o h h2   r2 h2  
a a a  
(7.31)
 bh 
 o  1    r 2  
a  
Dacă Co este capacitatea sistemului fără lichid:
C  Co  Co ( r2   ) (7.32)
Variaţia capacităţii electrice a senzorului cu nivelul fluidului este:

C  C  Co  Co ( r2   ) (7.33)
În valori relative:
C
  r2     ( r2  1) (7.34)
Co
Din reprezentarea grafică (figura 7.12) se observă dependenţa liniară

ΔC/C0=f(λ).
Figura 7.12. Dependenţa capacitate - nivel la senzorul capacitiv plan

217
În plus, se poate constata că variaţia nivelului determină o variaţie a

capacităţii senzorului numai pentru lichide cu  r  1.
Pentru măsurarea nivelului lichidelor conductoare se folosesc senzori
capacitivi plani cu electrozii izolaţi, calculul fiind asemănător celui de la
lichidele electroizolante.
7.3.3. Senzori pentru măsurarea grosimii stratului de ghiaţă
Senzorii capacitivi de tip condensator plan pot fi utilizaţi la

măsurarea grosimii unor corpuri.
În general, senzorii capacitivi sunt folosiţi la măsurarea grosimii
materialelor izolante (hârtie, mase plastice, sticlă). Materialul al cărui
grosime se măsoară, de permitivitate relativă εr, se deplasează între
armăturile condensatorului, modificând permitivitatea mediului dintre
electrozi. Se asigură astfel o măsurare continuă a grosimii materialului într-
un proces tehnologic.
Pe acest principiu se poate măsura şi grosimea unui strat de gheaţă,
avându-se în vedere că raportul constantelor dielectrice gheaţă-apă este de
3:80. În acest caz, între plăcile condensatorului plan se găsesc trei medii
diferite: aer (ε0), gheaţă (εr1) şi apă (εr2), sistemul fiind astfel constituit din
trei condensatoare în paralel (figura 7.13).
Figura 7.13. Senzor capacitiv pentru măsurarea grosimii stratului de gheaţă
Capacitatea totală este dată de relaţia:
218
 o Ao  o  r1 A1  o  r 2 A2
C   (7.35)
a a a
unde A0, A1, A2 – ariile suprafeţelor active ale celor trei condensatoare, adică
grosimile celor trei straturi.
Condensatorul având ca dielectric aerul are capacitatea constantă, iar
suma celorlalte două este variabilă. Considerând A1  A 2  A , valorile
iniţială şi finală ale capacităţii electrice a senzorului sunt:
 o Ao  o  r2  o Ao  o  r1 A1  o  r 2 A2
Ci    A; C f    (7.36)
a a a a a
Variaţia absolută a capacităţii electrice este:
 o  r2  o  r1 A1
C  Ci  C f  ( A  A2 )  (7.37)
a a
Cum  o Ao   o  r2 A , se poate aproxima:
 o  r2 C
 r2 ( A  A 2 )   r1 A1 A1  r2   r 1
Ci  A    (7.38)
a Ci  r2  A A  r2
Variaţia capacităţii senzorului depinde astfel de grosimea stratului de

gheaţă (A1).
7.3.4. Senzori pentru măsurarea micilor variaţii de nivel ale

lichidelor dielectrice
Se consideră între electrozii unui condensator, doi dielectrici ca în

figura 7.14, rezultând astfel capacitatea totală:
o A
C (7.39)
a1 a2

r1
r 2
Dacă  r1 1 şi  r2   r iar a1  a  a2 şi   a2 / a este definit drept

coeficient de umplere, obţinem:
219
Figura 7.14. Senzor capacitiv pentru măsurarea variaţiilor mici de nivel
o A 0 A 1 C0
C     C0  C
a2 a a2 a2  (7.40)
a  a2  1  1  
 r2 a r  a r
de unde
       1
 1  1      C0   1  
 1  r 
C  C0    1  C0      r 
1          (7.41)
  1    1  
  r   r
 r

Variaţia relativă a capacităţii prin modificarea nivelului a2 de lichid
este:
C  r 1
 (7.42)
C0 1 
 r   1  1
 
Efectul valorii permitivităţii asupra variaţiei capacitaţii scade pe
măsură ce εr creşte. La valori mici ale factorului de umplere, practic ΔC/C
este independent de εr. Pentru toate valorile lui εr dependenţa de ΔC/C(λ) în
porţiunea iniţială - pentru valori reduse ale lui λ – este liniară (figura 7.15).
220
Figura 7.15. Dependenţa ΔC/C(λ)
Bazat pe aceste consideraţii se construiesc senzori capacitivi pentru

măsurarea micilor variaţii de nivel ale lichidelor dielectrice (figura 7.16).
Distanţa între armăturile condensatorului de măsură este reglabilă astfel că
între plăci nu este dispusă întreaga înălţime de lichid ci numai un strat
subţire de la suprafaţa liniştită a fluidului. Metoda se aplică la măsurarea
nivelului în rezervoarele aparatelor hidraulice, unde constanta dielectrică a
uleiului este puternic dependentă de temperatură şi de gradul de murdărire.
Figura 7.16. Măsurareavariaţiilor mici ale nivelului în rezervoarele aparatelor hidraulice
221
7.4. Senzori capacitivi de umiditate
7.4.1. Senzori pentru măsurarea umidităţii aerului
Principiul lor de funcţionare se bazează pe utilizarea unei substanţe

higroscopice ca dielectric al unui condensator. Variaţia constantei
dielectrice cu umiditatea aerului modifică capacitatea condensatorului. În
funcţie de natura dielectricului utilizat, senzorii capacitivi de umiditate
(higrometre capacitive) sunt de două tipuri: senzori pe bază de oxid de
aluminiu şi senzori pe bază de polimeri.
7.4.1.1 Higrometre capacitive cu dielectric din oxid de aluminiu

(Al2O3)
La acest tip de senzor (inventat în 1950 de către J.L. Shaw),

dielectricul este constituit din Al2O3, depus anodic pe un suport din Al, care
reprezintă primul electrod (figura 7.17). Al doilea electrod al
condensatorului este realizat prin depunerea unui strat din metal pe cealaltă
faţă a dielectricului. Materialul acestui electrod este poros, fiind permeabil
numai la vaporii de apă. Se utilizează, de obicei, aurul, dar şi alte materiale,
ca: aluminiu, oţel, argint, platină, paladiu, nichel, crom etc.
carcasă de protecţie
Au
Al2O3
Al
Figura 7.17. Senzor capacitiv de umiditate pe bază de Al2O3
Cercetările au arătat că dacă stratul din Al2O3 are o grosime mai

mică de 0.3μm, variaţia impedanţei condensatorului depinde doar de
presiunea parţială a vaporilor de apă, permiţând astfel măsurarea umidităţii
absolute. Depunerea dielectricului higroscopic se realizează prin electroliza
222
unei soluţii apoase de acid sulfuric; aceasta conduce la apariţia oxigenului la

anodul din Al, determinând formarea unei pelicule de Al2O3.
Higrometrele capacitive pe bază de Al2O3 se comportă bine în
special la valori mici de umiditate. În acest scop, se urmăreşte realizarea
unor straturi poroase cât mai subţiri; grosimea acestora se alege, în general,
ca un compromis între stabilitatea elementului (strat gros) şi timpul mic de
răspuns (strat subţire).
Proprietatea cea mai importantă a acestui tip de higrometru este
măsurarea temperaturii de rouă în intervalul -80C  +70C.
7.4.1.2. Higrometre capacitive cu dielectric din polimeri
În acest caz, pe un substrat din sticlă este depus, prin evaporare

termică şi oxidare anodică, un prim electrod din tantal (figura 7.18). În
continuare este fixat stratul de polimer higroscopic (acetat de celuloză,
polistiren, polimide etc.), care absoarbe o cantitate de apă proporţională cu
umiditatea relativă. Al doilea electrod este un strat de crom (cu o structură
poroasă) obţinut prin evaporare sub vid pe stratul de polimer. Unele
higrometre de acest tip utilizează ca electrod poros un strat subţire din aur;
însă, folosirea cromului are avantajul că permite măsurarea umidităţii în
medii poluate.
Electrod superior poros (crom)
Dielectric (polimer)
Electrod inferior (tantal)
Substrat (sticlă)
Figura 7.18. Senzor capacitiv de umiditate pe bază de polimeri
Domeniul de măsurare a umidităţii este 0 ÷ 100%, pentru o gamă de

temperatură de -40ºC ÷ +100ºC. Precizia acestor senzori este de ordinul a 2-
223
3%, iar timpul de răspuns este de 1-2 secunde. Înfluenţa temperaturii asupra
elementului sensibil este aproape nulă, evitându-se astfel necesitatea unei
compensări termice.
7.4.2. Senzori pentru măsurarea umidităţii lichidelor şi solidelor
Există higrometre capacitive destinate măsurării conţinutului de apă

în lichide sau substanţe pulverulente. Funcţionarea lor se bazează pe faptul
că permitivitatea relativă a apei (aproximativ 80) este mult mai mare decât a
altor substanţe. Este indicat, însă, să se evite utilizarea senzorilor în medii ce
pot conţine particule corozive (NaCl, S2 etc.), care atacă Al şi pot astfel
deteriora elementul sensibil.
Constructiv, se realizează condensatoare cilindrice care se umplu
până la un anumit reper cu substanţa de analizat (figura 7.19). Experienţa
demonstrează principiul teoretic conform căruia capacitatea C a
condensatorului variază liniar cu procentul de umiditate a lichidului.
Figura 7.19. Senzor capacitiv pentru măsurarea umidităţii lichidelor
Se realizează, de asemeni, senzori capacitivi de tip condensator plan

pentru măsurarea conţinutului de apă al unor materiale solide (ţesături, fire,
hârtie etc.). Materialul analizat trece continuu printre electrozii
condensatorului sau vine în contact cu ambii electrozi, umiditatea acestuia
modificând permitivitatea dielectricului (figura 7.20). Pe acest principiu s-au
realizat umidimetre pentru cereale, fructe oleaginoase, făină, amidon, malţ,
ciocolată etc.
224
Figura 7.20. Senzor capacitiv pentru măsurarea umidităţii unor materiale solide
7.5. Circuite de măsurare pentru senzorii capacitivi
În cazul senzorilor capacitivi, apar probleme deosebite la prelucrarea

mărimii de ieşire din cauza valorilor foarte mici ale capacităţilor proprii
acestor senzori (până la câteva sute de pF). Conductoarele de conectare la
circuitul de adaptare posedă, pe lângă rezistenţă proprie (RL), o capacitate
(CL) şi o inductivitate proprie. Pentru ca aceşti parametri să nu afecteze
operaţia de măsurare, ar trebui îndeplinite condiţiile:
1 1 1 1
RL  ;  L  ;  (7.43)
C C C  CL
În practică, însă, pentru conductoare de aproximativ 10m lungime
valoarea capacităţii C L este mai mare decât cea a senzorului. Din aceste
motive circuitele de adaptare şi măsurare trebuie amplasate în imediata
apropiere a senzorului capacitiv.
De asemenea, trebuie avute în vedere capacităţile parazite care pot să
apară între armăturile condensatorului şi suprafeţe metalice învecinate (de
exemplu, puncte de legătură la masă). Pentru ca influenţa capacităţilor
parazite să fie cât mai redusă este necesar ca senzorii capacitivi să nu aibă
nici o legătură la masă. Această condiţie este îndeplinită atunci când se
folosesc pentru măsurare punţi cu transformator (punţi Sauty – figura 7.21).
225
R
C1 ΔU (ΔI)
u ~ C2
Figura 7.21. Senzor capacitiv diferenţial conectat în punte Sauty
Dacă se măsoară tensiunea de dezechilibru a punţii, influenţa

capacităţilor parazite şi a variaţiilor acestora este considerată neglijabilă;
tensiunea de ieşire este:
U C1  C2
U   (7.44)
2 C1  C2
Expresia semnalului de ieşire este funcţie liniară de deplasarea

armăturii mobile a condensatorului diferenţial, atât la senzorul cu variaţie de
suprafaţă activă, cât şi la cel cu modificarea distanţei între electrozi.
Măsurarea curentului de dezechilibru permite reducerea influenţei
capacităţilor parazite:
U C1  C2
I   (7.45)
2 1  (C  C )(r  R )
j
1 2
2
unde r – rezistenţa internă a instrumentului de ieşire.

Dacă sunt îndeplinite condiţiile: R(C1+C2)<<1 şi r<<R, valoarea
curentului de măsurat devine independentă de capacităţile parazite ale
circuitului:
U
I  j (C1  C2 ) (7.46)
2
Pentru senzorul cu suprafaţă activă variabilă, curentul este funcţie
liniară de deplasarea armăturii mobile; în cazul senzorului bazat pe
modificarea distanţei între armături, variaţia curent – deplasare este cvasi-
liniară dacă Δd2/d2<<1.
226
În cazul senzorilor capacitivi care funcţionează în regim dinamic

(deplasările de măsurat variază rapid în timp), este preferată utilizarea unui
montaj potenţiometric constituit dintr-o rezistenţă fixă înseriată cu
condensatorul variabil, ansamblul fiind alimentat cu o tensiune continuă.
(figura 7.22).
C
E
R ue
Figura 7.22. Senzor capacitiv în montaj potenţiometric
Considerând cazul în care capacitatea senzorului variază sinusoidal

în jurul unei valori fixe: C  C0 (1  x sin t ) , ecuaţia circuitului este:
1
C
E  R i  idt (7.47)
Derivând în raport cu timpul această expresie, se obţine ecuaţia:

di
RC0 (1  x sin t )  ( RC0 x cos t  1)  EC0 x cos t (7.48)
dt
Soluţia acestei ecuaţii este de forma:
i(t )  I1 sin(t  1 )  I 2 sin(2t  2 )  ...
În ipoteza în care x  1  I 2 , I 3 ,...  I1 şi:
  x  C0  E 1
I1  ; 1  arctg (7.49)
1  R C0 
2 2 2 RC0
în plus, ωRC0>>1, tensiunea de ieşire a circuitului este de forma:

ue  E  x  sin t (7.50)
În cazul unui senzor capacitiv bazat pe modificarea distanţei între

electrozi, amplitudinea deplasării Δd fiind mică faţă de distanţa iniţială d, se
227
poate scrie: d1  d  d max sin t . În final, amplitudinea tensiunii de ieşire

este la orice moment proporţională cu deplasarea armăturii:
d max
ue   E  sin t (7.51)
d
Un alt circuit de măsurare pentru senzorii capacitivi are la bază
utilizarea unui amplificator operaţional (figura 7.23.a).
C2
C1 R2
R1
+
AO
_
u
Ue
a. circuitul electric cu AO b. caracteristica de transfer

Figura 7.23. Circuit de măsurare cu amplificator operaţional
În schema din figură, C1 sau C2 reprezintă senzorul capacitiv;

rezistenţa R1 are rol de protecţie a intrării inversoare a amplificatorului
operaţional, iar R2 asigură polarizarea în curent continuu. Circuitul este
alimentat de la o sursă de tensiune sinusoidală, u de pulsaţie ω. Tensiunea
de ieşire este de forma:
 Z 
U e    2   U (7.52)
 Z1 
unde
1
R2 
jC2 R2 1 1  jC1 R1
Z2   şi Z1  R1   (7.53)
R2 
1 1  jC2 R2 jC1 jC1
jC2
Rezultă noua formă a tensiunii de ieşire:

228
R2
1  jC 2 R2
Ue   U (7.54)
1  jR1C1
jC1
jR2C1
Ue   U (7.55)
(1  jR1C1 )(1  jR2C2 )
Dacă prin proiectarea circuitului sunt îndeplinite condiţiile:

ωR1C1<<1 şi ωR2C2>>1, se obţine:
C1
Ue   U (7.56)
C2
Rezultă o caracteristică de transfer liniară (figura 7.23.b) în funcţie

de deplasare atunci când C1 este un senzor cu suprafaţa activă variabilă şi C2
este un condensator fix sau C1 este fix şi C2 este un senzor cu distanţa dintre
armături variabilă.
În figura 7.24 se prezintă schema unui circuit de măsurare cu
capacităţi comutate. C1 şi C2 pot reprezenta un senzor capacitiv şi un
condensator de referinţă sau un senzor diferenţial. Ele sunt alimentate cu
impulsuri dreptunghiulare cu durata τ şi perioada T, de la generatorul U,
respectiv prin inversorul I. Acelaşi generator comandă şi comutatorul K pe
durata pauzei.
C1 C
+
_
AO
u Uo
I
C2
Figura 7.24. Circuit de măsurare cu capacităţi comutate
229
Dacă C>>C1 şi C>>C2, amplificatorul operaţional joacă rol de

sumator, la ieşire obţinându-se o tensiune U0 a cărei componentă continuă
este:
 U
U   (C2  C1 ) (7.57)
T C
Se mai utilizează, de asemeni, ca circuite de măsurare oscilatoare
electronice (LC sau RC) în care senzorul capacitiv determină frecvenţa
oscilaţiilor.
230
CAPITOLUL 8
SENZORI INDUCTIVI
Senzorii inductivi fac parte din clasa senzorilor pasivi (de tip
parametric). Funcţionarea lor se bazează pe variaţia geometriei circuitului
sau cuplajului magnetic sub acţiunea unei mărimi neelectrice, care poate fi:
deplasare, proximitate, grosime, forţă, presiune, cuplu mecanic.
Fie o înfăşurare cu N spire fixată pe un miez feromagnetic cu
secţiune constantă S Fe şi permeabilitate magnetică μFe (figura 8.1).
Figura 8.1. Schema de principiu a unui circuit magnetic
Inductivitatea proprie a înfăşurării reprezintă raportul dintre fluxul

magnetic pe conturul circuitului bobinei şi curentul care îl produce:
 N2
L  (8.1)
I Rm
Inductivitatea rezultă proporţională cu pătratul numărului de spire şi

invers proporţională cu reluctanţa miezului feromagnetic (Rm), dată de
relaţia:
lFe
Rm  (8.2)
 Fe  S Fe
Capitolul 8. Senzori inductivi
unde l Fe – lungimea totală a unei linii medii de flux.

Ca urmare, expresia inductivităţii devine:
N 2   Fe  S Fe
L (8.3)
lFe
Plecând de la această relaţie, o mărime neelectrică ar putea acţiona în

principiu asupra mărimilor care intervin în relaţia 8.3 ( N ,  , s, l ),
conducând în final la variaţia inductivităţii.
8.1. Senzor inductiv cu armătură mobilă
În principiu, senzorul este constituit dintr-un circuit feromagnetic

prevăzut cu întrefier variabil: o armătură fixă în formă de U pe care este
plasată înfăşurarea cu N spire şi o armătură mobilă, care se deplasează sub
acţiunea mărimii de măsurat (figura 8.2).
În acest caz, reluctanţa magnetică a circuitului este suma
reluctanţelor materialului feromagnetic şi a porţiunii cu aer:
lFe 
Rm  RFe  Ro  Rm   (8.4)
 Fe  S Fe 0  So
unde: δ, S0 – lungimea, respectiv secţiunea întrefierului echivalent; μ0 –
permeabilitatea aerului (μ0=4π·10-7).

2 So
S Fe
N- spire
Figura 8.2. Senzor inductiv cu armătură mobilă
232
În această relaţie:
 Fe   R Fe  o (8.5)
unde μrFe este permeabilitatea magnetică relativă a materialului

feromagnetic (de ordinul 103-104).
Având în vedere aceste ordine de mărime, reluctanţa părţii
feromagnetice (RFe) poate fi neglijată faţă de reluctanţa în aer (R0), caz în
care expresia inductivităţii devine:
N 2 N 2  o  So
L  (8.6)
Ro 
Rezultă astfel o dependenţă neliniară hiperbolică a inductivităţii
proprii de valoarea întrefierului (figura 8.3):
const
L (8.7)

Figura 8.3. Dependenţa inductivitate – întrefier
Plecând de la relaţia 8.7 senzorul inductiv simplu cu armătură mobilă

poate fi utilizat la măsurare deplasării, concretizată în valoarea lui δ.
O deplasare Δx a armăturii conduce la o variaţie Δδ=2·Δx a valorii
înrefierului. Creşterea întrefierului determină micşorarea inductivităţii:
const const 1   
L  L     L  1   (8.8)
    1     

233
Pentru variaţii mici ale lui δ în jurul unei valori iniţiale, variaţia
relativă a inductivităţii este proporţională cu variaţia relativă a întrefierului:
L 
 (8.9)
L 
Deci, pentru o porţiune îngustă a caracteristicii L  f ( ) , această
caracteristică poate fi considerată ca fiind liniară. În practică acest lucru se
consideră valabil într-un interval de (0,1  0,2)  δo .
Figura 8.4. Caracteristica   f (H )
Se pot măsura astfel deplasări mici, de ordinul mm şi fracţiunilor de

mm, prin conversia lor în valori ale inductivităţii. Pentru măsurarea
inductivităţii se folosesc metode în punte de curent alternativ. În acest caz se
pune problema alegerii punctului de funcţionare pe caracteristica miezului
feromagnetic al senzorului, astfel încât erorile de măsurare să fie minime
(figura 8.4). Situaţia ideală ar fi atunci când permeabilitatea magnetică a
miezului (μFe) ar rămâne constantă şi de valoare foarte mare. Dacă puntea
utilizată funcţionează echilibrat, atunci la o eventuală variaţie a tensiunii de
alimentare ar trebui ca  Fe să rămână constantă şi astfel să nu se modifice
inductivitatea măsurată. Deci, este logic ca punctul de funcţionare pe
caracteristica miezului feromagnetic al senzorului să fie ales în vecinătatea
palierului corespunzător permeabilităţii maxime (regiunea a a carateristicii
μ(H)).
Dacă, însă, puntea funcţionează dezechilibrat, la variaţia tensiunii de
alimentare se modifică indicaţia instrumentului de ieşire al punţii. Pentru a
234
compensa acest efect punctul de funcţionare pe caracteristică se alege în

porţiunea b, a câmpurilor intense, unde μ scade cu H.
Un alt fenomen care trebuie avut în vedere este atracţia armăturii
mobile a senzorului de către restul circuitului magnetic. Forţa de atracţie
asupra armaturii mobile este de forma:
o
F  o   N 2  i2 (8.10)
o
Pentru ca efectul acestei forţe să poată fi neglijat este necesar ca
forţa cu care mărimea neelectrică deplasează armatura mobilă să fie cu cel
puţin un ordin de mărime superioară forţei de atracţie electromagnetică.
Sensibilitatea senzorului depinde de poziţia iniţială δ0 a armăturii
mobile; ea este cu atât mai ridicată cu cât δ0 are o valoare mai mică. În plus,
ea nu poate fi considerată constantă decât dacă deplasarea este foarte mică
în raport cu valoarea întrefierului. O soluţie de îmbunătăţire a sensibilităţii şi
liniarităţii o constituie utilizarea unui senzor cu armătură mobilă de tip
diferenţial. Acesta este realizat prin asocierea a două circuite feromagnetice
fixe cu bobine identice, plasate simetric faţă de o armătură mobilă comună,
care delimitează două întrefieruri (figura 8.5). Deplasarea armăturii mobile
sub acţiunea mărimii măsurate conduce la variaţii egale şi de semne contrare
a inductivităţilor proprii L1 şi L2.
Figura 8.5. Circuit de măsurare cu senzor inductiv de tip diferenţial cu armătură mobilă
235
Circuitul de măsurare este o punte de curent alternativ în care cele

două bobine se conectează în braţe alăturate. Curentul prin indicatorul de
nul este dat de relaţia generală:
I  k  (Z 1  Z 2 ) (8.11)
unde:
Z1, Z2 - impedanţele înfăşurărilor pe cele două miezuri feromagnetice;
k  factor constant complex.
În final, curentul rezultă proporţional cu diferenţa valorilor
inductivităţilor celor două bobine:
I  k  Z 1  Z 2  k   ( L1  L2 )  I  cst.( L1  L2 ) (8.12)
În figura 8.6 se prezintă variaţiile celor două inductivităţi (L1, L2),

respectiv a diferenţei L1-L2 în funcţie de valoarea întrefierului δ.
Figura 8.6. Caracteristica unui senzor diferenţial
Se observă că domeniul de liniaritate în jurul lui δ0 este mai extins

decât la senzorul inductiv simplu cu armatura mobilă, ajungând până la
valoarea (0,3  0,4)  δo . Senzorii de acest tip sunt utilizaţi îndeosebi în
construcţia micrometrelor inductive.
8.2. Senzor inductiv cu miez mobil
În interiorul unei bobine de formă cilindrică este plasat un miez

feromagnetic care se deplasează axial sub acţiunea mărimii de măsurat
236
(figura 8.7.a). Deplasarea miezului antrenează o variaţie a inductivităţii L,

care depinde astfel de poziţia acestuia în interiorul bobinei. Dependenţa L(x)
este în general neliniară, maximul corespunzând poziţiei mediane a miezului
feromagnetic (figura 8.7.b). Dependenţa se poate considera liniară doar
pentru un domeniu îngust de valori ale deplasării x.
Ca şi în cazul senzorului cu întrefier variabil, neliniaritatea
caracteristicii poate fi redusă în varianta diferenţială, prin asocierea a două
bobine identice care au un miez mobil comun. La deplasarea miezului
feromagnetic se modifică în sensuri contrare inductivităţile celor două
bobine. În scopul de a reduce inductivitatea de cuplaj mutual între bobine,
aceste sunt separate printr-un inel magnetic.
a. schema de principiu b. caracteristica L(x)

Figura 8.7. Senzor inductiv cu miez mobil
Pe acelaşi principiu, se poate realiza şi un senzor de deplasare

unghiulară; miezul este un disc format din două sectoare metalice de
permeabilităţi diferite, care se roteşte în spaţiul dintre două bobine.
Uzual, senzorii de acest tip se conectează în punţi de curent
alternativ, cu bobinele plasate în braţe alăturate. Se pot măsura astfel
deplasări de ordinul centimetrilor, cu o bună rezoluţie şi reproductibilitate
ridicată.
La realizarea circuitelor de măsurare pentru senzorii inductivi,
trebuie avut în vedere faptul că un bobinaj real nu reprezintă practic o
inductanţă pură şi trebuie cunoscute elementele care pot influenţa rezultatele
măsurării. Astfel, senzorii sunt caracterizaţi de o capacitate proprie parazită
de ordinul sutelor de pF, datorată în principal influenţei electrostatice între
spirele bobinei (Cp). La aceasta se adaugă capacitatea parazită a cablului de
237
legătură a senzorului la circuitul de măsurare (Cl), care pentru lungimi mari

poate deveni destul de importantă.
O sursă de pierderi o reprezintă şi rezistenţa conductorului bobinei;
la frecvenţe joase ea are expresia:
lb
Rb    (8.13)
  r2
unde lb, r – lungimea, respectiv raza firului bobinei; ρ – rezistivitatea
materialului.
La frecvenţe ridicate apare efectul pelicular care limitează
adâncimea de pătrundere:

a (8.14)
 r 0 f
unde f este frecvenţa curentului.

Pe lângă aceste elemente parazite, trebuie să se ţină seama şi de
pierderile specifice materialelor magnetice:
1. pierderi prin curenţi Foucault în miez, care corespund unei rezistenţe
echivalente:
RF  k F  m Lf 2 (8.15)
unde
ρm – rezistivitatea miezului;
kf – coeficient care depinde de construcţia miezului (tole, material masiv,
etc.) şi de permeabilitatea sa;
L – inductivitatea bobinei.
2. pierderi prin histerezis (care determină apariţia în circuit a unor
armonici), având rezistenţa echivalentă:
RH  k H Bmax Lf (8.16)
unde
Bmax – inducţia maximă în miez;
kH – factor dependent de material.
3. pierderi prin relaxare magnetică, cu rezistenţa echivalentă:
238
RR  k R Lf (8.17)
Rezistenţa electrică echivalentă a pierderilor este:

Rt  RF  RH  RR  k  L   (8.18)
fiind proporţională cu reactanţa inductivă, factorul de proporţionalitate k

având valori de ordinul 10-2.
Schema electrică echivalentă senzorului inductiv, care trebuie avută
în vedere la proiectarea circuitelor de măsurare, este prezentată în figura 8.8.
R  Rb  Rt
(8.19)
C  C p  Cl
R L
C
Figura 8.8. Schema electrică echivalentă a senzorului inductiv
În figura 8.9 se prezintă schema unui sistem de măsurare a deplasării

folosind senzori inductivi de tip diferenţial (figura 8.9.a).
Z(x R
)
ΔU A DS FTJ
R Uref
Z(-x)
U
O Def
a. b.
Figura 8.9. Sistem de măsurare a deplasării cu senzor inductiv diferenţial
Senzorul este conectat într-o punte figura 8.9.b, alimentată de la

oscilatorul O. Tensiunea de dezechilibru ΔU, amplificată de amplificatorul
239
A, este aplicată detectorului sincron DS, care primeşte şi semnalul de

referinţă Uref de la oscilator, prin intermediul unui circuit defazor Def.
Pentru obţinerea unei sensibilităţi maxime, cele două semnale trebuie să fie
în fază. Filtrul trece-jos FTJ extrage din semnalul de la ieşirea detectorului
sincron componenta de joasă frecvenţă care conţine informaţia de măsurare.
8.3. Senzor inductiv de tip transformator
În principiu, senzorii inductivi prezentaţi anterior pot fi realizaţi în

configuraţie de tip transformator, prin adăugarea unei înfăşurări primare
(figura 8.10). Primarul transformatorului, având N1 spire, este alimentat cu
tensiunea U1. Presupunând frecvenţa şi curentul prin înfăşurarea primară
constante, tensiunea obţinută la bornele înfăşurării secundare depinde
hiperbolic de valoarea întrefierului δ.
Senzorii inductivi de tip transformator se remarcă printr-o serie de
avantaje:
1. izolare galvanică între circuitul de alimentare (primar) şi circuitul de
ieşire (secundar), care permite obţinerea unor rejecţii puternice a
tensiunilor de mod comun;
2. simplificarea circuitului de măsurare, mărimea de ieşire a senzorului
fiind o tensiune electrică;
3. posibilitatea de a funcţiona în medii ostile (temperaturi ridicate sau
joase, presiuni înalte, radioactivitate, mediu coroziv).
Figura 8.10. Senzor inductiv cu armătură mobilă tip transformator
240
Ca şi la senzorii de inductivitate proprie, pentru îmbunătăţirea

liniarităţii se realizează transformatorul diferenţial (figura 8.11).
Figura 8.11. Senzor inductiv tip transformator diferenţial
Circuitul primar este constituit din două înfăşurări conectate

adiţional, alimentate de la aceeaşi sursă de tensiune alternativă. Cele două
înfăşurări secundare sunt conectate în opoziţie şi sunt plasate simetric faţă
de circuitul primar.
Mărimea de măsurat produce o deplasare a armăturii feromagnetice
comune, modificând astfel cuplajul între primar şi fiecare din înfăşurările
secundare. Aceasta conduce la o modificare a tensiunilor E2a şi E2b de la
bornele înfăşurărilor secundare secundare şi, deci, a tensiunii de ieşire U2:
dI1
U 2  E2 a  E2b  ( M '12  M ''12 )  (8.20)
dt
unde M'12, M''12 – inductivităţile mutuale între primar şi cele două înfăşurări
secundare:
M '12  M (0)  a  x  b  x 2  ...

(8.21)
M ''12  M (0)  a  x  b  x 2  ...
Ca urmare, tensiunea obţinută la ieşire variază liniar pentru deplasări

mici de o parte şi de alta a poziţiei mediane (x=0):
U 2  const   (8.22)
241
Teoretic, tensiunea de ieşire se anulează atunci când armătura este în

poziţie mediană (δ0), întrefierul fiind acelaşi faţă de cele două secundare.
Practic, însă, se constată că de obicei tensiunea U2 trece printr-un minim,
fără a se anula, pe de o parte datorită armonicilor produse de către
neliniaritatea curbei de magnetizare a armăturii, iar pe de altă parte datorită
cuplajului capacitiv între primar şi secundar.
La frecvenţe de excitaţie joase, sensibilitatea senzorului depinde de
frecvenţa tensiunii primarului; de asemeni, ea poate fi afectată de influenţa
temperaturii asupra rezistenţei proprii înfăşurărilor primare. În cazul
frecvenţelor ridicate, sensibilitatea este independentă de frecvenţa de
alimentare, iar influenţa temperaturii este sensibil diminuată. În acelaşi timp,
sensibilitatea este proporţională cu amplitudinea tensiunii de alimentare,
însă din cauza încălzirii primarului aceasta este limitată la o valoarea impusă
de constructor.
Senzorii inductivi de tip transformator permit măsurarea deplasărilor
liniare mici în domeniul 0 ÷ 20 mm, cu sensibilitate ridicată.
Există şi senzori inductivi tip transformator pentru măsurarea
deplasărilor unghiulare (figura 8.12). Miezul feromagnetic este prevăzut cu
un întrefier în care se realizează o inducţie magnetică cu uniformitate axială.
În întrefier se află înfăşurarea secundară cu N2 spire, rotită de către mărimea
de măsurat. Pentru unghiuri de rotaţie de ±20º, tensiunea de ieşire rezultă
proporţională cu deplasarea unghiulară.
U2
N2
N1
U1
Figura 8.12. Senzor inductiv tip transformator pentru deplasări unghiulare
242
8.4. Senzor inductiv cu bobină mobilă
Senzorul de acest tip are la bază dependenţa inductivităţii mutuale

dintre două înfăşurări, în funcţie de poziţia uneia faţă de alta. El nu este
prevăzut cu miezuri feromagnetice; o bobina fixă are formă cilindrică şi este
compusă din două secţiuni identice (1, 1') alimentate în antifază de la
aceeaşi sursă de tensiune alternativă (figura 8.13). Bobina mobilă 2 se poate
deplasa axial în spaţiul dintre secţiunile înfăşurării fixe. Pentru poziţia
perfect simetrică faţă de secţiunile 1 şi 1', tensiunea indusă în înfăşurarea 2
este nulă. Deplasarea la stânga sau la dreapta a înfăşurării mobile determină
variaţia tensiunii la bornele sale, valoarea acesteia în modul fiind însă
independentă de sensul de deplasare.
1 1'
Figura 8.13. Senzor inductiv cu bobină mobilă
Domeniul distanţelor măsurate este de ordinul centimetrilor. Se

lucrează la frecvenţe ridicate (kHz) întrucât sistemul nu posedă miezuri
feromagnetice, fluxurile magnetice închizându-se numai prin aer.
Dezavantajul principal îl reprezintă sensibilitatea crescută la acţiunea
câmpurilor exterioare, care pot induce semnale parazite în înfăşurarea
mobilă, de unde necesitatea ecranării ansamblului.
8.5. Inductosinul
Inductosinul este un senzor inductiv analogic pentru măsurarea

deplasărilor liniare (inductosin liniar) şi unghiulare (inductosin circular).
Realizarea constructivă a celor două variante este asemănătoare.
Inductosinul liniar este format din două elemente principale (figura 8.14):
243
1. un element fix, denumit riglă (R), realizat dintr-un material izolator

(sticlă sau ceramică specială), cu suprafaţa perfect plană, pe care este
depusă prin tehnologii specifice cablajelor imprimate o înfăşurare
conductoare în formă de zig-zag, cu pasul polar s. Lungimea
conductoarelor active ale înfăşurării (lc) este de aproximativ 40 mm în
cazul inductosinelor late, respectiv până la 20mm în cazul variantelor
înguste.
2. un element mobil, denumit cursor (C), solidarizat cu obiectul al cărui
deplasare se măsoară. Pe cursor sunt depuse două înfăşurări decalate
spaţial cu 90˚; depunerile se realizează cu strat de Cu , având o grosime
de până la circa 70 μm.
lc 
s Rigla
Cursor
a. schema de principiu b. construcţie

Figura 8.14. Inductosin liniar
În funcţionare, rigla şi cursorul se găsesc faţă în faţă la o distanţă

numită întrefier de 0.1 – 0.3 mm. Mişcarea cursorului faţă de riglă este
întotdeauna plan-paralelă, distanţa dintre planele riglei şi cursorului
rămânând aceeaşi.
În cazul inductosinului circular, cele două elemente constructive de
bază (denumite stator, respectiv rotor) au forma unor discuri dispuse faţă în
faţă, pe care sunt realizate înfăşurările radiale.
De obicei, înfăşurările cursorului se alimentează în mod
corespunzător cu tensiune alternativă şi se măsoară tensiunea indusă în
înfăşurarea riglei, care depinde întotdeauna de poziţia relativă a cursorului
faţă de riglă.
244
La baza funcţionării inductosinului, ca senzor de deplasare, stă

dependenţa factorului de cuplaj dintre înfăşurarea riglei şi cursor, de
valoarea x a deplasării.
În figura 8.15 se dă schema electrică echivalentă a inductosinului
liniar.
Cuplajul dintre înfăşurările riglei şi cursorului se realizează numai
prin aer; solenaţiile inductoare sunt mici şi neexistând miezuri
feromagnetice care să amplifice cuplajul dintre înfăşurări trebuie găsită o
frecvenţă de lucru care, pe de o parte să realizeze un nivel optim de semnal
util în înfăşurarea riglei, iar pe de altă parte să reducă cuplajele parazite. S-a
ales astfel frecvenţa de lucru de 10 kHz. La frecvenţe mai mici, tensiunea
indusă în înfăşurarea riglei este insuficient de mare şi sensibilitatea
senzorului este limitată; la frecvenţe mai mari (pănâ la 100 kHz) încep să
conteze cuplajele capacitive dintre înfăşurări, care afectează precizia
măsurării. La f  10 kHz inductivităţile proprii ale înfăşurărilor (L1, L2, L3)
nu depăşesc valoarea de 1 μH, iar rezistenţile proprii au valori de 1 – 5 Ω.
ut1() ut2()
R1 R2
L1 L2
L3
R3
u(t)
Figura 8.15. Schema electrică echivalentă a inductosinului
În principiu, există două regimuri de funcţionare ale inductosinului,

care se utilizează în funcţie de natura aplicaţiei urmărite.
a. Regimul modulaţiei de fază
Cele două elemente componente ale inductosinului se află faţă în

faţă, iar x este poziţia relativă a cursorului faţă de riglă. Factorul de cuplaj m
245
variază armonic cu deplasarea cursor - riglă. Înfăşurările cursorului se

alimentează cu tensiuni alternative de aceeaşi amplitudine, însă defazate
electric cu 90˚:
u1 (t )  U sin t; u2 (t )  U cos t (8.23)
Tensiunea electromotoare indusă în înfăşurarea riglei, ca sumă a

tensiunilor induse de fiecare înfăşurare a cursorului separat, este dată de
relaţia:
1 x 1 x
u3 (t )    U  sin  t  cos 2   U  cos  t  sin 2 
 kt s kt s
1  x
 u3 (t )   U  sin  t  2  (8.24)
kt  s
unde kt este raportul echivalent de transfer al inductosinului:

Din relaţia 8.8 se poate observa că faza tensiunii de ieşire depinde de
poziţia relativă riglă – cursor. Reprezintând diferenţa de fază în funcţie de
distanţă se observă variaţia liniară fază-deplasare, această dependenţă stând
la baza funcţionării inductosinului în regimul modulaţiei de fază (figura
8.16).
= 2 x
s
2
x
0 s 2s 3s
Fig. 8.16. Dependenţa fază-deplasare în regimul modulaţiei de fază
Determinarea fazei tensiunii de ieşire în raport cu cea de intrare se

realizează cu circuite specifice de măsurare a fazei, care pot atinge erori
tolerate chiar mai mici de 0.1 %.
246
b. Regimul modulaţiei de amplitudine
Fie x poziţia relativă cursor – riglă la un moment dat şi x0 poziţia de

realizat. Cele două înfăşurări ale cursorului se alimentează cu tensiuni
alternative în fază, însă amplitudinile lor sînt modulate în funcţie de distanţa
de realizat:
x0 x
u1 (t )  U sin t sin 2 ; u2 (t )  U sin t cos 2 0 (8.25)
s s
T.e.m. rezultantă în înfăşurarea riglei este de forma:
1 x x
u3 (t )   U  sin  t  cos 2 o  sin 2 
kt s s
1 x x
  U  sin  t  sin 2 o  cos 2  (8.26)
kt s s
1 2
 u3 (t )   U  sin  t  sin ( x  xo )
kt s
În aceste condiţii, tensiunea la bornele riglei este modulată în

amplitudine cu o mărime ce depinde de poziţia relativă faţă de x0. În
momentul în care x=x0, adică cursorul în urma comenzii primite se
deplasează până când se realizează poziţia dorită, tensiunea electromotoare
rezultantă în înfăşurarea riglei se anulează, acesta fiind criteriul de detectare
a poziţiei urmărite.
În practică, regimul modulaţiei de amplitudine este folosit atunci
când se urmăreşte realizarea unei poziţii ca răspuns la o comandă (controlul
maşinilor - unelte, comanda poziţionării unor dispozitive: capete de citire
pentru memorii cu disc magnetic, sisteme de navigaţie, antene, telescoape,
etc.). Dacă, însă, se urmăreşte măsurarea unei distanţe este preferat regimul
modulaţiei de fază. Rezoluţiile la măsurarea deplasărilor liniare ajung până
la 0.1 μm, iar în cazul deplasărilor unghiulare până la 0.1sec. Un factor de
limitare a rezoluţiei îl reprezintă jocurile mecanice inerente în funcţionarea
inductosinului.
247
În figura 8.17 este prezentată schema de principiu a unui sistem

destinat măsurării deplasării, folosind un inductosin în regimul modulaţiei
de fază.
Inductosin
A R
GF F C A C1
EI A
C2
BC Num Memorie
DS Memorie
Afişor
tampon
Figura 8.17. Sistem pentru măsurarea deplasărilor cu inductosin
Înfăşurările cursorului sunt alimentate de la generatorul de frecvenţă

stabilizat cu cuarţ (GF) prin intermediul unui filtru (F) care separă
componenta de 10kHz şi a două amplificatoare de intrare (A). Un etaj
integrator (EI) realizează defazajul electric de 90˚ dintre tensiunile aplicate
celor două înfăşurări. Tensiunea obţinută la bornele înfăşurării riglei (după
amplificare), împreună cu una din tensiunile aplicate cursorului sunt
utilizate pentru a determina diferenţa de fază. Un convertor C1 generează un
impuls dreptunghiular a cărui lăţime este strict proporţională cu diferenţa de
fază dintre cele două semnale. În continuare, acest impuls este convertit într-
o succesiune de impulsuri prin intermediul etajului C2; acesta este, de fapt,
o poartă electronică deschisă pe durata lăţimii impulsului dreptunghiular
generat de C1, permiţând trecerea în acest interval de timp a impulsurilor de
frecvenţă ridicată de la generatorul GF. Un bloc de comandă (BC) va
controla în continuare operaţia de măsurare a diferenţei de fază, cu ajutorul
248
numărătorului de cicli Num. Se poate determina şi sensul deplasării,

folosind etajul (DS).
8.6. Microsinul
Microsinul este o micromaşină electrică constituită dintr-un stator cu

patru poli şi un rotor, realizate din materiale feromagnetice. Pe fiecare pol al
statorului sunt dispuse două înfăşurări, care reprezintă primarul, respectiv
secundarul (figura 8.18). Rotorul, nebobinat, este supus mişcării de rotaţie
care reprezintă mărimea de măsurat.

es
ue
Figura 8.18. Construcţia de principiu a microsinului
Înfăşurările primare sunt înseriate şi ansamblul este alimentat cu o

tensiune sinusoidală având valoarea maximă de câteva zeci de volţi şi
frecvenţa în general mai mică de 10kHz. Fluxul magnetic Φi=Φicosωt
induce în fiecare înfăşurare secundară o tensiune electromotoare de forma:
d i
ei     i sin t (8.27)
dt
Înfăşurările secundare sunt conectate în serie astfel încât e1 şi e3 să
fie în opoziţie cu e2 şi e4. Ca urmare, tensiunea de ieşire are expresia:
ue  e1  e3  e2  e4  ue   (1  3   2   4 ) sin t (8.28)
Poziţia unghiulară a rotorului stabileşte reluctanţa circuitelor

magnetice şi, deci, fluxurile maxime în înfăşurări. Dacă rotorul este într-o
poziţie simetrică în raport cu cele două perechi de poli, fluxurile în
249
înfăşurări sunt egale (Φi=Φ0) şi tensiunea de ieşire este nulă. Aceasta

reprezintă poziţia de zero a senzorului.
Când rotorul se deplasează faţă de această poziţie, apare o variaţie de
reluctanţă şi, deci, de flux magnetic în înfăşurări:
i  0   i (8.29)
Aceste variaţii sunt egale în înfăşurările secundare 1 şi 3, respectiv 2

şi 4:
1   3  ;  2   4   ' (8.30)
Tensiunea de ieşire devine:

ue  2 (   ' ) sin t (8.31)
De o parte şi de alta a poziţiei de zero, variaţiile ΔΦ şi ΔΦ' sunt de

semna contrare. În cazul unor rotaţii Δα mici, se poate scrie:
  a  b( ) 2 ;  '  a  b( ) 2 (8.32)
Montajul de tip diferenţial asigură o compensare a neliniarităţii

variaţiilor fluxului:
ue  4a    sin t (8.33)
Amplitudinea tensiunii secundare rezultă proporţională cu deplasarea

unghiulară Δα într-un domeniu limitat în jurul poziţiei de zero.
Se iau toate măsurile constructive astfel încât tensiunea reziduală
corespunzătoare poziţiei de zero (cauzată de armonici, capacităţi parazite,
asimetrie) să fie puternic redusă. Rezultă astfel posibilitatea de a măsura
deplasări unghiulare foarte mici în vecinătatea poziţiei de zero (de ordinul
minutelor).
8.7. Potenţiometrul inductiv
Potenţiometrul inductiv este utilizat ca senzor pentru măsurarea

deplasărilor unghiulare. El este constituit dintr-un stator şi un rotor din
materiale feromagnetice (figura 8.19); pe fiecare din cele două elemente este
prevăzută câte o înfăşurare ce poate fi asimilată cu o bobină plană.
250
Stator
(secundar)
Rotor
(primar)
Figura 8.19. Construcţia de principiu a potenţiometrului inductiv
Rotorul, fixat la axul al cărui rotaţie se măsoară, reprezintă primarul,

înfăşurarea lui fiind alimentată cu o tensiune sinusoidală E1cosωt. Se
creează un câmp magnetic de inducţie proporţională cu curentul primar
I1cos(ωt+ψ) şi perpendiculară pe planul înfăşurării primare. Înfăşurarea
statorică (secundarul) este traversată de fluxul primar şi devine sediul unei
tensiuni electromotoare de amplitudine E2=M(θ)ωI1, θ fiind unghiul dintre
normalele la planele bobinelor, iar M - factorul de cuplaj între înfăşurări. Cu
o bună aproximare, se poate scrie:
M ( )  M 0 cos   E2  M 0I1 cos  (8.34)
Valoarea amplitudinii E2 se anulează pentru θ=π/2; de o parte şi de

alta a acestei poziţii, considerată ca origine a rotaţiilor, se poate scrie:
E2  M 0I1 sin  , (8.35)
unde      / 2 sau E2  M 0I1 , pentru unghiuri α foarte mici.

Printr-o dispunere convenabilă a celor două înfăşurări se poate lucra
în zona liniară până la unghiul de rotaţie maxim αM=π/2. În general,
potenţiometrul inductiv permite măsurarea deplasărilor unghiulare în
domeniul 120 ÷ 180º.
8.8. Sincrodetectorul
Sincrodetectorul este un ansamblu de două maşini electrice identice:

un transmiţător şi un receptor (figura 8.20).
251
Transmitator Receptor
1 1
St 1 Sr1
t br t
Stator i1 i1
i2 i3 i2 i3
St 2 St 3 Sr2 Sr3
2 bt 3 2 bt 3
b
t r
Rotor bt
E cos t er
Fig. 8.20. Construcţia de principiu a sincrodetectorului
Fiecare este constituită dintr-un rotor monofazat şi un stator trifazat,

ale cărui înfăşurări au axele orientate la 120˚ şi sunt montate în Y.
Înfăşurările statorice ale transmiţătorului şi receptorului sunt conectate două
câte două.
Rotorul transmiţătorului este alimentat cu o tensiune sinusoidală
E·cosωt; aceasta generează un câmp magnetic de inducţie b al cărui flux
induce în înfăşurările statorice St1, St2 şi St3 tensiunile electromotoare et1, et2,
et3:
et1    k  E  cos  t  cos(t   )
2
et 2    k  E  cos( t  )  cos(t   ) (8.36)
3
2
et 2    k  E  cos( t  )  cos(t   )
3
unde: θt - unghiul dintre axele înfăşurării rotorice şi înfăşurării statorice St1;
k, Ψ – parametri care depind de caracteristicile geometrice şi electrice ale
înfăşurărilor.
Curenţii i1, i2, i3 induşi în înfăşurările St1, St2, St3 creează o inducţie
magnetică bt de sens contrar inducţiei rotorului (legea lui Lenz). Aceşti
252
curenţi parcurg înfăşurările statorice ale receptorului (Sr1, Sr2, Sr3) în sens
contrar faţă de transmiţător şi creează în receptor o inducţie br, de sens
contrar lui bt, deci de acelaşi sens cu b. Unghiul dintre axele înfăşurării
rotorice a receptorului şi înfăşurării statorice Sr1 fiind θr, fluxul indus în
rotor este proporţional cu cos(θt-θr) şi tensiunea electromotoare la bornele
sale are amplitudinea:
Er  k '  E  cos(t   r ) (8.37)
unde k' – parametru dependent de realizarea constructivă a maşinii şi de

pulsaţia ω.
Dacă θr=π/2  Er  k '  E  sin t şi, în acest caz, pentru θt apropiat
de zero  Er  k '  E  t . În acelaşi timp, tensiunea reziduală pentru θt=0
poate constitui o limitare a preciziei dispozitivului.
Sincrodetectorul este utilizat în aplicaţii de realizare a unor poziţii
unghiulare; el generează o tensiune a cărei amplitudine (Er) este funcţie de
diferenţa dintre poziţia unui ax comandat (conectat la rotorul
transmiţătorului) şi o poziţie de referinţă (fixată de către rotorul
receptorului).
8.9. Rezolverul
Acest dispozitiv este constituit din două înfăşurări rotorice şi două

înfăşurări statorice, dispuse la unghiuri de 90˚ (figura 8.21).
Stator 2
Stator 1 Rotor 2
Rotor 1
Figura 8.21. Construcţia de principiu a rezolverului
253
Sunt mai multe moduri posibile de funcţionare ale rezolverului. Într-

o primă variantă, una din înfăşurările rotorice este alimentată cu o tensiune
sinusoidală E·cosωt, a doua fiind în scurt-circuit. Înfăşurările statorice (S1,
S2) devin sediul tensiunilor electromotoare e1, e2, având pulsaţia ω şi
amplitudinile:
Es1    k  E  cos  ; Es 2    k  E  sin  (8.38)
unde: θ – unghiul axelor inductorului şi statorului 1; k – constantă

caracteristică a dispozitivului.
Dacă una din înfăşurările statorice este alimentată cu tensiunea
Ecosωt, a doua fiind în scurt-circuit, cele două înfăşurări rotorice devin
sediul tensiunilor electromotoare er1, er2, cu amplitudinile:
Er1    k '  E  cos  ; Er 2    k '  E  sin  (8.39)
unde:
θ – unghiul axelor inductorului şi rotorului 1;
k' – constantă caracteristică a dispozitivului.
Într-un alt mod de funcţionare cele două înfăşurări statorice sunt
alimentate cu tensiuni în fază şi de amplitudini diferite:
es1  E1 cos t; es 2  E2 cos t (8.40)
Notând tgθ=E2/E1, se poate scrie:

es1  E cos 0  cos t; es 2  E sin 0  cos t (8.41)
Înfăşurările statorice generează, în acest caz, o inducţie care variază

sinusoidal cu pulsaţia ω şi a cărei direcţie face un unghi constant θ0 cu axa
statorului S1; această inducţie creează în înfăşurarea rotorică R1 o tensiune
electromotoare cu amplitudinea:
Er    k  E  cos( r  0 ) (8.42)
unde
θr – unghiul dintre axa rotorului R1 şi axa statorului S1;
k – constantă caracteristică a aparatului.
254
Valoarea amplitudinii este maximă dacă θr=θ0 şi se anulează pentru

θr=θ0±π/2.
De asemeni, înfăşurările statorice pot fi alimentate cu două tensiuni
în cuadratură:
es1  E cos t; es 2  E sin t (8.43)
Rezultă o inducţie de amplitudine constantă, făcând un unghi

θ(t)=ωt cu axa statorului 1; această inducţie generează în înfăşurarea
rotorică R1 o tensiune electromotoare er al cărei defazaj variază cu θr,
unghiul dintre axele rotorului şi statorului S1:
er    k  E  sin(t   r ) (8.44)
O variantă deosebită (figura 8.22) o constituie asocierea a două

rezolvere, unul ca transmiţător şi celălalt ca receptor (în montaj de
sincrodetector).
Transmitator Receptor
Stator St 2 Stator Sr 2
St 1 Sr 1
t r
Rotor bt
E cost er
Figura 8.22. Asocierea a două rezolvere
255
Una din înfăşurările rotorice ale transmiţătorului, a cărei axă face un

unghi θt cu cea a statorului, este alimentată cu tensiunea E·cosωt.
În fiecare din înfăşurările statorice ale transmiţătorului se induc
tensiuni electromotoare:
Et1    k  E  cost  cos(t  ); Et2    k  E  sin t  cos(t  ) (8.45)
unde k şi Ψ depind de caracteristicile geometrice şi electrice ale

dispozitivului.
Înfăşurările statorice ale transmiţătorului sunt conectate la
înfăşurările statorice ale receptorului; rezultă, astfel, în înfăşurarea rotorică a
receptorului o tensiune electromotoare a cărei amplitudine este de forma:
Er  k '  E  cos(t   r ) (8.46)
unde θr – unghiul dintre axele rotorului şi statorului la receptor.

În cazul în care θr=π/2  Er  k '  E  sin t , iar pentru θr apropiat de
zero  Er  k '  E  t
Astfel de montaje îşi găsesc aplicaţii în instalaţii de comandă şi
control la care este importantă cunoaşterea funcţiilor trigonometrice ale unui
unghi, mai mult decât valoarea în sine a unghiului.
8.10. Senzori inductivi de tip magnetoelastic
Substanţele feromagnetice supuse acţiunii unui camp magnetic

suferă o serie de modificări de natură geometrică (variaţia dimensiunilor) şi
de natură mecanică (variaţia modulului de elasticitate). Fenomenul este
reversibil, astfel încât sub acţiunea unor tensiuni mecanice se modifică
curba de magnetizare şi implicit a permeabilităţii magnetice sau a inducţiei
remanente. Aceste fenomene reprezintă proprietatea de magnetostricţiune,
caracterizând interacţiunea dintre momentele magnetice elementare şi
reaţeaua cristalină.
Senzorii inductivi de tip magnetoelastic au la bază efectul de
magnetostricţiune, folosind variaţia permeabilităţii magnetice a unui
material feromagnetic supus la un efort mecanic. Din acest punct de vedere
materialele feromagnetice se împart în două categorii:
256
- cu magnetostricţiune pozitivă, la care permeabilitatea creşte sub

acţiunea efortului de întindere şi materialul se dilată când este
magnetizat;
- cu magnetostricţiune negativă, la care permeabilitatea scade sub
acţiunea efortului de întindere şi materialul se contractă prin
magnetizare.
Pentru exemplificare, în figura 8.23 se prezintă caracteristicile de
magnetizare B(H) pentru două materiale diferite (permalloy –1 şi nichel pur
–2), în două situaţii: în absenţa efortului mecanic, σ = 0 (linie continuă) şi
sub acţiunea efortului de întindere, σ = 20 N/mm2 (linie întreruptă).
10000
5000
H
0 100 200 300 400
Figura 8.23. Modificarea curbei B(H) sub acţiunea efortului mecanic la permalloy şi Ni pur
Se poate observa că permalloy–ul are magnetostricţiune pozitivă, iar

nichelul magnetostricţiune negativă.
Variaţia permeabilităţii μ sub acţiunea unui efort mecanic se poate
traduce în variaţia inductivităţii unei bobine sau a cuplajului dintre două
înfăşurări.
8.10.1. Senzor cu variaţie de inductivitate
Senzorul este constituit dintr-o bobină al cărei miez este deformat

sub acţiunea efortului de măsurat (figura 8.24). Variaţia Δμ a permeabilităţii
257
miezului feromagnetic şi, deci, a reluctanţei sale Rm determină o variaţie ΔL

a inductivităţii bobinei:
 R L
   k  (8.47)
 R L
F miez
L 
Figura 8.24. Senzor magnetostrictiv cu variaţie de inductivitate
Circuitul magnetic nu trebuie să aibă întrefier, care ar reduce

sensibilitatea senzorului, putând chiar să mascheze efectul de variaţie a
reluctanţei.
Sensibilitatea senzorului depinde evident de materialul miezului şi
nu poate fi cunoscută cu precizie decât prin etalonare. Ordinul de mărime al
coeficientului k este 2·10-9 m2/N (pentru aliaje fier – nichel). În plus,
sensibilitatea este influenţată de diverşi parametri care acţionează asupra
permeabilităţii: temperatura (agitaţia termică reduce permeabilitatea cu
aproximativ 0.1 %/˚C), frecvenţa şi amplitudinea curentului de excitaţie
(permeabilitatea scade la creşterea frecvenţei). Efectele diverselor mărimi de
influenţă pot fi reduse prin utilizarea a două bobine, din care una este supusă
la acţiunea mărimii de măsurat, iar cealaltă serveşte ca referinţă.
Ordinul de mărime al eforturilor maxime măsurabile este 20·106
N/m2 în cazul Ni pur, respectiv 80·106 N/m2 pentru permalloy 68. Erorile
tolerate ale acestor senzori sunt reduse, de ordinul a 2-5 %, permiţând astfel
preluarea unor sarcini mari.
258
8.10.2. Senzor cu variaţie de cuplaj
Senzorul cuprinde un bloc din tole feromagnetice, în care sunt

practicate patru orificii dispuse în vârfurile unui pătrat; în aceste orificii se
realizează două bobinaje care cinstituie primarul, respectiv secundarul unui
transformator (figura 8.25.a). Aceste înfăşurări sunt dispuse la unghiuri 45˚
faţă de axa primară a senzorului, după care se aplică forţa F.
primar B B
secundar
(Vm)
F
F=0 F=0
a. construcţia de principiu b. modificarea liniilor de câmp sub acţiunea forţei
Figura 8.25. Senzor magnetostrictiv cu variaţie de cuplaj
În absenţa unui efort mecanic, materialul magnetic este izotrop;

rezultă că dacă înfăşurarea primară este alimentată, în înfăşurarea secundară
nu se induce nici o tensiune. Dacă se aplică o forţă de-a lungul axei primare
a senzorului, rezultă o scădere a permeabilităţii pe direcţia forţei de
comprimare şi o creştere pe direcţie transversală. Se modifică astfel
structura liniilor de câmp (figura 8.25.b); o parte din acestea se închid şi prin
înfăşurarea secundară, producând la bornele ei o tensiune cu amplitudinea
proporţională cu forţa de măsurat. relaţia de fază între tensiunile din primar
şi secundar permite determinarea sensului forţei aplicate.
Sensibilitatea acestui senzor poate atinge valori de ordinul 100
mV/V la sarcini de 50·106 N/m2.
259
260
CAPITOLUL 9
SENZORI PENTRU ANALIZA GAZELOR
9.1. Introducere
Senzorii destinaţi măsurării concentraţiei unui compus chimic într-un

amestec gazos se află în prezent în plină dezvoltare, având importanţă atât în
privinţa economiei de energie, cât şi a reducerii poluării atmosferice.
Evoluţia senzorilor de compoziţie gazoasă are la bază studierea unor
materiale noi, îmbunătăţirea performanţelor acestora, cât şi experimentarea
unor tehnologii de realizare moderne.
Trebuie să se facă distincţia între senzorii de gaz, care furnizează o
măsură a concentraţiei gazului şi detectoarele de amestecuri gazoase toxice
sau explozive, care nu furnizează decât informaţii asupra prezenţei anumitor
compuşi în amestec sau a prezenţei gazului în atmosferă. Cu toate acestea,
pentru simplitate, vom folosi în continuare termenul de “senzor” pentru
ambele situaţii.
Frontiera între senzorii şi analizoarele de gaze este destul de vagă.
Însă, în comparaţie cu procedeele clasice, bazate pe tehnici ale chimiei
analitice (spectrometrie de masă, cromatografie etc.), senzorii de compoziţie
gazoasă au o serie de proprietăţi avantajoase, cum ar fi:
- posibilitatea de utilizare în mod continuu (sau cvasi-continuu),
fie direct în amestecul gazos de controlat, fie într-un mediu
adiacent al cărui rol este doar de a modifica anumiţi parametri
fizici (temperatură, presiune, viteză de circulaţie, eliminare de
impurităţi etc.)
- absenţa utilizării reactivilor chimici
- dimensiuni mici, robusteţe
- compatibilitate microelectronică
- răspuns rapid şi selectiv
Capitolul 9. Senzori pentru analiza gazelor
Senzorii de compoziţie gazoasă utilizaţi în prezent se pot clasifica

astfel:
- senzori electrochimici cu electrolit solid, de tip potenţiometric
sau amperometric
- senzori electrici (bazaţi pe variaţia impedanţei electrice)
- senzori cu fibră optică
- senzori cu cuarţ piezoelectric
- senzori tip FET
- senzori catarometrici
- senzori catalitici
9.2. Senzori electrochimici cu electrolit solid
Deşi primele utilizări ale electroliţilor solizi ca elemente de măsurare

datează de la începutul secolului XX, dezvoltarea unor senzori de acest tip şi
producerea lor industrială a avut loc spre sfârşitul anilor ’60.
Elementele potenţiometrice sunt utilizate atât pentru măsurarea
presiunii parţiale de oxigen, cât şi la determinarea unor mărimi
termodinamice şi pentru măsurarea activităţii oxigenului dizolvat. Însă, în
ceea ce priveşte detectarea gazelor, senzorul de oxigen este singurul de acest
tip care a fost dezvoltat până acum. Dezvoltarea unor senzori pentru alte
gaze (Cl2, SO2, SO3, CO2, NO2, Sx, H2 etc.) face în prezent obiectul unor
cercetări sau se află chiar la stadiul de testare.
De asemenea, s-au dezvoltat la sfârşitul anilor ’80 senzori de oxigen
de tip amperometric, bazaţi pe electroliţi solizi.
9.2.1. Senzori potenţiometrici
9.2.1.1. Principiul de măsurare
Senzorii de gaz pe bază de electrolit solid pot fi în general

reprezentaţi sub forma unei aşa-numite celule de concentraţie, ca în figura
9.1. Elementele componente sunt:
ES – electrolitul solid, un material fizic impermeabil la gaze şi conductor
ionic, conţinând ioni Xn-;
262
C – conductoare presupuse inerte din punct de vedere chimic şi de aceeaşi

natură; contactele lor cu electrolitul solid formează cei doi electrozi;
X2 – gazul analizat, care poate fi sub formă pură, diluat într-un fluid sau în
echilibru cu un sistem chimic gazos, lichid sau solid;
p, pref – presiunile parţiale ale gazului analizat, de o parte şi de alta a
electrolitului.
Electrod de Electrod de
referinţă măsurare
X2(pref) ES X2(p)
C E C
Figura 9.1. Senzor potenţiometric cu electrolit solid – schema de principiu
Fiecare electrod este sediul unei reacţii de tipul:


1/ 2 X 2  n  e  X n (9.1)
În condiţii ideale de funcţionare, celula este caracterizată printr-o

diferenţă de potenţial (E) între conductoarele C, care respectă legea lui
Nernst:
R T p
E  ln (9.2)
2nF pref
unde:
R – constanta gazelor perfecte (R=8.32 Jmol-1K-1);
F – constanta lui Faraday (F=96500 C);
n – numărul de electroni schimbaţi în reacţia (1);
T – temperatura absolută a celulei.
Înlocuind constantele în relaţia (9.2) se obţine:
T p
E  0,9926 104   log (9.3)
n pref
263
Cunoscând temperatura T şi presiunea parţială la electrodul de

referinţă pref, se poate determina presiunea parţială de oxigen p, măsurând
diferenţa de potenţial E, care este de regulă de ordinul zeci–sute de mV.
9.2.1.2. Elemente constructive
a. Electrolitul solid
Alegerea electrolitului solid presupune verificarea unor criterii,

uneori contradictorii. Teoretic, conductivitatea totală a electrolitului nu
reprezintă un factor de limitare. În acelaşi timp, însă, ea trebuie să fie
suficient de ridicată pentru ca impedanţa celulei să rămână neglijabilă în
raport cu impedanţa de intrare a aparatelor de măsură sau a circuitelor de
prelucrare ulterioară a semnalului; de aceea, se limitează rezistenţa
electrolitului la maxim 1 MΩ. Această rezistenţă depinde de natura şi de
compoziţia electrolitului. Ea poate fi micşorată prin creşterea temperaturii
sau reducerea grosimii electrolitului (realizarea de senzori în straturi subţiri).
O altă caracteristică importantă este valoarea conductivităţii
electronice a materialului, care nu este niciodată nulă. Legea lui Nernst nu
poate fi aplicată decât dacă contribuţia electronilor la conducţia
electrolitului, exprimată de obicei prin numărul lor, este neglijabilă.
De asemenea, ES trebuie să satisfacă şi o serie de criterii
neelectrochimice:
- stabilitate fizico-chimică (stabilitate termică, absenţa
transformărilor stării solide)
- stabilitate mecanică
- coeficient de dilatare compatibil cu cel al elementelor
componente ale celulei
- inerţie chimică faţă de diferite gaze şi materiale cu care se află în
contact
Principalii electroliţi solizi utilizaţi sunt: zirconiu stabilizat (ZrO2-
Y2O3, 9 moli % sau ZrO2-CaO, 15 moli %), conductor protonic (HUO2PO4-
4H2O sau HUP), conductoare pentru ionii alcalini, cum ar fi sulfaţii (K2SO4,
Na2SO4, Li2SO4) etc.
264
b. Electrodul de referinţă
Sistemul de referinţă, care are rolul de a stabili potenţialul chimic al

substanţelor oxidate şi reduse, poate fi un gaz (pur, diluat într-un gaz inert
sau obţinut prin descompunerea unui solid), un amestec gazos sau un
amestec de solide. Câteva exemple de sisteme de referinţă sunt:
- un amestec gazos de compoziţie cunoscută (O2, aer, H2/H2O,
CO/CO2 etc.);
- un gaz obţinut prin descompunerea unui compus solid, de
exemplu: MgSO4(solid)=MgO(solid)+SO3;
- un sistem metal-compus metalic (Cu/Cu2O, Ni/NiO, Pd/PdO,
Ag/AgCl); electrod Ag/Ag+.
Sistemul de referinţă este ales astfel încât să menţină echilibrul
termodinamic în condiţiile de funcţionare; el trebuie să fie foarte puţin
sensibil la eventualele perturbaţii. Din acest punct de vedere sistemele
Fe/FeO sau Cu/Cu2O, de exemplu, prezintă performanţe net superioare faţă
de sistemul Ni/NiO.
În cazul senzorilor de oxigen, utilizarea aerului ca referinţă prezintă
câteva avantaje importante. Oxigenul se comportă ca un gaz ideal la
temperatură ridicată şi compoziţia aerului este independentă de temperatura
celulei de măsurare (menţinând o circulaţie uşoară a aerului). Însă,
necesitatea unui contact cu aerul ambiant face dificilă o măsurare in situ. O
soluţie în acest sens constă în utilizarea unui sistem de referinţă metal-oxid
metalic adecvat; se realizează astfel senzori cu referinţă internă.
c. Electrodul de măsurare
Conductorul care constituie electrodul de măsurare trebuie să aibă o

bună conductivitate electronică. El trebuie să fie inert din punct de vedere
chimic faţă de electrolit şi faţă de gazul analizat. În plus, materialul trebuie
să fie ales în funcţie de proprietăţile catalitice faţă de reacţia electrodului
(1). Această proprietate este esenţială pentru a obţine o bună sensibilitate şi
un timp de răspuns satisfăcător.
În general, electrodul de măsură este din platină sau din argint. El se
realizează prin depunerea unui lac, prin evaporare sub vid sau prin
265
pulverizare catodică. Pentru realizarea senzorilor potenţiometrici de oxigen

funcţionând la temperaturi mai mici de 200ºC, s-au testat materiale ca
ftalocianin de fier sau cobalt.
9.2.1.3. Caracteristicile senzorilor
a. Caracteristici metrologice
Senzorii potenţiometrici de compoziţie gazoasă cu electrolit solid

sunt senzori activi. În general, răspunsul senzorului este specific unui
anumit gaz analizat, mai ales în cazul funcţionării la temperatură ridicată.
Senzorul generează direct o tensiune de ordinul sutelor de mV, care se poate
măsura precis (±0.1 mV) astfel încât senzorul poate fi folosit direct în
structura unui sistem de reglare automată.
Conform relaţiei fundamentale a senzorului (9.2), diferenţa de
potenţial de la ieşire variază cu logaritmul presiunii gazului analizat. Dacă
presiunea de referinţă este cunoscută cu precizie, nu este necesară o
etalonare. Însă, o incertitudine asupra măsurării diferenţei de potenţial
debitate conduce la o eroare relativă asupra presiunii de măsurat,
independentă de valoarea acestei presiuni.
Timpul de răspuns (tr) al acestui senzor depinde de proprietăţile
catalitice ale materialului (electrozi, electrolit), de compoziţia gazului, de
temperatură şi uneori de geometria celulei de măsurare. În cazul senzorilor
de oxigen, tr este de câteva secunde dacă presiunea de oxigen a gazului este
mai mare de 1 Pa sau pentru amestecuri CO2/CO şi H2O/H2. Dacă presiunea
oxigenului este sub 0.1 Pa, tr este de ordinul minutelor. În vid, tr al
senzorului este evident mai mic decât cel obţinut dacă aceeaşi presiune
parţială de O2 este fixată prin diluare într-un gaz inert.
Tensiunea de ieşire a senzorului variază liniar cu temperatura; ca
urmare, ea trebuie să fie foarte stabilă şi măsurată cu precizie (±1ºC).
b. Caracteristici tehnologice
Impedanţa senzorului la temperaturi normale de lucru fiind în

general ridicată, se impune ca măsurarea să se realizeze cu un aparat
(milivoltmetru) cu impedanţă de intrare mare (1010-1012 Ω).
266
Electroliţii solizi utilizaţi de obicei nu prezintă o conductivitate

importantă decât la temperaturi mari; de aceea, temperatura de funcţionare
pentru majoritatea senzorilor de acest tip este mai mare de 500ºC. Întrucât la
aceste temperaturi apar reacţii de oxidare, nu se va putea doza (măsura)
oxigenul în prezenţa gazelor reducătoare.
Senzorul de oxigen poate fi utilizat la reglarea motoarelor cu
explozie, deşi gazele de eşapament nu sunt în echilibru. În aceste condiţii,
există o relaţie mai complexă între diferenţa de potenţial de la ieşirea
senzorului şi compoziţia gazelor de eşapament, permiţând realizarea unei
reglări convenabile a motorului.
Acelaşi senzor de oxigen poate fi utilizat pentru analiza oxigenului
diluat într-un gaz inert sau dintr-o incintă vidată (10-2 Pa<p(O2)<105 Pa), cât
şi pentru analiza de amestecuri gazoase CO2/CO sau H2O/H2 (10-22
Pa<p(O2)<10-6 Pa). De asemenea, un senzor cu halogen poate măsura
conţinutul unui amestec H2/HX.
În cazul echilibrelor gazoase CO2/CO sau H2O/H2 măsurarea
presiunii parţiale p(O2) nu depinde de o eventuală diluare a amestecului
analizat într-un gaz inert. Plecând de la această proprietate, se pot analiza
amestecuri H2O/H2.
c. Analiza surselor de erori
 Erori datorate impreciziei măsurării unor parametri experimentali

O imprecizie de 0.1mV la măsurarea tensiunii debitate de senzor
corespunde unei erori de ordinul a 0.5 % pentru presiunea parţială de
oxigen.
Înfluenţa impreciziei de măsurare a temperaturii senzorului este mai
mare: o imprecizie de 1ºC corespunde unei erori de 1.5 – 3 %, în funcţie de
tipul senzorului.
Eroarea relativă datorată impreciziei lui pref este egală cu eroarea
relativă asupra acestui parametru. Dacă se utilizează ca referinţă aerul sau
oxigenul pur, compoziţia gazului de referinţă este cunoscută cu precizie şi
este practic independentă de temperatură (Δpref/pref<0.1 %). În cazul
utilizării unui sistem metal-oxid metalic, datele de catalog sunt în general
267
destul de imprecise (eroarea relativă este adesea mai mare de 10%) şi este
necesară o etalonare a celulei pentru a realiza o măsurare precisă.
 Erori datorate conductivităţii electronice a electrolitului
Existenţa unei conducţii electronice la electroliţii solizi are
următoarele efecte:
- efectul de scurt-circuit: scăderea tensiunii debitate de senzor cu
factorul (1-te), te fiind numărul mediu de transport electronic al
electrolitului. Acest efect este în general neglijabil la senzorii de
compoziţie gazoasă, însă el poate deveni important în cazul
măsurării la temperaturi foarte mari (analiza oxigenului în
metale lichide)
- efectul de permeabilitate: existenţa unui flux din gazul analizat
care traversează electrolitul (flux de semipermeabilitate
electrochimică). Aceasta poate determina o modificare a
presiunii gazului analizat
- efectul de perturbare a echilibrului la electrozi, între electrolit şi
faza gazoasă din mediul înconjurător.
Fluxul de semipermeabilitate electrochimică poate modifica
presiunea de măsurat cu cca. 0.1 Pa, de la 900ºC. Sursa de erori cea mai
importantă este, însă, perturbarea echilibrului la electrozi care poate să apară
de la aproximativ 800ºC. Trebuie să se ţină seama de acest efect în special
când se analizează oxigen pur, la presiune joasă.
Pe lângă efectul fluxului de semipermeabilitate, există şi alte surse
de erori care intervin asupra echilibrului dintre gaz şi electrodul de
măsurare, cum ar fi: utilizarea unui milivoltmetru cu o impedanţă de intrare
insuficient de mare, determinând trecerea unui curent prin celulă şi prezenţa
impurităţilor pe electrod.
 Erori datorate neuniformităţii temperaturii celulei de măsurare
Spre exemplu, pentru o diferenţă de temperatură de 1ºC între
electrozi şi pentru o presiune parţială de oxigen măsurată de 102 Pa, eroarea
asupra măsurării este de 3.5 %. Pentru a evita această eroare se poate
determina temperatura T la nivelul electrodului de măsurare.
268
 Tensiunea reziduală
Dacă acelaşi gaz se află în contact cu cei 2 electrozi ai celulei de
măsurare, adesea se constată că tensiunea de ieşire nu este nulă, ci de
ordinul a 1 mV. Pentru o măsurare precisă, se recomandă eliminarea din
tensiunea măsurată a acestei valori reziduale.
9.2.1.4. Tipuri constructive
Principalele tipuri de senzori potenţiometrici de compoziţie gazoasă

sunt prezentate în tabelul următor (tabel 9.1). Dintre aceştia, senzorii de
oxigen cunosc în prezent o dezvoltare industrială, alte tipuri de senzori fiind
în faza de cercetare sau testare.
Tabel 9.1 Tipuri de senzori potenţiometrici cu electrolit solid

Gaz Celula de măsurare T [ºC]
Referinţă/Electrolit solid/Electrod de măsurare, X2(p)
O2 Referinţă/ZrO2-Y2O3/Pt(sau Ag), O2 <500
H2O-H2 Referinţa: aer, H2O-H2, CO2-CO, NiO-Ni, PdO-Pd, CoO-Co
CO2-CO
Cl2 Ag/SrCl2-KCl-AgCl/RuO2, Pt, Cl2 100, 450
SO2 Ag/Ag2SO4-Na2SO4(sau K2SO4)/Pt, SO2+SO3+O2 700
SO3 aer, Pt/ZrO2-CaO/K2SO4/Pt, SO3+O2, aer 800
H2 Pd/PdHx/H.U.P./Pt,H2 20
Sx Ag/β-Al2O3(Ag+)/Ag2S, [S] 90, 800
CO2 Ag/K2CO3-Ag2SO4/Pt,CO2 700, 800
NO2 Ag/Ba(NO3)2, AgCl/Pt,NO2 500
Na Pt/α+β-Al2O3/β-Al2O3(Na+)/[Na] 200, 360
I2 Ag/KAg4I5/Pt, I2 50
Forma şi dimensiunile celulelor utilizate depind foarte mult de tipul

de electrolit disponibil. Senzorul de oxigen cel mai utilizat este constituit
dintr-un strat de zirconiu stabilizat (ZrO2-Y2O3, 9 mol% sau ZrO2-CaO, 15
mol%). În figura 9.2.a este prezentată structura de principiu a unui senzor de
oxigen având ca referinţă aerul. Acesta este în contact cu electrodul exterior,
obţinut prin depunerea unui lac de platină. Gazul analizat este adus în
vecinătatea electrodului de măsurare (interior) cu ajutorul unui tub capilar
din Al. Temperatura electrodului de măsurare este determinată cu ajutorul
269
unui termocuplu Pt-10%Rh/Pt, la aproximativ 1C. Tensiunea de ieşire a

senzorului este măsurată prin intermediul firelor din platină (al
termocuplului şi cel conectat la electrodul de referinţă). Elementele metalice
permit conectarea senzorului la un sistem de măsurare, iar etanşeitatea este
asigurată prin garnituri elastomere inerte sau prin sigilare cu răşini.
Ieşire gaz Intrare gaz

Intrare gaz
Termocuplu Pt Pt
Tub din Zr
Cuptor
Tub din Al
Pt
Aer
Pt Aer
a. Senzor clasic b. Senzor cu vârf de zirconiu

Figura 9.2. Senzori de oxigen cu referinţă aer
Pentru utilizarea la temperaturi foarte ridicate (peste 1200C) sau

pentru măsurări în vid s-a înlocuit electrodul de măsurare din platină cu un
vârf din zirconiu, de aceeaşi compoziţie ca şi electrolitul (figura 9.2.b). În
acest caz, suprafaţa interioară a stratului de electrolit nu este acoperită cu
platină, vârful de zirconiu fiind efectiv în contact cu stratul electrolit. Cu un
astfel de element se pot realiza măsurări satisfăcătoare până la 1600C.
Un alt tip de senzor potenţiometric este prezentat în figura 9.3.
Celula de măsurare conţine un compartiment de referinţă etanş. Presiunea de
referinţă este fixată prin intermediul unui amestec metal – oxid metalic
(PdO-Pd sau CoO-Co).
270
Pt
Zirconiu Electrod de
stabilizat referinţă
Termocuplu
Figura 9.3. Senzori de oxigen cu referinţă internă
Acest tip de senzor are mai multe avantaje:

- posibilitate de miniaturizare (lungime: 6-10 mm, diametru: 1-2
mm)
- foarte bună rezistenţă la şocuri termice; senzorul poate fi
încălzit de la temperaturi normale la temperatura de
funcţionare în câteva secunde.
- încălzirea celulei cu ajutorul unui cuptor de consum redus
- bună rezistenţă la presiuni mari (până la 400 bar)
- posibilitatea efectuării unor măsurări in situ
În figura 9.4 este prezentat senzorul de oxigen cel mai frecvent
utilizat pentru controlul motoarelor cu ardere internă (denumit senzor
lambda). Ca referinţă se utilizează aerul. Senzorul este adus la temperatura
de funcţionare de către gazele de eşapament. Electrodul de măsurare este
protejat prin intermediul unei depuneri de oxid şi printr-o carcasă metalică.
Timpul de răspuns al senzorului este mai mic de 200 ms, iar durata sa de
viaţă foarte mare.
Gaze de ardere
Ecran de protecţie
Aer
V Tub de Zr
Electrozi
Figura 9.4. Senzor lambda pentru măsurarea oxigenului în gazele de ardere

271
Realizarea altor senzori potenţiometrici de compoziţie gazoasă are la

bază utilizarea unor noi tehnologii, întrucât electroliţii solizi sunt în general
disponibili numai sub formă de pulbere sau capsule. Ca exemplu, în figura
9.5 se prezintă structura de principiu a unui senzor de clor. Sistemul de
referinţă AgCl-Ag este un clei etanş, plastic, realizând “sigilarea” unei
plachete de Ag pe electrolit.
SrCl2-KCl AgCl Ag Aluminiu
RuO2 Ag
Termocuplu
Figura 9.5. Senzor de clor cu electrolit solid
Senzorii cu electrolit solid acoperă o gamă largă de măsurări.

Datorită timpului de răspuns rapid (de ordinul secundelor) şi domeniului
larg al temperaturilor de lucru (100-1800ºC, în funcţie de materialul
electrolitului solid), senzorii potenţiometrici sunt potriviţi pentru măsurările
in situ. Principalele domenii în care aceşti senzori îşi găsesc aplicaţii sunt:
- controlul combustiei în instalaţii industriale, realizând o
economie de energie cuprinsă între 2 şi 30 %;
- controlul atmosferei în procesele de tratament termic în
metalurgie;
- controlul atmosferei necesare la conservarea şi creşterea
fructelor şi legumelor;
- controlul amestecului aer – carburant la motoare. Conţinutul în
monoxid de carbon la gazele de eşapament este puternic
diminuat şi variaţiile raportului aer/combustibil sunt reduse de la
aproximativ 5 % (pentru un sistem fără reglare) la 1 %;
- analiza oxigenului în mediul înconjurător pentru sistemele de
interes biologic şi medical;
- controlul atmosferelor de laborator.
272
9.2.2. Senzori amperometrici
9.2.2.1. Principiul de măsurare
Senzorii amperometrici cu electrolit solid (figura 9.6) sunt utilizaţi

pentru măsurarea concentraţiei de oxigen într-un gaz. Principiul de detecţie
are la bază reducerea electrochimică a oxigenului.
ES
U=constant
Figura 9.6. Senzor amperometric cu electrolit solid – schema de principiu
În cazul analizei oxigenului dintr-un gaz, reacţia de reducere poate fi

reprezentată schematic astfel:
1/ 2O2  2e  O2 (9.4)
Ţinând cont că există o barieră de difuzie care limitează aportul de

oxigen către catodul celulei de măsurare, curba de polarizare va prezenta un
palier sau un curent limită (figura 9.7), al cărui valoare este proporţională cu
concentraţia de oxigen, C[O2]:
i[O2 ]  k  D  C[O2 ] (9.5)
unde k este o constantă, D – coeficientul de difuzie al oxigenului.
Curent
I [O2]
Tensiune
Figura 9.7. Variaţia curentului de reducere a oxigenului în funcţie de tensiunea la electrod

273
9.2.2.2. Caracteristici metrologice
Coeficientul de difuzie a oxigenului într-un gaz este mult mai ridicat

decât într-un lichid. Pe de altă parte, conductivitatea electroliţilor solizi este
inferioară faţă de cea a soluţiilor apoase şi, ca urmare, bariera de difuzie
trebuie redusă puternic. De aceea, se utilizează fie un strat poros depus pe
catod, fie un orificiu cu diametru foarte mic (<20 μm).
Principalele caracteristici ale acestor senzori, faţă de cele ale
senzorilor potenţiometrici, sunt:
- variaţia liniară a semnalului cu concentraţia de oxigen
- domeniul de măsurare: 0.1-95 %
- temperatura de funcţionare mai scăzută
- sensibilitate redusă la variaţia temperaturii
- nu necesită sistem de referinţă
- durata de viaţă ridicată (peste 3 ani)
- posibilitatea miniaturizării senzorului
9.2.2.3. Tipuri constructive
Senzorii destinaţi analizei oxigenului dintr-un gaz sunt de tip

coulometric sau de tip amperometric.
În figura 9.8.a este prezentat un senzor de oxigen de tip coulometric.
El este constituit din 2 discuri de zirconiu stabilizat, acoperite cu un strat de
Pt, între care este presat un inel din Pt pentru a asigura etanşeitatea
compartimentului interior astfel format. Într-o primă etapă, compartimentul
este vidat prin reducerea electrochimică a oxigenului (p2=0). Apoi se
măsoară cantitatea de electricitate q necesară pentru ca presiunea p2 să
devină egală cu presiunea necunoscută p1 (Vs=0). Presiunea p1 este dată de
relaţia:
R  T  V1
p1  q (9.6)
4F
unde V1 este volumul compartimentului.
Principalele caracteristici ale acestui senzor sunt:
- domeniul de măsurare a concentraţiei de oxigen: 1-100 %
274
- necesitatea etalonării senzorului

- imposibilitatea măsurării continue
Pentru controlul gazelor de eşapament s-au realizat senzori de tip
amperometric, cu presiune de referinţă constantă (figura 9.8.b). Suprafaţa
exterioară a tubului de zirconiu stabilizat (catodul) se află în contact cu
gazele de eşapament, iar interiorul tubului (anodul) este în contact cu aerul.
Curentul catodic este limitat prin depunerea unui strat poros pe suprafaţa
electrodului exterior.
Acest tip de senzor prezintă interes la reglarea amestecurilor cu
exces de oxigen, unde senzorul lambda are o sensibilitate scăzută.
P2
Discuri I
de Zr Vs
Inel
de Pt Tub de Zr
Anod
I Strat
Electrod Gaz de poros
P1
de Pt eşapament Catod
Aer Element
încălzitor
a. Senzor de oxigen coulometric b. Senzor de oxigen amperometric

Figura 9.8. Tipuri constructive de senzori amperometrici cu electrolit solid
9.3. Senzori bazaţi pe variaţia impedanţei electrice
9.3.1. Senzori de conductivitate
9.3.1.1. Măsurarea conductivităţii masice
La temperaturi ridicate (T>700ºC) oxizii metalelor de tranziţie (Fe,

Co, Ni) sunt componente nestoichiometrice a căror compoziţie depinde de
temperatura şi de presiunea oxigenului în echilibru cu materialul. Se arată că
conductivitatea σ a acestor oxizi, la o temperatură dată, este de forma:
275
1
  k  pO 2
n (9.7)
unde n este un număr întreg al cărui valoare, cuprinsă între 4 şi 6, depinde

de natura oxidului, de temperatura şi presiunea acestuia.
Pe acest principiu s-a realizat un senzor, constituit dintr-un fir din
oxid de cobalt la care se măsoară variaţia rezistenţei, pentru o proporţie de
oxigen cuprinsă între 1 ppm şi 100 %. A fost studiată posibilitatea utilizării
acestui senzor la regulatoarele motoarelor, însă, din cauza timpului de
răspuns limitat şi a îmbătrânirii rapide, ideea a fost practic abandonată.
9.3.1.2. Măsurarea conductivităţii superficiale
Principiul unui astfel de senzor constă în variaţia conductivităţii

electrice a unui solid semiconductor depus în strat subţire pe un suport,
variaţie datorată absorbţiei unui gaz la suprafaţa sa.
În aplicaţii practice se utilizează preponderent oxizii metalici datorită
stabilităţii lor chimice şi termice. La temperaturi de aproximativ 500ºC
rezistenţa lor electrică manifestă o dependenţă pronunţată de concentraţia
anumitor gaze. La temperaturi cuprinse între 200-500ºC oxizii metalici cu
conducţie de tip n, cum ar fi SnO2, ZnO sau Fe2O3 îşi măresc
conductivitatea sub acţiunea gazelor oxidabile ca H2, CH4, CO, C2H5, H2S.
Semiconductorii de tip p, cum ar fi CuO, NiO, CoO răspund în special la
gazele de reducere (O2, NO2, Cl2).
Aceşti senzori sunt, însă, relativ puţin selectivi, iar conductivitatea
superficială este funcţie de temperatura mediului, de umiditate şi de
presiunea parţială a oxigenului. Selectivitatea poate fi îmbunătăţită prin
alegerea corespunzătoare a temperaturii de funcţionare şi prin adăugarea în
stratul de oxid a unui material catalitic, cum ar fi Pd, Cu, Ni sau Pt.
Timpul de răspuns al acestor senzori este în general cuprins între
câteva secunde şi câteva minute. Limita de detecţie este de ordinul a 0.2
ppm. Principalul inconvenient este stabilitatea redusă în timp a senzorului,
care trebuie să fie periodic reetalonat sau schimbat. Avantajul principal îl
reprezintă preţul scăzut.
Tabelul 9.2 prezintă cei mai utilizaţi oxizi metalici în realizarea
senzorilor de gaz.
276
Tabel 9.2 Oxizi metalici pentru senzori de gaz

Oxizi metalici Gaze detectate
TiO2, Fe2O3, CoO, ZnO, ZrO2, SnO2, La2O3 O2
Cr2O3, NiO, ZnO, ZrO2, SnO2, În2O3 CO
Fe2O3, Fe3O4, Co3O4, ZnO CH4
SnO2, VO NOx
ZnO, Al2O3, SnO2 halogeni
Primii senzori de gaze omogene au fost senzorii policristalini, dintre

care cel mai cunoscut este senzorul Taguchi (TGS) realizat de compania
japoneză Figaro.
Componenta de bază a unui senzor TGS este SnO2. Procesul de
fabricare a senzorului (figura 9.9) este complex şi durează între 8 şi 12 luni.
Reacţie Pulbere de
Sn Activare
chimică SnO2 SnO2 activat
Dopant
(ex. Pd)
Element
Materiale sensibil la
Pulbere Sinterizare
pentru gaz
de H2O lăcuire
partea
Al2O3 ceramică a
senzorului Substrat de
Al2O3
metalizat
Asamblare Senzor
Carcasă încapsulare Taguchi
Figura 9.9. Diagrama procesului de fabricare a unui senzor Taguchi cu încălzire indirectă
277
Aşa cum se observă din diagramă, în etapa de activare se adaugă o

mică cantitate de substanţă de dopare (Pd). Această substanţă este
considerată un catalizator, dar cu funcţii diferite faţă de cele ale
catalizatorilor utilizaţi la senzorii de tip “cu fir cald”.
Principiul de detecţie al acestor senzori se bazează pe
absorbţia/desorbţia oxigenului şi reacţia dintre oxigenul de suprafaţă şi
gazele incidente. În cristalul de SnO2 apar defecte ale reţelei de oxigen, în
care sunt atraşi electroni. Aceşti electroni sunt activaţi termic pentru a
funcţiona ca purtători liberi, stimulând conductivitatea cristalului de SnO2.
1 2O2  SnO2 x   O  ad ( SnO2 x )

*
(9.8)
CO  O  ad ( SnO2 x )  CO2  ( SnO2 x )*
O-
Sn+ CO
SnO2-x
Sn*
1/2O2 CO2
SnO2-x
O2 O2 O2 Gaz de reducere
SnO2-x SnO2-x SnO2-x SnO2-x
E eV
E eV în prezenţa gazelor
în aer de reducere
a. în absenţa gazului b. în prezenţa gazului detectat

Figura 9.10. Principiul de detecţie la senzorii de gaz (CO) tip Taguchi
278
Cristalul de SnO2 (elementul sensibil) este încălzit prin efect Joule la

o temperatură ridicată. În aer, oxigenul este absorbit pe suprafaţa cristalului,
cu o sarcină negativă.
Electronii donori de la suprafaţa materialului trec la oxigenul
absorbit, lăsând sarcini pozitive. Câmpul electric rezultat conduce la
formarea unei bariere de potenţial care împiedică circulaţia liberă a
purtătorilor (figura 9.10.a). Rezistenţa electrică crescută a senzorului este
atribuită acestei bariere de potenţial. Când senzorul este introdus într-un
mediu conţinând un gaz reducător, suprafaţa sensibilă absoarbe moleculele
acestui gaz, determinând oxidarea. În acest fel înălţimea barierei de potenţial
este redusă, rezultând creşterea conductivităţii electrice a materialului
(figura 9.10.b). Dependenţa dintre rezistenţa senzorului şi concentraţia
gazului detectat este de forma:
R  A  [C ] (9.9)
unde :
C - concentraţia gazului;
A, α – constante;
R – rezistenţa electrică a senzorului.
High Low
Timer
TGS203
TGS
VH VH 813
Vi
VH
VRL RL Ve
VC RL
a. cu încălzire directă b. cu încălzire indirectă

Figura 9.11. Structura elementului sensibil la senzorul TGS
Constructiv, sunt două configuraţii ale senzorului Taguchi:

 cu încălzire directă: 2 bobine de încălzire realizate din aliaj de iridiu şi
paladiu, care servesc şi ca electrozi, sunt inserate în corpul elementului
sensibil (figura 9.11.a).
279
 cu încălzire indirectă: pe un tub ceramic sunt imprimaţi cei doi electrozi,

care sunt apoi acoperiţi de un strat de SnO2 sinterizat. Bobina de încălzire
este introdusă în interiorul tubului ceramic (figura 9.11.b).
Elementele componente ale unui senzor de gaz Taguchi sunt
prezentate în figura 9.12.
sită din oţel

inoxidabil
element sensibil
carcasă protectoare
bobină de încălzire
(Pd-Ir)
baza senzorului
pin (Ni)
Figura 9.12. Structura unui senzor de gaz Taguchi:
Caracteristicile senzorului Taguchi:

 Dependenţa rezistenţei senzorului (RS) de presiunea parţială de oxigen
din atmosferă (figura 9.13). Acest fenomen dovedeşte că absorbţia
oxigenului determină rezistenţa senzorului.
RS[kΩ] Rs[kΩ]
200 10
100
50
1
20
10
0.1
1 2 5 10 20 50 100 200 500 102 103 104 105
Po2[mmHg] Concentraţie gaz [ppm]
Figura 9.13. Figura 9.14.

Dependenţa R=f(Po2) Caracteristică tipică de sensibilitate
280
 Sensibilitatea la gaze: aşa cum arată relaţia 9.9, variaţia rezistenţei

senzorului cu concentraţia gazului detectat este liniară pe o scară
logaritmică, într-un anumit domeniu de concentraţie (de la câţiva ppm la
câteva mii de ppm). În figura 9.14 se dă un exemplu tipic de
caracteristică de sensibilitate a unui senzor Taguchi. În general, senzorul
prezintă sensibilitate la o mare varietate de gaze reducătoare, totuşi
selectivitatea pentru anumite gaze este dată de structura elementului
sensibil (tipul şi cantitatea substanţei de dopare) şi de temperatura de
funcţionare.
 Răspunsul senzorului: figura 9.15 arată comportarea tipică a unui senzor
atunci când acesta este expus şi apoi îndepărtat dintr-un mediu în care
există gazul de detectat. La apariţia gazului rezistenţa senzorului scade
brusc, iar la dispariţia acestuia revine la valoarea iniţială după un timp
scurt. Viteza răspunsului şi reversibilitatea variază în funcţie de modelul
senzorului şi de natura gazului detectat.
100 Rs[k]
Expunere la gaz
10
1
în aer
în aer
0.1
Timp[sec]
Figura 9.15. Răspunsul tipic al unui senzor Taguchi
 Acţiunea iniţială: senzorii TGS manifestă o comportare tranzitorie

atunci când sunt realimentaţi (în aer) după o perioadă de neutilizare
(figura 9.16). Rezistenţa senzorului (RS) scade rapid în primele secunde
după alimentare, indiferent de prezenţa gazelor, apoi atinge un nivel
stabil, corespunzător mediului în care este introdus. Lungimea acestei
perioade tranzitorii (numită “acţiune iniţială”) depinde de durata şi de
281
condiţiile de stocare a senzorului înainte de alimentare. Ea trebuie luată

în considerare la proiectarea unui circuit (de alarmare, de exemplu),
pentru a evita obţinerea unui răspuns fals al senzorului în primele
momente ale utilizării.
Rs[k]
100
în aer
10
pornir
0.1 e
Timp [sec]
Figura 9.16. Acţiunea iniţială la senzorii TGS
 Dependenţa de temperatură şi umiditate: întrucât principiul de

detecţie al senzorilor este bazat pe absorbţia şi desorbţia de gaze la suprafaţa
elementului sensibil, temperatura şi umiditatea mediului influenţează
caracteristicile de sensibilitate prin modificarea vitezei reacţiilor chimice
(figura 9.17). Detectarea unui gaz într-o atmosferă umedă cu ajutorul unui
senzor de tip semiconductor este similară cu detectarea a două gaze care
coexistă în acelaşi mediu. Ca urmare, influenţa umidităţii şi a temperaturii
trebuie compensată; o metodă ieftină şi eficientă constă în utilizarea unui
termistor în circuitul de detecţie.
 Dependenţa de tensiunea aplicată încălzitorului: senzorii TGS sunt
proiectaţi să prezinte sensibilitate optimă pentru anumite valori ale tensiunii
aplicate încălzitorului. Variaţia acestei tensiuni conduce la modificarea
temperaturii elementului sensibil şi, deci, la influenţarea caracteristicilor de
sensibilitate (figura 9.18). Ca urmare, se recomandă folosirea unor tensiuni
stabilizate pentru alimentarea elementului de încălzire.
282
Rs/R0(HV=5 V, 1500 ppm gas

RS/R0
Temperatura [C] Tensiunea aplicată încălzitorului [V]

Figura 9.17. Figura 9.18.
Dependenţă tipică de temperatură Dependenţă tipică de tensiunea şi umiditatea
încălzitorului
 Stabilitatea în timp: în condiţii normale de funcţionare, senzorul

prezintă o bună stabilitate în timp (figura 9.19).
100
aer
10
RS [k]
1
gaz
0.1
0 100 200 300 400 500 600
Timp [zile]
 Figura 9.19. Stabilitatea în timp a senzorilor TGS
De asemenea, senzorul are o mare durată de viaţă, datorită

avantajelor pe care le are materialul sensibil (SnO2): stabilitate chimică,
283
absenţa atomilor interstiţiali de metal (ca la ZnO), nu prezintă modificări ale

cristalului până la temperatura de topire. Timpul de viaţă al senzorilor TGS
depăşeşte, în general, 10 ani.
Circuitele de măsurare de bază asociate senzorilor Figaro diferă după
tipul elementului sensibil: cu încălzire indirectă (figura 9.11.b) sau cu
încălzire directă (figura 9.11.a). În ambele cazuri, variaţia rezistenţei
senzorului cu concentraţia gazului detectat este măsurată indirect, ca variaţie
a căderii de tensiune la bornele unui rezistor de sarcină (RL). Tensiunea VRL/
Ve poate fi convertită în valori ale rezistenţei senzorului (RS) cu ajutorul
relaţiei:
VC  VRL
RS   RL (9.10)
VRL
Rezistorul de sarcină are şi rolul de a proteja senzorul prin

menţinerea puterii consumate sub valoarea impusă. Se observă că atunci
când raportul RS/RL=1, VRL/VC atinge valoarea maximă. Pentru obţinerea
performanţelor optime, se recomandă utilizarea unui rezistor RL variabil.
Pentru cele 2 variante, se impun următoarele condiţii circuitelor de
măsurare:
 Senzor cu încălzire indirectă:
- Tensiunea de alimentare (VC): max. 24 V (ac sau cc)
- Tensiunea încălzitorului (VH): 5 V (ac sau cc)
- Rezistenţa de sarcină (RL): variabilă (PS<15 mW)
 Senzor cu încălzire directă:
- Tensiunea de alimentare (VC): max. 12 V (ac sau cc)
- Tensiunea încălzitorului (VH): High 0.8 V – 60 sec. (ac sau cc),
Low 0.25V – 90 sec. (ac sau cc)
- Rezistenţa de sarcină (RL): variabilă (PS<15 mW)
La utilizarea senzorilor Taguchi fabricaţi de Figaro se impun o serie
de precauţii:
- evitarea expunerii la vapori de Si: absorbţia vaporilor de Si în
suprafaţa senzorului conduce la acoperirea elementului sensibil
şi, astfel, la dispariţia ireversibilă a sensibilităţii senzorului.
284
- evitarea expunerii la medii puternic corozive: prezenţa unor

substanţe corozive ca H2S, SOx, Cl2, HCl, etc. pentru perioade
mari de timp poate cauza coroziunea sau distrugerea
conductoarelor de legătură sau a elementului de încălzire.
- evitarea contaminării cu metale alcaline: metalele alcaline pot
determina variaţii în salt ale rezistenţei senzorului; această
situaţie poate să apară la expunerea senzorului la elemente
anorganice.
- evitarea contactului cu apa: variaţii în salt ale rezistenţei
senzorului apar şi la contactul senzorului cu apa.
- îngheţarea apei pe suprafaţa senzorului poate cauza crăparea
elementului sensibil, alterând astfel caracteristicile optime.
- aplicarea unor tensiuni prea mari elementului sensibil sau
încălzitorului poate afecta caracteristicile senzorului sau chiar
conductoarele de legătură.
- expunerea senzorului la densităţi mari de gaze sau în medii cu
condiţii extreme (umiditate ridicată, temperaturi mari, nivele
ridicate de contaminare) pentru o perioadă mai lungă de timp
poate afecta performanţele senzorului.
Principalele aplicaţii ale senzorilor de gaz bazaţi pe variaţia
rezistenţei electrice a elementului sensibil sunt:
- alarme de gaz pentru locuinţe, restaurante, bucătării, vehicule;
- alarme împotriva incendiilor;
- sisteme de detecţie a gazelor pentru instalaţii industriale,
platforme de ulei, fabrici petrochimice;
- sisteme de monitorizare şi condiţionare a calităţii aerului de
interior şi exterior;
- instrumente de detecţie a alcoolului în respiraţie;
- analizoare de gaze;
- sisteme automate de control pentru diverse aplicaţii (cuptoare,
instalaţii de fermentaţie, etc.).
Avantajele cele mai importante ale acestui tip de senzori sunt:
- sensibilitate ridicată
- durată mare de viaţă şi bună reproductibilitate
285
- răspuns rapid
- rezistenţă mare la “otrăvire”
- nivel ridicat al semnalului de ieşire
- preţ scăzut
Principalul inconvenient constă în faptul că aceşti senzori nu sunt
destinaţi măsurărilor cantitative, fiind folosiţi în special pentru detecţia
nivelelor de concentraţie ale gazelor urmărite.
Electrod
Incălzitor
Material
sensibil
Substrat
Conductor de
legătură
a. un singur strat cu 1 element sensibil

Electrod
Element de
încălzire
Substrat
Strat sensibil 1
Strat sensibil 2
Conductoare de
legătură
b. un singur strat cu 2 elemente sensibile

Figura 9.22. Senzori de gaz Figaro realizaţi prin tehnologia straturilor groase
Recent s-au realizat senzori de gaz omogeni în tehnologia straturilor

subţiri, cele mai utilizate materiale fiind ZnO, SnO2, TiO2. Aceşti senzori
sunt caracterizaţi de o bună sensibilitate şi un timp de răspuns de ordinul
minutelor. Însă, deocamdată, nu s-au obţinut o selectivitate, stabilitate
286
termică şi reproductibilitate satisfăcătoare. În plus, realizarea lor este destul

de costisitoare.
Tehnologia straturilor groase a permis realizarea unor senzori din
oxizi metalici cu o bună reproductibilitate, selectivitate ridicată şi consum
redus. Cu toate acestea, pot fi remarcate doar câteva exemple de astfel de
senzori, cel mai semnificativ fiind seria realizată şi comercializată de
compania japoneză Figaro. Ea cuprinde patru configuraţii diferite ale
senzorului:
- un singur strat cu un element sensibil (figura 9.22.a),
- un singur strat cu 2 elemente sensibile (figura 9.22.b),
- multistrat cu un element sensibil
- dublu-strat cu un element sensibil (elementul sensibil şi
încălzitorul sunt realizate pe cele două feţe ale cip-ului).
Aceşti senzori beneficiază de avantajele tehnologiei straturilor
groase: consum redus de putere, dimensiuni mici, circuit de măsurare
simplu.
Anumite materiale organice prezintă fenomene de transfer de sarcini
în prezenţa gazelor oxidante sau reducătoare. Senzorii realizaţi din
semiconductori organici sunt caracterizaţi de asemenea prin scăderea
rezistenţei electrice atunci când sunt expuşi la aceste gaze. Deşi sunt
cunoscuţi de mult timp şi în ciuda faptului că temperatura de funcţionare
este mai mică decât la senzorii din oxizi metalici (aprox. 150C), aceşti
senzori sunt deocamdată folosiţi în puţine aplicaţii. Acest lucru se datorează
în principal problemelor de compoziţie, puritate a materialului, cât şi
problemelor legate de contactele electrice, cu influenţă asupra sensibilităţii,
stabilităţii şi reproductibilităţii senzorului. Senzorii de acest tip sunt realizaţi
pornind de la polimeri electroactivi (polipirol, poliparafenilen) sau cristale
moleculare. Limita de detecţie este în domenul părţi pe miliard. Astfel de
senzori sunt utili pentru măsurarea gazelor toxice în medii de tipul amestec
NO2/N2O4.
9.3.2. Senzori bazaţi pe măsurarea capacităţii electrice
Senzorii capacitivi sunt utilizaţi în principal pentru măsurarea

concentraţiei vaporilor de apă prezenţi într-un gaz. Funcţionarea lor se
287
bazează pe variaţia capacităţii determinată de absobţia apei de către un

material dielectric. Într-o primă aproximare, capacitatea materialului variază
liniar cu umiditatea relativă.
Dielectricul poate fi constituit dintr-un strat de alumină poroasă
depus pe cale electrochimică pe o plachetă din Al, reprezentând unul din
electrozi (figura 9.23.a). Celălalt electrod este obţinut prin depunerea unui
strat metalic pe faţa opusă a dielectricului.
Într-o altă variantă (figura 9.23.b), dielectricul este constituit dintr-un
strat de polimer (de câţiva microni) depus pe un electrod din tantal. Al
doilea electrod este obţinut prin depunerea unui strat subţire metalic (crom
sau aur).
Cutie de Electrod extern (Cr)

protecţie
Au Polimer
Electrod intern (Ta)

Al2O3
Substrat
Al
a. Cu dielectric din Al2O3 b. Cu dielectric din polimer

Figura 9.23. Senzor capacitiv de umiditate
Domeniul de măsurare al acestor senzori este cuprins între 0-100 %

umiditate relativă. Precizia este de câteva procente, iar timpul de răspuns
este, în general, de ordinul secundelor.
9.4. Senzori cu fibră optică
Dezvoltarea tehnologiei fibrelor optice a permis realizarea unor

senzori chimici cu ajutorul acestor elemente.
Principiul de funcţionare al unui astfel de senzor este relativ simplu
şi poate fi urmărit în figura 9.24. Lumina provenită de la sursă (laser
semiconductor, LED, lampă cu halogen) este vehiculată prin fibră optică
până la punctul de măsurare unde este absorbită, reflectată sau difuzată, fie
288
de materialul examinat, fie ca urmare a unei reacţii chimice influenţată de

acest material. Semnalul luminos astfel modificat este transportat în
continuare prin fibră optică până la detector, unde este focalizat, filtrat şi
convertit într-un semnal electric ce corespunde valorii măsurate.
Sursă Receptor
Fibră optică
Punct de măsurare
Figura 9.24. Senzor chimic cu fibră optică (principiul de funcţionare)
Pe lângă avantajele generale ale senzorilor cu fibră optică, senzorii

chimici cu fibră optică sunt caracterizaţi de o bună selectivitate şi de absenţa
unor electrozi de referinţă.
Există o mare varietate de senzori chimici realizaţi cu fibre optice.
Un exemplu îl reprezintă senzorii de tip extrinsec utilizaţi pentru măsurarea
unor parametri analitici, cum ar fi valori de pH sau presiuni parţiale de O2 şi
CO2 (figura 9.25).
Membrană permeabilă Fibră optică de intrare
Sfere din polimer Fibră optică de ieşire
Figura 9.25. Senzor cu fibră optică pentru oxigen
Astfel de detectoare necesită folosirea unor straturi (elemente)

sensibile cu selectivitate chimică, al căror semnal oðtic este furnizat de către
indicatori staţionari ce funcţionează ca nişte convertoare. În prezent, se
utilizează ca indicatori în special materiale fluorescente, datorită gradului lor
289
ridicat de sensibilitate şi selectivitate. În cazul senzorilor de O2, o cavitate

plasată la capătul fibrei optice este umplută cu un pigment fluorescent în
care se află mici sfere din polistiren. Cavitatea este prevăzută, de asemenea,
cu o membrană permeabilă la oxigen. O fibră optică transportă lumina de
excitaţie albastră în zona particulelor. Lumina verde fluorescentă, a cărei
intensitate depinde de presiunea parţială de oxigen şi lumina albastră
difuzată (utilizată ca semnal de referinţă) se transmit prin cea de-a doua
fibră optică, spre receptor.
Dacă sistemul analizat conţine O2, acesta va determina o atenuare a
fluorescenţei. Întensitatea normală a fluorescenţei este invers proporţională
cu presiunea parţială de oxigen. Acest tip de senzor poate fi utilizat pentru
măsurări clinice (în special la valori mici ale presiunii parţiale de oxigen),
dar şi pentru măsurarea nivelului de oxigen în cabinele avioanelor (în scopul
eliberării rapide a măştilor de oxigen atunci când presiunea scade).
Un alt efect interesant permite măsurarea simultană a presiunii
sanguine, a pulsului şi a presiunii de O2 şi CO2 în sânge. În acest scop, un
mănunchi de fibre optice este introdus la capătul uni mic tub; la celălalt
capăt al tubului se află o membrană flexibilă, permeabilă la gaz şi reflexivă
(figura 9.26). Pentru măsurarea presiunilor parţiale de O2 şi CO2 în celulă se
emite lumină cu 2 lungimi de undă: 760 nm şi 2 m. O parte a lumini este
absorbită în mod specific de către cele două gaze, restul fiind reflectată către
mănunchiul de fibre. Distribuţia luminii între fibre depinde de deflexia
membranei. Frecvenţa şi amplitudinea luminii la ieşire furnizează informaţii
despre puls şi, respectiv, presiunea sanguină.
Figura 9.26. Senzor complex pentru detecţia conţinutului de gaz şi a presiunii
În principiu, este de asemenea posibil să se utilizeze timpul de

scădere a fluorescenţei ca o măsură a concentraţiei unor gaze.
O altă categorie o reprezintă senzorii chimici cu fibră optică ce
folosesc câmpul evanescent. O mică fracţiune din lumina care se propagă
290
printr-o fibră părăseşte fibra optică (“undă evanescentă”) şi poate reacţiona

cu un strat foarte fin depus pe suprafaţa acesteia, strat care absoarbe gazul
analizat. Această interacţiune scade intensitatea luminoasă cu atât mai mult
cu cât concentraţia gazului analizat este mai ridicată (figura 9.27). Astfel de
senzori au fost realizaţi pentru măsurarea concentraţiei de metan, hidrogen
sau amoniac, obţinându-se o sensibilitate foarte bună (10-1000 ppm).
Se utilizează, de asemenea, pentru măsurarea concentraţiei de H2
fibre optice acoperite prin pulverizare catodică cu un strat subţire de paladiu.
În prezenţa hidrogenului se formează o hidrură care va genera constrângeri,
conducând la modificarea traseului optic.
Undă Inveliş Gaz

evanescentă absorbant Fibră optică
I0 I
Figura 9.27. Senzor cu fibră optică cu câmp evanescent
Utilizarea fibrelor optice în realizarea senzorilor chimici a permis în

primul rând miniaturizarea acestora, făcând posibilă răspândirea lor în
domeniul ecologiei, al biologiei şi imunosenzorilor. De asemenea, folosirea
laserilor ca surse de radiaţie monocromatică este în plină dezvoltare, în
special în cazul detectoarelor care necesită o mare sensibilitate sau pentru
analiza la distanţă, fără preluare de eşantioane (de ex., detectarea
poluanţilor).
9.5. Senzori cu cuarţ piezoelectric
Principiul de funcţionare al acestui tip de senzor se bazează pe

scăderea frecvenţei de vibraţie a unui cristal de cuarţ prin absorbţia unei
substanţe la suprafaţa sa. Selectivitatea senzorului se realizează prin
depunerea unui strat sensibil pe fiecare din cele două feţe ale cristalului
(figura 9.28).
291
Variaţia frecvenţei de vibraţie a cuarţului corespunde relaţiei:

F  k  C (9.11)
unde C este concentraţia substanţei analizate, iar k o constantă caracteristică
a cristalului.
Cristal de
cuarţ Oscilator Frecvenţmetru
Strat sensibil
Bloc de
alimentare
Figura 9.28. Senzor cu cuarţ piezoelectric. Schema de principiu a dispozitivului de

măsurare
Cel mai adesea se utilizează cristale de cuarţ cu frecvenţa de 9 MHz,

sub forma unor discuri sau plăcuţe cu dimensiuni între 10 şi 16 mm şi
grosimi de aproximativ 0.19 mm. Electrozii au diametre cuprinse între 3 şi 8
mm şi grosimi de 0.3-1 m.
Frecvenţa de vibraţie putând fi măsurată cu uşurinţă la valori
apropiate de 1 Hz, limita de detecţie a senzorului este aproximativ 10-9 g.
Principala dificultate constă în alegerea materialului sensibil depus,
care trebuie să absoarbă selectiv substanţa analizată şi să prezinte o bună
stabilitate în timp.
Dintre utilizările mai importante ale acestor senzori se pot menţiona:
- determinarea gradului de umiditate: materialul depus este un
polimer higroscopic. Se realizează senzori cu o bună
sensibilitate (1ppm), selectivitate şi durată de viaţă (peste 6 luni)
acceptabile.
- analiză de hidrocarburi
- detecţie de pesticide şi gaze, cum ar fi: SO2, NO2, NH3, HCl,
H2S
În figura 9.29 este prezentată schema de principiu a unui senzor cu
unde acustice superficiale. Senzorul este constituit dintr-un emiţător şi un
292
receptor de unde acustice, elemente dispuse pe feţele unui strat sensibil

selectiv, depus, la rândul său, pe suprafaţa unui cristal de cuarţ piezoelectric.
Absorbţia unui gaz de către stratul sensibil conduce la modificarea masei şi
a conductivităţii superficiale a stratului şi, astfel, la modificarea
caracteristicilor de propagare a undelor acustice superficiale. Frecvenţa de
oscilaţie este de câteva sute de MHz. Sensibilitatea senzorului se poate
îmbunătăţi prin realizarea unei structuri de tip diferenţial.
Strat sensibil Cuarţ piezoelectric
Emiţător Receptor
Figura 9.29. Senzor cu cuarţ piezoelectric cu unde superficiale
Ca materiale selective, s-au testat diverşi compuşi. Teoretic,

sensibilitatea acestui tip de senzor este superioară faţă de cea a senzorilor
piezoelectrici clasici (de tip volumic). În acelaşi timp, apar însă dificultăţi la
realizarea straturilor selective subţiri.
9.6. Senzori tip FET
9.6.1. Principiul de măsurare
Un astfel de senzor este obţinut prin înlocuirea grilei metalice a unui

tranzistor de tip MOS cu o membrană sensibilă la substanţa analizată.
Absorbţia şi reacţiile la nivelul acestui strat sensibil modulează potenţialul
grilei tranzistorului şi, în acest fel, circulaţia curentului între drenă şi sursă
(figura 9.30). Sensibilitatea chimică a senzorului astfel realizat (denumit
GASFET) fiind determinată de materialul sensibil, în general orice material
utilizat ca electrod sensibil la ioni poate fi folosit la realizarea grilei
tranzistorului.
293
Gaz
Membrană
Polimer
SiO2
Sursă Drenă
Conexiuni din Al p p
Si-n
SiO2
Substrat
Figura 9.30. Schema de principiu a unui senzor GASFET
Principalele avantaje ale acestor senzori constau în posibilitatea de

miniaturizare şi preţul de cost scăzut.
9.6.2. Variante constructive
Senzorii GASFET sunt în prezent utilizaţi în special pentru detecţia

hidrogenului şi a gazelor hidrogenate (H2S, NH3). Materialul sensibil folosit
este de obicei paladiu (Pd), temperatura de funcţionare fiind cuprinsă între
20 şi 200C.
S-au făcut încercări pentru a detecta şi alte gaze (de ex. CO, CO2) pe
acest principiu. Senzorii GASFET manifestă însă un grad ridicat de inter-
sensibilitate în prezenţa H2. O soluţie alternativă este integrarea pe aceeaşi
structură (engl., chip) a unui senzor de H2 şi a unui senzor de CO2 şi
utilizarea valorii concentraţiei de hidrogen pentru corecţia semnalului dat de
senzorul pentru CO2. Însă, de fapt, această soluţie este o metodă de
recunoaştere a unui gaz bazată pe procesarea semnalelor.
O variantă deosebită o reprezintă senzorii GASFET cu grilă
suspendată, interesanţi mai ales în cazul sistemelor fluidice datorită timpului
de viaţă ridicat ce-i caracterizează. La aceşti senzori, la aproximativ 1 m
deasupra grilei tranzistorului este plasat un “grătar” din Pt sau Au, creând
astfel o zonă permeabilă la gaze (figura 9.31). Dacă la acest grătar se aplică
un strat de Pd, se obţine un senzor de H2. Prin depunerea unui strat din
polimer conductor, senzorul devine puternic sensibil la alcooli. În ambele
cazuri, reacţia gazului cu suprafaţa grilei metalice suspendate produce o
variaţie a câmpului electric detectată prin modificarea curentului prin drenă.
294
Strat de Grilă suspendată (Pt)

aer
SiO2
n+ n+
Figura 9.31. Senzor GASFET cu grilă suspendată - schema de principiu
În ciuda dezvoltării rapide a senzorilor GASFET, există încă destule

probleme de rezolvat, cum ar fi, de exemplu, stabilitatea în timp şi modul de
încapsulare. Oricum, aceşti senzori sunt promiţători în viitor atât pentru
aplicaţii din domeniul medical şi al protecţiei mediului, cât şi pentru
aplicaţii industriale.
9.7. Senzori de tip catarometric
Senzorii de tip catarometric sunt cei mai vechi senzori utilizaţi

pentru măsurarea continuă a compoziţiei gazelor. Acest lucru este posibil
prin faptul că, la amestecurile de gaze, conductivitatea termică depinde de
compoziţia acestora. Astfel că senzorii catarometrici sunt senzori cu fir cald
bazaţi pe valori diferite ale conductivităţilor termice şi permit măsurarea
simplă şi ieftină a amestecurilor de gaze.
În prezent sunt folosiţi la măsurarea concentraţiilor de H2, CO2, O2,
N2, fiind răspândiţi în cromatografia în fază gazoasă.
Un astfel de senzor este constituit dintr-un tub metalic în interiorul
căruia este dispus în poziţie axială un filament din platină (Pt). La
extremităţi, pentru conectarea electrică a filamentului cu circuitul exterior,
sunt fixate două conductoare “masive” (cu diametru mult mai mare decât al
filamentului), de exemplu din Cu (figura 9.32). În interiorul cavităţii
cilindrice circulă gazul de analizat, deci în permanenţă filamentul se află în
contact cu amestecul gazos.
Filamentul este străbătut de un curent constant (I), iar Rf este
rezistenţa sa. Căldura degajată prin efect Joule în filament este eliminată în
exterior, datorită: conductivităţii termice a amestecului gazos,
295
conductivităţii termice a conductoarelor de legătură, convecţiei amestecului

gazos, radiaţiei termice a filamentului cald.
Conductor de legătură Tub metalic Filament din Pt
Amestec gazos
Figura 9.32. Senzor de tip catarometric
Ecuaţia de bilanţ se poate scrie astfel:

R f  I 2  pc1  pc 2  pcv  prad (9.12)
unde:
pc1  k1  1 ( f   p )
k1 – constantă geometrică;
1 – conductivitatea termică a gazului analizat;
f, p – temperatura filamentului cald, respectiv a pereţilor cilindrului
pc 2  k2  2 ( f   p )
'
2 – conductivitatea termică a conductoarelor de legătură;
p’ – temperatura conductoarelor de legătură
pcv  k3   (v)  ( f   g )
(v) – coeficient de schimb de căldură prin convecţie dependent în primul
rând de viteza v a amestecului gazos faţă de filament;
g – temperatura amestecului gazos aflat în contact cu filamentul
prad  k4  ( f  T f   p  Tp )
4 4
f, p – emisivitatea filamentului, respectiv a pereţilor;
296
Tf, Tp – temperaturile lor absolute

Principiul de măsurare al senzorilor de tip catarometric constă în
separarea componentelor din amestecul gazos pe baza valorilor diferite ale
conductivităţilor termice.
Funcţional, se iau toate măsurile pentru ca în membrul al doilea al
ecuaţiei de bilanţ (9.12) puterea pc1 să fie mult mai mare decât celelalte (pc2,
pcv, prad). Pentru aceasta, gazul de analizat circulă prin tubul cilindric cu o
viteză redusă, temperatura de lucru a filamentului încălzit prin efect Joule se
alege între 100 şi 200C, iar cele două conductoare din Cu se realizează cu
dimensiuni foarte scurte astfel încât să elimine în exterior o cantitate de
căldură neglijabilă. În aceste condiţii, ecuaţia de bilanţ devine:
R f  I 2  k1  1 ( f   p ) (9.13)
Pentru un amestec gazos cu două componente semnificative, dacă 1

şi 2 sunt conductivităţile termice ale componentelor, iar a reprezintă
proporţia componentei 1 în amestec (în procente), conductivitatea termică a
amestecului reprezintă media aritmetică ponderată a conductivităţilor
componentelor:
1  a  2 (100  a)
12  (9.14)
100
Aşa cum se poate observa în tabelul 9.3, conductivităţile termice ale
gazelor sunt foarte diferite. Faţă de aer, de exemplu, valori sensibil diferite
ale conductivităţilor le au H2, Cl2, CO2, SO2, etc. De aici ideea de a folosi
pentru dozare metoda comparării conductivităţii termice a amestecul studiat
cu cea a unui gaz de referinţă (aerul).
Tabel 9.3 Conductivitatea termică a unor gaze faţă de aer

Gaz aer O2 N2 CO H2 Cl2 CO2 SO2
gaz/aer 1 1.05 0.99 0.96 7.130 0.32 0.61 0.34
Aşadar, filamentul se alimentează la curent constant. Rezistenţa

electrică a filamentului este dependentă de temperatura de echilibru a
acestuia, care la rândul ei depinde de conductivitatea termică 12 a
amestecului gazos; valoarea conductivităţii 12 este hotărâtă însă de
297
proporţia componentei căutate în amestec (a). Deci, în final, rezultă

dependenţa Rf=f(a).
Măsurând, aşadar, printr-un procedeu electric rezistenţa Rf, se obţin
informaţii despre proporţia unei componente într-un amestec gazos. Ca
circuit de măsurare se poate utiliza o punte în care sunt conectate 4 senzori
de tipul celui descris anterior (figura 9.33). Filamentele din Pt sunt
străbătute de acelaşi curent constant. Două dintre ele se află în contact cu
gazul de analizat A, iar celelalte două cu un alt gaz B, considerat ca referinţă
(de exemplu, aer). Semnalul de dezechilibru al punţii este dependent de
proporţia componentei căutate în amestec.
Întrucât gazele analizate pot avea temperaturi proprii diferite,
amestecul străbate iniţial o incintă metalică, preluând la echilibru
temperatura acesteia, în scopul uniformizării temperaturilor. De asemenea,
cele 2 gaze utilizate (A şi B) pot avea umidităţi diferite. De aceea, înainte de
a veni în contact cu cele 4 filamente sunt trecute prin apă.
A B
GCC
B A
Figura 9.33. Circuit de măsurare pentru senzori de tip catarometric
Domeniile de măsurare ale acestor analizoare sunt cuprinse, în

general, între 0-25 % pentru CO2 în gazele de ardere, 0-2 % pentru CO2 în
aer, 0-2 % pentru SO2 în aer, 0-1 % pentru H2 în aer.
298
Avantaje principale:
-cost convenabil
-precizie destul de bună (0.5-2 %, în funcţie de gazul analizat)
Principalele inconveniente:
-elemente nespecifice: în general, nu se determină compoziţia
gazoasă decât pentru amestecuri binare pentru care se cunosc
elementele componente
-necesitatea folosirii unui gaz de referinţă: aer pentru amestecuri de
conductivitate slabă, respectiv He sau H2 pentru cele de
conductivitate ridicată
-riscul reacţiilor chimice între gazele aflate în contact cu firul cald
-riscul corodării filamentului
-posibilitatea interferenţelor cu alte gaze
În prezent, această metodă de măsurare este tot mai rar utilizată, în
favoarea unor tehnici mai simple şi mai selective.
9.8. Senzori catalitici
Senzorii catalitici sunt utilizaţi în principal pentru detecţia gazelor

inflamabile şi explozive rezultate din diverse procese industriale.
Un astfel de senzor are la bază principiul arderii catalitice, adică al
arderii componentelor încă combustibile din amestecul de analizat sub
acţiunea unui catalizator. El este constituit dintr-un fir de platină (diametru
de aproximativ 50 μm), sub forma unei spirale, introdus într-un corp realizat
din oxid refractar de porozitate scăzută (ThO2 sau Al2O3). Suprafaţa
corpului din oxid este acoperită cu un catalizator, cum ar fi Pt, Pd sau Ir
(figura 9.34). Rolul acestui catalizator este de a stimula procesul de oxidare
al componentelor combustibile, îmbunătăţind în acelaşi timp sensibilitatea
senzorului şi diminuând riscurile otrăvirii acestuia.
299
CO Strat catalizator
O2
CO2 Oxid inert

O+O
Filament cald
Figura 9.34. Structura unui senzor de tip catalitic
Măsurarea se realizează de obicei prin introducerea senzorului într-o

punte Wheatstone, alături de un alt element inactiv din punct de vedere
chimic faţă de gazul analizat (fără înveliş catalizator pe suprafaţa
exterioară). Filamentele celor două elemente sunt străbătute de acelaşi
curent constant care asigură o temperatură de lucru de circa 550C.
Amestecul gazos de analizat vine în contact cu ambele elemente sensibile.
Datorită reacţiilor de oxidare de la suprafaţa senzorului activ, temperatura
de echilibru a filamentului său creşte, modificându-se astfel rezistenţa
electrică a acestui filament. Întrucât pe suprafaţa elementului inactiv nu au
loc arderi catalitice, rezistenţa filamentului său rămâne neschimbată, la
valoarea de echilibru. Diferenţele dintre rezistenţele celor două filamente
sunt destul de mari pentru a provoca un dezechilibru al punţii, care permite
astfel determinarea conţinutului de gaze inflamabile al amestecului analizat.
În prezent, aceşti senzori sunt tot mai utilizaţi pentru măsurarea
concentraţiilor de metan, etan, butan, H2, CO, etc., datorită selectivităţii lor
ridicate atunci când se utilizează un catalizator corespunzător.
Analiza compoziţiei gazelor este în prezent un domeniu din ce în ce
mai important, fiind legat de preocupări majore ale momentului: protecţia
mediului, sănătatea umană, economia de energie, de materii prime, controlul
calităţii, optimizarea proceselor industriale, îmbunătăţirea tehnicilor
biomedicale.
În tabelul 9.4 sunt prezentate principalele tipuri de senzori de gaze
utilizate în prezent. Sunt menţionate, de asemenea, gazele detectate şi
măsurate de fiecare element, cât şi principalele avantaje şi dezavantaje ale
acestora.
300
Tabel 9.4 Principalele tipuri de senzori şi analizoare de gaze

Tip senzor Gaze analizate Avantaje Inconveniente
Electrochimic cu O2, SO2, SO3, miniaturizare, temperatura ridicată
electrolit solid Cl2, H2, CO2, reproductibilitate, de funcţionare
NH3 măsurări in situ
Senzor de O2, CO, CH4, miniaturizare, temperatura ridicată
conductivitate H2S, NOx măsurări in situ de funcţionare,
îmbătrânire
Senzor capacitiv H2O miniaturizare,
măsurări in situ
Senzor cu fibră O2, CO2, SO2, miniaturizare,
optică H2, CH4 sensibilitate ridicată
Senzor cu cuarţ SO2, NO2, NH3, bună sensibilitate, dificultăţi la
piezoelectric HCl, H2S, H2O selectivitate realizarea straturilor
sensibile
GASFET H2, H2S, NH3, miniaturizare, probleme de
bună sensibilitate stabilitate în timp
Catarometru H2, CO2, O2, N2 preţ convenabil elemente
nespecifice,
necesitatea unui gaz
de referinţă,
posibilitatea
interferenţelor
Senzor catalitic CH4, H2, CO, bună selectivitate temperaturi ridicate
butan de funcţionare
9.9. Traductoare inductive pentru analiza gazelor
Folosesc proprietăţile paramagnetice ale gazelor respectiv diferenţa

de susceptibilitate magnetică acestora.
Susceptibilitatea χ a unui material reprezintă, în general, abaterea
permeabilităţii relative de la valoarea 1, respectiv χ = μr-1, pentru materiale
paramagnetice χ este pozitiv iar pentru cele diamagnetice este negativ. Din
tebelul 9.5 se observă că oxigenul este paramagnetic în măsură mai mare şi
de aceea metoda magnetică se aplică exclusiv la analiza oxigenului. Doar
câteva gaze, în special oxidul de azot, prezintă o susceptibilitate care, pe
lângă cea a oxigenului, au o importanţă mai mare. La diferitele aparate de
301
analiză a oxigenului care funcţionează pe baza metodei magnetice, se

utilizează, pe lângă susceptibilitatea mai mare a oxigenului şi variaţia sa
(scăderea) cu temperatura.
Tabel 9.5 Susceptibilitatea la principalele gaze urmărite

Gaze analizate  20C [m3/kmol]
Oxigenul O2 +1,78
Oxidul de azot NO +0,77
Azotul N -0,0063
Hidrogenul H2 -0,0021
Dioxidul de carbon CO2 -0,011
Amoniac NH3 -0,0099
Metan CH4 -0,0064
9.9. 1. Senzorul cu cameră inelară Magnos
Gazul de măsurat este trecut în sensul indicat de săgeţi, prin camera

inelară 1, la un inel metalic prevăzut cu o legătură diametrală 2-un tub de
sticlă cu pereţi subţiri, aşezat orizontal (figura 9.35).
2
1
3
5 6
7 A
Figura 9.35. Senzorul Magnos
302
Partea din stânga tubului orizontal se găseşte în câmpul unui magnet

permanent puternic cu polii 3 şi 4. Un bobinaj de încălzire 5-6, cu priză
mediană, este situat cu o parte în întrefierul acestui magnet. Cele două
jumătăţi ale înfăşurărilor 5-6 formează ramurile unei punţi Wheatstone. Un
gaz care conţine numai componenţi diamagnetici, trecând prin cameră nu
străbate legătura transversală iar puntea rămâne echilibrată. Dacă însă gazul
de analizat conţine molecule de oxigen, acestea sunt atrase de magnet, unde
sunt încălzite de bobinajul de încălzire 5. Prin încălzire susceptibilitatea
magnetică se micşorează, forţa de atracţie către magnet scade şi ca urmare,
moleculele încălzite sunt împinse spre dreapta de moleculele reci care vin
din urmă, atrase în număr mai mare. Ia naştere astfel un curent îndreptat de
la stânga la dreapta numit vânt magnetic a cărui viteză este proporţională cu
conţinutul de oxigen al gazului analizat. Vântul magnetic are ca efect racirea
înfăşurării 5 şi încălzirea bobinajului 6, respectiv dezechilibrarea punţii,
curentul de dezechilibru fiind în anumite limite proporţional cu conţinutul
de oxigen al gazului de măsurat.
Domeniul minim de măsurare este de 0÷1 vol %O2, dar pot fi
realizate şi domenii de măsurare cu porţiunea iniţială suprimată, de exemplu
pentru 18-21 %, domeniul folosit la controlul gazelor de respiraţie. Pentru
eliminarea influenţelor temperaturii, camera inelară este aşezată într-un
termostat.
Senzorul Magnos este folosit pentru controlul gazelor de exploatare,
în medicină şi biologie.
Avantaje:
- se pot realiza aparate la preţ de cost mic
- efectul perturbaţiilor gazelor diamagnetice este eliminat datorită
combinaţiei câmp magnetic şi încălzire
Dezavantaje:
- torul trebuie montat cu ajutorul unei sonde de nivel, în poziţie
strict orizontală, pentru evidenţierea convecţiei termice
- prezenţa, în gazul de analizat, a constituenţilor cu condutivitate
termică mult diferită de cea a oxigenului (H2, He, CO2 etc.)
reprezintă o sursă de erori
303
- zeroul indicatorului este dependent de echilibrul punţii, adică de

stabilitatea rezistenţei şi debitului de gaz.
9.9. 2. Senzorul Oxymat
Acesta foloseşte de asemenea fire încălzite în mod diferit ca efect al

vântului magnetic.
În figura 9.36.a. se indică o secţiune printr-o cameră de măsurat.
Conductorul 1 de platină cu diametrul de 40 cm se găseşte în câmpul
pieselor polare 2-3 ale magnetului permanent 4. Gazul care conţine oxigen
execută o mişcare de circulaţie mai intensă a cărui viteză depinde de
conţinutul de oxigen O2 şi provoacă răcirea firului încălzit.
Camerele magnetice şi nemagnetice din figura 9.36.b. au aceleaşi
dimensiuni. Circuitul de măsurare conţine câte două camere magnetice 1, 2
şi nemagnetice 3, 4 ale căror fire încălzite prin trecerea aceluiaşi curent sunt
conectate într-o punte Wheatstone. Se produce o dezechilibrare a punţii
proporţională cu conţinutul de oxigen al gazului de măsurat în domeniul de
măsurare minim de 0-5 vol %O2, şi cu compensarea electrică a efectului
temperaturii.
6
1
3
N
5
S
N
1
2 3
2
S
4
4
N S + -
a. secţiune prin camera de măsurat b. camerele magnetice şi nemagnetice

Figura 9.36. Senzorul Oxymat
304
CAPITOLUL 10
SENZORI ŞI TRADUCTOARE PENTRU ROBOŢI
10.1. Paralelă între fiinţa vie şi robot
Mişcările unui robot tind să imite pe cele ale corpului fiinţei vii. Este
cunoscut faptul că fiinţa vie, este dotată cu funcţii nemaipomenit de
complexe şi performante. Pentru om, cel care doreşte construcţia robotului,
aceste fiinţe vii sunt la toate nivelele modele de urmat. Este însă demn de
remarcat marea diferenţă între legile ce guvernează lumea fiinţelor vii şi
cele ce guvernează lumea obiectelor artificiale. Dar observaţia critică a
structurii şi funcţiilor lor conduce continuu la dezvoltarea unor idei fecunde.
Dacă omul este fiinţa vie cea mai dezvoltată, este normal de a stabili
o corespondenţă între organele umane şi cele ale robotului (figura 10.1).
Creier:
microcalculator
Mâna: Urechi:
Scula (ex.Pulverizator) microfoane
Gura:
Emiţătoare sonore
Braţ
ROBOT
Picioare:
Roţi, şenile, etc.
Figura 10.1. Paralela între robot şi corpul uman

Capitolul 10. Senzori şi traductoare pentru roboţi
Creierul robotului este un micro sau minicalculator compatibil cu

volumul limitat al robotului. Acesta are rolul de comandă, de tratare,
selectare şi comparare a informaţiilor despre mediu şi despre sine însuşi.
Braţele robotului au o structură similară braţelor umane. Ele au mai
multe articulaţii pentru a putea prinde manipula şi transporta obiectele.
Pentru simplificarea sistemului, mişcările braţului pot fi comandate în
coordonate carteziene, cilindrice sau polare. Mişcarea braţului multiarticulat
necesită o comandă mai complexă funcţie de comanda fiecărei articulaţii.
Mâinile robotului sunt de cele mai multe ori echipate cu o sculă
specifică aplicaţiei, deoarece domeniul şi natura muncii sunt definite şi
limitate pentru fiecare robot industrial în parte. Pentru unele sarcini speciale
ea poate avea două sau trei degete. Mâna cu cinci degete a fost exploatată
doar în aplicaţii neindustriale.
Picioarele robotului nu sunt întotdeauna indispensabile, majoritatea
roboţilor efectuând manevrele totdeauna în acelaşi loc. Există însa în
laboratoare de cercetare şi chiar în unele aplicaţii specifice, construcţii a
unor roboţi cu două sau patru picioare.
Gura robotului nu are un caracter mecanic, dar prin rolul său de
emiţător de informaţii, poate fi considerată ca un sistem de acţionare. Gura
poate fi astfel un difuzor sau mai simplu o sonerie.
Urechile robotului sunt constituite din microfoane. Sunetul este
recunoscut şi integrat apoi sistemului de prelucrare, efectul auditiv
presupunând un sintetizator vocal comandat prin sistemul informatic.
Ochii robotului sunt constituiţi dintr-un senzor fotosensibil. Camera
video este convenabilă pentru obţinerea imaginilor bidimensionale.
Obţinerea senzaţiei de vedere înseamnă însă, parcurgerea unui lanţ
informaţional ce cuprinde senzorul ca element primar, sistemul de
recunoaştere a imaginilor ca verigă intermediară şi sistemul de decodificare
a elementelor de informaţie ca punct terminus.
Robotul poate măsura distanţa până la un obiect utilizând senzori de
distanţă clasici (pentru manipulatoare şi roboţi cu areal fix), sau bazaţi pe
emisia şi recepţia de semnale ultrasonore sau infraroşii (pentru roboţii
mobili şi autonomi).
306
Cercetările actuale sunt îndreptate spre stabilirea unei relaţii optime

între partea de detecţie (ochi, gură, urechi) şi cea de acţiune (braţe, mâini,
picioare), în direcţia creşterii adaptabilităţii, autonomiei şi puterii robotului.
10.2. Elementele constitutive ale unui robot industrial
Plecând de la paralelismul om-robot, în figura 10.2 sunt prezentate

principalele elemente constitutive ale unui robot industrial. Acestea sunt:
1. braţe;
2. mâini, degete;
3. articulaţii (sisteme de acţionare);
4. surse de energie (electrică, hidraulică, pneumatică);
5. senzori:
- senzori interni mecanici, electromecanici, optoelectronici,
activi etc.,
- senzori vizuali,
- senzori auditivi.
6. sistem de comandă (microordinator încorporat);
- hardware (unitate centrală, memorie etc.),
- software (programe de comandă, de poziţionare, de
secvenţiere a operaţiilor etc.),
- interfaţă om-maşină (intrări-ieşiri),
- interfaţă calculator-maşină.
7. obiectul muncii;
8. periferice de intrare;
9. periferice de ieşire;
10. operatorul uman.
Elementele 1, 2, 3 constitue manipulatorul. Elementul 4 este necesar
pentru roboţii cu acţionare hidropneumatică sau mixtă. Senzorii 5 asigură
informaţiile:
- de recunoaştere a stării fiecărei părţi a robotului (măsurări
interne);
- de recunoaştere a stării obiectului manipulat (măsurări externe);
- de recunoaştere a stării sistemelor de acţionare (schimb de
informaţii
307
Senzor
vizual
braţ Periferice
de
Comandă intrare
Operator
mână Ordinator
uman
obiect
Periferice
CPU de
Utilaj de Periferice Acţionare Sursă de ieşire
lucru articulaţii alim. int.
Alim. ext. Tratare

Schimb de Realizarea Surse de Interfaţă
informaţii mişcărilor informaţii Om-maşină
alimentare
Figura 10.2. Elementele constitutive ale unui robot industrial
Datorită acestor informaţii sistemul poate efectua o comandă în

buclă închisă. Lipsa senzorilor de un anumit tip, conduce imediat la trecerea
comenzii în buclă deschisă a lanţului corespunzător.
Sistemul de comandă 6, culege informaţiile de orice natură şi pe
baza unor programe adecvate, elaborează strategia de continuare a
operaţiilor. Elementul central al sistemului îl constitue micro sau
minicalculatorul. Interfaţa om-maşină, permite comunicarea între cele două
componente de bază ale procesului, prin claviatură, sistem interactiv de
învăţare şi microfon din partea omului şi prin ecran video, imprimante,
sintetizator vocal, din partea robotului.
Memoria calculatorului cuprinde informaţii de comandă a părţii de
software. Acestea pot fi informaţii privind starea şi poziţia elementelor
participante în procesul de lucru sau informaţii relative la secvenţa
mişcărilor acestora. După fiecare etapă a secvenţei de comandă, trebuie
culese noi informaţii asupra poziţiei următoare.
Se poate realiza o comandă de înaltă precizie fie recurgând la o
subcomandă la fiecare din aceste etape, fie luând în considerare deciziile
parţiale ale subsistemelor componente pe baza informaţiilor specifice
primite de la senzori specifici.
308
Robotul care efectuiază operaţii în cooperare cu alte maşini sau chiar

cu alţi roboţi, trebuie să posede indiscutabil şi un sistem de schimb de
informaţii şi de tratare a semnalelor primite de la acestea (interfaţa robot-
maşină).
Dispozitivele periferice 8, sunt necesare în fluidizarea procesului de
lucru robotizat. De exemplu, un alimentator pentru o presă are nevoie de o
magazie de stoc materiale şi un ascensor pentru completarea continuă a
cesteia.
10.3. Senzori şi traductoare în contact cu obiectul vizat
Dacă vom considera un robot articulat şi o configuraţie ce presupune

un contact fizic între unele puncte ale sale şi obiectul solid prezent în
preajma sa, relativ la acest contact trebuie să avem în vedere următoarele:
 dacă între acestea este un contact efectiv (faza de detecţie);
 unde se află aceste puncte de contact (faza de localizare);
 cunoaşterea caracteristicilor acestor contacte (faza de
caracterizare).
Pornind de la cunoaşterea parametrilor implicaţi în aceste trei etape
(parametri a căror importanţă depinde de obiectivul vizat), se poate elabora
sau aplica o strategie de comportament care să permită atingerea ţelului
dinainte propus.
Având în vedere aceste contacte fizice, se pot distinge două categorii
de senzori ce presupun un mod de tratare diferită:
1. cele ce au în vedere un singur punct de contact (sau câteva
puncte) şi care servesc în general, fie la asigurarea securităţii
proprii şi a mediului în care evoluiază, fie la detecţia poziţiei lor
în raport cu obiectul vizat, fie la evaluarea efortului existent între
efector şi piesă;
2. cele ce au în vedere numeroase puncte (detecţie matricială), a
căror informaţii servesc în general pentru recunoaşterea mediului.
De aceia senzorii din aceasta categorie se pot clasifica în:
1. senzori tactili – ce au ca obiectiv recunoaşterea mediului, cu
accent pe recunoaşterea caracteristicilor geometrice;
309
2. senzori de efort – ce au ca obiectiv asigurarea securităţii

ansamblului robot-mediu şi mai ales în situaţiile în care controlul efortului
este necesar pentru atingerea obiectivului propus (operaţii de asamblare şi
montaj a unor elemente pentru care toleranţele nu permit numai un simplu
control poziţional).
10.3.1. Senzori tactili electromecanici
Se bazează pe evidenţierea pe cale electrică a poziţiei unei tije-

palpator ce urmăreşte caracteristica geometrică dorita a obiectului vizat.
Informaţiile de poziţie ale tijei sunt transformate în semnal electric prin
intermediul unor senzori de diverse tipuri: optoelectronici, capacitivi,
potenţiometrici, inductivi, fluidici etc.).
10.3.1.1. Senzorul CECIL EQUIPEMENT
Este unul din primii senzori utilizaţi în robotică. Schema sa de

principiu este dată în figura 10.3.
Sesizarea deplasării este realizată de doi senzori potenţiometrici
liniari dispuşi perpendicular unul pe altul. Acest senzor a cărui tijă este
interşanjabilă permite detecţia bidimensională (în înălţime şi în lateral) a
unor fante.
Măsurarea decalajului lateral se face în raport cu o poziţie de
referinţă a tijei palpatorului ce corespunde poziţiei pentru care aceasta este
aliniată în raport cu carcasa (figura 10.4.a). Poziţia de referinţă corespunde
unui semnal nul la ieşirea senzorului pentru deplasarea laterală.
Pentru unele situaţii în care este necesar un sprijin transversal, deci
un anumit decalaj de referinţă, acesta poate fi realizat mai simplu pe cale
electrică decât pe cale mecanică. Cea mai simplă şi totodată cea mai
frecventă metodă este adăugarea la tensiunea utilă de la ieşirea senzorului a
unei tensiuni corespunzătoare decalajului de referinţă.
Acest reglaj se realizează la nivelul circuitelor de tratare a
semnalului primit de la senzor (figura 10.4.b). Poziţia de referinţa pentru
deplasarea verticală este asemănătoare celei pentru deplasarea transversală,
310
dar sprijinul pe obiectul ţintă se menţine prin forţa exercitată în jos de către
resort (figura 10.4.c).
Direcţii de Corp de
măsurare fixare
Montaj elastic
x
Palpator
y
Traductoare de
măsurare a
deplasărilor
Canalul vizat
Figura 10.3. Principiul general al senzorului CECIL EQUIPEMENT
Vy = 0 Vy  0 Vy  0
Sumarea unei
Vy = 0
tensiuni de
referinţă
Vârful tijei Axa de

senzorului referinţă
Abatere
Abatere
a) referinţă mecanică b) referinţă electrică
Axa de
referinţă Vz  0 Vz = 0
Sensul de deplasare al
braţului
c) referinţa mecanică a axei verticale
Figura 10.4. Exemple de utilizare a senzorilor tactili
311
10.3.1.2. Senzorul tactil cu două grade de libertate (JOZEF

STEFAN)
În figura 10.5 se reprezintă schema unui senzor tactil cu două grade

de libertate.
Are aceiaşi structură ca şi senzorul CECILE EQUIPEMENT (tija
palpatoare menţinută în poziţia de referinţă prin resorturi) şi deci aceleaşi
avantaje şi incoveniente. Sunt insă mult mai fiabili, deoarece utilizează
pentru măsurarea bidirecţională senzori inductivi de tip transformator
diferenţial liniar.
Tub de ghidare
Traductoare Carcasă protecţie

diferenţiale liniare
Tijă palapatoare
Resort de rapel
Resort de rapel
x
y
Sens de deolasare o
Figura 10.5. Senzorul tactil cu două grade de libertate
Variante ale acestuia, perfecţionate pentru diverse aplicaţii din

domeniul roboticii, sunt realizate în ideia minimizării volumului pentru o cât
mai suplă adaptare la ansamblul robot.
10.3.1.3. Senzorul dinamic PERUCHON
Are la bază un element sensibil capabil să măsoare cele trei

componente Fx, Fy, Fz ale forţei F, pe care o exercită tija palpatoare pe
obiectul analizat. Tija exploratoare având un diametru de 3 mm şi o lungime
de 12 cm, stabileşte pe de o parte contactul cu obiectul vizat şi pe de altă
312
parte apasă în partea centrală a unei lamele cruciforme echipată cu trei punţi
cu elemente sensibile tensometrice (figura 10.6). Acestea furnizează
informaţii proporţionale cu cele trei componente ale forţei F, respectiv cele
două momente de încovoiere Mx, My ale acestei forţe în raport cu axele OX
şi OZ.
Punte
tensometrică
Lamelă
cruciformă
X
Tijă
palpatoare
Y
Figura 10.6. Senzorul dinamic RERUCHON
Palpatorul este solidarizat pe un sistem cu trei grade de libertate. Prin

programarea convenabilă a deplasărilor sau prin pilotarea manuală a
ansamblului, se poate deci vizualiza sau reconstitui relieful universului
explorat.
10.3.1.4. Senzor piezoelectric UMETANI
Este un senzor analogic piezoelectric utilizat atât pentru

recunoaşterea mediului dar mai ales pentru sesizarea obiectelor mici (sub
100 micrograme).
Principiul lui, constă în detectarea efortului mecanic pe un set de
lamele piezoelectrice (figura 10.7), prin măsurarea variaţiilor tensiunii
induse intre punctele 0 şi 2, atunci când între punctele 1 şi 2 se stabileşte o
tensiune continuă ce produce deformaţia lamelelor iar între punctele 0 şi 1
se suprapune o tensiune alternativă.
313
Va
1
Vc Direcţia
0
mişcării
2
Vi
Figura 10.7. Detecţie tactilă prin metoda UMETANI
10.3.1.5. Senzorul tactil optoelectronic JOZEF STEFAN
Schema de principiu a senzorului este prezentată în figura 10.8.

Originalitatea sa constă în dispozitivul de măsurare a deplasărilor tijei
palpatoare în planul transversal al fantei de detectat.
Emiţători
Mască codată
M Receptori
C
F
LED
Ieşiri codate
Tijă palpatoare
Figura 10.8. Senzor tactil optoelectronic
Acest dispozitiv optoelectronic se adaptează perfect la tratarea

numerică a semnalului utilizând microprocesoare.
314
Măsurarea deplasării se realizează prin codare directă în cod binar

utilizând o mască în cod Gray.
Dispozitivul este mai puţin adaptabil la condiţiile unei atmosfere
deseori ostile în care lucrează robotul (praf, proiecţii metalice, umezeală,
fum, lumină parazită naturală provenind de la arcul electric etc.). De aceia
realizarea lor necesită un plus de grijă pentru a atinge o fiabilitate acceptată
de cerinţele tehnologiilor robotizate.
10.3.1.6. Senzorul ESAB
Senzorul reprezentat în figura 10.9 este bazat pe acelaşi principiu ca

şi senzorul CECIL EQUIPEMENT. Astfel o tijă transmite mişcările sale
unui dispozitiv adaptor cu senzori optoelectronici, ce permite măsurarea
deplasărilor după patru direcţii perpendiculare. Originalitatea principială a
acestui sistem este organizarea sa geometrică.
Tratare preliminară
semnal
Bloc de detecţie a
deplasărilor pe 4
direcţii
Tijă de legătură Braţ
Inel
Figura 10.9. Senzorul tactil ESAB
Senzorul este dispus paralel la axa braţului de lucru ce este

înconjurat de un inel ce vine direct în contact cu piesa de detectat şi ale cărei
315
mişcări sunt transmise blocului traductor optoelectronic prin intermediul

tijei de legătură. Deasemenea, sistemul de codare foarte simplu realizat prin
intermediul aceluiaşi bloc de traductoare, permite definirea zonelor de
funcţionare normală sau defectuoasă pentru fiecare direcţie de măsurare a
deplasărilor.
10.3.1.7. Senzorul SWORD şi HILL
În figura 10.10 se prezintă unul din degetele unei mâini robot

echipată cu un astfel de senzor. Fiecare deget dispune de 7 plăcuţe sensibile
ce permit detectarea contactului dintre terminal şi obiectul vizat. Mai mult,
pe faţa internă a fiecărui deget sunt plasate 18 butoane (senzori analogici)
care în funcţie de efortul preluat obturează mai mult sau mai puţin fascicolul
luminos emis de o diodă luminiscentă şi recepţionat de un fototranzistor.
Deget Plăci Buton

sensibile Senzor
sensibil analogic
Ecran
Butoni LED Fotodetect

sensibili or
Figura 10.10. Deget robot echipat cu senzor SWORD
Acest tip de senzor oferă deci informaţii relative la forţa de strângere

a obiectului dar şi la forma acestuia (cei 18 senzori pot fi asimilaţi unui
detector matricial).
10.3.1.8. Senzorul activ SAF
Senzorii activi au un vârf de palpare deplasabil după diverse axe cu

ajutorul unuia sau mai multor sisteme de acţionare. Acestea permit
escamotarea punctelor de palpare în momentul determinării caracteristicilor
geometrice ale obiectului, prin palpări succesive.
Senzorul activ SAF este reprezentat în figura 10.11 şi este constituit
din elementele clasice de acum: vârful de palpare şi traductorul de deplasare
de tip potenţiometric. Vârful de palpare este antrenat într-o mişcare de
316
translaţie prin intermediul unui sistem de acţionare pneumatic. Ieşirea

potenţiometrului este apoi comparată cu o valoare de referinţă.
Trebuie deasemenea efectuată şi o corecţie de poziţie prin
intermediul unei mişcări de translaţie a senzorului in raport cu braţul
robotului. Mişcările sistemului de acţionare pneumatic pot fi realizate
periodic sau pot urmări un program apriori memorat, în funcţie de
necesităţile procesului în care evoluează robotul sau de “lecţiile” primite în
perioada de “învăţare”.
Aplicaţiile mai frecvente sunt în domeniul roboţilor ce procesează
piese cu forme regulate şi margini drepte.
Acţionare
pneumatică
Potenţiometru
Cremalieră
Pinion Culisor
Resort
de rapel Cremalieră
Mişcarea
Ghidajul tijei
tijei
Resort
Palpator
Figura 10.11. Senzorul activ SAF
10.3.1.9. Senzorul activ JOZEF STEFAN
În cazul acestor senzori activi, poziţia tijelor de măsurare este

continuu ghidata şi controlată. Robotul reproduce în fapt o traiectorie
memorizată, ce urmăreşte geometria obiectului situat sub senzorul ale cărui
tije sunt deplasate.
Schema de principiu a acestui senzor este prezentată în figura 10.12
şi cuprinde trei grade de libertate.
317
Miez
Traductoare Bobină Bobină
Traductor
diferenţiale liniare diferenţial liniar
Micromotor
Tijă palpatoare
Tub de Cristal piezoelectric

ghidare
z
Tijă
palpatoare y
Figura 10.12. Senzorul activ JOZEF STEFAN
Tija de măsurare a cărei extremitate este interşanjabilă, este situată în

interiorul unui tub de ghidare ce-i permite deplasarea după axa OZ sub
acţiunea unui micromotor. Tubul de ghidare este fixat în interiorul unui
carter de protecţie a senzorului de maniera a-i permite două grade de
libertate suplimentare în planul XOY.
Deplasările în planul XOY sunt realizate cu ajutorul a trei
electromagneţi solidari cu tija de măsurare. Deplasările tijei după direcţiile
OX, OY şi OZ sunt măsurate utilizând traductoare de tip transformator
diferenţial liniar.
Comanda de lectură a informaţiilor de poziţie ale tijei este furnizată
de impulsurile primite de la un senzor piezoelectric, la fiecare atingere a
suprafeţei obiectului măsurat de către vârful tijei.
În comparaţie cu sistemele pasive, acest dispozitiv posedă
următoarele avantaje:
 mare supleţe în exploatare;
318
 mai bună insensibilitate la starea suprafeţelor explorate.

Inconvenientele lui sunt:
 fragilitate;
 greutate relativ mare (ca urmare a prezenţei electromagneţilor);
 sensibilitate mai redusă (datorită jocurilor mecanice şi frecărilor
inerente);
 lipsa unui spaţiu de acţiune în direcţia axei Z.
Rezolvarea unora din aceste inconveniente este dată de o nouă
soluţie a aceluiaşi constructor (figura 10.13).
Pentru creşterea cursei tijei de măsură în axa Z, senzorul este
prevăzut cu un servomotor. Electromagneţii au fost dispuşi mai jos iar
măsurarea deplasărilor în planul XOY se face cu traductoare capacitive,
ceea ce elimină frecările parazite.
Servomotor
Micromotor
Tub de ghidaj
Traductor
diferenţial
Miez mobl liniar
Bobină Traductor
capacitiv
z
Cristal
piezoelectric
Tijă
y
interşanjabilă
x
Figura 10.13. Senzor tactil activ JOSEF STEFAN –variantă perfecţionată
Prezenţa traductoarelor capacitive însă, conduce inerent la noi

inconveniente, legate în principal de sensibilitatea acestora la semnalele
parazite din mediul industrial şi la dificultatea punerii la punct a unor
sisteme de tratare a semnalului adecvate.
319
O variantă a acestui tip de senzor activ permite, bineînţeles că la un

preţ mult mai mare, ameliorarea caracteristicilor ansamblului. În acest caz,
sistemele de acţionare sunt motoare pas cu pas, ceia ce permite eliminarea
traductoarelor de poziţie şi deci imunitatea la semnalele parazite. Volumul
ocupat de senzor în arealul robot este însă mai mare.
10.3.2. Senzori tactili matriciali
Pentru a obţine senzori care să ofere informaţii pe cât posibil libere

de starea suprafeţei obiectului pe de o parte şi relative la cât mai multe
caracteristici geometrice ale acestuia pe de altă parte, s-au luat în
considerare unele organizări matriciale ale palpatorilor elementari.
10.3.2.1 Senzorul matricial PAGE
Acest dispozitiv permite recunoaşterea formei obiectelor în trei

dimensiuni. Schematic el este reprezentat în figura 10.14. Se compune dintr-
un grup de şapte tije în linie în faţa cărora este dispus un alt grup de două
tije. Măsurarea deplasărilor acestor tije se realizează cu traductoare
tensometrice rezistive sau uneori cu senzori inductivi incrementali de
abatere de înălţime.
Tije
Vedere din faţă
Ghidare
Tije tije
Senzori
tensometrici
Organizarea
punctelor de
măşură Bază de
montaj Protecţie
Figura 10.14. Senzorul tactil matricial PAGE
320
O variantă a acestui senzor, utilizează pentru aprecierea deplasării

tijelor, traductoare inductive toroidale. De această dată, însă, senzorul este
sensibil direct la variaţiile de deplasare şi nu la deplasarea însăşi. Pentru
aceasta, suportul sistemului senzorial este supus unor deplasări
incrementale. La fiecare pas, fie se estimează variaţia deplasării tijelor
palpatoare, fie se contorizează numărul tijelor ce au suferit o anumită
deplasare dZi.
Se poate astfel obţine practic o “tomografie” incrementală a
obiectului vizat (figura 10.15), “recunoaşterea formei” acestuia fiind mai
aproape de cea reală, la fiecare pas.
Contorizarea incrementală a imaginii permite sistemului de comandă
să “judece” din timp modul de acţiune la pasul următor (forţa de strângere,
sensul deplasării etc.).
dZi
Tije
Obiect
Suport
Figura 10.15. Recunoaşterea incrementală a formei cu senzor PAGE
10.3.2.2 Senzorii matriciali GOLDGEWICHT şi TAKEDA
Senzorul GOLDGEWICHT prezintă particularitatea că furnizează

direct informaţii binare. Numai tijele ce sunt solicitate de o,biect , închid un
circuit la trecerea printr-o matrice de ploturi metalice fixate pe un suport
izolant (figura 10.16). Se obţine astfel o amprentă numerică pe un singur bit
a obiectului vizat.
321
Senzorul TAKEDA a fost gândit pentru o mână a unui manipulator

cu două degete (figura 10.17). Se compune din două matrici de 8x10 tije
situate pe fiecare dintre degete.
Matrice de ploturi
metalice Deget
Membrană
elastică
Metalizare pentru z
alimentare Potenţiometru
y
Ghid rigid al x
tijelor palpatoare
Figura 10.16. Senzorul matricial Figura 10.17. Senzorul matricial

GOLDGEWICHT TAKEDA
Cunoscând în prealabil deschiderea degetelor, prin evaluarea

poziţiilor tijelor din planurile paralele YOZ ale celor două matrici, se poate
reconstrui relieful obiectului vizat.
10.3.2.3. Senzorul piezoelectric matricial MATSUBARA
Senzorii sensibili la presiune, sunt elemente piezoelectrice înglobate

într-un polimer elastic (figura 10.18). Deşi aparent efortul se distribuie în
planul XOY, în realitate el evoluiază în plane paralele succesive cu acesta,
obţinându-se amprenta de volum a obiectului vizat.
Explorarea diverselor plane paralele este posibilă prin aprecierea
unor praguri Vp, prestabilite ale tensiunii culese la ieşirea senzorului.
Plan de referinţă Vpr

Plan intermediar Vpi
Tensiunea
Plan limită Vpl
de prag Vp
Figura 10.18. Senzorul matricial MATSUBARA

322
10.3.3. Pielea artificială
Denumirea de piele artificială desemnează o clasă de senzori tactili

constituiţi dintr-un strat conductor suplu, a cărui rezistenţă variază în funcţie
de presiunea aplicată pe acesta.
Caracteristica esenţială a acestor dispozitive este structura compactă
a părţii conductoare. Materialele utilizate pentru stratul conductor sunt de
două tipuri:
 elastomeri (cauciuc natural sau sintetic) în care s-au înglobat
diverse particule conductoare (grafit, carbon activ, pulberi
metalice etc.);
 pâsle din fibre conductoare (fibre de carbon).
Principiul senzorului constă în creşterea rezistenţei materialului la
aplicarea presiunii prin modificarea densităţii contactelor între elementele
conductoare, deci a conductivităţii.
Dacă se plasează materialul între doi electrozi aflaţi sub o tensiune
oarecare V, curentul I ce traversează ansamblul creşte odată cu forţa de
apăsare pe el. Deci variaţia curentului I este o imagine a presiunii exercitate.
Problema conceperii unui senzor tactil utilizând unul sau altul dintre
materiale constă în discretizarea presiunii pe suprafaţa superioară, pentru a
evidenţia fie conductivitatea transversală (figura 10.19.a.), fie
conductivitatea longitudinală (figura 10.19.b) materialului conductor.
I1
I1
I2 I2
a) conductivitate transversală b) conductivitate longitudinală
Figura 10.19. Repartiţia liniilor de curent.
323
10.3.3.1 Senzor tactil tip “piele artificială” cu conductivitate

transversală
Elastomerul sau pâsla conductoare, metalizat pe o faţă, este plasat pe

un suport conductor pus la potenţialul masei în care sunt izolaţi mai mulţi
electrozi de măsură (figura 10.20). Suprafaţa metalizată este alimentată la o
sursă de tensiune. O parte a curentului creat prin modificarea rezistenţei
locale se pierde prin suportul conductor care prezintă o impedanţă mică în
raport cu electrozii. Curentul cules de la fiecare electrod, este prelucrat apoi
individual.
Metalizare
Element conductor
V
Po
Izolaţie Vo
Pa
-
P
Vo
Ieşiri +
Figura 10.20. Senzor tactil tip “piele artificială”
Această metodă de măsură individuală a curentului, prezintă

încovenientul unui sistem de prelucrare a semnalului foarte complicat (câte
un circuit pentru fiecare electrod).
O soluţie a acestei probleme o oferă varianta prezentată în figura
10.21. Aceasta este o structură matricială în cruce constituită din benzi
conductoare paralele (linii) pe o faţă şi alte benzi conductoare (coloane) pe
cealaltă faţă, orientate la 900. La un moment dat este alimentată o singură
linie.
324
Elastomer rezistiv Celulă activă
Conductoare
V
V
V
E V
V V
Figura 10.21. “Piele artificială” cu discretizare matricială şi retur de potenţial
Coloana de măsură este conectată la masă prin intermediul unei

rezistenţe parte a unui potenţiometru prin care se culege informaţia de
măsurare. Aceasta este legată la rezistenţa zonei conductoare situată la
intersecţia liniei de alimentare şi a coloanei de măsură. Aplicarea
potenţialului coloanei de măsură la toate celelalte linii şi coloane ale
dispozitivului evită intersecţia între diverse puncte tastate.
Prezenţa electrozilor pe suprafaţa superioară ce este în contact cu
presiunea de măsurat, poate conduce la degradarea performanţelor de
sensibilitate a senzorului.
Localizarea contactelor electrice pe o faţă, simplifică concepţia
senzorului, menţinându-i insă performanţele. Astfel, alimentarea se face
după un ansamblu de celule situate în linie urmărind o bandă a circuitului
conductor în care sunt izolaţi electrozii. Fiecare sistem de benzi sunt situate
în paralel. Electrozii situaţi pe o linie, adică perpendicular pe coloană sunt
legaţi între ei. Principiul de măsură constă în a alimenta fiecare linie
secvenţial, făcând un retur de potenţial al coloanei de măsurat spre liniile
neactivate.
10.3.3.2. Senzorul integrat tip “piele artificială”
Este un circuit integrat VLSI a cărui suprafaţă este acoperită de către

un material tip plastic conductor. Preluarea informaţiilor de variaţie a
rezistenţei se face prin evaluarea unui ansamblu de electrozi în directă
325
legătura cu circuitul integrat. Acest mod de operare permite ameliorarea

problemelor legate de limitarea numărului de intrări-ieşiri a circuitului.
Ansamblul traductor furnizează o matrice de puncte de măsură.
Tratarea acestor semnale se face prin intermediul unor operaţii simple între
fiecare electrod şi vecinul său, ca în cazul unui procesor de imagini. Se
poate chiar realiza recunoaşterea formei prin comparaţie cu un model
reprezentat printr-o mască preprogramată.
10.3.3.3. Senzor tactil cu elastomer tip plasă conductoare
Structura tip plasă conductoare utilizează un ansamblu de corzi din

cauciuc sau silicon conductor. Principiul constă în modificarea suprafeţei de
contact între doi electrozi, unul din elastomer conductor iar celălalt metalic,
supuşi unei presiuni. Variaţia rezistenţei obţinute este o funcţie de
logaritmul presiunii măsurate.
Senzorul matricial este practic realizat prin suprapunerea a mai
multor corzi paralele din elastomer conductor perpendicular peste un set de
corzi metalice (figura 10.22).
V
Vs
elastomer
metal
a) construcţie
b) principiu
Multiplexor V
m0
m1
m2
c) punere la masă
m3
Figura 10.22. Senzor tactil tip plasă conductoare

326
10.3.3.4. Senzor tactil cu magnetorezistenţe
Se compune din trei elemente principale:

 reţea de magnetorezistenţe din permaloy cu o rezistivitate de
aproximativ 17 ohmi/m şi o variaţie maximă a rezistenţei de 3%.
Magnetorezistenţele sunt dispuse în matrice, astfel încât accesul
la un element sa se facă prin adresarea unei linii şi a unei
coloane;
 sursă de câmp magnetic, reprezentată printr-un magnet
permanent (Vicalloy sau Cromindur) sub forma unei foiţe subţiri
de 25 micrometri;
 folie dintr-un polimer suplu, plasată intre cele două elemente de
mai sus (figura 10.23).
Principiul senzorului constă în a deforma foiţa din polimer cu scopul
deplasării dipolilor magnetului permanent spre reţeaua de
magnetorezistenţe.
Avantajul acestui senzor este faptul că poate măsura în acelaşi timp
atât forţa de contact cât şi cuplul de rotaţie în jurul normalei la suprafaţă.
Are o rezoluţie de 0,5 mm pentru o sensibilitate de 1-100 g /element.
Folie de magnet Obiect

permanent
Polimer
suplu
Magnetorezistenţe
Figura 10.23. Senzor tactil cu magnetorezistenţe
327
10.3.3.5. Senzor tactil cu termistoare
Principiul senzorului termic, constă în măsurarea diferenţei de

temperatură între un material de referinţă şi un obiect a cărui formă şi
proprietăţi termice de material se doresc a fi determinate. Sistemul este
realizat deasemenea din trei straturi (figura 10.24):
 un strat din material plastic (cauciuc sau silicon) a cărui formă şi
proprietăţi termice se măsoară (1);
 un strat din material de conductivitate termica cunoacută (2);
 reţea de termistoare (3).
Material necunoscut (1)
Material cunoscut (2)
T2
T1
Incălzirre
Figura 10.24 Senzor tactil cu termistoare
În absenţa materialului necunoscut (1), straturile (2) şi (3) sunt la

aceiaşi temperatură cunoscută, reglată din exterior prin încălzire. Prezenţa
unui obiect pe materialul (1), are ca efect variaţia temperaturii prin
conducţie şi ca urmare modificarea rezistenţei termistoarelor din stratul (2).
Deasemenea, viteza de variaţie a rezistenţei, este un indiciu al materialului
în contact.
10.3.4. Senzori de efort
Cuantificarea interacţiunii între robot şi piesa de manipulat, se

realizează cu senzori specifici, cunoscuţi sub denumirea de senzori de efort
328
şi care caracterizează punctul de contact dintre acestea. Din punct de vedere

fizic, contactul dintre două obiecte nu este niciodată punctual. Pentru
simplificarea raţionamentului în dezvoltarea acestor senzori, uzual se
consideră acest contact ca fiind o zonă cvasipunctuală.
Determinarea rezultantei forţelor de reacţiune dintre obiecte, în
această zonă, presupune precizarea punctului lor de aplicaţie şi determinarea
amplitudinii direcţiei şi sensului acestora.
10.3.4.1. Determinarea poziţiei punctului de contact
Vom considera cunoscută forţa de interacţiune F prin componentele

sale Fxo, Fyo, Fzo şi momentele lor corespunzătoare în raport cu cele trei
axe ale unui triedru de referinţă Ro (figura 10.25) legat de robot.
Y0
My0
F
Y0(P)
Fyo
P
X0(P) Mx0 X0
Z0(P)
Mz0
Z0
Figura 10.25. Forţele şi momentele ce însoţesc contactul a două obiecte
Legăturile dintre elementele ce caracterizează contactul sunt descrise

de ecuaţiile:
M x 0  Fz 0  Y0  Fy 0  Z 0
M y 0  Fx 0  Z 0  Fz 0  X 0 (10.1)
M z 0  Fy 0  X 0  Fx 0  Y0
respectiv:
329
Fx 0  M x 0  Fy 0  M y 0  Fz 0  M z 0  0 (10.2)
Aceasta înseamnă că nu se pot determina decât două coordonate ale

punctului de contact:
Fx 0  Y0 ( P)  M z 0
X 0 ( P)  (10.3)
FY 0
Fz 0  Y0 ( P)  M x 0
Z 0 ( P)  (10.4)
FY 0
10.3.4.2. Determinarea efortului între robot şi mediu
Interacţiunea robot-mediu se traduce practic prin legătura forţă-

poziţie, deoarece orice modificare cu dx a poziţiei punctului P solidar cu
obiectul de detectat, conduce la variaţia cu dF a forţei de reacţiune a acestuia
(figura 10.26).
Corp robot
Figura 10.26. Interacţiunea robot-mediu
Modul de determinare a diverselor componente ale sistemului

presupune urmărirea uneia dintre următoarele posibilităţi:
1. atingerea unei poziţii prestabilite (asamblarea a două piese, de
exemplu), prin evidenţierea deplasărilor în funcţie de eforturile
cunoscute, în scopul diminuării forţei de reacţiune sau a
componentelor sale normale la deplasare;
2. atingerea unei forţe prestabilite (polizare, uzinare etc.), prin
deducerea deplasărilor în funcţie de diferenţa dintre forţa căutată
şi cea reală.
330
Oricare ar fi modalitatea de abordare, punctul de plecare îl constitue

necesitatea cunoaşterii forţei de interacţiune dintre robot (mâna acestuia
echipată cu scula corespunzătoare procesului tehnologic) şi mediu (planul
de lucru sau un alt obiect vizat). În această direcţie, se poate proceda astfel:
1. se dotează mediul cu senzori adecvaţi (obiectul va fi dispus pe o
platformă echipată cu senzori);
2. se echipează mâna robotului cu un sistem senzorial specific;
3. se utilizează drept informaţie de efort variaţia semnalului de
excitaţie a diverselor sisteme de acţionare a articulaţiilor.
10.3.4.2.1. Senzorul de efort tip platformă senzorială WATSON-

DRAKE
Platforma tip WATSON-DRAKE se compune din trei secţiuni plan

paralele. Între secţiunea centrală şi cea superioară sunt dispuşi senzorii ce
permit determinarea componentelor verticale ale forţei iar între secţiunea
centrală şi cea inferioară cei ce permit determinarea componentelor
orizontale ale acesteia (figura 10.27).
Y
My
2
F
3
3
P
Mx X
4 
4 Mz 1
Z 1
Figura 10.27. Forţe de reacţiune între robot si obiect
Dacă vom presupune senzorii repartizaţi pe o platformă pătrată de

latură 2l şi vom nota cu i şi i forţele orizontale şi verticale măsurate,
componentele efortului dintre robot şi obiect vor fi date de relaţiile:
331
Fx   4   2 (10.5)
Fy   2   4  1   3 (10.6)
Fz   3  1 (10.7)
M x   4   3   1   2  l (10.8)
M y  1   2   3   4  l (10.9)
M z   4  1    3   2  l (10.10)
Coordonatele punctului P de contact între robot şi obiect vor rezulta

imediat:
YP  0
Mz
XP  (10.11)
Fy
Mx
ZP 
Fy
Vom considera ca exemplu utilizarea platformei WATSON pentru o

operaţie de introducere a unui cilindru într-un alezaj de toleranţă mică. Pe
platformă se dispune un receptor de geometrie şi orientare cunoscută (figura
10.28), dar a cărui poziţie necesită a fi determinată.
Corp robot
x
P
G
Figura 10.28. Determinarea poziţiei unui obiect pe o platformă WATSON
332
Senzorii specifici vor furniza informaţiile relative la cele 6

componente ale efortului Fx, Fy, Fz, Mx, My, Mz, cu ajutorul cărora se vor
deduce poziţiile proiecţiilor centrului de greutate:
Fx  Fz  0 (10.12)
Fy   2   4  1   3 (10.13)
M x   4   3   1   2  l (10.14)
My 0 (10.15)
M z   4  1    3   2  l (10.16)
l   4  1    3   2 
XG  (10.17)
 4  1   3   2
l   4   3   1   2 
XG  (10.18)
 4   3  1   2
Printr-un asemenea procedeu, robotul va sesiza obiectul, îl va aduce
la o altitudine convenabilă în vecinătatea alezajului, apoi prin mişcări de
translaţie şi de rotaţie repetate (în sensul conservării/anulării forţelor Fx, Fy,
sesizate de platformă), va determina intrarea acestuia.
Utilizarea senzorului montat pe mâna robotului
Dotarea obiectelor de detectat cu senzori este de cele mai multe ori o

soluţie impracticabilă. De aceia în mod frecvent se echipează mâna
robotului cu senzori care să poată înlocui platforma senzorială. Aceste
dispozitive se amplasează cât mai aproape de zona în care se exercită
eforturile, adică la nivelul articulaţiei mâinii (figura 10.29).
Scopul urmărit este măsurarea forţelor şi cuplurilor după trei axe
trirectangulare legate de mâna robotului. Articulaţia senzorială este deci o
structură ce comportă mai multe părţi deformabile, compliante după cele trei
axe la aplicarea efortului.
333
y
Articulaţie
senzorială
Corp robot
x
P
z
Figura 10.29. Măsurarea efortului utilizând articulaţia senzorială
Traductoarele efective de efort pot fi: mărci tensometrice,

traductoare piezoelectrice, magnetostrictive, inductive etc. Senzorii de efort
utilizaţi mai frecvent, sunt realizaţi pe baza mărcilor tensometrice (GROME,
GOTO, ROSEN, WATSON, BEJCZY etc.).
10.3.4.2.2. Senzorul GOTO
Este destinat operaţiilor de asamblare de precizie a obiectelor

cilindrice, utilizând fie complianţa activă, fie complianţa pasivă.
Aşa cum se poate vedea în figura 10.30, în complianţa activă (figura
10.30.a, b, c), robotul se deplasează în direcţia anulării eforturilor legate de
deformaţiile senzorului, ceia ce-i permite o orientare convenabilă operaţiei
de asamblare.
a) b) c) d)
Figura 10.30. Asamblarea utilizând complianţa activă sau pasivă
Utilizarea complianţei pasive (figura 10.30.d), constă în a profita de

deformaţiile elastice ale senzorului pentru a reuşi asamblarea chiar şi atunci
când direcţiile celor două componente ale procesului nu coincid.
334
10.3.4.2.3. Senzorul JET PROPULSION LABORATORY
Are o structură în cruce (figura 10.31), pe ale cărei braţe sunt dispuse
traductoarele tensometrice de efort. Întregul ansamblu este apoi solidarizat
cu un cilindru rigid. Dacă W1, W2,…, W8, sunt semnalele măsurate de
către aceste traductoare, într-un triedru legat de senzor, vom avea
următoarele legături:
Figura 10.31. Senzorul de efort JET PROPULSION LABORATORY
W1 
 Fx   0 0 a13 0 0 0 a17 0  W2 
 F  a 0  W3 
 y   21 0 0 0 0 a 25 0
 
 Fz   0 a32 0 a34 0 a36 0 a38  W4 
   (10.19)
M x   0 0 0 a 44 0 0 0 a48  W5 
 
 M y   0 a52 0 0 0 a56 0 0  W6 
   
 M z  a61 0 a63 0 a65 0 a67 0  W7 
 
W8 
unde aij sunt amplificările diferitelor punţi tensometrice de pe braţele

senzorului.
335
10.3.4.2.4. Senzorul STANFORD
Este în fapt un cilindru gol şi decupat în aşa fel încât să se poată

monta pe el diferite punţi tensometrice, care să furnizeze informaţiile
relative la forţe şi momente, după cele trei axe ale unui sistem
tridimensional (figura 10.32). Întregul ansamblu este plasat de obicei cu
degetul robotului.
4 sau 2 mărci tensometrice

ce oferă informaţii relative
la forţele din planul XOY
4 sau 2 mărci tensometrice

ce oferă informaţii relative
la forţele din planul XOZ
Figura 10.32. Senzorul STANFORD RESEARCH INSTITUTE
Utilizarea informaţiilor oferite de sistemele de acţionare
Dacă robotul este reversibil, orice forţă exercitată în aval asupra unei
articulaţii, va avea repercusiuni asupra cuplurilor motoare ale tuturor
articulaţiilor din amonte. Ca urmare, acestea vor crea cupluri oponente ce
vor tinde să le echilibreze efectul. Măsurarea variaţiilor acestor cupluri,
reprezintă o posibilitate de estimare a efortului. Metoda a fost introdusă în
diverse aplicaţii ce presupuneau asamblări de precizie. Ea prezintă avantajul
ca nu necesită senzori specializaţi. Determinarea efortului este însă afectată
de neomogenităţile inerţiale ale robotului, de sarcina sa, de repartiţia zonelor
elastice sau a frecărilor în articulaţii. Pentru aceasta, în proiectarea şi
utilizarea robotului se va avea în vedere fie o modelare fină a lui în
condiţiile reale, fie o compensare a erorilor de măsurare printr-o strategie
adecvată de utilizare.
336
10.4. Senzori şi traductoare fãrã contact cu obiectul vizat
În practica comenzii roboţilor industriali se are în vedere în vedere în

primul rînd rapiditatea de execuţie a diverselor operaţii, ceea ce are ca
rezultat deplasarea structurilor mecanice ale robotului cu viteze din ce în ce
mai mari. În aceste condiţii efectul dinamic al unui contact fizic între robot
şi obstacole sau obiecte de interes, riscă să deterioreze sistemul, ceea ce face
ca detecţia tactilă să fie ineficientă şi cunoaşterea “a priori” a poziţiei
elementelor din arealul robotului să fie absolut necesară.
Pentru îndeplinirea acestui deziderat se utilizează elemente sensibile
fără contact cu piesa de detectat sau senzori proximetrici. În acest fel se
poate cunoaşte din timp pericolul, în vederea luării deciziei de frînare a
robotului sau de schimbare a direcţiei acestuia.
Senzorii fără contact cu obiectul vizat utilizaţi în construcţia
roboţilor au la bază principii constructive şi de funcţionare de o largă
diversitate, precum: magnetice, capacitive, fotoelectrice, cu efect Hall, cu
ultrasunete, magnetorezistive, fluidice etc.
10.4.1. Senzori inductivi
Din această categorie, frecvent utilizaţi sunt două tipuri de astfel de

senzori, unul ce are la baza circuite magnetice şi celălalt măsurarea
curenţilor Foucault. Fiecare dintre ele însă pot fi realizate cu circuite unice,
duble sau multiple.
10.4.1.1 Senzorul cu circuite magnetice
Principiul care stă la baza acestor senzori de este măsurarea

inductanţei unei bobine cu miez magnetic. Inductanţa bobinei este sensibilă
la toate modificările circitului magnetic (figura 10.33).
Aceste variaţii de întrefier pot fi date fie de variaţia distanţei între
miez şi suprafaţa metalică de detectat, fie chiar de o modificare (un defect)
al acestei suprafeţe. Ca urmare acest element sensibil este utilizat în
construcţia roboţilor ca indicator de capăt de cursă sau de defect de
suprafaţă (în cazul roboţilor de sudură). În acest din urmă caz, elementele
337
sensibile bazate pe acest principiu, utilizează unul sau două circuite

magnetice.
B Fe
Intrefier
Aer
Flux
Figura 10.33. Principiul senzorului magnetic
10.4.1.1.1. Senzor magnetic cu circuit unic
Exemplul cel mai întîlnit în componenţa roboţilor industriali este

senzorul ZENTAL (figura 10.34) în care sistemul este antrenat într-o
mişcare de baleiaj în plan transversal faţă de suprafaţa de cercetat.
Prin interpretarea variaţiei de tensiune diferenţială măsurată într-o
înfăşurare realizată pe cele două braţe ale circuitului magnetic, se poate
localiza orice denivelare a suprafeţei de cercetat, precum şi lărgimea
acesteia.
Ud
Excitaţie (50Hz)
Mişcare
transversală
Ud
d
Figura 10.34. Senzorul ZENTAL
338
10.4.1.1.2. Senzori magnetici cu două circuite
Senzorul MESSER GRIESHEIM
Cuprinde un generator de cîmp magnetic alimentat prin intermediul a

două bobine B1 şi B2 (figura 10.35). Cele două capete de citire T1 şi T2,
situate de o parte şi de alta a denivelării suprafeţei de explorat, permit
localizarea acesteia printr-o măsurare diferenţială. Acest tip de senzor este
mai ales apt de a detecta denivelări înguste de ordinul 0.05 mm şi este
aplicabil şi metalelor neferomagnetice (Cu, Al).
B1 T2 B2
T1
Receptori
Figura 10.35. Senzorul MESSER GRIESHEIM
Senzorul VALLOUREC
Senzorul Vallourec reprezentat în figura 10.36 cuprinde două sonde

identice avînd fiecare un cap de detecţie de mică dimensiune.
Oscilator Măsură diferenţială

Măsurare diferenţială
E1 D1 E2 D2
E1 E2 Infăşurări de excitaţie
D1 D2 Infăşurări de detecţie
Figura 10.36. Senzorul VALOUREC

339
Acesta are între altele şi posibilitatea de a măsura reluctanţa, ceea ce

face ca semnalul de ieşire să varieze în funcţie de permeabilitatea magnetică
a mediului din imediata vecinătate a capetelor de detecţie. O măsurare
diferenţială permite localizarea denivelării sau fantei situate între cele două
sonde cu o precizie de centrare de ordinul 0.5 mm.
10.4.1.1.3. Senzorul magnetic cu circuite mutiple
Sunt asociaţii de elemente sensibile cu circuit unic ce permit

detectarea simultană atît a poziţiei şi dimensiunilor unor denivelări sau
fante, cît şi a braţului robotului (dispozitivului de prehensiune) în raport cu
obiectul de manipulat. Pentru aceasta o pereche de senzori sînt utilizaţi
pentru detectarea fantei, iar o altă pereche, situată la exteriorul celei dintîi,
permite determinarea distanţei între “mâna” robotului şi obiect, cît şi
orientarea sa în planul transversal al fantei.
10.4.1.2 Sezorul cu curenţi FOUCAULT
Este unul din cei mai utilizaţi senzori de proximitate. Elementul

esenţial al acestui senzor este o bobină de inducţie în general realizată pe un
miez magnetic din ferită, pentru a lucra în înaltă frecvenţă (câţiva kHz la
cîteva sute de kHz). Ca urmare, bobina este excitată de un curent sinusoidal
de înaltă frecvenţă ce produce un flux magnetic de înaltă frecvenţă în jurul
acesteia (figura 10.37.a).
Bobina
Bobina
ii22 RR1 ii11
G LL2 1
G RR2 LL
1 ee11
2 2 1
Tinta
Tinta
b)
a)
Figura 10.37. Principiul senzorului cu curenţi FOUCAULT
Dacă un material conductor se apropie de una din extremităţile

bobinei, în aceasta iau naştere curenţi Foucault ce crează o inducţie de sens
340
contrar inducţiei bobinei. Ca urmare senzorul este sensibil la toate obiectele

metalice sau metalizate, dar răspunsul său depinde nu numai de distanţa de
măsurat ci şi de proprietăţile fizice (rezistivitate, permeabilitate) şi
caracteristicile sale geometrice. Curenţii induşi creaţi de fluxul magnetic
oponent, tind să reducă inductanţa bobinei. Un circuit de măsură a acestei
inductanţe va produce o ieşire proporţională cu curenţii Foucault induşi.
Aceşti senzori pot fi utilizaţi pentru măsurarea distanţei până la o suprafaţă
metalizată, sau pentru localizarea unei fante. O teorie simplificată de
funcţionare a acestui tip de senzor poate fi stabilită reducînd obiectul
metalic la un circuit cu constante localizate cuplat mutual cu bobina de
excitaţie (figura 10.36.b).
Dacă se notează: Z1=R1+jL1, Z2=R2+jL2, M=k L1  L2 ,
impedanţa proprie a bobinei, impedanţa echivalentă a obiectului, respectiv
inductanţa mutuală dintre acestea, se deduce:
 M 2  2  M 2  2 
 1
R   R  j    
 L   L2   i1  e1 (10.20)
R2  L2   R2  L2  
2 2 2 2 1 2 2 2
  
unde k este coeficientul de cuplaj între bobină şi obiect, dependent de
poziţia relativă dintre acestea.
10.4.1.2.1. Senzor cu curenţi Foucault-circuit unic
Pentru a utiliza un singur circuit de excitaţie, senzorul este asociat cu

un dispozitiv mecanic de baleiaj ce permite explorarea suprafeţei unde se
află acesta. Mişcarea de baleiaj a bobinei şi curenţii Foucault din zona fantei
permit localizarea acesteia din urmă pe baza analizei semnalului din bobină.
Deoarece senzorul este situat deasupra defectului (fantei) prezenţa acestuia
se traduce prin diminuarea curenţilor Foucault în această zonă (figura
10.38).
Se poate astfel aprecia simultan distanţa dintre senzor şi piesă, prin
nivelul tensiunii continuie Vc , poziţia mijlocului fantei prin măsurarea lui
Vm şi lărgimea fantei printr-o derivare a semnalului ieşit din senzor. În
această situaţie, trecerea prin zero a semnalului derivat va marca mijlocul
341
defectului, iar frontierele acestuia marginile. În practică însă mişcarea de

baleiaj a captorului prezintă inconvenientul că poate fi sediul unor vibraţii.
Senzor Mişcare
Foucault de baleaj
d
A B
VC
c baleaj
Vref
A B
Vm
Figura 10.38. Senzor Foucault cu circuit unic
10.4.1.2.2. Senzor cu curenţi Foucault-circuit dublu
Tot pentru eliminarea mişcării de baleaj şi furnizarea directă a

semnalului diferenţial se recurge la o măsurare pe ieşirile a două bobine
între care se află defectul (figura 39). Dacă acest semnal este nul calajul este
realizat pe mijlocul fantei. Variante ale acestui tip de senzor au fost
dezvoltate de către firmele MATERIALDATA/AB, CEA/UGRA, FIAT,
HITACHI, UNIWELD, MITSUBISHI.
Majoritatea lor recurg la acest procedeu pentru poziţionarea
robotului în raport cu bisectoarea unghiului format între diverse laturi ale
piesei de prelucrat (figura 10.40). Calajul se realizează dacă distanţele d1 şi
d2 sunt egale.
342
B1 B2 B1 B2 B1 B2 Braţ robot
A B C
A B1-B2 Senzor 2
B d2
C
Senzor 1
Ex.IF
Ud
2 d1
Figura 10.39. Senzor Foucault cu circuit dublu Figura 10.40. Proximetru în unghi
10.4.1.2.3. Senzor cu curenţi Foucault-circuite multiple
Este evident că odată cu utilizarea mai multor circuite se pot

determina şi alte mărimi (înălţimea, orientarea etc.) senzorului în raport cu
obiectul de interes pentru robot. Pentru a înlătura ambiguităţile de
interpretare, de obicei se separă măsurările făcute cu diferite bobine.
Astfel senzorul din figura 10.41.a cuprinde două bobine centrale B1
şi B2 pentru detecţia defectului şi o bobină exterioară B3 pentru măsurarea
distanţei. Cel reprezentat în figura 10.41.b cuprinde 4 bobine permiţând
poziţionarea defectului (B1-B2) distanţa medie între senzor şi obiect (B2-B3),
şi orientarea senzorului în raport cu normala (B3-B4).
Variante ale acestui senzor permit determinarea şi a altor parametri
ai procesului (lăţimea fantei, releveul acesteia etc).
B1
B3
B4 B3
  d1
B2 d2 B1 B2
a) b)
Figura 10.41. Senzor Foucault cu circuite multiple

343
10.4.2. Senzorul cu efect Hall
Efectul Hall se manifestă prin apariţia unei diferenţe de potenţial VH

perpendicular pe liniile de curent ale unui conductor plasat într-un cîmp de
inducţie B (figura 10.42). Tensiunea Hall depinde de direcţia şi valoarea lui
B şi este consecinţa forţelor Laplace ce se exercită asupra sarcinilor electrice
în mişcare.
I
e
l
y
x LL
x I I
Figura 10.42. Senzorul Hall
Senzorul Hall este constituit dintr-o sondă semiconductoare parcursă

de un curent la bornele căreia este măsurată tensiunea Hall şi dintr-un
magnet permanent ce produce un cîmp de inducţie B a cărei valoare pe
sondă depinde de poziţia sa.
Unul din elemente, sonda sau magnetul permanent este fix, iar
celălalt legat la obiectul mobil. Pentru a reduce problemele inerente legate
de circuite electrice în mişcare ce pot fi sediul unor semnale de nivel mic, de
obicei sonda este cea fixă. În acest caz pentru a nu perturba mişcarea
obiectului, masa magnetului permanent trebuie să fie relativ mică,ceea ce
limitează plaja în care inducţia este măsurabilă şi limitează domeniul de
măsurare.
Interesul pentru acest senzor este că permite măsurarea poziţiei sau a
deplasării unui obiect situat dincolo de un perete feromagnetic. Tensiunea
furnizată de sonda Hall are forma:
I  BN I  BN
VH   kH  (10.21)
qne e
344
unde q  1,6 10 19 C este sarcina electronului, n este densitatea electronilor,
e este grosimea sondei, I curentul prin sondă, BN inducţia normală pe planul
sondei.
Constanta Hall kH, este dependentă de temperatură până la valori de
ordinul 1 % / 0 C , ceea ce face ca acest senzor să nu poată fi folosit decât în
medii cu temperatură constantă, compensarea erorilor fiind destul de
complicată. Măsurandul la care este direct sensibil senzorul de proximitate
este componenta normală a inducţiei magnetice. Sensibilitatea
corespunzătoare este:
dVH k H  I
S BN   (10.22)
dBN e
Dacă elementul Hall este utilizat ca un senzor de poziţie, magnetul

permanent care crează inducţia constituie un corp de probă primar, poziţia
sau deplasarea modificând măsurandul secundar care este BN, şi ca urmare
sensibilitatea traductorului este:
dV H k H  I dB N dB
Sx     S BN  N (10.23)
dx e dx dx
Sensibilitatea la poziţie a senzorului Hall de proximitate este deci
proporţională cu gradientul inducţiei normale, gradient ce depinde de natura
magnetului şi de poziţia lui în raport cu sonda.
Se obţin în mod curent sensibilităţi de 5-15 mV/mT iar după
amplificare în prezenţa unei tensiuni de decalaj: 0,2-15 V/mm, pentru o
plajă de măsurat de ordinul  1mm şi o liniaritate mai bună de 1,5% din
intervalul de măsurare. Senzorul de proximitate cu efect Hall în asociaţie cu
un Trigger-Schmitt se integrează ca detector de proximitate.
10.4.3. Senzorul magnetorezistiv
Se bazează pe o rezistenţă a cărei valoare depinde de inducţia

magnetică în care este plasată, determinarea poziţiei făcându-se indirect prin
dependenţa de aceasta a inducţiei magnetice. Cercetările referitoare la
utilizarea magnetorezistenţei ca senzor de proximitate, evidenţiază faptul că
se poate obţine o relaţie liniară între variaţia de rezistenţă şi deplasare dacă
345
aceasta este adusă progresiv dintr-o regiune de inducţie nulă într-o regiune
de inducţie B uniformă prin deplasarea paralel cu curentul ce o traversează
(figura 10.42).
Rezistenţa R a senzorului este în acest caz suma dintre rezistenţa
R1(B) a părţii supusă inducţiei B şi rezistenţa R2(0) nesupusă inducţiei:
R1  R1 ( B)  R1 (0) (10.24)
şi utilizând notaţiile din figura 10.42:
B I
Regiune de
inducţie
Vm
Direcţia x
l
mişcării
Figura 10.42. Utilizarea magnetorezistenţei ca senzor de proximitate
x 1 x
R1 ( B)   ( B)  , R2 (0)   (0)  (10.25)
e L e L
se obţine:
 x   ( B)  (1  x)   (0)
1
R( x)  (10.26)
e L
Rezistenţa fiind alimentată cu un curent I constant, variaţia dVm a
tensiunii la bornele sale este proporţională cu dx:
  ( B)   (0)
1
dVm  I  dR  (10.27)
e L
unde ρ(B), ρ(0) sunt respectiv, rezistivităţile la inducţia B şi la inducţia nulă.
Influenţa temperaturii este redusă la minimum prin utilizarea unei punţi
Wheatstone cu ajutorul a patru magnetorezistenţe plasate de aşa natură încât
variaţiile lor să fie egale şi opuse.
346
Cu magnetorezistenţele obişnuite de 550 Ω şi la o inducţie de

aproximativ 1,2 T se obţine o sensibilitate de 8,8 V/mm, pentru un interval
de măsurare de ±0,5 mm şi o liniaritate de 0,7%.
10.4.4. Senzori de proximitate capacitivi
Capul de măsură este format dintr-un conductor cilindric şi o

anvelopă metalică coaxială realizând un condensator de capacitate fixă C1.
Dacă obiectul de detectat se apropie de extremitatea conductoarelor
precedente, formează împreună cu acestea alte două condensatoare( figura
10.43):
 unul având o armătură, suprafaţa extremă a conductorului central
şi obiectul situat la distanţa x, ce are capacitatea direct dependentă
de x, C(x);
 celălalt este un condensator parazit format între anvelopa
exterioară şi obiect, de capacitate Cp(x).
Tinta
A A
C1
Cp(x)
B C1
Cx C(x)
B
Cp(x)
Figura 10.43. Senzor capacitiv de proximitate
Capacitatea Cm se modifică în prezenţa obiectului:

C ( x)  C p ( x)
Cm  C1  (10.28)
C ( x)  C p ( x)
Măsurarea acestei capacităţi se poate efectua cu ajutorul unei punţi

sau prin metode de deviaţie. O exemplificare a măsurării prin metoda punţii
este prezentată în figura 10.44.
347
Ce R
Vm es
C(x) C1
R
Ţinta Cp(x)
Figura 10.44. Punte asociată unui senzor capacitiv
Dacă obiectul şi anvelopa exterioară a senzorului sunt conectate la

masă, capacitatea Cp(x) poate fi scurtcircuitată, realizându-se astfel:
Cm  C1  C ( x) (10.29)
Tensiunea de dezechilibru a punţii, dependentă de deplasare este:

es C e  C m
Vm   (10.30)
2 Ce  C m
Ce fiind capacitatea condensatorului de echilibrare.

Dacă deplasarea se efectuează în jurul unei poziţii D0 avem:
k
x  D0  d şi Cm  C1  (10.31)
D0  d
şi tensiunea de dezichilibru corespunzătoare unei delasări d este:

es 1 d
Vm   C0   (10.32)
4 d d D0
C0 (1  )  C0 (1  )
D0 2 D0
Acest tip de senzor este interesant deoarece furnizează un răspuns

indiferent de metalul din care este confecţionată ţinta cu condiţia ca
suprafaţa acestuia să fie curată.
10.4.5. Senzori optici
Elementele sensibile optice de proximitate au căpătat o mare

dezvoltare în ultimul timp deoarece ele lucrează la distanţă de obiectul de
348
detectat şi ca urmare nu complică mult braţul robotului în locul limitat în

care acesta efectuează diverse operaţii. De aceea numeroase laboratoare de
cercetare au dezvoltat o varietate imensă de senzori bazate pe utilizarea fie a
luminii policromatice fie a celei monocromatice, dar mai ales a laserelor.
Funcţionarea unui senzor de proximitate optic constă în punerea în
evidenţă a prezenţei sau a formei unui obiect prin detectarea acestuia într-un
volum limitat sau prin sesizarea întreruperii de către acesta a unui fascicul
luminos. Pentru aceasta un emitator de lumină constituit dintr-un LED,
lampă cu incandescenţă sau laser generează un fascicul luminos ce este
recepţionat după reflexia de obiectul de detectat de către o fotodiodă,
fototranzistor sau celulă fotovoltaică.
10.4.5.1. Detecţia proximetrică
În cazul detecţiei proximetrice receptorul analizează energia

reflectată de obiect într-o zonă particulară situată pe axa fasciculului
incident. Emiţătorul şi receptorul se găsesc deci unul în apropierea celuilalt
(figura 10.45), zona activă fiind cu atât mai importantă şi informaţia asupra
localizării obiectului va fi mai fină cu cât distanţa dintre ele va fi mai mică.
Emiţător Fascicol incident
Zona de detecţie
Receptor
Fascicol reflectat
Figura 10.45. Principiul detecţiei proximetrice
10.4.5.2. Detecţia de trecere
Sistemul de detecţie de trecere asigură punerea în evidenţă a unui

obiect prin întreruperea variaţiei fascicolului luminos incident. Se cunoasc
două sisteme disponibile:
349
 sistemul baraj - când emiţătorul şi receptoul sunt situate de o

parte şi de altă parte a liniei optice. Această tehnică asigură
detecţia unor obiecte de dimensiuni mari;
 sistemul reflex - ce utilizează pe lângă emiţător şi receptor un
reflector. Principiul constă în realizarea detecţiei proximetrice a
unui obiect cunoascut reprezentat de reflector şi detecţia
obiectului necunoscut prin analiza comparativă a întreruperii
fascicolului reflectat.
10.4.5.3. Detectorul optic în cuadratură (cuadrantul)
Dispozitivul cuprinde patru diode cu catodul comun (figura 10.46) a

căror anozi sînt independenţi, fiecare acoperind suprafaţa unui cuadrant.
Intercepţia fascicolului luminos de către celula determinată de fiecare
cuadrant de suprafaţă SA, SB, SC, SD, şi curentul dat de fiecare diodă este
proporţional cu suprafaţa:
Sd 0  S A S  S
IA  , I B  d 0 B etc. (10.33)
S0 S0
unde Sd este sensibilitatea diodei, Φ0 fluxul fascicolului incident, S0

secţiunea fasciculului:
S0  S A  S B  SC  S D (10.34)
Se poate verifica imediat că poziţionarea fascicolului dat este

determinată unic:
 după axa x de valorile ariilor SA+SD sau SB+SC adică de curenţii
IA+ID sau IB+IC;
 după axa y de ariile SA+SB sau SC+SD adică de curenţii IA+IB sau
IC+ID.
Cum în mod inevitabil fascicolul luminos în general de secţiune
circulară este uşor excentric faţă de detector, coordonatele acestuia vor fi
date de:
 abcisa x0, de evaluarea (SA+SD)-(SB+SC) adică a curenţilor
(IA+ID)-(IB+IC);
350
 ordonata y0, de evaluarea (SA+SB)-(SC+SD) adică a curenţilor

(IA+IB)-(IC+ID).
y y Fascicol
A B C D luminos
B A SB SA
x SC SD x
C D Catozi
a) b) c)
Figura 10.46. Detectorul optic în cuadratură
Ca urmare în urma unui calcul electronic al curenţilor mai sus

menţionaţi se determină cu precizie poziţia centrului fascicolului
independentă de sensibilitatea Sd a fotodiodelor:
(S A  S D )  (S B  SC ) ( I A  I D )  ( I B  I C )
k  x0   (10.35)
S A  S B  SC  S D ) I A  I B  IC  I D )
(S A  S B )  (SC  S D ) ( I A  I B )  ( I C  I D )
k  y0   (10.36)
S A  S B  SC  S D ) I A  I B  IC  I D )
unde k este constanta determinată experimental a senzorului.
10.4.5.4. Fotodioda cu efect lateral
Ca şi diodele fotoelectrice clasice, fotodioda cu efect lateral, are o

zonă extinsă cuprinsă între două regiuni n şi p polarizate invers.
Prin efect fotoelectric, lumina incidentă crează în această zonă
separarea de către câmpul electric, a perechilor electron-gol, dirijând
electronii spre regiunea n şi golurile spre regiunea p (figura 10.47). Din
punct de vedere constructiv, ea dispune de 4 electrozi, câte doi pentru
fiecare regiune, echipotenţiali, X1, X2, respectiv Y1, Y2 plasaţi pe direcţii
perpendiculare.
351
Raza de
X1 lumină X2
(P) Ix1 Ix2
goluri
electroni
x1 x2
(N)
Y1
Figura 10.47. Fotodioda cu efect lateral
Regiunile n şi p fiind pur ohmice, curentul fotoelectric colectat prin

fiecare dintre ele se repartizează între electrozii echipotenţiali ai perechilor
respective (X1, X2) sau (Y1, Y2), astfel încât căderile lor de tensiune să fie
identice:
I ( x1 )  x1  I ( x2 )  x2 , I ( y1 )  y1  I ( y2 )  y2 (10.37)
x1, x2 şi y1, y2 fiind distanţele punctului de impact al fascicolului luminos în

raport cu X1, X2, Y1, Y2. Se pune imediat în evidenţă schema echivalentă a
fiecărei regiuni conductoare n şi p sub forma unui portenţiometru al cărui
cursor este poziţionat de fascicolul luminos şi alimentat printr-o sursă de
curent constant corespunzătoare curentului fotoelectric.
Dacă reperul impactului (x0, y0) al fascicolului luminos din sistemul
de axe rectangulare al cărui origine este 0 este în centrul diodei şi dacă axa
ox este perpendiculară la X1, X2, iar axa oy este perpendiculară la Y1, Y2:
x1  a  x0 , x2  a  x0 ; y1  a  y0 , y2  a  y0 (10.38)
Tinând cont de relaţia 10.37, rezultă:

I ( x1 )  I ( x2 ) I ( y1 )  I ( y2 )
 k  x0 ,  k  y0 (10.39)
I ( x1 )  I ( x2 ) I ( y1 )  I ( y2 )
După un calcul electronic simplu se obţin coordonatele de impact ale

fascicolului luminos, ce permit centrarea braţului robotului în raport cu un
anumit reper dat.
352
De aceea senzorii de proximitate optici sunt de cele mai multe ori

integraţi dispozitivului de prindere al robotului. În aceste condiţii, este
necesară o dispunere a fotoelementelor astfel încât să se poată studia în
volum zona de acţiune a senzorului. În figura 10.48 este prezentată o astfel
de realizare dezvoltată de JET PROPULSION LABORATORY ce permite
exploararea a 13 zone.
Recepţie Emisie
Figura 10.48. Senzor optic complex JET PROPULSION LABORATORY
353
10.4.5.5 Camere de luat vederi
Cele mai moderne sisteme de analiză a arealului în care evoluează

robotul sunt cele bazate pe camere de luat vederi. Ele pot fi active sau
pasive. În realitate numai senzorii 3D sunt sau pot fi activi. Captorii de
imagini sunt deci sisteme ce convertesc imaginea formată de un spot de
radiaţii (luminoase, ultrasonore, X etc.) într-un semnal electric exploatabil
prin dispozitive de tratament adecvate.
10.4.5.5.1 Sisteme de viziune 2D
Viziunea 2D este cea obţinută prin intermediul vederii unice

furnizând o imagine plană a scenei observate. Pentru piesele de mică
dimensiune se poate utiliza o cameră unică cu post fix, iar dacă piesa este
mai mare se vor utiliza mai multe camere situate în diverse locuri legate de
punctele unde se doreşte un recalaj de traiectorie. Sistemele de viziune
actual existente pe piaţă sunt de tipul cu mai multe camere. O altă soluţie
constă în situarea camerei de luat vederi pe însăşi robotul în cauză, situaţia
în care trebuie să se aibă în vedere precizia sa şi aportul acesteia la precizia
globală a sistemului.
10.4.5.5.2. Sisteme de viziune selectivă
Sistemele de viziune selective sunt sensibile numai la o anumită

parte a radiaţiei luminoase. Pentru aceasta în faţa obiectivului camerei este
plasat un filtru interferenţial care nu este sensibil decât la lungimea de undă
corespunzătoare acestuia.
În general se utilizează o iluminare laser pentru formarea unui plan
luminos care intercepteaază obiectele de dectat (figura 10.49).
Astfel că o cameră poate fi asociată mai multor lasere pentru
reperarea diverselor detalii sau puncte ale piesei. Decalajul unghiular între
sursa emiţătoare şi axa camerei permite ca prin metoda triangulaţiei să se
obţină informaţii de distanţă între diversele repere.
354
Laser
CD
Lentilă
Braţul
robotului
Figura 10.49. Sistem de viziune selectivă
Variante îmbunătăţite ale acestui sistem sunt dezvoltate de

AUTOMATIX şi GENERAL MOTORS. De obicei, acestea utilizează fie o
sursă de radiaţie suplimentară policromatică, fie două camere digitale CD şi
sursă laser protejată, pentru realizarea percepţiei 3D (figura 10.50).
CD
CD
Braţul
robotului
Figura 10.50. Sistem de percepţie 3D
355
10.4.5.5.3 Senzori şi camere de luat vederi în infraroşu
Sunt specifici roboţilor de sudură şi de manipulare a lingourilor

incandescente în turnătorii şi metalurgia feroasă şi neferoasă. Relevarea
temperaturilor şi energiilor în gama infraroşu din proximitatea arcului sau a
piesei incandescente este dată în figura 10.51. În funcţie de modul de
acţiune al senzorului de infraroşu aceştia pot fi cu măsurare punctuală,
liniară sau de suprafaţă.
a) Măsurarea punctuală
În această situaţie senzorii de infraroşu măsoară temperatura a două

zone a piesei de studiat situate de o parte şi de alta a fantei.
Figura 10.51. Relevarea de temperatură în proximitatea efectorului
Un asemenea senzor realizat de GENERAL ELECTRIC permite

urmărirea fantei plecând de la o măsurare diferenţială. Diferenţa măsurilor
furnizate de cei doi senzori în infraroşu, (V1-V2) oferă informaţii asupra
calării robotului pe fantă iar suma acestora, (V1+V2) asigură controlul
penetrării cordonului.
b) Ridicarea profilului termic
Analiza distribuţiei temperaturii pe piesa asupra căreia se acţionează

permite măsurarea dimensiunilor băii. Acest procedeu a fost pus în aplicare
de WELDING INSTITUTE Canada.
356
Un fascicul de fibre optice transmit semnalele până la matricea de

captori în infraroşu (figura 10.52). Pentru fiecare senzor elementar este
asociată o fibră optică, pentru a obţine o imagine simplificată şi permiţând
prelucrarea rapidă a informaţiei. O variantă a acestui senzor utilizează de
asemenea, profilul termic al piesei dar în asociaţie cu o mişcare de baleaj
sau de citire termică în linie.
Firma GENERAL ELECTRIC dezvoltă pe acest principiu senzori în
infraroşu complexi ce furnizează atât informaţii relative la profilul termic
cât şi la calitatea acesteia.
A A/D μC
Fibre
optice Detector IR
Afişare
Braţ
Cap robot
optic
Fantă
Figura 10.52. Traductor proximetric WELDING INSTITUTE
c) Imagerie 2D în infraroşu
Analiza distribuţiei temperaturii în piese, cu camere în infraroşu

permite localizarea acestora, a fantelor în acestea şi a altor parametri ce
interesează pentru o anumită aplicaţie.
Analiza formei izotermelor conduce la detectarea unei anumite fante
dar şi la evidenţierea deformării acesteia în timp. Se obţin astfel rezultatele
încurajatoare: distanţa de măsurare 50 mm, pentru timpi de exploatare
compatibili cu aplicaţiile în timp real ale robotului. O astfel de metodă este
357
aplicată în recunoaşterea obiectelor dar mai ales a modificărilor acestora, a

poziţiei lor memorate de către robot.
10.4.5.5.4 Senzori bazaţi pe măsurarea intensităţii luminoase

generată de piesa de manipulat
Aceşti senzori utilizează măsurarea intensităţii luminoase provenită

direct de la piesa asupra căreea se acţionează (piese sudate, lingouri metalice
incandescente etc.). În numeroase cazuri lumina provenită de la acestea nu
este suficientă şi ca urmare se adaugă o iluminare suplimentare (de tip
impuls sau laser).
Pentru cazul în care lumina provenită de la piesa incandescentă este
suficientă (la sudura cu arc), este cunoscut senzorul MESSER GRIESHEIM,
plasat direct pe organul de acţiune al robotului şi care măsoară intensitatea
luminoasă a arcului cu ajutorul a două captoare de lumină plasate de o parte
şi de alta a electrodului în planul transversal al fantei (figura 10.53).
Corp
Senzor
optic Senzor
optic
Ghidaj
Electrod Fantă
Figura 10.53. Măsurare optică a proximităţii MESSER GRIESHEIM
Măsurarea diferenţială a intensităţii luminoase, furnizează informaţii

atât referitoare la poziţia fantei cât şi la distanţa organului de lucru în raport
cu aceasta. Dificultatea de măsurare constă în faptul că nu se poate face
discriminarea între lumina reflectată şi cea retrodifuzată, prin urmarea
măsurarea este globală.
358
Sisteme de măsurare evoluate, dar pornind de la acelaşi principiu

sunt dezvoltate de către GENERAL ELECTRIC, DREWS/STARKE,
WELDVISION etc.
În figura 10.54 se prezintă ca exemplu schiţa unui senzor
DREWS/STARKE ce utlizează ca suprafaţă sensibilă o linie de fotodiode
care vizualizează suprafaţa fantei iluminată de o sursă externă. Analiza
semnalului primit, permite atât localizarea fantei cât şi modificările acesteia
prin comparaţie cu una standard. Cu o prelucrare adecvată, această analiză
poate deasemenea oferi informaţii multiple ce vizează dimensiunile spaţiale
ale piesei, calitatea suprafeţelor acestora sau prezenţa unor incluziuni,
poziţia spaţială a efectorului în raport cu ea etc.
Diafragmă
reglabilă
Sistem optic Fotodiode

în linie
Cap palpator
Sursă de lumină
oscilant Sursă de lumină
Fotoconductor
Fotoconductor
Figura 10.54. Proximetru optic DREWS/STARKE
10.4.6. Elemente sensibile şi traductoare ultrasonore
Senzorii ultrasonori asigură determinarea distanţei unui element în

arealul robotului prin măsurarea timpului de parcurs a unei unde acustice.
Termenul de ultrasonor este legat de frecvenţa acestor unde (megaherţi
pentru aparatele clasice, gigaherţi pentru microscoapele ultrasonore).
359
Undele ultrasonore se propagă într-un fluid cu o viteză dată de

relaţia:
1
 c  P 2
   p  (10.40)
 R 
unde:
 cp este raportul căldurilor masice;
 P presiunea medie;
 R masa volumică a fluidului.
În cazul emisiei acustice în aer, viteza de propagare a undei este:
1
 T 2
  331,4  (10.41)
 273 
sau utilizând o relaţie aproximativă între -30 şi +30 0C:
  331,4  0,607  (10.42)
unde  este temperatura în 0C.

Viteza de propagare a undelor ultrasonore şi deci posibilitatea lor de
a se reflecta, depinde deci atât de natura mediului în care se propagă cât şi
de temperatura acestuia.
Senzorii proximetrici ultrasonori sunt mai puţin utilizaţi în robotică,
datorită dificultăţilor în prelucrarea semnalului, dar măsurările ultrasonore
fac obiectul unor numeroase cercetări datorită avantajului acestora faţă de
senzorii optici, în privinţa iluminării directe şi suplimentare şi erorilor ce
decurg de aici. Se cunosc deja realizări remarcabile, mai ales în domeniul
cercetărilor pentru roboţi mobili autonomi cu utilizare în domeniul social-
administrativ.
10.4.7. Senzori fluidici
Principial, aceşti senzori oferă posibilitatea măsurării proximetrice

prin măsurarea presiunii unui fluid (aer comprimat) dirijat spre ţinta în
360
cauză. Reglarea distanţei între ţintă şi proiectorul gazos se face funcţie de

debitul măsurat (figura 10.55.a).
Senzorul descris în figura 10.55.b permite evaluarea proximetrică a
unei fante în V prin măsurarea diferenţială a presiunilor pe cele două
proiectoare dirijate spre flancurile fantei.
Braţ
Alim
aer
Măsură Control
presiune prox. Alim
aer +măs.
Braţ
Jet 1 Jet 2
Jet aer
a) b)
Figura 10.54. Măsurarea şi reglarea proximetrică cu senzor fluidic
Acest sistem este capabil să măsoare şi distanţa până la o fantă

dreptunghiulară, precum şi dimensiunile acesteia, prin măsurarea
diferenţială a presiunilor pe cele două elemente ale captatorului menţinute în
preajma piesei printr-un dispozitiv cu aer sub presiune.
Senzorii fluidici sunt mai puţin utilizaţi în ultimul timp în robotică
datorită dificultăţilor tehnologice pentru a obţine precizia cerută. În plus
jetul gazos poate perturba mediul în care evoluează robotul.
10.4.8. Sensori proximetrici bazaţi pe măsurarea lungimii arcului
Sunt specifici roboţilor de sudură. Principiul acestor senzori constă

în măsurarea pe care electrică a lungimii arcului în raport cu suprafaţa de
referinţă. Determinarea lungimii arcului se face prin intermedul unor
măsurări de curent şi tensiune. Dacă sursa de curent utilizată este cu
caracteristică verticală, tensiunea este direct legată de lungimea arcului prin
relaţia:
361
U  Ua Uc  k  l (10.43)
unde: U - este tensiunea arcului, Ua - căderea de tensiune anodică, Uc -

căderea de tensiune catodică, l - lungimea arcului, k - coeficient dependent
de tipul operaţiei. În condiţii bine determinate de natura electrozilor, a
gazului, a debitului acestuia şi a curentului I, această caracteristică este
liniară de forma:
U  a  bl (10.44)
cu a şi b constante.
Pentru sursele cu caracteristică orizontală (tensiune constantă),
măsurarea curentului este direct legată de lungimea arcului.
Deoarece există numeroase surse ce fac ca, fie lungimea arcului, fie
intensitate curentului să varieze, este necesară o măsurare diferenţială. Acest
procedeu constă în devierea magnetică a arcului (figura 10.56).
Sistem
Braţ El-mag.
Sistem
El-mag. Deviaţie
tr.arc
Figura 10.56. Devierea magnetică a arcului
Devierea magnetică a arcului se face în plan transversal pe cordonul

de sudură, alternativ într-un sens şi apoi în altul pe parcursul a aproximativ
5 ms la interval de 50-200 ms. Ecartul de tensiune sau de curent măsurat în
urma acestor deviaţii, depinde de diferenţa între lungimea arcului şi
lărgimea fantei, ceia ce permite menţinerea efectorului robotului intr-o
pozitie constantă faţă de ţintă. Acelaşi rezultat se obţine şi dacă se
antrenează efectorul într-o mişcare de oscilaţie mecanică transversal pe
fantă.
362
10.4.9. Senzorul termic cu unde de suprafaţă
Este recent introdus în construcţia roboţilor de sudură şi din

metalurgie. În realitate este un oscilator asemănător celui cu cuarţ şi se
compune dintr-o membrană metalică ce acoperă o suprafaţă piezoelectrică
ce realizează conversia electrică (figura 10.57.).
Pe acelaşi suport sunt dispuşi electrozii de alimentare şi grilele
reflectoare. Construcţia sa este similară deci circuitelor imprimate, iar
funcţionarea identică cu cea a oscilatorului de cuarţ.
Grile reflector
Suport pizoelectric
Electrozi
Figura 10.57. Senzor termic cu unde de suprafaţă
Undele acustice de suprafaţă ce iau naştere, transmit energia

oscilatorului prin suprafaţa solidului. Frecvenţa de rezonanţă depinde de
ecartamentul p dintre grilele reflectorului (fix pentru un anume senzor) şi de
temperatură. Este deci un senzor indirect de proximitate prin măsurarea
temperaturii obiectului vizat. Avantajul acestui tip de senzor în comparaţie
cu altele, constă în simplitate, gabarit redus, timp de răspuns foarte mic,
posibilitatea amplasării acestuia direct pe obiectul vizat sau pe braţul
robotului în asociaţie cu oscilatorul şi emiţătorul. Undele emise sunt
recepţionate de o antenă simplă plasată pe robot. Frecvenţa acestor unde
variază cu aproximativ 5-10 MHz/0C. În plus sensibilitatea senzorului creşte
cu efectul considerat perturbator al radiaţiilor infraroşii inerente.
10.4.10. Senzori bazaţi pe ferite termosensibile
Considerate “promisiunea viitorului”, printre feritele a căror

caracteristici magnetice variază cu temperatura în domeniul temperaturilor
joase sunt: Mn-Cu, Ni-Zn şi Mn.-Zn.
363
Caracteristica esenţială a acestor ferite este dispariţia magnetismului

la temperatura Curie şi apariţia paramagnetismului. Figura 10.58 prezintă
curbele inducţiei magnetice de saturaţie şi permeabilităţii magnetice funcţie
de temperatură. Acestor caracteristici li se mai adaugă dependenţa
parametrilor de cantitatea de căldură ce provoacă această variaţie ce
desparte feritele termosensibile în lente şi rapide.
Figura 10.58. Dependenţa B(T) şi (T) la termoferite
Pentru măsurarea temperaturii prin intermediul feritelor

termosensibile se poate urma una din căile următoare:
- măsurarea directă a unui semnal dependent de variaţia
caracteristicilor magnetice funcţie de temperatură;
- premagnetizarea feritei în curent alternativ şi culegerea unui
semnal de ieşire modulat de variaţiile caracteristicilor magnetice.
Sunt compatibili cu robotica de securitate. Un exemplu este releul
termic bazat pe feritele termosensibile (figura 10.59.)
Ferită termo Căldură

Ferită termo
Releu deschis
T < TC
T > TC
Figura 10.59. Detector de proximitate bazat pe ferite termosensibile
364
10.4.11. Telemetrie si pozitionare cu microunde
În cercetările de ultimă oră, microundele exercită o mare presiune

asupra ultrasunetelor, laserelor şi radiaţiilor infraroşii în definirea noutăţilor
în domeniul senzorilor în general şi al celor proximetrici în particular.
Microundele şi-au demonstrat deja posibilităţile în domeniul sistemelor
radar.
Se pune acum problema utilizării acestora în aplicaţiile de scurtă
distanţă. Figura 10.59 prezintă principiul unui procedeu de poziţionare
(telemetrie celulară) capabil de a urmări deplasarea unui obiect într-un
perimetru definit prin intermediul unor celule elementare, fiecare celulă
fiind caracterizată de un cuvânt binar definit funcţie de semnalele captate de
la 4 antene dispuse în jurul perimetrului de investigat.
Figura 10.60.Telemetrie celulară
10.4.12. Celule proximetrice integrate
Ca un prim pas spre senzorii proximetrici inteligenţi, firme de

prestigiu în domeniu precum SENSOREX, propun realizarea de punţi
rezistive integrate, sensibile la deplasare.
365
Principiul acestora constă în depunerea pe un substrat de ceramică de

grosime 0,6 mm a trei piste din polimeri prin serigrafie (figura 10.61):
 pistă rezistivă formată din patru rezistenţe în punte compensată
cu temperatura;
 pistă fotoconductoare care sub acţiunea unui spot luminos
permite conectarea la pista rezistivă a unei a treia piste
conductoare. Senzorul devine astfel dependent de deplasarea
spotului luminos ce dezechilibrează puntea;
 pistă conductoare ce permite alimentarea punţii şi căreia în mod
obişnuit îi este integrată şi electronica aferentă tratării
semnalului.
Sursă luminoasă
Difuzor
Spot Mască fixă

Pistă conductoare Echipament mobil
Pistă fotosensibila
Filtru
Pistă rezistivă
A
Rezistenţe fixe Celule sensibile
Figura 10.61. Senzor proximetric SENSOPHOT
Tot acest ansamblu reprezentând o celulă sensibilă este introdus într-

o incintă comportând o sursă luminoasă şi un difuzor optic. Modificarea
pozţiei unei măşti prevăzută cu un singur orificiu, generează deplasarea
spotului luminos proporţional cu deplasarea.
Dispunerea rezistenţelor direct pe ceramică conduce la posibilitatea
utilizării lui în medii grele, mai puţin propice altor senzori (ambianţă severă
în temperatură, vibraţii etc.).
366
BIBLIOGRAFIE
1. Andre G., Capteurs d’environnement en robotique – La perception

tactile, Technique de l’ingenieur 4/1991.
2. Asociația inginerilor de instalații din România, Manual de instalții, Ed.
Artecno, București 2002
3. Bego V., Ilic D., Hlupic N., Temperature measurement by means of
NTC resistors, IMEKO TC-4, Symposium on development in digital
measuring instrumenation, Napoli, 1998
4. Asches Georges, Les capteurs en instrumentation industrielle - 7ème
édition, Collection Automatique et réseaux, Ed. Dunod, 2010
5. Barna Arpad, Amplificatoare operaționale, Ed. Tehnică, București 1971
6. Cepişcă C., Veyssiere M., Condiţionarea senzorilor şi a semnalelor
(Conditionnement des capteurs et des signaux), Ed. ICPE, Bucureşti,
1995
7. Ciobanu,L., Manipulatoare şi roboţi industriali, Editura U.T.I.,1994.
8. Ciobanu,L., Tratat de inginerie electrica. Senzori si traductoare,
Editura Editura MATRIX ROM, Bucuresti, 2006
9. Ciureanu P., Rudkowski P., Rudkowska G. Magnetoresistive sensors
with rapidly solidified permalloy fibers, în “IEEE Transaction on
magnetics”, vol. 29, 1993
10. Creţu,M.,Sărmăşanu,C, Traductoare-Indrumar de laborator, Editura
I.P.I., 1990.
11. Cretu M., Tendinte novatoare in instrumentatie si masurari electrice,
Editura Sedcom Libris, Iasi 2001
12. Dolga, V., Senzori şi traductoare, Editura Eurobit, Timişoara, 1999
13. Dragomir Nicolae D. și alții, Măsurarea electrică a mărimilor
neelectrice vol.I, Ed. Mediamira, Cluj-Napoca, 1998
14. Fraden Iacob, Handbook of modern sensors. Fhysics, designs, and
applications, ISBN 0-387-00750-4, Ed. Springer-Verlag, Inc., 2003
15. Grave Hans Ferdinand, Măsurarea electrică a mărimilor neelectrice,
ed. Tehnică, București, 1966
Bibliografie
16. Hoffmann Jörg, Taschenbuch der Messtechnik Taschenbuch, Fachbuch

Verlag Leipzig, 199, 5. September 2007
17. Huang J., Tung S., Improved micro thermal shear-stress sensor, în
“IEEE Transaction on instrumentation and measurement”, vol. 45, 1996
18. Ianovici Mircea, Jean Jacques Morf, Compatibilité élecromagnétique,
Deuxieme edition, Presses Polytechniques Romandes, Zürich
Laussanne, 1985
19. Ichinose,N.,Kobayashi,T., Guide pratique des capteurs, MASSON,
Paris, 1990.
20. Ionescu Gabriel, Măsurări și traductoare, vol I, Ed. Didactică și
pedagogică, București 1985
21. Kwiatkowski W., Tumanski S., The permalloy magnetoresistive sensors
– properties and applications, în “Current advances in sensors”, Edited
by B.E. Jones, IOP Publishing, 1987
22. Jordan,G.R., Sensor technologies of the future, GEC review, Vol.3,
No.1, 1987.
23. Keithley Instruments, Inc. Low Level Measurements Handbook – 7th
Edition,
24. Kronmüller H., Barakat F., Prozeß-meßtechich I, Elektrisches Messen
nichtelektrischer Größen, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, New
York, ISBN 978-3-642-65758-0, 1974
25. Langheinrich Werner, Sensor für nichtelektrische Größen, Technische
Universitat Darmstadt
26. Lees,D.,Trepagnier,P., Giuding robot with stereo vision. Robotics
today, april, 1984.
27. Morris, A., Langari. R., Mesurements and Instrumentation, Elsevier,
2012
28. Mc.Ghee Joseph, Wlodek Kulsza, Measurement data handling.
Hardware Technique, Lods, 2001
29. McGechin P., Moseley P.T., Williams D.E., Self-diagnostic solid state
gas sensors, în “Sensor Review”, vol.14, nr.1, 1994
30. Northrop R.B., Introduction to instrumentation and measurements,
University of Connecticut, 1997
368
31. Pruski,A., Robotique generale. Les capteurs en robotique, Marketing

Edition, 1988.
32. Regtien, P., Measurement Science for Engineers, Elsevier, 2004
33. Regtien, P., Sensors for mechatronics, Elsevier, 2012
34. Rumpf Karl-Heinz Bauelemente der Elektronik, Veb Verlag Technik,
Berlin 1974
35. Sărmăşanu,C., Creţu,M., Sălceanu, AL., Senzori şi traductoare pentru
roboţi, Ed. "CIA" Bucuresti 1998
36. Schrüter Elman, Elektriche meßtechik, Carl Hanser Verlag, München
Wien, 1994
37. Sweet,L.M.,Case,A.W., Advanced arc welding robot technology using
vision sensor based control system, Robots, No.8, Chicago, June 1984
38. Sinclair Ian, Sensors and transducers, New Nes, 2001
39. Todos, P., Golovanov, C., Senzori si traductoare, Ed. Tehnica UTM,
Chisinau, 1998
40. Tragut C., Härdtl K.H., Kinetics of resistive oxygen sensors, în
“Sensoren – technologie und anwendung. Abstracts”, Germania, 1990
41. Tränkler H.R., E. Obermeier Sensortechnik, Springer Verlag, Berlin,
1974
42. *** The basis of Figaro gas sensors, Figaro Engineering Inc., 1992
43. *** Characteristics and remarks of Figaro gas sensors, Figaro
Engineering Inc., 1992
369
Mihai Creţu s-a născut la 5 octombrie 1940 la Iași, România şi a
absolvit Institutul Politehnic din Iaşi, Facultatea de Inginerie Electrică
în 1962. A obţinut titlul de doctor în inginerie electrică în anul 1970 cu
diplomă în metrologie. Începând cu 1990-prezent, este profesor
universitar şi coordonator științific pentru doctorat în metrologie. A fost
pe rând: șeful departamentului de Măsurări și materiale electrice,
decanul Facultăţii de Inginerie Electrică, rector al Universității Tehnice
"Gheorghe Asachi" din Iași.
Domenii de expertiză: măsurări electrice, senzori și traductoare, măsurări în procese
industriale.
Afiliere organizaţii ştiinţifice: Membru IEEE, Membru METROS
Constantin Sărmăşanu s-a născut în anul 1955 şi a absolvit Facultatea

de Electrotehnică a Universităţii Tehnice Gheorghe Asachi din Iaşi în
anul 1980. A obţinut titlul de doctor în inginerie electrică în anul 1998
având ca domeniu principal de studiu senzorii inteligenti şi ameliorarea
parametrilor senzorilor aferenţi roboţilor industriali. Actualmente este
profesor, Director DEAC, membru în Senatul Universităţii Tehnice
„Gheorghe Asachi” din Iaşi şi în Consiliul Facultăţii de Inginerie
Electrică, Energetică şi Informatică Aplicată.
Domenii de expertiză: conceperea şi realizarea unor sisteme informatice de măsurare,
conceperea şi realizarea unor senzori inteligenţi, utilizarea unor materiale noi în construcţia
senzorilor şi sistemelor de ecranare.
Afiliere organizaţii ştiinţifice: Membru IFSA (International Frequency Sensor Association)
Membru METROS
Marius Brînzilă s-a născut în anul 1977 şi a absolvit Facultatea de

Electrotehnică a Universităţii Tehnice Gheorghe Asachi din Iaşi în anul
2001 şi Master-ul în 2002 la aceeaşi facultate. A obţinut titlul de doctor
în domeniul Inginerie electrică în anul 2007. A urmat cursuri
postdoctorale 2011-2013. În prezent este şef lucrări la Facultatea de
Inginerie Electrică, Energetică şi Informatică Aplicată.
Domenii de expertiză: sisteme senzoriale, senzori inteligenti, măsurări în procese

industriale, sisteme distribuite utilizând tehnologii open source.
Afiliere organizaţii ştiinţifice: membru METROS, SETIS, Global NEST, Ad ASTRA şi în
comitetul unor jurnale: Advances in Environmental Biology (AEB) şi Journal of Middle East
Applied Science and Technology (JMEAST).

Senzori Si Traductoare Final

Încărcat de

Informații document

Drepturi de autor

Formate disponibile

Partajați acest document

Partajați sau inserați document

Opțiuni de partajare

Vi se pare util acest document?

Este necorespunzător acest conținut?

Drepturi de autor:

Formate disponibile

Senzori Si Traductoare Final

Încărcat de

Drepturi de autor:

Formate disponibile

Mihai Creţu Constantin Sărmăşanu Marius Brînzilă

Editura Politehnium (fostă “Gheorghe Asachi”) este recunoscută de Consiliul Naţional

Coordonator editură: Prof.univ.dr.ing. Carmen LOGHIN

Prof.univ.dr.ing. Marinel TEMNEANU

Prof.univ.dr.ing. Codrin DONCIU

Descrierea CIP a Bibliotecii Naţionale a României

Stabilitatea şi conformitatea caracteristicilor tehnologice ale unui

Prin dezvoltarea fără precedent a microelectronicii destinate

Capitolul 1. Noţiuni fundamentale 1

Capitolul 2. Circuite de adaptare pentru senzori pasivi 33

2.3.1. Măsurarea rezistenţelor (puntea Wheatstone) 41

Capitolul 3. Detecţia sincronă 69

Capitolul 4. Senzori de proximitate 77

Capitolul 5. Senzori pentru măsurarea mărimilor

5.3. Senzorul Förster 102

Capitolul 6. Senzori rezistivi 113

6.2.8.6.Măsurarea unor deplasări mici 166

Capitolul 7. Senzori capacitivi 205

Capitolul 8. Senzori inductivi 231

8.3. Senzor inductiv de tip transformator 240

Capitolul 9. Senzori pentru analiza gazelor 261

Capitolul 10. Senzori şi traductoare pentru roboţi 305

10.4.1.1.3. Senzorul magnetic cu circuite mutiple 340

Necesitatea culegerii de informaţii din mediul înconjurător în scopul

Organ de simţ Senzor

Figura 1.1. Comparaţie între senzori şi organele de simţ umane

O definiţie a noţiunii de senzor poate fi următoarea:

4. mărimi acustice (frecvenţă, presiune, viteză de propagare, absorbţie,

Figura 1.2. Fenomene convertite în mărimi electrice cu ajutorul senzorilor

În principiu, elementul de bază în construcţia unui senzor este

numeric. În cazul senzorilor analogici, la ieşire se obţine un semnal electric

1.2.1. Senzori activi (de tip generator)

Sub acţiunea unei mărimi de măsurat, aceşti senzori se comportă ca

Tabel 1.1. Principii de bază pentru senzorii activi

1.2.2. Senzori pasivi (de tip parametric)

Senzorii pasivi se comportă ca impedanţe, ale căror parametri

Tabel 1.2. Senzori pasivi: principii fizice şi materiale

Impedanţa unui senzor pasiv şi variaţiile sale se pot măsura doar

Alegerea circuitului de adaptare este o etapă foarte importantă în

1.2.3. Senzori compuşi

Există situaţii în care, din motive de cost sau uşurinţă în exploatare,

Figura 1.3. Structura unui senzor compus

Senzorii compuşi sunt utilizaţi în special în cazul măsurării

având în vedere că asocierea celor două elemente poate modifica parametrii

1.2.4. Sistem senzorial

Noţiunea de sistem senzorial se referă la ansamblul elementelor care

mărime semnal semnal cod

Figura 1.4. Arhitectura generală a unui sistem senzorial (de măsurare)

1.2.5. Senzori integraţi

O etapă importantă în evoluţia senzorilor a reprezentat-o apariţia

Figura 1.5. Structura de principiu a unui senzor integrat

Această integrare aduce o serie de avantaje în comparaţie cu senzorii

- realizarea senzorilor integraţi pune, în anumite situaţii, probleme

a. tip lamelă b. tip membrană

Se pot realiza astfel senzori integraţi pentru acceleraţie (folosind

Figura 1.7. Structura de principiu a unui senzor integrat de acceleraţie

1.2.6. Senzori inteligenţi

În prezent, se urmăreşte realizarea unor aşa-numiţi senzori

de la senzor a informaţiei finale asupra mărimii urmărite. Senzorul inteligent

magistrală internă magistrală externă de

Figura 1.8. Structura de principiu a unui senzor inteligent

Dezvoltarea în viitor a senzorilor inteligenţi este garantată de

La alegerea şi utilizarea unui senzor în cadrul unui sistem de

1.3.1. Calibrarea senzorilor