CURS 5

II. Procese elementare la interfaţa plasmă-solid

Apar la interfaţa  plasmă‐electrozi (cele mai frecvente şi mai

importante) şi plasmă‐pereţi. Pe de o parte suprafeţele sunt bombardate cu
particule ce provin din plasmă, iar pe de altă parte, trimit în plasmă particule
în urma interacţiunilor prin 3 tipuri de procese:
- emisie electronică secundară 
- emisie termoelectronică 
- emisie autoelectronică (de câmp) 
În urma impactului cu suprafeţe solide, particulele pot suferi
impraştieri elastice sau inelastice, funcţie de dimensiunea şi viteza de impact
a particulei.În urma ciocnirii inelastice o particulă poate fi absorbită de
suprafaţa solidă sau poate chiar patrunde în interiorul acesteia (implantare).
Un alt fenomen este cel de pulverizare a atomilor de la suprafaţa
solidă la prin bombardarea acesteia cu particule de energie ridicată (ex.
pulverizarea catodică).
Din catod se mai pot emite electroni prin efect fotoelectric extern datorat
radiaţiei electromagnetice din plasmă.

II.1 Emisia electronică secundară la impact ionic

Este procesul cel mai important, prezent în mecanismul descărcărilor
luminescente, constă în: emisia de electroni secundari de la catod în urma
bombardării acestuia cu ioni pozitivi din plasmă.
Se defineşte coeficientul emisiei secundare (al doilea coeficient Townsend):
e
i  (e  / ion)
i
(densitatea fluxului de electroni emişi/densitatea fluxului de ioni incidenţi).
Deoarece pentru fiecare electron emis, mai este necesar încă un
electron pentru neutralizarea ionului incident, condiţia energetică a
procesului este:
mi vi2
 eVi  2
2
φ – lucrul de extracţie al metalului din care este alcătuit catodul
 Ionul pozitiv transportă la suprafaţa catodului 2 surse de energie cinetică
şi potenţială => 2 explicaţii privind mecanismul extragerii de electroni
secundari la impact ionic:
1) Emisia cinetică: scoaterea de electroni liberi sau legaţi din metal pe
seama energiei cinetice a ionului pozitiv incident. Acest proces devine
important la energii ale ionilor > 10³ eV, când în general:
 i  1  15e  / ion 
2) Emisia potenţială: datorită interacţiunii electrostatice a ionilor pozitivi
cu microcâmpurile reţelei cristaline ale metalului catodului. Este un
proces specific descărcărilor luminescente, unde energia ionilor
pozitivi este inferioară valorii de 10³ eV.

Diagrama energetică a sistemului metal‐ion pozitiv incident:

eVr  
eVi  eVr    eVi  2

Un electron e1 din BC a metalului trece prin efect tunel pe nivelul

fundamental al ionului, neutralizându-l. Energia eliberată este preluată de un
electron vecin, e2 , care părăseşte metalul (neutralizare  Auger  directă  a 
ionului incident).
 II.2 Emisia secundară la impact electronic

Electronii liberi din plasmă fie sunt reflectaţi la ciocnirea cu o suprafaţă

solidă aflată în plasmă, fie pătrund în reţeaua cristalină provocând emisie
electronică secundară.
Randamentul emisiei   1  10(e  sec/ e  primar ) , creşte în general cu energia
electronilor primari (incidenţi), poate depăşii valoarea de 10³ în cazul unor
metale dacă suprafaţa acestora se acoperă cu un strat dielectric.

Efectul Malter:  

Sub acţiunea bombardamentului cu electroni primari suprafaţa

exterioară a stratului izolator poate pierde mai mulţi electroni decât cad pe
ea în acelaşi timp în procesul emisiei normale.
Ea se încarcă astfel pozitiv şi formează împreună cu imaginea sa
electrostatică din metal un strat dublu-electric, caracterizat de un câmp
electric de valoare foarte mare ( E  106V / m ). Sub acţiunea acestui câmp are
loc o puternică emisie autoelectronică/de câmp (emisie de electroni
secundari din metal sub acţiunea c.e. foarte intens).
Efectul se menţine în timp, datorită bunei izolări dintre suprafaţa metalului şi
stratul dielectric.

II.3 Emisia termoelectronică

Efect dominant  în  mecanismul  arcurilor  electrice, unde datorită

densităţilor mari de curent j  103  106 A / cm 2 , fluxurile de particule grele sunt
mari şi bombardând catodul îl încălzesc puternic. Crescând energia termică a
electronilor din metal, aceştia pot părăsi metalul, trecând în domeniul stărilor
libere – emisie termoelectronică. Nu se pot îndepărta însă prea mult de
suprafaţă datorită forţei imagine ce apare între electron şi sarcina pozitivă
necompensată rămasă în metal prin plecarea sa (imaginea electrostatică).
Prin aplicarea unui câmp electric extern (între anod şi suprafaţa
încălzită) prin circuit curge un curent care de la o anumită valoare a tensiunii
aplicate se saturează (toţi termoelectronii emişi sunt antrenaţi în mişcare
ordonată).
Se  va  calcula  acest  curent  (de  saturaţie), care în general depinde de
natura metalului, temperatura la care a fost încălzit şi starea suprafeţei
emisive.
 Se consideră o suprafaţă metalică infinită ce emite electroni de-a lungul
normalei. Densitatea curentului termoelectronic j  10  10 A / cm
3 6 2

j ( j x ,0,0) , j   v

Din p.d.v. clasic, părăsesc suprafaţa S electronii ce satisfac condiţia

(modelul Sommerfeld):
2
vx 
m
mvx2
 – afinitate electronică (adâncimea gropii de potenţial)
2

Probabilitatea ca un electron să aibă energia E (v x , v y , v z ) la o

temperatură T este dată de distribuţia Fermi-Dirac:
1
f (E) 
E  E F – funcţia de disribuţie a electronilor liberi în metal
1  exp
kT
Densitatea de curent:
 
dj x  evx dn  j x  (1  r )e    v dn
x
0 0 2
m
 | r |2
r – coeficientul mediu de reflexie la bariera metal-vid
| i |2
( r , i – funcţia de unde electron reflectat; incident)
3
m
dn  f ( E )dS unde: dS  2  dvx dv y dvz – functia de densitate a stărilor

Elementul de volum: dv x dv y dv z  vdvddv z (coordonate cilindrice)

Unde: v  v y2  v z2
3 2  
m vdv  v x dv x
 j x  2(1  r )e   d   , ( j x  jsat )
 0 0 2  1  exp
E  E F
m kT
  
 j  (1  r ) AT 2 exp   relaţia Richard-Dushman,
 kT 
unde:     E F
4emk 2
A 3
 120 10 4 A / m 2
h
II.4 Efectul Schottky. Emisia de câmp (autoelectronică)

Experimental se constată că nu există un palier riguros al curentului de

saturaţie în cazul emisiei termoelectronice: aplicând un câmp electric între
catodul încălzit şi anod, curentul continuă să crească uşor până după
atingerea saturaţiei, cu tensiunea aplicată. Electronii ies din metal nu numai
datorită încălzirii ci şi datorită câmpului electric intens de la suprafaţa
acestuia: Efect Schottky.
Se va analiza situaţia suprafeţei unui metal în prezenţa câmpului
electric de intensitate E=const.
Potenţialul V(x)=Ex, x distanţa faţă de suprafaţă
Energia potenţială corespunzătoare acestui potenţial:
We ( x)  eEx .
căreia îi corespunde forţa cu care câmpul acţionează asupra unui
 
electron: Fe  eE .
Asupra particulei mai acţionează forţa imagine, datorită atracţiei
electrostatice cu „imaginea” sa din metal:
 e2
Fim  .
4 0 (2 x) 2
căreia îi corespunde energia potenţială de forma:
Wim e2
Fi   Wim   .
x 16 0 x

Energia totală a particulei plasată în câmpul E la distanţa x de
suprafaţa metalului încălzit:
e2
Wt ( x)  We ( x)  Wim ( x)  eEx  .
16 0 x
va prezenta un maxim, ce rezultă din condiţia ca forţa totală asupra
particulei să fie zero:
Wt ( x)
Ft   0.
x
  e2  e
  eEx    0  x  ,
x  16 0 x  16 0 E

eE
şi care conduce la: W      e
4 0 .
max

   : valoarea energiei necesare unui electron pentru a părăsi metalul

(  – energia cu care s-a micşorat lucrul de extracţie)
Are loc micşorarea barierei de potenţial cu  .
 Formula Richardson se va rescrie sub forma:
     '
js  (1  r ) AT 2 exp   (1  r ) AT exp
2
.
 kT  kT
Efectul Schottky: micşorarea înălţimii barierei de potenţial sub
acţiunea câmpului electric.
Emisia autoelectronică (de câmp): emisia de electroni din metal la
câmpuri intense fără încălzirea catodului, datorită tunelării de către electroni
a barierei de potenţial nou formate. Efectul tunel devine important pentru
E  105  106V / m .

II.5 Ionizarea superficială

Se constată că la impactul neutrilor cu o suprafaţă puternic încălzită,

aceştia se ionizează.
Explicaţie: Se produce (are loc) tunelarea unui electron al atomului în BC a
metalului – ionizare negativă.
Acest lucru se întâmplă în cazul în care energia de ionizare a atomului
este mai mică decât lucrul de extracţie a electronului din metal:
E  105  106 V / m .
Ex. – ionizarea atomului de Cs pe suprafaţa W.