Universitatea POLITEHNICA din Bucureşti

Facultatea de Chimie Aplicată şi Ştiinţa Materialelor

Catedra de Ştiinţa şi Ingineria Materialelor Oxidice şi Nanomateriale

NANOMATERIALE

Curs 8
Proprietăţi şi aplicaţii ale
materialelor nanostructurate
 Generalităţi

● Materialele nanostructurate (NSM), nanocristalele sau

materialele nanofazice sunt policristale cu granulometrie
foarte fină, ce variază între 1 şi 100 nm.

● Primele rezultate privind prepararea NSM prin

compactarea pulberilor metalice de dimensiuni nanometrice
şi proprietăţile acestora au fost studiate de către cercetăori
ruşi (Morokhov, I.D., Trusov, L.I., and Chizhik, S.P.), în anul
1977.
 Generalităţi

● Totuşi, ideea unei modificări semnificative a proprietăţilor

materialelor prin formarea unei structuri nanocristaline a fost
formulată prima dată de H. Gleiter & co., în anii ‘80.

Î Nanocristalele au devenit importante în domeniul

cercetării deoarece prezintă unele proprietăţi semnificativ
îmbunătăţite comparativ cu aceleaşi policristale, dar cu
granulometrii mari, obişnuite.
 Generalităţi

● Spectrul proprietăţilor afectate de structura nanocristalină

se întinde de la cele mecanice, la cele electronice.

● Unele proprietăţi fizice şi mecanice ale NSM s-a descoperit ca

fiind semnificativ superioare materialelor convenţionale, făcând din
NSM o oportunitate pentru aplicaţii în inginerie.
● Proprietatea aliajelor nanocristaline de a se deforma superplastic
la temperaturi scăzute şi presiuni ridicate se aşteaptă să scadă
semnificativ costul tehnologiei de producere a metalelor.
 Generalităţi

● Spectrul proprietăţilor afectate de structura nanocristalină

se întinde de la cele mecanice, la cele electronice.

● Rezistenţa mecanică, ductilitatea şi rezistenţa la uzură pot face ca

metalele şi ceramicile refractare nanocristaline să fie folosite la
construcţia de ansambluri supuse la temperaturi înalte, cum ar fi
motoarele.
● Proprietăţile magnetice îmbunătăţite ale aliajelor nanocristaline
cum ar fi coercivitatea scăzută şi permeabilitatea magnetică înaltă
le-au făcut pe acestea să fie deja folosite la transformatoare.
● NSM au un coeficient de difuziune cu multe ordine de mărime
crescut – şi pot fi folosite în multe aplicaţii, precum tehnologia
stocării hidrogenului.
 Generalităţi

● Spectrul proprietăţilor afectate de structura nanocristalină

se întinde de la cele mecanice, la cele electronice.

● acoperirile nanostructurate cresc semnificativ rezistenţa la uzură a

materialelor.
● proprietăţile electrice şi electronice modificate ale metalelor şi
ceramicilor covalente nanostructurate işi vor găsi aplicaţii în
electronică.

Î NMS au o importanţă crescută în tehnologia şi viaţa

secolului XXI.
 Generalităţi

● Doi factori importanţi sunt consideraţi a determina

proprietăţile NSM:

● În primul rând, atunci când diametrul granulelor se apropie de

câţiva nanometri, lungimea modulară a structurii devine
comparabilă cu distanţele caracteristice ale proceselor fizice din
solide şi efectele secundare sunt pronunţate.
● O importantă fracţie volumetrică a materialelor NMS este ocupată
de atomi în zone cu defecte – în special la interfeţe.
Î Astfel, structura atomică a interfeţelor este crucială pentru
proprietăţile acestor materiale.
 Structura

● Clasificare

● Gleiter a clasificat NSM în funcţie de forma şi

compoziţia chimică a cristalitelor.

● În funcţie de formă există 3 categorii de NSM şi anume

cristalite:
- în formă de strat;
- în formă de tijă;
- echiaxiale.
 Structura

● Clasificare

● Gleiter a clasificat NSM în funcţie de forma şi

compoziţia chimică a cristalitelor.

● În funcţie de compoziţia chimică:

- Cu cristalite şi interfeţe de aceeaşi compoziţie chimică;
- Cu cristalite de compoziţii chimice diferite;
- Cu variaţie de compoziţie între cristale şi interfeţe;
- Cu cristalite de dimensiuni nanometrice dispersate într-o matrice
de compoziţie chimică diferită.
 Structura

● Clasificare

● Tipurile de NSM considerate constau din unităţi

structurale de dimensiuni nanometrice separate de
interfeţe.
● Toate aceste materiale au energie liberă foarte înaltă,
stocată în principal în interfeţe şi sunt departe de
starea de echilibru termodinamic.
● În consecinţă, sunt preparate prin procese de
neechilibru.
 Structura

● Clasificare

● Modificarea metodei sau condiţiilor de obţinere modifică

microstructura finală:
Î structura şi proprietăţile NSM pot fi manipulate prin controlul
metodelor de obţinere;
- Aceasta permite generarea practic a unui număr infinit de
proprietăţi;
- Din acest motiv este dificil a controla, reproduce şi stabiliza
aceste proprietăţi.

De aceea eforturile de cercetare sunt centrate pe relaţia dintre

tehnica de fabricaţie şi microstructura / proprietăţile nanocristalelor.
 Structura

● Raportul dintre atomii aflaţi la interfaţă şi cei

din masa materialului
● Din studiile limitelor granulelor (interfeţelor) în policristalele cu
granulaţii mari şi bicristalele preparate artificial, lăţimea acestora
este cunoscută ca fiind de ordinul 0,5–1 nm.
● În regiunile-limită structura atomică trece de la o reţea cu o
anumită orientare la o reţea cu altă orientare Î atomii de
interfaţă nu aparţin nici unuia dintre straturi, asumându-şi poziţii
intermediare.
 Structura

● Raportul dintre atomii aflaţi la interfaţă şi cei

din masa materialului
● Ideea de bază în confecţionarea NSM postulată de Gleiter a fost
reducerea dimensiunilor granulelor până când numărul atomilor
din zona interfeţelor să fie comparabil cu acela al atomilor din
reţele.
● Dacă considerăm lăţimea unei granule δ ≈ 1 nm, fracţia
volumetrică a interfeţelor poate fi estimată ca fiind Δ ≈ 3δ/d, unde
d este dimensiunea granulei.
● Δ = 30% pentru d = 10 nm;
● Sub 10 nm, aproape jumatate din atomi sunt situaţi în interfeţe şi
joncţiuni.
 Structura

● Limitele intergranulare LG

● Pentru că interfeţele ocupă o fracţiune semnificativă a

volumului NSM, structura acestora este foarte
importantă pentru proprietăţile nanocristalelor.
● Astfel, mari eforturi au fost depuse pentru a înţelege
dacă interfeţele din NSM au o structură atomică
semnificativ diferită de interfeţele din materialele cu
granulometrie mare.
 Structura

● Limitele intergranulare LG

● În materiale obţinute prin condensare din fază gazoasă

● Gleiter & co. au obţinut primul model al structurii atomice a

interfeţelor în NSM, folosind date obţinute prin difracţie de raze
X, spectroscopie de pozitroni, spectroscopie Mössbauer, etc.
- S-a concluzionat că interfeţele în NSM au o structură atomică
asemănătoare cu cea a gazelor – densitatea de masă
semnificativ redusă, fară aranjare spaţială pe distanţă mică sau
mare.
 Structura

● Limitele intergranulare LG

● În materiale obţinute prin condensare din fază gazoasă

● Totuşi, modelul structurii interfeţelor bazat pe structură

asemănătoare cu a gazelor a fost respins mai târziu, bazat pe
noile rezultate HREM.
- Observaţiile directe HREM a structurii Pd nanostructurat au
arătat că structura interfeţelor este mai degrabă similară cu
interfeţele convenţionale de unghi înalt.
- Totuşi, studiile HREM au arătat un nivel energetic înalt al
interfeţelor, diferit faţă de policristalele convenţionale.
 Structura

● Limitele intergranulare LG

● În materiale obţinute prin condensare din fază gazoasă

● Rezultatele controversate obţinute despre NSM preparate prin

aceeaşi tehnică au arătat că problema structurii interfeţelor în
nanocristale nu este simplă şi necesită o analiză mult mai
atentă a rolului variaţilor factori, în afară de dimensiunea
granulelor:
- Distribuţia granulometrică;
- Condiţii de obţinere;
- Perioada de îmbătrânire;
- Tratamentul termic.
 Structura

● Limitele intergranulare LG

● În materiale obţinute prin cristalizare din stare amorfă

● Datele obţinute prin HREM relevă că interfeţele au

caracteristicile interfeţelor normale de unghi înalt;
- Nu s-a putut detecta contrast extins din cauza interfeţelor
neordonate.
 Structura

● Limitele intergranulare LG

● În materiale obţinute prin măcinare cu bile

● Distorsiunile observate în spectrele de spectroscopie

Mössbauer au fost atribuite:
- existenţei unei faze cu un grad scăzut de ordine pe distanţă
scurtă; sau
- impurităţilor din bilele de măcinare.
● Se confirmă însă prezenţa unei faze cu energie ridicată.
 Structura

● Deformări elastice în reţeaua cristalină

● Forţele elastice interne sunt una dintre proprietăţile

structurale de baza ale nanocristalelor.
● Aceste forţe au origini diferite şi joacă un rol important
în modificările structurale ale nanocristalelor şi
proprietăţile acestora.
● Cel mai puternic instrument pentru studiul forţelor
interne este difracţia cu raze X.
 Structura

● Parametrii de reţea

● Parametrii de reţea ai nanoparticulelor izolate sunt mai mici

comparativ cu cristalele brute.
● Contracţia reţelei este de obicei asociată presiunii Laplace cu
originea în tensiunea superficială - care poate fi estimată ca Δp =
γ/d unde γ este energia liberă de suprafaţă.
● Forţe de acelaşi semn, deşi substanţial scăzute, apar în NSM
compactate.
● Ca rezultat, contracţia reţelei este întotdeauna observată în
nanocristale.
● Totuşi, datele privind schimbarea parametrilor reţelelor NSM sunt încă
controversate, existând cercetători care raportează creşterea
parametrilor de reţea în NMS.
 Difuzia

● Este una dintre proprietăţile-cheie ale NSM, deoarece

controlează stabilitatea structurală şi multe alte proprietăţi
fizice ale acestor materiale.

● Coeficientul de difuzie NSM este influenţat de:

● Efetul de masă;
● Structura specifică la interfaţă.
 Difuzia

● Distanţa caracteristică de difuziune pentru multe

proprietăţi ale policristalelor este strâns legată de ordinul de
mărime al granulelor;
● Scăderea dimensiunii granulelor îmbunătăţeşte semnificativ
aceste proprietăţi.

● Energia de activare pentru coeficientul de difuziune la

limitele intergranulare în NSM este considerabil scăzut faţă
de policristalele convenţionale.
● Valorile sunt similare celor pentru difuziunea de suprafaţă.
 Proprietăţi mecanice
Generalităţi
● Marele interes pentru comportamentul mecanic al
materialelor nanostructurate îşi are originea în proprităţile
mecanice unice observate şi/sau previzionate pentru prima
dată la materiale preparate prin metoda condensării gazelor.
● Printre aceste prime observaţii / previziuni se numără:

● Modul de elasticitate scăzut cu până la 30 - 50% faţă de

materialele cu granulometrii convenţionale;
● Duritate şi rezistenţă mecanică foarte mari: rezistenţa pentru
metalele pure nanocristaline (~ 10 nm dimensiunea granulelor)
este de 2 până la 7 ori mai mare decât cea a metalelor cu
dimensiuni ale granulelor mari (>1 mm);
 Proprietăţi mecanice
Generalităţi
●Marele interes pentru comportamentul mecanic al
materialelor nanostructurate îşi are originea în proprităţile
mecanice unice observate şi/sau previzionate pentru prima
dată la materiale preparate prin metoda condensării gazelor.
● Printre aceste prime observaţii / previziuni se numără:

● O pantă negativă Hall-Petch, adică în regimul nanometric,

rezistenţa scade odată cu scăderea dimensiunii particulelor
(pentru metale);
● Ductilitate şi posibil, comportament superplastic – la ceramici
fragile sau materiale intermetalice cu particule de dimensiuni
nanometrice – probabil datorită mecanismelor de deformare
difuzională.
 Proprietăţi mecanice
Generalităţi
● Deşi există date limitate privind comportamentul mecanic,
în special comportamentul la tensiune al materialelor
nanocristaline, se pot face unele extrapolări privind
mecanismele de deformare.
 Proprietăţi mecanice
Generalităţi
● Activitatea dislocaţiilor
● Este probabil ca pentru dimensiunile nanometrice de la
polul superior, 50 - 100 nm, activitatea de dislocare
domină pentru temperaturile test < 0,5 Ttop.
● Odată cu scăderea dimensiunii particulelor, activitatea
de dislocare pare să scadă;
● Dislocările esenţiale la dimensiuni ale granulelor sub
50 nm se presupune a fi rezultatul forţelor care
acţionează în dislocări pe suprafeţe sau interfeţe.
 Proprietăţi mecanice
Generalităţi
● Activitatea dislocaţiilor
● Apariţia de noi dislocaţii este, de asemenea,
îngreunată de dimensiunile foarte mici ale particulelor
(< 10 nm);
● Stresul necesar pentru a activa sursele de dislocaţie
este invers proporţional cu distanţa dintre pivoţii
dislocaţiei;
● Deoarece granulele nanometrice limitează distanţa
dintre asemenea pivoţi, forţa necesară pentru a activa
sursele dislocaţiei poate atinge valoarea teoretică a
forţelor de forfecare ale unui cristal fără dislocaţii cu
cea mai mică valoare a dimensiunii granulelor (~2nm).
 Proprietăţi mecanice
Generalităţi
● Activitatea dislocaţiilor
● Astfel, la cea mai mică valoare a dimensiunii
granulelor, există noi fenomene ce controlează
comportamentul deformărilor.
● S-a sugerat, de asemenea, că astfel de fenomene ar
putea include translaţia limitelor granulelor sau rotaţii
ale granulelor însoţite de fenomene de refacere locală
prin difuziune.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare

● Duritate
● Modulul de elasticitate
● Rezistenţa la rupere (tenacitate)
● Studii de micro/nanozgâriere pentru a releva rezistenţa
la uzură/zgâriere
● Teste la încovoiere cvasi-statice
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – Duritate şi modul de elasticitate

● Dispozitivul de nanoidentare monitorizează şi înregistrează

încărcarea dinamică şi deplasarea identatorului - diamant în formă
de piramidă triunghiulară (Berkovich), în timpul identării cu o
rezoluţie în forţă de 75 nN şi în deplasare de 0,1 nm.
● Modulele de elasticitate şi duritate sunt calculate pe baza relaţiei
încărcare-deplasare.
● Vârful de încărcare la identare depinde de proprietăţile mecanice
ale probei – un material mai dur necesită o încărcare mai mare
pentru o profunzime de identare corespunzătoare.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – Rezistenţa la rupere

● Tehnica de identare pentru măsurarea rezistenţei la rupere pe

microscală este bazată pe măsurarea lungimilor fisurilor mediane-
radiale produse prin identare.
● Un identator Vickers (o piramidă patrulateră de diamant) este
folosită la un test de microrezistenţă.
● O forţă de 0,5N este, în mod normal, folosită pentru identarea
Vickers.
● Rezultatele identării sunt examinate folosind un microscop optic
pentru a măsura lungimea fisurilor mediane radiale, c.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – Rezistenţa la rupere

● Rezistenţa la rupere (KIC) este calculată folosind următoarea

formulă:
1/ 2
⎛E⎞ ⎛ P ⎞
K IC = α⎜ ⎟ ⎜ 3 / 2 ⎟
⎝H⎠ ⎝c ⎠

α este o constantă empirică ce depinde de geometria identatorului;

H şi E sunt modulii de rezistenţă şi elasticitate – obţinuţi prin rezultatele
nanoidentării;
P vârful forţei de identare;
c lungimea fisurii măsurată de la centrul identării folosind un microscop
optic; pentru o identare, toate fisurile sunt măsurate; lungimea fisurii c
este obţinută prin media aritmetică a valorilor obţinute prin multiple
identări.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – Rezistenţa la zgâriere

● În studiile de micro/nanozgâriere, un identator – diamant conic –

cu raza vârfului de aproximativ 1μm şi un unghi de 60° se trece
peste suprafaţa probei cu forţă progresivă, până la apariţia
semnificativă de leziuni în probă;
● Coeficientul de frecare este monitorizat în timpul zgârierii.
● Pentru a obţine adâncimea zgârierii în timpul procesului, profilul
suprafeţei probei este obţinut prin translaţia probei la o forţă mică
de aproximativ 0.2mN, insuficientă pentru a produce leziuni unei
suprafeţe dure.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – Rezistenţa la zgâriere

● Zgârieturile de 500 μm sunt făcute prin translaţia probei în timp ce

se variază crescător forţa pe vârf în funcţie de duritatea
materialului.
● Adâncimea propriu-zisă a zgârierii este obţinută prin scăderea
profilului iniţial din adâncimea zgârierii măsurată în timpul testului.
● Pentru a măsura profunzimea zgârierii după proces, suprafaţa
zgâriată este scanată la o încărcare joasă de 0.2mN şi apoi
scăzută din profilul suprafeţei obţinut înainte de proces.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – Rezistenţa la încovoiere

● Testele cvasi-statice de încovoiere sunt de asemenea produse

folosind un nanoidentator;
● Avantajul unui nanoidentator este că utilizează forţe de până la
500 mN, mai mult decât în AFM (până la 100μN) şi poate fi folosit
pentru structuri ce necesită forţe mari în timpul testului.
● Pentru a evita străpungerea probei cu vârful identatorului în timpul
testării, se foloseşte un vârf bont la testele de uzură şi încovoiere
Î identator conic de diamant cu raza 1μm şi unghi inclus de 60°;
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – Rezistenţa la încovoiere

● Poziţia de încărcare este la centru pentru fibrele transversale şi la

10μm de capătul liber la fibrele suport cu prindere unilaterală;
● Un microscop optic cu mărire 1.500 X sau un AFM este folosit
pentru a determina poziţia de încărcare;
● Proba este plasată sub identator cu o precizie de aproximativ
200 nm longitudinal şi mai puţin de 100 nm lateral;
● Modulul elastic şi forţa de încovoiere a fibrelor pot fi obţinute prin
curbele încărcare-deplasare.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – Rezistenţa la oboseală

● Pentru testele de oboseală, o încărcare oscilantă este aplicată şi

se măsoară intensitatea contactului în timpul testării.
● O scădere semnificativă a intensităţii contactului în timpul testării
indică numărul de cicluri până la cedare.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – filme SiO2/SiC

● Au fost realizate studii prin nanoidentare asupra unor

filme de SiO2 şi SiC, materiale de interes pentru
obţinerea micro şi nanodispozitivelor electromecanice
(MEMS, NEMS).

● Filmul de 1μm grosime de SiO2 a fost depus printr-un proces

chimic catalizat de depunere din vapori în plasmă (PECVD)
pe un substrat de Si(111).
● Un strat de 3μm grosime de SiC a fost format folosind un
proces de depunere din vapori la presiune atmosferică
(APCVD) pe un substrat de Si(100).
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Nanoidentare – filme SiO2/SiC

Proprietăţile mecanice ale unor filme de SiO2 şi SiC

Proba Duritate Modul de Rezistenţa Efortul

[GPa] elasticiate la rupere critic
[GPa] [MPam1/2] [mN]
Film SiO2 9,5 144 0,58 9,5
Film SiC 24,5 395 0,78 14
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

●Nanoidentare – filme SiO2/SiC

●Filmul SiC prezintă cea mai mică urmă de
identare, în comparaţie cu alte materiale
analizate;
● În plus faţă de urmele identării, fisuri radiare
pot fi observate pornind din colţurile urmei de
identare – filmul SiC prezintă cea mai mare
lungime a fisurilor radiare;
● Deoarece filmul SiC e monocristalin, nu există
interfeţe care să oprească propagarea fisurilor
sau să schimbe direcţia acestora; Imagini optice ale
● De aceea filmul SiC prezintă o rezistenţă mai identării Vickers făcute
scăzută la rupere faţă de policristalele SiC cu forţă normală - 0,5N
brute – de 3,6MPam1/2. timp de 15 s pe filmul SiC
 Comparaţie între coeficientul de frecare şi profunzimea zgârierii în funcţie
de încărcarea progresivă. Imagini de microscopie optică ale zgârieturilor:
y la începutul zonei de zgâriere - A
y unde ceoficientul de frecare a crescut mult sau rapid - B
y la sfârşitul zonei - C

Regiunea A Regiunea B Regiunea C

Coef. de frecare
d

F
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere

● Teste de încovoiere nanostatice ale dispozitivelor fixe nanoprobe

făcute folosind un AFM;

Imagini SEM al unui

ansamblu de
nanoprobe de Si sau
SiO2
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere

● Teste de încovoiere cvasi-statice ale dispozitivului de nanoprobe

sunt făcute prin folosirea unui AFM;

Schema unei nanofibre tipice

Secţiunea transversală trapezoidală se
datorează formării în mediu umed în
timpul fabricării.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere

● Un vârf de diamant în formă de piramidă triunghiulară (raza

aproximativ 200 nm) montat pe o lamă dreptunghiulară de oţel
inoxidabil este folosit pentru testele de încovoiere;
● Tableta cu dispozitivul de nanofibre este fixată pe o suprafaţă
plană de probă folosind o banda dublu-adezivă;
● Pentru testul de încovoiere, vârful este trecut peste dispozitivul de
nanofibre cu ajutorul unui AFM şi al unui microscop optic puternic,
incorporat.
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere
● Pentru poziţionarea precisă a
vârfului peste o fibră aleasă, aria
este scanată prin contact cu o Diodă
laser
forţă de 2–4μN, care produce
leziuni neglijabile probei;
● După scanare, vârful este Piezo-tub
poziţionat la un capăt al fibrei Fotodetector de
scanare
alese; Vârf de
diamant şi
suport
Probă flexibil din
nanostructurată oţel
Suport de probă
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere
● Pentru poziţionarea precisă a
vârfului peste o fibră aleasă, aria
este scanată prin contact cu o Diodă
laser
forţă de 2–4μN, care produce
leziuni neglijabile probei;
● Pentru poziţionarea vârfului în Piezo-tub
centrul zonei fibrei, acesta e Fotodetector de
scanare
mişcat la celălalt capăt al razei Vârf de
prin aplicarea unui voltaj de diamant şi
suport
contrabalansare la X-piezo; Probă flexibil din
nanostructurată oţel
Suport de probă
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere
● Pentru poziţionarea precisă a
vârfului peste o fibră aleasă, aria
este scanată prin contact cu o Diodă
laser
forţă de 2–4μN, care produce
leziuni neglijabile probei;
● jumătate din forţă este aplicată la Piezo-tub
X-piezo după ce vârful este Fotodetector de
scanare
poziţionat la un capăt al fibrei – Vârf de
rezultatul fiind de obicei miscarea diamant şi
suport
vârfului către centrul zonei. Probă flexibil din
nanostructurată oţel
Suport de probă
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere
● Odată ce vârful a fost poziţionat în centrul zonei ocupate de fibră,
vârful e menţinut staţionar fără baleiaj şi Z-piezo este extins pe o
distanţă cunoscută, în mod normal 2,5μm, la o viteză de 10 nm/s;
DVAFM
Dpiezo
y În acest timp, semnalul de
Piezo-tub de
deflecţie verticală (dVAFM), care e scanare
proporţional cu deflexia suportului
(Dvârf) este monitorizată.
Dprobă
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere
● Odată ce vârful a fost poziţionat în centrul zonei ocupate de fibră,
vârful e menţinut staţionar fără baleiaj şi Z-piezo este extins pe o
distanţă cunoscută, în mod normal 2,5μm, la o viteză de 10 nm/s;
DVAFM
Dpiezo
y Deplasarea piezo-tubului este
egală cu suma deplasărilor Piezo-tub de
scanare
cantileverului şi a nanoprobei.
y Astfel, deplasarea nanoprobei
(Dprobă) în punctul de acţiune a Dprobă
forţei poate fi determinat ca
Dprobă = Dpiezo− Dvârf .
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere
● Forţa aplicată asupra nanoprobei (Fprobă) este aceeaşi cu cea
aplicată asupra vârfului / cantileverului (Fvârf).

DVAFM
Dpiezo

Piezo-tub de
scanare

Dprobă

Fprobă
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

încovoiere
● Rezistenţa la încovoiere va fi calculată pe baza unor ecuaţii, ţinând
cont de forţa maximă aplicată asupra probei, care conduce la rupere.
● Metoda permite şi evaluarea prin calcul a modulului de elasticitate.
DVAFM
Dpiezo

Piezo-tub de
scanare

Dprobă

Fprobă
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

rupere
Vârf de
diamant
● La început, o fisură de geometrie
cunoscută este introdusă în regiunea Proba
de tensiuni de rupere maxime, de ex.
la suprafaţa exterioară din apropierea Suport
unui capăt al probei. F
Concentrarea
● Prin încovoierea probei ca în figură, eforturilor

eforturile vor fi concentrate sub fisură.

● Acest lucru va duce la ruperea probei
sub fisură, atunci când se atinge o Frupere
forţă critică (forţă de rupere).
 Proprietăţi mecanice
Metode de caracterizare la scară nanometrică

● Microscopia atomică de forţă – Rezistenţa la

oboseală

● În mod similar testului la încovoiere, vârful de diamant este mai

întâi, poziţionat la centrul probei.
● Pentru a asigura faptul că vârful este întotdeauna în contact cu
proba (fără a avea un impact asupra ei), piesa piezo este, mai
întâi alungită cu distanţa D1, ceea ce asigură un efort minim
asupra probei.
● După această alungire, o deplasare ciclică de amplitudine D2,
este aplicată continuu până când are loc ruperea probei.
 Proprietăţi mecanice
Elasticitatea
● De obicei, se consideră că proprietăţile elastice ale
solidelor cristaline nu depind de structură.
● Măsurătorile efectuate asupra materialelor nanostructurate
au arătat o scădere semnificativă a modulelor lui Young şi a
celui de forfecare.

● Valorile reduse obţinute pentru cele două module măsurate pentru materialele
nanostructurate obţinute prin compactarea pulberilor au fost atribuite nivelului
ridicat de porozitate din aceste materiale.
● De asemenea, există o tendinţă de scădere a modului de elasticitate, din cauze
intrinseci, semnificativă doar pentru granulometrii foarte mici (d < 10 nm).
● Această scădere este asociată cu o creştere a componentei interfaciale, care
are un modul de elasticitate mai redus, datorită creşterii volumului specific.
 Proprietăţi mecanice
Elasticitatea
● De obicei, se consideră că proprietăţile elastice ale
solidelor cristaline nu depind de structură.
● Măsurătorile efectuate asupra materialelor nanostructurate
au arătat o scădere semnificativă a modulelor lui Young şi a
celui de forfecare.

● Diferite modificări ale modulului E pentru aceeaşi granulometrie şi

densitate pot fi legate de diferite stări ale suprafeţelor granulare: la
echilibru sau la neechilibru.
● Sinterizarea, proces ce elimină porozitatea, conduce şi la
obţinerea unor suprafeţe granulare mai relaxate, fapt ce contribuie
la recuperarea modulelor.
 Proprietăţi mecanice
Duritate
● Duritatea, rezistenţa mecanică şi comportamentul la
deformare materialelor nanocristaline sunt proprietăţi unice
şi nu sunt încă pe deplin înţelese.
● Duritatea şi rezistenţa mecanică ale materialelor cu
granulometrii convenţionale (diametrul granulei, d > 1 mm)
este o funcţie de dimensiunea granulelor.

● Atunci când dimensiunea granulelor este redusă la regim

nanometric (< 100 nm), duritatea, în mod normal, creşte odată cu
scăderea granulometriei şi poate fi de 2 până la de 7 ori mai mare
pentru metale nano pure (10 nm dimensiunea granulelor) decât
pentru metalele cu granule mari (> 1 μm).
 Proprietăţi mecanice
Ductilitate şi rezistenţa la rupere

● Este un fenomen cunoscut faptul că dimensiunea

granulelor are un efect puternic asupra dusctilităţii şi
rezistenţei la rupere a materialelor cu granulometrii
convenţionale (> 1 mm).

● La bază, distrugerea mecanică, fenomen care limitează

ductilitatea, este generată de disclocaţii şi fisuri;
● Nucleaţia şi propagarea fisurilor pot fi folosite pentru a explica
dependenţa rezistenţei la rupere de dimensiunea granulelor;
● Ameliorarea granulometriei poate face mai dificilă propagarea
fisurilor şi, drept consecinţă, în cazul materialelor cu granulometrii
convenţionale, duce la creşterea rezistenţei la rupere aparente.
 Proprietăţi mecanice
Ductilitate şi rezistenţa la rupere

● Materialele ceramice fragile pot prezenta caracteristici de

ductilitate atunci când au structuri nanocristaline.

● S-a studiat comportamentul plastic aparent la compresiune al

CaF2 nanocristaline la 80°C şi al TiO2 nanocristalin la 180°C.
● Aceste observaţii au fost atribuite dilatării difuzionale îmbunătăţite
ce produce fenomenul de plasticitate la aceste temperaturi, unde
materialele cu granulometrii convenţionale ar eşua în regim
elastic.
● Aceste rezultate nu au putut fi reproduse şi se crede că natura
poroasă a acestor probe a fost respnsabilă de comportamentul
aparent ductil.
 Proprietăţi mecanice
Superplasticitate
● Superplasticitatea este capacitatea unor anumite materiale
policristaline de a prezenta deformări foarte mari la alungire,
fără rupere;
● în mod normal, alungiri de 100% până la 1000% sunt considerate
ca fiind caracteristice acestui fenomen.

● Odată cu scăderea dimensiunii granulelor s-a constatat că:

● temperatura la care apare fenomenul de superplasticitate este mai
mică;
● tensiunea la care apare superplasticitatea este mai mare.
 Proprietăţi mecanice
Superplasticitate
● Chiar dacă fenomenul de superplasticitate de “joasă
temperatură” nu s-a observat la materialele nanostructurate,
un comportament superplastic îmbunătăţit a fost observat la
temperaturi mari, considerând intervalele de temperatură ca
fiind scăzute pentru superplasticitate şi, probabil mai
semnificativ pentru un regim de tensiuni mai mari.
● Foarte multe lucruri trebuie înţelese despre
comportamentul superplastic al materialelor nanostructurate,
totuşi, posibilitatea utilizării unor forţe considerate
convenţionale pentru fasonare prezintă implicaţii industriale
majore.
● Din acest punct de vedere, de un interes deosebit se bucură fasonarea
materialelor ceramice cu forme deosebite.
 MEMS / NEMS
● Sistemele microelectromecanice (MEMS) se referă la
dispozitivele microscopice care au o lungime caracteristică
mai mică de 1mm, dar mai mare de 1μm şi combină
componente electrice şi mecanice.
● Masa unei structuri microelectromecanice de siliciu poate ajunge
chiar şi la 1 nN.

Imagine microscopică a unui

MEMS / NEMS
 MEMS / NEMS
● Sistemele nanoelectromecanice (NEMS) se referă la
dispozitive nanometrice care au o lungime caracteristică mai
mică de 1μm şi combină componente electrice şi mecanice.

● NEMS pot fi realizate cu o masă redusă de până la 10−20 N şi cu

secţiuni transversale de circa 10 nm.

Imagine microscopică a unui

MEMS / NEMS
 MEMS / NEMS
● Nano şi micro dispozitivele sunt dispozitivele
electromagnetice integrate de dimensiuni nano şi
micrometrice care:

(1) convertesc stimuli fizici în semnale mecanice sau

electrice şi vice versa, şi
(2) realizează propulsia şi recepţia senzorială.
 MEMS / NEMS

● Până în prezent au fost realizate o largă varietate de

sisteme microelectromecanice MEMS, cu dimensiuni
plecând de la câţiva microni până la câteva mii, printre care:
● Dispozitive pe bază de Si;
● Senzori şi actuatori chimici şi biologici;
● Structuri miniaturale non – siliciu (de ex., dispozitive din materiale
plastice sau ceramice).

● De asemenea, au fost produse şi diferite sisteme

nanoelectromecanice NEMS.
 MEMS / NEMS

●Două dintre cele mai importante aplicaţii industriale ale

MEMS sunt:
● accelerometrul (cca. 85 milioane de unităţi în 2002) – măsoară
acceleraţia autovehiculelor; rezultatele merg către un procesor
care decide asupra declanşării airbag-urilor.
● microoglinzi digitale (venituri de cca. 400 milioane dolari în 2002).

Microoglindă ce poate fi ridicată sau

coborâtă cu ajutorul unui micromotor
 MEMS / NEMS

● Sistemele BIOMEMS şi BIONEMS se folosesc din ce în ce

mai mult în aplicaţii comerciale.
● Cea mai mare parte a aplicaţiilor BIOMEMS includ senzori de
sanguini pe bază de siliciu pentru monitorizarea presiunii sanguine
(cca. 20 milioane de unităţi în 2002) şi o largă varietate de
biosenzori.
 MEMS / NEMS

● Integritatea structurală prezintă o importanţă capitală în

utilizarea tuturor dispozitivelor.
● Tensiunile aplicate în timpul utilizării dispozitivelor pot conduce la
avarierea componentelor;
● Fisurile se pot dezvolta sau propaga sub forţele de tracţiune,
ducând, de asemenea, la avarii;
● Frecarea şi uzura limitează durata de viaţă şi compromit
performanţele şi siguranţa dispozitivelor ce includ şi mişcare.
● Majoritatea aplicaţiilor MEMS/NEMS necesită siguranţă
extremă.
● Inginerii şi designerii MEMS/NEMS doresc proprietăţi
mecanice la scară nanometrică.
 MEMS / NEMS

● Majoritatea materialelor folosite în mod obişnuit pentru

aplicaţii MEMS/NEMS sunt materiale pe bază de siliciu sau
monocristale de siliciu (de ex., SiO2 şi filme polisiliconice
depuse prin metoda depunerii chimice din vapori la presiune
scăzută - LPCVD).

● Un studiu recent a arătat faptul că siliciul este un material

cu proprietăţi mecanice deosebite, în plus faţă de
proprietăţile sale electronice favorabile.
 MEMS / NEMS

● Filme de monocristal 3C-SiC (cubic sau β-SiC) depuse

prin procesul de depunere chimică din vapori la presiune
atmosferică (APCVD) pe substraturi de siliciu cu suprafeţe
mari, sunt produse pentru aplicaţii cu micro / nano senzori şi
actuatoare de temperatură ridicată.
● Aliaje amorfe pot fi formate atât pe substraturi metalice sau
de siliciu prin tehnici precum sputtering şi placare, dovedind
o flexibilitate sporită în integrarea superficială.
● Filme subţiri amorfe de Ni-P au fost utilizate pentru
realizarea de microdispozitive, în special folosind aşa
numitele tehnici LIGA (litografie cu raze X, electrodepunere
şi modelare).
 MEMS / NEMS

● Micro / nanomecanismele au nevoie de conductori pentru

energie, de asemenea de semnale electrice / magnetice
pentru a fi funcţionale.
● Filmele electroplacate cu aur şi-au găsit aplicaţii largi în
mecanismele electronice, datorită simplităţii proceselor şi
grosimei foarte mici a filmului.
● Folosirea de filme SiC, Ni-P şi Au împreună cu materiale
pe bază de siliciu sau siliciu deschid noi oportunităţi pentru
aparatele bazate pe MEMS/NEMS.
 MEMS / NEMS

Mecanisme complexe de încuiere

pot fi acţionate de un micro-motor
şi forţe electrostatice