Servicii de microprelucrari in cadrul

INSTITUTULUI NATIONAL DE
CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU
INGINERIE ELECTRICA ICPE-CA
Cristinel Ilie, Marius Popa
Parteneriat pentru inovare:
cercetare-industria electronica

18 octombrie 2012

Servicii de
microprelucrare

Realizarea unor produse cu valoare adaugata ridicata

pentru dezvoltarea unui domeniu de varf al ingineriei
electrice tehnologia microsistemelor.

INCDIE ICPE-CA dezvolta cercetari privind:

- Microactuatori;
- Microsenzori i biosenzori;
- Microsurse de energie (micropile de combustie).
- Alte sisteme microelectromecanice (MEMS): (cipuri
microfluidice, generatoare microbule, micropompe,
microvalve);
-Tehnologii si materiale noi pretabile la utilizarea in
domeniul MEMS

Laborator destinat procesarii sistemelor

microelectromecanice - MEMS
Compartiment destinat prelucrarilor prin tehnologie LIGA
Sistem de litografie prin scrierea directa cu laser, DWL66FS
Sistem de ndeprtat fotorezist SU8 cu radicali liberi, tip STP 2020
Compartiment destinat prelucrrilor prin procedee neconventionale
Main de prelucrat prin electroeroziune cu fir, SMART DEM
Main de prelucrat prin electroeroziune cu electrod masiv, ZNC-EDM 250
Sistem de prelucrare n 5 axe folosind laser cu excimeri, COHERENT-ISEL
Compartiment destinat prelucrrilor mecanice de precizie
Centru de prelucrare de nalt precizie n 5 axe, KERN Micro
Strung cu comand numeric tip elvetian, DIAMOND 12
Centru de prelucrare n 3 axe, TOPPER

Procesare MEMS
Centru de prelucrare de nalt
precizie n cinci axe
KERN Micro,
diametru minim scula 0,01 mm
turatie arbore principal 50000 rpm

Main de prelucrat
prin electroeroziune
cu fir, SMART DEM
Diametru fir 0,25 mm
Prelucrare in 4 axe

palpator mecanic, masurare scula

cu laser

Staie de prelucrat
cu laser cu excimeri
KrF, 248 nm, 25W,
10-50 ns pe puls

Tehnologia LIGA

Sistem de litografiere cu laser DWL 66FS,

(376nm, 18mW, viteza de scriere 5,7mm2/min)
Sistem de indepartat rezist SU8, tip STP 2020
(gaze de proces CF4, O2, N2)

Realizri practice

Microgenerator
electric 0,4 W

Prelucrri micromecanice pe maini cu

comand numeric
Procesare laser
folosind mti
Mrime istm masc
= 0,51 mm
Marime istm pies
= 0,07 mm
Pinion d=1,12 mm realizat prin
tehnologie LIGA

Realizri practice
Structur cu roat dinat
nglobat n fotorezist SU8.
Microscopie optic, 50x

Structur cu roat dinat

parial degajat din fotorezistul
SU8.
Microscopie SEM, 200x

Realizri practice
Poanson roata dintata. Microscopie SEM, 198x

Repere extrase din ansamblu

Roi dinate cu profil cicloidal extrase de pe substrat

Realizri practice
Separatoare microfluidice

Separatoare microfluidice in doua variante constructive.

Dimensiuni canale: 50m, 30m i 200m.

Tehnologia LIGA Realizari practice

Sabloane in SU8 si piese individuale

Sablon pentru
micromagneti in
SU8

Sablon pentru roti

dintate in SU8

Stator motor electrostatic Rotor motor electrostatic

Membrana pentru
micropompa

Membrana pentru
micropompa
(detaliu)

Senzor umiditate

Roata dintata din Ni

Realizari practice

sisteme pentru microfluidica obtinute prin tehnologie LIGA

Canale pentru
microfluidica in
SU8

Rezervor si canal in
SU8

Canale pentru
Canale pentru microfluidica
microfluidica in SU8
in SU8

repere pentru micromotoare si microgeneratoare electrice

Pachete tole pentru

micromotoare

Roti dintate si
portsatelit

Tola microgenerator

Mecanism planetar cu
roti

Realizari practice
Microgeneratoare de bule

Microgeneratoare in functionare
(diametru 0,1 mm- 0,3 mm)

Eficienta aerarii in functie de

debitul de aer prin placi
perforate cu diferite diametre
ale orificiilor de aerare

Repere pentru microsateliti

rq
Suport motor (Ti)

Balama I (Alama)

Balama II(Al)

Dispozitive microfluidice

Dispozitiv destinat
separarii eritrocitelor
(5-7m) de leucocite
(7-20m)

Dispozitiv destinat
separarii algelor din apa
de mare (4 tipuri de alge
cu 3 tipodimensiuni: 23m, 3-6m, 10-15m)

Detaliu - Piloni cu pereti

verticali (diametre: 40m,
50m)

Micropompe
Vedere de ansamblu

Micropompa cu
actuatie
piezoelectrica

Micropompa cu
actuatie
electromagnetic
a

Izolarea
elementului de
calcul

Calculul forei magnetice cu

programul INFOLITICA 6.26.1,

Va multumim

Conta
ct

INCDIE ICPE-CA
Splaiul Unirii 313, Sector 3, Bucuresti, 030138
Tel.: +40-021-346-72-35
Fax. : +40-021-346-82-99
www. icpe-ca.ro
ing. Cristinel ILIE, cristinel.ilie@icpe-ca.ro
ing. Marius POPA, marius.popa@icpe-ca.ro