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Principe : dposer,
sur un substrat
catalytique ou rendu
pralablement
catalytique, un film
conducteur par
immersion dans un Fig 1 : Mcanisme
rcationnel dune
bain chimique. raction autocatalytique
Dpt autocatalytique ou electroless [1]
Etapes :
Prparation de la surface
Activation de la surface
Rinage
Ractions chimiques:
Avantages :
Inconvnients:
Dfinition et
proprits du
dpt par voie
chimique
lectrolytique et
autocatalytique.
Le mcanisme de croissance du Cu
Possibilit de diffusion
entre le Cuivre et le
Silicium ltat solide.