Breve introduccin a la tecnologa

del VACO, y su medida.

Joaqun Sevilla Morder

Departamento Ingeniera
Elctrica y Electrnica

Marzo, 2013
 Vaco
Presiones inferiores a la atmosfrica, pero especialmente las mucho menores

Presin Presin
manomtrica absoluta
Presin

Presin Atmosfrica (baromtrica)

Vaco (presin manomtrica negativa)

Presin
absoluta

Cero absoluto
Niveles de vaco
Historia del vaco

Evangelista Torricelli
(1608-1647)
 Hemisferios de Magdeburgo 1654

Otto van Guericke

b. Nov. 20, 1602, Magdeburg, Prussian Saxony [now in Germany]
d. May 11, 1686, Hamburg, Germany

http://chem.ch.huji.ac.il/~eugeniik/history/guericke.html
Historia del Vaco II
Caractersticas fsicas vs. presion
Elementos fundamentales de un sistema de vaco
 Qu limita el vaco ltimo?

Bajar la presin aproxima a la zona

gaseosa en cualquier material.
En ltimo extremo, el material de la
cmara de vaco se evapora hacia el
interior. Porqu no hay televisiones
con el tubo (CRT) de plstico?
 Sistemas de medida de presin
Total

Parcial
Rangos de uso
 Vacumetros clsicos

Pirani De termopar Penning

Vacumetro de Anlogo al Pirani, ms barato Por debajo de 10-3 Torr se automantiene
conductividad trmica: un y con menos problemas de una descarga (por alta tensin) en
hilo metlico en rgimen de contaminacin. Tambin hay presencia de un campo B (aumenta la
autocalentamiento, alcanza que corregir por tipo de gas. probabilidad de ionizacin las
el equilibrio a mayor Algo menos preciso. trayectorias helicoidales). La corriente
temparatura si la presin es de descarga es proporcional a la presin
Entre 50 y 10-3 Torr.
ms baja. Entre 10-2 y 10-6 Torr.
Entre 1 y 10-3 Torr.
Bombas de Vaco (mecnicas)
Bombas de Vaco (mecnicas)
Bombas de vaco (Difusora)
Bombas de Vaco (turbomolecular)