Microplasma

Petcu George-Denis
Universitatea Ovidius Constanța
Fizică Tehnologică, Anul III
Aplicațiile Tehnologice ale Fizicii Plasmei
25.01.2022
 Microplasma
Microplasma este o subdiviziune a plasmei în care
dimensiunile plasmei pot varia între zeci, sute sau chiar
mii de micrometri. Majoritatea microplasmelor care sunt
folosite în aplicații comerciale sunt plasme reci și sunt
generate de obicei la presiune ridicată până la presiunea
atmosferică sau mai mare. Aprinderea cu succes a
microplasmelor este guvernată de Legea lui Paschen,
care descrie tensiunea de rupere (tensiunea la care
plasma începe să arcuiască) ca o funcție a produsului
dintre distanța electrodului și presiunea (Fig.1) , unde:
 pd este produsul dintre presiune și distanță Fig. 1
 A și B sunt constantele de gaz pentru calcularea
primului coeficient de ionizare al lui Townsend
 γ este coeficientul de emisie secundară a materialului.
 Pe măsură ce presiunea crește, distanța
dintre electrozi trebuie să scadă pentru a
obține aceeași tensiune de defalcare.
Această lege s-a dovedit a fi valabilă la
distanțe interelectrodice cât mai mici de
zeci de micrometri și la presiuni mai
mari decât cele atmosferice. Cu toate
acestea, valabilitatea sa la scari și mai
mici (apropiindu-se de lungimea Debye)
este încă în curs de investigare.
 Microplasma – Configurații
Sunt clasificate în aproximativ trei moduri:
 Modul concentrat de energie - Microplasma este generată la vârfurile electrodului
cu rezistențe de câmp electric concentrat și, prin urmare, o energie electrică
ridicată.
 Modul spațial limitat – Volumul microplasmei prezintă limite solide, precum
microcelule sau capilarele afișate în panourile cu plasmă.
 Modul limitat în masă – Microdescărcarea se dezvoltă între electrozi folosind un
material inițial.

Există mai multe tipuri diferite de configurații de microplasmă.

Dielectric Barrier Discharge Microplasma (DBD)
O microplasmă DBD este o descărcare care utilizează limite dielectrice pentru a
preveni evacuarea trecerii într-un arc prin interzicerea încărcărilor de a fi absorbite
în electrozi. O configurație tipică a microplasmei DBD este prezentată în figura (2)
care constă dintr-o descărcare plană dielectrică cu doi electrozi acoperiți cu un
strat izolator, formând un spațiu de aer între ei pentru ca microplasma să se
descarce și pentru a putea funcționa cu putere mai mică de 250 mW.
Micro-Hollow Cathode Discharge Microplasma (MHCD)
Constă din doi electrozi strâns separați de un strat dielectric cu o
tensiune aplicată între ele.
Diametrul găurii și grosimea dielectrică sunt de ordinul unor
sute de microni.
 Microplasma în secțiune
Microplasma piramidală pătrată
transversală
Frecvența radio a microplasmei cuplată inductiv
 descărcări fără electrozi care utilizează inducerea printr-o
bobină învelită în jurul unui perete dielectric pentru a
genera microplasma
 Frecvența radio a microplasmei cuplată
capacitiv
 Figura alăturată afișează o configurație
tipică a unei descărcări de microplasmă
cuplată capacitiv care are un spațiu
interelectrodic de 65-500 μm.
 Studiile au arătat că atunci când aceste
evacuări operează peste regiunea de
frecvență radio, se va observa o reducere a
tensiunii și crește eficiența.
 Microstrip Microplasma
Utilizează tehnologia microstrip pentru a transfera
câmpurile electromagnetice într-un spațiu mic de aer
pentru a genera microplasmă.
 Microplasma – Aplicații
 Datorită caracteristicilor sale unice, o serie de aplicații importante sunt exploatate cu dezvoltarea tehnologiei
de microplasma, dintre care o aplicație deosebit de promițătoare și adecvată este pentru sinteza
nanomaterialelor. Tabelul prezintă o comparație a unor caracteristici evaluate de procesul de nanofabricare
între microplasmă și plasmă convențională.

Aspect Microplasma Plasma convențională

Presiunea de lucru
Temperatura gazului
Dimensiunea și
distribuția particulelor
Configurare și investiție
Presiune atmosferică
Mică, poate fi chiar
temperatura camerei
Dimensiune uniformă.
distribuție îngustă
Destul de mică, ușor de
mutat
Necesită întotdeauna
presiune scăzută
Necesită întotdeauna
temperatura peste
1000°C
Dimensiunea relativ mai
mare și distribuția
neuniformă
Mereu mare și fixată
 Datorită reactivității ridicate și a costului relativ scăzut de funcționare,
microplasmele au fost studiate pentru aplicații din mediul înconjurător, în
special pentru distrugerea compușilor organici volatili (COV) cum ar fi
etilenă, benzen, toluen și octan.
 Un număr de studii s-au concentrat asupra utilizării microplasmei pentru
sistemele biologice. Întrucât microplasma poate inactiva
microorganismele, cum ar fi celulele, virușii, bacteriile, sporii, biofilmele,
acesta a fost utilizat ca instrument de inactivare, sterilizare și bio-
decontaminare .
 Este ca o sursă de radiație ultravioletă. De la prezența unei densități mari
de electroni de energie în microplasmă, aceasta permite formarea
excimerului pentru gaze (He, Ne, Ar, Xe, XeCl).
 Alte aplicații cum ar fi diagnosticarea biomedicală, analiza spectroscopică
și tratamentul medical al pielii au fost raportate și în curs de dezvoltare
 Analiza experimentală
Pentru analiza experimentală a microplasmelor sunt folosite următoarele:
 Spectroscopia Optică de Emisie (Optical Emission Spectroscopy)
 Spectroscopia de Corelație încrucișată (Cross-Correlation Spectroscopy)
 Interferometria Laser (Laser Interferometry)
 Fluorescență indusă cu Laser (Laser Induced Fluorescence)
 Spectrometria de masă cu fasicul molecular (Molecular Beam Mass
Spectrometry)
 Diode Laser Absorption (DLA)
 Optical Emission Spectroscopy (OES)

În general, pentru caracterizarea

experimentală a dinamicii
plasmei, OES este utilizat la
scară largă pentru a obține
evoluții spațio-temporale ale
parametrilor plasmei. OES al
plasmelor poate fi măsurat printr-
un tub de safir conectat la o
cameră ICCD (Intensified Charge
Coupled Device) cu viteze de
obturare de subnanosecunde, un
spectrometru cu o rezoluție
instrumentală de 0,1 nm și un
computer de achiziție de date
pentru a înregistra măsurătorile.
 Cross-Correlation Spectroscopy (CCS)

O altă metodă folosită pentru obținerea evoluției spațio-temporale în

microplasme este CCS. Aceasta este o metodă OES care folosește tehnica
de numărare a unui singur foton corelat în timp pentru a oferi evoluții
spațio-temporale la scale mai mici de mm în spațiu și ns în timp.
CCS măsoară în mod repetitiv emisiile de lumină și utilizează media
statistică a funcției de corelație încrucișată a două semnale optice care
provin din impulsul luminii de descărcare. Cele două semnale optice sunt
semnalul principal (adică un singur foton spațial și spectral) și semnalul de
sincronizare. Folosind întârzierea dntre cele două semnale, se calculează
timpul relativ pentru fiecare foton.
Cross-Correlation Spectroscopy (CCS)
 Laser Interferometry (LI)

Interferometria laser este utilizată pentru evoluția spațio-temporală a

densității electronilor din microplasme. Densitățile de plasmă electronică
pot fi măsurate folosind tehnici LI în care variația indicelui de refracție al
mediului este utilizat pentru a calcula diferiți parametri ai plasmei. Diferite
metode pot fi:
1. măsurarea unghiului de deviere al fasciculului - o sondă de lumină este
scanată prin plasmă și o cameră fotografică este utilizată pentru a
înregistra datele.
2. măsurarea fazei (interferometrie) - în cazul măsurătorilor de fază, două
fascicule se propagă pe căi separate și se recombină într-o etapă
ulterioară unde în funcție de defazajul celor două fascicule, se calculează
parametrii plasmei.
Laser Interferometry (LI)
 Laser Induced Fluorescence (LIF)

• LIF folosește emisia optică de la

moleculele care au fost excitate la
niveluri mai mari de energie prin
absorbția radiației electromagnetice.
• În LIF, un fascicul laser pulsat este
folosit pentru a excita selectiv atomii
de plasmă, determinându-i să emită un
impuls de lumină fluorescentă la o
lungime de undă caracteristică.
• LIF, în comparație cu tehnicile de
emisie, are o mai bună rezoluție spațio-
temporală și un timp de observare mai
lung datorita faptului ca atomii sau
ionii pot fi excitati chiar și dupa ce
emisia a încetat. Un raport semnal-
zgomot ridicat există ceea ce permite
ca LIF să aibă timpi de observare foarte
scurți în timpul măsurătorilor
experimentale.
 Molecular Beam Mass Spectrometry (MBMS)
 MBMS a fost folosit recent pentru a determina compoziția ionică a ionilor negativi
și pozitivi din microplasme. Ionizarea cu un singur foton permite o modalitate de a
reduce formarea de ioni de fragment, identificând în același timp, diferitele specii
prin ionizarea lor. MBMS a fost folosit pentru a studia particulele nucleare din
microplasmele inductive și reprezintă faza de tranziție între moleculele mici
individuale la macromolecule. Unul dintre avantajele majore ale MBMS este
capacitatea sa de a studia un număr mare de specii diferite care există de obicei
într-o descărcare de microplasmă.
 Alte tehnici de analiză experimentală

Pentru calcularea densității electronilor se folosesc și alte

tehnici:
 Langmuir Probes
 Interferometria cu microunde
 Thomson Scattering.
 În intervalul de densități de la 1015-1018 cm-3, se utilizează
și lărgirea Stark a liniilor spectrale vizibile.
În cele din urmă, parametrii generali ai microplasmei, cum
ar fi curentul electric, tensiunea, temperatura pot fi
măsurați folosind echipamente standard de laborator.
 Bibliografie
 https://benthamopen.com/contents/pdf/
TOAPJ/TOAPJ-4-45.pdf
 https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/
10.1002/adma.201905508
 https://link.springer.com/article/
10.1007/s11090-015-9640-y
 https://en.wikipedia.org/wiki/Microplasma