Cours Capteurs

Anne 2011/2012
IUT Mesures Physiques

CAPTEURS

2
me
anne
Thomas BEGOU Marcel PASQUINELLI
Anne 2011/2012
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Plan du cours (1)
1
re
Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
1.1. Le Capteur (Sensor)
1.2. Aspect conomique
1.3. Importance du capteur dans la chane de mesures
Prsentation Gnrale
2.1. Lentre du capteur : Le mesurande
2.2. Le corps dpreuve
2.3. Le conditionneur / transmetteur
2.4. La sortie du capteur
2.5. Les perturbations
Elments constitutifs
dun capteur
3.1. Le microphone condensateur Exemple dapplication
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Plan du cours (2)
2
me
Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
1. Rponse statique (caractristique entre sortie)
2. Etendue de Mesure : E.M. (Entre)
3. Spcification de la sortie
4. Linarit et erreur de linarit
5. Sensibilit
6. Hysteresis
7. Rsolution
8. Caractristique de transfert
9. Prcision qualitative (fidlit et justesse) et prcision mtrologique
10. Rponses dynamiques
11. Rponse temportelle (ordre du capteur)
12. Rapidit (temps de rponse)
13. Ecart
14. Rponse Frquentielle ou rponse en rgime sinusodal
15. Capteur 1
er
ordre : Relation bande passante / temps de monte
16. Indice de protection IP
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Plan du cours (3)
3
me
Partie : LES CONDITIONNEURS
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils
1.2. Montage potentiomtrique simple
1.3. Montage potentiomtrique push-pull
1.4. Montage en pont dimpdance
1.5. Montage potentiomtrique avec
amplification du signal
Conditionneurs pour capteurs passifs
2.1. Capteurs source de tension
2.2. Capteurs source de courant
2.3. Capteurs source de charge
Conditionneurs de signaux pour
capteurs actifs et/ou sortie de
conditionneurs passifs
1
re
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1.1. Le Capteur (Sensor)
Dfinition : Dispositif de mtrologie charg de traduire les variations d'un procd
physico-chimique en une grandeur exploitable
CAPTEUR
Procds physico-
chimique, mcanique,
lectrique, ...
Grandeur quantitative
exploitable
Pression, temprature,
dbit, vitesse,
acclration,
flux lumineux,
dplacement, ..
- Indication analogique,
numrique
- Signal lectrique
1
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1.2. Aspect Economique (1)
Secteur M
ENERGIE 25
SECURITE 25
GRAND PUBLIC 25
MEDICAL 25
BATIMENT 40
TRANSPORT 48
TEST/LABORATOIRES 125
INDUSTRIEL 350
AUTOMOBILE 375
DEFENSE/AERONAUTIQUE 470
Ventes 2007 de capteurs en France par secteur (M) source Cabinet Dcision
+
-
1
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1.2. Aspect Economique (2)
Ventes 2007 de capteurs en France par type de mesures (M) source Cabinet Dcision
+
-
Type de mesure M
DISTANCE 75
GAZ 77
NIVEAU 77
FORCE 110
FLUX 110
ELECTROMAGNETIQUE 130
INERTIE 145
TEMPERATURE 150
POSITION 151
PRESSION 170
1
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1.3. Importance du capteur dans la chane de mesures (1)
Le Capteur (l'lment qui se trouve en amont d'une chane de mesures)
COMPOSANT ESSENTIEL
Qualit de la mesures
(Mesure simple, contrle, ...)

Voir : Exemple 1
Bon fonctionnement des systmes o
le capteur est intgr
(rgulation, contrle in-situ de procds)

Voir : Exemple 2
1
re
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Exemple 1 : Mesure simple
CAPTEUR
Conditionnement du
signal
Source d'nergie
Exploitation
(Affichage, lecture, ...)
1
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Exemple 2 : Dtection niveau et rgulation
Niveau MAX
Niveau min
Capteur 1
Capteur 2
Rgulateur
Valve automatique
Les mesures raliss par les capteurs 1 et 2 permettent par le biais du rgulateur de rgler
le niveau deau dans le rcipient.
1
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2.1. Lentre du capteur : Le mesurande
Dfinition : Le mesurande est la grandeur physico-chimique mesurer, on le notera , x,
X ou E pour se rfrer l'entre du capteur.
Exemple : Pression, temprature, position, dplacement, acclration, tension, pH, ...
On peut distinguer plusieurs type de mesurandes :
X
t
X
t
t
X
Mesurande constant Mesurande volution
temporelle non rptitive
Mesurande volution
temporelle rptitive
(priodique)
1
re
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2.2. Le corps dpreuve

Dfinition : Le corps d'preuve est l'lment d'entre du capteur qui rpond aux
sollicitations du processus physico-chimique.
Soumis au mesurande tudi, il assure la traduction en une autre grandeur qui peut tre
de nature non lectrique, dans ce cas ce mesurande secondaire est ensuite traduit en
grandeur lectrique.
Dformation Rsistance
Application
dune
FORCE
Exemple : Capteur de force rsistif
) (F f R =
) ( F g R A = A
- ... liant la valeur de la rsistance R la valeur de la force applique F
- ... liant la valeur de la variation de la rsistance R de la jauge
la variation de la force applique F
Le mesurande primaire est la force applique, F, le corps dpreuve est constitu par un
conducteur mtallique qui va se dformer dune quantit L sous l'action de F, cette
dformation est alors traduite en variation de rsistance R.
F L R
Lide : Chercher les relations ...
1
re
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2.3. Le conditionneur / transmetteur
Dfinition : Le conditionneur est l'lment de sortie du capteur qui transforme les
variations du mesurande primaire ou secondaire en variations lectriques exploitables
(tension, courant, .).
Dformation Rsistance
Application
dune FORCE
Exemple : Capteur de force rsistif avec son conditionneur
F L R
Tension
Conditionneur
U
Nota : Du point de vue de l'utilisation, on regroupe souvent les fonctions capteur-
conditionneur sous un mme terme de capteur ou transducteur.
Capteur (ou
transducteur)
Application
dune FORCE
TENSION
1
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2.4. La sortie du capteur (1)
Capteur (ou
transducteur)
Mesurande
X
Sortie
Y
Dfinition : La sortie du capteur est not Y, y ou S. La principale fonction du capteur est
de quantifier le mesurande, cette traduction est gnralement ralise par l'existence d'une
relation mathmatique liant la sortie et lentre du capteur.
Y X Y Y Y X X X A + = A + =
0 0
Nota 1 : Si la rponse est linaire alors y = k.x et y = h.x ou f(X) = g(X)
On cherche un
lien entre:
Que lon peut
mettre sous la
forme de
) ( X f Y = ) ( X g Y A = A
Avec : , , X
0
et Y
0
valeur de X et Y lquilibre
1
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00010111
5V
0V
17mA
Sortie
Numrique
Sortie Tout Ou
Rien (TOR)
Sortie
Analogique
Seuil
X
On peut distinguer plusieurs type de sorties :
1
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Nota 1 : Dans de nombreuses applications, le capteur donne une rponse nulle S = S
0
=0
pour une valeur particulire m = m
0
du mesurande (quilibre) et prsente une sortie non
nulle pour les variations du mesurande par rapport cette valeur d'quilibre :

Y = f(x)

Exemple : Capteur de pression relative : S = 0 pour P = P
atmosphrique
Nota 2 : On recherchera le plus souvent une relation linaire de la forme S = k.m
(Y = k.X) ou S = k.m.
1
re
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Nota 3 : Les grandeurs influentes sont toujours prises en compte dans le processus de
mesure :

Le mesurande est bruit
Les caractristiques mtrologiques du capteur sont modifies

La sortie est alors fonction du mesurande et de ces grandeurs perturbatrices (bruit).

S = f(m) + g(bruit, mtrologie)

Il est donc ncessaire :

de prciser les conditions de mesures
de vrifier priodiquement les caractristiques mtrologiques du capteur en
ralisant des calibrations rgulires ou des talonnages certifis
1
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2.5. Les perturbations (1)
Dfinition : Les perturbations sont des grandeurs qui peuvent :

se superposer au mesurande (grandeurs interfrentes ou bruit)
modifier les caractristiques mtrologiques du capteur (grandeurs modifiantes)

Ces deux processus peuvent s'additionner.
Capteur
Mesurande
X
Sortie
Y
Grandeurs
interfrentes
(Bruit)
Grandeurs
modifiantes
(Pressions,
tempratures,
rayonnement, ...)
1
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Exemple : Capteur rsistif : Jauge de contrainte ou capteur de force
Principe : L'application d'une force F se traduit par une variation de rsistance R
c
de la
jauge, cette variation de rsistance est traduite en variation de tension U
c
par l'intermdiaire
du conditionneur.
Capteur (ou
transducteur)
Application
dune FORCE
TENSION
F U
c
( ) F f R
c
A = A Hypothse :
1
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U
0
R
c
R
0
F
U
c
0
0
) (
U
R R
R
U
c
c
c
+
=
Relation entre U
c
et U
0
:
0
2
1
U U
c
= On veut pour F=0 (pas de sollicitations) :
0
0
2
1
) (
R R
R R
R
c
c
c
= =
+
c c
R R R A + =
0
Hypothse (lorsquune force F est applique) :
1
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U
0
R
c
R
0
F
U
c ( )
0
2
0
0
0
2
0
0
) (
) (
U
R R
R
U
R R
R R R
dR
dU
c c
c c
c
c
+
=
+
+
=
0
0
0
2
0
0
4
1
4
U
R
U
R
R
dR
dU
c
c
~ ~
c c
R
R
U
U A = A
0
0
4
Drive de U
c
par rapport R
c
:
Que lon peut crire :
( )
0
2
0
0
2
U
R R
R
dR
dU
c
c
c
A +
=
Si lon prend R
0
telle que R
0
>> R
cMAX
, alors on peut simplifier lquation de la drive,
qui peut tre crit sous la forme :
1
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U
0
R
c
R
0
F
U
c
Grandeurs
Interfrentes
(bruit)
La temprature
conditionne la valeur de
R
c
, elle agit ici comme
grandeur interfrente

R
c
= f(T)
c c
R
R
U
U A = A
0
0
4
Grandeurs
modifiantes
La stabilit de
l'alimentation de tension U
0

ainsi que leffet de la
temprature sur R
0

interviennent ici comme
grandeurs modifiantes,

U
0
= g(T) et R
0
= h(T)
1
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3.1. Le microphone condensateur (1)
Le microphone condensateur ou sonomtre est principalement ddi
linstrumentaion.
Il dtecte une pression acoustique p(t) qui se superpose la pression atmosphrique
P
0
. Le sonomtre traduit ensuite cette pression p(t) en une tension lectrique v(t).
v(t) P
0
+ p(t)
1
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1. Le capteur : un transducteur pression / capacit
Principe : Le capteur est constitu de deux armatures mtalliques de surface S, spares
par une distance e et avec l'armature avant mobile.
Une variation de pression p se traduit par l'application d'une force F sur l'armature
mtallique mobile du capteur modifiant la distance inter armature e. Cette variation sur e
entrane une modification de la capacit C inter-lectrode.
e
Surfaces S
P
0
+ p(t)
P
0
Variation de la
position de
larmature mobile
v(t)
e
S
C c =
Tension mesure
en sortie
1
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2. Le mesurande
P
0
t
Po + p(t)
P

Le mesurande correspond la surpression p(t) gnre par la source sonore.
1
re
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3. Le corps dpreuve
Le corps dpreuve du microphone est une membrane ou diaphragme mtallique trs
lger et mobile d'paisseur voisine de 10 m.
Membrane
( 10m)
1
re
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4. Le conditionneur
Le conditionnement du signal a pour objectif l'exploitation quantitative du mesurande, il
est ralis ici par :

une source de polarisation externe qui dlivre une tension continue au condensateur
un pramplificateur qui permet damliorer le signal de sortie v(t)
Polarisation U
0
Cartouche
microphone
Pramplificateur

p(t) v(t)
1
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5. Expression de la sortie et de la sensibilit du microphone
Grandeurs interfrentes : La principale grandeur interfrente est la pression
atmosphrique ( et ses variations). Pour s'affranchir des variations de ce paramtre, un
orifice interne la cartouche microphonique permet de maintenir l'galit des pressions
statiques.
P
0
+ p(t)
P
0

Grandeurs modifiantes : Ce sont la tension de polarisation continue U
0
et le gain de
l'amplificateur.
1
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5. Expression de la sortie et de la sensibilit du microphone
Le constructeur spcifie, aprs talonnage, la sensibilit absolue du microphone qui est
donne par le rapport de la tension de sortie ramen la pression acoustique.

Exemple : Microphone B&K type 4145 : N srie : 2121932

S
ea
= Sensibilit absolue : 46,2 mV/Pa
S
er
= Sensibilit relative : -26,7 dB (Re 1V/Pa)
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Introduction
Le choix d'un capteur dpend de ses spcifications mtrologiques, ses applications sont
elles mmes conditionnes par le comportement ou la rponse du capteur une entre
(mesurande) donne.

On distingue usuellement les rponses statiques et dynamiques du capteur :

Dans le premier cas l'entre ne varie pas ou varie par paliers et la grandeur de
sortie est releve lorsque tout effet transitoire a disparu.

La rponse dynamique traduit le comportement transitoire temporel du capteur,
elle renseigne galement sur son comportement frquentiel.
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1. Rponse Statique : Y = f(X) (ou S = f(E))
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5V
0V
17mA
Sortie
Numrique
Sortie Tout Ou
Rien (TOR)
Sortie
Analogique
Seuil
X
La rponse statique est gnralement obtenue aprs un talonnage statique qui consiste
relever les valeurs de la sortie lorsque l'entre considre varie par paliers. Les autres
paramtres (entres interfrentes ou modifiantes) sont maintenus constants.
Elle est reprsente par le trac : Y = f(X)
On peut distinguer
trois comportements :
2
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2. Etendue ou plage de Mesure : E.M. (Entre)
Les valeurs limites du mesurande qui sont acceptables en entre du capteur constituent
l'tendue de mesure.
Cette spcification peut aussi s'appeler calibre
.
On l'exprime souvent par l'cart E.M.:

X
max
et X
min
sont exprims dans l'unit de l'entre X.

Si X
min
= 0, on indique souvent l'tendue de mesure par X
max

Exemples : E.M. : (-100C +200C); ( 0 100 bar); (100N)
min max
. X X M E =
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3. Spcification de la sortie (1)
La nature du signal de sortie dpend du type de capteur utilis, cependant on peut
regrouper les familles suivantes:
Capteur Passif

Le signal de sortie est quivalent une impdance. Une variation du phnomne
physique tudi (mesur) engendre une variation de l'impdance. Ce type de capteur doit
tre aliment par une tension lectrique pour obtenir un signal de sortie.

Exemple : thermistance, photorsistance, potentiomtre, jauge dextensomtrie appele
aussi jauge de contrainte
jauge de contrainte
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3. Spcification de la sortie (2)
Capteur Actif

Signal de sortie quivalent une source de tension continue
Exemple : Sortie 0-1V, + 5V, 0-200mV

Signal de sortie quivalent une source de courant continu
Exemple : sortie 4-20mA

Autres signaux de sortie
Exemple : Tension alternative sinusodale, sortie impulsionnelle,
sortie numrique, sortie TOR,
Calibre ou Pleine Echelle (Full Scale Output) : Valeur maximale de la sortie
Exemple de capteur actif : thermocouples, capteur CCD, microphone, ...

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4. Linarit et erreur de linarit (1)
Capteur (ou
transducteur)
Mesurande
X
Sortie
Y
Y X Y Y Y X X X A + = A + =
0 0
) ( X f Y = ) ( X g Y A = A
Dune manire gnrale, on a : et
avec et
Dfinition : Si la rponse du capteur est linaire alors on aura f(X) = g(X)

Le capteur est dit linaire si, avec :

On a :

avec a = cste
1 1
Y X
2 2
Y X et
2 1 2 1
Y Y Y X X X + = + =
1 1
aY Y aX X = =
2
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4. Linarit et erreur de linarit (2)
Exemple : Capteur linaire et non linaire
Si la caractristique Y = f(X) est
trac dans une chelle linaire,
alors on a :

Capteur 1 : linaire
Capteur 2 : non linaire
X
Y
1
2
kX Y =
0
Y kX Y + =
Nota : La relation entre sortie dun capteur linaire est donc de la forme :
On appelle souvent capteur linaire un capteur de caractristique
Cette dnomination est un abus de langage (voir dmonstration).
avec k = cste
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5. Sensibilit
Dfinition : La sensibilit (k, G ou S) du capteur est donne par le quotient de
l'accroissement de la grandeur de sortie Y par l'accroissement correspondant du
mesurande X.
dX
dY
X
Y
S k G
X X
x
=
A
A
= = =
=
A
0
0
lim
(en X = X
0
)
Nota : La sensibilit d'un capteur linaire est constante sur son tendue de mesure.
Exemple : Sensibilit dun microphone : S = 46,2 mV/Pa
Sensibilit dun thermocouple : S = qqes dizaines de V/C (selon leurs types)
2
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6. Hystrsis
Dfinition : Un capteur prsente une hystrsis lorsque la valeur de la sortie dpend de la
manire dont celle-ci a t atteinte (mesurande croissant ou dcroissant)
X
Y
1 : Mesurande croissant
X
0
Y
01
Y
02
2 : Mesurande dcroissant
Exemple : mesure de temprature par un capteur comportant une protection en
plastique comme les thermistances ou la Pt 100 surmoule. Des rsultats diffrents sont
obtenus pour une tude par temprature croissante ou par temprature dcroissante.
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7. Rsolution
Dfinition : La rsolution correspond l'accroissement minimum de la grandeur d'entre
provoquant une modification de la grandeur de sortie.
X
Y
Rsolution = X
min
Y 0

Y = f(X) idal
Y = f(X) rel
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8. Caractristique de transfert
Dfinition : La caractrisitique de transfert dtermine la relation entre la lentre et la
sortie du capteur. Dans la plupart des applications, quand cela est possible, la sortie du
capteur suit une loi du type :

Y = k.X + Y
0

Ou k est la sensibilit du capteur et Y
0
le dcalage du zro. (Y = Y
0
pour X = 0)
X
Y
X

Y

Y = k.X + Y
0
Y
0
0
0
X
Y
k
A
A
=
Etendue de mesure

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9. Classe de prcision (fidlit et justesse) (1)
Pour dfinir cette notion nous allons considrer le cas ou l'on effectue des mesures en
conditions de rptabilit qui sont les suivantes :

mme mesurande,
mme oprateur,
mmes conditions exprimentales.

La valeur vraie du mesurande est X
v
, les valeurs mesures sont notes X
i
et la valeur
moyenne des mesures X
i
est note X
m
X
m
Capteur non fidle
et non juste
Capteur fidle
et non juste
X
m
Capteur non fidle
et juste
Capteur fidle
et juste
X
v
X
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9. Classe de prcision (fidlit et justesse) (2)
Les constructeurs indiquent souvent la classe de prcision qui permet
d'estimer lincertitude de mesure.

Exemple : Capteur de force :

Etendue de Mesure (Full Scale) 100 N
Prcision (Measurement uncertainty) 1 % E.M

Incertitude-type sur la valeur affiche : Elle obit ici une loi uniforme (voir cours de
mtrologie 1
re
anne)
3
) (
a
F u =
avec a = 100 * 1% = 1 N, on obtient u(F) = 0,58 N
2
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10. Rponses dynamiques
On classe dans cette catgorie les rponses temporelles Y(t) et frquentielles Y(f) du
capteur.
La rponse temporelle dcoule de la rsolution de l'quation diffrentielle liant Y(t) X(t)
exprime de la faon suivante :
Capteur (ou
transducteur)
Mesurande
x(t)
Sortie
y(t)
) ( ) (
) (
... ..........
) ( ) (
0 1
1
1
1
t x t y a
dt
t dy
a
dt
t y d
a
dt
t y d
a
n
n
n
n
n
n
= + + + +

n reprsente l'ordre du systme (capteur)

2
me
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11. Rponses temporelles (ordre du capteur)
La rponse temporelle caractrise par l'ordre du systme dtermine les paramtres
mtrologiques du capteur.
Exemple : capteur ordre 0
) ( ) (
0
t x t y a =
) ( ) (
0
1
t x t y
a
=
) ( . ) ( t x k t y =
Exemple : capteur ordre 1
) ( ) (
) (
... ..........
) ( ) (
0 1
1
1
1
t x t y a
dt
t dy
a
dt
t y d
a
dt
t y d
a
n
n
n
n
n
n
= + + + +

) ( ) (
) (
0 1
t x t y a
dt
t dy
a = + ) ( . ) (
) (
t x k t y
dt
t dy
= + t

On appelle , la constante de temps du capteur et on reconnat la sensibilit k
2
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12. Rapidit (temps de rponse) (1)
Le temps de rponse est dfini par la rponse du capteur une variation dite en chelon
de lentre. Cette caractristique est lie la constante de temps .
Exemple : Capteur du premier ordre
On peut schmatiser le comportement d'un capteur du premier ordre par le circuit lectrique
suivant :
x(t) y(t)
C
R
i(t)
On a : ( ) ) ( ) ( t y t Ri t x + =
R i(t)
avec :
( )
dt
t dy
C t i = ) (
do :
( )
) ( ) ( t y
dt
t dy
RC t x + =
2
me
Anne 2011/2012
46/113
12. Rapidit (temps de rponse) (2)
( )
) ( ) ( t y
dt
t dy
RC t x + = On a :
Pour dterminer le temps de rponse, x(t) doit tre un chelon :
t
0
X
0
x(t)
0
>
<
=
0
0 0
) (
0
t X
t
t x
Pour t 0, on a alors :
( )
) (
0
t y
dt
t dy
RC X + =
qui a pour solution :
( )
|
|
.
|
\
|
=

t
t
e X t y 1
0
avec = RC

0,63 X
0
y(t)
t = , y(t) = X
0
(1-e
-1
) = 0,63 X
0
Dfinition : On appelle temps de rponse ou
temps de monte du capteur la grandeur

t
r
= 2,2 ,

La faible valeur de t
r
caractrise un capteur rapide
2
me
Anne 2011/2012
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13. Ecart
%
Dfinition : Lcart reprsente la valeur mesure aprs un temps t compare la valeur
correspondant t =t
.
On dfinit ce paramtre par la relation suivante :
100 .
) (
) ( ) (
%

=
y
t y y
c
3
t/
0
0,5
y(t)/X
0
1
1
Il faut prciser la valeur de t choisie pour calculer ce paramtre
0
t
%
27%
3 5%
4,6 1%
2
me
Anne 2011/2012
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14. Rponse Frquentielle ou rponse en rgime sinusodal (1)
Dfinition : Dans la pratique, on obtient la rponse frquentielle dun capteur en assignant
lentre x(t) une variation sinusodale et en mesurant l'volution de la rponse y(t)
lorsque la frquence de x(t) varie.
Capteur (ou
transducteur)
Mesurande
x(t)
Sortie
y(t)
) . . . 2 sin( ) sin( ) (
0 0
t f X t X t x t e = = ) . . . 2 sin( . ) (
0
t f Y t y t =
2
me
Anne 2011/2012
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Fonction de transfert :

On utilise la notation complexe associe la reprsentation des signaux sinusodaux :

x(t) X(j) not X et y(t) Y(j) not Y

(passage de x(t) X(j) par la transforme de Fourier)

On exprime ensuite le rapport qui reprsente la fonction de transfert du systme :

La rponse frquentielle sera compltement dcrite par l'volution du module de H(j),
not |H(j)|, et par l'volution de son argument, not Arg(H(j)) ou (j), qui reprsente le
dphasage des signaux entre-sortie.
) (
) (
) (
e
e
e
j H
j X
j Y
=
2
me
Anne 2011/2012
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Transforme de Fourier :

La transforme de Fourier est une fonction qui permet de passer du domaine temporelle au
domaine frquentiel et inversement.

Si on a un signal s(t), sa transforme de Fourier, note S() sera obtenu par la relation
suivante :
( )
}
+

= dt e t s S
t je
t
e
2
1
) (
Inversement, si on a un signal S(), sa transforme de Fourier inverse,
note s(t) sera obtenu par la relation suivante :
( )
}
+

+
= dt e S t s
t je
e
t 2
1
) (
2
me
Anne 2011/2012
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14. Capteur 1
er
ordre : Bande passante / temps de monte (1)
Rappel 1 : La rponse temporelle dun capteur du 1
er
ordre est donn par la relation suivante :
) ( ) (
) (
t kx t y
dt
t dy
= + t
Rappel 2 : Proprits de la transforme de Fourier de la drive dun signal temporel continu :
) (
) (
e eY j
dt
t dy
TF =
|
.
|
\
|
Compte tenu des deux rappels, la reponse frquentielle du capteur du 1
er
ordre peut
scrire :
( ) ( ) ) (e e e et kX Y Y j = + X k Y Y j = + et ou
2
me
Anne 2011/2012
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14. Capteur 1
er
Aprs rcriture de la rponse frquentielle on obtient :
La fonction de transfert H ou H(j) scrit alors :
X
i
k
Y
c
e
e
+
=
1
avec
t
e
1
=
c
et k la sensibilit du capteur
( ) e
e
e
j H
j
k
X
Y
H
c
=
+
= =
1
2
me
Anne 2011/2012
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14. Capteur 1
er
Notion de bande passante : Evolution du module de la fonction de transfert H en fonction de
la pulsation .
Lexpression de du module de H est la suivante :
2
1
|
|
.
|
\
|
+
=
c
k
H
e
e
Bande
passante
c

H
2
k
k
Avec
c
la pulsation de
coupure et f
c
la frquence
de coupure.
On appelle l'intervalle [0-f
c
], la
bande passante du capteur, par
extension on appelle f
c
la bande
passante et on la note BP
2
me
Anne 2011/2012
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14. Capteur 1
er
Rponse temporelle : temps de monte t
m
t
0
0

0,63 X
0
y(t)
0
X
0
x(t)
t 0
Capteur (ou
transducteur)
t
e
1
=
c
On a donc
c
f t
t
2
1
=
De plus, on a t 2 , 2 =
m
t
BP BP f
t
c
m
35 , 0
2
2 , 2
2
2 , 2
= = =
t t
do
BP t
m
10kHz 35s
100kHz 3,5s
1MHz 350ns
100MHz 3,5ns
Valeurs de temps de monte
pour diffrentes valeurs de BP
2
me
Anne 2011/2012
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15. Indice de protection IP (1)

Cet indice normalis caractrise le comportement du capteur vis--vis de lenvironnement
(protection du matriel) et des utilisateurs (protection des personnes)

Code : IP XY

X = Premier Chiffre caractristique (immunit vis--vis corps solides)
Y = Second Chiffre caractristique (immunit vis--vis des liquides)
2
me
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15. Indice de protection IP (2)

Exemple : Capteur indice IP 67
6 : tanchit poussire et 7 Protg contre immersion temporaire.
3
me
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Introduction

Rappel : Le conditionneur est l'lment de sortie du capteur qui transforme les variations
du mesurande primaire ou secondaire en variations lectriques exploitables (tension,
courant, .).
3
me
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1. Conditionneurs pour capteurs passifs (1)

La rponse dun capteur passif la variation du mesurande X se traduit comme une
variation dimpdance R, L, C.
Capteur (ou
transducteur)
Z
Z
X
X
Exemples : Capteurs rsistifs : jauges de contraintes, sondes temprature mtalliques,
capteurs de dplacement,

Capteurs capacitifs : microphones, capteurs de dplacement, dtecteurs
de proximit,

Capteurs inductifs : capteurs de dplacement, dtecteurs de proximit,
3
me
Anne 2011/2012
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Nota : Pour obtenir une sortie quivalente une variation de tension V ou de courant I,
il sera ncessaire dajouter un conditionneur de signal.
Capteur (ou
transducteur)
Z
Z
X
X
V
V
Conditionneur
3
me
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Application aux capteurs rsistifs : ) ( X f R =
X = X
0
+ X R = R
0
+ R
X R
R
0
correspond la valeur lquilibre ( spcifier) et R la variation conscutive une
variation du mesurande X.

Nota : En gnral, le capteur fonctionne en petite variation : R << R
0
3
me
Anne 2011/2012
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Principe de mesure : une source de courant impose la valeur de lintensit I traversant le
capteur et un voltmtre mesure la tension V ses bornes.

La rsistance du capteur R est donne par :
I
V
R =
I
R
I
R
f
R
f
I R
f
R I
f
R R
f
R V ) 2 ( ) ( + = + + =
R
f
R
I
V
m
R + = = 2
On mesure la tension V suivante :
La rsistance mesure R
m
est donc :
Inconvnient : La rsistance des conducteurs de liaison R
f
sajoute la mesure de R et en
ralit ce montage mesure une rsistance effective : R
e
= R + 2 R
f
V
3
me
Anne 2011/2012
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I
R
V
I
R
f
I
v
= 0 A
I
R
f
R
f
R
f
Le montage 4 fils permet de saffranchir des valeurs des rsistances des conducteurs de
liaison R
f
.
On mesure directement la tension
R
I
V
m
R = =
RI V =
m
est donc :
Inconvnient : Ce montage ncessite plus de cbles que le montage 2 fils.

3
me
Anne 2011/2012
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Le montage 3 fils est un bon compromis (nombre de cbles/rsistante de liaision) mais il
ncessite la mesure de deux tensions.
On mesure la tension V
1
m
est donc :
I
R
V
1
I
I
V
2
R
f
R
f
R
f
I
v
= 0 A
R
f
I R
f
R I
f
R R
f
R V ) 2 ( ) (
1
+ = + + =
On mesure la tension V
2
I
f
R V =
2
La diffrence des tensions V
2
et V
1
nous donne

I R
f
R V V ) (
2 1
+ =
R Rf
I
V V
m
R + =
=
2 1
3
me
Anne 2011/2012
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Prcautions prendre dans tout les cas : En pratique on fixe I de lordre de 1mA pour
viter lauto chauffement du capteur.

Exemple : Rsistance PT100 (100 W /0C)
Puissance dissipe par effet Joule : P = R I
2

Application numrique : P = 10
2
(10
-3
)
2
= 10
-4
W = 100W

3
me
Anne 2011/2012
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V
CC
R
1
R
C
= R
V

Principe de mesure : une source de tension alimente un pont diviseur de tension avec une
rsistance fixe R
1
et une autre reprsentant le capteur R.
cc
V
R R
R
V
+
=
1
Le montage suivant nous permet dcrire
la variation de V :

3
me
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Nota : Lvolution de V en fonction de R nest pas linaire.
V/Vcc=f(R/R1)
0,0
0,2
0,4
0,6
0,8
1,0
0 5 10 15 20
R/R1
V
/
V
C
C
x
x
R R
R
V
V
cc
+
=
+
=
1
1
1
R
R
x = Avec :

3
me
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Choix de la valeur de R
1
Si on fixe la valeur de la rsistance R
1
gale R
0
, et si R=R
0
+R on obtient :
Vcc
R Ro
R Ro
Vcc
R Ro
R
V
A +
A +
=
+
=
2
Sensibilit du montage :
( ) | |
( ) ( )
Vcc
R Ro
Ro
Vcc
R Ro
R R Ro
dR
dV
k
2 2
)
+
=
+
+
= =

Nota : Si le capteur travaille en petits signaux (R
0
>> R ), la rponse du conditionneur est linaire
R k R
R
cc
V
V A = A = A
0
4
0
4
0
R
V
R
dR
dV
k
cc
= =
3
me
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Dans ce montage, la rsistance fixe R
1
est remplace par un second capteur identique au
premier mais dont la variation est oppose au premier capteur : R = R
0
- R
V
CC
R V

R
cc
V
R R R R
R R
cc
V
R R
R
V
A + A +
A +
=
+
=
0 0
0
'
R
R
cc
V
cc
V
V A + =
0
2 2
cc
V
R
R R
V
0
2
0
A +
=
Le montage suivant nous permet dcrire
la variation de V :

3
me
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Ce type de montage est souvent utilis dans le cas de jauges dextensomtrie identiques
mais subissant des dformations gales en module et de sens opposs.
Jauge 1 / Traction
Jauge 2 / Compression
F F
3
me
Anne 2011/2012
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1.4. Montage en pont dimpdance : Montage quart de pont
Le capteur constitue une branche du pont, ici R
2
= R
V
CC
A B
V
R
1
R
2
= R
R
3
R
4
Le signal de sortie scrit de la faon suivante :

cc
V
R R
R
A
V
2 1
2
+
=
cc
V
R R
R
B
V
4 3
4
+
=
B
V
A
V
AB
V V = =
Avec :

et

3
me
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V
CC
A B
V
R
1
R
2
= R
R
3
R
4
cc
V
R R
R
R R
R
B
V
A
V V
|
|
.
|
\
|
+
+
= =
4 3
4
2 1
2
On obtient alors :

Si on considre R
2
= R, alors on a :
cc
V
R R
R
R R
R
V
|
|
.
|
\
|
+
+
=
4 3
4
1
3
me
Anne 2011/2012
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On parle de pont quilibr lorsque V = V
0
= 0
4 4 1 4 3
0 )
1
(
4
)
4 3
( 0
0
RR R R RR RR R R R R R R V V + = + = + + = =
Dans ces conditions, on a :

Ce qui permet de fixer les valeurs de rsistance puisque lon doit avoir

4 1 3
R R RR =
Choix pratique : R
1
= R
2
= R
4
= R
0
, le pont sera lquilibre pour la valeur au repos
du capteur R = R
0
3
me
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R
R
V
V
R R
R
V
R R
R R
V
R R
R
V
cc
cc cc cc
A ~
A +
A
=
+
=
+
=
0 0 0
0
0
4 ) 2 ( 2 ) ( 2
)
2
1
(
On obtient alors lexpression de V :
si R << R
0
Avantages du montage en pont :

si R = R
0
alors V = 0,

le signe de V donne le signe du mesurande,

si R > R
0
, V est positif et si R < R
0
alors V est ngatif.
3
me
Anne 2011/2012
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1.4. Montage en pont dimpdance : Montage push-pull demi-pont
V
CC
A B
V
R
1
= R
R
2
= R
R
3
R
4
Dans ce montage, la rsistance fixe R
1
est remplace par un second capteur identique au
premier mais dont la variation est oppose au premier capteur : R = R
0
- R.
On a alors 2 rsistances fixes R
3
et R
4
et 2 capteurs reprsents par R et R.
On a R
2
= R = R
0
+R et R
1
= R = R
0
-R
On a pour signal de sortie :

cc
V
R R
R
R R
R
B
V
A
V V
|
|
.
|
\
|
+
+
= =
4 3
4
'
En fixant les valeurs de R
4
et R
3
gales R
0
,on
a alors :
cc
V
R R
R
R R
R
B
V
A
V V
|
|
.
|
\
|
+
+
= =
0 0
0
'
cc
V
R R
R
R
R R
V
|
|
.
|
\
|
+
A +
=
0 0
0
0
2
0
soit,

3
me
Anne 2011/2012
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1.4. Montage en pont dimpdance : Montage push-pull demi-pont
On obtient alors lexpression de V :
Avantages du montage push-pull demi-pont :

La composante continue de V est annule,

La variation de V avec R est linaire.
R
R
cc
V
cc
V
R
R
cc
V
R R
R
R
R R
V A =
|
|
.
|
\
|
A
+ =
|
|
.
|
\
|
+
A +
=
0
2 2
1
0
2 2
1
0 0
0
0
2
0
3
me
Anne 2011/2012
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1.4. Montage potentiomtrique avec amplification du signal
Ce conditionneur est utilis notamment pour les photorsistances (R = f())
cc
V
R R
R
V
1
+
=
+
=
+
V V
s cc
V
R R
R
V
R R
R
3 2
2
1
+
=
+
A lentre de lamplificateur
oprationnel, on a :
cc
V
R R
R
V
3 2
2
+
=
Or, on a :
donc :
3
me
Anne 2011/2012
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Conditionneur pour LDR
0
2
4
6
8
10
12
100 1 000 10 000 100 000 1 000 000
Resistance (ohm)
T
e
n
s
i
o
n

d
e

s
o
r
t
i
e

(
V
)

1.4. Montage potentiomtrique avec amplification du signal
On obtient alors :
cc
V
R
R
R
R R
s
V
1
1
1
.
2
3 2
+
+
=
| b
ae R

=
Vcc
R
R
K Vs ) (
1
1
1
+
=
Pour une photorsistance la
variation R = f()
est de la forme
R diminue si lintensit du flux
lumineux
augmente
3
me
Anne 2011/2012
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (1)

La rponse dun capteur actif la variation du mesurande X se traduit par une variation
de tension : V, de courant : I ou de charge lectrique Q.
Capteur (ou
transducteur)
V
V
X
X
Exemples : Variation de tension : sondes temprature thermocouple,

Variation dintensit : photodiode,

Variation de charge : acclromtre pizolectrique
3
me
Anne 2011/2012
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Nota : Pour obtenir une sortie quivalente une variation de tension V ou de courant I,
en thorie, il nest pas ncessaire dajouter un conditionneur de signal, cependant pour
des questions dadaptation dimpdance, un conditionneur de signal est souvent
ncessaire au montage.

Les capteurs pizolectriques requirent un amplificateur de charge qui transforme la
variation Q en variation V.
3
me
Anne 2011/2012
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Exemple : Thermocouple
2.1. Capteurs sources de tension
Schma lectrique quivalent :
i
v

R
s
A

B

v
s
Tension de sortie: v
s
= v R
s
I

Tension de sortie vide : v
s
= v

Impdance de sortie : R
s
v

3
me
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Mesure de la tension de sortie : Utilisation dun voltmtre
i
v

R
s
A

B

v
s
Impdance dentre du voltmtre : R
e

Tension mesure :

Si R
s
leve devant R
e
:
R
e
v
R R
R
v
e s
e
m
+
=
v v
R
R
v
s
e
m
<< ~
v

3
me
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Utilisation dun montage adaptateur dimpdance Amplificateur suiveur
Impdance dentre de lAO : Z
e
=

i
+
= i
-
= 0

v
+
= v
-

v
+
= v

Tension sortie : v
s
v =
3
me
Anne 2011/2012
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2.1. Capteurs sources de courant
Courant de sortie:

Courant de court circuit : I
cc
= I

Impdance de sortie : R
s
Exemple : Photodiode
i
R
s
A

B

i
s
s
R
v
i
s
i =
v
s
i

3
me
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Courant mesur:

Si R
s
faible devant R
e
alors
Mesure du courant de sortie :
i
v
s
R
s
A

B

i
m
R
e
i
R R
R
m
i
e s
s
+
=
i
R
R
m
i
e
s
=
i

3
me
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R
s
est court-circuite

Tension sortie :
Utilisation dun montage adaptateur dimpdance transducteur I-V
I
Rs
0
OUT
7
+
5
-
6
V+
4
V-
11
U1B
LM324
R1
1k
S
0
i R
s
v
1
=
3
me
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2.1. Capteurs sources de charge
Exemple : acclromtre pizolectrique
i
v
s
C
s
A

B

i
m
Z
e
q

Tension sortie :
s
C
q
s
v =
3
me
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2.1. Capteurs sources de charge
Tension sortie :
C
q
s
v =
Utilisation dun montage adaptateur dimpdance
C3
q
0
OUT
7
+
5
-
6
V+
4
V-
11
U2B
LM324
C
S
0
4
me
Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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Introduction

De part la plurat des domaines dapplication, de nombreux et diffrents types de
capteurs existent. Ils font appel de nombreux principes de la physique et permettent de
traiter la plus grande majorit des entres physiques ou chimiques.
Capteurs optiques Capteurs de temprature Capteurs de position et de dplacement
Capteurs de force / pesage / couple Capteurs dacclration / vibration / choc
Capteurs de vitesse / dbit / niveau de fluides Capteurs de pression de fluides
Capteurs de mesure de vide Capteurs acoustiques Capteurs de rayonnement nuclaire
Capteurs de dformation Capteurs tachymtriques Biocapteurs
Capteurs lectrochimique Capteurs dhumidit Capteurs de composition gazeuse
4
me
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1. Rappels : Proprits fondamentales de la lumire (1)

La lumire prsente la fois un aspect ondulatoire et un aspect corpusculaire.

Sous son aspect ondulatoire, la lumire est vue comme une onde lectromagntique se
propageant la vitesse c = 299 792 458 m.s
-1
dans le vide et v = c/n dans la matire (n
tant lindice de rfraction du milieu). Cette onde est caractrise par sa frquence ou sa
longueur donde .
4
me
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1. Rappels : Proprits fondamentales de la lumire (2)

Sous son aspect corpusculaire, la lumire est vue comme une particule lmentaire,
appel photon, de masse nulle et dnergie E :

h tant la constante de Planck gale 6,6256.10
-34
J.s.

Cet aspect est gnralement mis en vidence lors de lintraction de la lumire avec la
matire.
u
hc
h E = =
4
me
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1. Rappels : Effet photolectrique

Dans la matire, les lectrons lis aux atomes peuvent devenir libres si on leur apporte une
nergie E suprieure leur nergie de liaison E
l
.

Labsorption dun photon provoquera la libration dun lectron condition que E
photon
>E
l
.
E
l
E
photon
> E
l
Leffet photolectrique entrane une modification des proprits lectroniques du
matriau et est le principe de base des capteurs optiques.
4
me
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1. Rappels : Lumire support dinformation

De part ses proprits physiques, la lumire peut subir de nombreuses modifications de
son rayonnement optique par un mesurande. Do son utilisation dans de nombreux
capteurs.
Paramtre du rayonnement Caractre de la modification Mesurande primaire
Direction de propagation Dviation Position angulaire, dformation
Flux
Attnuation par absorption
Epaisseur, composition chimique,
densit de particules en
suspension
Modulation par tout ou rien
Vitesse de rotation dun disque,
comptage
Frquence
Changement de frquence (effet
Doppler)
Vitesse de dplacement
Intensit, longueur donde Rpartition spectrale de lnergie Temprature de la source
Phase
Dphasage entre deux rayons d
une diffrence de marche
Position, dplacement, dimension
Polarisation
Rotation du plan de polarisation
par birfrengence
Pression, contrainte
4
me
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2. Dtecteurs optiques passifs : la photorsistance (1)

La photorsistance (ou cellule photoconductrice) est un composant lectronique dont la
rsistivit varie en fonction de la quantit de lumire incidente. La photorsistance est
parmi les capteurs optiques lun des plus sensibles.
L
Surface A
I
p
(T)
V

Rayonnement
4
me
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Le phnomne physique la base de son emploi (photoconduction) rsulte dun effet
photolectrique interne : libration dans le matriau de charges lectriques sous
linfluence de la lumire et augmentation corrlative de la conductivit (ou diminution de
la rsistivit).

La rsistance peut alors sxprime de la faon suivante :

avec :

: conductivit du matriau
q : charge de llectron
: mobilit de llectron
n : densit dlectrons prsents (fonction de lclairement)
A et L : surface et longueur de la plaque
A
L
n q A
L
R
o
1 1
= =
4
me
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Les cellules sont ralises laide de matriaux semi-conducteurs homognes
polycristallins ou monocristallins, intrinsques (purs) ou extrinsques (dops) :

Matriaux polycristallins : CdS, CdSe, CdTe,
PbS, PbSe, PbTe;
Matriaux monocristallins : Ge et Si purs ou dops par Au, Cu, Sb, Zn
SbIn, AsIn, PIn, CdHgTe
4
me
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De faon gnrale, lintrt des cellules photoconductrices rside dans leur rapport de
transfert statique et leur sensibilit leve do rsulte la simplicit de certains montages
dutilisation (exemple : commande de relais, voir TD).

Leur inconvnients majeurs sont les suivants :

Non-linarit de la rponse en fonction du flux,

Temps de rponse en gnral lv et bande passante limite,

Instabilit (vieillissement) des caractristiques,

Instabilit thermique comme la plupart des capteurs optiques,

ncssit de refroidissement pour certains types (selon matriaux utiliss)
4
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3. Dtecteurs optiques actifs : la photodiode (1)

Le dopage dun matriau semi-conducteur augmente la densit des porteurs.

Si ce dopage augmente la densit d'lectrons, il s'agit d'un dopage de type N.

Sil augmente celle des trous, il s'agit d'un dopage de type P.

Les matriaux ainsi dops sont appels semi-conducteurs extrinsques.
Rappel : Semi-conducteur de type P et de type N
Semi-conducteur de type N Semi-conducteur de type P
4
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En labsence de tension
extrieure, le courant
traversant la jonction est nul
(somme de deux courants
gaux et de sens contraire) :

Courant de diffusion d aux
porteurs majoritaires,

Courant de fuite d aux
porteurs minoritaires
(crations de porteurs
minoritaires aux abords de la
zone de charge despace par
agitation thermique).
Rappel : Jonction PN
4
me
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La photodiode est un composant bas sur la jonction dun semi conducteur de type P et
dun semi conducteur de type N :

Chaque photon absorb par le semi-conducteur peut crer une paire lectron-trous,

sous laction du champ interne, llectron se diffuse vers la zone N et le trou vers la
zone P,

on a une diffusion des trous et des lectrons dans des sens opposs,

ces porteurs donnent naissance un photocourant de gnration.
4
me
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Zone de type P
Zone de type N
Trous
Electrons
E
photon
= h.

Avec >
S

4
me
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Au niveau du composant, la photodiode est compos dun empilement de couches
minces dont les paisseurs respectives sont de lordre du micromtre, voire en dessous.
4
me
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102/113

Le montage de base comporte une source E
s
polarisant la diode en inverse et une
rsistance Rm aux bornes de laquelle est recueilli le signal.
E
s
R
m
V
R
V
d

I
R
Puissance optique
4
me
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4. Instrumentation optique : Mesure interfromtrique (1)

Les mesures interfromtriques sont bass sur un phnomne dinterfrences
observes par comparaison entre un signal de rfrence et un signal modifi par une
source extrieure.

Le mesurande agit sur les conditons de la propagation du signal optique, entranant une
variation :

soit de lattnuation du flux transmis,

soit de la phase ou de la polarisation du rayonnement la sortie du guide donde.
La modification de lindice ou de la gomtrie du guide donde peut tre induit par
diffrents effets :

Pression,

Temprature (variation de lindice du matriau avec la tmprature),

Dformation.
4
me
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4. Instrumentation optique : Mesure interfromtrique (2)

Structure asymtrique
(un des bras du MZI sert
de rfrence tandis que
lautre est utilis comme
capteur)
Signaux en sortie des
bras dphass
(interfrences)
Structure symtrique
(bras du MZI identiques)
Signaux en sortie des
bras en phase
Zone sensible un
paramtre externe (pression,
temprature, )
( ) I I I I I
m r m r s
cos 2 + + =
m r s
I I I + =
I
s
I
m
I
r
I
s

A
0
Ralisation Laboratoire dAcoustique de lUniversit du Maine LAUM
1 mm
4
me
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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (1)

direction de
propagation
z
Champ magntique
B(z,t)
Champ lectrtique
E(z,t)
Polarisation rectiligne des champs E
et B : le vecteur donde et les
vecteurs amplitude des champs et
sont constants.

Les champs vibrent dans des plans
de polarisation (xOz pour E, yOz pour
B)

Les champs EM sont constants en
tout point des plans donde (xOy) dfinis
par
k
o
E
o
B
cste r k =
.
Rappel : Structure dune onde plane
4
me
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Rappel : Dispersion dun milieu matriel
Relation de dispersion du milieu

Si est indpendant de la frquence , le milieu est non dispersif : la
vitesse de propagation est indpendante de la frquence.
En ralit, seul le vide nest pas dispersif :

Un milieu matriel est caractris par un indice optique

n est appel indice de rfraction et k coefficient dextinction.
ik n
c
n = =
v
~
c e = k
e k
o o
c
c
1
=
4
me
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Rappel : Intraction onde-matire
r i
1 1
| | =
2 2 1
1
sin
~
sin
~
| | n n =
) cos(
~
) cos(
~
) cos(
~
) cos(
~
~
2 1 1 2
2 1 1 2
| |
| |
n n
n n
r
p
+
=
) cos(
~
) cos(
~
) cos(
~
) cos(
~
~
2 2 1 1
2 2 1 1
| |
| |
n n
n n
r
s
+
=
|
1
|
1
|
2
i
p E
i
s E
r
p E
r
s E
2
~
p p
r R =
2
~
s s
r R =
Rflexion
Rfraction
Lois de Snell-Descartes

Rflexion

Rfraction
Lois de Fresnel
4
me
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Principe de la mesure
Ellipsomtrie
- Diagnostic optique dont la profondeur danalyse est de lordre de 1/(d).
- On sonde donc des paisseurs variables en fonction de d avec une grande
sensiblit.
de la monocouche qques 10 m

Objectif
- Remonter la rponse optique dun matriau, gnralement partir dun
modle optique et son paisseur
- Dcrire des structures complexes : multicouches, mileux effectifs,
interfaces, rugosits.
- Dcrire la cintique dun procd en temps rel : dpt ou gravure
4
me
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i
p
E
t
p
E
r
p
E
i
s
E
t
s
E
r
s
E
2
( )
j
s
p
e tan
r
r
= =
Quantit mesure par ellipsomtrie
Dcomposition de londe optique
selon les vecteurs E
p
et E
s

(respectivement parallle (p) et
perpendiculaire (s) au plan
dincidence)

Ondes rflchie (E
r
) et transmise
(E
t
) relies londe incidente par les
coefficients complexes de Fresnel
(r
p
et r
s
pour la rflexion, t
p
et t
s
pour
la transmission)
4
me
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Source de
lumire
Polarisation
Interaction
Echantillon
Modulation
Analyse de la
Polarisation
Dtection Synchro
Schma de principe dun ellipsomtre
4
me
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Caractristique des lments optiques de lellipsomtre
Source

- Lampe Xnon 125 Watt (plasma)
- Dure de vie de 1000 1500h

Polariseur/Analyseur

- Type Glan taux dextinction de 10
-5
- Grande prcision (10
-2
degr) due labsence dlments tournants

Dtecteur

- Photomultiplicateur pour lUV Visible
- Photodiode InGaAs pour le proche IR
4
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Intensit dtecte
Dtecteur
A
P
M
p
Echantillon
Source
s
Champ lectrique dtect

Intensit dtecte
( ) ( ) | |
i d
E A A R S M R M M P R P E

) ( =
) ( cos ) ( sin
0
2
t I t I I E I
c s d d
o o + + = =

A partir du traitement du signal sur le dtecteur, il est possible de remonter et partir
de lexpression de (t)
4
me
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Traitement des donnes : Echantillon analys
Substrat (n
s
, k
s
)
Couche 1 (n
1
, k
1
, e
1
)
Couche N-1 (n
N-1
, k
N-1
, e
N-1
)
Couche N (n
N
, k
N
, e
N
)
Comment partir de et de , remonter aux
paramtres des diffrentes couches?
Ncessit dutilis des modles de
dispersion qui lient n et k et les modlisent
en fonction de la longueur donde.

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