1)

2)
3)
4)
5)
6)
7)
8)
9)
10)
11)
12)
13)

Materiale utilizate in tehnologia siliciului

Fotogravura. Tehnica "lift-of
Metode de depunere a straturilor subtiri
Microprelucare de volum prin corodare;
corodare umeda izotropa
Corodare umeda anizotropa; Realizarea unui array de
microstructuri prin procesul de corodare;
Corodarea uscata
Stoparea corodarii prin dopare selectiva cu impuritati
Stoparea corodarii pe cale electrochimica
Lipirea plachetelor de Siliciu
Microprelucarea de suprafata- realizarea unui cantilever
cu o masca si cu doua masti;
Microprelucrarea de suprafata, realizare unui cantilever cu
TREI! Masti
Defecte in microprelucrarea de suuprafata si tehnici de
evitare a acestora
Exemple de aplicare a tehnicilor de microprelucrare de
volm si de suprafata; Realizarea unui microfon.

pag 1
pag 1,2, 3
pag. 5,6
pag 7,8
pag 9,10,11
pag. 12
pag 13,14
pag 15,16
pag. 17
pag. 17, 18
pag. 19,20
pag. 21,22,23,24
pag. 25, 26

ag 9,10,11

ag. 17, 18

ag. 19,20

ag. 21,22,23,24

ag. 25, 26