Proiectarea microsistemelor

Instituia dezvoltatoare de curs: Grenoble INP, CIME Nanotech

Autorul cursului: Libor RUFER, update
Obiectiv
Obiectivul acestui curs este de a arta cunotinele fizice i tendinele care se folosesc n
proiectarea senzorilor i dispozitivelor de comand bazate pe MEMS-uri. Cursul va conine o
descriere a tehnologiei microsistemelor i a aplicaiilor lor. Cursul este foarte bun pentru
studenii preocupai de sarcinile de cercetare i dezvoltare.
Rezumat
Tehnologia Microsistemelor (MST) este o tehnologie de proces folosit pentru a crea
dispozitive integrate foarte mici sau sisteme care combin componente mecanice i electrice.
Aceast tehnologie ofer multe oportuniti captivante n miniaturizarea elementelor ntr-o
gam larg de aplicaii. Tehnologia ce folosete tehnicile de procesare a circuitelor integrate
(CI) n grupuri este numit Tehnologia Microsistemelor (MST) n Europa, Sisteme MicroElectro-Mecanice (MEMS) n Statele Unite i Micromaini n Japonia. Indiferent de
terminologie, factorul de unitate al unui micro-dispozitiv este modul n care este realizat.
Procesele micro-prelucrrii cum sunt micro-prelucrarea n mas sau de suprafa, precum i
micro-prelucrarea cu un nalt raport de aspect (HARM), nltur selectiv pri din silicon i
adaug straturi structurale adiionale pentru a forma componentele mecanice i
electromecanice.
Micro-dispozitivele au capacitatea de a simi, controla i comanda la nivel de micro-scar i
genereaz efecte la nivel de macro-scar. Micro-senzorul de presiune din silicon folosit n
prezent n milioane de automobile este cea mai cunoscut aplicaie a tehnologiei
microsistemelor. Accelerometrele micro-prelucrate sunt folosite pentru activarea air bagurilor i controlarea suspensiilor active i a frnelor antiderapante. Microdispozitivele de
comand urmeaz succesului microsenzorilor. Poate prima aplicaie comercial important a
dispozitivelor de comand a fost n obiectivul camerei introdus de Canon n 1987. n plus
fa de electronica de consum i industria automobilelor, microsistemele sunt folosite n
tehnologia comunicaiilor, n analiza chimic i a mediului, n tiina vieii, n tehnologia
medical i industria de procesare, chiar i n obinerea hrtiei.
Coninut
Cursul ofer o introducere n tehnologia i proiectarea microsistemelor i aplicaiile acesteia.
Punctele urmtoare vor fi discutate folosind exemple de proiectare de diferite dispozitive
MEMS:
Modelarea i simularea dispozitivelor MEMS
Tipuri diferite de procese de transducie folosite n MEMS
Accelerometre bazate pe MEMS
Senzori de presiune bazai pe MEMS
Sunt multe avantaje ale micro-dispozitivelor fa de dispozitivele actuale care ndeplinesc
aceleai funcii:
Dimensiunea substanial mai mic a microsistemelor n comparaie cu macrodispozitivele care ndeplinesc aceeai funcie.
Integrarea componentelor electronice i micro-senzoriale n acelai dispozitiv
mbuntind precizia i sensibilitatea senzorilor.
Producie mult mai ieftin datorat fabricaiei n grupuri folosind procesele CI.

Diversitatea i complexitatea tehnologiei micro-prelucrrii necesit cunotine de baza foarte

extinse de la un potenial cercettor. Obiectivul acestui curs este s pun la dispoziia
studentului competenele necesare pentru abordarea dezvoltrii micro-dispozitivelor.
Cursani
Grupurile int principale vizate sunt: profesioniti n electronic i microsisteme din IMMuri, studeni universitari n inginerie i din coli vocaionale, oameni fr un loc de munc dar
cu educaie (ex. ingineri, fizicieni) care sunt n cutarea unui training adiional n vederea
angajrii.
Cunotine necesare
Fundamentele electronicii i micro-electronicii
Circuite electrice liniare
Bazele proiectrii electronice
Se presupune ca viitorii participani la curs s aib cunotine bune de fizic (electronic i
mecanic).
Durata estimat a cursului: 30 ore.