Cercetarea Microduritatii Peliculelor Subtiri de Al Si Au Prin Microindentarea Quasistatica

CUPRINS
INTRODUCERE....…………………………………………………………………………………..8
1. METODE DE DETERMINARE A MICRODURITĂŢII MATERIALELOR..……………...9
1.1 Determinarea durităţii materialelor..……………………………………………………
10
1.2 Determinarea durităţii Vickers..…………………………………………………………
12
1.3 Determinarea durităţii Rockwell...………………………………………………………14
1.4 Determinarea durităţii cu ciocanul Poldi......……………………………………………15
1.5 Nanoindentarea....…………………………………………………………………………
17
1.6 Tehnica lui Oliver şi Pharr.………………………………………………………………19
1.7 Folosirea pelicolelor de Au și Al la elaborarea MEMS....………………………………21
1.8 Rolul pelicolelor de Al și Au la construcţia MEMS......…………………………………23
2. DESCRIEREA METODELOR ŞI ECHIPAMENTULUI UTILIZAT.....……………………24
2.1 Tehnica de efectuare a tratamentului fotonic rapid cu impulsuri......…………………24
2.2 Metoda pulverizării termice magnetron....………………………………………………26
2.3 Construcţia dispozitivului Nanotester PMT-3NI-02.....…………………………………30
2.4 Proiectarea şi funcţionarea dispozitivului Nanotester РМТ-ЗNI-02......………………32
3. REZULTATELE CERCETĂRII MICRODURITĂŢII PELICOLELOR DE AL ŞI AU..…38
3.1 Tratamentul fotonic rapid al pelicolelor....………………………………………………38
3.2 Modulul de cercetarea a microdurităţii....………………………………………………39
3.3 Cercetarea microdurităţii pelicolelor de Al/Si......………………………………………43
3.4 Cercetarea microdurităţii pelicolelor de Au/Si.....………………………………………49
3.5 Analiza rezultatelor.....……………………………………………………………………54
4. ANALIZA ECONOMICĂ.………………………………………………………………………58
4.1 Descrierea generalizată a proiectului.....………………………………………………….58
4.2 Analiza SWOT.........
………………………………………………………………………….58
4.3 Compartimentul organizaţional-economic...……………………………………………59
4.4 Argumentarea economică.....…………………………………………………………….61
4.5 Generalizarea cheltuielilor.....……………………………………………………………64
4.6. Managementul resurselor umane.………………………………………………………64
UTM 525.1 029 ME
Mo Coala Nr. document Semnăt. Data
d.
Elaborat Șlepac Vadim Litera Coala Coli
Cond Răilean Sergiu
Cercetarea microduritatii 7 69
Consultant Covdii G.
peliculelor subtiri de Al şi
Au prin microidentarea UTM FCIM
Cont.nom. Melnic T.
quasistatica. ME-071
Aprobat Șontea V.
CONCLUZII....………………………………………………………………………………………67
BIBLIOGRAFIE.……………………………………………………………………………………68
INTRODUCERE
Astăzi, la fel ca pe parcursul secolelor precedente, rămâne a fi destul de actuală obţinerea
materialelor cu proprietăţi specifice anumitor condiţii (presiuni înalte şi joase, intervale largi de
temperatură, medii agresive). Soluţionarea acestei sarcini, privind atribuirea unor caracteristici
propuse materialelor din start, poate fi reuşită doar prin dezvoltarea fundamentală a durabilităţii.
Din acest punct de vedere durabilitatea descrie şi analizează condiţiile şi criteriile de existenţă
a corpului solid, modificarea parametrilor mecanici ale materialelor, cum sunt:
nano, micro şi macroduritatea, rezistenţa la fisurare, etc., şi reacţiile acestora la acţiunea diverşilor
factori în toată multitudinea lor de manifestare.
Pentru a descoperi natura durităţii este necesar de a evidenţia care sunt factorii determinativi
pentru compuşii studiaţi şi care influenţe sunt mai puţin importante. Sub acest aspect devine oportună
descrierea particularităţilor stării tensionate sub influenţa sarcinii concentrate, a modificărilor
acestora în dependenţă de tipul reţelei cristaline a corpului deformat, influenţa factorilor cum sunt:
sarcina aplicată, temperatura, factorii superficiali, coroziunea, durata de solicitare, uzura mecanică,
etc.
Studierea microdurităţii pelicolelor de Al/Si, Au/Si este necesară nu doar pentru lărgirea
domeniului de cunoaştere despre acestea, dar şi pentru atribuirea materialelor noilor proprietăţi,
elucidarea modificărilor ce au loc în timpul proceselor de prelucrare tehnologică şi exploatare.
Trebuie de notat că, influenţa deteriorărilor acumulate în procesul de exploatare se reflectă
asupra caracteristicilor mecanice ale materialului în deosebi la etapa predistructivă. De aceea este
dificil de apreciat rezerva remanentă a produsului în baza analizei lor. În acelaş timp deteriorarea (în
cel mai larg sens) se răsfrânge mult mai puternic asupra schimbărilor pentru un şir întreg de
proprietăţi ale materialului, ceea ce permite aprecierea complexă a stării materialului prin metode
tehnice de diagnosticare.
În legătură cu complexitatea acestui proces este destul de dificilă elucidarea naturii
evenimentelor, ce au loc sub acţiunea penetratorului în urma executării testelor.
Cu toate că la momentul dat există un volum esenţial de material experimental, cu interpretarea
teoretică a acestuia şi a naturii unui şir de fenomene, continue totuşi să persiste multe întrebări
nesoluţionate care necesită o rezolvare urgentă.
Datele bibliografice dovedesc clar că duritatea oricărui material este o caracteristică
multifuncţională de durabilitate, dependentă de o multitudine de factori, atât interni cât şi externi.
Coala
UTM 525.1 025 ME 8

Mod Coala Nr. document Semnăt. Data
Înţelegerea profundă a rolului şi aportului fiecăruia dintre aceşti factori asupra parametrilor de
durabilitate permite utilizarea lor competentă întru soluţionarea sarcinilor tehnologice la construirea
materialelor generaţiei noi şi înzestrarea lor cu proprietăţile necesare în scopul perfecţionării
caracteristicilor de exploatare a produselor înginereşti.
Nanoindentarea, este ca o combinaţie de abordări, a metodelor specifice, practic este singurul
instrument universal care determină tiparele comportamentului mecanic a materialelor în straturile
micro şi nano a peliculei. Ea a apărut în urma unei evoluţii lungi metodelor incercărilor mecanice
locale, în care cea mai simplă metodă de măsurare a durităţii H ca raportul puterii de indentare în
material P pentru zona amprentei A (duritatea Brinell) sau la proiecţia acestei zone deasupra probei
(duritate Meyer) transformânduse într-un instrument subţire multiopţional pentru cercetare. Este
potrivit pentru rezolvarea problemelor fizice și aflarea legilor fundamentale comportamentului
straturilor nanometrice ale suprafeţei şi volumul submicronic celor mai diverse materiale, de la
materiale moi biologice, până la extradure cum ar fi de diamant, care se folosesc sau se planifică
pentru dezvoltare idustriilor importante. Respectiv, şi mijloacele tehnice pentru testarea durităţii de
la începutul secolului XX au suferit o schimbare radicală, care a crescut din presă, dezvoltînduse
efortul de la zeci și sute de kilograme, până la maşini de precizie, cu o rezoluţie de până la 10 -12 m, cu
discreţia raportului sarcinii 1 nN.
În legătură cu cele expuse devine o necesitate insistentă de continuare a cercetărilor detaliate şi
sistematice în scopul studierii microdurităţii pelicolelor de Al/Si și Au/Si.
Coala
UTM 525.1 025 ME 9

1. METODE DE DETERMINARE A MICRODURITĂŢII MATERIALELOR
1.1. Determinarea durităţii materialelor

Duritatea este o proprietate a materialelor care exprimă capacitatea acestora de a se opune
acţiunii de pătrundere a unui corp dur în masa sa. La determinarea durităţii materialelor se iau în
considerare mărimea urmelor produse de un corp de penetrare numit penetrator, caracterizat printr-o
anumită formă şi dimensiune, şi forţa ce acţionează asupra acestuia.
Metodele de determinare a durităţii, în funcţie de viteza de acţionare a forţei asupra
penetratorului, se clasifică în metode statice, la care viteza de acţionare se situează sub 1 mm/s, şi
metode dinamice, pentru care viteza de acţionare depăşeşte această valoare.
Metodele statice şi dinamice se deosebesc între ele, în principal, prin forma penetratorului,
condiţiile de lucru, dimensiunile caracteristice ale urmelor lăsate de penetrator în material şi modul
de evaluare a durităţii. Metodele frecvent utilizate la determinarea durităţii şi caracteristicile lor sunt
cuprinse în (tabelul 1.1).
Tabelul 1.1 Metodele frecvent utilizate la determinarea durităţii
Metoda Tip penetrator Evaluarea Scări Domeniul de Tipul
durităţii utilizate utilizare metodei
Brinell bilă oţel F/S, [N/mm2] - < 450 HB statică
bilă oţel h, [mm] B = 130 < 450 HB statică
Rockwell con de diamant h, [mm] C = 100 toate materialele statică
Vickers piramidă de diamant F/S, [N/mm2] - toate materialele statică
Poldi bilă de oţel comparativă - < 450 HB dinamică
Menţiuni. Mărimile din tabelul 1.1 au următoarele semnificaţii:

 F – forţa ce acţionează asupra penetratorului;
 S – suprafaţa;
 h – adâncimea urmei lăsate de penetrator în material sub acţiunea unei forţe date.
1.2. Determinarea durităţii Brinell

Determinarea durităţii Brinell este una dintre cele mai folosite metode de evaluare a durităţii
materialelor. Ea se aplică materialelor ce au duritatea posibilă mai mare de 450 HB, când se foloseşte
ca penetrator o bilă din oţel, şi a celor ce au duritatea cuprinsă între 450 şi 650 HB, când se
foloseşte ca penetrator o bilă din carbură de wolfram. Metoda constă din imprimarea, cu o forţă (F), a
Coala
UTM 525.1 025 ME 10

unei bile de diametru prescris (D), perpendicular pe suprafaţa piesei de încercat. Bila utilizată ca
penetrator trebuie să aibă o duritate cu minimum 70 % mai mare decât duritatea materialului de
încercat.
Duritatea Brinell HB se exprimă prin raportul dintre forţa aplicată F şi suprafaţa calotei sferice
S a urmei remanente lăsate de penetrator după îndepărtarea lui de pe materia: HB = F/S Duritatea
Brinell HB se foloseşte ca o valoare convenţională ce înlocuieşte folosirea unităţii de măsură
daN/mm2.
Suprafaţa calotei sferice se calculează pornind de la diametrul d al bazei acesteia, măsurat cu
lupa, la microscop sau prin proiectarea urmei pe ecranul aparatului destinat încercării, astfel:
S
 D
2
D  D2  d 2  (1.1)
Înlocuind suprafaţa calotei în relaţia de calcul s durităţii, se obţine:
 
2F
HB 

 D D D d 2 2
, daN / mm2 (1.2)
sau:
HB 
2F

  D2 
1


, daN / mm 2  (1.3)
2
 d 
 1  1    
 D 
 
Dacă F şi D din relaţia prezentată sunt cunoscute

şi d rezultă în urma măsurării diametrului urmelor se
poate calcula duritatea. Practic, acest calcul nu este
necesar deoarece există, în standard, tabele care
prezintă valoarea durităţii în funcţie de F, D şi d.
Diametrul bilei penetrator se alege dintr-un set d cinci
bile ale cărui dimensiune poate fi: 1; 2; 2,5; 5 şi 10
mm. Folosind la determinarea durităţii un penetrator
cu bilă de diametru constant şi sarcini crescătoare se
obţin valori crescânde ale durităţii. De asemenea,
folosind o sarcină constantă şi penetratoare cu bile de
diametre descrescânde se obţin valori descrescânde ale
durităţii. Se poate constata, deci, că valorile durităţii
Brinell obţinute cu penetratoare având bile de diametru
diferit sau asupra cărora acţionează sarcini diferite nu
sunt comparabile între ele. Valori comparabile se
obţin numai în condiţiile în care se respectă
Coala
Fig.1.1Vârful penetratorului
UTM 525.1 025 ME 11
similitudinea geometrică a urmelor produse. Din (fig. 1.1) reiese că această similitudine este
satisfăcută numai dacă unghiul φ este identic pentru toate urmele obţinute la încercarea unui anumit
material.
Din triunghiul AOB rezultă:
D  d 
sin  , de unde d  D sin (1.4)
2 2 2 2
Această expresie introdusă în relaţia de mai sus conduce la:
2F 1
HB   (1.5)
  D2  
1  1  sin  
2
2
Aplicând condiţia similitudinii (φ = constant) rezultă că, pentru obţinerea unor valori constante
a durităţii, la încercarea aceluiaşi material, este necesar ca raportul F/D2 să fie constant. Acest raport
se notează cu k şi este denumit grad de solicitare.
Pentru ca bila să nu se deformeze în timpul încercării, ceea ce ar conduce la obţinerea unor
rezultate eronate, este necesar ca diametrul urmei lăsate de penetrator pe materialul de încercat să se
încadreze în limitele impuse de relaţia:
0,25·D < d < 0,60·D (1.6)
Pentru evitarea influenţei suportului de sprijin a probei asupra rezultatelor încercării, grosimea
a minimă a probelor supuse încercării trebuie să fie de 8 ori adâncimea urmei h. La metoda de
determinare a durităţii Brinell, materialul supus încercării suferă deformaţii plastice în zonele de
contact şi în vecinătatea acestora. Durata necesară epuizării curgerii materialului şi atingerea urmei
de mărime practic constantă este în funcţie de natura şi duritatea materialului încercat.
1.3. Determinarea durităţii Vickers

Metoda de determinare a durităţii Vickers utilizează ca şi penetrator o piramidă de diamant cu
baza un pătrat. Deoarece diamantul are cea mai mare duritate dintre toate materialele utilizate în
industrie, metoda poate fi aplicată fără limite la determinarea durităţii. Se recomandă, îndeosebi, la
determinarea durităţii materialelor ce au duritatea probabilă mai mare de 300 daN/mm 2. La
materialele a căror duritate este mai mică decât această valoare se foloseşte metoda Brinell.
Metoda Vickers se aseamănă, în principiu, cu metoda Brinell. Ea constă în apăsarea unui
penetrator cu o viteză redusă şi cu o anumită forţă predeterminată F pe suprafaţa materialului
încercat.
Coala
UTM 525.1 025 ME 12

Duritatea Vickers, simbolizată cu HV, se exprimă prin raportul dintre forţa aplicată f şi aria
suprafeţei laterale a urmei remanente produse de penetrator. Urma este considerată ca o piramidă
dreaptă cu baza pătrată, cu diagonala d, având la vârf acelaşi unghi cu cel al penetratorului.
Unghiul la vârf al penetratorului, măsurat între două feţe

opuse, este de 1360 şi a fost ales de aşa manieră încât să se
stabilească o legătură cu duritatea Brinell (fig. 2.1). Duritatea
Vickers se determină cu relaţia: HV = F/S. Exprimând
suprafaţa S a urmei lăsate de penetrator, în funcţie de
diagonala d, se obţine relaţia de calcul a durităţii Vickers:
F
2 1.8544  F
HV  d  (1.7)
136 d2
2 sin
2
În practică se măsoară lungimea diagonalei cu ajutorul

unui microscop de măsurare sau cu un proiector, iar valoarea
corespunzătoare a durităţii se citeşte direct din tabelele anexate
aparatului. La încercarea Vickers, folosind penetratoare cu
unghiuri identice la vârf, se obţin urme geometrice identice Fig. 1.2 Penetratorul durităţii
oricare ar fi forţa de încercare şi, ca urmare, se poate spune căBrinell
duritatea este independentă de mărimea sarcinii. Cu toate acestea, din motive practice, anumite
standarde au prescris diferite sarcini discrete şi, din acest punct de vedere, au clasificat încercările
Vickers în: încercări normale de duritate Vickers, încercări de duritate Vickers cu sarcini mici şi
încercări de duritate Vickers cu microsarcini (microduritate Vickers).
Adâncimea de penetrare a piramidei Vickers în material este de numai 1/7·d. Datorită
adâncimii mici de pătrundere a penetratorului în material, metoda poate fi utilizată şi pentru
determinarea durităţii pieselor mici, subţiri, a straturilor tratate termic, depuse galvanic etc. În cazul
determinării durităţii straturilor subţiri se efectuează mai multe încercări şi se reţin numai rezultatele
acelora care sunt apropiate ca mărime. Celelalte valori se exclud întrucât ele s-au obţinut prin
pătrunderea penetratorului până la miezul piesei, dincolo de stratul tratat termic. La determinarea
durităţii Vickers există numeroase surse de erori. Una dintre aceste este influenţa reciprocă a urmelor
învecinate.
Grosimea piesei de încercat sau a stratului trebuie să fie de cel puţin 1,5d, adică de aproximativ
10 ori adâncimea de pătrundere a penetratorului. Aceasta, pentru a evita influenţa suportului de
sprijin a piesei asupra durităţii.
Coala
UTM 525.1 025 ME 13

Principala sursă de erori la această încercare este legată de măsurarea diagonalelor urmei. În
vederea reducerii ponderii erorii subiective cauzată de plasarea reperelor în contact cu extremităţile
urmei, se recomandă utilizarea sarcinilor cât mai mari la efectuarea încercării.
În cazul suprafeţelor curbe, sferice sau cilindrice, concave sau convexe, rezultatele obţinute la
determinarea durităţii se corectează. Corecţiile ce se aplică sunt trecute în tabelele standardelor de
încercare a durităţii pe suprafeţe curbe.
1.4. Determinarea durităţii Rockwell

Prin metoda Rockwell s-a urmărit, pe de o parte, să se simplifice metodologia de determinare a
durităţii materialelor şi să se reducă timpul necesar efectuării încercării şi, pe de altă parte, să ofere
posibilitatea aplicării ei pentru toate categoriile de materiale, indiferent de duritatea probabilă pe care
o au. În cazul metodei Rockwell nu se recurge la calculul durităţii prin raportul dintre forţa aplicată
asupra penetratorului şi aria urmei produse de acesta în material, ci pe baza evaluării adâncimii urmei
remanente de pătrundere, măsurată faţă de un plan de referinţă ales convenţional.
Metoda constă în imprimarea, într-un material, a unui penetrator de formă dată sub acţiunea
unei sarcini. Procesul se desfăşoară în două etape. În prima etapă se aplică asupra penetratorului o
sarcină iniţială F0, după care dispozitivul de măsurare a adâncimii de penetrare se aduce la zero. În a
doua etapă se aplică suprasarcina F1.
După epuizarea curgerii materialului, vizibilă la dispozitivul de măsurare a adâncimii de
pătrundere a penetratorului, manifestată prin oprirea practic completă a mişcării acului indicator, se
îndepărtează suprasarcina F1 şi se citeşte direct adâncimea remanentă de pătrundere a penetratorului
în material (fig. 1.3).
Fig. 1.3 Diferenţa dintre o valoare convenţională E şi valoarea adâncimii de penetrare
Coala
UTM 525.1 025 ME 14

În practică, durata de menţinere a sarcinii totale de încercare F = F 0 + F1 este recomandată a fi
de 15, 30 sau 60 secunde, în funcţie de material. Aceasta pentru a se asigura o epuizare practic
completă a deformaţiilor locale sub presiunea de contact a penetratorului.
Unitatea de duritate Rokwell corespunde unei adâncimi de pătrundere de 0,002 mm pentru
metodele obişnuite de determinare a durităţii. Deoarece duritatea variază invers proporţional cu
adâncimea de pătrundere a penetratorului şi pentru ca durităţilor crescânde să le corespundă valori
crescânde, duritatea Rockwell se defineşte ca diferenţa dintre o valoare convenţională E şi valoarea
adâncimii de penetrare. Valoarea convenţională E este în funcţie de scara utilizată şi poate fi de 100
(fig. 1.3 a) sau de 130 (fig. 1.3 b). Această diferenţă se realizează, practic, prin folosirea ca reper zero
a gradaţiei 100 sau 130 şi mişcarea inversă a indicatorului faţă de scara gradată. Duritatea Rockwell
se determină deci prin relaţia:
HR = E-e, (1.8)
în care:
e - este valoarea adâncimii remanente de pătrundere, exprimată în unităţi Rockwell.
O unitate Rockwell este egală cu 2 μm. În funcţie de duritatea probabilă a materialului se alege
tipul penetratorului. Pentru oţeluri călite, oţeluri speciale, benzi subţiri din oţel călit, metale dure, se
utilizează ca penetrator un con de diamant cu unghiul la vârf de 120 ± 0,5 0 şi o rotunjire la vârf de
0,2 ± 0,002 mm. Pentru oţeluri carbon obişnuite, table, bronzuri, alame speciale, se alege ca
penetrator o bilă din oţel călit cu diametrul de 1/16, adică D = 1,588 ± 0,004 mm. Duritatea acestei
bile trebuie să fie aproximativ 850 HV 10 pentru a nu se deforma inadmisibil în cursul încercărilor.
1.5. Determinarea durităţii cu ciocanul Poldi

Metoda de determinare a durităţii cu ciocanul Poldi, deşi dă valori aproximative ale durităţii
materialelor, este foarte des folosită datorită rapidităţii de execuţie şi pentru că permite determinarea
durităţii pieselor de gabarit mare şi a celor aflate în locuri inaccesibile celorlalte aparte de
determinare a durităţii.
Metoda Poldi este o metodă dinamică, deoarece viteza de aplicare a forţelor prin lovire cu
ciocanul este mare. Aparatele destinate încercărilor dinamice sunt uşoare, portabile, robuste şi
permit o manipulare uşoară. Folosirea acestora este îngrădită de precizia mai redusă a rezultatelor
obţinute.
La ciocanul Poldi se foloseşte principiul metodei Brinell cu deosebirea că amprenta nu se
realizează în urma aplicării unei sarcini statice, ci prin acţionarea unei sarcini dinamice. Bila de oţel
cu diametrul de 10 mm imprimă concomitent două urme: una pe piesa de încercat şi alta pe o piesă
etalon, care are o duritate HBe cunoscută.
Coala
UTM 525.1 025 ME 15

Comparând suprafaţa amprentei de pe piesa de încercat cu suprafaţa amprentei de pe bara
etalon se determină duritatea HB a piesei.
Duritatea celor două materiale (a barei etalon şi a piesei de încercat) se poate determina cu una din
următoarele relaţii:
2F
HB 
HBe 

  D D  2DF2  d 2  (1.9)
(1.10)
  D D  D 2  d e 
2
 
în care:
 D – este diametrul bilei (10 mm);
 d – diametrul urmei lăsate pe piesa de încercat;
 de – diametrul urmei lăsate de bilă pe piesa etalon.
Făcând raportul celor două relaţii se obţine:
2
HBe D  D 2  d 2  d 
   (1.11)
HB D  D 2  d 2  d e 
e
rezultă că:
2
d
HB  HBe   (1.12)
 de 
Deci duritatea piesei de încercat HB se poate determina pe baza ultimei relaţii cunoscând
duritatea barei etalon şi măsurând diametrele urmelor lăsate de bilă pe cele două materiale (bara
etalon şi materialul de încercat). Pentru simplificare, fiecare aparat este însoţit de o tabelă proprie, în
care sunt date valorile durităţii piesei de încercat în funcţie de diametrul urmelor lăsate de penetrator.
În cazul în care se foloseşte o bară etalon cu duritate diferită de cea pentru care a fost construit
tabelul (201 HB) valorile luate din tabel vor fi corectate cu ajutorul unui coeficient de corecţie K
determinat cu relaţia:
HBe
k (1.13)
HBtabel
în care:
 HBe – este duritatea barei etalon folosite;
 HBtabel – duritatea barei etalon pentru care a fost construit tabelul.
Ca urmare, duritatea reală a materialului încercat HB este produsul durităţii citit în tabel, în raport
cu diametrul urmelor lăsate de penetrator pe cele două materiale, şi coeficientul de corecţie K. Se
poate spune că această metodă de determinare a durităţii este:
 metodă dinamică, pentru că forţa se aplică cu mare viteză prin lovire cu ciocanul;
 metodă comparativă, pentru că duritatea se determină în raport cu o bară etalon;
Coala
UTM 525.1 025 ME 16

 metodă informativă, deoarece rezultatele obţinute nu sunt de mare precizie ci oferă doar
informaţii asupra durităţii materialului încercat.
1.6. Nanoindentarea
Aplicarea indentorului provine faptului că piramida indentorului nu este perfect ascuţită. La
vârful său, există întotdeauna zona tocită, asemanatoare cu forma sferei. Dimensiunea zone tocite
determină adâncimea minimă, la care se permite măsurarea durităţii. Pentru a măsura corect
microduritatea este necesar, ca raza curbei să fie mult mai mică decât dimensiunea amprentei. Pentru
indentorul Vickers nu se primește de obţinut vârful cu o rază de curbură <1 µm. Pentru indentarea
Berkovich raza de corbura la vârf este mult mai mică, în dispozitivele moderne ajunge pînă la 40
nm. Prin urmare, utilizarea unui indentor Berkovich permite incercarea testelor la sarcini mult mai
mici decât în cazul indentării Vickers.
Pentru măsurarea adâncimii amprentei în dispozitivul Nano Indenter II se folosește un senzor
capacitativ. Senzorul este format din două plăci de sticlă, așezate la o distanţă de 200 µm una de la
alta (Fig. 2). A treia placă este prinsă de nucleul indentorului. La schimbarea adâncimii amprentei
senzorii capacitativi se schimba, ce permite permanent controlul mișcării vârfului indentorului. La
capătul de sus al nucleului, unde este prins indentorul, se găseşte bobina inductanta. Bobina este
plasată într-un magnet-continuu (fig. 1.4).
1 2
3
Fig. 1.4 Schema principială a efectuării testărilor la aparatul Nano Indenter
4
1 – magnet continuu,
2 – bobina de inductanţă,
3 – arc foliat,
4 – placa condensatorului,
Coala
5 UTM 525.1 025 ME 17

Mod Coala Nr. document Semnăt. Data 6
5 – indentor,
6 –mostra.
Atunci când curentul curge prin bobina inductanţă, nucleul și indentorul iese din magnit și la
indentor se aplica sarcină. Relaţia dintre curent şi sarcină este liniară în intervalul 0-150 nm, deaceea
permite controlul puterii indentorului. Precizia măsurării deplasării parţii de sus al indenterului
dispozitivului Nano Indenter-II este egală cu ±0,04 nm, sarcina la indentor – ±75 nm. Dispozitivul
produce testarea durităţii în diapazonul de încărcare de la 0,001g până la 15g. Adâncimea minima
amprentei, este suficienta pentru constatarea durităţii și modulului de elasticitate este egală cu 30
nm. Modul principal de lucru – încărcarea la o creștere constantă a sarcinii care variază de la 0.0001
la 20 mN / secunde. Precizia punerii amprentei este egală ± 400 nm. Dispozitivul efectuează
aproximativ 5 măsurări de sarcini și mutare în timp de 1 secundă. Pentru reducerea vibraţilor
dispozitvul este montat pe masa de izolare a vibraţiilor. Pentru micșorarea derivei termice
dispozitivul impreuna cu masa de izolare a vibraţiilor este întrodus într-un dulap de lemn lipit din
interior cu spumă de cauciuc. Testările la nanoindentare sunt efectuate de regulă conform următoarei
scheme (fig. 1.4).
Principalele etape de indentare:
 Încărcarea până la sarcina maximă.
 Menţinerea timp de 30 s.
 Micşorarea sarcinii cu 80 %.
 Menţinerea la sarcina aplicată constantă timp de 30s pentru măsurarea derivei termice.
 Eliberarea completă a indentorului.
Viteza de creştere a sarcinii aplicate se alege de obicei astfel, încât durata de încărcare să fie de
10-20s. Pauza de 30 s în timpul eliberării se produce pentru a măsura viteza de dilatare termică a tijei
indentorului. Acest lucru se datorează faptului că temperatura indentorului şi probei nu este niciodata
absolut identică. De aceea după contactul indetorului cu proba se începe expansiune sau contracţie a
tijei indentorului, care dispozitivul o percepe ca o schimbare în adâncimea contactului. Sensibilitatea
ridicata a dispozitivului conduce la faptul că diferenţa temperaturii probei și indentorului chiar la
câteva zeci de grade sunt posibile devieri la rezultatele testului. Pentru micșorarea diferenţei în
temperatură, proba se introduce în dispozitiv înainte cu 12 ore de la începerea testului. Temperatura
în încăpere se menţine permanent cu o precizie de  20 С. Procesul nu se începe dacă viteza
expasiunii termice a tijei indentorului este mai mare de 0.05 nm / sec. În timpul descărcarii pentru
2
fiecare test viteza expasiunii termice indentorului se măsoară încă odată iar rezultatele se întroduc cu
1,0
o corespunzătoare modificare.
0,8
S
dP Fig. 1.5 Diagrama încărcării indentorului la
0,6
dh
efectuarea testării nanodurităţii: etapa 1 – stadia de
P, nm
0,4 3
1
încărcare, etapa 2 – durata de expunere a sarcinii
Coala
0,2
UTM 525.1
maximale, 3 – stadia025 ME a indentorului 18
de descărcare
0,0
Mod Coala Nr.0 document
10
Semnăt.
20
Data
30 40 50
h, nm
1.7. Tehnica lui Oliver şi Pharr
În cazul metodei obişnuite de măsurare a durităţii principala dificultate este legată de
măsurarea mărimii amprentei, obţinuta prin încarcare mică, apoi la măsurarea durităţii la adâncimea
amprentei, problema principală este prelucrarea diagramei primite la încărcarea indentorului.
Problema este aceea că dispozitivul nu măsoara adâncimea amprentei, dar mutarea vîrfului
indentorului h, care este suma mai multor componente: adâncimea contactului hc, deformarea elastică
suprafeţei probei la marginea contactului hs, devierea elastică unei rame puternice hf, expansiunea
termica a tijei, în care este prins indentorul htd:
h = hc + hs + hf + htd (1.14)
Pentru a găsi duritatea și modulul elasticităţii probei după rezultatele testărilor cu înscrierea
diagramelor încărcării indentorului, este necesar să cunoaștem adâncimea contactului h c la încarcarea
maxima Pmax. Ultimii doi termeni din ecuaţia (1.14) pot fi luati ușor în consideraţie; știind rigiditatea
ramei dispozitivului și viteza expansiunii termice a tijei indentorului.
Principala dificultate este legată de descoperirea deformării elastice suprafeţei pe marginea
contactului hs (fig. 1.5). Deformările elastice nu sunt posibile de măsurat. Ele pot fi doar calculate,
folosind soluţia lui Sneddon problema despre elasticitatea încărcării suprafeţei plane cu o ștampilă
axisimetrică (1.18). Oliver și Pharr au demonstrat (1.16), că la încărcare maximă deformările elastice
suprafeţei probei pe marginea amprentei sunt egale cu:
hs = Pmax/S (1.15)
unde  = 0.72 primit din rezultatul lui Sneddon pentru conul ascuţit. Rigiditatea contactului S =
=dP/dh se găsește pe curba descărcării indenterului (fig. 1.5), deaceea adâncimea amprentei la sarcini
maxime pe indentor este posibil de găsit din ecuaţiile (1.14) și (1.15).
hs
h
hc
Coala
UTM 525.1 025 ME 19

Fig. 1.6 Reprezentarea schemei secţiunii amprentei
Știind adâncimea contactului putem găsi suprăfaţa proecţiei amprentei A. Pentru un indentor
perfect ascuţit a lui Berkovich.
А = 24.56(hc)2 (1.16)
Din cauza că indentorul Berkovitch are impiedicare în partea de sus, această formulă poate fi
utilizată numai pentru adâncimi relativ mari, atunci când forma vârfului este aproape de forma unei
piramide regulate. La sarcini mici în zona calculată după formula (1.16), o să difere faţă de zona
reală. Și cu cât mai mică va fi adâncipea amprentei cu atât mai mare va fi greșeala. Ţinând cont de
efectul de tocire la vârful indentorului, Pharr și Oliver (1.16) au introdus o funcţie cu următoarea
formă a indentorului:
A = 24.56(hc)2 + C1(hc)1 + ...... + C8(hc)1/128 (1.17)
unde:
C1 – C8 – sunt constante, care se folosesc pentru găsirea zonei de proecţie amprentei ţinând cont
doar de adâncimi mici ale amprentei. Constantele C1 – C8 se aleg în așa fel, pentru ca zona
contactului, calculată după formula (1.17) să coincidă cu rezultatele măsurării metodei optice
(microscop optic sau prin scanare cu un microscop electric special). Acum este posibil de găsit
duritatea pe adâncimea amprentei la încărcări pe indenterul Berkovich:
H = Pmax/A (1.18)
Bulycev și alţii (1.19) au demonstrat, că pentru curba elastică la descărcare, este axisimetrică ca
și ștampilele piramidale.
dP 2
S  Er A (1.19)
dh 
unde:
S = dP/dh – experimental măsurarea rigidităţii părţii de sus curbei descărcării (Fig. 1).
Er – reducerea modulului elasticităţii, care este redat de următoarea ecuaţie:
1 (1  2 ) (1  i2 )
  (1.20)
Er E Ei
unde:
E și  - este modulul elasticităţii și coeficientul lui Poisson pentru probă.
Coala
UTM 525.1 025 ME 20

Ei - i aceeași parametrei și pentru indentor. Ecuaţiile (1.19) și (1.20) permit găsirea modulului
elasticitaţii probei pe curba descărcării indentorului.
Astfel, Oliver şi Pharr au reuşit să obţină valoarea nanodurităţii probei pe diagrama încărcării
indentorului. Primită în așa fel valoarea durităţii semnificativ se schimbă faţă de duritate, măsurată la
dispozitivul PMT-3. În primul rând în timpul testării microdurităţii mărimea amprentei se schimbă
după descărcarea indentorului. Rezultatul este numit “recuperarea” durităţii diformată elastic cu
recuperarea amprentei la descărcare. La testarea nanodurităţii primim duritate, măsurată la sarcini
mari ("nerecuperarea" durităţii). În al doilea rând, microduritatea se găsește ca raportul încărcării în
zona amprentei (duritate pe Brinell ). După metoda lui Oliver și Pharr nanoduritatea se găsește ca
raportului normal îndeplinind încărcarea zonei amprentei (duritate pe Meyer). Din punct de vedere
istoric caracteristicile durităţii și microdurităţii de obicei se calculează după Brinell, dar mai corect
pentru a calcula duritatea se folosește după Meyer. În acest caz duritatea are un sens clar și dezvăluit
din punctul de vedere al fizicii – aceasta este presiunea medie de contact.
Metodele lui Oliver și Pharr au primit o răspândire pe larg pentru măsurarea nanodurităţii și
modulul elasticităţii pelicolelor subţiri pe adâncimea amprentei. Figura 1.7 prezintă o diagramă a
unui indentor Berkovich. Pe imagine sunt arătate deformările elastice suprafeţei probei pe marginea
contactului, calculată de Oliver şi Pharr şi deformările elastice în amprentă.
1,0
0,8
0,6
P, (mN)
0,4
0,2
O B C A
0,0
0 10 20 30 40 50
h, (nm)
Fig. 1.7 Adâncimea amprentei sub sarcina lui Oliver și Pharr

 OC – adâncimea amprentei sub sarcină maximă;
 OA – mutarea vârfului indenterului;
 BA - deformarea elastică completa a suprafeţei;
Coala
UTM 525.1 025 ME 21

 BC- deformarea elastică a suprafeţei în amprentă;
 CA - deformarea elastică a suprafeţei pe marginea amprentei.
1.8. Folosirea pelicolelor de Au și Al la elaborarea MEMS

Sistemele microelectromecanice (Microelectromechanical Systems – prescurtat MEMS) sunt
microsisteme obtinuţe prin integrarea de elemente mecanice, de senzori, actuatori și componente
electronice pe un substrat comun (de regula o placuţă de siliciu). Tehnicile curente de fabricare ale
MEMS includ microprelucrare la suprafaţa a siliciului, microprelucrarea siliciului în volum,
litografie, electrodepunere, prelucrare prin descărcări electrice. Domeniul multidisciplinar a fost
martor la o creştere explozivă în timpul ultimei decade iar tehnologia progresează la o rată ce o
depăşeşte pe cea a înţelegerii fenomenelor fizice implicate. Actuatori electrostatici, magnetici,
electromagnetici, pneumatici şi termici, motoare, vane, mecanisme cu roţi dinţate, diafragme şi
foarfece cu dimensiuni sub 100 de microni au fost deja fabricate. Acestea au fost folosite ca senzori
pentru presiune, temperatură, debit, viteză, sunet şi compoziţii chimice, ca şi actuatori pentru mişcări
liniare şi unghiulare sau ca simple componente pentru sisteme complexe cum ar fi roboţi, laborator-
pe-un-cip, micromotoare de caldură şi micropompe de caldură. Laboratorul-pe-un-cip, în particular,
promite să automatizeze biologia şi chimia în aceeaşi măsură în care circuitul integrat a permis
automatizarea la scară largă a tehnicii de calcul.
Materialul de baza utilizat ca substrat este Siliciu. Prezintă următoarele avantaje:

 larg răspândit in fabricatia circuitelor integrate;
 bine studiat și exită posibilitatea de a i se controla proprietăţile electrice;
 este economic de produs in formă cristalină;
 are proprietăţi mecanice foarte bune ( sub forma de cristal este elastic ca oţelul si mai ușor
decât aluminiu).
Siliciul utilizat in construcţia MEMS-urilor se prezinta sub 3 forme:
 Siliciu cristalin,
 Siliciu amorf,
 Siliciu policristalin.
Siliciu sub forma cristalina de înalta puritate se fabrică sub forma de plăcuţe circulare cu
diametrul de 100, 150, 200 si 300 mm și cu grosimi diferite.
Siliciu sub forma amorfă nu are structură regulată cristalină și conţine numeroase defecte.
Impreună cu siliciul policristalin se poate depune în straturi subţiri de până la 5 microni.
Siliciu sub formă cristalină are urmatoarele caracteristici fizice:
 limita de curgere = 7x109 N/m2;
Coala
UTM 525.1 025 ME 22

 modulul de elasticitate E = 1.6 x 10 11 N/m2;
 densitatea = 2,33 g/cm3;
 temperatura de topire = 14100C.
Există si alte materiale care se utilizează ca substrat in construcţia MEMS-urilor: quartz,
sticlă, materiale ceramice, materiale plastice, polimeri, metale.
Quartzul se utilizeaza in construcţia MEMS-urilor, în primul rând datorită efectului
piezoelectric pe care-l posedă. Este un mineral natural dar, de regulă, se utilizeaza quartzul produs
sintetic. Quartzul are urmatoarele caracteristici principale:
 modulul de elasticitate E = 1.07 x 10 11 N/m2;
 densitatea = 2,65 g/cm3.
Exista mai multe tipuri de materiale care se depun sub forma de straturi pe placutile de siliciu:
 siliciu policristalin, siliciu amorf, biooxid de siliciu (Si O 2), nitrură de siliciu (Si3 N4),
oxinitrură de siliciu (SiON);
 metale (Cu, W, Al, Ti, Au, Ni), compuși metalici ( TiN, ZnO) sau aliaje (TiNi);
 materiale ceramice ( alumina);
 polimeri.
1.9. Rolul pelicolelor de Al și Au la construcţia MEMS

Dintre toate materialele asociate cu realizarea MEMS metalele sunt cel mai utilizate. Pelicolele
fine metalice sunt utilizate in medii cu capacitati diferite pentru confecţionarea măștilor
microsenzorilor si microactuatorilor. Pelicolele metalice pot fi depuse utilizând o mulţime de tehnici
cum sunt: evaporarea, pulverizarea, CVD, si electroacoperiri. Metalele cel mai utilizate in
microfabricatele electronice sunt Au si Al si de regula sunt utilizate la realizarea conectorilor. Un
exemplu in acest sens il reprezintă utilizarea Au la realizarea întrerupătoarelor micromecanice.Aceste
întrerupătoare sunt construite folosind un strat de sacrificiu din dioxid de siliciu. Straturile din nitrură
de siliciu și dioxidul de siliciu sunt depuse prin metoda PECVD iar Au este depus prin
electrodepunere dintr-o solutie de sulfit de sodiu. Un multistrat din Ti și Au este pulverizat înainte de
a fi electrodepus. Structurile tristrat sunt alese pentru a minimiza efectele dăunătoare ale gradienţilor
de temperatură și tensiune din timpul proceselor de realizare ale componentelor microelectronice.
Un alt metal utilizat la realizarea MEMS este Al, de exemplu la fabricarea
microintrerupătoarelor pe baza de Al. Aceste întrerupătoare utilizează diferenţele dintre tensiunile
remanente din pelicolele fine de Al si Cr pentru a crea o consolă comutatoare ce capitalizează aceste
diferenţe de tensiune din materiale. Fiecare întrerupător este alcătuit din o serie de console bimorfe
astfel încât structura rezultată sa se plieze mult peste planul real generând diferenţele de tensiune în
Coala
UTM 525.1 025 ME 23

structura bimorfa. Întrerupătoarele de acest gen sunt în general lente 10 ms, dar voltajul de activare
de numai 26V poate determina închiderea acestora.
2. DESCRIEREA ECHIPAMENTULUI UTILIZAT
2.1. Tehnica de efectuare a tratamentului fotonic rapid cu impulsuri

Instalatia TFR cu impulsuri (ИФО-3) este folosită pentru realizarea procesului de încălzire cu
impulsuiri de lumină necoerentă, care a fost proiectată şi dezvoltată în laboratoarele de cercetare a
Universităţii Tehnice a Moldovei. Schema bloc a acestui dispozitiv este prezentată în figura 1.
Proprietăţile de bază a instalaţiei TFR cu inpulsuri:
- Diametru plachetei prelucrate - 100mm;
- Intervalul temperaturii de lucru - 350-1350oC;
- Precizia de reglare a temperaturii - +5 oC;
- Viteza maximă de creștere a tempearaturii - 600 oC/s;
- Viteza minimă de creștere a temperaturii - 5 oC/s;
- Numarul de programe întrun ciclu de tratament – 16;
- Productivitatea - 30 plachete/ora;
- Incărcarea a câte o piesă cu posibilitatea de incărcare și descărcarea automată a plachetelor;
- Controlul mediului tehnologic se efectuiaza cu ajutorul rotometrului;
- Alimentarea - 380/50 V/Hz;
- Consumul de energie nu mai mult de 25 kW/ora;
Schema bloc a instalaţiei TFR cu impulsuri
- Greutatea - ˂ 75kg.
Amplificat-
or al
MDS termocu-
+5 plului
-5
Blocul de +15 M
alimentare Generator o
CAD d
0 de
u
impulsuri
l
-15
d
+25 e
RAM c
BTR
Cron- o
ometru m
p
a
r Coala
UTM 525.1 025 ME

a
r
24
Modulul de dirijare e
Sursa de alimentare produce +5, –5, +15, –15, +25V, care sunt necesari pentru alimentarea
elementelor schemei de dirijare. Cronometru este construit pe baza inversoarelor binar-zecimale şi
este folosit pentru cronometrare. Dispozitivul operativ cu descărcare rapidă este utilizat pentru
înscrierea şi citirea timpului de tratament, temperaturii şi regimului de lucru a dispozitivului TFR.
Blocul registrului de temperatură este deasemenea construit pe baza convertoarelor binar-zecimale şi
este folosit pentru înscrierea în el a temperaturii procesului TFR.
Blocul convertorului analog-digital converteşte codul binar-zecimal a temperaturii instalate în
semnal analogic. Amplificatorul semnalului termocuplului este asamblat pe baza unui amplificator cu
coeficientul de amplificare reglabil şi serveşte pentru amplificarea semnalului de la termocuplu.
Generatorul de impulsuri genereaza impulsuri pentru dirijarea cronometrului. Frecvenţa de tact
a generatorului este de 1MHz şi este stabiliată de un rezonator de cuarţ.
Generatorul de impulsuri deasemenea genereaza impulsuri +RA pentru trecerea la următoarea
adresă în timpul executării programului, impulsul registrului de temperatură şi impusul de realizare a
unui anumit regim.
Semnalul analogic de la amplificatorul termocuplului și semnalul de la CAD se compară de
comparator care genereaza un semnal pentru unitatea de control triac. Unitatea de control triac
servește pentru dirijarea regimurilor de conectare a lămpilor cu halogen cu scopul de a menţine
temperatura instalată.
Unitatea de control triac cu doua canale prevede o conectare separată a lămpilor din rândul de
jos sau de sus. În plus fiacare rând de lămpi cu halogen se alimenteaza de la o fază separată si
funcţionarea fiecarui triac este sincronizat de impulsurile sincronizate a lor.
100
80
60
unități
40
20
0
0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1 1,1 1,2
Coala
UTM
λ (µm)
525.1 025 ME 25
Fig. 2.1 Spectrul de emisie a lămpilor cu halogen
Camera de lucru cu doi pereţi este confecţionată din table de oţel inoxidabil, este ghermetică și
în ea sunt amplasate 2 rânduri de lâmpi cu halogen. Carcasa camerei de lucru se răcește cu apa.
Exista o intrare unde poate fi conectată pompa de vid. Sub fiecare rind de lămpi este amplasat un
reflector din table de oţel inoxidabil. În calitate de emiţător se folosesc lămpi cu halogen КГ-220-
1000-З
Spectrul de distributie a intensitaţii emisiei acestor lămpi a fost măsurat la diferite tensiuni de
alimentare ceia ce se demonstrează în figura 2.1. La tensiunea nominală de alimentare regiunea de
bază a spectrului de emisie se află în regiunea absorbţiei (λ< 1.1 µm) ce determină o eficienţă înaltă
a incălzirii.
Pentru micșorarea degajării de caldură de la probă contactul cu platina se efectuiaza cu ajutorul
a 3 ace de cuarţ aranjate vertical. Pe parcursul experimentului temperatura se masoară cu ajutorul
termocuplului care mai are și rolul unui sprijin.
Dinamica incălzirii se verifică cu ajutorul înscrierii semnalului în inregistrator. Pentru
echilibrarea cu placheta de Si termocuplu se lipește cu ajutorul argintului. Sa determinat că diferenţa
de temperatură între un termocuplu lipit de placheta cu argint si unul care servește ca un sprijin este
de 80oC.
Cu ajutorul selectării coeficientului de amplificare a amplificatorului termocuplului se poate de
obţinut indicarea temperaturii reale a plachetei și cu ajutorul termocuplului care servește în calitatea
de un sprijin.
2.2. Metoda pulverizării termice magnetron
Între tehnologiile de bază pentru realizarea straturilor subţiri prin metode fizice in vid se afla si
pulverizarea (sau sputtrering-ul) cu o multitudine de variante practice.
Pulverizarea este fenomenul fizic de expulzie a atomilor de la suprafaţă A unui material solid,
ca urmare a bombardării acestuia cu particule energetice. Ca particule energetice de bombardament
se pot utiliza:
 atomi neutri;
 electroni de foarte înaltă energie;
 neutroni;
 ioni.
Coala
UTM 525.1 025 ME 26

De obicei se folosesc ioni grei de gaz inert (ioni pozitivi), cel mai adesea fiind folosit argonul.
în cazul utilizării ionilor pozitivi de gaz inert ca particule de bombardament, sursa de generare a
acestora este descărcarea luminiscentă, iar fenomenul de pulverizare are denumirea de pulverizare
catodică. Accelerarea si sporirea energiei ionilor pozitivi de bombardament se realizează, în acest
caz prin polarizarea ţintei la un potenţial negativ de pâna la 5 kV.
Prin pulverizarea catodica, ca fenomen fizic, a fost descoperită în 1852 de Grove, apoi, câţiva
ani mai târziu, de Pluker, care au constatat că tuburile cu descărcări în gaze, atunci când funcţionează
timp îndelungat, metalul din care sunt realizaţi electrozii se depune puţin câte puţin pe pereţii de
sticlă ai tubului de descărcare. Se ştie acum că aceşti electrozi sunt bombardaţi făra încetare, în
timpul funcţionării, de către ionii ce se formează în descărcarea luminiscentă din tub. În 1877 Wright
a propus utilizarea pulverizării catodice pentru a realiza depuneri metalice de straturi subţiri. Această
idee îndrăzneaţă nu a găsit în epocă aplicaţii deoarece cu mijloacele tehnice si cunoştinţele de atunci
viteza de depunere era foarte scăzută, iar contaminarea peliculelor era foarte frecventă și greu de
înlăturat.
Principiul pulverizării magnetron. În esenţa, la pulverizarea catodică tip magnetron se porneşte
de la aranjamentul pulverizării clasice ce utilizează un catod plan, prevăzut cu ecran de limitare a
plasmei si un anod, la care se adaugă, imediat în spatele catodului un sistem magnetic și la o distanţă
în faţa catodului (ţintei de pulverizare), în mod opţional, un anod suplimentar.
Magneţii sau electromagneţii ce creează un câmp magnetic din faţa catodului sunt astfel
aranjaţi încât să existe cel puţin o regiune în faţa catodului în care locul geometric al liniilor câmpului
magnetic, paralel la suprafaţa ţintei, este o curba închisă.
Prin adăugarea la un catod de pulverizare a unui sistem magnetic se obţine un dispozitiv de
pulverizare numit "catod Penning" și prin adăugarea la acesta a unui anod care să asigure o anumită
configuraţie a câmpului electric, se realizează un dispozitiv special de pulverizare, cu câmpurile
electric și magnetic încrucişate, numit sistem de pulverizare tip magnetron, sau magnetron.
Uneori anodul care asigură o anumită configuraţie câmpului electric între acesta și catod, nu
este integrat în construcţia dispozitivului de pulverizare ci aparţine sistemului de pulverizare numit
"sistem de pulverizare magnetron".
Existenţa câmpurilor electric si magnetic încrucişate duce la modificarea substanţială a
distribuţiei spaţiale a sarcinilor electrice ce apar în descărcarea luminiscentă, prin configurarea
acestora la suprafaţa ţintei de pulverizare.
Particulele încărcate din plasma pulverizării catodice sprijinite de câmp magnetic, influenţată
sensibil de existenţa câmpurilor electric si magnetic încrucişate sunt:
Coala
UTM 525.1 025 ME 27

 ionii pozitivi de argon și eventual azot, de regulă simplu ionizaţi (Ar+ si N2+), generaţi în
număr mare și care bombardează catodul, respectiv anodul, în pulverizării magnetron
reactive.
 electronii secundari eliberaţi din ţinta de pulverizare sub bombardamentul ionic;
 electronii secundari rezultaţi la anod ca urmare a bombardamentului electronic și electronii
rezultaţi prin ionizarea gazului de lucru (Ar).
Parametrii de baza ai pulverizării catodice magnetron sunt:

a) tensiunea între electrozi (tensiunea anod-catod);
b) curentul (sau densitatea de curent) în descărcare, respectiv puterea medie
disipată în descărcare;
c) mărimea inducţiei câmpului magnetic;
d) presiunea de lucru.
De mărimea și stabilitatea parametrilor enumeraţi, care se intercondiţionează între ei, depinde
stabilitatea descărcării și eficienţa procesului de depunere.
Sistemele de pulverizare magnetron sunt sisteme de pulverizare la tensiune scăzută. Tensiunea
de alimentare în sistemele de pulverizare magnetron nu depăşeşte 1000 V c.c. Tensiunea practica de
lucru pentru pulverizarea ţintei este de (300...700) V. Ţinta cu rol de catod, este polarizată negativ, iar
anodul de regula este la potenţialul nul.
Totuşi, în anumite sisteme de pulverizare (de ex. la magnetizarea plasticelor) pentru o captare
mai mare a electronilor scăpaţi din capcana magnetică, în vederea reducerii bombardării cu electroni
a substratului, se recomandă ca anodul suplimentar al dispozitivului de pulverizare să fie polarizat la
un potenţial pozitiv mic (40... 50) V. În multe sisteme de pulverizare magnetroanele nu sunt
prevăzute cu anod suplimentar. De asemenea, în multe sisteme de pulverizare magnetron se utilizează
polarizarea negativă a substratului în scopul realizării unor depuneri reactive.
Curentul, respectiv densitatea de curent în descărcare, depinde de o mulţime de factori ca de
exemplu: tensiunea de lucru, presiunea gazelor de lucru, inducţia câmpului magnetic, configuraţia
sistemului magnetic, natura materialului ţintei de pulverizare se limitează prin puterea sursei de
alimentare. Densitatea de curent pentru sistemele de pulverizare magnetron atinge valorile medii de:
80 mA/cm2 pentru magnetroane cilindrice, 160 mA/cm2 pentru magnetroane cu ţinta conică și 200
mA/cm2 pentru magnetroane cu ţintă plană.
În zona centrală a ţintei de pulverizare densităţile de curent ce se ating sunt mai mari datorită
intensificării plasmei în zona centrală de erodare.
Coala
UTM 525.1 025 ME 28

În mod corespunzător, puterea medie obţinută în sistemele de pulverizare magnetron este de 40
W/cm2 pentru magnetronul cu catod cilindric, 80 W/cm 2 pentru magnetroanele cu ţinta conică și de
100 W/cm2 pentru magnetronul cu ţinta plană.
Puterea maxima admisa în sistemele de pulverizare magnetron este limitată de condiţiile de

răcire ale ţintei de pulverizare și de conductibilitatea termică a materialelor.
Parametrul cel mai important pentru multe caracteristici determinate ale pulverizării magnetron
este geometria și mărimea inducţiei câmpului magnetic la suprafaţa ţintei de pulverizare.
Valoarea câmpului magnetic determină curentul de descărcare și de asemenea structura
descărcării. Creşterea inducţiei magnetice duce la creşterea curentului de descărcare, precum și a
densităţii ionilor în apropierea catodului. La utilizarea inducţiei de peste 0,1 T se creează și crește o
cădere de potenţial în apropierea anodului, ca rezultat a apariţiei sarcinii spaţiale negative în
apropierea lui. Datorita acestei căderi de potenţial apare o accelerare a electronilor în aceasta zonă,
care vor determina o ionizare importantă în aceasta zona, care va duce la intensificarea bombardării
cu electroni a substratului.
Sistemele de pulverizare magnetron pot lucra la presiuni de lucru de la 10 -2 Pa la 1Pa si mai sus.
Pentru a elimina impurificarea peliculelor depuse, cu gaze reziduale, precum și a asigura distanţe
mari între ţinta de pulverizare și substrat, este util să se folosească presiuni de lucru cât mai scăzute.
Prin alegerea corespunzătoare a câmpului magnetic la suprafaţa ţintei de pulverizare, a geometriei și
configuraţiei electrozilor, precum și a tensiunilor de lucru în pulverizarea catodica magnetron poate
să fie scăzută pana la 10-2 Pa.
Tensiunea limită de aprindere a pulverizării catodice magnetron este mai scăzută decât la
pulverizarea catodică tip dioda în c.c., datorită câmpului magnetic care asigură o concentrare a
electronilor mai mare, în zona capcanei magnetice, decât în restul spaţiului tehnologic.
Sistemele de pulverizare magnetron, faţă de celelalte sisteme clasice de pulverizare catodică, au

doua avantaje esenţiale si anume:
a) rata de pulverizare a ţintei (și implicit rate de depunere pe substrat) este foarte ridicată, fiind
cu două ordine de mărime mai mare decât la pulverizarea catodica tip dioda.
b) încălzirea substratului este mult mai redusa decât la pulverizarea catodică tip dioda (și decât
la evaporarea termică), datorită reducerii bombardamentului cu electroni secundari a substratului prin
reţinerea acestora de către capcana magnetică și captarea celor "vernalizaţi" și scăpaţi din plasma de
către anodul suplimentar.
Coala
UTM 525.1 025 ME 29

Reducerea încălzirii substratului în pulverizarea magnetron, în anumite condiţii, face posibilă
utilizarea avantajoasă a sistemelor de pulverizare magnetron la acoperirea straturilor cu rezistenţă
termică scăzută (plastice, polimeri, sticle etc.).
Pentru a cunoaşte limitările ce asigură o încălcare a substratului este necesar o analiza asupra
resurselor termice de încălcare a substratului și a răspunsului termic al substraturilor în timpul
acoperirii.
Sursele termice principale de încălcare a substratului în pulverizarea catodica magnetron sunt:

1) energia de compensaţie a atomilor depuşi pe substrat,
2) energia cinetică a atomilor depuşi pe substrat,
3) radiaţia plasmei,
4) energia cedata la catod de către ionii neutralizaţi sau reflectaţi de aceasta,
5) energia electronilor scăpaţi din capcana magnetică și capturaţi de

anodul suplimentar.
2.3. Construcţia dispozitivului Nanotester PMT-3NI-02

Construcţia Nanotester PMT-3NI-02 este prezentată în (fig. 5). Principalele unităţi ale
construcţiei este șasiul dispozitivului 1 microdurimetrului PMT-3M cu videomicroscop optic 2,
șurubul mecanizmului deplasării verticale a capului 3, braţul fixării 4, capul universal de măsurare a
puterii 5, masă motorizată pentru poziţionarea precisă a probei 6 și controller electronic conectat la
computer.
Coala
UTM 525.1 025 ME 30

Fig. 2.2 Construcţia Nanodurimetrului PMT-3NI-02:
1 – platforma de bază, 2 – microscop, 3 – șurubul mecanizmului deplasării verticale a capului, 4 –
suportul, 5 – capul măsurării puterii, 6 – masă motorizată pentru poziţionare, 7 – coloana platformei
de bază, 8 – șurub de blocare, 9 – reglator brut de deplasare a microscopului, 10 – microșurub pentru
poziţionare a microscopului pe verticală, 11 – videocameră, 12 – reglatorul deplasării capului pe
coloană, 13, 14 – fixarea poziţiei capului, 15 – scală circulară, 16 – indentor, 17 – maner de
schimbare a poziţiei probei, 18 – arc deţinător, 19 – titular, 20 – conector pentru conectarea
controllerului.
Tubul microscopului optic 2 și capul măsurării puterii 5 se pot deplasa pe coloana verticală 7
fixată cu șurubul 8, mișcarea brută și precisă se poate de reglat cu șuruburile 9 și 10, concomitent. În
locul regulatorului ocular se poate de fixat camera web 11 de tipul Logitech QuickCam 9000 cu
funcţia de autofocus, îndeplinind video înregistrare în timp real și transmiterea imaginilor prin portul
USB direct în computer.
Suportul 4, pe care este prins capul măsurării puterii 5, poate să se deplaseze pe coloana
verticală cu ajutorul șurubului 12, și fixânduse în starea de lucru cu două șuruburi 13 și 14. Scala
circulară 15 permite măsurarea mărimii deplasării capului pe verticală cu o precizie de 10 µm.
Poziţia probei după indentor 16 și în câmpul vederii microscopului 2 se face prin rotirea
suportului mesei 17 dintrun capăt în altul. Pe masa poziţionată este un suport special 18 pentru
fixarea titularului 19 cu proba testată.
Capul măsurării puterii (fig. 2.3) conţine un nod de măsurare a deplasării cu iluminare laser și
fotodetector cu patru cadrane 2. Este instalat pe conul arcului plat 3 printr-o garnitură de izolare.
Coala
UTM 525.1 025 ME 31

Poziţia diodei laser poate fi reglată de șuruburile 4, înșurubat în carcasul laserului. Fotodetectorul
este montat rigid în circuitul imprimat. Amplificatorul convertor digital sensorului de deplasare este
montat pe circuitul imprimat 5b. Arcul plat 3 interacţionează cu șurubul de reglare în partea de sus a
plăţii 6 capului măsurării. Rotirea acestui șurub duce la o deplasare liberă la capătul arcului 3 și ca
urmare axa optică de măsurare în raport cu tija pe stocul mobil 7. Această reglare este necesară doar
în cazul primei asamblări sau la schimbarea laserului.
Celula de putere deţine următoarele componente principale: magnet inelar permanent 8, fixat
înăuntrul ecranului feromagnetic 9, bobina 10, fixată pe tija din invar, două arcuri plate 11 și 12
oferind posibilitatea deplasării tijei strict pe axa verticală și compesare greutăţii pieselor, corpusul 13,
în care este instalat suharul 14, permiţând la rotirea reglatorului 15 ușor să schimbe înălţimea
suspensiei tijei pe arcul plat 11, care permite reglarea poziţiei iniăţiale ale tijei în absenţa curentului
în bobine (este necesară doar în cazul primei asamblări sau la schimbarea unui element), indentorul
16 și fixarea poziţiei pe tijă cu piuliţa 17.
Fig. 2.3 Construcţia bazei capului măsurării puterii

Pe lângă componentele enumerate în cap este instalat un conector cu 15 pini pentru conexiunea
cablului la capul măsurării puterii cu controllerul electric de gestionare. În partea de sus a carcasei
capului este o gaură pentru instalarea măsuratorului deplasării (folosit pentru calibrare) cu un capac
ascuns. Capul este acoperit cu o carcasă protejat de interacţiunea câmpurilor electromagnetice
externe.
Principiul modulului construcţiei dispozitivului PMT-3NI-02 prevede posibilitate forţată a
instalării capului de măsurare a puterii, care are o construcţie similară și diferă doar prin marime mai
mare (elementele 8, 9 și 10) și plasticitate mare ale arcurilor suspensiei. Mărimea dimensiunii este
cauzată de numărul mare de spire în bobină 10, necesară pentru mărirea forţei de încărcare pe
indentor până la Pmax=10 N.
Coala
UTM 525.1 025 ME 32

2.4. Proiectarea şi funcţionarea dispozitivului Nanotester РМТ-ЗNI-02
Legătura principală Nanotester PMT-3NI-02 este platforma bazică microdurimetrului PMT-3M
cu microscop optic sistem de înregistrare video și foto în momentul respectiv, modulul universal de
măsurare forţată a celulei cu proprietăţile de măsurare a puterii laterale motorizat pe o masă cu două
coordonate poziţionate de un controller electronic, conectat la calculator (fig. 2.4).
Fig.2.4 Schema bloc dispozitivului Nanoteste PMT-3NI-02
Puterea celulei funcţionează pe schema magnetizată electric. Baza ei este integrată cu o tijă
verticală cu o bobină fixată de ea. Bobina cu un număr mare de spire este plasată într-un câmp
magnetic al unui magnet inelar permanent, care este ataşat la capul carcasei. Dirijarea puterii maxime
a încărcării este îndeplinită de programa exercitării curentului în bobină. La capătul tijei este fixat
indentorul substituibil (piramida de diamant Berkovich, Vikers sau Rokwell), pe partea opusă a tijei
este un traductor optic. Planul paralel de mișcare al tijei se datorează suspensiei pe arcul ondulat. În
dependenţă de forţa maximă elaborată de către unitatea de putere, coeficientul rigidităţii acestor arce
se poate schimba de la 200 N/m (pentru capul de bază) până la 1000 N/m (pentru cazul forţat).
Construcţia Nanotester PMT-3NI-02 este făcută după principiul modulului și trecerea de la
baza celulei de putere (Pmax=10 N) la o simplă înlocuire a capului pe platforma de bază a suportului.
Prin aceasta Nanotester PMT-3NI-02 determină automat măsurarea capului conectat. Posibilităţile
Coala
UTM 525.1 025 ME 33

largi a puterii celulei se datoreaza modificării cu PC, care prin convertor electric specific convertează
în controller și formează o tensiune de reglare, inclusiv și funcţii complexe în dependenţă de timp sau
adâncime. Aceasta permite realizarea diferitor regime de încărcare a indentorului. Convertorul optic
de măsurare a deplasării este format după schema diferenţială cu folosirea fotoconvertorului cu patru
secţiuni și dioda lazer în calitate de sursa radiaţiei. În amplificator sunt îndeplinite operaţiunile
formării fluxului luminiscent în tensiune, determinarea sumei și diferenţei pe toate canalele. Folosirea
schemei convertorului optic permite măsurarea în acelaș timp atât verticală cât și orizontală (cu o
precizie de ±1,5 nm) cu devierea tijei în procesul încărcării indentorului. Schematic tot ciclu de lucru
al dispozitivului cu o sarcină normală de încărcare este prezentat în (fig. 2.5). Din ea reese că lucrul
nanodurimetrului se începe cu căutarea automată a suprafeţei probei. După instalarea contactului cu
suprafaţa dispozitivul începe ciclu de încărcare cu parametrii setaţi de operator din timp. La atingerea
valorii Pmax, dispozitivul ţine indentorul în aceeaș poziţie la timpul fixat, apoi se începe ciclul
descărcării. După descărcarea totală amprentei, indentorul revine automat la poziţia iniţială.
Caracterul măsurării sarcinii P (sau tensiunea l în celulă) și deplasarea tijei cu indentorul (h) de la
timpul (t) și faza ciclului de lucru a capului în tot timpul testării prezentate în (fig. 2.6). Tot aici este
adus tabelul criteriilor de trecerii în programa dispozitivului cu căutarea automată a suprafeţei probei.
În dispozitivul PMT-3NI-02 este prevăzută posibilitatea de repetarea a ciclurilor de încărcare și
descărcare a indentorului atât permanent cât și comutativ cu un efort de la un ciclu la altul.
În procesul indentării continue pe suprafaţa materialului cercetat mărimea sarcinii pe indentor
P(t) și deplasarea tijei h(t) cu discreţia ∆t înregistrate și scrise în memoria calculatorului prin
controllerul electronic. Dependenţa cinetică P(t) şi h(t) (fig. 2.7a) în continuare este aranjat în
diagrama de încărcare (P-h diagrama) (fig. 2.7b), analiza care corespunde cu metodica permite
determinarea gamei complete a proprietăţilor mecanice materialului. După prelucrarea specială din
(P-h) diagrama poate fi restabilită prin microscopia analogică tradiţională diagramelor macroscopice
”tensiunea-deformării”.
Coala
UTM 525.1 025 ME 34

Fig. 2.5 Funcţiile de bază funcţionării dispozitivului
Măsurarea prin testarea mișcării indentorului nu este egală cu adîncimea amprentei formate,
având în vedere caracterul complex deformării materialului și caracteristicile specifice ale metodei de
măsurare. Elasticitate restabilirii amprentei după descărcare, elasticitatea deformării suprafeţei totale
a probei pe perimetrul amprentei, elimenarea materialului din volumul amprentei pe perimetrul său
sau invers, care se încadrează în volumul amprentei, neomogenă și diferită după mărimea rugozităţii
suprafeţei probei, prezenţa tensiunilor reziduale în straturile suprafeţei este baza fizică necesară
pentru corectarea rezultatelor măsurării în nanoindentare.
În plus, cantitatea mică de deplasări măsurate necesită o analiză atentă condiţiilor testării și
parametrii folosiţi la instrumentul de măsurări.
Procesul măsurării de obicei se începe cu căutarea suprafeţei probei. La etapa finală indentorul se
atinge neapărat de suprafaţă și lasă pe ea amprenta iniţială, de la care se începe efectiv determinarea
adâncimii.
Puterea aplicată pe indentor din partea celulei de încărcare și înregistrarea canalului
corespunzător nu este egală cu puterea exactă întroducerii în material. Ele diferă valoarea puterii
rezistenţei arcurilor suspensiei elastice în timpul mișcării tijei ∆P s=ks x ∆h. Această diferenţă la fel
trebuie de luată în considerare la calcule exacte.
Puterea ramei dispozitivulu nu este perfect rigidă, și deaceea la încărcarea probei o oarecare
deformaţie elastică o provoacă și diferite elemente din construcţia sa, care face contribuţie
adăugatoare la măsurarea mișcării indentorului. Ţinând cont de elasticitatea și flexibilitatea
dispozitivului se prevede o calibrare specială, realizată odată cu construirea dispozitivului.
Imperfecţiune geometrică vârfului indentorului necesită deasemenea o corectare a procesului
calculării suprafeţei contactului, necesară pentru testarea durităţii.
Coala
UTM 525.1 025 ME 35

Fig. 2.6 Caracteristica măsurării sarcinii P și deplasarea tijei cu indentorul h de la timpul t și
etapa ciclului de lucru a capului, precum și criteriile comutării controlului în programa dispozitivului
la căutaarea automată a suprafeţei probei
Pe rezultatul măsurării se suprapune o derivă care poate fi cauzată ca deformarea fluajului

material și instabilitate termică în nodurile electrice și mecanice ale dispozitivului. Pentru
întroducerea modificării testelor fluajului pe termen lung, este necesar să se prevadă posibilitatea de
expunere prelungită a indentorului la o valoare constantă a sarcinii Pmax, dar pentru înregistrarea
Coala
UTM 525.1 025 ME 36

driftului termic – timp extract Pmin. În practică nanoindentarea corectării derivei te obicei se
îndeplinește atunci când timpul testării depășește t=100 s.
În acest dispozitiv înainte de prelucrarea datelor experimentale se realizează corectarea
automată a lor:
 deformarea elastică a suprafeţei probei,
 valoarea amprentei iniţiale,
 rigiditatea arcurilor suspensiei și ramei de putere,
 la abaterea formei indentorului de la ideală.
La construcţia dispozitivului sunt prevăzute și alte circumstanţe, influenţând fiabilitatea

rezultatelor primite și preciziei măsurării. Așadar pentru găsirea corectă a momentului primei atingeri
indentorului cu suprafaţa probei cercetate, este necesar consecutiv de micșorat influenţa vibraţiilor
mecanice până la nivelul 10 nm. Pentru a asigura protecţiei PMT-3NI-02 de la vibraţiile mecanice
este necesar săl instalăm pe o masă protejată de vibraţii.
a) b) c)
Fig. 2.7 Trei metode pentru prezentarea datelor, primite prin metoda nanoindentării: a) sub
forma curbelor cinetice P(t) și h(t), b) sub forma diagramei P-h (puterea - deformării), c) sub forma
dependenţei durităţii după Meyer H (tensiunea medie a contactului <δc>) de la adâncimea amprentei.
1 – fără tocirea vârfului indentorului, 2 – cu scopul tocirii sferice cu raza R. Literele în cercuri indică
caracteristica punctelor pe curba de încărcare și poziţia indetorului în raport cu suprafaţa probei.
Indicii P și h înseamnă: up – creșterea, cr – fluajul, down – căderea, e – elasticitatea, e-v –
viscoelasticitatea, max – valoarea maximă. We – energia recuperării elastice, Wpl – energia, absorbită
și dispersată a probei într-un ciclu de încărcare-descărcare.
Coala
UTM 525.1 025 ME 37

Microscopul optic al dispozitivului, sinhronizând poziţionar cu indentorul celula puterii
măsurate, se folosește nu doar pentru urmărirea amprentelor după descărcarea finită, dar și pentru
căutarea locului de injectare, fără nașterea diferitor defecte pe suprafaţă. Pentru comoditatea urmării
suprafeţei testate, nanodurimetrul digital este echipat cu sistemul videoînregistrării fotografiilor în
timpul real pe baza camerei de 2 mpx Logitech QuickCam 9000 cu funcţia de autofocus și sistemei
cu lentile din sticlă, instalată pe tubul microscopului în locul regulatorului ocular, transmiţând
informaţia direct în computer. Sistema autofocus al camerei permite focalizarea automată a
imaginilor la o distanţă de 10 cm de la obiectiv. Pentru reglarea manuală a focalizării este necesar de
comutat în regimul reglării manuale din setările autofocusului în rubrica Settings.
În procesul de lucru cu PMT-3NI-02 pe ecranul monitorului este indicată interfaţa de lucru a
programei gestionând ciclurile de lucru ale dispozitivului și fotografia din videomicroscop.
Coala
UTM 525.1 025 ME 38

3. PARTEA EXPERIMENTALĂ
3.1. Tratamentului fotonic rapid

Procesul tratamentului fotonic rapid, permite dirijarea nu numai a morfologiei şi structurii
suprafeţei, dar şi a proprietăţilor fizico-chimice ale volumului materialului. Pentru peliculele de Al,
Au dar şi alte materiale ce se utilizează prin tratamentul fotonic rapid.
Tratamentul fotonic rapid pentru proba Al/Si cu grosimea peliculei de 1 µm, timp de 1.8
secunde (fig. 3.1).
Fig.3.1 Tratamentul fotonic rapid pentru proba Al/Si t=1.8 secunde 450 – unităţi
Temperatura plachetei la efectuarea tratamentului fotonic cu impulsuri în cazul probei Al/Si
timp de 1.8 secunde se observă (fig. 3.1) o creștere de până la 130 0C.
Tratamentul fotonic rapid pentru pelicula de Al depusă pe supstrat de Si cu grosimea peliculei
de 1 µm, în timp de 2.4 secunde (fig. 3.2).
Fig.3.2 Tratamentul fotonic rapid pentru proba Al/Si t=2.4 secunde 600 – unităţi
În cazul tratamentului fotonic probei Al/Si timp de 2.4 secunde (fig. 3.2) temperatura de
încălzire ajunge până la 161 0C.
Tratamentul fotonic rapid pentru pelicula de Au depusă pe supstrat de Si cu grosimea peliculei
de 300 nm, timp de 4 secunde (fig. 3.3).
Coala
UTM 525.1 025 ME 39

Fig.3.3 Tratamentul fotonic rapid pentru proba Au/Si t=4 secunde 1000 – unităţi
Temperatura plachetei la efectuarea tratamentului fotonic cu impulsuri în cazul probei Au/Si
timp de 4 secunde se observă (fig. 3.3) o creștere de până la 220 0C.
3.2. Cercetarea microdurităţii.

Cercetarea microdurităţii sa efectuat cu Nanotester PMT-3NI-02, dispozitivul este conectat la
calculator și datele măsurate sunt calculate automat. Indentarea sa efectuat cu indentorul Berkovich.
Indentorul Berkovich este format dintr-o piramidă cu trei feţe. Parametrii setaţi în proprietăţile
programului pentru testarea microdurităţii sunt prezentaţi în figura 3.4.
Fig. 3.4 Constantele dispozitivului
Procesul măsurării de obicei se începe cu căutarea devierilor faţă de suprafaţa probei și setarea
lor în dependenţă de starea actuală al dispozitivului. Aceasta se determină cu deviaţia standartă (St.
dev.) (fig. 3.5), contactul știinţific (Cs) (fig. 3.6) și deplasarea punctului (fig. 3.7). La etapa finală
indentorul se atinge neapărat de suprafaţă și lasă pe ea amprenta iniţială. Din cauza aceasta la fiecare
calibrare deplasăm proba pe axa X sau Y orizontal sau vertical.
Coala
UTM 525.1 025 ME 40

Fig. 3.5 Deviaţiile standarte
Fig. 3.6 Contactul știinţific
Coala
UTM 525.1 025 ME 41

Fig. 3.7 Deplasarea punctului
După ce am găsit deviaţia începem măsurarea durităţii. Efectuarea măsurării se face prin patru
etape:
1) starea iniţială,
2) apropierea de probă,
3) căutarea suprafeţei,
4) străpungerea.
La etapa finală indentorul se atinge neapărat de suprafaţă și lasă pe ea amprenta iniţială, de la
care se începe efectiv determinarea durităţii în lucrarea dată am cercetat microduritatea cu puterea de
5 mN și 900 mN.
Testarea durităţii se efectuiază după principiul (fig. 3.8), setăm puterea la care dorim să
efectuăm, timpul de încărcare a indentorului (t1), timpul de străpungere a indentorului (t2) și timpul de
descărcare a indentorului (t3). În cazul nostru am folosit t1=20 sec., t2=5 sec., și t3=20 sec. Efectuând o
testare deplasăm proba din locul potrivit cu 100 µm pe axa X sau Y în dependenţă de probă, unde am
verificat să nu fie impurităţi sau defecte. Din cauza impurităţilor sau defectelor se obţin eroari la
rezultatele obţinute.
Am efectuat testarea microdurităţii pentru următoarele probe:
 Al/Si starea iniţială,
 Al/Si tratament termic în sobă 520 0C 20 minute,
 Al/Si tratament fotonic cu impulsuri 1.8 secunde,
 Al/Si tratament fotonic cu impulsuri de 2.4 secunde,
Coala
UTM 525.1 025 ME 42

 Au/Si starea iniţială,
 Au/Si tratament termic în sobă 575 0C 30 minute,
 Au/Si tratament fotonic cu impulsuri 4 secunde.
Grosimea peliculei de Al este de 1 µm și grosimea peliculei de Au este de 300 nm. Pentru
fiecare probă sau efectuat câte cinci măsurări pentru puterea de 5 mN și 900 mN, rezultatele obţinute
sau întrodus în tabelele (3.1 – 3.14).
Fig. 3.8 Interfaţa de lucru cu computerul pentru testarea microdurităţii
Coala
UTM 525.1 025 ME 43

3.3. Cercetarea microdurităţii pelicolelor de Al/Si.
Tabelul 3.1 Proba Al/Si starea iniţială, puterea 900 mN
P, mN H, Gpa E, Gpa hp, µm
7,82 151 2,1
7,6 143 2,14
900 7 143 2,23
7,63 132 2,29
7,02 151 2,22
media 7,414 144 2,196
Tabelul 3.2 Proba Al/Si starea iniţială, puterea 5 mN

1,04 200 0,377
0,949 123 0,4
5 0,938 176 0,401
0,895 105 0,412
1 82,5 0,387
media 0,9644 137,3 0,3954
Fig. 3.9 Dependenţa puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 900 mN,
proba iniţială
Coala
UTM 525.1 025 ME 44

Fig. 3.10 Dependenţa puterii indentorului de adâncimea de indentare, puterea 5 mN proba
iniţială
Tabelul 3.3 Proba Al/Si tratament termic în soba 520 0C 20 minute, puterea 900 mN
7,36 128 2,17
7,04 125 2,22
900 7,02 130,60 2,22
6,77 128 2,27
7,14 144 2,21
media 7,066 131,12 2,218
Tabelul 3.4 Proba Al/Si tratament termic în soba 520 0C 20 minute, puterea 5 mN
0.823 45 0,432
0.911 70,2 0,408
5 0.877 109 0,416
0.834 123 0,429
0.852 250 0,425
media 0,8594 119,44 0,422
Coala
UTM 525.1 025 ME 45

proba Al/Si tratament termic în sobă 520 0C 20 minute
Fig. 3.12 Dependenţa puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 5 mN, proba
Al/Si tratament termic în sobă 520 0C 20 minute
Coala
UTM 525.1 025 ME 46

Tabelul 3.5 Proba Al/Si tratatment fotonic 1.8 secunde, puterea 900 mN
7,39 178 2,17
6,29 156 2,35
900 7,05 163 2,22
6,28 147 2,35
6,25 135 2,36
media 6,652 155,8 2,29
Tabelul 3.6 Proba Al/Si tratatment fotonic 1.8 secunde puterea 5 mN

0,897 234 0,41
0,97 243 0,394
5 0,951 133 0,397
1,21 162 0,347
1,23 156 0,344
media 1,0516 185,6 0,3784
proba Al/Si tratament fotonic 1.8 secunde
Coala
UTM 525.1 025 ME 47

Al/Si tratament fotonic 1.8 secunde
7,31 118 2,18
6,72 151 2,27
900 7,66 148 2,13
6,66 156 2,28
7,26 162 2,19
media 7,122 147 2,21

0,921 96,1 0,406
0,87 222 0,418
5 1,04 99,5 0,378
0,938 102 0,401
0,942 165 0,4
media 0,9422 136,92 0,4006
Coala
UTM 525.1 025 ME 48

proba Al/Si tratament fotonic 2.4 secunde
Al/Si tratament fotonic 2.4 secunde
Coala
UTM 525.1 025 ME 49

3.4. Cercetarea microdurităţii pelicolelor de Au/Si
Tabelul 3.9 Proba Au/Si starea iniţială, puterea 900 mN
9,93 123 1,86
10,1 143 1,84
900 9,53 140 1,9
9,75 129 1,88
9,76 130 1,99
media 9,814 133 1,894
Tabelul 3.10 Proba Au/Si starea iniţială, puterea 5 mN

9,58 199 0,089
10,5 167 0,0828
5 9,67 228 0,0886
10,6 182 0,082
10,9 177 0,0796
media 10,25 190,6 0,0844
proba Au/Si starea iniţială
Coala
UTM 525.1 025 ME 50

Au/Si starea iniţială
Tabelul 3.11 Proba Au/Si tratament termic în sobă 475 0C 30 minute, puterea 900 mN
9,03 147 1,96
9,36 137 1,92
900 10,1 121 1,85
9,6 139 1,89
9,55 116 1,9
media 9,528 132 1,904
Tabelul 3.12 Proba Au/Si tratament termic în sobă 475 0C 30 minute, puterea 5 mN
12,5 166 0,0711
9,91 176 0,0865
5 11,2 167 0,078
12,7 185 0,0702
10,7 236 0,0809
media 11,402 186 0,07734
Coala
UTM 525.1 025 ME 51

proba Au/Si tratament termic în sobă 475 0C 30 minute
Au/Si tratament termic în sobă 475 0C 30 minute
Coala
UTM 525.1 025 ME 52

Tabelul 3.13 Proba Au/Si tratatment fotonic 4 secunde, puterea 900 mN
9,29 121 1,93
8,13 124 2,06
900 8,41 145 2,03
9,89 143 1,87
9,55 131 1,9
media 9,054 132,8 1,958
Tabelul 3.14 Proba Au/Si tratatment fotonic 4 secunde, puterea 5 mN

12,4 127 0,0714
10,5 123 0,0827
5 11,5 160 0,0768
11,1 175 0,0789
9,83 234 0,0871
media 11,066 163,8 0,07938
proba Au/Si tratament fotonic 4 secunde
Coala
UTM 525.1 025 ME 53

Au/Si tratament fotonic 4 secunde
Fig. 3.23 Amprentele obţinute în urma indentării:

a) pelicula de Al/Si starea iniţială, puterea 900 mN,
b) pelicula Au/Si în urma tratamentului fotonic timp de 1.8 secunde, puterea 900 mN.
Coala
UTM 525.1 025 ME 54

3.5. Analiza rezultatelor
Rezultatele obţinute, în cazul cercetării microdurităţii pentru pelicula de Al se observă cea mai
înaltă microduritate pentru proba cu tratatament fotonic timp de 1.8 secunde, puterea indentării 5 mN,
am obţinut duritate de 1,0516 Gpa, modulul lui Young 185,6 Gpa (fig. 3.24) și cea mai mică
adâncime de indentare 0,3784 µm (fig. 3.25).
Fig. 3.24 Dependenţa microdurităţii faţă de modulul lui Young pentru probele Al/Si, puterea 5 mN
Coala
UTM 525.1 025 ME 55

Fig. 3.25 Dependenţa durităţii faţă de adâncimea de indentare pentru probele Al/Si, puterea 5mN
Pentru puterea de 900 mN cea mai înaltă duritate este obţinută pentru starea iniţială a peliculei
cercetate 7,414 Gpa și adâncime cea mai mică 2,196 µm ( fig. 3.26). Modulul lui Young pentru
puterea 900 mN este mai elastic pentru proba cu tratament fotonic timp de 1.8 secunde (fig. 3.27).
Fig. 3.26 Dependenţa durităţii faţă de adâncimea de indentare pentru probele Al/Si, puterea 900 mN
Fig. 3.27 Modulul lui Young faţă de probele Al/Si
Coala
UTM 525.1 025 ME 56

În urma măsurării microdurităţii peliculei Au/Si tratament termic în sobă 575 0C 30 minute la
aplicarea puterii de 5 mN microduritatea cea mai înaltă este 11,066 Gpa cu cea mai mică adâncime
de indentare 0,07938 în comparaţie cu celelalte probe (fig. 3.28). Modulul lui Young pentru puterea 5
mN este mai elastic pentru proba iniţială (fig. 3.29).
Fig. 3.28 Dependenţa durităţii faţă de adâncimea de indentare pentru probele Au/Si
Fig. 3.29 Modulul lui Young faţă de probele Au/Si
Coala
UTM 525.1 025 ME 57

Pentru puterea de 900 mN cea mai înaltă duritate sa obţinut pentru starea iniţială a peliculei
cercetate 9,814 Gpa și adâncime cea mai mică 1,894 µm (3.30). Modulul lui Young pentru puterea
900 mN este mai elastic pentru proba cu tratament fotonic timp de 1.8 secunde (fig. 3.31).
Fig. 3.30 Dependenţa durităţii faţă de adâncimea de indentare pentru probele Au/Si
Fig. 3.31 Modulul lui Young faţă de probele Au/Si
Coala
UTM 525.1 025 ME 58

4. ANALIZA ECONOMICĂ
4.1. Descrierea generalizată a proiectului
Lucrarea dată are drept scop cercetarea microdurităţii pelicolelor de Al și Au depuse pe substrat
de Si. Al și Au sunt materiale semiconductorare cu mare potenţial pentru aplicaţii în domeniul
microelectronicii, contactelor omice, MEMS ş.a.
Astăzi, la fel ca pe parcursul secolelor precedente, rămâne a fi destul de actuală obţinerea
materialelor cu proprietăţi specifice anumitor condiţii (presiuni înalte şi joase, intervale largi de
temperatură, medii agresive). Soluţionarea acestei sarcini, privind atribuirea unor caracteristici
propuse materialelor din start, poate fi reuşită doar prin dezvoltarea fundamentală a durabilităţii.
Din acest punct de vedere durabilitatea descrie şi analizează condiţiile şi criteriile de existenţă
a corpului solid, modificarea parametrilor mecanici ale materialelor, cum sunt:
nano, micro şi macroduritatea, rezistenţa la fisurare, etc., şi reacţiile acestora la acţiunea diverşilor
factori în toată multitudinea lor de manifestare.
Pentru a descoperi natura durităţii este necesar de a evidenţia care sunt factorii determinativi
pentru compuşii studiaţi şi care influenţe sunt mai puţin importante. Sub acest aspect devine oportună
descrierea particularităţilor stării tensionate sub influenţa sarcinii concentrate, a modificărilor
acestora în dependenţă de tipul reţelei cristaline a corpului deformat, influenţa factorilor cum sunt:
sarcina aplicată, temperatura, factorii superficiali, coroziunea, durata de solicitare, uzura mecanică,
etc.
Studierea microdurităţii pelicolelo de Al și Au este necesară nu doar pentru lărgirea domeniului
de cunoaştere despre acestea, dar şi pentru atribuirea materialelor noilor proprietăţi, elucidarea
modificărilor ce au loc în timpul proceselor de prelucrare tehnologică şi exploatare.
Trebuie de notat că, influenţa deteriorărilor acumulate în procesul de exploatare se reflectă asupra
caracteristicilor mecanici ale materialului în deosebi la etapa predistructivă. De aceea este dificil de
apreciat rezerva remanentă a produsului în baza analizei lor. În acelaşi timp deteriorarea (în cel mai
larg sens) se răsfrânge mult mai puternic asupra schimbărilor pentru un şir întreg de proprietăţi ale
materialului, ceea ce permite aprecierea complexă a stării materialului prin metode tehnice de
diagnosticare.
4.2. Analiza SWOT

Un pas important în analiza lucrării cercetate este stabilirea calităţii dispozitivului final şi a
peliculei în parte : defectele, oportunităţile de piaţă şi amenintari, printr-o analiză SWOT. Acesta este
un proces foarte simplu care poate oferi înţelegere foarte profundă a problemelor potenţiale şi critice
care pot afecta o afacere ce se va baza pe producerea tipului de produse cercetate în lucrare.
Coala
UTM 525.1 025 ME 59

Tabelul 4.1 Enumerarea punctelor analizei SWOT
Puncte Forţe Puncte Slabe
1.Duritate mare; 1.Cost mare la materia primă;
2.Noi domenii de cercetare şi implimentare; 2.Condiţii minuţioase la controlul creşterii
3.Stabilitate chimică şi termică înaltă la peliculei.
factorii de mediu;
4.Randament şi eficienţă în lucru mai bune ;
5. Rezistent la condiţii cosmice.
Oportunităţi Riscuri (Pericole)
1. Performarea lucrului în dependenţă de 1.Cheltuieli mari la fabricare;
domeniul utilizat; 2.La tratări termice are loc schimbarea fazei
2. Performarea dispozitivelor în domeniul structurii cristaline;
nano; 3.Intoxicare în timpul cercetării;
3.Poate fi obţinut uşor datorită multitudinii de 4. La fotocataliză, dopat cu Al şi silicaţi,
metode; formează radicali cu proprietăţi cancerogene;
4.Dezvoltarea circuitelor integrate; 5. Mediu de producţie nociv.
5. Tehnică de viitor.
4.3. Compartimentul organizaţional-economic

Acest capitol constă în determinarea componenţei grupei de executanţi şi divizarea lor pe
lucrări. Grupul se formează luînd în consideraţie următorii factori: termenii de îndeplinire a
lucrărilor, resursele financiare alocate, complexitatea lucrărilor, experienţa şi nivelul profesional al
executanţilor, pentru a fi în stare să îndeplinească toate lucrările la proiectarea şi realizarea cercetării.
Tabelul 4.2 Componenţa grupului de lucru

Salariu lunar Zile de Salariu total
Funcţia exercitată Cod Pe zi (lei)
(lei) muncă (lei)
Conducător de proiect (de
1800 A 100 20 2000
diplomă)
Inginer cat. I 1050 B 70 50 3500
Consultant la parte
1500 C 30 lei/oră 3 ore 90
economică
Diplomantul ___ D ___ 82 ___
Total 5590
Coala
UTM 525.1 025 ME 60

În tabelul de mai jos sunt indicate toate lucrările, toţi executanţii, care vor îndeplini lucrarea
dată, durata îndeplinirii lucrării şi ocupaţia fiecărui executant cu lucrarea dată, luând în consideraţie
că ziua de lucru durează 8 ore.
Tabelul 4.3 Întocmirea planunlui calendaristic

Durata Termenul de
Denumirea etapelor de realizare a lucrului Executanţii realizare
proiectului în anul curent (zile) (ore)
1. Formularea şi acceptarea sarcinii tehnice 1 A,D 8
2. Elaborarea planului de lucru 2 A,D 12
3. Introducerea schimbărilor în planul de 1 A 6
lucru
4. Căutarea şi studierea literaturii pentru 30 D 150
realizarea cercetărilor
5. Alegerea condiţiilor experimentelor 5 A,B,D 20
6. Instalarea şi ajustarea aparatajului pentru 2 B,D 6
experimente
7. Efectuarea experimentelor 25 B,D 125
8. Efectuarea măsurărilor 5 B,D 40
9. Analiza datelor obţinute 3 A,B,D 10
10. Compararea datelor obţinute cu cele 2 A,D 16
similare din literatură
11. Organizarea şi planificarea 3 C,D 15
proiectului
12. Explicarea efectelor în formă de 3 A,B,D 9
demonstrări şi concluzii
13. Verificarea şi corectarea documentaţiei 2 A 10
tehnice
14. Concluzii finale 2 D 16
Grupul de lucrători se formează luând în consideraţie următorii factori: termenii de îndeplinire

a lucrărilor, resursele financiare alocate, complexitatea temei, experienţa şi nivelul profesionist a
executanţilor, pentru a fi în stare să îndeplinească toate lucrările pentru proiectarea.
Defalcările în fondul social constituie 23%+3.5%=26.5 la salariu.
Tabelul 4.4 Defalcările în fondul social (26.5%)

Funcţia Suma defalcărilor (lei)
Coala
UTM 525.1 025 ME 61

Conducător de proiect (de diplomă) 700*(0.265) = 185,5
Inginer cat. I 1680*(0.265) = 445,2
Consultant la parte economică 90*(0.265) = 23,85
Total 654,55
4.4. Argumentarea economică

Cheltuieli materiale şi nemateriale. Calculul cheltuielilor materiale este o fază importantă în
procesul proiectării, fiindcă practic această valoare a cheltuielilor şi determină costul produsului finit.
Valoarea aceasta este puţin mai mare la cercetările ştiinţifice, deoarece elaborarea tehnologiei cere
finanţare, dar odată ce este optimizat procesul tehnologic, la producţia în masă toate aceste cheltuieli
suplimentare într-un scurt timp se compensează.
 Cheltueli directe
Pentru calculul cheltuielilor de energie electrică vom lua în consideraţie timpul de utilizare a
utilajului, ţinând cont că ziua de muncă are durata de 8 ore. Tariful energiei electrice pentru
1kw*h= 1,60 lei.
Tabelul 4.5 Puterea de consum a utilajului utilzat

Timpul de
Puterea consumată Total
funcţionare
Denumirea instalaţiei Kw (lei)
(ore)
PMT-NI-02 0,5 30 24
IFO 0,6 20 19,2
ВУП-5 1.9 60 182,4
Calculator P- IV 0,3 300 144

SEM (scaning electron microscopy) 0,8 15 19,2
Total: 388,8
Pentru calculul energiei consumate utilizăm formula:

Wunit = Pcons * tfuncţ (4.1)
unde:
Pcons – este puterea de consum a unităţii timp de o oră;
Coala
UTM 525.1 025 ME 62

tfuncţ – este timpul de funcţionare a unităţii.
Consumul energiei electrice pentru dispozitivele ce sau folosit la elaborarea proiectului se
calculează pentru fiecare dispozitiv în parte. De exemplu energia electrică consumată de calculator va
fi egală cu produsul dintre puterea consumată pe oră şi numărul total de ore la care sa lucrat la acest
calculator. Astfel se calculează consumul energiei pentru fiecare echipament ce consumă energie
electrică. După ce sa calculat consumul pentru fiecare dispozitiv se face suma lor apoi se calculează
cheltuielile pentru energie electrică înmulţind suma dată la tariful pentru energie electrica, care la
moment este 1,6 lei.
 Cheltuieli indirecte.
Tabelul 4.6 Calcularea uzurii

Denumirea instalaţiei Cantita Preţul iniţial Timpul de Norma de Suma uzură
tea pentru o funcţionare, uzură (lei)
unităţii unitate, lei zile anuală (%)
PMT-NI-02 1 600000 5 25 2840
IFO 1 60000 6 20 272
ВУП-5 1 100000 12 20 909
Calculator P- IV 1 10000 45 30 511
Total: 4532 lei
În timpul elaborării proiectului au fost implicate mijloace tehnice din tabele de sus, care
necesită calculul uzurii. Amortizarea se calculează conform formulei de uzură directă:
Ci  N a  Tu (4.2)
A
100 %  264
unde :
Ci – costul utilajului;
Na – norma de uzură;
Tu – timpul de utilizare.
Tabelul 4.7 Calculul cheltuielilor materiale

Denumirea materialului Unitatea de Cantitatea Preţ de piaţă a Suma, lei
măsură unităţii, lei
Apă distilată litru 1l 30 30
Seringă bucată 1 2 2
Mănuşi chimic stabile bucată 10 10 100
Vată bucată 1 7 7
Coala
UTM 525.1 025 ME 63

Plachete de Si, Ø4 cm bucată 6 15 90
Aur g 5g 700 3500
Aluminiu kg 5g 15 0,075
Total cheltuieli materiale 3729,075
Tabelul 4.8 Cheltuieli pentru regie

Suma consumurilor
Unităţi de
Denumirea Cantitatea Pe o În total
măsură.
unitate (lei)
Internet luna 2 luni 150 300
200ore (puterea
Iluminat Kw/h cosumată 1.60 128
0.4kw/h)
3
Apă m 15 9.19 137,85
Energie electrică Kw/h 120 1.60 192
Transport rute 53ori 3 159
Telefon min 150 0,65 97,5
Total 1014,35
Tabelul 4.9 Cheltuieli totale la realizarea proiectului

Articolele de cheltuieli Suma (lei)
Cheltuieli pentru regie 1014,35
Salariul total 5590
Defalcările în fondul social 654,55
Uzura utilajului folosit 4532
Energia electrică utilizată 580,8
Cheltuieli materiale 3729,075
Total costul proiectului 16100,775
4.5. Generalizarea cheltuielilor
Preţul brut al cercetării va fi suma preţului de cost.

Preţ brut = Preţ de cost + Profit planificat; (4.3)
Profitul planificat reprezintă de obicei 20% din suma totală care sau cheltuit la realizarea
proiectului de aici rezultă ca Profitul planificat = 16100,775* 0,2 = 3220,155 lei. Preţul brut al
cercetării va fi:
Preţ brut = 16100,775 + 3220,155 =19320,93 lei; (4.4)
Preţul de realizare a produsului va fi egal cu suma dintre preţului brut şi TVA-ul stabilit de
lege, de obicei TVA-ul reprezintă 20% din preţul brut.
Preţ de realizare = Preţ brut + TVA. (4.5)
Coala
UTM 525.1 025 ME 64

Preţ de realizare = 19320,93 + 3864,186 = 23185,116 lei. (4.6)
4.6. Managementul resurselor umane
Managementul resurselor umane constituie complexul de activităţi orientate către utilizarea

eficientă a personalului unei organizaţii, urmărindu-se atât realizarea obiectivelor acesteia cât şi
satisfacerea nevoilor angajaţilor.
Resursele umane constituie elementul creator, activ si coordonator al activităţii din cadrul
organizaţiilor, ele influenţând decisiv eficacitatea utilizării resurselor materiale, financiare şi
informaţionale.
Accentuarea rolului resurselor umane nu semnifică o subevaluare a celorlalte resurse.
Conceperea sistemică a firmei implică abordarea interdependentă a resurselor, pornind de la
obiectivele fundamentale la a căror realizare concură împreună, de la conexiunile de esenţă ce există
între ele. Supralicitarea resurselor umane în detrimentul celorlalte afectează echilibrul dinamic al
organizaţiei.
Numai prin satisfacerea nevoilor angajatului se va putea obţine implicarea acestuia în realizarea
obiectivelor organizaţiei şi numai contribuind la succesul organizaţiei angajaţii vor putea să-şi
satisfacă nevoile legate de munca pe care o desfăşoară. Numai atunci când cei implicaţi înţeleg
această relaţie managementul resurselor umane ocupă o poziţie importantă în cadrul organizaţiei şi
poate contribui la succesului acesteia.
Principiile esenţiale ale managementului resurselor umane sunt:
 Aprecierea factorului uman ca o resursă vitală;
 Corelarea, într-o manieră integrată, a politicilor şi sistemelor privind resursele umane cu
misiunea şi strategia organizaţiei;
 Preocuparea susţinută de concentrare şi direcţionare a capacităţilor şi eforturilor individuale în
vederea realizării eficiente a misiunii şi obiectivelor stabilite;
 Dezvoltarea unei culturi organizaţionale sănătoase.
Obiectivele urmărite de managementul resurselor umane constau în:
 Creşterea eficienţei şi eficacităţii personalului (sporirea productivităţii);
 Reducerea absenteismului, fluctuaţiei şi a amplorii şi numărului mişcărilor greviste;
 Creşterea satisfacţiei în muncă a angajaţilor;
 Creşterea capacităţii de inovare, rezolvare a problemelor şi schimbare a organizaţiei.
Coala
UTM 525.1 025 ME 65

Managementul resurselor umane este un proces care constă în exercitarea a patru funcţii:
asigurarea, dezvoltarea, motivarea şi menţinerea resurselor umane. Funcţia de asigurare a resurselor
umane cuprinde următoarele activităţi:
1) Planificarea resurselor umane are drept scop determinarea nevoilor, strategiilor si filozofiilor
privind resursele umane ale organizaţiei, inclusiv estimarea cererii si ofertei pe piaţa muncii.
Întrebarea cheie pentru această activitate este: De câţi oameni şi cu ce caracteristici avem nevoie, atât
în prezent cât şi în viitor?
2) Recrutarea şi selecţia sunt activităţi complementare în procesul angajării de personal.
 Recrutarea - se referă la procesul confirmării nevoii de a angaja personal nou, localizării si
atragerii celor interesaţi în a candida pentru posturile oferite;
 Selecţia - este stadiul final al luării deciziei în procesul de recrutare, ea reprezentând
ansamblul proceselor prin care se aleg persoanele ce întrunesc calităţile, cunoştinţele, deprinderile şi
aptitudinile necesare realizării obiectivelor, sarcinilor, competenţelor şi responsabilităţilor
circumscrise anumitor posturi.
3) Integrarea angajatilor are drept scop facilitarea integrarii mai rapide in organizatie. Includem
aici si incadrarea personalului care consta in ansamblul proceselor de atribuire efectiva a posturilor
persoanelor selectionate, inclusiv intocmirea tuturor formalitatilor necesare. Pentru personalul
managerial se pot organiza şedinţe de instruire speciale, turul firmei cu prezentarea noului angajat
persoanelor cheie din cadrul organizaţiei, dezbateri etc.
Funcţia de dezvoltare a resurselor umane cuprinde următoarele activităţi:
1) Formarea şi perfecţionarea angajaţilor are drept scop identificarea, aprecierea, şi prin
instruire planificată facilitarea dezvoltării competentelor cheie care permit indivizilor să performeze
sarcini aferente unor posturi prezente sau viitoare. După ce un angajat a fost numit pe un post, sunt
folosite câteva tipuri de instruire prin care i se permite să îşi actualizeze abilităţile. Pentru unii,
accentul cade pe instruirea tehnică (persoana este ajutată să îşi îmbunătăţească abilităţile de folosire a
echipamentelor sau programelor tehnice). Pentru alţii, instruirea implică abilităţi interpersonale
(abilitatea de a munci cu alţii) sau cognitive (abilitatea de a gândi clar, de a planifica sau de a rezolva
probleme). Alte programe sunt numite uneori programe de instruire, deşi sunt de fapt programe
educative, al căror scop este extinderea viziunii unei persoane sau înţelegerea aspectelor şi
problemelor care sunt adesea esenţiale pentru dezvoltarea oamenilor în domeniul managerial sau în
anumite poziţii din cadrul companiei.
Obiectivele formării şi perfecţionării angajaţilor sunt:
 ajutarea acestora în atingerea unui maxim de performanţă în realizarea muncii lor;
 pregătirea lor pentru evoluţia viitoare a locurilor de muncă.
Coala
UTM 525.1 025 ME 66

2) Administrarea carierelor are drept scop asigurarea corespondentei pe termen lung între
nevoile de evoluţie în carieră ale angajaţilor şi posturile şi parcursurile de carieră disponibile in
cadrul organizaţiei. Presupunerea pe care se bazează această abordare este aceea că oamenii doresc să
avanseze în cadrul organizaţiei.
Tabeleul 4.10 Indentificarea stadii în cadrul ciclului de viaţă al carierei
0 - 21 Creştere, fantezii, explorare
16 - 25 Intrarea în lumea muncii
16 - 25 Educaţia de bază
17 - 30 Etapa de început a carierei
25 + Etapa de mijloc a carierei
35 - 45 Criza de mijloc a carierei
40 + Etapa de final a carierei
50 + Declin, pensionare
Dintre strategiile utilizate pentru administrarea carierelor enumerăm:

 Crearea de oportunităţi prin pregătire profesională;
 Extinderea şi îmbogăţirea conţinutului muncii;
 Oferirea de consiliere în domeniul carierei ;
 Organizarea unor centre de evaluare şi dezvoltare ;
 Organizarea unor întâlniri de lucru pe teme legate de carieră.
3) Dezvoltarea organizaţională are drept scop asigurarea unor relaţii sănătoase intra şi
intergrupuri şi ajutorarea grupurilor în a anticipa, iniţia şi conduce schimbarea. Dezvoltarea
organizaţională presupune existenţa unei strategii normative, reeducaţională, susceptibilă de a afecta
sisteme de alori, titudini, care implică şi reorganizarea formală a organizaţiei, cu scopul de a face faţă
ritmului accelerat al schimbărilor.
CONCLUZII
Pentru cercetarea microdurităţii au fost utilizete probele de Al și Au depuse pe substrat de
siliciu prin pulverizarea magnetron.
Sa efectuat tratamentul fotonic cu impulsuri și tratament termic în sobă cu regimurile care
asigură contact ohmic pelicolelor de Al și profilul de difuzie pentru Au.
Au fost măsurate microduritatea, modulul lui Young și adâncimea indentării cu dispozitivul
Nanotester PMT-3NI-02, în calitate de indentor s-a folosit indentorul Berkovich.
În urma efectuării măsurărilor microduritatea pentru pelicula de Al cu grosimea de 1 µm cu
putera indentării de 5 mN cea mai înaltă microduritate obţinută sa constatat la efectuarea
tratamentului fotonic cu impulsuri timp de 1.8 secunde. Modulul lui Young obţinut la această probă
este cel mai înalt.
Coala
UTM 525.1 025 ME 67

Pentru pelicula de Au cu grosimea de 300 nm la indentarea cu puterea de 5 mN sa constatat o
duritate mai înaltă pentru proba tratată termic în sobă cu temperatura 475 0C timp de 30 minute.
Modulul lui Young pentru pelicula de Au sa constatat mai înalt pentru proba iniţială.
Rezultatele obţinute ne permit să afirmăm, că tratamentul fotonic cu impulsuri pe lângă faptul
că permite obţinerea contactului ohmic și profilul de difuzie a Al în Si are ca rezultat și o duritate mai
înaltă.
BIBLIOGRAFIE
1. Iulia S. Boiarschi, Margarita I. Valcovschi, Maria I. Medinschi – MICRODURABILITATEA.
2. Popescu, N., ş.a. ó Tratamente termice neconvenţionale, Editura tehnică, Bucureşti, 1990.
3. O.Şikimaka. Process of Longlasting Indentation Recovery on Crystals with Different Type of
Bond // Abstracts of Conference MSCMP, Chishinau-2004.
4. Шикимака О.А., Грабко Д.З. Закономерности деформирования монокристаллов
кварца при микроиндентровании // Труды Конференции “Актуальные проблемы
прочности”, Витебск, 2004, p. 216-224.
5. D. Grabco, O.Shikimaka, V.Mazur. Electron Microscopy investigation of the Integrity
Breaking Region created in Mgo and SiO2 Single Crystals under Microindentation // Book of
Abstracts C MS MP, 5-7 July, 2001, Chisinau, Moldova, p.74
Coala
UTM 525.1 025 ME 68

6. T. Ishibashi, M. Ohki, S. Takagi and M. Fujitsuka, Practical Nano-indentation Theory and
Experiments of the Pyramidal Indenter (5 th. Comparison between the calculated truncation
length of the Berkovich indenter tip with the expanded nanoindentation theory and that
with the AFM testing), J. ofMaterial Testing Research Association of Japan, vol.49,
No.2, p.77-84, 2004.
7. T. Ishibashi, M. Ohki, S. Katayama and S. Takagi, Practical Nanoindentation Theory and
Experiments of Pyramidal Indenter (7th. AFM profiles of Microvickers indenter tip and
elastic indentation equations between the hyperboloid of revolution indenter and plane
specimen), J. of Material Testing Research Association of Japan, vol.50, No.2, p.83-
97, 2005.
8. Chiroiu, V., Munteanu, L., Rugina, C., On the Active Control of Damping in Machine Tools,
MMSS’2003, 3rd International Conference on Machining and Measurement of Sculptured
Surfaces, 24 - 26 September, Kraków, Poland, 2003.
9. Donescu, St., V. Chiroiu, L.Munteanu, On the evaluation of the Young’s modulus for a
laminated periodic composite structure based on auxetic materials, Revue Rom. Sci. Techn.,
p. 53-54, 2008.
10. Dumitriu, D., O.Pop, D.Baldovin, On the indentation of an elastic material with a spherical
indenter, Buletinul Institutului Politehnic din Iasi, tom LIV (LVIII) fasc.1 sectia Constructii
de Masini, p. 297-302, 2008.
11. Kelchner, C.L., Plimpton, S.J., Hamilton, J.C., Dislocation nucleation and defect structure
during surface indentation. Phys. Rev. B, p. 17,p. 58, 1998.
12. Oliver, W.C., Pharr, G.M., J. Mater. Res., p. 3–20, 2004.
13. http://www.tfm.phy.cam.ac.uk/Research/meso/authin accesat pe 25.04.2011.
14. R. Aroca, Surface-Enhanced Vibrational Spectroscopy, John Wiley & Sons, 2006.
15. Rauchs, G., Dumitriu, D., Indentation testing parameter identification using an optimization
procedure based on genetic algorithms , Proc. of the Romanian Academy, Series
A:Mathematics, Physics, Technical Sciences, Information Science, 10, 2, , 2009.
16. http://www.scritube.com/tehnica-mecanica/DURITATEA-MATERIALELOR-
METALIC1725784.php accesat la 30.05.2011.
17. Брандон Д. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля
учебное пособие: пер. с англ. /Д. Брандон, У. Каплан. — М.: Техносфера, 2004. – p.377
18. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие /В.Л.
Миронов; Российская академия наук; Институт физики микроструктур. – М.
Техносфера, 2004. – p. 144
19. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие /
Coala
UTM 525.1 025 ME 69

В.Л. Миронов; Российская академия наук; Институт физики микроструктур. – М.:
Техносфера, 2004. – p. 144
20. Yu.S. Boyarskaya., D.Z. Grabco, M.S. Kats, Fizica și Microindentarea, Chișinuă, “Știinţa”,
1986.
21. S.Veprek and M.J.G.Veprek-Heijman. \ Industrial applications of superhard nanocomposite
coatings". Surface & Coatings Technology, Vol. 202, No. 21, p.5063-5073. 2008.
22. M.Witthaut, R.Cremer, and D.Neuschuetz. ”Electron spectroscopy of single – phase (Al,B) N
films”. Surface and Interface Analysis,Vol.30, No.1, p.580-584. 2000.
23. http://www.phys.asm.md/data/expozit/structart4.php accesat pe 04.05.2011.
24. L.Ostrovskaya, S. Dub, P. Milani, V. Ralchenko // Сб. тез. докл. II Межд. cимпозиума
”Фуллерены и фуллереноподобные структуры”.
25. W.C. Oliver, G.M. Pharr // J. Mater. Res, 1992, V. 7, N 6, p. 1564-1583.
26. B.N. Lucas et al., MRS Symposium Proc., Vol. 522, MRS, Pittsburgh, 1998, p. 3-14.
Coala
UTM 525.1 025 ME 70


Cercetarea Microduritatii Peliculelor Subtiri de Al Si Au Prin Microindentarea Quasistatica

Încărcat de

Informații document

Titlu original

Drepturi de autor

Formate disponibile

Partajați acest document

Partajați sau inserați document

Opțiuni de partajare

Vi se pare util acest document?

Este necorespunzător acest conținut?

Drepturi de autor:

Formate disponibile

Cercetarea Microduritatii Peliculelor Subtiri de Al Si Au Prin Microindentarea Quasistatica

Încărcat de

Drepturi de autor:

Formate disponibile

CUPRINS

UTM 525.1 025 ME 8

UTM 525.1 025 ME 9

1.1. Determinarea durităţii materialelor

Menţiuni. Mărimile din tabelul 1.1 au următoarele semnificaţii:

1.2. Determinarea durităţii Brinell

UTM 525.1 025 ME 10

Înlocuind suprafaţa calotei în relaţia de calcul s durităţii, se obţine:

Dacă F şi D din relaţia prezentată sunt cunoscute

Această expresie introdusă în relaţia de mai sus conduce la:

1.3. Determinarea durităţii Vickers

UTM 525.1 025 ME 12

Unghiul la vârf al penetratorului, măsurat între două feţe

În practică se măsoară lungimea diagonalei cu ajutorul

UTM 525.1 025 ME 13

1.4. Determinarea durităţii Rockwell

Fig. 1.3 Diferenţa dintre o valoare convenţională E şi valoarea adâncimii de penetrare

UTM 525.1 025 ME 14

1.5. Determinarea durităţii cu ciocanul Poldi

UTM 525.1 025 ME 15

UTM 525.1 025 ME 16

5 UTM 525.1 025 ME 17

UTM 525.1 025 ME 19

UTM 525.1 025 ME 20

Fig. 1.7 Adâncimea amprentei sub sarcina lui Oliver și Pharr

UTM 525.1 025 ME 21

1.8. Folosirea pelicolelor de Au și Al la elaborarea MEMS

Materialul de baza utilizat ca substrat este Siliciu. Prezintă următoarele avantaje:

UTM 525.1 025 ME 22

1.9. Rolul pelicolelor de Al și Au la construcţia MEMS

UTM 525.1 025 ME 23

2. DESCRIEREA ECHIPAMENTULUI UTILIZAT

2.1. Tehnica de efectuare a tratamentului fotonic rapid cu impulsuri

UTM 525.1 025 ME

2.2. Metoda pulverizării termice magnetron

UTM 525.1 025 ME 26

UTM 525.1 025 ME 27

Parametrii de baza ai pulverizării catodice magnetron sunt:

UTM 525.1 025 ME 28

Puterea maxima admisa în sistemele de pulverizare magnetron este limitată de condiţiile de

Sistemele de pulverizare magnetron, faţă de celelalte sisteme clasice de pulverizare catodică, au

UTM 525.1 025 ME 29

Sursele termice principale de încălcare a substratului în pulverizarea catodica magnetron sunt:

5) energia electronilor scăpaţi din capcana magnetică și capturaţi de

2.3. Construcţia dispozitivului Nanotester PMT-3NI-02

UTM 525.1 025 ME 30

UTM 525.1 025 ME 31

Fig. 2.3 Construcţia bazei capului măsurării puterii

UTM 525.1 025 ME 32

Fig.2.4 Schema bloc dispozitivului Nanoteste PMT-3NI-02

UTM 525.1 025 ME 33

UTM 525.1 025 ME 34

UTM 525.1 025 ME 35

Pe rezultatul măsurării se suprapune o derivă care poate fi cauzată ca deformarea fluajului

UTM 525.1 025 ME 36

La construcţia dispozitivului sunt prevăzute și alte circumstanţe, influenţând fiabilitatea

UTM 525.1 025 ME 37

UTM 525.1 025 ME 38

3.1. Tratamentului fotonic rapid

UTM 525.1 025 ME 39

3.2. Cercetarea microdurităţii.

Fig. 3.4 Constantele dispozitivului

UTM 525.1 025 ME 40

Diplomantul _ D _ 82 ___