1.

Principiile fizice al microscopiei electronice de baleiaj

O seciune transversal printr-un microscop electronic modern relev
urmtoarele elemente constructive: coloana electrono-optic, sistemul de
vidare, sistemele de detecie, prelucrare, procesare i redare a informaiei i
blocul de alimentare cu energie a tuturor componentelor. Coloana electrono-
optic se compune din tunul de electroni, lentilele condensoare i lentila
obiectiv.
Principial, construcia unui microscop electronic este ntr-o oarecare
msur analog construciei proiectorului optic obinuit. Prile principale,
comune celor dou instrumente, sunt urmtoarele: sursa (de iluminare la
microscopul optic, de electroni la microscopul electronic, lentila condensoare
(sau condensorul, obiectul de studiat, lentila proiectoare i sistemul de
vi!uali!are i nregistrare a informaiei.
Condensorul are rolul de a focali!a fasciculul de electroni pe prob,
asigur"nd un paralelism c"t mai bun al radiaiilor cu a#a optic. Obiectivul
formea! imaginea primar, mrit, a obiectului$ aceasta este preluat de
lentila proiector care o mrete mai mult, pentru observarea pe ecranul
instrumentului.
%unul de electroni are rolul de a genera fasciculul de electroni. &n
interiorul tunului de electroni un c"mp electrostatic diri'ea! electronii emii
de o poriune foarte mic a suprafeei unui filament, printr-o apertur foarte
ngust. (up aceea, tunul accelerea! electronii prin coloan spre prob, cu
energii cuprinse ntre cteva !eci i !eci de mii de electronvoli.
)asciculul de electroni, emis de tunul electronic, care bombardea!
suprafaa probei, este compus din electroni monocinetici i poart numele de
fascicul incident sau primar. *l poate fi supus unei tensiuni de accelerare de la
+,,- p"n la .,.,,,-, n funcie de tipul de microscop folosit.
&n momentul de fa sunt utili!ate cteva tipuri de tunuri de electroni: cu
/olfram, cu 0e#aborur de lantan (1a2
3
i cu emisie de c"mp. Constructiv,
sunt utili!ate materiale i principii fi!ice diferite pentru obinerea tunurilor de
electroni, dar au ca scop comun generarea unui fascicul de electroni
direcionat, av"nd curent stabil i diametru c"t mai mic posibil. *lectronii
parcurg tunul ca un fascicul divergent. O serie de lentile electromagnetice i
de diafragme din coloan reconverg i focali!ea! fasciculul ntr-o imagine
micorat. 4proape de !ona de 'os a coloanei e#ist c"teva bobine de scanare
n rastere, care deflectea! fasciculul de electroni ntr-o gril de baleiere pe
suprafaa probei. 1entila final focali!ea! fasciculul ntr-o arie cu o
dimensiune c"t mai mic pe suprafaa probei.
+
Figura 1.1. Reprezentarea schematic a microscopului electronic de
baleiaj
(up parcurgerea coloanei de electroni, fasciculul a'unge n camera
probei. 4ceasta ncorporea! dispo!itivul de manevrare a probei, o u pentru
introducerea sau e#tragerea eantionului anali!at i c"teva dispo!itive pentru
montarea detectorilor de semnale sau a altor accesorii. &n momentul interaciei
fasciculului de electroni cu suprafaa probei re!ult o serie de semnale, care
dup ce sunt detectate, amplificate i procesate permit obinerea unor
informaii privind morfologia, structura i compo!iia probelor.
5emnalele re!ultate n urma interaciei fasciculului primar cu proba
sunt: electronii secundari, electronii retrodifu!ai (retromprtiai, electronii
4uger, electronii transmii (n ca!ul probelor foarte subiri, radiaiile 6,
catodoluminiscena i tensiunea electromotoare indus.
7rimea semnalelor obinute, depinde de trei factori: grosimea probei
investigate, compo!iia c0imic a acesteia i tensiunea de accelerare a
electronilor.
O repre!entare sc0ematic a diverselor tipuri de interaciuni ale unui
fascicul electronic cu o prob solid este pre!entat n figura 8, unde sunt
evideniate mecanismele de interaciune utili!abile n diversele moduri de
lucru specifice microscopiei electronice.
8
Fascicul electronic
incident
Electroni retroimparstiati
(reflectati elastic)
Electroni secundari
(emisi)
Radiatii X
Radiatii infrarosii
Radiatii luminoase
(fotoni optici)
Microscopie
electronica cu
baleiaj sau de
tip analitic
Microscopie
electronica prin
transmisie,
microsopie
electronica cu
baleiaj prin
transmisie,
analiza
dispersiva in
energie
Electroni
absorbiti
Curent indus
Imprastiere elastica
necoerenta
Imprastiere neelastica
Fascicul nedeviat
de electroni transmisi
Imprastiere elastica
coerenta
PROBA
Figura 1.2. Semnalele rezultate n urma interaciei dintre fasciculul de
electroni i corpul solid
&n microscopia electronic de baleia', al crui principiu a fost e#pus
anterior, se utili!ea! fascicule de electroni incideni, cu energii de +-9, :e-,
care fie sunt parial mprtiai napoi (retromprtiai, prin refle#ie elastic pe
atomii probei, fie determin emisia de electroni secundari prin interaciune cu
proba. *lectronii retromprtiai i electronii secundari sunt efectiv utili!ai
pentru formarea imaginii n microscopul electronic de baleia'. &n microscopia
electronic de transmisie convenional, informaia este obinut prin
intermediul electronilor transmii, nedeviai, sau mprtiai nainte, n
diafragma unei lentile care va forma imaginea electronomicroscopic. &n acest
ca!, energiile electronilor fasciculului incident sunt cuprinse ntre ., i 8,,
:e-, pentru microscopele convenionale i ntre 8,, :e- i ; 7e- pentru
microscoapele electronice de nalt tensiune.
&mprtierea electronilor poate fi elastic (fr pierderi energetice
importante i cu sc0imbare de direcie sau inelastic (cu pierderi energetice n
care energia poate fi transferat atomilor probei sau probei ca atare n diverse
moduri. &n ca!ul mprtierii inelastice, transferul energetic poate produce
e#citarea sau ioni!area electronilor legai, fie e#citarea electronilor liberi sau a
vibraiilor reelei (vibraii fononice, fie ncl!irea probei sau formarea de
;
defecte de iradiere. 7surarea acestor pierderi energetice poate da informaii
asupra naturii c0imice a probei.
O alt clasificare a mprtierii electronilor ine seama de numrul de
evenimente de mprtiere implicate: monomprtiere i mprtiere multipl.
&n primul ca!, electronul sufer o singur interaciune, fapt observat de
e#emplu n straturile sau foliile subiri studiate n microscopul electronic de
transmisie. &mprtierea multipl conduce la o mprtiere de tip difu!iv n
care micarea electronilor devine nt"mpltoare. 4cest tip de mprtiere este
caracteristic probelor masive, groase, studiate n microscopia electronic de
baleia'.
1a impactul fasciculului electronic cu proba are loc o emisie de radiaii
6 care poate fi anali!at cu aparate dispo!itive speciale (spectrometre, care
permit identificarea i determinarea concentraiei elementelor constituente ale
probei.
1.2 Volumul de interacie al fasciculului primar cu corpul solid
5emnalul obinut pentru formarea imaginii n microscopia electronic de
baleia' nu este obinut numai din suprafaa probei anali!ate. )asciculul de
electroni penetrea! o anumit distan n interiorul probei i poate
interaciona o dat sau de mai multe ori de-a lungul traiectoriei sale. <egiunea
din prob dintre care semnalul original i scprile subsecveniale care nu mai
pot fi detectate, se numete volum de interacie.
Figura 1.. Schema !olumului de interacie al
fasciculului cu substana
.
%ipul semnalului, compo!iia probei i tensiunea de accelerare au un efect
asupra re!oluiei microscopului, prin modificarea mrimii i formei volumului
de interacie. &n figura urmtoare este repre!entat sc0ematic detecia
semnalelor n microscopia electronic de baleia' i !onele volumetrice unde
sunt generate. &n cele mai multe ca!uri volumul de interacie este semnificativ
mai mare dec"t mrimea spot-ului, iar acest volum va deveni limita actual a
re!oluiei.
1.3 Tipuri de semnale
1.31. Electronii secundari
*lectronii secundari (5* sunt electronii atomilor din prob care sunt
e'ectai n mediu datorit interaciei cu electronii primari din fascicul. &n
general, ei au energii foarte mici (prin convenie mai mici de 9, e-. (atorit
faptului c au energii foarte mici, acest tip de electroni poate scpa din
suprafaa probei doar dintr-o regiune de foarte mic ad"ncime. Prin urmare,
electronii secundari ofer imagini de cea mai bun re!oluie. &n imaginile de
electroni secundari este oferit n principal de toporafia suprafeei probei. Cu
c"t volumul de interacie este mai aproape de suprafaa probei, cu at"t mai
muli electroni secundari pot fi emii din prob, acest fenomen produc"ndu-se
at"t n !onele cu v"rfuri, c"t i n cele mai 'oase. 4stfel se obin imagini n care
vrfurile vor fi mai luminoase, iar vile mai ntunecate. (atorit acestui fapt,
interpretarea imaginilor de electroni secundari devine foarte intuitiv.
1.3.2. Electronii retrodifuzai
*lectronii retrodifu!ai (25*, sunt electronii primari care au fost
mprtiai n afara suprafeei probei, datorit ciocnirilor elastice cu nucleele
din atomii probei. 4ceti electroni posed energii mari, cuprinse (prin
convenie ntre 9,e- i tensiunea de accelerare a fasciculului. 4cest tip de
electroni provin dintr-un volum mai mare de interacie cu substana, ceea ce
contribuie la pierderea re!oluiei n imaginile de electroni retrodifu!ai. &n
aceste imagini, contrastul este determinat de diferena numerelor atomice din
fiecare punct bombardat cu fasciculul de electroni, de la media numerelor
atomice ale elementelor din compo!iia probei. (in !onele ce conin
elementele cu numere atomice mai mari vor fi reflectai mai muli electroni,
ceea ce conduce la obinerea unei arii mai luminoase n imagine. =maginile de
electroni retrodifu!ai nu sunt at"t de uor de interpretat dar, evaluate corect,
pot oferi informaii importante privind compo!iia probei.
9
&n general, intensitatea curentului de electroni retromprtiai crete cu
creterea ung0iului de mprtiere, nu varia! sensibil cu energia fasciculului
primar i crete cu numrul atomic al probei.
5emnalul oferit de electronii retrodifu!ai este detectat de doi detectori cu
corp solid, care lucr"nd n regim de substituie, adiie permit obinerea unor
imagini privind topografia sau compo!iia suprafeelor anali!ate.
1.3.3. Recombinarea i catodoluminiscena
Prin interaciunea unui fascicul incident cu o prob, muli electroni
secundari produi nu pot prsi proba i sunt ani0ilai, n urma mprtierilor,
prin procese de recombinare electron-gol. (ac procesul de recombinare este
nsoit de emisia de fotoni optici, apare fenomenul de catodoluminiscen.
7ecanismul acestei fotoemisii este similar cu luminiscena n sensul c este
stimulat de o serie de elemente active, aflate n cantiti foarte mici n aria
probei bombardate cu fasciculul de electroni. *#act la fel ca n ca!ul
luminiscenei normale, catodoluminiscena poate indica distribuia n prob a
acestor elemente cu concentraii mici, complet"nd astfel informaia privind
compo!iia c0imic a ariei bombardate, obinute prin emisie de radiaii 6 sau
electroni 4uger.
Catodoluminiscena n probele semiconductoare este dependent de
tensiunea electric aplicat i, n consecin, strile de suprafa n unele
materiale semiconductoare pot fi studiate prin acest efect care furni!ea! date
privind timpul de via al purttorilor de sarcin ma'oritari, lungimi de difu!ie,
etc. )enomenul de catodoluminiscen este afectat de asemenea de topografia
superficial i de pre!ena unor defecte interne (dislocaii, precipitate, limite
intercristaline.
4cest fenomen de e#citare a luminiscenei prin bombardament
electronic a fost observat i n unele materiale plastice, organice i n unele
probe minerale.
1.3.4. Emisia de radiaii i electroni !u"er
*misia de radiaii 6 se produce dac un electron de pe un nivel
energetic inferior este e#citat de fasciculul primar de electroni i trece pe un
nivel energetic superior, sau prsete complet atomul (fotoelectron. 1ocul
vacant este ulterior ocupat de un alt electron care cade de pe un nivel energetic
superior i emite un foton de radiaie 6, de energie 0> egal cu diferena
dintre energiile corespun!toare celor dou niveluri energetice ntre care a
avut loc tran!iia.
3
*ste posibil ca anumii electroni s fie reflectai din prob, dup ce n
prealabil au interacionat neelastic cu atomii din prob. Ceilali electroni, care
sunt mprtiai la ung0iuri mai mici spre interiorul probei, i pierd din ce n
ce mai mult din energie, dup fiecare coli!iune, p"n c"nd nu mai pot participa
la un proces de ioni!are prin impact (de obicei energia de ioni!are este
cuprins ntre ; i ? e-.
*nergia re!ultat n urma fr"nrii acestor electroni este emis sub forma
unor fotoni de radiaii 6 ce alctuiesc spectrul continuu de emisie a probei.
=ntensitatea ma#im a spectrului continuu crete cu tensiunea de accelerare, cu
intensitatea fasciculului i cu numrul atomic al probei.
Figura 1.". #ranziiile posibile i notaiile radiaiilor $ rezultate
@n proces de ioni!are se desfoar astfel: un electron rapid, din
fasciculul incident, se apropie de un electron legat de unul din atomii probei
(situat pe unul din nivelele interioare ale atomului i n urma sc0imbului de
energie produs datorit interaciunii ntre c"mpurile coulombiene ale celor doi
electroni, electronul legat este forat s treac pe o stare e#citat permis, adic
pe un nivel energetic superior din atom sau este e#pul!at din atom
(fotoelectron, n timp ce electronul incident i pierde din energie. 1ocul
vacant de pe nivelul energetic inferior va fi ocupat de ctre un electron de pe
un nivel energetic superior, cu respectarea regulilor de tran!iie ( + = i
o j =
sau
+ = j
, iar diferena dintre energia pe care o avea electronul pe
A
nivelul superior i cea pe care o are pe noul nivel se va emite sub forma unui
foton (cuant ce corespunde domeniului radiaiilor 6.
*nergia fotonilor re!ultai n urma tran!iiilor electronice depinde de
energia nivelelor ntre care au loc tran!iiile i, prin urmare, este caracteristic
fiecrei specii atomice ( % & &
' ' h =
. 4ceste radiaii alctuiesc spectrul
caracteristic de emisie al probei i se suprapun peste spectrul continuu.
1ungimea de und sau frecvena radiaiilor 6 caracteristice, emise de
prob, se notea! cu B

sau B

pentru tran!iiile efectuate ntre nivelul 1 i B

i respectiv 7 i B. &n figura de mai sus este pre!entat sc0ematic modul de
efectuare a tran!iiilor posibile pentru trei nivele electronice i notaiile
radiaiilor re!ultate.
<adiaia emis n urma tran!iiei de pe nivelul 1 pe nivelul B const
dintr-un dublet B
1
i B
2
. <aportul ntre intensitatea radiaiei B
1
i B
2
(


8 B
B
+

(
(
re!ultate din tran!iiile 1
==
la B, respectiv 1
===
la B este proporional cu
numrul electronilor n subnivelele corespun!toare care este
8
8
.
=
(regula
sumei. <aportul intensitilor liniilor B
1
i B
2
descrete de la +, pentru
aluminiu (CD+; p"n la ; pentru staniu (CD9,. 7otivul acestei variaii este
probabilitatea efecturii unei tran!iii care crete pentru nivelele E i 7 odat
cu creterea numrului atomic. O deviaie puternic de la regula sumei este
observat pentru seria 1, care poate fi atribuit tran!iiilor Coster-Broning n
care un loc gol de pe 1
=
sau 1
==
este ocupat de un electron de pe subnivelul 1
===
,
iar energia re!ultat este transferat unui electron de l"ng nivelul )ermi i
liniile care re!ult din tran!iiile pe subnivelul 1
===
sunt relativ mai intense.
Figura 1.). 'misia radiaiilor $ caracteristice
?
(in punctul de vedere al anali!ei microscopice, este foarte important
faptul c fiecare element c0imic posed un spectru unic de radiaii 6. Partea
discret a spectrului (adic partea format din linii de ma#ime distincte
cuprinde linii care corespund tran!iiilor electronilor ntre pturile electronice
1 i B din atom, tran!iiilor ntre pturile 7 i B, tran!iiilor ntre pturile 7 i
1. 5pectrul continuu de radiaii 6 cuprinde fotonii provenii din ciocnirile
inelastice ale electronilor fasciculului incident cu electronii intei. Pre!ena
spectrului unic de radiaii 6 servete deci at"t la anali!a elementelor
constituente dintr-un material, c"t i ca surs potenial de contrast de imagine.
&n scopul producerii radiaiei 6 caracteristice unui element, este necesar
ca tensiunea de accelerare s depeasc un potenial critic. &n ca!ul unei
tensiuni de accelerare de ;, :-, o radiaie B

suficient de intens poate fi

e#citat n atomi cu numrul de ordine p"n la CD.,.
&n general, radiaiile 6 provin dintr-un volum al probei de ordinul
c"torva m
8
situat n imediata vecintate a suprafeei, din partea inferioar a
volumului de interacie a fasciculului cu substana (ve!i figura ;. 4nali!a
radiaiei 6 emise de prob se poate efectua cu a'utorul unor spectrometre de
construcie special, prin dou moduri: metoda dispersiv dup lungimea de
und i metoda dispersiv dup energii.
<e!ultatul este pre!entat sub forma unui spectru compus din intensitatea
semnalului radiaiilor 6, pe a#a vertical, respectiv energia, pe a#a ori!ontal.
7a#imele repre!entate n spectrul de radiaii 6 corespund elementelor
pre!ente n prob, care se identific dup energia caracteristic. Concentraia
elementelor pre!ente n prob se evaluea! dup intensitatea ma#imelor
caracteristice.
(in sc0ema volumului de interacie a fasciculului de electroni cu
substana pre!entat anterior, re!ult c re!oluia spaial n imaginile de
radiaii 6 este mai sc!ut dec"t n imaginile de electroni secundari sau n
imaginile de electroni retrodifu!ai (volumul de prob de unde provin radiaiile
6 este mult mai mare dec"t cel din care provin electronii secundari.
*ste posibil ca n urma tran!iiilor electronice ntre nivelele interne ale
unui atom s nu re!ulte un foton de radiaii 6, ci energia re!ultat s fie
preluat de un electron legat i acesta s fie emis. *nergia electronului emuis
este egal cu energia sa de pe nivelul pe care se afla plus energia re!ultat din
tran!iie. *lectronnul astfel emmis se numete electron 4uger.
Pentru elementele uoare, probabilitatea de emisie a unui electron 4uger
este mai mare dec"t cea de emisie a unui foton de radiaii 6.
7ecanismul de producere a unui elecron 4uger este urmtorul: dac un
electron de pe nivelul 1
=
va efectua o tran!iie pe nivelul B, unde e#ist un loc
neocupat creat prin ioni!are, i energia re!ltat
(
% &
' '
va fi preluat de un
electron de pe nivelul 1
==
, acesta va fi e#pul!at din atom.
F
*nergia electronului e#pul!at va fi egal cu energia pe care o are nivelul
B minus suma energiilor nivelelor
(
%
'
i
((
%
'
,
(
(( (
% % &
' ' ' ' + =
, energia
electronilor 4uger fiind caracteristic fiecrei specii atomice.
(eoarece energia electronilor 4uger este foarte mic pot s ias din prob
numai acei electroni formai n imediata apropiere a suprafeei, fenomen
evideniat n sc0ema volumului de interacie a fasciculului cu substana
pre!entat anterior. 5e consider c reuesc s emearg din prob numai
electronii formai n primele dou trei plane atomice de la suprafa.
)enomenele de emisie a radiaiilor 6 caracteristice i a electronilor 4uger
constituie ba!a microanali!ei cu radiaii 6 i a electronilor 4uger.
1.4. Principii te#nice ale microscopiei electronice de baleiaj
&n microscopul electronic de baleia', fasciculul de electroni, produs de
tunul de electroni, este micorat la ma#imum prin intermediul a 8 sau ; lentile
electromagnetice, urmrindu-se astfel obinerea unui fascicul e#trem de ngust,
care este proiectat pe suprafaa probei. Cu a'utorul a dou bobine de defle#ie,
plasate n interiorul ultimei lentile electromagnetice, activate de un curent
produs de un generator de baleia', fasciculul primar de electroni astfel
focali!at, este determinat s efectue!e o micare n !ig G !ag (raster, linie cu
linie, a unei !one rectangulare de pe suprafaa probei, reali!"ndu-se un fel de
mturare a acesteia. 1a orice moment dat din timpul de scanare a suprafeei
probei, fasciculul de electroni iluminea! un singur punct pe tiparul delimitat
pe suprafaa probei. Pe msur ce fasciculul se deplasea! pe suprafaa probei
punct cu punct, este generat o variaie a intensitii semnalului, ceea ce va
reflecta diferenele pre!ente pe suprafaa probei investigate. 5emnalul de ieire
obinut va fi o niruire de date formate din cureni seriali. =nstrumentele de
baleia' mai noi includ posibilitatea obinerii unor imagini digitale, care sunt
obinute prin conversia semnalului analog obinut de detectori ntr-o serie de
valori numerice. Ca urmare, fasciculul de electroni se afl la perioade diferite
de timp, n puncte diferite pe suprafaa preparatului. &n urma impactului
fasciculului primar de electroni cu preparatul, semnalele generate sunt captate
de detectori, transformate n semnal electric, amplificate i trimise ntr-un
modulator electronic, urm"nd ulterior ca intensitile semnalelor s fie
prelucrate digital i afiate pe un ecran.
2aleierea se poate reali!a prin dou metode:
deviaia fasciculului de electroni cu a'utorul unor c"mpuri electrostatice
sau electromagnetice variabile pe dou direcii reciproc perpendiculare$
prin deplasarea mecanic a probei n fasciculul electronic meninut fi#.
+,
Heneratorul de baleia' trimite un curent n form de dinte de fierstru n
bobinele de defle#ie ale microscopului, n vederea producerii micrii de
baleiere a fasciculului pe suprafaa probei. )iecare punct scanat pe suprafaa
probei va corespunde unui punct din imaginea final.
4nalog luminii la microscopul optic, electronii nu formea! o imagine
real n microscopia electronic de baleia', fiind construit o imagine virtual
din semnalul emis de prob.
)iecare semnal colectat i amplificat se aplic pe o gril de nregistrare a
semnalului. &n ma'oritatea ca!urilor, modul standard de lucru este cel emisiv
n care sunt colectai electronii secundari emii de prob. Colectorul se afl la
un potenial de 89,-;,, - fa de prob, ceea ce determin atragerea
electronilor secundari. (up o accelerare suplimentar p"n la o energie e@ de
circa +, :e-, electronii a'ung pe un scintilator de plastic acoperit cu un strat
subire de aluminiu. 1umina creat n scintilator trece printr-o fibr optic spre
un fotomultiplicator, unde este convertit n curent electric care poate fi
amplificat. %impul de !bor al electronilor este foarte scurt, de apro#imativ +,
-A
s. 4celai dispo!itiv poate servi de asemenea pentru detectarea electronilor
reflectai (retromprtiai, cu condiia aplicrii unui potenial mrit care s nu
permit colectarea electronilor secundari de energii mai 'oase.
@n detector utili!at pe scar larg este detectorul cu semiconductori n
care electronii incideni care lovesc detectorul produc perec0i electron-gol,
care determin apariia unui curent electric n circuitul e#terior. (eoarece
detecia este reali!at electronic (neform"ndu-se propriu-!is o imagine n
sensul optic se pot imagina diverse proceduri de prelucrare a semnalelor,
acestea put"nd fi adunate, sc!ute sau multiplicate.
1a nceput, era utili!at un sistem de obinere a imaginii simplu, format
dintr-un tub catodic sau un sistem C<%. 5istemul C<% era format dintr-un tub
vidat nc0is la un capt cu o suprafa destinat imaginii, acoperit cu fosfor,
care emitea lumin. 1a cellalt capt al tubului se aflau tunul de electroni i un
set de bobine electromagnetice de deflecie. 5imilar cu 5*7-ul, sistemul C<%
utili!a un fascicul de electroni accelerai spre suprafaa acoperit cu fosfor.
2obinele de deflecie scanau cu fasciculul tiparul imaginii pe suprafaa
afia'ului. )osforul avea rolul de a reali!a conversia energiei electronilor
incideni n lumin vi!ibil. =ntensitatea luminii depindea de intensitatea
curentului din fasciculul de electroni. Prin sincroni!area sistemului de scanare
C<% cu sistemul de scanare 5*7 i prin modularea curentului din C<% cu
semnalul imaginii, sistemul cartografia semnalul punct cu punct pe o suprafa
de formare a imaginii a sistemului C<%, ceea ce ducea la obinerea unei
imagini de electroni.
4v"nd n vedere cele pre!entate mai sus, sc0ematic, funcionarea unui
microscop electronic de baleia' se ba!ea! pe c"teva etape:
formarea i accelerarea unui fascicul de electroni$
++
fasciculul de electroni este delimitat si concentrat folosind diafragmele
metalice i lentilele condensoare$
utili!"nd lentila obiectiv (final, fasciculul este focali!at pe suprafaa
probei$
interaciile generate n interiorul probei bombardate generea! semnale
care sunt identificate i transformate ntr-o imagine sau n date privind
coninutul sau concentraia elementelor din prob.
(in punct de vedere constructiv, sistemul electrono*optic este constituit
din coloana microscopului, camera de lucru n care se montea! proba i
sistemul de detectori.
Coloana microscoapelor electronice de baleia' nu depaeste ?, cm n
nalime i este ae!at de obicei pe aceiai mas pe care se afl sistemul de
operare i afia', sau este fi#at pe un suport separat n raport cu panoul de
operare. &n partea superioar a coloanei se afl tunul electronic. 4proape la
toate microscoapele de baleia' se utili!ea! tunurile triod cu termocatod de
/olfram.
%ensiunea de accelerare aplicat la tun nu depaete .,.,,, - i se aplic
n trepte de la +,, - n sus, n funcie de proba e#aminat. )asciculul de
electroni accelerai are la ieirea din cilindrul Ie0nelt un diametru cuprins
ntre 89,.,,, i 9,,.,,, J.
Figura 1.+. Formarea imaginii n microscopul
electronic de baleiaj
+8
Pentru a putea fi e#ploatat, acest fascicul trebuie redus mult i adus la
nivelul preparatului, p"n la un diametru de +,, J sau c0iar mai mic. 1a unele
microscoape, reducerea n diametru a fasciculului se reali!ea! cu a'utorul a
dou lentile condensoare, iar altele cu un sistem format din trei lentile
condensor. 4ceste lentile de tip electromagnetic, alturi de lentila obiectiv,
constituie partea principal a coloanei microscopului. %rec"nd prin acestea i
prin aperturile centrate din planul principal al lentilei finale, fasciculul, care la
emiterea din tunul de electroni are o densitate electronic de apro#imativ +,
+9
electroni pe secund i un curent de +,
-.
4, a'unge la final doar cu 3#+,
3
electroni pe secund, cu un curent e#trem de mic, de ordinul a +,
-+,
G +,
-+8
4 i
un diametru de +,, J.
1entila final, fie c este vorba de o coloan cu dou lentile, fie de una cu
trei, este cea mai important$ adesea este denumit lentila obiectiv, dei rolul
este de focali!are final a fasciculului pe preparat. &n partea central ea include
sistemul de defle#ie sau de baleia' al fasciculului i un stigmator pentru
corectarea astigmatismului lentilei.
&n partea inferioar a coloanei se afl camera probei i detectorii pentru
semnalele emise de ctre prob. &n interior, camera propriu-!is este circular,
cu diametrul i nalimea variabile, n funcie de instrument.
5uportul pentru probe este format dintr-o msu pe care se pot fi#a
preparate, cu diametrul de p"n la 9, mm i nalimea de +,-8, mm, sau c0iar
mai mari. 5uportul este mobil, astfel c preparatul poate fi rotit i nclinat sub
diferite ung0iuri, pentru a fi e#pus fasciculului de electroni. (e asemenea, el
poate fi adus p"n la 9 mm distan de lentila final, n special pentru
obinerea unor imagini de nalt re!oluie.
5istemul de detectori repre!int partea cea mai important a
microscoapelor de baleia', care permit funcionarea instrumentelor n unul sau
mai multe moduri de operare. 5istemul de ba!, din dotarea standard a
microscoapelor, este format din detectorul pentru electroni secundari i
detectorul de electroni retrodifu!ai.
)oarte multe dintre cele mai moderne microscoape de baleia' au i
detectori pentru electroni transmii, catodoluminiscen, fore
electronomotoare i detectorul de radiaii 6, utili!at pentru anali!e privind
compo!iia c0imic a probei. %ipurile de semnale care se obin n microscopia
electronic de baleia' i modalitile de detectare pot fi diferite.
)iecare detector este conectat cu o unitate electronic montat pe consola
de control. Cu a'utorul unitilor de control se poate trece uor de la captarea
unui semnal la altul, dac aparatul este dotat cu toate tipurile de detectori.
(eoarece la toate microscoapele se utili!ea! n principal electroni
secundari i retrodifu!ai, pre!entm n cele ce urmea! principiul de detectare
i amplificare a acestora.
(etectorul de electroni este format dintr-un colector, un scintilator i un
fotomultiplicator.
+;
*lectronii re!ultai din prob n numar destul de mic, sunt captai de
colector i accelerai cu o tensiune de peste +,.,,, -, nainte de a atinge
scintilatorul. 4cesta din urm este confecionat fie din materiale plastice, dar
n acest ca! are o via scurt i sensibilitate redus, fie din silicat de Ktriu,
cunoscut in literatur i sub denumirea de P-.A i care are sensibilitate
ridicat i o durat lung de e#ploatare. &n urma impactului cu scintilatorul,
fiecare

electron d natere la un numar mare de fotoni care sunt diri'ai ntr-un
fotomultiplicator, unde fiecare fotoelectron formea! un numr impresionant
de mare de electroni secundari care sunt trimii n tubul catodic i utili!ai la
modularea fasciculului acestuia.
Figura 1.11. #ipuri de semnale i modaliti de prelucrare n
microscopia electronic de baleiaj
+.
&n tabelul nr.8 sunt pre!entate diversele moduri de lucru i tipurile de
informaii obinute n microscopia electronic de baleia'.
%abelul nr. 8
*misie *lectroni
secundari emii
%opografie
Potenial electric
C"mpuri electrice i
magnetice
+,
nm
+,
, nm
+
m
1uminisce
n
)otoni Compo!iional +,
, nm
Conducie Cureni de
prob
Conductibilitate indus +,
, nm
4bsorbie Cureni de
prob absorbii
%opografie +
m
<adiaii 6 )otoni 6 Compo!iional +
m
4uger *lectroni
4uger
Compo!iional +
m
%ransmisie *lectroni
transmii
Cristalografic +-
+, nm
@ltima generatie de microscoape electronice scanning, microscoapele
*5*7 (*nvironmental 5canning *lectron 7icroscope permit efectuarea
investigatiilor tuturor categoriei de probe: probe metalice, ceramice, biologice,
umede, murdare uleioase fara nici o pregatire prealabile. 7ai mult, pot fi
investigate probe aflate inmediul lor natural de viata sau de lucru.
.
2.1 Principii "enerale de functionare amicroscopului electronic de
transmisie
Partea principala a microscopului electronic de transmisie o constituie
coloana vidata care contine tunul electronic si ansamblul de lentile
electromagnetice, dupa cum s-a aratat in capitolul anterior. (upa iesirea din
+9
tun, electronii sunt focali!ati pe proba prin intermediul a doua lentile
condensoare. =n timp ce prima lentila condensoare formea!a o imagine de spot
de circa + Lm diametru, a doua lentila condensor o mareste de doua ori. (eci
spotul final al fasciculului observat pe ecran este de circa 8 Lm, dar pata
luminoasa a fasciculului va ocupa intreg ecranul la mariri mari.
Proba consta dintr-un strat subtire sau o folie de material supusa
iradierii cu fasciculul electronic. =n urma proceselor de interactiune (v. cap. .,
electronii transmisi si difractati (imprastiati elastic trec prin aperture
(diafragma lentilei obiectiv. =maginea =
+
formata de lentila obiectiv este
preluata de o lentila intermediara P
+
care va forma o imagine intermediara =
8
.
4ceasta va fi in final marita cu a'utorul lentilei proiector P
8
si proiectata pe
ecran. =n figura 8.+este pre!entata sc0ematic diagrama traiectoriilor
electronice pentru obtinerea imaginii unei probe in microscopul electronic prin
transmisie.
Prin e#citarea diferita a lentilelor P
+
si P
8
, este posibila asigurarea unui
domeniu de mariri de la circa +,,, M si pana la peste +,, ,,, M .
)ig.8.+
(aca fasciculul incident este paralel, atunci fasciculele difractate care
parasesc proba pot fi focali!ate in planul focal posterior al lentilei obiectiv si
formea!a astfel o imagine de difractie. =n acest scop lentila P
+
este e#citata la
curenti mici, iar apertura obiectiv este plasata in 'urul fasciculului nedeviat
pentru a produce conditiile favorabile contrastului de difractie. (iagrama
+3
traiectoriilor electronice, corespun!atoare obtinerii unei imagini de difractie,
este repre!entata sc0ematic in figura 8.+.b.
)ig.8.8
=n figura 8.8 este pre!entata o sectiune transversala printr-un microscop
electronic de transmisie de tip N*7-+,, 5 in care se observa principalele parti
componente ale acestuia: tunul electronic (+$ anodul (8$ lentila condensoare
(;$ diafragma condensor (.$ a doua lentila condensoare (9$ suportul probei
(3$ diafragma obiectiv (A$ lentila obiectiv (?$ diafragma pentru
microdifractie (F$ lentila intermediara (+,$ lentila proiectoare (++$
binocularul (+8$ ecranul (+;$ camera fotografica (+..
=n tabelul 8 sunt pre!entate comparativ caracteristicile unor microscoape
electronice de transmisie moderne.
+A
2.2 $ormarea ima"inii
2a!ele fi!ice ale microscopiei electronice prin transmisie sunt
determinate pe de o parte de interactiunea campurilor electromagnetice,
produse in lentile, cu electronii, care influentea!a parametrii electronooptici ai
instrumentului, si pe de alta parte de interactiunea electronilor cu proba de
investigat. @ltimul factor 'oaca rolul 0otarator in formarea imaginii in
microscopia electronica.
(uap cum s-a aratat anterior, electronii sunt puternic imprastiati de
corpurile solide$ deci pentru ca electronii sa poata traversa proba este necesar
ca aceasta sa aiba o grosime suficient de mica, iar electronii sa posede energii
suficient de mari.
=nteractiunea electronilor cu substanta poate conduce la doua tipuri de
imprastiere (v.cap..$ imprastiere inelastica si imprastiere elastica.
=mprastierea inelastica re!ulta in urma ciocnirii flu#ului de electroni cu
OnoriiP electronici ai atomilor substantei imprastietoare ceea ce duce la
pierderea unei parti din energia fasciculului, cu sc0imbarea corespun!atoarea a
lungimii de unda asociata. *nergia pierduta se regaseste sub forma de energie
termica, care ridica temperatura probei, sau sub forma de energie a fotonilor
de radiatii 6 emisi de proba.
=mprastierea elastica se produce fara pierderea de energie si variatie a
lungimii de unda a electronilor, aparand ca re!ultat al devierii electronilor sub
actiunea nucleelor atomice din substanta imprastietoare.
=ntrucat intensitatea imprastierii electronilor pe nuclee este mult mai
mare decat cea a imprastierii pe norii electronici, contributia imprastierii
elastice la imprastierea totala va fi mult mai mare decat cea corespun!atoare
imprastierii inelastice. (e asemenea, imprastierea elastica a fasciculului
electronic creste cu cresterea numarului de ordine al elementului respectiv.
4vand in vedere cele mentionate anterior, datorita imprastierii,
fasciculul incident de electroni, paralel si cu sectiune mica, devine dupa
traversarea probei un fascicul divergent mult largit. 4stfel electronii
imprastitati vor forma un con spatial a carui a#a este repre!entata de traiectoria
nedeviata a fasciculului incident.
Cu cat este mai mic ung0iul conului sub care sunt deviate electronii de
la directia initiala, cu atat mai mare va fi densitatea electronilor imprastiati,
deci implicit a electronilor care vor atinge in final ecranul sau placa
fotografica. =n general, imprastierea electronilor, deci marimea ung0iului
conului de deviatie, este influentata de densitatea substantei imprastietoare si
de grosimea probei. Prin cresterea grosimii sau densitatii probei, fractia de
electroni imprastiati la ung0iuri mari creste. 4celasi fenomen se observa si la
micsorarea energiei electronilor incidenti. (atorita acestui fapt, in microscopia
electronica prin transmisie, probele au grosimi de cateva sute de angstrQmi la
energii ale fasciculului electronic de 9, G +,, :e-. =n aceste conditii,
+?
fasciculul electronic este imprastiat la ung0iuri mici, de ordinal a +R, iar
dispersia energetica la traversarea probei nu depaseste +, e-.
=maginea elecrono-optica a obiectului se formea!a prin intermediul
lentilei obiectiv cu a'utorul electronilor imprastiati. )asciculul paralel, format
in tunul electronic si lentilele condensoare, contine electroni de apro#imativ
aceeasi energie (fascicul monocromatic.(upa traversarea probei, fasciculul
emergent contine electroni deviati sub ung0iuri diferite. @lterior, acest fascicul
electronic transmis intra in lentila obiectiv, preva!uta cu o diafragma circulara
cu desc0idere de ,,,;-,,,. mm, care 'oaca un rol important intrucat opreste
electronii deviati la ung0iuri mai mari decat desc0iderea sa.
*lectronii care nu trec prin diafragma nu vor participa la formarea
imaginii in timp ce electronii nedeviati sau slab deviate vor trece prin lentila
obiectiv si vor forma pe ecranul fluorescent imaginea electronooptica a
obiectului de studiat (fig. +,.
Probele supuse investigarii electrono-microscopice sunt de obicei
ase!ate pe straturi suport care imprastie mult mai slab electronii decat proba,
deci pe un fond luminos se va obtine imaginea mai intunecata a probei.
=maginea obtinuta astfel se numeste imagine in camp luminos (fig. +,a.
)ig.8.8
@n alt tip de imagine care se poate obtine in microscopul electronic prin
transmisie este imaginea in camp intunecat ( Odar: fieldP, unde pe un fond
intunecat se obtine imaginea luminoasa a obiectului. =n acest ca!, fasciculul
electronic cade pe proba sub un anumit ung0i fata de a#a optica a
microscopului, in asa fel incat electronii nedeviati sa fie stopati (absorbiti de
diafragma, prin desc0iderea acesteia trecand si formand imaginea doar
electronii care au suferit o imprastiere (difractie suficient de intensa in proba
(fig. +,b. 4stfel, portiunile cele mai dense si mai groase vor aparea pe ecran
cele mai luminoase, iar detaliile slab imprastietoare vor fi cele mai intunecate.
Pentru formarea imaginii in camp intunecat se poate utili!a fie
inclinarea sistemului de iluminare (tunului electronic, fie deplasarea
diafragmei din po!itia sa centrala. =maginea in camp intunecat are o re!olutie
ceva mai slaba decat cea in camp luminos, intrucat la obtinerea sa participa
+F
electronii imprastiati la ung0iuri mari, cu o dispersie energetica relativ mare,
ceea ce determina cresterea aberatiilor cromatica si sferica ale lentilei obiectiv.
*ste interesant de observat ca, desi imaginea in camp intunecat poate fi
considerata ca un negativ al imaginii in camp luminos, totusi e#ista o serie de
detalii fine care nu coincid in cele doua tipuri de imagini. (in acest motiv, cele
doua metode de obtinere a imaginii in camp luminos si intunecat sunt utili!ate
complementar.
)ormarea imaginii unor seturi de plane ale retelei cristaline in probe
metalice a fost posibila prin trecerea prin apertura lentilei obiectiv atat a
fasciculului direct transmis cat si a fasciculelor difractate pe respectivul set de
plane. =maginea formata poate fi considerata ca un tip de imagine de
interferenta, utili!ata curent ca test de re!olutie pentru microscopul electronic.
2.3 $ormarea contrastului
(atorita neomogenitatii probei, diferitele sale !one vor imprastia
electronii in mod diferit. =ntrucat stralucirea imaginii va depinde de cantitatea
de electroni care cad pe ecran, densitatea minima de electroni pe ecran va
corespunde acelor detalii ale probei, cu cu grosime si densitate ma#ima,
repre!entand !one de imprastiere puternica. 4ceste detalii ale probei vor
aparea in imagine mai intunecate. =nvers, unele detalii slab imprastietoare ale
probei vor apare pe ecran ca !one mai luminoase.
(iferenta de stralucire intre !one invecinate ale imaginii probei
defineste contrastul imaginii in microscopia electronica. Pentru obtinerea
contrastului in imagine pe ecranul fluorescent este necesar ca densitatea
electronilor sa nu fie aceeasi pe sectoarele corespun!atoare diferitelor detalii
ale obiectului, ceea ce va face ca aceste sectoare sa apara distincte. =n ca!ul
contrar, al unei densitati egale de electroni, ecranul se va lumina uniform,
neaparand deci nici o imagine.
Contrastul imaginii creste cu cresterea diferentelor de densitate si
grosime in diferitele !one ale obiectului si cu micsorarea desc0iderii
diafragmei lentilei obiectiv si a tensiunii de accelerare. =ntr-adevar, cresterea
tensiunii de accelerare produce cresterea vite!ei elctronilor si, prin urmare,
micsorarea imprastierii lor, ceea ce va slabi contrastul in imagine.
@n contrast foarte bun va permite observarea celor mai fine detalii
e#istente in structura probei.
(in punct de vedere cantitativ, in microscopia electronica prin
transmisie,, contrastul dintre doua !one diferite ale probei este dat de diferenta
relativa a numarului de electroni care trec prin diafragma dupa imprastierea in
cele doua !one$ deci intensitatea contrastului, H, se defineste prin
8,
+
8
+
8 +
+
,
,
,
, ,
- =

=
, (+F
unde E
+
si E
8
repre!inta numarul de electroni pe unitatea de suprafata
proveniti din cele doua !one invecinate ale probei.
=n ca!ul probelor de grosimi mici, un calcul ba!at pe proportionalitatea
numarului de electroni imprastiati cu numarul de electroni incidenti si cu
grosimea probei, duce la urmatoarea relatie:
( )
+ 8
. .
/
, -
/
=

, (8,
unde E
4
este numarul lui 4vogadro, 4 masa atomica, S densitatea, T
capacitatea de imprastiere a electronilor de catre un anumit tip de atomi sub un
ung0i mai mare decat cel al diafragmei lentilei obiectiv, iar #
+
si #
8
sunt
grosimile !onelor respective din proba. 7arimea

/
, /U =
repre!inta
coeficientul de transparenta al probei fata de fasciculul de electroni.
(in relatia (8, re!ulta ca , la grosimi foarte apropiate, diferenta de
contrast este legata e#clusiv de diferenta dintre numerele atomice si masele
atomice caracteristice elementelor din proba. =n ca!ul unei probe care contine
acelasi tip de atomi, contrastul depinde numai de variatia grosimii probei.
(in punctual de vedere al formarii contrastului e#ista o diferenta
principiala intre microscopul electronic prin transmisie si microscopul optic
obisnuit. =n microscopul optic, contrastul apare din cau!a absorbtiei diferite a
luminii in !onele invecinate ale probei. =n microscopul electronic, contrastul se
formea!a pe ba!a imprastierii diferite a electronilor in portiuni adiacente din
proba.
=n probele amorfe (fara structura cristalina, deci cu o distributie 0aotica
a atomilor substantei, fasciculul de electroni sufera o imprastiere de!ordonata
pe nucleele atomice avand ca re!ultat devierea de la directia initiala. O fractie
oarecare din flu# patrunde prin diafragma, ceea ce conduce la formarea in
imagine a unui contrast slab, numit contrast de absorbtie.
=n ca!ul probelor cristaline, constratul imaginii in microscopia
electronica prin transmisie este in principal un contrast de difractie0 deoarece
grosimea mica a probelor si tensiunile mari de accelerare fac ca absorbtia
electronilor sa 'oace un rol negli'abil.
Contrastul de difractie este legat de imprastierea prin difractie a
electronilor pe planele retelei cristaline dupa anumite directii preferentiale
( aceasta problema va fi anali!ata in cap.8.9. *lectronii din fasciculul primar,
difractati sub anumite ung0iuri, modifica densitatea de electroni care formea!a
imaginea, ceea ce e#plica aparitia contrastului de difractie. =ntrucat, de obicei,
ung0iurile sub care electronii sunt difractati depasesc ung0iul de desc0idere al
8+
diafragmei lentilei obiectiv, !onele cristaline din imaginea in camp luminos
vor aparea mult mai intunecate decat cele amorfe.
Contrastul de difractie este dependent de tensiune ade accelerare si de
particularitatile de difractie ale obiectului (gradul de cristalinitate, orientarea
cristalografica, numerele atomice ale elementelor din proba, grosimile
diferitelor !one ale probei.
=n ca!ul in care reteaua cristalina are defecte (dislocatii, defecte de
impac0etare, pori, granite intercrstaline, limite de macle, conditiile locale de
difractie vor fi alterate, fata de ca!ul unei periodicitati ideale a retelei
cristaline, ceea ce va permite evidentierea acestor defecte prin metoda
contrastului de difractie. Concomitent poate fi evaluata densitatea si distributia
diferitelor tipuri de defecte in proba studiata.
2.4 Prepararea probelor
8...+ 1etode de preparare a probelor fizico*metalurgice
Probele preparate pentru microscopia electronica prin transmisie trebuie
sa tina seama, in privinta grosimii, de tensiunea acceleratoare, pentru ca
transmisia electronilor sa se faca fara pierderi energetice e#cesive. =n general,
pentru tensiuni acceleratoare pana la +,, :-, grosimea probelor poate varia
intre +,,J si +,,,J , in functie de natura materialului si caracterul studiului
intreprins.
=n principiu se disting doua tipuri diferite de metode de pregatire a
probelor in functie de scopul urmarit in cadrul investigatiilor structurale:
metode de studiu a topografiei si morfologiei suprafetei si metode in vederea
e#aminarii structurii interne.
a2 metode de preparare a probelor pentru studiul topografiei si
morfologiei superficiale. @na dintre te0nicile cele mai utili!ate pentru
investigarea suprafetelor este metoda replicilor. 4ceasta metoda consta in
depunerea pe suprafata probei investigate a unui strat subtire de substanta, care
apoi se separa de proba, constituind o replica care se studia!a in microdcopul
electronic prin transmisie, tinand seama ca replica repre!inta o copie negativa
a topografiei suprafetei. Principala cerinta a unor replici de calitate este
preluarea e#acta prin replicare a topografiei superficiale a probei. 5e pot
obtine replici de pe suprafete rugoase, de pe suprafete de rupere (fractura sau
de pe suprafete poli!ate si lustruite, atacate c0imic, electroc0imic sau prin
bombardament ionic. =n ca!ul suprafetelor atacate, morfologia unor
constituent9i sau fa!e secundare poate fi usor relevata datorita ratei diferite de
atac a acestora in rapot cu matricea.
=n functie de natura si propietatile materialelor investigate e#ista mai
multe tipuri de replica: + replici in plastic$ 8 replici obtinute prin evaporare$
; replici obtinute prin o#idare.
88
<eplicile in plastic se obtin prin depunerea pe suprafata probei a unei
solutii de material plastic intr-un solvent organic corespun!ator. (upa
evaporarea solventului, pe suprafata probei ramane un strat de lac solid si
subtire, care se poate desprinde de proba pe cale mecanica sau c0imica (prin
di!olvarea probei. =n acest scop se utili!ea!a curent solutii de ,,9 G 8V
colodiu in acetat de amil sau +-9V formvar in dio#in. @neori aceste replici
sunt insa putin transparente pentru fasciculul de electroni si contrastul in
imagine este sca!ut.
7ult mai utili!ate sunt replicile obtinute prin evaporare care confera in
general re!olutii inalte si contrast ridicat. =n mod obisnuit aceste replici se
obtin prin evaporarea termica in vid a carbonului in instalatii speciale de
evaporare.
<eplicile o#idice pot fi obtinute numai in ca!ul unor metale si alia'e
care se o#idea!a usor ( de e#emplu aluminiul si alia'ele sale. 5tratul de o#id
se poate obtine de e#emplu ca re!ultat al unui proces de electroli!a si se
desprinde de proba intr-un solvent corespun!ator, fiind apoi ase!at pe un
suport special pentru studiul direct in microscopul electronic.
)recvent, in functie de numarul etapelor parcurse pentru obtinerea
preparatului de studiat, metodele de pregatire a replicilor ( replicare se
clasifica in :
- metode de replicare cu o singura treapta$
- metode de replicare cu doua trepte.
=n prima metoda ( fig. ++a se obtine replica direct de pe suprafata
investigate, asa cum s-a descries anterior, aceasta copie negativa fiind studiata
ulterior in miocroscopul electronic prin transmisie.
=n a doua metoda (fig.++b, replica se obtine in doua etape: la inceput
se obtine o replica intermediara groasa ( matrita de pe suprafata probei, iar
ulterior, dupa separarea mecanica a acesteia, se pregateste replica finala
( pre!entand acelasi microrelief ca si proba initiala printr-un procedeu
asemanator primei metode. =n acest scop, se e#ecuta evaporarea de carbon in
strat subtire pe suprafata matritei, urmand ca replica finala de carbon sa se
separte de matrita de plastic prin di!olvarea acesteia intr-un solvent organic.Ca
materiale plastice pentru matrite se pot utili!a: polistirol, formvar, colodiu sau
celulo!a, iar ca silventi tipici pentru acestea se folosesc: ben!ol, dio#in, acetat
de amil si acetona.

<eplica monotreapta <eplica in doua trepte <eplica de e#tractie
8;

a b c
)ig. 8.;
Contrastul in imaginea microscopica este neomogen in diferitele portiuni ale
replicii, in functie de microrelieful suprafetei probei. =n unele ca!uri,
contrastul poate fi atat de slab, incat unele detalii investigate nu pot fi distinse
pe fondul general al imaginii. Pentru intensificarea contrastului se utili!ea!a
metoda umbririi cu metale grele care au o putere mai mare de imprastiere a
electronilor. =n principiu, metoda consta in depunerea prin evaporare in vid ,
sub anumite ung0iuri fata de suprafata probei, a unor straturi subtiri de metal.
(epunerea are loc prin incal!irea electrica a materialului metalic intr-o spirala
sau cosulet de /olfram sau tantal care se montea!a in acelasi dispo!itiv de
evaporare mentionat.
Particulele de metal formea!a straturi cu grosimi diferite, in functie de
ung0iul format de diversele portiuni al replicii in directia flu#ului particulelor
evaporate. Conele din relieful repl:icii, care se afla situate normal pe directia
flu#ului, vor fi acoperite cu un strat mai gros de metal, spre deosebire de
celelalte !one unde grosimea stratului va depinde de ung0iul de inclinare.
Portiunile mascate de alte elemente de relief vor fi O umbiteP, deci in acele
!one nu se va depune metal. 4ceste regiuni vor fi mai transparente la electroni
si, deci, in imaginea electrono-miocroscopica mai luminoasa decat portiunile
acoperite cu un strat mai gros de metal, unde lumino!itatea va fi in functie de
grosime acestuia.
7etoda umbririi permite valoarea inaltimii h a elementelor de
microrelief prin masurarea lungimii OumbrelorP lasate de acestea pe imagine,
cu a'utorul relatiei:

tg h l U =
, (8+
unde l este lungimea O umbreiP, iar W ung0iul sub care s-a facut OumbrireaP.
8.
Prin urmare, in ca!ul unor detalii de dimensiuni mari, se vor utili!e
ung0iuri de cca .9R, raportul inaltime-umbra fiind in acest ca! de +:+, iar in
ca!ul unor detalii mai fine ale reliefului se recomanda folosirea unor ung0iuri
mici de umbrire de pana la +,-+8R.
7etalele grele cele mai utili!ate pentru umbrire sunt: crom, aur, platina,
alia'e de platina cu paladiu sau aur, uraniu, o#id de uranium, o#id de /olfram
etc.
@n tip special de replici il constituie repliocile de e.tractie ( fig.++c,
care sunt replica obisnuite e#trase de pe suprafete atacate c0imic un timp mai
indelungat, deci in replica vor fi retinute doar microparticule sau fa!e i!olate.
7icroparticulele sau fa!ele e#trase isi vor pastra morfologia si locali!area, iar
prin te0nici de microdifractie sau microanali!a se va putea preci!a natura
acestora.
O alta metoda de preparare pentru investigarea suprafetelor prin
microscopie electronica prin transmisie este metoda decorarii care consta in
depunerea prin evaporare de scurta durata pe suprafata probei a unor germeni
cristalini metalici, care vor forma aglomerari sau lanturi de particule in !onele
continand defecte cristaline, pe care le O decorea!aP, marcand pre!enta si locul
acestora in imagine. Prin metoda decorarii este posibila vuali!area directa a
acelor elemente de relief superficial care constituie centre electric active sau
concentratoare de tensiuni. (e asemenea, se poate urmari evolutia defectelor
respective ca re!ultat al diverselor interactiuni fi!ico-c0imice.
%oate tipurile de replici, fiind de grosimi reduse si, in general, fragile,
sunt ase!ate pe suporti metalici sub forma de retea, avand u!ual un diametru
de cca ;mm.
b metode de preparere a probelor in !ederea e.aminarii structurii
interne. O mare varietate de metode a fost propusa pentru reducerea grosimii
probelor pana la obtinerea unor folii subtiri, cu grosimi adecvate investigatiilor
electrono-microscopice. 5traturi subtiri au fost obtinute prin evaporare si
depunere in vid, sau prin pulveri!are cu fascicule ionice a materialului
respective pe suporti convenabili. @nele cristale ( de e#emplu mica pot fi
direct clivate la grosimi suficient de subtiri, pentru a permite e#aminarea in
microscopul electronic prin transmisie.
7etodele curente de obtinere a unor probe cu grosimi sub ,,9mm
constau in taierea mecanica, ero!iunea c0imica sau electroc0imica. 7aterialele
ceramice pot fi de asemenea subtiate prin utili!area bombardamentului ionic.
=n final, probele cu grosime redusa trebuie sa fie aduse la Otransparenta
electronicaP printr-un process controlat de poli!are electrolitica.
*lectropoli!area se efectuea!a prin doua te0nici standard: metoda ferestrei si
metoda 2ollmann.
=n prima metoda, proba acoperita cu un lac protector in !ona marginilor,
pentru a preveni un atac c0imic e#cesiv, este suspendata intr-un electrolit. =n
fata probei, care constituie anodul, se afla catodul confectionat din acelasi
89
material. 4plicand o tensiune si o densitate de curent adecvate, in OfereastraP
constituita de !ona nelacuita a suprafetei probei se formea!a gauri, pe
marginea carora sau intre care se afla portiuni transparente pentru fasciculul
electronic, acestea din urma putand fi decupate si studiate in microscop.
=n metoda 2ollmann, proba de subtiat (anodul se afla intre doi cato!i de
otel ino#idabil ascutiti. 4cesti doi electro!i sunt plasati la cca ,,9mm de
centrul suprafeti probei. (upa obtinerea unei perforatii, proba este deplasata
astfel incat electro!ii sa se afle intre perforatia anteriaoa si marginea cea mai
apropiata a probei. 5ubtierea continua in acelasi regim, pana in momentul in
care marginile perforatiei si probei aproape se unesc. Cona foliei cuprinsa intre
cele doua margini poate fi taiata si e#aminata direct in microscop.
5olutiile de electroliti se aleg in functie de natura materialului iar
regimul de subtiere electrolitica( tensiune, densitate de curent este variabil si
necesita uneori lucrul la temperature fie sca!ute, fie ridicate. @n e#emplu tipic
de electrolit, utili!at pentru subtierea otelurilor ino#idabile, este cel format din
.8V X
;
PO
.
, ;.V X
8
5O
.
si 8.V X
8
O, intr-un regim de poli!are caracteri!at
prin @D ?-F -, =DF-+,4, tD;,R -3,R C .
(upa cum s-a mentionat anterior, stratul subtiri metalice sau ceramice
pot fi obtinute prin procedee de depunere prin evaporare in vid, prin
pulveri!are catodica sau cu fascicule ionice, prin depunere electrolitica, sau
prin depunere c0imica in fa!a de vapori (C-(. 5traturile obtinute de grosimi
variabile pot fi mono sau policristaline. )actorii esentiali pentru controlul
dimensiunii grauntilor, orientarea cristalografica si compo!ia c0imica a
straturilor depuse sunt: vite!a de depunere, temperature suportului, natura
c0imica a suportului si stratului. =n calitate de suport se utili!ea!a curent
0alogenuri alcaline, carboni, sticla, mase plastice etc.
8...8 1etode de prepare in domeniul biomedical
(eoarece probele biologice sunt e#treme de fine si au re!istenta
mecanica sca!uta, obtinerea preparatelor biologice necesita utili!area unor
metode specifice de pregatire. =n functie de natura preparatelor biologice
( suspensii continand virusuri sau bacterii, sectiuni ultrafine de tesuturi, replici
ale unor probe biologice se adopta diverse te0nici de preparare, avand in
vedere faptul ca grosimea probei nu trebuie sa depaseasca +,, nm la o
tensiune acceleratoare de +,, :-. =n foarte putine ca!uri ( virusuri, organite
subcelulare i!olate grosimea este suficient de mica pentru observare directa.
5uspensiile pot fi depuse pe grilele suport (discuri de retea metalica
acoperite cu un strat subtire organic lipsit de structura prin pipetare, adsorbtie,
intindere sau pulveri!are.
83
%e0nicile de replicare ale probelor biologice sunt similare cu cele
descrise in 8...+. =n multe ca!uri, replicare este precedata de o operatie de
uscare prin congelare (Ofree!e-drKingP sau corodare prin ing0etare (Ofree!eG
etc0ingP. Pentru marirea constratului preparatelor biologice se utili!ea!a
metali!area sau umbrirea cu maetale grele prin evaporare in vid. =nvestigarea
aspectelor morfologice implica metali!area pentru observarea
electronomicroscopica a virusurilor, bacteriilor, structurilor subc#elulare sau
macromoleculare (aci!i nucleici, proteine, en!ime.
Principalele etape de preparare a unor sectiuni ultrafine de probe
biologice sunt: fi.area0 deshidratarea0 inglobarea si sectionarea. 5copul
principal al intregii proceduri este de a produce felii subtiri de preparat in care
structura fina sa fie conservata cu o alterare minima fata de realitatea
biologica.
Fi.area are ca scop stabili!area organi!arii celulare astfel incat relatiile
ultrastructurale sa fie pastrate in cursul etapelor ulterioare de des0idratare,
inglobare si e#punere la fasciculul electronic. )i#area poate avea loc Oin vivoP
(pe viu sau imediat dupa moartea organismului. 7entionam printre agentii de
fi#are curent utili!ati: tetrao#idul de osmium, alde0idele (in special
glutaralde0idele, acetatul de uranil.
3eshidratarea se efectuea!a imediat dupa fi#are. Cei mai folositi agenti
de des0idratare sunt etanolul si acetona. =ntrucat rasinile poliesterice utili!ate
ca mediu de inglobare, sunt insolubile in etanol, probele sunt des0idratate in
acetona sau in etanol cu utili!area unei trepte intermediare de des0idratare in
stiren sau acetona.
(nglobarea se aplica in stadiul final de preparare a unei probe biologice$
pentru obtinerea prin taiere a unor sectiuni subtiri, proba este infiltrata cu un
mediu de inglobare lic0id care produce prin polimeri!are un corp solid. @n
mediu ideal de inglobare trebuie sa fie solubil in etanol sau acetona inaintea
polimeri!arii, san u altere!e proba fi!ic sau c0imic, sa se durifice uniform, dar
sa ramana totusi destul de plastic in vederea taierii sis a fie relativ stabil la
bombardament electronic. Principalele tipuri de medii de inglobare sunt
rasinile epo#idice, rasinile poliesterice si metacrilatii, primele fiind cele mai
des folosite.
Sectionarea se face cu aparate speciale numite ultramicrotoame, care
taie felii subtiri de ,,,+-,,8 Lm din blocul de inglobare continand tesutul de
studiat. %aierea se face cu cutite speciale de sticla sau diamante.
=n scopul imbunatatirii contrastului si re!olutiei se utili!ea!a metode
speciale, cum ar fi: colorarea po!itiva, colorarea negativa si umbrirea sau
metali!area.
Colorarea po!itiva consta in impreganarea structurilor biologice cu un
colorant compus din saruri ale unor metale grele. (eoarece fiecare tip de
molecula pre!inta o afinitate c0imica caracterisrica fata de colorant,
imprastierea electronilor de catre atomii grei ai colorantului va fi diferita, in
8A
functie de cantitatea de colorant retinuta de molecula respective. Pre!enta
ionilor metalice mareste densitatea specifica a preparatului, ceea ce implica o
marire a contrastului in imaginea electrono-microscopica, conform relatiei
(8,. Colorantii cei mai utili!ati sunt sarurile de uraniu, de plumb, de t0orium,
de lantan, etc.
Colorarea negativa, metoda larg utili!ata in studiul virusurilor,
microorganismelor si fractiunilor celulare, consta in plasarea preparatului
biologic intr-o solutie care contine un pigment cu putere foarte mare de
imprastiere si care nu reactionea!a c0imic cu preparatul. (intre substantele
utili!ate ca pigmenti amintim fosfotungstenatii, acetatul de lantan, /olframatul
de sodium , acetatul de uranil, etc.
7etali!are sau umbrirea este o metoda descrisa de'a in 8...+.. =n scopul
evidentierii aspectelor morfologice ale unor preparate biologice ca virusuri,
bacterii, structuri celulare sau macromoleculare (aci!i nucleici, proteine,
en!Kme, pentru evaporate in vid se utili!ea!a metale cum ar fi: aur, alia' aur-
paladiu, o#i!i de uraniu, platina-carbon etc..
2.% &ifractia de electroni
(atorita proprietatilor ondulatorii ale electronilor, la trecerea acestora
prin reteaua cristalina a probelor, are loc un fenomen de imprastiere dupa
anumite directii, numit difractie. *lectronii imprastiati formea!a, prin
suprapunere, ma#ime de difractie a caror po!itie ordonata corespunde
distributiei regulate a atomilor in reteaua cristalina. 4stfel, ca urmare a
difractiei electronilor, se obtine pentru fiecare substanta o imagine de difractie
caracteristica, care permite identificarea structurii si naturii probei investigate.
Considerand, intr-o prima apro#imatie, difractia electronilor ca un
re!ulata al refle#iei fasciculului electronic pe unele plane atomice ale retelei
cristaline, se poate stabili, pe ba!a directiei fasciculelor difractate, oreintare in
spatiu a acestor plane, ceea ce ec0ivalea!a cu legea de difractie descoperita de
I. X. 2ragg:
2dsin4 5 n6. (88
=ntr-adevar, in fig.+8 se observa ca, daca un fascicul de electroni cade
pe un cristal sub ung0iul Y fata de un set de plane cristalografice-complet
caracteri!ate ca po!itie spatiala prin trei numere denumite indici 7iller ( h0&0l2
G situate la distanta interplanara d, atunci difractia se produce, conform legilor
din fi#ica clasica, daca drumul electronilor reflactati de plane atomice
adiacente difere cu un numar intreg de lungimi de unda.
8?
)ig. 8..
(aca ra!a difractata pleaca de la planul de refle#ie sub ung0iul Y, atunci
diferenta de drum a ra!elor, nZ., care corespunde drumului suplimentar parcurs
de fiecare ra!a in raport cu precedenta (distanta 42C va fie gala cu 2dsin4,
ceea ce repre!inta legea lui 2ragg (88 mentionata anterior.
)enomenul de difractie a electronilor pre!inta o mare similitudine cu
fenomenul de difractie a radiatiilor 6 in cristale. %otusi difractia electronilor
pre!inat o serie de particularitati legate de lungimile de unda mici associate
electronilor si de imprastierea lor puternica pe atomii retelei. 4stfel se e#plica
faptul ca dimensiunea limita a particulelor cristaline care formea!a imagini de
difractie corespunde la cca +,
8
G +,
;
J pentru electroni si la cca +,
;
G +,
3
J
pentru radiatiile 6. (e asemenea, cu a'utorul difractiei de elctroni se pot studia
straturi foarte subtiri de substanta (grosimi intre 8, si +,,, J, fapt dificil de
reali!at prin investigatii roentgeno-structurale.
Cea mai simpla camera de difractie a electronilor consta dintr-un tun
electronic, o lentila obiectiv, proba si ecranul de observare (fig. +;. Eotand cu
< distanta dintre pata centrala, corespun!atoare fasciculului electronic incident
nedifractat, si un ma#im de difractie, eset evident din figura ca:
R 5 % tg 240 (8;
unde 1 este lungimea camerei de difractie (in principiu, distanta proba-ecran.
7asurand < si 1 se poate calcula ung0iul de imprastiere Y. 4poi, cu a'utorul
relatiei lui 2ragg, se poate determina distanta interplanara d, cunoscand
lungimea de unda Z calculata conform relatiei (;. (eoarece ung0iul Y este
foarte mic, in general, relatiile (88 si (8; pot fi apro#imate prin:
2d4

n6. (8.
si, respectiv,
8F
R % 24. (89
=nlocuind valoare ung0iului Y din relatia (8. in relatia (89 se obtine:
Rd 5 % 6 (83
)ig.8.9
4ceasta formula este des utili!ata in interpretarea imaginilor de difractie
a electronilor.
(upa cum s-a mentionat in 8.;, in planul focal posterior al lentilei
obiectiv este ase!ata o aperture care produce contrastul de difractie in
imaginea electrono-microscopica. (aca in planul imaginii intermediare,
formata de lentila obiectiv, sunt plasate aperturi de difractie care selectea!a o
!ona restransa a probei, atunci se poate obtine o imagine de difractie asociata
acestei arii. 4ceasta te0nica se numeste micro*difractie sau difractie pe arie
selectata si are numeroase aplicatii practice, permitand identificarea
cristalografica si a naturii c0imice a unor particule i!olate, precipitate, fa!e
secundare etc., vi!uali!ate de'a prin microscopie electronica. 5imilar difractiei
radiatiilor 6 este posibila determinarea cu o preci!ie relativ buna (,,+V a
parametrilor retelei cristaline.
=maginile de difractie electronica au un caracter dependent de natura
probei si de metoda de obtinere a imaginii. 4stfel, e#ista urmatoarele tipuri de
imagini de difractie obtinute la trecerea fasciculului electronic prin proba:
a2 (magini de difractie associate monocristalelor, in care ma#imele de
difractie apar sub forma unor puncte i!olate, provenite de al familiile de plane
G e#istente in proba monocristalina- caracteri!ate de aceiasi indici 7iller (fig.
+.a. 5imetria dispunerii ma#imelor de difractie punctuale in imagine este
direct legata de simetria structurii cristaline a materialului din proba.
b2 (magini de difractie associate probelor policristaline, in care
ma#imele de difractie se pre!inta sub forma unor inele concentrice luminoase
pe fond intunecat, re!ultat al pre!entei unui numar mare de cristalite in proba
cu orientari diferite in spatiu. =n acest ca! fasciculul primar intalneste un
numar mare de plane cristaline, apartinand aceleiasi familii, iar fasciculele
;,
difractate se vor ase!a pe pan!ele unor conuri avand drept a#a fasciculul
primar nedeviat. (in intersectia acestor conuri cu ecranul de observare re!ulta
inelele de difractie observate in figuar +.b.
)ig. 8.3
c2 (magini de difractie pe probe te.turate, in care apar o serie de arce de
cerc a caror lungime este proportionala cu gradul de te#turare. Prin grad de
te#turare al unei probe policristaline se intelege procentul statistic ma'oritar de
cristalite orientate dupa o directie comuna [h&l\.
;+