Procedeul LIGA

Pentru obţinerea microstructurilor metalice si din polimeri, dezvoltate în spatiu, pe 2 ½ axe si

pe 3 axe, cu raport mare între înălţimea şi dimensiunea lor în plan a fost făcut cunoscut procedeul
LIGA.

Numele procedeului este un acronim al denumirilor în limba germană ale metodelor de lucru
pe care se bazează procedeul: Lithographie, Galvanoformung, Abformung.

8.1 Descrierea procedeului pentru structuri spatiale 2 ½ D şi 3D.

Spre deosebire de procesele de microstructurare superficială a siliciului , pe care s-au bazat

celelalte prelucrari micromecanice , la aplicarea procedeului LIGA grosimea stratului de reyist
corespunde cu înăltimea dorită a microstructurii , deci va fi de câteva sute de micrometri.Substratul se
preferea a fi metalic,iar daca este un dielectric sau semiconductor –el va fi acoperit înainte cu un strat
metalic subţire care să-i confere propieteţi conductive.

Zonele expuse radiatiei X vor deveni uşor solubile în developant, deci PMMA lucreayă ca un
rezist pozitiv.

1
 8.2. Masca pentru radiaţie X sincrotronică

Are trei componente distincte:

-un suport cu cât mai mare transparenţa la radiaţia X

-pentru asigurarea contrastului e necesar un material absorbant care să poată avea o
grosime cât mai mare.
-o ramă care să asigure ridicitatea mecanică necesară poziţionarii

Structura absorbanta poate fi abţinuta prin procedee substractive sau aditive – acestea din urmă
asigurând o rezolutie mai bună.

Pentru configurarea structurii absorbante de grosime mare este nevoie de o mască

intermediara. Principalele etape ale tehnologiei de realizare a maşti sunt:

-obţinerea suportului

-structurarea stratului de rezist pentru masca intermediară

-depunerea galvanică a structurii absorbante;

-copierea măştii intermediare pe masca de lucru .

Realizarea maştii intermediare are ca suport al structurii absorbante o membrana de siliciu.

Stratul intermediar metalic se foloseşte ca mască pentru structurarea stratului de reyist de bază
cu grosimea de 1500µm.

Masca de lucru are o structură asemănătoare cu a maştii intermeiare cu o singura deosebire că

structura absorbantă are o înaltime mult mai mare.

Structurarea stratului gros de PMMA se face printr-o succesiune de expuneri şi developări

repetate.Grosimea maxima ce poate fi structurată la o expunere este de aproximativ 100µm

Aplicarea unui strat uniform şi de grosime mare pana la 1 mm de rezist se face prin turnarea şi
uniformizarea prin laminare a unui monomer, urmata de polimerizarea acestuia la termperatură înaltă.

Plăcile destinate aplicarii procedeului LIGA sunt pregătite separat în laboratoare specializate.

8.3.Depunerea galvanică pentru obţinerea microstructurilor.

Stratul gros de PMMA depus şi developat poate constitui el însuşi o microstructură din
polimer.

2
 Pentru obţinerea microstructurilor metalice este necesară depunerea galvanică, folosind ca
electrod suportul metalic al maştii.

Oricare ar fi destinatia depunerii, dificultaţile ridicate de microgalvaniyare sunt:

 Aderenţă suficienta
 Depunerile metalice
 Tensiunile interne
 Lipsa de uniformizare a stratului depus
 Raportul foarte mare între înăltimea si lăţimea microstructurii
 Degajarea hidrogenului în timpul depunerii favoriyeaya formarea structurilor poroase sau
chiar structuri incomplete.
Parametrii tehnologici ai depunerii:
 pH-solutie: 4,0
 temperatura: 52C
 densitatea de curent: 1-2 A/dm2

8.4. Celula de microgalvanizare

Trebuie să asigure depunerea metalului în cele mai înguste adâncituri; de aceea anodul va fi
format din bile de nichel depolarizate introduse între-un coş.

Microstreuctura metalica astefel obţinuta poate fi utilizată ca atare sau poate constitui forma în
care va fi injectat sau presat polimerul unor viitoare microstructuri dintr-un asemenea material.

Rugozitatea şi abaterile de planitate ale părtii posterioare a formei ar putea afecta dimensiunile
şi forma microstructurii din material plastic.Există şi posibilitatea netezirii suprafeţei depuse de nichel
prin adăugarea în baia de depunere a unui agent de netezire care este un produs organic.Dezavantajul
acestui procedeu provine din faptul că agentul de neteyire este reţinut la filtrarea electrolitului prin
cărbune activ, compoyitia trebuie refăcută după filtrarea prin cărbune activ.

Prelucrarea mecanică ar putea fi necesară ulterior îndepartarii plăcii de bază numai in măsura
în care rugozitatea sa iniţială nu asigură rugozitatea şi planitatea impusă plăcii de formare.

8.5 Microinjectarea

Polimerii utilizaţi pentru obţinerea microstructurilor pot fi :

 termorigiji
 termoplastici

Parametrii tehnologici caracteristici procesului de formare a microstructurilor din polimeri :

 temperetura de formare 40C termorigizi 200C termoplastici

3
 temperatura formei 70C 25C
 presiunea de formare 10...100 bar 100 bar
 forţa de închidere a formei 50 t/m2 3000 t/m2

Instalatiile de injectare sau presare pentru etapa de formare a microstructurilor din

polimeri nu se deosebesc de cele clasice ci numai ciclul de lucru este adaptat raportului foarte
mare între adâncimea structurii şi dimesiunea sa minimă transversală.

Dacă la discurile compact raportul h/d=0,16 la structurile micromecanice obţinute prin

procedeul LIGA acest raport este cu două ordine de mărime mai mare.

Ciclul de lucru al masinii de injectat cu melc evoluează după schemă.Reducerea viteyei de

deplasare a melcului în interval faţă de momentul iniţial ca şi variaţia de presiune în acelasi
interval asigură o umplere completă a formelor celor mai complicate si c raport mare.

8.6 Aplicaţii ale procesului LIGA

În acceptiunea comună procedeul LIGA se referă exclusiv la structuri a căror înăltime

depaşeşte 100µm şi ajunge până la 1 mm.

8.6.1 Reproducerea microstructurilor spaţiale

Stratul de lac fotosensibil este uniformizat prin presare cu substratul.La expunere în UV

lacul va polimeriya şi se va întari preluand profilul suprafeţei cu care a venit în contact.
Rezultă astfel copia în negativ a originalului care poate constitui forma de reproducere a
profilului iniţial die prin injectare fie printr-o nouă galvanizare.

Pentru copierea ochiului faţetat al unei albine la capatul

unei baghete subţiri de sticlă s-a aplicat o picatură de fotolac
care a fost uşor presată pe suprafata ochiului albinei .