STAREA SUPRAFEŢELOR

3.1 Calitatea suprafeţei Noţiunea de "calitate a suprafeţei" cuprinde două aspecte

fundamentale

 Aspectul fizic corespunzător celui de calitate al stratului superficial al materialului raportat la

cel al metalului de bază în stabilirea scării de evaluare a proprietăţilor fizico -mecanice,
microstructura stratului superficial şi tensiunile remanente cauzate de prelucrare sau de tratamentul
termic final.

 Aspectul geometric care constă în indicarea scării dimensionale dintre suprafaţa reală şi cea
ideală, definită în desenele tehnice.

Suprafeţele reale ale materialelor metalice, oricât de perfecte (netede) sunt în aparenţă, , prezintă
abateri de la forma geometrică ideală a acestora sau neregularităţi denumită generic
microgeometrie, care este determinată de procedeele de prelucrare tehnologică.
Forma reală a suprafeţei poate fi caracterizată, faţă de forma ideală, prin următorii indicatori:
 înălţimea maximă a neregularităţilor ;
 pasul neregularităţilor sau distanţa dintre două neregularităţi succesive;
 raportul dintre pasul şi înălţimea neregularităţilor.
După dimensiunile lor, abaterile geometrice pot fi împărţite în patru clase, :
 abateri de ordinul I la scară macroscopică (defecte macroscopice sau abateri de formă),
 abateri de ordinul II (ondulaţii),
 abateri de ordinul III la scară microscopică (defecte microscopice sau rugozităţi)
 abateri de ordinul
IV (smulgeri, urme de
sculă şi goluri
aperiodice).

Fig. 3. 1. Abaterile suprafeţei reale în raport cu suprafaţa teoretică

Abaterile de formă sunt definite prin STAS 7384-85 şi sunt caracterizate prin înălţime mică RM (1...50
μm) în raport cu pasul de distribuţie (1000...500 000 μm), fig. 5. 1. Pentru suprafeţe plane, acestea
reprezintă defecte de planeitate, convexitate sau concavitate, iar pentru suprafeţe cilindrice ele includ
ovalizarea, forma de butoi şi hiperboloidală.
Macrogeometria suprafeţei de frecare depinde de factori legaţi de precizia geometrică realizată de
maşina unealtă, precizia cinematică şi precizia de măsurare şi control, respectiv de deformaţiile elasto-
plastice, termice sau cauzate de tensiunile interne care apar în substratul suprafeţei prelucrate.
Ondulaţiile sunt caracterizate de înălţime mică '/?o (4...8000 μm) care se repetă periodic cu un pas de
500... 500 000 μm. Acestea se produc în timpul proceselor de aşchiere datorită de formaţiilor plastice din
zona de lucru, prin vibraţiile complexului maşină/unealtă, cât şi datorită altor factori.

1
 Rugozităţile definite prin STAS 5730/2 -85 sunt defecte de înălţime foarte mică Rm
(0...500 μm) şi cu pas inferior celui al ondulaţiilor (4...8000 μm). Rugozitatea se formează în timpul
procesului de aşchiere datorită formei uneltei de aşchiere, a deformaţiilor elastice şi plastice ale metalului
îndepărtat prin aşchiere, parametrilor diferiţi ai regimului de aşchiere şi a altor factori legaţi de procesul de
prelucrare.
Rugozitatea poate fi considerată atât într-o secţiune longitudinală a suprafeţei, în direcţia de mişcare
principală de aşchiere, denumită rugozitate longitudinală, cât şi într-o secţiune transversală, în direcţia
mişcării de avans, denumită rugozitate transversală. în general, rugozitatea transversală este mai mare
decât cea longitudinală, ca urmare aprecierea calităţii suprafeţei se face prin considerarea rugozităţii
transversală în fenomenele superficiale, rugozitatea are o importanţă deosebită asupra fenomenelor de
adsorbţie, de frecare, de coroziune etc. [68].
Aceste abateri geometrice ale suprafeţelor prelucrate prin aşchiere se disting prin mărimea
raportului P/R, astfel defectele microgeometrice corespund la 0 < P/R < 50, ondulaţiile la 50 <
P/R < 1000, iar defectele macrogeometrice la P/R > 1000
Parametri şi sisteme de evaluare a rugozităţii

La definirea rugozităţii sunt considerate: suprafaţa reală, suprafaţa efectivă (suprafaţa

măsurată), care dă imaginea apropiată a suprafeţei reale obţinută prin măsurare şi suprafaţa geometrică
(suprafaţa ideală sau constructivă), definită de desen sau procedeul de fabricaţie. Prin secţionarea
suprafeţei cu un plan convenţional se obţine profilul efectiv, profilul real şi profilul geometric.
Măsurarea şi evaluarea numerică a rugozităţii suprafeţelor se efectuează în baza a două sisteme
de referinţă: sistemul M şi sistemul E, dar poate se poate folosi şi sistemul diferenţelor variabile .Sistemul
M are la bază linia medie a profilului, iar sistemul E se bazează pe curba înfăşurătoare generată prin
rostogolirea unei sfere pe suprafaţa măsurată

Fig. 3. 2. Schema de principiu pentru definirea parametrilor

suprafeţei prelucrate prin aşchiere.

În România prin STAS 5730/2-85 s-a adoptat sistemul M, fig. 3. 2, care foloseşte ca bază de referinţă
linia medie a profilului. Această linie împarte profilul efectiv în două domenii egale, astfel încât suma
ordonatelor (yi, yi , ---, yn) să fie minimă, în limitele lungimii portantă, l. Aprecierea calitativă a
rugozităţii în sistemul M se face prin următorii parametri
Abaterea medie aritmetică a profilului, R a, se defineşte ca valoarea medie a ordonatelor
punctelor profilului efectiv y,yi, ,,, ya faţă de linia medie definită prin lungimea limită portante /:

2
sau printr-o sumă discretă de termeni:

înălţimea neregularităţilor, Rz, se defineşte ca diferenţa medie aritmetică a ordonatelor celor mai înalte
cinci puncte de vârf şi media celor mai joase cinci puncte de fund ale profilului efectiv. Aceste ordonate
sunt măsurate, în limitele lungimi de bază, faţă de o linie paralelă cu linia medie situată în afara liniilor
exterioară şi interioară. înălţimea neregularităţilor este dată de relaţia:

În baza acestei relaţii Rz este un indicator al adâncimii totale a asperităţii suprafeţei.

înălţimea maximă a neregularităţilor, R max, care este definită ca distanţa dintre liniile
exterioară şi interioară.
STAS 5730/2-85 stabileşte valorile preferenţiale ale parametrilor Ra şi Rz şi lungimii portante /,
tabelul nr. 3. 1.
Tabelul 3.1 Valorile preferenţiale ale parametrilor Ra, Rz

Clasa de Ra, Rz, Lungimea portantă

rugozitate μm μm l, mm
NO 0,012 0,063 0,08
NI 0,025 0,125
N! 0,05 0,25 0,25
N2 0,10 0,5
N3 0,20 1,0
N5 0,40 2,0
N6 0,80 4,0 0,8
N7 1,60 8,0
N8 3,20 12,5
N9 6,3 25 2,5
N10 12,5 50
N11 25 100 8,0
N12 50 200
N13 100 400

Pe lângă parametrii Ra, Rz şi Rimx se mai definesc în sistemul M şi alte mărimi.

Abaterea medie pătratică, r.m.s. (root mean square), definită prin relaţia:

Lungimea portantă l (bearing length) definită prin relaţia:

3
  Adâncimea medie definită ca diferenţa dintre linia medie şi linia interioară;

 Factorul de umplere definit ca raportul dintre adâncimea medie şi înălţimea asperităţilor, Rz.
În general, pentru un profil oarecare nu există o corespondenţă între parametrii definiţi anterior,
dar în literatura de specialitate se pot întâlni unele relaţii empirice: Rmax ~ 4,5 Ra0.97
sau Rmax/ Ra = 3,5 sau a =1,15 Ra De asemenea, între mărimea toleranţei T şi înălţimea neregularităţilor Rz
există următoarele corespondenţe :
 pentru dimensiuni între 1 şi 18 mm: Rz = (0,20.. .0,25) T;
 pentru dimensiuni între 18 şi 50 mm: Rz = (0,15.. .0,20) T;
 pentru dimensiuni mai mari de 50 mm: Rz = (0,10...0,15) T.

Pentru o caracterizare cât mai completă a rugozităţii unei suprafeţe s-au mai propus şi alte mărimi
obţinute pe baza derivatei de ordinul I şi II a profilului (Myers 1962)
Astfel, se folosesc alături de r.m.s. şi mărimile:

Mărimile Zi şi Z3
consideră existenţa muchiilor
ascuţite ale profilului real.
Astfel pentru un profil triunghiular
se obţine r.m.s. = 0,017 μm Z2 = 3,73 μm şi Z3 = ∞, iar dacă vârfurile profilului se rotunjesc atunci r.m.s.
= 0,015 μm, Z2 = 3,16 μm şi Z3 = 0,44 μm. Se remarcă că deşi ambele profile au acelaşi r.m.s., ele se
deosebesc prin valorile lui Z2 şi Z3.
Cercetările pentru constituirea unui criteriu de evaluare al înălţimii asperităţilor şi orientării
preferenţiale a ondulaţiilor (neregularităţilor) sunt dirijate spre modul de influenţă a diverşilor factori
din procesele de obţinere a suprafeţelor asupra caracteristicilor pieselor în timpul exploatării (rezistenţa la
uzură, la coroziune, la oboseală etc.) şi a straturilor superficiale. Aceasta include cercetarea legilor de
formare a microdurităţii straturilor superficiale în funcţie de modul şi regimul de lucru al prelucrărilor
tehnologice, legilor naşterii tensiunilor din timpul proceselor de elaborare şi prelucrare asupra comportării
pieselor în exploatare, cât şi a altor legi care includ starea fizică a suprafeţei metalice. între starea fizică şi
rugozitatea suprafeţei nu există o corelaţie strictă.

3.3 Modificări ale structurii stratului superficiale al suprafeţelor metalice

Suprafeţele metalelor prezintă un grad ridicat de eterogenitate, ca formă şi energie

superficială, datorită modului de formare şi al modificărilor ulterioare. Granulele cristaline de la suprafaţa
metalelor, având planurile reticulare orientate diferit, cu proprietăţi fizice şi chimice anizotrope, permit
apariţia fenomenelor superficiale
Structura stratului superficial se modifică, prin fragmentarea sau smulgerea unor cristale sub
acţiunea tensiunilor de forfecare, prezentând un caracter amorf. Mai mult, pe suprafaţă apar o serie de
oxizi, nitruri sau particule desprinse din scula aşchietoare.
Perturbarea structurii superficiale este dependentă de parametrii operaţiilor de finisare prin
deformare plastică la rece (tragere, rulare) sau aşchiere .
. Deformarea plastică la rece asigură orientarea convenabilă a cristalelor din structura straturilor
superficiale în raport cu direcţia tensiunilor de frecare, dar şi apariţia stării de ecruisare şi a fisurilor la
nivelul microasperităţilor .
Prin prelucrări mecanice (strunjire, frezare, rabotare, rectificare, honuire, etc), în funcţie de valorile

4
regimului de prelucrare (viteză de aşchiere, adâncime de tăiere, avans, geometria sculei aşchietoare),
suprafaţa este acoperită cu neregularităţi inegale ca înălţime şi poziţie, în relaţie directă cu modul în care se
formează aşchia. Creşterea gradului de finisare prin aşchiere nu reduce intensitatea perturbării structurii
superficiale, ci numai profunzimea pe care se manifestă aceasta.

Fig. 3. 3. Modificarea structurii stratului superficial prin prelucrări mecanice

Modificarea structurii
stratului superficial prin "prelucrări mecanice este prezentată în fig. 3. 3.
La exterior există un strat adsorbit de gaze, care nu poate fi îndepărtat, indiferent de metoda de
prelucrare folosită. Formarea stratului de oxid este favorizată de temperatura dezvoltată în timpul
prelucrării, prin mărirea vitezei de reacţie iar proprietăţile acestui strat sunt cu atât mai apropiate
de materialul de bază cu cât procedeul de obţinere a suprafeţei este mai puţin intens. Stratul următor
format din material amorf, numit strat Beilby, are o grosime care depinde de regimul de prelucrare al
ultimei treceri a sculei aşchietoare.
Sub stratul amorf se află un strat cu structură perturbată, caracterizat prin existenţa de cristale
deformate, fragmentate şi eventuale fisuri şi incluziuni din materialul sculei. Deformarea grăunţilor se
produce atât sub acţiunea temperaturilor înalte rezultate în urma procesului de prelucrare mecanică, cât
şi prin prezenţa cristalelor fragmentate, microfisurilor şi incluziunilor intergranulare
Mai mult, în acest strat pot pătrunde oxigenul sau azotul din straturile superioare. Dacă adaosul
de prelucrare al ultimei treceri este mai mic decât adâncimea stratului cu structura perturbată, obţinut la
trecerea anterioară, se impune efectuare unei recoaceri de recristalizare.
Sub straturile afectate de eforturile de aşchiere se află un strat cu structură intactă accesibil tensiunilor de
contact. Proprietăţile lui sunt determinate de natura materialului şi de tratamentele termice aplicate. în
tabelul 5. 2 se prezintă grosimile straturilor menţionate mai sus şi rugozităţile suprafeţelor pentru câteva
metode de prelucrare clasice şi speciale.
Tab. 3. 2 Grosimile straturilor superficiale pentru diverse prelucrări mecanice

Metoda de Rugozitatea Stratul Beilby Stratul

prelucrare Ra, perturbat,
μm A μm
Prelucrări de degroşare 25...50 peste 50 50... 80
Strunjire de finisare 15...20 10...20 15...20
Strunjire fină 5,0...10 5,0...10 15...20
Rectificare cu disc 2,0...5,0 3,0...8,0 4,0...9,0
Honuire
abraziv 1,0...1,5 3,0...8,0 3,0...5,0
Lepuire 0,5...1,0 0,3 2,0...2,5
Superfinisare mecanică 0,2...0,02 0,2 sub 1,7
Lustruire electrolitică 0,01...0,2 - ~

5
 La prelucrarea finală prin rectificare, honuire sau lustruire structura cristalină a suprafeţei este modificată
profund, atât datorită tensiunilor mecanice dezvoltate între sculă şi suprafaţa metalică (presiune de
contact şi tensiuni de frecare), cât şi a temperaturilor ridicate din zona tăişului. Presiunea de contact
dintre sculă şi piesă ajunge până la 5000 MPa, în timp ce temperatura de la nivelul tăişului poate depăşi
3OO...7OO°C .
Pe de altă parte, temperatura care apare în timpul operaţiei de rectificare conduce la căliri
secundare şi reveniri .
Călirea secundară apare la vârful asperităţilor, caracterizată printr-o microduritate de 1200
daN/mm2, iar la fundul asperităţilor apare revenirea secundară, realizând o microduritate medie de 550
daN/mm2. Ca urmare, distrugerea prin uzură se produce mai pronunţat în zonele de revenire secundară,
unde microduritatea este mai mică. Efectul distrugerii zonelor cu revenire secundară scade când
temperatura de revenire a materialului este mai mare decât temperatura care se dezvoltă în procesul de
uzură.
Rezultă necesitatea reducerii la minim a grosimii stratului amorf şi a stratului cu structură perturbată.
Structura superficială conţine constituenţi metalografici dispuşi întâmplător pe suprafaţă şi prezintă o
orientare diferită faţă de direcţia de alunecare sau rostogolire. Ca urmare, proprietăţile materialului se
modifică de la o zonă la alta. Neomogenitatea structurală are o importanţă deosebită în procesele
tribologice, deoarece ea acţionează direct asupra mărimii tensiunii superficiale, puterii de adsorbţie sau
tendinţei de udare, stabilităţii la coroziune, posibilităţii re-orientării cristalelor după direcţia de alunecare,
afinităţii metalurgice etc.
3.5 Metode pentru determinarea rugozităţii suprafeţelor

Suprafeţele reale ale materialelor metalice, oricât de perfecte (netede) sunt în aparenţă, , prezintă
abateri de la forma geometrică ideală a acestora sau neregularităţi denumită generic
microgeometrie, care este determinată de procedeele de prelucrare tehnologică.
Forma reală a suprafeţei poate fi caracterizată, faţă de forma ideală, prin următorii indicatori:
 înălţimea maximă a neregularităţilor ;
 pasul neregularităţilor sau distanţa dintre două neregularităţi succesive;
 raportul dintre pasul şi înălţimea neregularităţilor.

Fig. 3.6. Abaterile suprafeţei reale în raport cu suprafaţa teoretică

Caracterizarea microgeometriei suprafeţei se face prin ridicarea unor profilograme pe zone caracteristice..
Măsurarea şi înregistrarea parametrilor microgeometriei se realizează prin rugozimetre cu palpator, când
palpatorul aparatului urmăreşte înfăşurarea profilului real pe o anumită distanţă de palpare, respectiv cu
aparate optice prin metode optice speciale (metoda câmpului întunecat, metode de interferenţă etc.)
În cazuri speciale când suprafeţele de frecare sunt inaccesibile sau există pericolul modificării
microgeometriei de către organul de palpare se foloseşte metoda replicilor De asemenea, se mai pot
utiliza şi alte metode moderne de măsurare şi înregistrare a parametrilor microgeometriei suprafeţelor

6
prin aparate cu traductoare de tip pneumatic, hidraulic sau capacitiv, respectiv cu microscopia prin
transmisie de electroni, care permite o putere de mărire de peste 3000:1, iar proba examinată, plasată în
camera microscopului, apare mărită pe un tub catodic.

Măsurarea rugozităţii cu palpatoare mecanice (profilometre mecanice). Rugozimetrele cu urmărire

mecanică a profilului unei suprafeţe sunt folosite pentru măsurarea variaţiilor de rugozitate ale suprafeţei.
. Prin deplasarea palpatorului deasupra probei, variaţiile suprafeţei determină o translaţie verticală a
senzorului, prin care se generează un semnal electric ca răspuns (feedback) al înălţimii locale. Senzorul
este reprezentat de un ac din diamant (Diamond Tipped Stylus) sau din safir, care are un unghi la vârf
de 60° şi o rază de rotunjire de 1... 10 um. Viteza de deplasare a acului este de 5... 1000 um/s.
Transformarea deplasării acului pe verticală într-o mărime electrică proporţională se realizează, în
special, cu traductori inductivi şi piezoelectrici Traductorul inductiv transformă variaţiile înălţimii
rugozităţilor suprafeţei prin modificarea întrefierului dintre armătura şi electromagneţii unei punţi
inductive, care conduce la un dezechilibru de tensiuni electrice la nivelul punţii de compensaţie, fig. 3.7
. prin care mărimea rugozităţii este redată de un aparat indicator. Utilizarea unui traductor piezoelectric
se bazează pe
solicitările de
încovoiere
ale unor lamele de
titanat de bariu,
încastrate la
un capăt, care
furnizează la
ieşire tensiuni
proporţionale
cu încovoierea
indusă prin
deplasările
verticale Fig. 3.7 Schema de principiu a rugozimetru mecanic cu senzor piezoelectric ale acului
de l -ac de palpare; 2 -pârghie; 3 - armătură; 4 - electromagnet; L - bobină; palpare.
C - condensator; R - rezistenţă; T- transformator.
Măsurarea
rugozităţii cu palpatoare optice.

Rugozimetrele optice interpretează informaţiile optice ale unui fascicul luminos reflectat de
suprafaţa metalică, prin cantitatea de lumină reflectată sau pe baza defazării radiaţiilor luminoase
(interferometre).
În cazul rugozimetrelor optice cu înregistrare fotoelectrică a cantităţii de lumină reflectată suprafaţa
metalică împrăştie fascicolul incident cu atât mai mult cu cât mărimea rugozităţii este mai mare. Focalizarea
extremă a luminii se poate realiza cu fascicole de lumină monocromatică, care poate fi asigurată, în
general, de o diodă laser şi un sistem automat de focalizare a luminii, format dintr-un servomotor liniar
(piezoelectric sau inductiv) şi armături mobile fig. 3. Ca urmare, punctul discret cercetat de pe suprafaţa
probei se găseşte permanent în punctul focal al lentilelor optice, prin metoda comparaţiei amplitudinii
punctului curent cu cel măsurat anterior. Sistemul de captare a cantităţii de lumină reflectată este format
din două fotodiode, care captează fiecare atât lumina reflectată sub un anumit unghi, cât şi lumina normală
la suprafaţa probei. Semnalele emise de fotodiode sunt preluate de un port USB (Universal Serial Bus) al
unui calculatorului.

7
 Fig. 3.8 Schema de principiu al unui rugozimetru optic
1 - servomotor liniar; 2 - armătură mobilă; 3 - lentilă; 4 - divizor;
5 — prismă divizoare; 6 -fotodiode; 7 - diodă laser.

Aceste rugozimetre reprezintă un sistem complex comandat de către un microprocesor care

creşte semnificativ preţul întregului sistem. Totuşi, se pot găsi soluţii ieftine, care constau în folosirea
sistemului de citire a CD-urilor ca unitate optoelectronică de bază pentru construcţia unor rugozimetre. O
asemenea unitate, reprezintă o serie de avantaje: sistem laser realizat cu diode laser performante; preţ de
cost scăzut; dispune de sistem de autofocalizare.
Culegerea semnalului de pe bucla de reacţie a sistemului de focalizare automată furnizează o mărime
electrică (tensiune) proporţională cu adâncimea rugozităţii în acel punct. Prin combinarea şi corelarea
deplasării probei cu succesiunea punctelor examinate se obţine profilograma suprafeţei examinate
Măsurarea rugozităţii suprafeţelor cu rugozităţi de 0,03... 1,0 μm se poate efectua cu tehnici
interferenţiale .
Principiul de funcţionare al unui interferometru este relativ simplu, fig. 4.
Astfel, lumina emisă de o sursă este transformată într-un fascicul telecentric, folosind un filtru
interferometric, diafragme de
apertură şi de câmp, respectiv
obiective. Fasciculul este divizat de o
lamelă divizoare în două fascicule.
Unul dintre fascicole ajunge pe
suprafaţa măsurată, iar celălalt trece prin
lamela de compensaţie şi este
concentrată de obiectiv pe oglinda de
referinţă. Prin recombinarea
fascicolelor reflectate de cele două
suprafeţe, se formează un model de
franjuri de interferenţă, care se pot
observa cu un ocular sau pot fi
înregistrate pe un film. Contrastul
maxim dintre franjuri se produce
pentru cea mai bună poziţie de
focalizare pentru fiecare punct dat al
suprafeţei.
Fig. 3.9 Schema de principiu a unui interferometru
/ - sursă de lumină; 2 - condensator; 3 -filtru interstiţial; 4 - diafragme de apertură;
5 - diafragme de câmp; 6 - obiectiv; 7 - lamelă divizoare; 8 - lamelă de compensaţie;
9 - oglindă de referinţă; 10 - ocular; 11 - oglindă; 12 -film; 13 - sistem lenticular.
8
 Măsurarea rugozităţii cu palpatoare cu fascicule de electronii ioni sunt tehnici hibride care combină
caracteristicile palpatoarelor cu ac şi a tehnicilor de scanare SPM (Scanning Probe Microscopy), fiind
capabile să vizualizeze textura tridimensională a suprafeţei şi cercetarea acesteia până la scară nanometrică,
fără posibilitatea evaluării cantitative a microgeometriei. Aceste tehnici sunt microscopia cu tunel de
scanare (STM - Scanning Tunneling Microscopy), microscopia prin forţă atomică (AFM - Atomic
Force Microscopy), microscopia prin forţă magnetică (MFM - Magnetic Force Microscopy),
microscopia prin forţa electronilor (EFM - Electron Force Microscopy), microscopia prin scanare
capacitivă (SCM - Scanning Capacitance Microscopy) şi microscopia prin scanare termică (SThM -
Scanning Thermal Microscopy).
a. Microscopia cu tunel de emisie (STM - Scanning-Tunneling Microscopy) poate reda
imaginea suprafeţei materialului cu rezoluţie la scală atomică. Acesta foloseşte un vârf
metalic ascuţit adus foarte aproape de suprafaţă. Când vârful şi proba sunt în contact cu o sursă
de curent, fluxuri mici de curenţi de scanare (small tunneling current) trec între vârf şi suprafaţa
probei. Acest curent poate fi măsurat, iar mărimea depinde de distanţa dintre vârf şi suprafaţă.
Când vârful este deplasat lateral peste suprafaţă, un mecanism de răspuns deplasează vârful în sus sau în
jos pentru menţinerea constantă a curentului de scanare (tunneling current). Prin trecerea vârfului
peste suprafaţă se produce o hartă topografică a suprafeţei probei.
b. Microscopia cu forţă atomică (AFM - Atomic Force Microscopy) este similar cu
microscopul cu tunel de emisie (STM - Scanning-Tunneling Microscopy) prin care se poate
fotografia suprafaţa metalului la scară de rezoluţie atomică. AFM spre deosebire de STM nu solicită ca
proba să fie un material conducător de electricitate. Ca şi la STM, vârful foarte ascuţit este adus în
imediata apropiere a suprafeţei de studiat. Vârful va determina o atracţie sau repulsie chimică şi va
deplasa în sus sau în jos oglinda suport. Secretul sensibilităţii AFM constă în urmărirea deplasării
vârfului. Un procedeu foarte uzual de urmărire a deplasării vârfului este folosirea unei raze laser care
este reflectată sau difractată de vârf sau de oglinda în consolă. Deplasările vârfului sunt detectate prin
modificarea poziţiei razei laser. Asemănător STM, prin trecerea vârfului deasupra suprafeţei produce
o hartă topografică a suprafeţei cu rezoluţie la scală atomică în principiu, suprafaţa este palpată de un vârf de
diamant ataşat la capătul liber al unei lamele, care permite urmărirea modificărilor de înălţime ale
profilului. în funcţie de parametrul fizic măsurat (atomic, electric sau magnetic), un răspuns puternic şi
controlat menţine controlul vârfului palpatorului situat deasupra suprafeţei în timp ce imaginea furnizează
informaţii asupra variaţiei proprietăţilor suprafeţei. Datorită vârfului ascuţit şi forţelor mici de palpare,
rezoluţia este îmbunătăţită comparativ cu tehnicile convenţionale. Rezoluţia după axele x şi y este de
ordinul nanometrilor, iar rezoluţia după axa z este de ordinul angstromilor.
Probele de studiat sunt aşezate pe un
suport magnetic şi sunt scanate în modul
contact, fig. 5 .
Raza laser emisă de o diodă laser ajunge pe
spatele unui suport din care este reflectată
spre o oglindă şi apoi reflectată spre un
fotodetector cu 4 puncte (4-point
photodetector). Fotodetectorul emite un
semnal la bucla de răspuns (feetback)
formând o imagine datorită comprimării
şi amplificării unui
Fig.3.10. Schema de principiu a rugozimetrului cu raze de electroni/ioni: piezoscanner.
1 - diodă laser; 2 - sistem de lentile; 3 -palpator cu vârf de diamant;
4 - senzor piezoelectric; 5 - oglindă; 6 - fotodetector.