Dr. ing.

Dumitru NEAGU

APLICAII ALE FASCICULULUI DE ELECTRONI

Bucureti, 2007

CUPRINS:
1. DATE GENERALE . 2. PRINCIPIUL PRELUCRRII CU FASCICUL DE ELECTRONI. 3. FENOMENE FIZICE LA PRELUCRAREA CU FASCICUL DE ELECTRONI .. 3.1. Densitatea de curent .. 3.2. Bombardarea cu fascicul de electroni ... 3.3. nclzirea, topirea i vaporizarea la bombardarea cu fascicul de electroni 4. INSTALAII DE PRELUCRARE CU FASCICUL DE ELECTRONI .. 4.1. Tunul electronic. 4.2. Tipuri constructiv-funcionale de tunuri electronice 5. SUDAREA CU FASCICUL DE ELECTRONI .. 5.1. Principiul sudrii cu fascicul de electroni . 5.2. Principalii parametri de sudare . 5.3. Instalaii de sudur 5.4. Aplicaii 6. GURIREA CU FASCICUL DE ELECTRONI 6.1. Principiul guririi (perforrii) cu fascicul de electroni . 6.2. Principalii parametri de gurire 6.3. Instalaii de gurire .. 6.4. Aplicaii. 7. TRATAMENTE TERMICE SUPERFICIALE CU FASCICUL DE ELECTRONI .. 7.1. Principiul tratamentelor termice superficiale cu fascicul de electroni . 7.2. Determinarea izotermelor la tratamentele termice superficiale cu fascicul de electroni . 7.3. Instalaii de tratament termic 7.4. Aplicaii 8. DEPUNEREA DE STRATURI SUBIRI CU FASCICUL DE ELECTRONI . 8.1. Principiul depunerii de straturi subiri cu fascicul de electroni 8.2. Instalaii de depunere de straturi subiri 8.3. Aplicaii 9. LITOGRAFIA CU FASCICUL DE ELECTRONI . 9.1. Principiul litografiei cu fascicul de electroni 9.2. Instalaii de litografiere . 9.3. Aplicaii 10. DOPAREA CU FASCICUL DE ELECTRONI 10.1. Principiul doprii cu fascicul de electroni .. 10.2. Instalaii de dopare .. 10.3. Aplicaii... 11. TOPIREA CU FASCICUL DE ELECTRONI .. 11.1. Principiul topirii cu fascicul de electroni 11.2. Instalaii de topire.... 11.3. Aplicaii.... BIBLIOGRAFIE .. 1 1 2 2 2 3 4 4 5 6 6 7 7 8 9 9 9 10 11 11 11 12 15 16 17 17 17 18 18 18 19 19 19 19 20 20 21 21 21 21 21

APLICAII ALE FASCICULULUI DE ELECTRONI 1. DATE GENERALE Un loc tot mai important n cadrul prelucrrilor prin tehnologii neconvenionale a nceput s-l ocupe prelucrarea cu fascicul de electroni (Electron Beam Machining EBM), datorit n special, performanelor obinute n cadrul proceselor precum: prelucrri n zone preselectate de pe piesa fr ca aceasta s sufere deformri din cauz c transferul de energie se face local i nu n toat masa metalului; prelucrarea oricrui fel de metal ct de dur ar fi acesta; prelucrarea n vid protejeaz zonele topite de a se oxida: prelucrrile sunt rezistente, precise, fine i nu totdeauna necesit operaii de execuie ulterioare. Primele lucr ri n domeniul teoretic, referitoare la posibilitatea utilizrii electronilor, au aprut nc de la nceputul secolului al XX-lea, dar adevrata dezvoltare a bazelor teoretice privitoare la utilizarea fasciculului de electroni i ioni a fost elaborat dup anul 1940, pe baza legilor formulate de Newton, Richardson, Dashman, i ca urmare a teoriei lui S. Shenland privind difuzia electronilor n metale, precum i a lucrrilor lui L.E. Popilov, R. Rene, H. Kluger etc. Prima instalaie industrial utilizat la sudarea cu flux de electroni, a fost realizat n anul 1957 n Frana. La ora actual, firme din Frana (ALCATEL, i SCIAKY), SUA (Temescal), URSS (cu tipurile U86, A306), Germania (Steigerwald, Leybold Heraeus) etc. Produc pe scar larg instalaii industriale de tiere, gurire, sudare, topire etc, existnd n momentul de fa, pe plan mondial, peste 6000 de instalaii de flux de electroni sau ioni. La noi n ar, primele instalaii de prelucrare cu fascicul de electroni au fost realizate la IFE Bucureti n colaborare cu ISIM Timioara, destinate n special sudrii diferitelor materiale. Ca urmare a caracteristicilor superioare de utilizare i dezvoltrii n ultimii ani, fasciculul de electroni st, n prezent, la baza realizrii unui mare num r de prelucrri precum: sudarea (care constituie principala aplicaie de prelucrare cu FE), gurirea (microgurirea), litografia (scrierea direct , marcarea, litografia optic), topirea (metalelor refractare, elaborarea metalelor i aliajelor de puritate nalt ), depunerea de straturi subiri, doparea, tratamente termice (durificarea, alierea, nnobilarea prin retopire) etc. 2. PRINCIPIUL PRELUCRRII CU FASCICUL DE ELECTRONI Prelucrarea cu fascicul de electroni face parte din categoria procedeelor de prelucrare termice. Sursa termic o constituie un fascicul de electroni concentrat, avnd o vitez i, ca urmare, o energie cinetic mare care bombardeaz componentele de prelucrat. La impactul fasciculului de electroni cu componentele de prelucrat, energia acestuia se transform n cldur i are loc o nclzire local, rapid a materialului prin conducie (fig. 1.a,b). Odat cu creterea puterii specifice a fasciculului profilul zonei se modific (fig. 1.c), la puteri specifice pn la valori de 106 W/cm2, sub aciunea vaporilor produ i se formeaz un tub capilar, nconjurat de un nveli subire de material topit (fig. 1.d). La puteri specifice de 108 W/cm2, se produce eliminarea exploziv a nveliului topit i o strpungere a materialului pe ntreaga grosime a sa (fig. 1.e). Cele mai multe procese se desfoar n vid, deoarece atmosfera ar provoca o frnare i dispersie a fasciculului.

Procedeul de prelucrare cu fascicul de electroni are i neajunsuri. Unul dintre acestea este generarea radiaiei X n timpul prelucrrii, motiv pentru care se iau msuri speciale de protecie.

Fig. 1 Fazele de nclzire ale materialului a nclzirea local; b nclzirea cu topirea materialului; c,d modificarea profilului zonei topite; e eliminarea exploziv a topirii. 3. FENOMENE FIZICE LA PRELUCRAREA CU FASCICUL DE ELECTRONI Elementul primar, care st la baza fenomenelor fizice ce au loc la prelucrarea cu fascicul de electroni, este particula elementar cu sarcina negativ electronul caracterizat prin sarcina: e =1,602 10-19C; masa: me=9,109 10-31kg; raza: r e=2,82 10-5m; sarcina specific: e/me=1,759 1011C/kg. Numrul electronilor dintr-un atom depinde de elementul respectiv i este egal cu numrul atomic din tabelul periodic al lui Mendeleev. Electronii liberi se pot obine prin nclzirea suprafeei unui metal cu o anumit cantitate de energie, care se transfer electronilor, i acetia prsesc suprafaa metalului, avnd loc aa numita emisie termo-electronic. Accelerarea electronilor se poare realiza pe dou ci: prin aplicarea unui cmp electric sau prin aplicarea unui cmp magnetic. 1.1. Densitatea de curent Densitatea de curent, qe, realizat depinde de caracteristicile termofizice ale emitorului respectiv (catod), temperatura de nclzire, proprietile suprafeei catodului i se poate determina cu ajutorul relaiei Richardson Dashmann: qe = A T 2 e0 kT e [A/cm2 ] (1) unde : A este constanta de emisie, care depinde de natura substanei emitoare i are n general, valori de 40 ... 70A/cm2T2 pentru metalele pure; T temperatura absolut a emitorului [K]; e0 energia specific a emitorului [J]; k constanta lui Boltzmann (k=1,38 1023J/K). Dei densitatea curentului se impune a fi de valori ct mai ridicate, totui, datorit interdependenei dintre mrimea acesteia i temperatura de nclzire a emitorului, este necesar delimitarea acestor valori, ntruct supranclzirea emitorului duce la o evaporare accentuat a metalului de baz, i implicit, la scderea duratei de funcionare a acesteia.

1.2. Bombardarea cu fascicul de electroni

Din punct de vedere fizic, bombardamentul cu fascicul de electroni este nsoit de fenomene secundare, care consum o parte din puterea fasciculului. Randamentul efectiv al sudrii are valori de cca 60-95%. ntr-un material de oelcarbon s-au obinut urmtoarele valori ale pierderilor energetice (fig. 2): prin electronii retrodifuzai < 4%, prin vaporizare 0,5 2%, prin radiaii X, 0,5%. Pentru cazul considerat, materialul de baz preia cca 93 95% din energia total a fasciculului.

Fig. 2 Fenomene secundare la bombardarea cu FE. 1.3. nclzirea, topirea i vaporizarea la bombardarea cu fascicul de electroni n momentul impactului electronilor accelerai cu suprafaa piesei, energia cinetic a acestora este transferat atomilor de metal supui bombardamentului electronic. Acest transfer de energie duce la creterea temperaturii materialului, fapt ce are ca rezultat nclzirea i topirea rapid (fig. 3.a) urmat de vaporizarea materialului. Acest fenomen de nclzire, topire, vaporizare are loc n trei faze succesive (fig 3.b) astfel:

b a Fig. 3. Fazele succesive de nc lzire, topire i vaporizare a materialului a nclzirea rapid i topirea materialului; b vaporizarea expulzarea materialului topit. a) n prima faz la impactul cu piesa superficial, pn lafasciculul electronic adncimea, , care poate accelerare de 10 82kV cu ajutorulptrunde n stratul fi relaiei: calculat, n cazul unor tensiuni de

11 2

d = 2,6 10

[mm]

(2)

unde : U este tensiunea de accelerare [V]; este densitatea materialului prelucrat [g/cm2]. b) n faza a doua, la adncimea , circa 60 95% din energia cinetic a electronilor este cedat sub forma de cldur, ducnd la nclzirea prin inducie a materialului metalic n zona respectiv. nclzirea materialului metalic se poate analiza cu ajutorul ecuaiei difereniale a conductivitii termice dat de relaia:
T(x,t)
a2T(x,t)

= t

C e

kT
l

x2

(3)

unde : T este temperatura mediului ambiant; x distana msurat de la suprafaa piesei; t timpul; a coeficientul conductivitii termice; c cldura specific a metalului de prelucrat; k1 coeficient de absorbie a energiei; Co constanta procesului. n general pentru a se realiza topirea metalului sunt necesare densitii de putere de ordinul 105 ... 108 W/cm2, care asigur prin focalizarea spotului fasciculului de electroni obinerea unor temperaturi de 5000 ... 6000oC. c) n faza a treia , are loc o cre tere a presiunii specifice a vaporilor de metal topit, care duce la expulzarea sub forma unei microexplozii a stratului de metal topit i evacuarea cu presiune a vaporilor de metal, piesa fiind strpuns prin formarea unui crater pe suprafaa acestuia. Prelucrarea cu fascicul de electroni se poate face i n regim de impulsuri cu durata de 10-4 ... 10-5s. 4. INSTALAII DE PRELUCRARE CU FASCICUL DE ELECTRONI Cele mai ntlnite instalaii de prelucrare cu fascicul de electroni sunt cele la care accelerarea electronilor se face cu ajutorul cmpului electric. Acestea sunt alctuite, n generali dirijare a patru subansamble principale, i anume: 3 dispozitivul de producere (fig. 4), din fasciculului de electroni(tunul electronic); 4 instalaia electric de alimentare i producere a tensiunilor de accelerare; 5 instalaia de realizare a vidului; 6 instalaia electric de comand i reglare.

Fig. 4. schema instalaiei cu fascicul de electroni 1.4. Tunul electronic Turnul electronic este subansamblul principal al unei instala ii de prelucrare cu fascicul de electroni, asigurnd principalele funciuni: producerea electronilor liberi, formarea fasciculului de electroni, focalizarea i direcionarea acestuia, (fig. 5) n care: 1 catodul termorezistiv; 2 catod cilindru Wehnelt; 3 anodul de accelerare; 4 lentila electromagnetic; 5 sistemul de deflexie (deflectorul); 6 piesa de prelucrat; 7 sursa de tensiune nalt, iar in fig. 6, se prezint tunul tip Steigerwald, care echipeaz instalaia T15 prezentat n fig. 8.

Fig. 5 Schema unui tun electronic

Fig. 6 Seciune prin tunul electronic

Steigerwald 1.5. Tipuri constructiv funcionale de tunuri electronice Principalele tipuri de tunuri electronice (fig. 7) sunt: a) tunul diod (tunul Pierce) (fig. 7.a) prezint dezavantajul c nu permite reglarea intensit ii curentului fasciculului electronic independent de tensiunea de accelerare i din aceast cauz sunt tot mai rar utilizate.

Fig. 7 Tipuri de tunuri electronice a tunul diod; b tunul triod; c tunul triod cu focalizare la distan. unde: 1 catod cilindru Wehnelt; 2 catodul termorezistiv; 3 anodul; 4 sistemul de focalizare; 5 anodul de accelerare; 6 piesa de prelucrare. 2) tunul triod (fig. 7.b) prezint posibilitatea reglrii independente a intensitii curentului fasciculului electronic, datorit faptului c n construcia sa este prevzut legarea n circuit separat de alimentare a electrodului de polarizare. 3) tunul trioda cu focalizare la distan (tunul Steigerwald) (fig. 7.c) permite focalizarea la distane relativ mari (circa 1m) a spotului fasciculului electronic, datorit tensiunilor mari de accelerare utilizate. n funcie de m rimea tensiunii de accelerare produs de echipamentul electric corespunztor, tunurile electronice sunt de trei tipuri, i anume, tunuri electronice cu tensiuni mici de accelerare: U=10 ... 60V; tunuri electronice cu tensiuni medii de accelerare: U=20 ... 100kV; tunuri electronice cu tensiuni mari de accelerare: U=80 ... 175kV.

Fig. 8 Instalaie cu fascicul de electroni tip T15, Steigerwald. n fig. 8 se prezint o instalaie de prelucrare cu fascicul de electroni tip T15, Steigerwald Germania, avnd o tensiune de accelerare reglabil n domeniul 3 ... 60kV, cu dimensiunile camerei de lucru de 250 x 300mm, la un vid de 10-2torr. n cazul utilizrii unor tensiuni nalte de accelerare (peste 100kV), se impune conducerea, proceselor cu circuite nchise de televiziune, din cauza puternicelor emisiuni de raze X. 5. SUDAREA CU FASCICUL DE ELECTRONI 1.6. Principiul sudrii cu fascicul de electroni Sudarea cu fascicul de electroni face parte din grupa procedeelor de sudare prin topire. Sursa termic o constituie un fascicul de electroni concentrat, avnd o vitez i, ca urmare, o energie cinetic mare care bombardeaz componentele de sudat. La impactul fasciculului de electroni cu componentele de sudat, energia cinetic a acestuia se transform n cldur i are loc o nclzire local, rapid a materialului. n fig. 1, se arat mecanismul form rii sudurii cu fascicul de electroni i fazele nclzirii materialului. La puteri specifice de 108 W/cm2, se produce eliminarea exploziv a materialului topit i o strpungere a materialului pe ntreaga grosime a sa, este specific guririi (perforrii) i se evit la sudare. Sudarea constituie principala aplicaie tehnologic a procedeelor de prelucrare cu fascicul de electroni, cu largi aplicaii n industria cosmic , aeronautic, nuclear, electronic, electrotehnic, a autovehiculelor etc. Se pot realiza n condi iile unor indici tehnico-economici superiori mbinrile ntre diferite materiale refractare titan, wolfram, tantal, zirconiu etc, precum i a altor o eluri nalt aliate, a unor aliaje de aluminiu i nichel, a cuplurilor de materiale cu temperaturi de topire i conductibiliti termice diferite. Procedeul de sudare cu fascicul de electroni permite realizarea ntr-o trecere a unor mbinri cu grosimea de 0,05 300mm, funcie de puterea tunului electronic.

1.7. Principalii parametri la sudare

Principalii parametri electrotehnologici ai procesului de sudare sunt: tensiunea de accelerare U, curentul fasciculului de electroni I, curentul de focalizare If , frecvena oscila iilor fasciculului de electroni fi, diametrul fasciculului d, distana de tir dt, distana focal df, unghiul de deflecie , presiunea n camera tunului Pt, presiunea n camera de lucru Ps i natura materialului de baz. Caracteristicile tehnologice principale ale sudurii sunt: viteza de sudare Vs, ptrunderea sudurii p i limea sudurii b. a) viteza de sudare, Vs, se determin prin cercetri experimentale. Obinerea acestor valori pe cale experimental, sunt frecvente n tehnologia construciilor de maini, satisfcnd necesitile practice de proiectare a proceselor tehnologice. n fig. 9 se arat, determinat experimental pentru diferite viteze de sudare, dependena ptrunderii sudurii de puterea fasciculului de electroni.

Fig. 9 Dependena ptrunderii sudurii de puterea FE i viteza de sudare b) ptrunderea sudurii, p, se poate determina (aproximativ) cu relaia:
UI
p=

1
d c +L

1 15 +

1,5

0,5

2,1v
s

( d vs ) + 2 ,5 c

U I PU

[mm]

(4) unde : U este tensiunea de accelerare; I intensitatea fasciculului de electroni; vs viteza de sudare; d diametrul fasciculului de electroni; c cldura specific; densitatea materialului piesei; t temperatura de topire a materialului piesei; L cldura latent de topire i vaporizare; conductibilitatea termic; P puterea fasciculului electronic. c) l imea sudurii, b este influenat n msur redus de tensiunea de accelerare i crete cu mrirea curentului fasciculului. Limea sudurii la suprafaa componentei este legat de diametrul fasciculului de electroni n focar prin relaia aproximativ: b 8d (5) unde: d diametrul fasciculului de electroni. 1.8. Instalaii de sudur Cele mai ntlnite instalaii de prelucrare cu fascicul de electroni sunt cele la care

accelerarea electronilor se face cu ajutorul cmpului electric. Descrierea precum i schema unei instalaii de sudare cu fascicul de electroni, este prezentat n materialul de fa la pct. 4.

1) Echipamentul cu camer i post fix, fig. 10.a, constituie echipamentul standard de sudur cu fascicul de electroni, cu acesta se pot executa i alte tipuri de procese de prelucrare cu fascicul de electroni. Se realizeaz i n variante pentru piese de dimensiuni relativ mari, camera de lucru avnd un volum de la 1m3 pn la 100m3. Camera de lucru este prevzut cu mecanisme de deplasare liniar pe axele X Y i de rotire controlat a pieselor. Timpul de vidare 2 20 minute. 2) Echipamentul cu masa avnd regim ciclic, fig. 10.b, este specializat, camera de lucru este de dimensiuni relativ reduse, fiind adaptat pentru piese mici care se sudeaz, ntr-o producie de pn la 2000 buci n 8 ore.

Fig. 10 Tipuri de echipamente de sudur n func ie de regimul de lucru a fix cu camer; b regim ciclic; c continuu. c) Echipamentul de sudat cu regim continuu, fig. 10.c, este destinat lucr rilor de sudur continu pe piese de lungime mare, spre exemplu benzi sau bare. Camera de lucru este intercalat ntre camera de previdare (de trecere la presiunea atmosferic). Procesul de sudare decurge continuu, piesele trecnd prin camerele cu diferite trepte de vidare, cu vitez relativ ridicat (pn la 20m/min). 1.9. Aplicaii Sudarea cu fascicul de electroni are o serie de avantaje fa de procesele convenionale de sudare s.a.: piesele nu se deformeaz, cordonul de sudur este de forma unei custuri fine, sudura nu oxideaz deoarece procesul n cele mai multe cazuri se desfoar n vid, se poate suda aproape orice material, se poate suda de la table foarte subiri pn la materiale groase de 200 300mm, se poate face, n general, orice combinaie de material spre exemplu: se poate suda coroana unor roi dinate din oel nalt aliat de butucul din oel obinuit, sudarea rotoarelor de turbin din oel special, toate acestea realiznd economii importante de materiale.

Fig. 11 Echipament de sudare cu fascicul de electroni pentru sudarea unor recipieni de dimensiuni mari. n ultimul timp, pe plan mondial, echipamentele de sudare cu fascicul de electroni au cunoscut o continu diversificare. Astfel, n cazul sudrii componentelor cu dimensiuni mari sau contururi complicate, se folosesc echipamente de sudare cu vid local i vid mobil. n fig. 11 se prezint un echipament de sudare cu fascicul de electroni cu vid local i mobil, pentru sudarea unor recipieni de dimensiuni mari. 6. GURIREA CU FASCICUL DE ELECTRONI 1.10. Principiul guririi (perforrii) cu fascicul de electroni Procedeul de g urire a materialelor are la baz fenomenele de topire i vaporizare, cu desfurarea acestora extrem de rapid.

Fig. 12 Mecanismul de formare a gurii n impulsuri. Dac forma i dimensiunile dorite ale gurii nu pot fi realizate printr-un singur impuls, se aplic tehnica de gurire prin mai multe impulsuri. n fig. 12, se prezint mecanismul de formare a gurii cu fascicul de electroni, n mai multe impulsuri. 1.11. Principalii parametri la gurire Principalii parametri electrotehnologici ai procesului de gurire sunt aceea i ca i la procesul de sudare cu deosebirea c, n locul frecvenei oscilaiilor fasciculului de electroni este vorba, n cazul guririi, despre durata impulsului i pauza dintre impulsurile fasciculului de electroni. Caracteristicile tehnologice principale ale gurii sunt: volumul de material ndeprtat, G, diametrul gurii, dg i adncimea gurii, D. a) volumul de material ndeprtat, este o funcie raport ntre puterea aplicat i materialul piesei. n fig. 13 se arat cum variaz raportul materialului ndeprtat odat cu schimbarea puterii pentru diferite materiale ale piesei. Penetrarea se face la 0,25mm/s.

PDF to Word