RBS este o tehnic de difuzie a ionilor care este utilizat pentru analiza stratului de suprafa al corpurilor solide.

O int este bombardat cu ioni avnd o energie cuprins n intervalul MeV (0,54 MeV). Energia proiectilelor retromprtiate se nregistreaz cu ajutorul unui detector sensibil la energie, de obicei un detector al strii solide. RBS permite determinarea cantitativ a compoziiei materialelor i prelucrarea n adncime a elementelor individuale. RBS este: cantitativ fr a fi nevoie de eantioane de referin; non-destructiv; are o bun o rezoluie n adncime de ordinul mai multor nm, i o foarte bun sensibilitate la elementele grele de ordinul prilor per milion (ppm) Dac o particul de mas M1 este difuzat sub un unghi n cmpul electric al nucleului de mas M2, energia acesteia este partea K din energia iniial E0. Aplicnd principiul conservrii energiei i a impulsului, se poate obine urmtoarea ecuaie pentru factorul cinematic K: Randamentul particulei difuzate se calculeaz utiliznd seciunea transversal de difuzare diferenial care este dat de formula lui Rutherford: Dac ionul este difuzat la adncimea X, acesta va pierde energie att de-a lungul cii interne Ein ct i de-a lungul cii externe Eout: Pierderea de energie depinde de numrul atomic att al ionului de inciden ct i al atomilor int, de densitatea atomic N a acestora i de energia ionului de inciden. Pentru calcularea spectrelor RBS, de obicei de utilizeaz aa-numita seciune transversal de oprire : grosimea straturilor pot fi calculate n funcie de limea benzii de energie a canalului E n analizatorul multicanale. Numrul de particule care ajunge n canal de la particulele de inciden Q este: unde unghiul solid al detectorului.