PRINCIPIILE FIZICE ALE MICROSCOPIEI ELECTRONICE

Coordonator: Student:
Conf.Univ.Dr. Rodica Vladoiu Stefan Adrian Ionut

1
 O seciune transversal printr-un microscop electronic modern relev
urmtoarele elemente constructive: coloana electrono-optic, sistemul de
vidare, sistemele de detecie, prelucrare, procesare i redare a informaiei i
blocul de alimentare cu energie a tuturor componentelor. Coloana electrono-
optic se compune din tunul de electroni, lentilele condensoare i lentila
obiectiv.
Principial, construcia unui microscop electronic este ntr-o oarecare
msur analog construciei proiectorului optic obinuit. Prile principale,
comune celor dou instrumente, sunt urmtoarele: sursa (de iluminare la
microscopul optic, de electroni la microscopul electronic), lentila condensoare
(sau condensorul), obiectul de studiat, lentila proiectoare i sistemul de
vizualizare i nregistrare a informaiei.
Condensorul are rolul de a focaliza fasciculul de electroni pe prob,
asigurnd un paralelism ct mai bun al radiaiilor cu axa optic. Obiectivul
formeaz imaginea primar, mrit, a obiectului; aceasta este preluat de
lentila proiector care o mrete mai mult, pentru observarea pe ecranul
instrumentului.
Tunul de electroni are rolul de a genera fasciculul de electroni. n
interiorul tunului de electroni un cmp electrostatic dirijeaz electronii emii
de o poriune foarte mic a suprafeei unui filament, printr-o apertur foarte
ngust. Dup aceea, tunul accelereaz electronii prin coloan spre prob, cu
energii cuprinse ntre cteva zeci i zeci de mii de electronvoli.
Fasciculul de electroni, emis de tunul electronic, care bombardeaz
suprafaa probei, este compus din electroni monocinetici i poart numele de
fascicul incident sau primar. El poate fi supus unei tensiuni de accelerare de la
100V pn la 40.000V, n funcie de tipul de microscop folosit.
n momentul de fa sunt utilizate cteva tipuri de tunuri de electroni: cu
wolfram, cu hexaborur de lantan (LaB6) i cu emisie de cmp. Constructiv,
sunt utilizate materiale i principii fizice diferite pentru obinerea tunurilor de
electroni, dar au ca scop comun generarea unui fascicul de electroni
direcionat, avnd curent stabil i diametru ct mai mic posibil. Electronii
parcurg tunul ca un fascicul divergent. O serie de lentile electromagnetice i de
diafragme din coloan reconverg i focalizeaz fasciculul ntr-o imagine
micorat. Aproape de zona de jos a coloanei exist cteva bobine de scanare
n rastere, care deflecteaz fasciculul de electroni ntr-o gril de baleiere pe
suprafaa probei. Lentila final focalizeaz fasciculul ntr-o arie cu o
dimensiune ct mai mic pe suprafaa probei.

2
 Figura 1.1. Reprezentarea schematic a microscopului electronic de
baleiaj

Dup parcurgerea coloanei de electroni, fasciculul ajunge n camera

probei. Aceasta ncorporeaz dispozitivul de manevrare a probei, o u pentru
introducerea sau extragerea eantionului analizat i cteva dispozitive pentru
montarea detectorilor de semnale sau a altor accesorii. n momentul interaciei
fasciculului de electroni cu suprafaa probei rezult o serie de semnale, care
dup ce sunt detectate, amplificate i procesate permit obinerea unor
informaii privind morfologia, structura i compoziia probelor.
Semnalele rezultate n urma interaciei fasciculului primar cu proba
sunt: electronii secundari, electronii retrodifuzai (retromprtiai), electronii
Auger, electronii transmii (n cazul probelor foarte subiri), radiaiile X,
catodoluminiscena i tensiunea electromotoare indus.
Mrimea semnalelor obinute, depinde de trei factori: grosimea probei
investigate, compoziia chimic a acesteia i tensiunea de accelerare a
electronilor.
O reprezentare schematic a diverselor tipuri de interaciuni ale unui
fascicul electronic cu o prob solid este prezentat n figura 2, unde sunt
evideniate mecanismele de interaciune utilizabile n diversele moduri de
lucru specifice microscopiei electronice.

3
 Fascicul electronic
incident
Electroni retroimparstiati Microscopie
(reflectati elastic) electronica cu
Radiatii X baleiaj sau de
Electroni secundari Radiatii infrarosii tip analitic
(emisi) Radiatii luminoase
(fotoni optici)
PROBA

Microscopie
Electroni electronica prin
Curent indus absorbiti transmisie,
microsopie
electronica cu
baleiaj prin
Imprastiere elastica Imprastiere elastica transmisie,
necoerenta coerenta analiza
Imprastiere neelastica dispersiva in
Fascicul nedeviat energie
de electroni transmisi

Figura 1.2. Semnalele rezultate n urma interaciei dintre fasciculul de electroni

i corpul solid

n microscopia electronic de baleiaj, al crui principiu a fost expus

anterior, se utilizeaz fascicule de electroni incideni, cu energii de 1-50 keV,
care fie sunt parial mprtiai napoi (retromprtiai, prin reflexie elastic pe
atomii probei), fie determin emisia de electroni secundari prin interaciune cu
proba. Electronii retromprtiai i electronii secundari sunt efectiv utilizai
pentru formarea imaginii n microscopul electronic de baleiaj. n microscopia
electronic de transmisie convenional, informaia este obinut prin
intermediul electronilor transmii, nedeviai, sau mprtiai nainte, n
diafragma unei lentile care va forma imaginea electronomicroscopic. n acest
caz, energiile electronilor fasciculului incident sunt cuprinse ntre 40 i 200
keV, pentru microscopele convenionale i ntre 200 keV i 3 MeV pentru
microscoapele electronice de nalt tensiune.
mprtierea electronilor poate fi elastic (fr pierderi energetice
importante i cu schimbare de direcie) sau inelastic (cu pierderi energetice n
care energia poate fi transferat atomilor probei sau probei ca atare n diverse
moduri). n cazul mprtierii inelastice, transferul energetic poate produce
excitarea sau ionizarea electronilor legai, fie excitarea electronilor liberi sau a
vibraiilor reelei (vibraii fononice), fie nclzirea probei sau formarea de
4
defecte de iradiere. Msurarea acestor pierderi energetice poate da informaii
asupra naturii chimice a probei.
O alt clasificare a mprtierii electronilor ine seama de numrul de
evenimente de mprtiere implicate: monomprtiere i mprtiere multipl.
n primul caz, electronul sufer o singur interaciune, fapt observat de
exemplu n straturile sau foliile subiri studiate n microscopul electronic de
transmisie. mprtierea multipl conduce la o mprtiere de tip difuziv n
care micarea electronilor devine ntmpltoare. Acest tip de mprtiere este
caracteristic probelor masive, groase, studiate n microscopia electronic de
baleiaj.
La impactul fasciculului electronic cu proba are loc o emisie de radiaii
X care poate fi analizat cu aparate dispozitive speciale (spectrometre), care
permit identificarea i determinarea concentraiei elementelor constituente ale
probei.

Volumul de interacie al fasciculului primar cu corpul solid

Semnalul obinut pentru formarea imaginii n microscopia electronic de

baleiaj nu este obinut numai din suprafaa probei analizate. Fasciculul de
electroni penetreaz o anumit distan n interiorul probei i poate
interaciona o dat sau de mai multe ori de-a lungul traiectoriei sale. Regiunea
din prob dintre care semnalul original i scprile subsecveniale care nu mai
pot fi detectate, se numete volum de interacie.

Figura 1.3. Schema volumului de interacie al fasciculului cu

substana

5
 Tipul semnalului, compoziia probei i tensiunea de accelerare au un efect
asupra rezoluiei microscopului, prin modificarea mrimii i formei volumului
de interacie. n figura urmtoare este reprezentat schematic detecia
semnalelor n microscopia electronic de baleiaj i zonele volumetrice unde
sunt generate. n cele mai multe cazuri volumul de interacie este semnificativ
mai mare dect mrimea spot-ului, iar acest volum va deveni limita actual a
rezoluiei.

Tipuri de semnale
Electronii secundari

Electronii secundari (SE) sunt electronii atomilor din prob care sunt
ejectai n mediu datorit interaciei cu electronii primari din fascicul. n
general, ei au energii foarte mici (prin convenie mai mici de 50 eV). Datorit
faptului c au energii foarte mici, acest tip de electroni poate scpa din
suprafaa probei doar dintr-o regiune de foarte mic adncime. Prin urmare,
electronii secundari ofer imagini de cea mai bun rezoluie. n imaginile de
electroni secundari este oferit n principal de toporafia suprafeei probei. Cu
ct volumul de interacie este mai aproape de suprafaa probei, cu att mai
muli electroni secundari pot fi emii din prob, acest fenomen producndu-se
att n zonele cu vrfuri, ct i n cele mai joase. Astfel se obin imagini n care
vrfurile vor fi mai luminoase, iar vile mai ntunecate. Datorit acestui fapt,
interpretarea imaginilor de electroni secundari devine foarte intuitiv.

Electronii retrodifuzai

Electronii retrodifuzai (BSE), sunt electronii primari care au fost

mprtiai n afara suprafeei probei, datorit ciocnirilor elastice cu nucleele
din atomii probei. Aceti electroni posed energii mari, cuprinse (prin
convenie ntre 50eV i tensiunea de accelerare a fasciculului). Acest tip de
electroni provin dintr-un volum mai mare de interacie cu substana, ceea ce
contribuie la pierderea rezoluiei n imaginile de electroni retrodifuzai. n
aceste imagini, contrastul este determinat de diferena numerelor atomice din
fiecare punct bombardat cu fasciculul de electroni, de la media numerelor
atomice ale elementelor din compoziia probei. Din zonele ce conin
elementele cu numere atomice mai mari vor fi reflectai mai muli electroni,
ceea ce conduce la obinerea unei arii mai luminoase n imagine. Imaginile de
electroni retrodifuzai nu sunt att de uor de interpretat dar, evaluate corect,
pot oferi informaii importante privind compoziia probei.
n general, intensitatea curentului de electroni retromprtiai crete cu
creterea unghiului de mprtiere, nu variaz sensibil cu energia fasciculului
6
primar i crete cu numrul atomic al probei.
Semnalul oferit de electronii retrodifuzai este detectat de doi detectori cu
corp solid, care lucrnd n regim de substituie, adiie permit obinerea unor
imagini privind topografia sau compoziia suprafeelor analizate.

Recombinarea i catodoluminiscena

Prin interaciunea unui fascicul incident cu o prob, muli electroni

secundari produi nu pot prsi proba i sunt anihilai, n urma mprtierilor,
prin procese de recombinare electron-gol. Dac procesul de recombinare este
nsoit de emisia de fotoni optici, apare fenomenul de catodoluminiscen.
Mecanismul acestei fotoemisii este similar cu luminiscena n sensul c este
stimulat de o serie de elemente active, aflate n cantiti foarte mici n aria
probei bombardate cu fasciculul de electroni. Exact la fel ca n cazul
luminiscenei normale, catodoluminiscena poate indica distribuia n prob a
acestor elemente cu concentraii mici, completnd astfel informaia privind
compoziia chimic a ariei bombardate, obinute prin emisie de radiaii X sau
electroni Auger.
Catodoluminiscena n probele semiconductoare este dependent de
tensiunea electric aplicat i, n consecin, strile de suprafa n unele
materiale semiconductoare pot fi studiate prin acest efect care furnizeaz date
privind timpul de via al purttorilor de sarcin majoritari, lungimi de difuzie,
etc. Fenomenul de catodoluminiscen este afectat de asemenea de topografia
superficial i de prezena unor defecte interne (dislocaii, precipitate, limite
intercristaline).
Acest fenomen de excitare a luminiscenei prin bombardament
electronic a fost observat i n unele materiale plastice, organice i n unele
probe minerale.

Emisia de radiaii X i electroni Auger

Emisia de radiaii X se produce dac un electron de pe un nivel

energetic inferior este excitat de fasciculul primar de electroni i trece pe un
nivel energetic superior, sau prsete complet atomul (fotoelectron). Locul
vacant este ulterior ocupat de un alt electron care cade de pe un nivel energetic
superior i emite un foton de radiaie X, de energie h egal cu diferena
dintre energiile corespunztoare celor dou niveluri energetice ntre care a avut
loc tranziia.
Este posibil ca anumii electroni s fie reflectai din prob, dup ce n
prealabil au interacionat neelastic cu atomii din prob. Ceilali electroni, care
sunt mprtiai la unghiuri mai mici spre interiorul probei, i pierd din ce n
7
ce mai mult din energie, dup fiecare coliziune, pn cnd nu mai pot participa
la un proces de ionizare prin impact (de obicei energia de ionizare este
cuprins ntre 3 i 8 eV).
Energia rezultat n urma frnrii acestor electroni este emis sub forma
unor fotoni de radiaii X ce alctuiesc spectrul continuu de emisie a probei.
Intensitatea maxim a spectrului continuu crete cu tensiunea de accelerare, cu
intensitatea fasciculului i cu numrul atomic al probei.

Figura 1.7. Tranziiile posibile i notaiile radiaiilor X rezultate

Un proces de ionizare se desfoar astfel: un electron rapid, din

fasciculul incident, se apropie de un electron legat de unul din atomii probei
(situat pe unul din nivelele interioare ale atomului) i n urma schimbului de
energie produs datorit interaciunii ntre cmpurile coulombiene ale celor doi
electroni, electronul legat este forat s treac pe o stare excitat permis, adic
pe un nivel energetic superior din atom sau este expulzat din atom
(fotoelectron), n timp ce electronul incident i pierde din energie. Locul
vacant de pe nivelul energetic inferior va fi ocupat de ctre un electron de pe
un nivel energetic superior, cu respectarea regulilor de tranziie ( 1 i
j o sau j 1 ), iar diferena dintre energia pe care o avea electronul pe
nivelul superior i cea pe care o are pe noul nivel se va emite sub forma unui
foton (cuant) ce corespunde domeniului radiaiilor X.
Energia fotonilor rezultai n urma tranziiilor electronice depinde de
8
energia nivelelor ntre care au loc tranziiile i, prin urmare, este caracteristic
fiecrei specii atomice ( h k E k E L ). Aceste radiaii alctuiesc spectrul
caracteristic de emisie al probei i se suprapun peste spectrul continuu.
Lungimea de und sau frecvena radiaiilor X caracteristice, emise de
prob, se noteaz cu K sau K pentru tranziiile efectuate ntre nivelul L i K
i respectiv M i K. n figura de mai sus este prezentat schematic modul de
efectuare a tranziiilor posibile pentru trei nivele electronice i notaiile
radiaiilor rezultate.
Radiaia emis n urma tranziiei de pe nivelul L pe nivelul K const
I K 1
dintr-un dublet K i K. Raportul ntre intensitatea radiaiei K i K (
I K 2
) rezultate din tranziiile LII la K, respectiv LIII la K este proporional cu
4
numrul electronilor n subnivelele corespunztoare care este 2 (regula
2
sumei). Raportul intensitilor liniilor K i K descrete de la 10 pentru
aluminiu (Z=13) pn la 3 pentru staniu (Z=50). Motivul acestei variaii este
probabilitatea efecturii unei tranziii care crete pentru nivelele N i M odat
cu creterea numrului atomic. O deviaie puternic de la regula sumei este
observat pentru seria L, care poate fi atribuit tranziiilor Coster-Kroning n
Figura 1.8. Emisia radiaiilor X caracteristice

care un loc gol de pe LI sau LII este ocupat de un electron de pe subnivelul LIII,
iar energia rezultat este transferat unui electron de lng nivelul Fermi i
liniile care rezult din tranziiile pe subnivelul LIII sunt relativ mai intense.
Din punctul de vedere al analizei microscopice, este foarte important
faptul c fiecare element chimic posed un spectru unic de radiaii X. Partea
discret a spectrului (adic partea format din linii de maxime distincte)
cuprinde linii care corespund tranziiilor electronilor ntre pturile electronice
L i K din atom, tranziiilor ntre pturile M i K, tranziiilor ntre pturile M i
L. Spectrul continuu de radiaii X cuprinde fotonii provenii din ciocnirile
9
inelastice ale electronilor fasciculului incident cu electronii intei. Prezena
spectrului unic de radiaii X servete deci att la analiza elementelor
constituente dintr-un material, ct i ca surs potenial de contrast de imagine.
n scopul producerii radiaiei X caracteristice unui element, este necesar
ca tensiunea de accelerare s depeasc un potenial critic. n cazul unei
tensiuni de accelerare de 30 kV, o radiaie K suficient de intens poate fi
excitat n atomi cu numrul de ordine pn la Z=40.
n general, radiaiile X provin dintr-un volum al probei de ordinul
ctorva m2 situat n imediata vecintate a suprafeei, din partea inferioar a
volumului de interacie a fasciculului cu substana (vezi figura 3). Analiza
radiaiei X emise de prob se poate efectua cu ajutorul unor spectrometre de
construcie special, prin dou moduri: metoda dispersiv dup lungimea de
und i metoda dispersiv dup energii.
Rezultatul este prezentat sub forma unui spectru compus din intensitatea
semnalului radiaiilor X, pe axa vertical, respectiv energia, pe axa orizontal.
Maximele reprezentate n spectrul de radiaii X corespund elementelor
prezente n prob, care se identific dup energia caracteristic. Concentraia
elementelor prezente n prob se evalueaz dup intensitatea maximelor
caracteristice.
Din schema volumului de interacie a fasciculului de electroni cu
substana prezentat anterior, rezult c rezoluia spaial n imaginile de
radiaii X este mai sczut dect n imaginile de electroni secundari sau n
imaginile de electroni retrodifuzai (volumul de prob de unde provin radiaiile
X este mult mai mare dect cel din care provin electronii secundari).
Este posibil ca n urma tranziiilor electronice ntre nivelele interne ale
unui atom s nu rezulte un foton de radiaii X, ci energia rezultat s fie
preluat de un electron legat i acesta s fie emis. Energia electronului emuis
este egal cu energia sa de pe nivelul pe care se afla plus energia rezultat din
tranziie. Electronnul astfel emmis se numete electron Auger.
Pentru elementele uoare, probabilitatea de emisie a unui electron Auger
este mai mare dect cea de emisie a unui foton de radiaii X.
Mecanismul de producere a unui elecron Auger este urmtorul: dac un
electron de pe nivelul LI va efectua o tranziie pe nivelul K, unde exist un loc
neocupat creat prin ionizare, i energia rezltat E k E L va fi preluat de un
I

electron de pe nivelul LII, acesta va fi expulzat din atom.

Energia electronului expulzat va fi egal cu energia pe care o are nivelul
K minus suma energiilor nivelelor E L i E L , E E k ( E L E L ) , energia
I II I II

electronilor Auger fiind caracteristic fiecrei specii atomice.

Deoarece energia electronilor Auger este foarte mic pot s ias din prob
numai acei electroni formai n imediata apropiere a suprafeei, fenomen
evideniat n schema volumului de interacie a fasciculului cu substana
prezentat anterior. Se consider c reuesc s emearg din prob numai
electronii formai n primele dou trei plane atomice de la suprafa.
10
 Fenomenele de emisie a radiaiilor X caracteristice i a electronilor Auger
constituie baza microanalizei cu radiaii X i a electronilor Auger.

Principii tehnice ale microscopiei electronice de baleiaj

n microscopul electronic de baleiaj, fasciculul de electroni, produs de

tunul de electroni, este micorat la maximum prin intermediul a 2 sau 3 lentile
electromagnetice, urmrindu-se astfel obinerea unui fascicul extrem de ngust,
care este proiectat pe suprafaa probei. Cu ajutorul a dou bobine de deflexie,
plasate n interiorul ultimei lentile electromagnetice, activate de un curent
produs de un generator de baleiaj, fasciculul primar de electroni astfel
focalizat, este determinat s efectueze o micare n zig zag (raster), linie cu
linie, a unei zone rectangulare de pe suprafaa probei, realizndu-se un fel de
mturare a acesteia. La orice moment dat din timpul de scanare a suprafeei
probei, fasciculul de electroni ilumineaz un singur punct pe tiparul delimitat
pe suprafaa probei. Pe msur ce fasciculul se deplaseaz pe suprafaa probei
punct cu punct, este generat o variaie a intensitii semnalului, ceea ce va
reflecta diferenele prezente pe suprafaa probei investigate. Semnalul de ieire
obinut va fi o niruire de date formate din cureni seriali. Instrumentele de
baleiaj mai noi includ posibilitatea obinerii unor imagini digitale, care sunt
obinute prin conversia semnalului analog obinut de detectori ntr-o serie de
valori numerice. Ca urmare, fasciculul de electroni se afl la perioade diferite
de timp, n puncte diferite pe suprafaa preparatului. n urma impactului
fasciculului primar de electroni cu preparatul, semnalele generate sunt captate
de detectori, transformate n semnal electric, amplificate i trimise ntr-un
modulator electronic, urmnd ulterior ca intensitile semnalelor s fie
prelucrate digital i afiate pe un ecran.
Baleierea se poate realiza prin dou metode:
deviaia fasciculului de electroni cu ajutorul unor cmpuri electrostatice
sau electromagnetice variabile pe dou direcii reciproc perpendiculare;
prin deplasarea mecanic a probei n fasciculul electronic meninut fix.
Generatorul de baleiaj trimite un curent n form de dinte de fierstru n
bobinele de deflexie ale microscopului, n vederea producerii micrii de
baleiere a fasciculului pe suprafaa probei. Fiecare punct scanat pe suprafaa
probei va corespunde unui punct din imaginea final.
Analog luminii la microscopul optic, electronii nu formeaz o imagine
real n microscopia electronic de baleiaj, fiind construit o imagine virtual
din semnalul emis de prob.

Fiecare semnal colectat i amplificat se aplic pe o gril de nregistrare a

semnalului. n majoritatea cazurilor, modul standard de lucru este cel emisiv n
11
care sunt colectai electronii secundari emii de prob. Colectorul se afl la un
potenial de 250-300 V fa de prob, ceea ce determin atragerea electronilor
secundari. Dup o accelerare suplimentar pn la o energie eU de circa 10
keV, electronii ajung pe un scintilator de plastic acoperit cu un strat subire de
aluminiu. Lumina creat n scintilator trece printr-o fibr optic spre un
fotomultiplicator, unde este convertit n curent electric care poate fi
amplificat. Timpul de zbor al electronilor este foarte scurt, de aproximativ 10 -7
s. Acelai dispozitiv poate servi de asemenea pentru detectarea electronilor
reflectai (retromprtiai), cu condiia aplicrii unui potenial mrit care s nu
permit colectarea electronilor secundari de energii mai joase.
Un detector utilizat pe scar larg este detectorul cu semiconductori n
care electronii incideni care lovesc detectorul produc perechi electron-gol,
care determin apariia unui curent electric n circuitul exterior. Deoarece
detecia este realizat electronic (neformndu-se propriu-zis o imagine n
sensul optic) se pot imagina diverse proceduri de prelucrare a semnalelor,
acestea putnd fi adunate, sczute sau multiplicate.
La nceput, era utilizat un sistem de obinere a imaginii simplu, format
dintr-un tub catodic sau un sistem CRT. Sistemul CRT era format dintr-un tub
vidat nchis la un capt cu o suprafa destinat imaginii, acoperit cu fosfor,
care emitea lumin. La cellalt capt al tubului se aflau tunul de electroni i un
set de bobine electromagnetice de deflecie. Similar cu SEM-ul, sistemul CRT
utiliza un fascicul de electroni accelerai spre suprafaa acoperit cu fosfor.
Bobinele de deflecie scanau cu fasciculul tiparul imaginii pe suprafaa
afiajului. Fosforul avea rolul de a realiza conversia energiei electronilor
incideni n lumin vizibil. Intensitatea luminii depindea de intensitatea
curentului din fasciculul de electroni. Prin sincronizarea sistemului de scanare
CRT cu sistemul de scanare SEM i prin modularea curentului din CRT cu
semnalul imaginii, sistemul cartografia semnalul punct cu punct pe o suprafa
de formare a imaginii a sistemului CRT, ceea ce ducea la obinerea unei
imagini de electroni.
Avnd n vedere cele prezentate mai sus, schematic, funcionarea unui
microscop electronic de baleiaj se bazeaz pe cteva etape:
formarea i accelerarea unui fascicul de electroni;
fasciculul de electroni este delimitat si concentrat folosind diafragmele
metalice i lentilele condensoare;
utiliznd lentila obiectiv (final), fasciculul este focalizat pe suprafaa
probei;
interaciile generate n interiorul probei bombardate genereaz semnale
care sunt identificate i transformate ntr-o imagine sau n date privind
coninutul sau concentraia elementelor din prob.

12
 Din
punct de

Figura 1.9. Formarea imaginii n microscopul

electronic de baleiaj
vedere constructiv, sistemul electrono-optic este constituit din coloana
microscopului, camera de lucru n care se monteaz proba i sistemul de
detectori.
Coloana microscoapelor electronice de baleiaj nu depaeste 80 cm n
nalime i este aezat de obicei pe aceiai mas pe care se afl sistemul de
operare i afiaj, sau este fixat pe un suport separat n raport cu panoul de
operare. n partea superioar a coloanei se afl tunul electronic. Aproape la
toate microscoapele de baleiaj se utilizeaz tunurile triod cu termocatod de
wolfram.
Tensiunea de accelerare aplicat la tun nu depaete 40.000 V i se aplic
n trepte de la 100 V n sus, n funcie de proba examinat. Fasciculul de
electroni accelerai are la ieirea din cilindrul Wehnelt un diametru cuprins
ntre 250.000 i 500.000 .
Pentru a putea fi exploatat, acest fascicul trebuie redus mult i adus la
nivelul preparatului, pn la un diametru de 100 sau chiar mai mic. La unele
microscoape, reducerea n diametru a fasciculului se realizeaz cu ajutorul a
dou lentile condensoare, iar altele cu un sistem format din trei lentile
condensor. Aceste lentile de tip electromagnetic, alturi de lentila obiectiv,
constituie partea principal a coloanei microscopului. Trecnd prin acestea i
prin aperturile centrate din planul principal al lentilei finale, fasciculul, care la
emiterea din tunul de electroni are o densitate electronic de aproximativ 10 15
electroni pe secund i un curent de 10-4 A, ajunge la final doar cu 6x106
electroni pe secund, cu un curent extrem de mic, de ordinul a 10 -10 10-12 A i
13
un diametru de 100 .
Lentila final, fie c este vorba de o coloan cu dou lentile, fie de una cu
trei, este cea mai important; adesea este denumit lentila obiectiv, dei rolul
este de focalizare final a fasciculului pe preparat. n partea central ea include
sistemul de deflexie sau de baleiaj al fasciculului i un stigmator pentru
corectarea astigmatismului lentilei.
n partea inferioar a coloanei se afl camera probei i detectorii pentru
semnalele emise de ctre prob. n interior, camera propriu-zis este circular,
cu diametrul i nalimea variabile, n funcie de instrument.
Suportul pentru probe este format dintr-o msu pe care se pot fixa
preparate, cu diametrul de pn la 50 mm i nalimea de 10-20 mm, sau chiar
mai mari. Suportul este mobil, astfel c preparatul poate fi rotit i nclinat sub
diferite unghiuri, pentru a fi expus fasciculului de electroni. De asemenea, el
poate fi adus pn la 5 mm distan de lentila final, n special pentru
obinerea unor imagini de nalt rezoluie.
Sistemul de detectori reprezint partea cea mai important a
microscoapelor de baleiaj, care permit funcionarea instrumentelor n unul sau
mai multe moduri de operare. Sistemul de baz, din dotarea standard a
microscoapelor, este format din detectorul pentru electroni secundari i
detectorul de electroni retrodifuzai.
Foarte multe dintre cele mai moderne microscoape de baleiaj au i
detectori pentru electroni transmii, catodoluminiscen, fore
electronomotoare i detectorul de radiaii X, utilizat pentru analize privind
compoziia chimic a probei. Tipurile de semnale care se obin n microscopia
electronic de baleiaj i modalitile de detectare pot fi diferite.
Fiecare detector este conectat cu o unitate electronic montat pe consola
de control. Cu ajutorul unitilor de control se poate trece uor de la captarea
unui semnal la altul, dac aparatul este dotat cu toate tipurile de detectori.
Deoarece la toate microscoapele se utilizeaz n principal electroni
secundari i retrodifuzai, prezentm n cele ce urmeaz principiul de detectare
i amplificare a acestora.
Detectorul de electroni este format dintr-un colector, un scintilator i un
fotomultiplicator.
Electronii rezultai din prob n numar destul de mic, sunt captai de
colector i accelerai cu o tensiune de peste 10.000 V, nainte de a atinge
scintilatorul. Acesta din urm este confecionat fie din materiale plastice, dar
n acest caz are o via scurt i sensibilitate redus, fie din silicat de ytriu,
cunoscut in literatur i sub denumirea de P-47 i care are sensibilitate ridicat
i o durat lung de exploatare. n urma impactului cu scintilatorul, fiecare
electron d natere la un numar mare de fotoni care sunt dirijai ntr-un
fotomultiplicator, unde fiecare fotoelectron formeaz un numr impresionant
de mare de electroni secundari care sunt trimii n tubul catodic i utilizai la
modularea fasciculului acestuia.

14
 Figura 1.11. Tipuri de semnale i modaliti de prelucrare n microscopia
electronic de baleiaj

n tabelul nr. 2 sunt prezentate diversele moduri de lucru i tipurile de

informaii obinute n microscopia electronic de baleiaj.

Tabelul nr. 2
15
Emisie Electroni secundari Topografie 10 nm
emii Potenial electric 100 nm
Cmpuri electrice i 1 m
magnetice
Luminiscen Fotoni Compoziional 100 nm
Conducie Cureni de prob Conductibilitate indus 100 nm
Absorbie Cureni de prob Topografie 1 m
absorbii
Radiaii X Fotoni X Compoziional 1 m
Auger Electroni Auger Compoziional 1 m
Transmisie Electroni transmii Cristalografic 1-10 nm

Ultima generatie de microscoape electronice scanning, microscoapele

ESEM (Environmental Scanning Electron Microscope) permit efectuarea
investigatiilor tuturor categoriei de probe: probe metalice, ceramice, biologice,
umede, murdare uleioase fara nici o pregatire prealabile. Mai mult, pot fi
investigate probe aflate inmediul lor natural de viata sau de lucru.

Principii generale de functionare amicroscopului

electronic de transmisie

Partea principala a microscopului electronic de transmisie o constituie

coloana vidata care contine tunul electronic si ansamblul de lentile
electromagnetice, dupa cum s-a aratat in capitolul anterior. Dupa iesirea din
tun, electronii sunt focalizati pe proba prin intermediul a doua lentile
condensoare. In timp ce prima lentila condensoare formeaza o imagine de spot
de circa 1 m diametru, a doua lentila condensor o mareste de doua ori. Deci
spotul final al fasciculului observat pe ecran este de circa 2 m, dar pata
luminoasa a fasciculului va ocupa intreg ecranul la mariri mari.
Proba consta dintr-un strat subtire sau o folie de material supusa
iradierii cu fasciculul electronic. In urma proceselor de interactiune (v. cap. 4),
electronii transmisi si difractati (imprastiati elastic) trec prin aperture
(diafragma) lentilei obiectiv. Imaginea I1 formata de lentila obiectiv este
preluata de o lentila intermediara P1 care va forma o imagine intermediara I 2.
Aceasta va fi in final marita cu ajutorul lentilei proiector P 2 si proiectata pe
ecran. In figura 2.1este prezentata schematic diagrama traiectoriilor
electronice pentru obtinerea imaginii unei probe in microscopul electronic prin
transmisie.
Prin excitarea diferita a lentilelor P1 si P2, este posibila asigurarea unui
domeniu de mariri de la circa 1000 si pana la peste 100 000 .

16
 Fig. 2.1

Daca fasciculul incident este paralel, atunci fasciculele difractate care

parasesc proba pot fi focalizate in planul focal posterior al lentilei obiectiv si
formeaza astfel o imagine de difractie. In acest scop lentila P1 este excitata la
curenti mici, iar apertura obiectiv este plasata in jurul fasciculului nedeviat
pentru a produce conditiile favorabile contrastului de difractie.
Diagrama traiectoriilor electronice, corespunzatoare obtinerii unei
imagini de difractie, este reprezentata schematic in figura 2.1.b.

17
 Fig.2.2

In figura 2.2 este prezentata o sectiune transversala printr-un microscop

electronic de transmisie de tip JEM-100 S in care se observa principalele parti
componente ale acestuia: tunul electronic (1); anodul (2); lentila condensoare
(3); diafragma condensor (4); a doua lentila condensoare (5); suportul probei
(6); diafragma obiectiv (7); lentila obiectiv (8); diafragma pentru
microdifractie (9); lentila intermediara (10); lentila proiectoare (11);
binocularul (12); ecranul (13); camera fotografica (14).
In tabelul 2 sunt prezentate comparativ caracteristicile unor microscoape
electronice de transmisie moderne.

18
 Formarea imaginii

Bazele fizice ale microscopiei electronice prin transmisie sunt

determinate pe de o parte de interactiunea campurilor electromagnetice,
produse in lentile, cu electronii, care influenteaza parametrii electronooptici ai
instrumentului, si pe de alta parte de interactiunea electronilor cu proba de
investigat. Ultimul factor joaca rolul hotarator in formarea imaginii in
microscopia electronica.
Duap cum s-a aratat anterior, electronii sunt puternic imprastiati de
corpurile solide; deci pentru ca electronii sa poata traversa proba este necesar
ca aceasta sa aiba o grosime suficient de mica, iar electronii sa posede energii
suficient de mari.
Interactiunea electronilor cu substanta poate conduce la doua tipuri de
imprastiere (v.cap.4); imprastiere inelastica si imprastiere elastica.
Imprastierea inelastica rezulta in urma ciocnirii fluxului de electroni cu
norii electronici ai atomilor substantei imprastietoare ceea ce duce la
pierderea unei parti din energia fasciculului, cu schimbarea corespunzatoarea a
lungimii de unda asociata. Energia pierduta se regaseste sub forma de energie
termica, care ridica temperatura probei, sau sub forma de energie a fotonilor
de radiatii X emisi de proba.
Imprastierea elastica se produce fara pierderea de energie si variatie a
lungimii de unda a electronilor, aparand ca rezultat al devierii electronilor sub
actiunea nucleelor atomice din substanta imprastietoare.
Intrucat intensitatea imprastierii electronilor pe nuclee este mult mai
mare decat cea a imprastierii pe norii electronici, contributia imprastierii
elastice la imprastierea totala va fi mult mai mare decat cea corespunzatoare
imprastierii inelastice. De asemenea, imprastierea elastica a fasciculului
electronic creste cu cresterea numarului de ordine al elementului respectiv.
Avand in vedere cele mentionate anterior, datorita imprastierii,
fasciculul incident de electroni, paralel si cu sectiune mica, devine dupa
traversarea probei un fascicul divergent mult largit. Astfel electronii
imprastitati vor forma un con spatial a carui axa este reprezentata de traiectoria
nedeviata a fasciculului incident.
Cu cat este mai mic unghiul conului sub care sunt deviate electronii de
la directia initiala, cu atat mai mare va fi densitatea electronilor imprastiati,
deci implicit a electronilor care vor atinge in final ecranul sau placa
fotografica. In general, imprastierea electronilor, deci marimea unghiului
conului de deviatie, este influentata de densitatea substantei imprastietoare si
de grosimea probei. Prin cresterea grosimii sau densitatii probei, fractia de
electroni imprastiati la unghiuri mari creste. Acelasi fenomen se observa si la
micsorarea energiei electronilor incidenti. Datorita acestui fapt, in microscopia
electronica prin transmisie, probele au grosimi de cateva sute de angstrmi la
energii ale fasciculului electronic de 50 100 keV. In aceste conditii,

19
fasciculul electronic este imprastiat la unghiuri mici, de ordinal a 1, iar
dispersia energetica la traversarea probei nu depaseste 10 eV.
Imaginea elecrono-optica a obiectului se formeaza prin intermediul
lentilei obiectiv cu ajutorul electronilor imprastiati. Fasciculul paralel, format
in tunul electronic si lentilele condensoare, contine electroni de aproximativ
aceeasi energie (fascicul monocromatic).Dupa traversarea probei, fasciculul
emergent contine electroni deviati sub unghiuri diferite. Ulterior, acest fascicul
electronic transmis intra in lentila obiectiv, prevazuta cu o diafragma circulara
cu deschidere de 0,03-0,04 mm, care joaca un rol important intrucat opreste
electronii deviati la unghiuri mai mari decat deschiderea sa.
Electronii care nu trec prin diafragma nu vor participa la formarea
imaginii in timp ce electronii nedeviati sau slab deviate vor trece prin lentila
obiectiv si vor forma pe ecranul fluorescent imaginea electronooptica a
obiectului de studiat (fig. 10).
Probele supuse investigarii electrono-microscopice sunt de obicei
asezate pe straturi suport care imprastie mult mai slab electronii decat proba,
deci pe un fond luminos se va obtine imaginea mai intunecata a probei.
Imaginea obtinuta astfel se numeste imagine in camp luminos (fig. 10a).

Fig.2.2
Un alt tip de imagine care se poate obtine in microscopul electronic prin
transmisie este imaginea in camp intunecat ( dark field), unde pe un fond
intunecat se obtine imaginea luminoasa a obiectului. In acest caz, fasciculul
electronic cade pe proba sub un anumit unghi fata de axa optica a
microscopului, in asa fel incat electronii nedeviati sa fie stopati (absorbiti) de
diafragma, prin deschiderea acesteia trecand si formand imaginea doar
electronii care au suferit o imprastiere (difractie) suficient de intensa in proba
(fig. 10b). Astfel, portiunile cele mai dense si mai groase vor aparea pe ecran
cele mai luminoase, iar detaliile slab imprastietoare vor fi cele mai intunecate.

20
 Pentru formarea imaginii in camp intunecat se poate utiliza fie
inclinarea sistemului de iluminare (tunului electronic), fie deplasarea
diafragmei din pozitia sa centrala. Imaginea in camp intunecat are o rezolutie
ceva mai slaba decat cea in camp luminos, intrucat la obtinerea sa participa
electronii imprastiati la unghiuri mari, cu o dispersie energetica relativ mare,
ceea ce determina cresterea aberatiilor cromatica si sferica ale lentilei obiectiv.
Este interesant de observat ca, desi imaginea in camp intunecat poate fi
considerata ca un negativ al imaginii in camp luminos, totusi exista o serie de
detalii fine care nu coincid in cele doua tipuri de imagini. Din acest motiv, cele
doua metode de obtinere a imaginii in camp luminos si intunecat sunt utilizate
complementar.
Formarea imaginii unor seturi de plane ale retelei cristaline in probe
metalice a fost posibila prin trecerea prin apertura lentilei obiectiv atat a
fasciculului direct transmis cat si a fasciculelor difractate pe respectivul set de
plane. Imaginea formata poate fi considerata ca un tip de imagine de
interferenta, utilizata curent ca test de rezolutie pentru microscopul electronic.

Formarea contrastului

Datorita neomogenitatii probei, diferitele sale zone vor imprastia

electronii in mod diferit. Intrucat stralucirea imaginii va depinde de cantitatea
de electroni care cad pe ecran, densitatea minima de electroni pe ecran va
corespunde acelor detalii ale probei, cu cu grosime si densitate maxima,
reprezentand zone de imprastiere puternica. Aceste detalii ale probei vor
aparea in imagine mai intunecate. Invers, unele detalii slab imprastietoare ale
probei vor apare pe ecran ca zone mai luminoase.
Diferenta de stralucire intre zone invecinate ale imaginii probei
defineste contrastul imaginii in microscopia electronica. Pentru obtinerea
contrastului in imagine pe ecranul fluorescent este necesar ca densitatea
electronilor sa nu fie aceeasi pe sectoarele corespunzatoare diferitelor detalii
ale obiectului, ceea ce va face ca aceste sectoare sa apara distincte. In cazul
contrar, al unei densitati egale de electroni, ecranul se va lumina uniform,
neaparand deci nici o imagine.
Contrastul imaginii creste cu cresterea diferentelor de densitate si
grosime in diferitele zone ale obiectului si cu micsorarea deschiderii
diafragmei lentilei obiectiv si a tensiunii de accelerare. Intr-adevar, cresterea
tensiunii de accelerare produce cresterea vitezei elctronilor si, prin urmare,
micsorarea imprastierii lor, ceea ce va slabi contrastul in imagine.
Un contrast foarte bun va permite observarea celor mai fine detalii
existente in structura probei.

Din punct de vedere cantitativ, in microscopia electronica prin

21
transmisie,, contrastul dintre doua zone diferite ale probei este dat de diferenta
relativa a numarului de electroni care trec prin diafragma dupa imprastierea in
cele doua zone; deci intensitatea contrastului, G, se defineste prin

N1 N 2 N
G 1 2 , (19)
N1 N1

unde N1 si N2 reprezinta numarul de electroni pe unitatea de suprafata

proveniti din cele doua zone invecinate ale probei.
In cazul probelor de grosimi mici, un calcul bazat pe proportionalitatea
numarului de electroni imprastiati cu numarul de electroni incidenti si cu
grosimea probei, duce la urmatoarea relatie:

G NA x 2 x1 , (20)
A

unde NA este numarul lui Avogadro, A masa atomica, densitatea,

capacitatea de imprastiere a electronilor de catre un anumit tip de atomi sub un
unghi mai mare decat cel al diafragmei lentilei obiectiv, iar x 1 si x2 sunt
grosimile zonelor respective din proba. Marimea A / N A reprezint
coeficientul de transparenta al probei fata de fasciculul de electroni.
Din relatia (20) rezulta ca , la grosimi foarte apropiate, diferenta de
contrast este legata exclusiv de diferenta dintre numerele atomice si masele
atomice caracteristice elementelor din proba. In cazul unei probe care contine
acelasi tip de atomi, contrastul depinde numai de variatia grosimii probei.
Din punctual de vedere al formarii contrastului exista o diferenta
principiala intre microscopul electronic prin transmisie si microscopul optic
obisnuit. In microscopul optic, contrastul apare din cauza absorbtiei diferite a
luminii in zonele invecinate ale probei. In microscopul electronic, contrastul se
formeaza pe baza imprastierii diferite a electronilor in portiuni adiacente din
proba.
In probele amorfe (fara structura cristalina, deci cu o distributie haotica a
atomilor substantei), fasciculul de electroni sufera o imprastiere dezordonata
pe nucleele atomice avand ca rezultat devierea de la directia initiala. O fractie
oarecare din flux patrunde prin diafragma, ceea ce conduce la formarea in
imagine a unui contrast slab, numit contrast de absorbtie.
In cazul probelor cristaline, constratul imaginii in microscopia electronica
prin transmisie este in principal un contrast de difractie, deoarece grosimea
mica a probelor si tensiunile mari de accelerare fac ca absorbtia electronilor sa
joace un rol neglijabil.

Contrastul de difractie este legat de imprastierea prin difractie a

electronilor pe planele retelei cristaline dupa anumite directii preferentiale

22
( aceasta problema va fi analizata in cap.2.5). Electronii din fasciculul primar,
difractati sub anumite unghiuri, modifica densitatea de electroni care formeaza
imaginea, ceea ce explica aparitia contrastului de difractie. Intrucat, de obicei,
unghiurile sub care electronii sunt difractati depasesc unghiul de deschidere al
diafragmei lentilei obiectiv, zonele cristaline din imaginea in camp luminos
vor aparea mult mai intunecate decat cele amorfe.
Contrastul de difractie este dependent de tensiune ade accelerare si de
particularitatile de difractie ale obiectului (gradul de cristalinitate, orientarea
cristalografica, numerele atomice ale elementelor din proba, grosimile
diferitelor zone ale probei).
In cazul in care reteaua cristalina are defecte (dislocatii, defecte de
impachetare, pori, granite intercrstaline, limite de macle), conditiile locale de
difractie vor fi alterate, fata de cazul unei periodicitati ideale a retelei
cristaline, ceea ce va permite evidentierea acestor defecte prin metoda
contrastului de difractie. Concomitent poate fi evaluata densitatea si distributia
diferitelor tipuri de defecte in proba studiata.

Prepararea probelor

Metode de preparare a probelor fizico-metalurgice

Probele preparate pentru microscopia electronica prin transmisie trebuie
sa tina seama, in privinta grosimii, de tensiunea acceleratoare, pentru ca
transmisia electronilor sa se faca fara pierderi energetice excesive. In general,
pentru tensiuni acceleratoare pana la 100 kV, grosimea probelor poate varia
intre 100 si 1000 , in functie de natura materialului si caracterul studiului
intreprins.
In principiu se disting doua tipuri diferite de metode de pregatire a
probelor in functie de scopul urmarit in cadrul investigatiilor structurale:
metode de studiu a topografiei si morfologiei suprafetei si metode in vederea
examinarii structurii interne.
a) metode de preparare a probelor pentru studiul topografiei si
morfologiei superficiale. Una dintre tehnicile cele mai utilizate pentru
investigarea suprafetelor este metoda replicilor. Aceasta metoda consta in
depunerea pe suprafata probei investigate a unui strat subtire de substanta, care
apoi se separa de proba, constituind o replica care se studiaza in microdcopul
electronic prin transmisie, tinand seama ca replica reprezinta o copie negativa
a topografiei suprafetei. Principala cerinta a unor replici de calitate este
preluarea exacta prin replicare a topografiei superficiale a probei. Se pot
obtine replici de pe suprafete rugoase, de pe suprafete de rupere (fractura) sau
de pe suprafete polizate si lustruite, atacate chimic, electrochimic sau prin
bombardament ionic. In cazul suprafetelor atacate, morfologia unor
constituent5i sau faze secundare poate fi usor relevata datorita ratei diferite de

23
atac a acestora in rapot cu matricea.
In functie de natura si propietatile materialelor investigate exista mai
multe tipuri de replica:
1) replici in plastic;
2) replici obtinute prin evaporare;
3) replici obtinute prin oxidare.
Replicile in plastic se obtin prin depunerea pe suprafata probei a unei
solutii de material plastic intr-un solvent organic corespunzator. Dupa
evaporarea solventului, pe suprafata probei ramane un strat de lac solid si
subtire, care se poate desprinde de proba pe cale mecanica sau chimica (prin
dizolvarea probei). In acest scop se utilizeaza curent solutii de 0,5 2%
colodiu in acetat de amil sau 1-5% formvar in dioxin. Uneori aceste replici
sunt insa putin transparente pentru fasciculul de electroni si contrastul in
imagine este scazut.
Mult mai utilizate sunt replicile obtinute prin evaporare care confera in
general rezolutii inalte si contrast ridicat. In mod obisnuit aceste replici se
obtin prin evaporarea termica in vid a carbonului in instalatii speciale de
evaporare.
Replicile oxidice pot fi obtinute numai in cazul unor metale si aliaje care
se oxideaza usor ( de exemplu aluminiul si aliajele sale). Stratul de oxid se
poate obtine de exemplu ca rezultat al unui proces de electroliza si se
desprinde de proba intr-un solvent corespunzator, fiind apoi asezat pe un
suport special pentru studiul direct in microscopul electronic.
Frecvent, in functie de numarul etapelor parcurse pentru obtinerea
preparatului de studiat, metodele de pregatire a replicilor ( replicare) se
clasifica in :
- metode de replicare cu o singura treapta;
- metode de replicare cu doua trepte.
In prima metoda ( fig. 11a) se obtine replica direct de pe suprafata
investigate, asa cum s-a descries anterior, aceasta copie negativa fiind studiata
ulterior in miocroscopul electronic prin transmisie.
In a doua metoda (fig.11b), replica se obtine in doua etape: la inceput se
obtine o replica intermediara groasa ( matrita) de pe suprafata probei, iar
ulterior, dupa separarea mecanica a acesteia, se pregateste replica finala
( prezentand acelasi microrelief ca si proba initiala) printr-un procedeu
asemanator primei metode. In acest scop, se executa evaporarea de carbon in
strat subtire pe suprafata matritei, urmand ca replica finala de carbon sa se
separte de matrita de plastic prin dizolvarea acesteia intr-un solvent organic.Ca
materiale plastice pentru matrite se pot utiliza: polistirol, formvar, colodiu sau
celuloza, iar ca silventi tipici pentru acestea se folosesc: benzol, dioxin, acetat
de amil si acetona.

Replica monotreapta Replica in doua trepte Replica de extractie

24
 a b c
Fig. 2.3

Contrastul in imaginea microscopica este neomogen in diferitele portiuni

ale replicii, in functie de microrelieful suprafetei probei. In unele cazuri,
contrastul poate fi atat de slab, incat unele detalii investigate nu pot fi distinse
pe fondul general al imaginii. Pentru intensificarea contrastului se utilizeaza
metoda umbririi cu metale grele care au o putere mai mare de imprastiere a
electronilor. In principiu, metoda consta in depunerea prin evaporare in vid ,
sub anumite unghiuri fata de suprafata probei, a unor straturi subtiri de metal.
Depunerea are loc prin incalzirea electrica a materialului metalic intr-o
spirala sau cosulet de wolfram sau tantal care se monteaza in acelasi dispozitiv
de evaporare mentionat.
Particulele de metal formeaza straturi cu grosimi diferite, in functie de
unghiul format de diversele portiuni al replicii in directia fluxului particulelor
evaporate. Zonele din relieful replkicii, care se afla situate normal pe directia
fluxului, vor fi acoperite cu un strat mai gros de metal, spre deosebire de
celelalte zone unde grosimea stratului va depinde de unghiul de inclinare.
Portiunile mascate de alte elemente de relief vor fi umbite, deci in acele
zone nu se va depune metal. Aceste regiuni vor fi mai transparente la electroni
si, deci, in imaginea electrono-miocroscopica mai luminoasa decat portiunile
acoperite cu un strat mai gros de metal, unde luminozitatea va fi in functie de
grosime acestuia.
Metoda umbririi permite valoarea inaltimii h a elementelor de microrelief
prin masurarea lungimii umbrelor lasate de acestea pe imagine, cu ajutorul
relatiei:

l h / tg , (21)

unde l este lungimea umbrei, iar unghiul sub care s-a facut umbrirea.
Prin urmare, in cazul unor detalii de dimensiuni mari, se vor utilize

25
unghiuri de cca 45, raportul inaltime-umbra fiind in acest caz de 1:1, iar in
cazul unor detalii mai fine ale reliefului se recomanda folosirea unor unghiuri
mici de umbrire de pana la 10-12.
Metalele grele cele mai utilizate pentru umbrire sunt: crom, aur, platina,
aliaje de platina cu paladiu sau aur, uraniu, oxid de uranium, oxid de wolfram
etc.
Un tip special de replici il constituie repliocile de extractie ( fig.11c), care
sunt replica obisnuite extrase de pe suprafete atacate chimic un timp mai
indelungat, deci in replica vor fi retinute doar microparticule sau faze izolate.
Microparticulele sau fazele extrase isi vor pastra morfologia si localizarea, iar
prin tehnici de microdifractie sau microanaliza se va putea preciza natura
acestora.
O alta metoda de preparare pentru investigarea suprafetelor prin
microscopie electronica prin transmisie este metoda decorarii care consta in
depunerea prin evaporare de scurta durata pe suprafata probei a unor germeni
cristalini metalici, care vor forma aglomerari sau lanturi de particule in zonele
continand defecte cristaline, pe care le decoreaza, marcand prezenta si locul
acestora in imagine. Prin metoda decorarii este posibila vualizarea directa a
acelor elemente de relief superficial care constituie centre electric active sau
concentratoare de tensiuni. De asemenea, se poate urmari evolutia defectelor
respective ca rezultat al diverselor interactiuni fizico-chimice.
Toate tipurile de replici, fiind de grosimi reduse si, in general, fragile,
sunt asezate pe suporti metalici sub forma de retea, avand uzual un diametru
de cca 3mm.
b) metode de preparere a probelor in vederea examinarii structurii
interne. O mare varietate de metode a fost propusa pentru reducerea grosimii
probelor pana la obtinerea unor folii subtiri, cu grosimi adecvate investigatiilor
electrono-microscopice. Straturi subtiri au fost obtinute prin evaporare si
depunere in vid, sau prin pulverizare cu fascicule ionice a materialului
respective pe suporti convenabili. Unele cristale ( de exemplu mica) pot fi
direct clivate la grosimi suficient de subtiri, pentru a permite examinarea in
microscopul electronic prin transmisie.
Metodele curente de obtinere a unor probe cu grosimi sub 0,5mm constau
in taierea mecanica, eroziunea chimica sau electrochimica. Materialele
ceramice pot fi de asemenea subtiate prin utilizarea bombardamentului ionic.
In final, probele cu grosime redusa trebuie sa fie aduse la transparenta
electronica printr-un process controlat de polizare electrolitica.
Electropolizarea se efectueaza prin doua tehnici standard: metoda ferestrei si
metoda Bollmann.
In prima metoda, proba acoperita cu un lac protector in zona marginilor,
pentru a preveni un atac chimic excesiv, este suspendata intr-un electrolit. In
fata probei, care constituie anodul, se afla catodul confectionat din acelasi
material. Aplicand o tensiune si o densitate de curent adecvate, in fereastra

26
constituita de zona nelacuita a suprafetei probei se formeaza gauri, pe
marginea carora sau intre care se afla portiuni transparente pentru fasciculul
electronic, acestea din urma putand fi decupate si studiate in microscop.
In metoda Bollmann, proba de subtiat (anodul) se afla intre doi catozi de
otel inoxidabil ascutiti. Acesti doi electrozi sunt plasati la cca 0,5mm de
centrul suprafeti probei. Dupa obtinerea unei perforatii, proba este deplasata
astfel incat electrozii sa se afle intre perforatia anteriaoa si marginea cea mai
apropiata a probei. Subtierea continua in acelasi regim, pana in momentul in
care marginile perforatiei si probei aproape se unesc. Zona foliei cuprinsa intre
cele doua margini poate fi taiata si examinata direct in microscop.
Solutiile de electroliti se aleg in functie de natura materialului iar regimul
de subtiere electrolitica( tensiune, densitate de curent) este variabil si necesita
uneori lucrul la temperature fie scazute, fie ridicate. Un exemplu tipic de
electrolit, utilizat pentru subtierea otelurilor inoxidabile, este cel format din
42% H3PO4, 34% H2SO4 si 24% H2O, intr-un regim de polizare caracterizat
prin U= 8-9 V, I=9-10A, t=30 -60 C .
Dupa cum s-a mentionat anterior, stratul subtiri metalice sau ceramice pot
fi obtinute prin procedee de depunere prin evaporare in vid, prin pulverizare
catodica sau cu fascicule ionice, prin depunere electrolitica, sau prin depunere
chimica in faza de vapori (CVD). Straturile obtinute de grosimi variabile pot fi
mono sau policristaline. Factorii esentiali pentru controlul dimensiunii
grauntilor, orientarea cristalografica si compozia chimica a straturilor depuse
sunt: viteza de depunere, temperature suportului, natura chimica a suportului si
stratului. In calitate de suport se utilizeaza curent halogenuri alcaline, carboni,
sticla, mase plastice etc.

Metode de preparare in domeniul biomedical

Deoarece probele biologice sunt extreme de fine si au rezistenta mecanica

scazuta, obtinerea preparatelor biologice necesita utilizarea unor metode
specifice de pregatire. In functie de natura preparatelor biologice ( suspensii
continand virusuri sau bacterii, sectiuni ultrafine de tesuturi, replici ale unor
probe biologice) se adopta diverse tehnici de preparare, avand in vedere faptul
ca grosimea probei nu trebuie sa depaseasca 100 nm la o tensiune
acceleratoare de 100 kV. In foarte putine cazuri ( virusuri, organite subcelulare
izolate) grosimea este suficient de mica pentru observare directa.
Suspensiile pot fi depuse pe grilele suport (discuri de retea metalica
acoperite cu un strat subtire organic lipsit de structura) prin pipetare, adsorbtie,
intindere sau pulverizare.
Tehnicile de replicare ale probelor biologice sunt similare cu cele descrise
in 2.4.1. In multe cazuri, replicare este precedata de o operatie de uscare prin

27
congelare (freeze-drying) sau corodare prin inghetare (freezeetching).
Pentru marirea constratului preparatelor biologice se utilizeaza metalizarea sau
umbrirea cu maetale grele prin evaporare in vid. Investigarea aspectelor
morfologice implica metalizarea pentru observarea electronomicroscopica a
virusurilor, bacteriilor, structurilor subcxelulare sau macromoleculare (acizi
nucleici, proteine, enzime).
Principalele etape de preparare a unor sectiuni ultrafine de probe
biologice sunt: fixarea, deshidratarea, inglobarea si sectionarea. Scopul
principal al intregii proceduri este de a produce felii subtiri de preparat in care
structura fina sa fie conservata cu o alterare minima fata de realitatea
biologica.
Fixarea are ca scop stabilizarea organizarii celulare astfel incat relatiile
ultrastructurale sa fie pastrate in cursul etapelor ulterioare de deshidratare,
inglobare si expunere la fasciculul electronic. Fixarea poate avea loc in vivo
(pe viu) sau imediat dupa moartea organismului. Mentionam printre agentii de
fixare curent utilizati: tetraoxidul de osmium, aldehidele (in special
glutaraldehidele), acetatul de uranil.
Deshidratarea se efectueaza imediat dupa fixare. Cei mai folositi agenti
de deshidratare sunt etanolul si acetona. Intrucat rasinile poliesterice utilizate
ca mediu de inglobare, sunt insolubile in etanol, probele sunt deshidratate in
acetona sau in etanol cu utilizarea unei trepte intermediare de deshidratare in
stiren sau acetona.
Inglobarea se aplica in stadiul final de preparare a unei probe biologice;
pentru obtinerea prin taiere a unor sectiuni subtiri, proba este infiltrata cu un
mediu de inglobare lichid care produce prin polimerizare un corp solid. Un
mediu ideal de inglobare trebuie sa fie solubil in etanol sau acetona inaintea
polimerizarii, san u altereze proba fizic sau chimic, sa se durifice uniform, dar
sa ramana totusi destul de plastic in vederea taierii sis a fie relativ stabil la
bombardament electronic. Principalele tipuri de medii de inglobare sunt
rasinile epoxidice, rasinile poliesterice si metacrilatii, primele fiind cele mai
des folosite.
Sectionarea se face cu aparate speciale numite ultramicrotoame, care taie
felii subtiri de 0,01-0,2 m din blocul de inglobare continand tesutul de
studiat. Taierea se face cu cutite speciale de sticla sau diamante.
In scopul imbunatatirii contrastului si rezolutiei se utilizeaza metode
speciale, cum ar fi: colorarea pozitiva, colorarea negativa si umbrirea sau
metalizarea.
Colorarea pozitiva consta in impreganarea structurilor biologice cu un
colorant compus din saruri ale unor metale grele. Deoarece fiecare tip de
molecula prezinta o afinitate chimica caracterisrica fata de colorant,
imprastierea electronilor de catre atomii grei ai colorantului va fi diferita, in
functie de cantitatea de colorant retinuta de molecula respective. Prezenta
ionilor metalice mareste densitatea specifica a preparatului, ceea ce implica o

28
marire a contrastului in imaginea electrono-microscopica, conform relatiei
(20). Colorantii cei mai utilizati sunt sarurile de uraniu, de plumb, de thorium,
de lantan, etc.
Colorarea negativa, metoda larg utilizata in studiul virusurilor,
microorganismelor si fractiunilor celulare, consta in plasarea preparatului
biologic intr-o solutie care contine un pigment cu putere foarte mare de
imprastiere si care nu reactioneaza chimic cu preparatul. Dintre substantele
utilizate ca pigmenti amintim fosfotungstenatii, acetatul de lantan, wolframatul
de sodium , acetatul de uranil, etc.
Metalizare sau umbrirea este o metoda descrisa deja in 2.4.1.. In scopul
evidentierii aspectelor morfologice ale unor preparate biologice ca virusuri,
bacterii, structuri celulare sau macromoleculare (acizi nucleici, proteine,
enzyme), pentru evaporate in vid se utilizeaza metale cum ar fi: aur, aliaj aur-
paladiu, oxizi de uraniu, platina-carbon etc..

Difractia de electroni

Datorita proprietatilor ondulatorii ale electronilor, la trecerea acestora prin

reteaua cristalina a probelor, are loc un fenomen de imprastiere dupa anumite
directii, numit difractie. Electronii imprastiati formeaza, prin suprapunere,
maxime de difractie a caror pozitie ordonata corespunde distributiei regulate a
atomilor in reteaua cristalina. Astfel, ca urmare a difractiei electronilor, se
obtine pentru fiecare substanta o imagine de difractie caracteristica, care
permite identificarea structurii si naturii probei investigate.
Considerand, intr-o prima aproximatie, difractia electronilor ca un
rezulata al reflexiei fasciculului electronic pe unele plane atomice ale retelei
cristaline, se poate stabili, pe baza directiei fasciculelor difractate, oreintare in
spatiu a acestor plane, ceea ce echivaleaza cu legea de difractie descoperita de
W. H. Bragg:

2d sin = n . (22)

Intr-adevar, in fig.12 se observa ca, daca un fascicul de electroni cade pe

un cristal sub unghiul fata de un set de plane cristalografice-complet
caracterizate ca pozitie spatiala prin trei numere denumite indici Miller ( h,k,l)
situate la distanta interplanara d, atunci difractia se produce, conform legilor
din fixica clasica, daca drumul electronilor reflactati de plane atomice
adiacente difere cu un numar intreg de lungimi de unda.

29
 Fig. 2.4

Daca raza difractata pleaca de la planul de reflexie sub unghiul , atunci

diferenta de drum a razelor, n., care corespunde drumului suplimentar parcurs
de fiecare raza in raport cu precedenta (distanta ABC) va fie gala cu 2dsin,
ceea ce reprezinta legea lui Bragg (22) mentionata anterior.
Fenomenul de difractie a electronilor prezinta o mare similitudine cu
fenomenul de difractie a radiatiilor X in cristale. Totusi difractia electronilor
prezinat o serie de particularitati legate de lungimile de unda mici associate
electronilor si de imprastierea lor puternica pe atomii retelei. Astfel se explica
faptul ca dimensiunea limita a particulelor cristaline care formeaza imagini de
difractie corespunde la cca 102 103 pentru electroni si la cca 103 106
pentru radiatiile X. De asemenea, cu ajutorul difractiei de elctroni se pot studia
straturi foarte subtiri de substanta (grosimi intre 20 si 1000 ), fapt dificil de
realizat prin investigatii roentgeno-structurale.
Cea mai simpla camera de difractie a electronilor consta dintr-un tun
electronic, o lentila obiectiv, proba si ecranul de observare (fig. 13). Notand cu
R distanta dintre pata centrala, corespunzatoare fasciculului electronic incident
nedifractat, si un maxim de difractie, eset evident din figura ca:
R = L tg 2, (23)
unde L este lungimea camerei de difractie (in principiu, distanta proba-ecran).
Masurand R si L se poate calcula unghiul de imprastiere . Apoi, cu ajutorul
relatiei lui Bragg, se poate determina distanta interplanara d, cunoscand
lungimea de unda calculata conform relatiei (3). Deoarece unghiul este
foarte mic, in general, relatiile (22) si (23) pot fi aproximate prin:
2d n. (24)

i, respectiv,
R L 2. (25)
30
 Inlocuind valoare unghiului din relatia (24) in relatia (25) se obtine:
Rd = L (26)

Fig.2.5

Aceasta formula este des utilizata in interpretarea imaginilor de difractie a

electronilor.
Dupa cum s-a mentionat in 2.3, in planul focal posterior al lentilei
obiectiv este asezata o aperture care produce contrastul de difractie in
imaginea electrono-microscopica. Daca in planul imaginii intermediare,
formata de lentila obiectiv, sunt plasate aperturi de difractie care selecteaza o
zona restransa a probei, atunci se poate obtine o imagine de difractie asociata
acestei arii. Aceasta tehnica se numeste micro-difractie sau difractie pe arie
selectata si are numeroase aplicatii practice, permitand identificarea
cristalografica si a naturii chimice a unor particule izolate, precipitate, faze
secundare etc., vizualizate deja prin microscopie electronica. Similar difractiei
radiatiilor X este posibila determinarea cu o precizie relativ buna (0,1%) a
parametrilor retelei cristaline.
Imaginile de difractie electronica au un caracter dependent de natura
probei si de metoda de obtinere a imaginii. Astfel, exista urmatoarele tipuri de
imagini de difractie obtinute la trecerea fasciculului electronic prin proba:
a) Imagini de difractie associate monocristalelor, n care maximele de
difractie apar sub forma unor puncte izolate, provenite de al familiile de plane
existente in proba monocristalina- caracterizate de aceiasi indici Miller (fig.
14a). Simetria dispunerii maximelor de difractie punctuale in imagine este
direct legata de simetria structurii cristaline a materialului din proba.
b) Imagini de difractie associate probelor policristaline, n care maximele
de difractie se prezinta sub forma unor inele concentrice luminoase pe fond
intunecat, rezultat al prezentei unui numar mare de cristalite in proba cu
orientari diferite in spatiu. In acest caz fasciculul primar intalneste un numar
mare de plane cristaline, apartinand aceleiasi familii, iar fasciculele difractate
31
se vor aseza pe panzele unor conuri avand drept axa fasciculul primar
nedeviat. Din intersectia acestor conuri cu ecranul de observare rezulta inelele
de difractie observate in figura 14b.

Fig. 2.6

c) Imagini de difractie pe probe texturate, in care apar o serie de arce de

cerc a caror lungime este proportionala cu gradul de texturare. Prin grad de
texturare al unei probe policristaline se intelege procentul statistic majoritar de
cristalite orientate dupa o directie comuna [hkl].

32