Introducere

Definitie: Procesele de replicare sunt acele procese care

caracterizeaza prin folosirea de structuri master cu imagi
negativa a geometriei dorite

Tipuri de procedee de replicare:

Replicare prin turnare (casting)
Embosare termica
Replicare prin injectie
Realizarea structurilor master

Microprelucrare in volum in siliciu sau sticla

Microprelucrare cu laser (Laser Micromachining) sticla, polime

Microprelucare mecanica (Micromachining) Sticla, polimeri

Fotolitografie - SU-8
Replicare prin turnare Structura master

Se toarna un polimer in stare

lichida peste structura master Turnare polimer si solidif

Se solidifica polimerul
in timp imbatranire,
la temperaturi ridicate Exfoliere polimer
coacere
prin expunere la radiatie UV

Se exfoliaza polimerul stratul Strat polimeric con

polimeric de pe structura master
Embosare termica

Substrat Polimeric Incalzire si

presare

Desprindere Racire

Geometria de pe structura master se imprima pe stratul polime

prin aplicarea unei presiuni mecanice si incalzirea locala
suprafetei polimerului
Embosare termica

Structura master si substratul polimeric sunt incalzite independ

la o temperatura mai mare de Tg a polimerului

Structura master este adusa in contact cu substratul polimeri

asupra ei este aplicata o forta de embosare (0.5-2kN/cm2)

Substratul embosat este racit la o temperatura <Tg, astfel inca

revina in stare solida

Structura master se desprinde de pe substrat mecanic

Materiale: PMMA, PDMS PC

Timp: 5-10 min

Replicare prin injectie

Polimerul este incalzit la o temperatura mai mare de Tg, astfel in

sa treaca in stare lichida

Polimerul lichid este injectat in camera de replicare, unde

plasata structura master, prin exercitarea unei presiuni hidraulic

Camera de replicare este racita sub valoarea Tg

Polimerul intarit este desprins de pe structura master

Proces rapid t< 1min; se prelucreaza mai multe structuri simulta

Replicare prin injectie