Masurarea proprietatilor dielectrice ale filmelor subtiri

pentru tranzistori TFT

Anul universitar

2019-2020

1
 Cuprins:

1. Aspecte generale..............................................................3
2. Determinarea proprietatilor dielectrice............................3
3. Principiul de masurare si partile componente ale
sistemului de masurare.........................................................4
3.1 Parti componente ale sistemului de masurare sunt:............................4

3.2 Performante ale aparatului de masurat:...............................................4

3.3 Modul de lucru:...................................................................................4

4. Concluzii..........................................................................5
5. Bibliografie......................................................................6

2
 Masurarea proprietatilor dielectrice ale filmelor subtiri pentru tranzistori TFT
(curbe I-U si C-U)

1. Aspecte generale

In acest referat se va prezenta modalitatea de masurare a proprietatilor dielectrice ale

filmelor subtiri. Masurarea proprietatilor rezistive ale filmelor dielectrice se face in regim static.
Toate echipamentele electrice utilizeaza dielectrici (izolatori), ce au rolul de a constrânge si a ghida
curentul electric prin circuitul electric.

Materialele dielectrice se caracterizeaza prin stari de polarizatie electrica care sunt stari de
electrizare suplimentara si apar in prezenta campului electric intern sau extern.
Materialele dielectrice (izolatoare) se utilizează cu precădere la
realizarea condensatoarelor, tranzistorilor şi au diagrama de
benzi energetice ca în Figura 1.
Lăţimea benzii interzise EG are o valoare mare, de aproximativ
5eV (eV=electron volt) astfel încât foarte puţini electroni din
banda de valenţă pot căpăta, chiar şi în prezenţa unor factori
externi cum ar fi campul electric sau temperatura ridicată,
suficientă energie pentru a trece în banda de conducţie. Din
acest motiv, fenomenele de conducţie (apariţia curentului
electric) sunt foarte slabe.
Principalele tipuri de materiale dielectrice sunt:
 Materiale dielectrice solide organice - polimerii:
polistiren, polietilenă, plexiglas, diflon, răşini, etc.
 Materiale dielectrice solide anorganice:
sticla, materiale ceramice, pelicule din oxizi ai metalului.
Figura 1. Aplicaţiile cele mai importante ale materialelor dielectrice
sunt în realizarea condensatoarelor şi a traductoarelor mecano-
electrice.
 Materialul hibrid este un material format din două componente reunite la scară
nanometrică. În mod normal unul dintre aceste componente este de natură anorganică și
celălalt organic.

2. Determinarea proprietatilor dielectrice

Pentru determinarea proprietatilor dielectrice a acestor materiale se folosesc aparate de
masurare a caracteristicii I-U si a caracteristicii C-U.
Caracteristica I-U masoara valoarea curentilor ce trec prin stratul de studiat. Valorile
curentilor straturilor subtiri masurate sunt cuprinse in intervalul 10-6 pana10-12 A.
Caracteristica C-U ne ajuta la determinarea constantei dielectrice din formula clasica:

C=capacitatea electrica
A=aria suprafetei masurate
d=grosimea stratului masurat
ε= constanta dielectrica

3
 Fig.1 Structura Metal-Izolator-Metal (MIM)

3. Principiul de masurare si partile componente ale sistemului de

masurare

Principiul de masurare consta in aplicarea pe proba de masurat a unei tennsiuni constante

(surse ideale, comandata prin program) si masurarea independenta a curentului prin proba.

3.1 Parti componente ale sistemului de masurare sunt:

- PC
- Dispozitiv electronic de generare a tensiunii aplicate si masurare a curentului rezultat
(semnal de iesire).
- Micromanipulatorul
- Suport metalic (al doilea electrod)
- Incinta de ecranare (pentru diminuarea zgomotului electric)

Schema de principiu a instalatiei este prezentata in figura 2.

Fig 2 Structura sistemului de masurat (de tip sursa-masura)

3.2 Performante ale aparatului de masurat:

Tensiune aplicata:-±40 V
Numar de pasi pentru masurare: 1 .. 2048
Scara de masura pentru curent: 1nA – 100µA
LSB: 0.5pA
Eroare absolută: Pentru a fi deteminata (presupune ± 4LSB (pic mai puțin semnificativ)
Timp de masurare (>=4s).

3.3 Modul de lucru:

Se fixeaza proba pe suportul metalic.

Se fixeaza varful (acul) manipulatorului, cu rol de prim electrod, pe suprafata probei in zona
examinata-fig.4). In aces scop se foloseste un microscop cu camera incorporata, conectat la PC.
Se porneste programul MASUI.exe. Cel de al doilea electrod se prinde de placuta care intra in
contact cu spatele probei .

4
Se deschide programul si se citesc datele masurate (tensiune-curent) pe ecranul calculatorului, dupa
aproximativ 3-5 secunde de la fixarea acului pe electrod.
Datele pentru intensitate se introduc in Excell sau Origin si se prelucreaza.

Fig.3 Dispozitiv de masurare a Fig.4 Imagine marita a contactului

proprietatilor electrice electrod -ac

Caracteristica U-I Inregistrarea datelor Interfata grafica

Inregistrarea valorilor se va face utilizand tabelul de mai jos:

Nr.crt U(V) I(A)

4. Concluzii

Asa cum s-a putut observa pe parcursul prezentarii de mai sus, activitatea de masurare a
proprietatilor rezistive ale filmelor dielectrice se face in regim static. Astfel, echipamentele electrice
utilizeaza dielectrici (izolatori), ce au rolul de a constrânge si a ghida curentul electric prin circuitul
electric. Este de mentionat faptul ca materialele dielectrice se caracterizeaza prin stari de polarizatie
electrica care sunt stari de electrizare suplimentara si apar in prezenta campului electric intern sau
extern.

5
5. Bibliografie

1) Braithwaite N, Weaver Gr., Electronics materials, Open University course,

Butterworth Scientific Ltd., London, 1990
2) Cătuneanu M.V., ş.a., Materiale pentru electronică, E.D.P., Bucureşti, 1982
3) Cătuneanu M.V., Svasta I.P. ş.a., Tehnologie electronică, E.D.P., Bucureşti, 1984