Determinarea grosimii unui strat subtire cu ajutorul elipsometriei

Presupuneri:
1. suprafetet de demarcatie paralele intre oricare din cele 3 medii
2. Mediul 1 are dimensiuni mult mai mari dect grosimea sa d , n timp ce
mediul 0 i 2 sunt de grosime infinita
3. Toate cele trei medii sunt considerate omogene i optic izotrope
4. Mediul 1 nu este un mediu de amplificare
5. unda incidenta este plana si monocromatica

Reflectia si Transmisia unei unde incidente

Unghiul de incidenta
0
. Unda incidenta este partial reflectata in mediul 0 si partial transmisa in
mediul 2 sub unghiul
1
. Partea transmisa ajunge la limita dintre mediile 1 si 2 unde este din nou
partial reflectata si partial transmisa in mediul 2 sub unghiul
2
. RELATIA INTRE UNGHIURILE

0
,
1
si
2
E DATA DE LEGEA REFL SI REFR


unde n
0
, n
1
and n
2
sunt indicii de refractie complecsi ai mediilor 0, 1, si 2. In continuare se vor
face rationamente care nu depind de polarizarea undei incidente ( se poate presupune ca uinda
incidenta este fie fie polarizata) urmand ca mai tarziu sa se trateze si aspectul polarizarii undei
incidente.

Unda reflectata:

Utilizand coeficientii Fresnel ptr reflexie si transmisie (, ) se poate scrie



unde desemneaza defazajul suplimentar cauzat de propagarea (ocolul) undei reflectate prin
mediul 1

Dedcerea lui



Se compara defazajul dintre undele reflectate E
r,1
and E
r,2
in punctele E si C. Unda E
r,1
strabate un
drum optic |AE| (propagarea de la A la E) in timp ce unda Er,2 strabate un drum optic |ABC|
(propagarea ABC)



Dupa cum se vede , se poate calcula si diferenta de faza in punctele D si B se pot simplifica
calculele

Ec. undei plane:


unde k = 2n/, cu fiind lungimea de unda in vid a undei incidente.
Faza acesteia: = kz+.

Difereta de faza poate fi exprimata ca diferenta de faza in punctele D si B dintre undele E
r,1
si
E
r,2
.



unde z1 = |AB| and z0 = |AD|. Din figura:


din legea refractiei:


=>



Daca mediul 1 este absorbant este complex i.e. = + j





Datorita celei de a doua presupuneri facuta la inceput unda reflectata totala se poate calcula
adunand toate undele reflectate partiale:



unde P denota coeficientul de reflexie3 total

Deducerea coeficientului de transmisie total T se face analog




Serii geometrice infinite (calcul)

Cele doua serii ce descriu P si T pot fi rescrise:



unde Pn este o serie geometrica infinita



cu . Prin multiplicare cu q se obtine









Datorita celei de a 4 presupuneri si deci |q| < 1 care duce la :




Inlocuind aceasta valoare limita se obtine o expresie simplificata ptr P







in care sunt valabile relatiile
10
=
01
si
01

10
= 1
2
01
.







In mod similar se obtine ptr T :






Unda incidenta polarizata si




Din Aceste 4 ecuatii este posibil sa se calculeze coeficientii de reflexie si transmisie ptr orice
polarizare a undei incidente (aceasta poate fi impartita in 2 componente s si p si tratate separat).
Valoarea defazajului este aceeasi ptr cele 2 componente.






Determinarea grosimii unui film

Este posibila determinarea grosimea filmului (stratului) daca indicii de refractie ai celor 3 medii
sunt cunoscuti. In continuare se analiza dependenta grosimii filmului de paramaetrii elipsometrici
si .
Coeficentii de reflexie sunt:





Relatia intre parametrii elipsometrici si grosimea firului

Acestia pot fi legati de parametrii elipsometrici :

unde P este un parametru ce se numeste factor de reflexie complex. Inlocuind expresiile pentru
P

si P

obtinem:






Aceasta este o ecuatie cu 11 parametri in care parametrii elipsometrici sunt legati de 9 parametrii
reali.
Acestia sunt:
-partile reale si imaginare ale indicilor de refractie complecsi n0, n1 , n2,
-unghiul de incidenta
0
, lungimea de unda in vid a undei incidente
-grosimea filmului d.

Daca se masoara un set ai paramaterilor elipsometrici la un anumit unghi de incidenta, la o anumita
lungime de unda , grosimea filmului este singura necunoscuta, ( in conditiile in care indicii de
refractie ai mediului ambient, filmului si substratului sunt cunoscuti)






Daca este cunoscut indicele de refractie al filmului , exista 2 solutii analitice X
1
si X
2


Daca indicele de refractie nu este cunoscut dar este stiut ca este real (n1) se pot gasi solutii prin
metoda iteratiilor : n
1
este variat pana ce conditia |X|=1 este indeplinita . Cu valoarea astfel
obtinuta ptr n1 se calculeaza X si in continuare d (numai o singura solutiie valida). In cazul unor
erori, d poate fi complex, caz in care se ia solutia cu partea imaginara cea mai mica,





EFECTUL FARADAY


efectul Faraday sau rotaia Faraday este un fenomen magneto-optice care este cauzat de
interaciunea ntre lumin i un cmp magnetic n mediu. Efectul Faraday determin o rotaie a
planului luminii liniar polarizate de care este proporional cu componenta cmpului magnetic n
direcia de propagare. Acest efect apare n cele mai multe materiale optic transparente dielectrice
(inclusiv lichide) sub influena cmpurilor magnetice.

Interpretarea fizic a efectului Faraday

Efectul Faraday este cauzat de faptul ca undele polarizate circular stnga i dreapta se propaga cu
viteze uor diferite, o proprietate cunoscuta sub numele de birefringena circular.
Deoarece radiatia liniar polarizata poate fi obtinuta prin suprapunerea a dou componente
polarizate circular (stanga si dreapta) de amplitudine egala si cu faze diferite de faz, efectul
defazajului relativ indus de efectul Faraday are consecinta schimbarea orientarii planului de
polarizare a radiatiei liniar polarizate .
Sensul de rotire a planului de polarizare ( sau a directiei de polarizare) depinde de proprietile
materialelor prin care trece lumina.



Relaia dintre unghiul de rotire a planului de polarizare i cmpul magnetic n materialul
transparent:



in care
- este unghiul de rotaie (n radiani)
-B este inducia magnetic n direcia de propagare (tesla)
-d este lungimea traseului (n metri) prin materialul transparent
- este constanta Verdet pentru material. Aceasta constanta de proporionalitate (n uniti de
radiani pe tesla pe metru), variaz n funcie de lungimea de und i de temperatur i este
intabulata pentru diverse materiale.

O constanta Verdet pozitiva corespunde unei rotatii L (invers acelor de ceasornic) atunci cnd
direcia de propagare este paralel cu cmpul magnetic i unei rotatii R (sens orar) atunci cnd
direcia de propagare este anti-paralel cu directia campului magnetic. Astfel, n cazul n care raza
de lumina este trecuta prin material i reflectat napoi prin ea, rotaia ei se dubleaz.

Unele materiale au constante extrem de ridicate Verde ( -100 rad T-1 m-1) . Prin plasarea unei
tije din aceste materiale ntr-un cmp magnetic puternic, se pot realiza unghiuri de rotaie Faraday
de peste 0,78 rad (45 ). Acest lucru permite construirea de rotatori Faraday, care sunt principala
componenta a Izolatori Faraday(dispozitive care transmit lumina ntr-o singur direcie).

Izolator optic (dependent de polarizare)

Izolatorul dependent de polarizare, sau izolator Faraday, este format din trei pri: un polarizor de
intrare (polarizat vertical), sistemul de rotire a Faraday, i un polarizator de ieire, numit un
analizor (polarizat la 45 ).





EFECTUL KERR




Light penetrates into metals .20 nm deep, but the SMOKE technique derives its surface sensitivity
from the limited thickness of the deposited magnetic film, which can be as thin as one atomic
layer.


In ultimul secol efectele magneto - optice au fost descoperite oarecum neateptat n timp ce fizicienii au cutat relaii
dintre lumin i diverse alte fore . Cautari timpurii au fost efectuate mai nti pentru a gsi interaciunea luminii cu
cmpuri electrice. Se credea c efectul cmpurilor electrice ar trebui s fie mai puternic dect cel al cmpurilor
magnetice . Dar, n 1825 rezultate nule au fost raportate cand s-a examinat propagarea unui fascicul de lumin
polarizat de-a lungul unui curent elicoidal . Chiar si Michael Faraday a fost initial axat pe relaia dintre lumin i
energia electric . Efectul magneto- optic Kerr ~ MOKE a fost descoperit de ctre John Kerr n 1877 n timp ce
examina polarizarea luminii reflectate de catre polul unui magnet slefuit.

Aplicarea efectului Kerr magneto- optic la studiul magnetismului de suprafa,
cunoscut si sub acronimul (efectul Kerr magneto - optic suprafa SMOKE), a
nceput n 1985. Primul sistem experimental studiat a fost pentru studiul
filmelor ultrasubiri de Fe crescut epitaxial pe un substrat monocristalin de
Au. S-au obinut cu succes curbele de histerezis pentru filmele de Fe in forma
de strat monoatomic ca funcie de grosimea stratului i a temperaturii .


Originea efectelor magneto-optice sunt explicate n prezent n contextul fie al
teoriei dielectrice macroscopice sau sau a teoriilor cuantice. Din punct de
vedere macroscopic, efectele magneto-optice sunt cauzate de antisimetria
elementelor non-diagonale ale tensorului dielectric. Microscopic se explica
prin cuplajul dintre cmpul electric al luminii i spinul electronului n
prezenta unui mediu magnetic (prin intermediu interactiunii spin- orbit)

n cele ce urmeaz , vom prezenta o scurt trecere n revist a descrierii
microscopice a efectului magneto-optic. Dup cum se tie , proprietile optice
ale mediului sunt determinate de tensorul dielectric, care este determinat de
micarea electronilor n mediu. Astfel , o descriere microscopic a efectului
magneto-optic se refera la raspunsul diferit al undelor circular polarizate
stanga si dreapta.

Astfel s-a explicat din punct de vedere microscopic efectul Faraday, susinnd
c electronii din mediul aflat sub influenta cmpului magnetic extern urmeaza
diferite traiectorii circulare in functie de de direcia lor relativ la cmpul
magnetic .

Pe masura ce o raz de lumin se propag printr-un mediu , cmpul electric al
luminii genereaz micarea electronilor n mediu. In absenta unui cmp magnetic
exterior, un cmp electric polarizat circular stnga va induce electronilor o
micare circular la stnga , iar un cmp electric polarizat circular dreapta va
induce electronilor o micare circular dreapta . Raza orbitei electronilor vor
fi la fel in cele doua cazuri in absenta campului magnetic. Deoarece momentul
de dipol electric este proporional cu raza orbitei circulare , nu va exista
nici o diferen ntre constantele dielectrice pentru undele electromagnetice
polarizate circular stnga i dreapta. Astfel , nu va exista rotaie Faraday




Daca se aplica un cmp magnetic exterior n direcia de propagare a undei
electromagnetice , va exista o for Lorentz suplimentar care acioneaz asupra
fiecrui electron . Aceast for este orientata spre centrul sau spre
exteriorul traiectoriei circular stnga respectiv dreapta . Astfel , raza
orbitei circular stnga vor fi reduse iar raza orbitei de micare circular
dreapta va creste. Diferena dintre razele orbitelor circulare polarizate
stnga i dreapta va da nastere la constante dielectrice diferite. Astfel
efectul Faraday poate fi explicat prin efectul forei Lorentz generata de cmpul
magnetic exterior.

Se poate considera lumina polarizat liniar ca fiind o suprapunere a dou
componente polarizate circular (stanga si dreapta). In felul acesta se poate
considera ca efectul Faraday este un rezultat al diferitelor viteze de
propagare ale celor doua comoponente polarizate circular (stanga si dreapta)
Aceast explicaie rmne explicaia fenomenologic a efectului Faraday. Privit
de la mai n detaliu , exist de fapt dou procese care au loc : Mai nti ,
cele dou moduri polarizate circular obine schimburi diferite faze din cauza
diferitelor vitezele lor de nmulire , rezultnd ntr-o rotaie a planului
luminii polarizate . Acest proces este rotaia Faraday convenional . n al
doilea rnd , absorbia mediului pentru cele dou moduri polarizate circular
afecteaz elipticitatea. n general, exist dou efecte ntr-un mediu
magnetizat .




III. EXPERIMENTAL ( avantajul de a fi simplu)

Principul fizic : Consideram u unda liniar polarizata-p ce se reflecta pe suprafaa probei. n cazul
n care proba este ne-magnetica lumina reflectata este pur p polarizat. Dac proba este
feromagnetica atunci fasciculul reflectat va consta dintr-o component s (E
s
), n plus fa de
componenta dominant p (E
p
), cu E
s
/E
p
fiind rotaia Kerr. Msurarea aceastei component s va fi
obiectivul dispozitivului experimental. Experimental, msurarea componentei s-ar putea realiza
prin plasarea unui polarizor liniar n faa celulei fotoelectrice pentru a elimina componenta p. Cu
toate acestea, aceast geometrie de msurare are urmtoarele dezavantaje:

n primul rnd, deoarece celul fotoelectric msoar intensitatea luminii |Es|
2
, cantitatea msurat
este proporional cu ptratul magnetizarii (H
2
). n al doilea rnd, este dificil de cuantificat
valoarea absolut a rotaiei Kerr. Acest dezavantaj poate fi anulat prin setarea polarizator la un
unghi mic de la axa p. n acest fel, intensitatea msurat de catre celula fotoelectric dup
polarizor este



Expresia da Kerr rotatia Kerr si elipticitatea .



In aceasta situatie ecuatia precedenta devine

Reprezentand intensitatea la rotaie Kerr zero. Deoarece ambele 'i " sunt direct proporionale
cu magnetizarea, intensitatea msurat n funcie de H va furniza ciclul de histerezis magnetic.

FIG. 2. Schema unui dispozitiv experimental SMOKE

Intr-un experiment SMOKE laserul este utilizat de obicei ca sursa de lumin (de obicei un laser de
energie mic -mW). Este de dorit s se utilizeze un laser de intensitate stabilizat, n special pentru
studiile monostrat. n caz contrar, fluctuaiile de intensitate ale radiatiei laser poate depasi
semnalul Kerr.



Polarizorii cu prisma pot fi folositi pentru obtinerea radiatiti incidente polarizatre cat si penru
analiza radiatiei reflectate ( analizorul este plasat inainte fotodecetorului). Pot fi folositi si
polarizori cu filtre de polarizare (sheet polarizers) dar acestia au putere de stingere mai mica atunci
cand sunt asezati in cruce i deci nu sunt optime pentru studii monostrat.






FIG. 3. Ciclu de histerezis obtinut prin metoda SMOKE (film Fe pe substrat monocristal
Ag).