UNIVERSITATEA Al. I.

CUZA IAI FACULTATEA DE FIZIC

Rezumatul tezei de doctorat STUDIUL RETENIEI DE DEUTERIU N FILME SUBIRI DE MATERIALE DE INTERES NUCLEAR (Be, C, W) DEPUSE PRIN ARC TERMOIONIC N VID Alexandru Anghel

Coordonator tiinific, Prof. Dr. Gheorghe Popa

IAI 2011

Universitatea Alexandru Ioan Cuza Iai

V facem cunoscut c n data de 28 mai 2011, ora 10, n sala L1, domnul Alexandru Anghel va susine, n edin public, teza de doctorat:

Studiul reteniei de deuteriu n filme subiri de materiale de interes nuclear (Be, C, W) depuse prin Arc Termoionic n Vid
n vederea obinerii titlului tiinific de Doctor n domeniul fundamental tiine Exacte, domeniul Fizic. Comisia de doctorat are urmtoarea componen: Preedinte: Conf. univ. dr. Sebastian Popescu Prodecanul Facultii de Fizic, Universitatea Alexandru Ioan Cuza, Iai

Conductor: Prof. univ. dr. Gheorghe Popa Universitatea Alexandru Ioan Cuza, Iai Refereni: C.P. I dr. Florin Spineanu Institutul Naional de Fizica Laserilor, Plasmei i Radiaii, Mgurele, Bucureti C.P. I dr. Viorel Braic Institutul Naional de Opto-electronic, Mgurele, Bucureti Prof. univ. dr. Dumitru Luca Universitatea Alexandru Ioan Cuza, Iai

V transmitem rezumatul tezei de doctorat i v invitm s participai la edina de susinere a tezei.

Introducere.........................................................................................................................1 Capitolul I. Interaciunea plasm perete; stadiul actual al cunoaterii privind retenia combustibilului nuclear n reactoarele de fuziune ...........................................3 1.1. 1.2. Fuziunea termonuclear ca surs de energie............................................................3 Interaciunea plasm de fuziune perete ................................................................4 1.2.1 Retenia de combustibil nuclear n beriliu pur ............................................6 1.2.2 Retenia de combustibil nuclear n materiale compozite ce conin beriliu .........................................................................7

Capitolul II. Metode experimentale folosite n realizarea tematicii tezei ....................7 2.1 2.2 Arcul Termoionic n Vid .........................................................................................8 Tehnici de analiz cu fascicul de ioni ...................................................................10 2.2.1 Spectrometrie de retromprtiere Rutherford (Rutherfor Backscattering Spectrometry) .................................................10 2.2.2 Analiza de reacii nucleare (Nuclear Reaction Analysis) .....................................................................11 Spectroscopie de desorbie termic (Thermal Desorption Spectroscopy) .....................................................................12

2.3

Capitolul III. Rezultate experimentale privind retenia deuteriului n filme subiri de beriliu i analiza acestora ..........................................................................................13 3.1. 3.2. Prepararea i caracterizarea morfologic a filmelor subiri de Be obinute prin metoda Arcului Termoionic n Vid (TVA)......................................13 Retenia deuteriului n filme subiri de beriliu ......................................................16 3.2.1 Studiul reteniei i desorbiei deuteriului n filme subiri de beriliu implantat la temperatura camerei ..............................................17 3.2.2 Studiul reteniei i desorbiei deuteriului n filme subiri de beriliu implantat la temperaturi nalte ..................................................19 Retenia deuteriului n filme compozite Be-W obinute prin co-depunere folosind tehnica arcului termoionic n vid.............................................................21 3.3.1 Metodologia depunerilor simultane folosind tehnica arcului termoionic n vid .............................................................22 3.3.2 Studiul reteniei i desorbiei de deuteriu n filme compozite Be-W obinute prin arc termoionic n vid .................23

3.3.

Capitolul IV. Concluzii....................................................................................................25 Bibliografie........................................................................................................................27 Lista lucrrilor publicate....................................................................................................29

Introducere Creterea cererii de energie din ultima perioad, att n rile puternic industrializate ct i n cele n curs de dezvoltare, a dus la un consum din ce n ce mai mare al resurselor naturale de crbune, petrol i gaze. Pentru meninerea standardului de via n rile dezvoltate ct i pentru mbuntirea acestuia n rile n curs de dezvoltare, nevoia de o continu disponibilitate de energie este esenial. n acelai timp, este bine tiut c, n procesele de obinere a energiei prin arderea zcmintelor fosile sunt emise n atmosfera aa numitele gaze de ser, n special dioxid de carbon (CO2), conducnd la o accelerare a procesului de nclzire global. Pe fondul diminurii resurselor naturale i al nevoii reducerii gradului de poluare costurile legate de producerea energiei electrice cresc continuu, aa nct, descoperirea i utilizarea unor surse alternative de energie reprezint o prioritate. Unele ri precum Frana, i asigur majoritatea necesarului de energie electric prin intermediul energiei nucleare obinut din procesul de fisiune nuclear a nucleelor grele. Fisiunea nuclear asigur obinerea de energie fr emisia de gaze de ser ns stocarea pe termen lung a deeurilor radioactive rezultate cu timpi de via de mii de ani constituie un dezavantaj i un motiv de ngrijorare. Alte posibiliti alternative de obinere a energiei electrice sunt cele neconvenionale care folosesc ca resurse naturale soarele, vntul i apa. Efortul susinut din ultimele decenii n cercetrile privind dezvoltarea panourilor solare, a turbinelor de vnt i a centralelor hidroelectrice a condus la o cretere semnificativ a facilitilor de obinere a energiei electrice din surse neconvenionale. Cu toate acestea, nc nu se poate vorbi despre o rezolvare a problemei din punct de vedere al producerii i furnizrii de energie electric la un nivel satisfctor comparativ cu cererea actual sau cu cea pevzut pentru viitor fr efecte negative asupra mediului nconjurtor. Ideea folosirii fuziunii termonucleare ca surs viabil de energie, nscut n urm cu cteva decenii, a prins contur pe fondul nevoii crescnde de surse alternative, concentrnd eforturile tot mai susinute ale cercettorilor din ntreaga lume. Una din posibilitile atingerii condiiilor necesare fuziunii nucleelor de deuteriu (D) i tritiu (T) este aceea de a crea o plasma D/T confinat magnetic n care izotopii hidrogenului s aib o energie cinetic de 10 keV, energie ce corespunde unei temperaturi de circa 108 K. Cu toate c plasma este confinat, unele particule ncrcate electric scap din capcana magnetic i interacioneaz cu pereii incintei reactorului. Aceast component a instalaiei, din interiorul camerei de vid, care este expus interaciunii cu plasma de fuziune termonuclear a fost denumit primul perete (first wall). Studiul interaciunii acestor particule energetice cu perete, al ncrcrilor termice mari ale componentelor incintei unui reactor de fuziune precum i al iradierii cu neutroni a acestora a dat natere unui domeniu special al cercetrii n fuziunea termonuclear denumit interaciunea plasm perete (plasma wall interation sau PWI). Aspectele de o importan deosebit pentru funcionarea n condiii de siguran a viitoarelor reactoare de fuziune termonuclear i care fac parte din domeniul studiului interaciunii plasm perete sunt: Studiul eroziunii materialelor folosite pentru construcia primului perete Studiul reteniei hidrogenului i a izotopilor acestuia n aceste materiale

Tema i obiectivele tezei de doctorat Tema tezei de doctorat cu titlul Studiul reteniei de deuteriu n filme subiri din materiale de interes nuclear (Be, C, W) depuse prin arc termoionic n vid const din dou pri principale. Pe de o parte studiul unor proprieti ale Arcului Termoionic n Vid (TVA) i pe de alt parte investigarea reteniei de combustibil nuclear, folosit n reacia de fuziune, prin implantare cu deuteriu a filmelor subiri din beriliu i aliaje ale acestuia cu carbon i wolfram, obinute folosind metoda TVA. Cunoaterea comportamentului acestor tipuri de filme subiri n ceea ce privete att retenia ct i desorbia deuteriului este un element important n elaborarea unui inventar al deuteriului i respectiv, prin extensie, a tritiului nmagazinat n pereii incintei viitoarelor reactoare de fuziune termonuclear (ITER, DEMO). Principalele obiective propuse pentru realizarea prezentei teze de doctorat sunt: Prepararea de filme subiri de beriliu pe substraturi de C i W prin metoda arcului termoionic n vid, caracterizarea lor morfologic, introducerea n aceste structuri prin implantare a deuteriului i studiul reteniei acestuia. Prepararea prin codepunere de filme subiri compozite Be-W, implantarea cu deuteriu i studiul efectului raportului relativ de concentraii Be/W din film asupra reteniei/desorbiei de deuteriu. Pentru atingerea obiectivelor propuse s-a folosit, ca metod de depunere a filmelor subiri de Be i BexWy, tehnica arcului termoionic n vid (TVA), iar pentru studiul reteniei i desorbiei, tehnicile de analiz cu fascicul de ioni: Spectrometrie de retromprtiere Rutherford (Rutherfor Backscattering Spectrometry - RBS), analiza de reacii nucleare (Nuclear Reaction Analysis NRA) precum i spectroscopia de desorbie termic (Thermal Desorption Spectroscopy - TDS). n scopul pregtirii tezei de doctorat au fost ntreprinse urmtoarele aciuni: Diagnoza plasmei pentru optimizarea procesului de depunere prin metoda arcului termoionic n vid (TVA). Caracterizarea plasmei TVA a fost realizat att n cadrul laboratorului de Fizica Plasmei al Universitii Al. I. Cuza Iai ct i n cadrul laboratorului Plasme de temperaturi joase - INFLPR. Investigarea filmelor preparate folosind analiza cu fascicul de ioni (Ion Beam Analysis IBA) n scopul obinerii de informaii cantitative asupra compoziiei i a determinrii profilurilor n adncime a constituenilor. Pentru aceasta au fost folosite tehnicile Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) i Nuclear Reaction Analysis (NRA). Studiul reteniei de deuteriu n filmele preparate. Pentru aceasta au fost efectuate implantari cu deuteriu ale filmelor preparate folosind o surs de ioni de intensitate mare curent iar pentru determinarea cantitativ a deuteriului prezent n probe i realizarea profilului n adncime al acestuia a fost folosit NRA. Studiul desorbiei deuteriului din filme cu ajutorul Thermal Desorption Spectroscopy (TDS) Implantarea cu deuteriu i investigarea probelor folosind tehnicile de analiz cu fascicul de ioni au fost realizate, pe baza unui program de colaborare, n cadrul laboratorului de tiina materialelor de la Institutul Max Planck pentru Fizica Plasmei din Garching, Germania.

CAP. I Interaciunea plasm perete; stadiul actual al cunoaterii privind retenia combustibilului nuclear n reactoarele de fuziune 1.1. Fuziunea termonuclear ca surs de energie De cteva decenii, fuziunea termonuclear este privit ca o surs potenial de energie cu att mai mult cu ct acest tip de reacie alimenteaz Soarele. n figura 1 este reprezentat grafic variaia energiei de legtur per nucleon n funcie de numrul de mas al elementelor chimice, grafic ce st la baza nelegerii eliberrii energiei ca urmare a fenomenelor de fuziune a nucleelor uoare i respectiv fisiune a nucleelor grele [21]. Prin fuziunea nucleelor elementelor uoare, corespunztoare primei pri a curbei din figura 1 i obinerea unui nucleu al unui element mai greu, respectiv prin fisiunea nucleelor corespunztoare elementelor grele, din partea a doua a curbei din figura 1 i obinerea de fragmente nucleare ale unor elemente mai uoare se poate obine o eliberare de energie nuclear. Aceast energie nuclear este recuperat ca energie cinetic a nucleelor rezultate, fie din reacia de fuziune, ca n primul caz, fie din reacia de fisiune n cel de al doilea caz. Astfel, energia eliberat n procesul de fuziune, de exemplu, a deuteriului (D) cu tritiul (T) este de 3.5 MeV/amu n timp ce prin procesul de fisiune a uraniului se elibereaz doar 1 MeV/amu.

Figura 1. Variaia energiei de legtur per nucleon n funcie de numrul de mas Pentru ca fuziunea a dou nuclee uoare s aib loc este necesar ca nucleele s fie suficient de apropiate pentru ca forele nucleare tari care au raz scurt de aciune s nving repulsia coulombian. Pentru aceasta, trebuie ca energia cinetic a fiecrui nucleu care fuzioneaz s fie suficient de mare pentru a efectua lucrul mecanic corespunztor acestei fore de repulsie coulombian. n aceste condiii, reacia de fuziune poate avea loc i masa nucleului rezultat este mai mic dect suma maselor nucleelor individuale nainte de fuziune. Diferena dintre suma maselor nucleelor individuale i masa nucleului rezultat, numit i defect de mas se regsete n energia cinetic a particulelor rezultate din reacia nuclear de fuziune. Reacia de fuziune cere ca particulele care fuzioneaz s aib energii cinetice mari, ceea ce corespunde, n cazul unui ansamblu statistic de particule, la o anumit temperatur echivalent T a sistemului suficient de mare. Pe de alt parte, pentru ca aceast tempertur a sistemului de particule, n cazul de fa a plasmei n care se gsesc nucleele care fuzioneaz, s fie asigurat de nclzirea plasmei prin energia rezultat din reaciile de fuziune, trebuie ca n acea plasm s existe un numr n de nuclee n unitatea de volum (numit n fizica plasmei, densitate de particule) suficient de mare i pentru

o durat de timp , numit i timp de confinare a plasmei, de asemenea suficient de mare astfel nct cantitatea de energie rezultat prin reaciile de fuziune s fie suficient att pentru atingerea tempearturii neceasre a sistemului ct i pentru compesarea tuturor pierderilor de energie din sistemul n care este produs plasma de fuziune. Pentru reacia de fuziune deuteriu tritiu aceti parametri trebuie s ajung la astfel de valori nct s fie indeplinit condiia: n T = 6 1021 m-3 keV s (1.1)

Una din posibilitile atingerii condiiilor necesare fuziunii nucleelor de deuteriu i tritiu este aceea de a crea o plasma D/T confinat magnetic n care izotopii hidrogenului s aib o energie cinetic de 10 keV. Aceast energie corespunde unei temperaturi de 108 K. Soluia tehnic aleas pentru construcia Reactorului Termonuclear Experimental Intrenaional (International Thermonuclear Experimental Reactor - ITER) este cel de tip tokamak. Progresele fcute n cei 50 de ani, de cnd s-a nscut ideea folosirii fuziunii termonucleare ca surs de energie viabil, sunt remarcabile. Spre exemplificare, n figura 5 sunt prezentate performanele atinse pn n prezent de reactoarele de fuziune experimentale. Un pas important a fost fcut n 1991 la Joint European Torus (JET) unde, pentru prima dat, s-a reuit obinerea unei cantiti considerabile de energie ntr-un proces de fuziune controlat apropiinduse de zona breakeven (zona n care energia produs egaleaz energia consumat n proces). Acest moment a ntrit convingerea c procesul de fuziune termonuclear poate constitui o surs viabil de energie cu un potenial real de a fi adus la scar economic. 1.2. Interaciunea plasm de fuziune termonuclear perete Cu toate c plasma este confinat, unele particule ncrcate electric scap din capcana magnetic i interacioneaz cu pereii incintei reactorului. Aceast zon din interiorul camerei de vid care este expus la posibilele interaciuni cu plasma de fuziune termonuclear a fost denumit primul perete (First Plasma Wall - FPW) iar materialele folosite pentru construcia acestui perete, dup cum se va descrie n cele ce urmeaz, trebuie s posede anumite proprieti i au fost denumite materiale expuse plasmei (Plasma Facing Materials - PFM). n figura 2 este prezentat schematic o seciune a incintei viitorului reactor de fuziune termonuclear International Thermonuclear Experimental Reactor (ITER) n care sunt indicate materialele planificate a intra n componena acesteia. n zonele expuse plasmei din interiorul incintei reactorului ioni cu energii, s zicem, de ordinul a 100 eV pot intra n contact cu componentele primului perete n timp ce n zona divertorului pot avea loc interactiuni intre componentele acestuia i ionii provenii din plasm cu energii de la ordinul eV pna la ordinul KeV. Totodat, exist ioni neutralizai prin ciocnirea cu neutrii termici provenii din primul perete. Aceste particule neutre, cu energii ce pot fi i de ordinul 10 keV, nu mai sunt confinate de cmpul magnetic i ele pot de asemenea intra n contact cu pereii incintei. Studiul interaciunii dintre particule energetice i perete, care pot genera ncrcri termice mari ale componentelor incintei unui reactor de fuziune, precum i al iradierii cu neutroni a acestora a dat natere unui domeniu special al cercetrii n fuziunea termonuclear denumit interaciunea plasm perete. Aspectele de o importan deosebit pentru funcionarea n condiii de siguran a viitoarelor reactoare de fuziune termonuclear i care fac parte din domeniul studiului interaciunii plasm perete sunt: Studiul eroziunii materialelor folosite pentru construcia primului perete Studiul reteniei izotopilor hidrogenului n aceste materiale Materialul pulverizat din pereii incintei reactorului migreaz, ca impuriti ale plasmei, spre alte pri ale incintei unde sunt redepuse sau implantate in peretele incintei cu energii dintrun spectru foarte larg: de la ordinul eV la ordinul keV. Redepunerea i implantarea acestor

impuriti duc la formarea unor filme subiri de aliaje la suprafaa componentelor din interiorul reactorului [1,2]. Formarea acestor filme duce la o schimbare a proprietilor fizice i chimice ale materialelor originale, care pot afecta regimul de funcionare a reactorului.

Figura 2. Reprezentare schematic a unei seciuni poloidale a viitorului reactor ITER Ca rezultat al cercetrilor de pn acum n domeniul interaciunii plasm perete, s-a ajuns la concluzia c, n proiectarea viitorului reactor de fuziune termonuclear ITER, o mare parte din primul perete al incintei s fie acoperit cu beriliu (Be) n timp ce zonele de flux mare de particule, care se situeaz n zona divertorului, s fie fabricate din wolfram (W) i carbon sub forma unor fibre compozite (CFC). Dup cum se poate observa n schia din figura 2, care reprezint o seciune poloidal a primului perete i n care sunt indicate zonele n care vor fi folosite aceste materiale, cea mai mare parte a interiorului primului perete va fi fabricat din beriliu [3]. Acest element a fost ales datorit numarului de mas mic fapt ce permite prezena unor concentraii mai mari a impuritilor de beriliu din plasm fr a periclita funcionarea corespunztoare a reactorului. Spre exemplificare, n figura 3 este reprezentat variaia concentraiei permise a impuritilor n funcie de numrul de mas [www.efda.org]. Un alt factor care a contat n decizia de a folosi beriliu i nu carbon pe cea mai mare parte din suprafaa expus plasmei este pe de o parte, gradul mic de eroziune prezentat de acesta la interaciunea chimic a beriliului cu izotopii hidrogenului i pe de alt parte, la o rat mai mic de absorie a acestor izotopi n stratul de beriliu. Un alt avantaj prezentat de utilizarea beriliului este capacitatea sa de a acumula alte impuritti din plasm reducnd astfel diluarea acesteia. Pentru zonele n care sunt prevzute att ncrcri termice mari ct i un flux mare de particule au fost alese urmtoarele materiale: Wolfram datorit faptului c, avnd un numr de mas mare, prezint o rat mic de pulverizare/eroziune la interaciunea cu alte particule. Carbon Fibre Composite (CFC) o textur 3D din fibre de carbon, datorit temperaturii mari de sublimare a carbonului (4000 K) Reactoarele experimentale de fuziune actuale folosesc, datorit numrului de mas sczut, CFC ca material pentru primul perete al incintei. Acest fapt permite, dup cum se poate observa n figura 3, o concentraie a impuritilor n plasm destul de mare. Totui, eroziunea chimic a carbonului la interaciunea cu hidrogenul reprezint un mare dezavantaj. S-a constatat experimental c, mai ales la energii mici ale ionilor (< 100 eV), energii caracteristice zonei de margine a coloanei de plasm, eroziunea chimic a carbonului cauzat de bombardamentul ionic cu hidrogen crete considerabil [4].

Figura 3. Variaia concentraiei permise n funcie de numrul de mas al elementelor (preluare www.efda.org) De cealalt parte, alternativa folosirii beriliului ca material pentru primul perete prezint, pe lng avantajele prezentate, i unele dezavantaje. Principalul dezavantaj este reprezentat de temperatura sczut de topire (1560 K). Totui, principalul avantaj al beriliului, dup cum am menionat, const din numrul de mas sczut i gradul mic de eroziune chimic cauzat de bombardamentul cu ioni de hidrogen. Pe lang acestea, un alt avantaj al beriliului este reprezentat de capacitatea sa de a acumula impuritti din plasm reducnd astfel diluarea acesteia. 1.2.1 Retenia de combustibil nuclear n beriliu pur

Complexitatea proceselor care pot avea loc la interacia plasmei cu primul perete a condus la concluzia c sunt necesare studii speciale pentru nelegerea comportamentului materialelor expuse aciunii plasmei de fuziune. Pentru determinarea proprietilor specifice acestor materiale ct i pentru nelegerea proceselor implicate la interacia acestora cu plasma se utilizeaz eantioane special preparate care sunt expuse aciunii unor fascicule de particule i ale altor condiii fizico-chimice care caut s fie asemanatoare celor ce au loc ntr-un reactor de fuziune termonuclear. Astfel, principalele informaii referitoare la folosirea beriliului ca material expus plasmei de fuziune au fost furnizate de reactorul experimental Joint European Torus (JET). S-a constatat c folosirea beriliului (Be) ca material al primului perete, att sub form de plci masive ct i sub forma de straturi subiri, a condus la o mbuntire a parametrilor plasmei [11,12], mbuntire manifestat prin: i) creterea densitii de ioni de deuteriu, ii) creterea temperaturii ionilor, iii) creterea timpului de confinare. Adugarea beriliului n componena primului perete al JET a condus i la o dublare a ratei de alimentare cu combustibil nuclear precum i la o cretere remarcabil a desorbiei gazelor adsorbite n pereii reactorului [13]. Aceste rezultate au determinat programarea i efectuarea n JET a unor serii de experimente ntreprinse cu scopul de a inelege procesele de implantare, difuzie, captare precum i pe cele de recombinare i desorbie la suprafaa materialelor alese ca i componente ale reactoarelor de fuziune termonuclear. [14 - 17] Baza de date asupra reteniei i desorbiei izotopilor de hidrogen existent la ora actual a fost obinut prin experimente cu fascicule de ioni [21 - 27] efectuate, n principal n instalaii liniare de plasma [28 - 31], precum i experimente efectuate n instalaii de plasm tip tokamak [32, 33]. Datorit condiiilor diferite n care au fost efectuate studiile asupra reteniei izotopilor

hidrogenului n beriliu, rezultatele obinute difer destul de mult [34 - 36]. Pentru o interpretare riguroas a bazei de date existente asupra acestui aspect, trebuie inut cont de urmtorii factori ce pot afecta procesul de retenie: Influena metodelor de obinere a beriliului (att masiv ct i sub forma de film protectiv), a microstructurii i a prezenei impuritilor (n special BeO) asupra reteniei Dependena concentraiei de saturaie a deuteriului n eantion de fluxul i doza ionilor la care este expus eantionul, n special pentru cazul n care expunerea materialului la fasciculul de ioni de deuteriu are loc la temperaturi nalte Efectul temperaturii la care are loc expunerea materialului la bombardamentul fasciculului de ioni, att din punct de vedere al transportului deuteriului n material ct i din punct de vedere al defectelor induse Rolul structurii i respectiv a morfologiei suprafeei eantionului din materialul analizat asupra reteniei de deuteriu (de exemplu, prezena impuritilor) 1.2.2 Retenia de combustibil nuclear n materiale compozite ce conin beriliu

Rezultatele experimentelor de laborator [37,38] au artat c retenia de hidrogen n eantioanele din beriliu este puternic afectat de prezena unui strat superficial de oxid (BeO) sau de carbur de beriliu (Be2C). S-a constatat c, la 750 K, solubilitatea hidrogenului n Be pur este de 30 de ori mai mare dect n BeO. Studiile efectuate [40 - 45] n laboratorul PISCES al Universitii California din San Diego (UCSD) au demonstrat efectul prezenei impuritilor de Be n plasma de deuteriu ca urmare al procesului de eroziune a materialelor n urma interaciei plasm materiale de interes n fuziunea termonuclear (Be, C, W). Experimentul urmrete rezultatul interaciei dintre plasma de deuteriu impurificat cu beriliu i inte de carbon aflate la temperaturi cuprinse n intervalul 500 K 1280 K. S-a constatat c, dei concentraia impuritilor de Be este sczut (<0.3%), la suprafaa intelor din carbon se formeaz un strat protector de beriliu i compui ai acestuia care au ca rezultat o diminuare drastic pn la pragul eliminrii eroziunii chimice i fizice a intelor din carbon n domeniul de temperaturi precizat. Aceste rezultate vin n sprijinul ideii de a utiliza beriliul i/sau carbonul pentru construcia primului perete al ITER. Yacout i Hassanein [51] au dezvoltat un model n care metodologia Monte Carlo a coliziunilor binare este combinat cu cinetica fenomenologic pentru a studia evoluia regiunii de suprafa i combinarea particulelor incidente cu materialul int. Ca exemplu al abilitii modelului propus, s-a simulat evoluia concentraiei beriliului n regiunea de suprafa a divertorului de W n condiiile n care acesta este expus unor fluxuri multiple de D, T, O i Be. Pe baza acestui model s-a constatat c beriliul implantat se combin cu wolframul din int n timpul pulverizrii continue i a redepunerii; acest fapt duce la o modificare dinamic a compoziiei divertorului, n special n zona din apropierea suprafeei, modificare ce schimb continuu proprietile materialului original implicnd astfel un comportament diferit din punct de vedere al reteniei i desorbiei de combustibil nuclear.

CAP. II Metode experimentale folosite n realizarea tematicii tezei n sectiunile ce urmeaz vor fi descrise, pe lang tehnologia TVA de obinere a filmelor subiri, principalele metode de caracterizare a filmelor subiri folosite pentru atingerea obiectivelor tezei: Spectroscopia de retromprtiere Rutherford, Analiza de reacii nucleare i Spectroscopia de desorbie termic.

2.1

Arcul Termoionic n Vid (TVA)

Aceast metod de depunere - numit TVA de la prescurtarea din limba engleza a denumirii de Thermoionic Vacuum Arc este o variant relativ nou a unei alte forme de arc electric n vid cunoscut ca arc anodic in vid (Anodic Vacuum Arc - AVA). Noul sistem TVA a fost introdus, ncepnd cu anul 1984, n cadrul colectivului de plasme reci de la IFTAR Bucureti i ulterior dezvoltat i n laboratorul de fizica plasmei al facultii de fizic a Universitii Alexandru Ioan Cuza din Iai. Spre deosebire de arcul anodic n vid (Anodic Vacuum Arc - AVA) n care plasma este produs tot printr-un proces de evaporare a materialului anodului n condiii de vid naintat, dar la care catodul este rece, arcul termoionic n vid (Thermionic Vacuum Arc - TVA) are un alt mecanism de funcionare n care catodul este un filament nclzit din exterior [55 - 58]. n figura 4 este prezentat schematic configuraia experimental folosit n procesul de depunere a filmelor subiri de beriliu prin metoda TVA.

Figura 4. Reprezentare schematic a aranjamentului experimental (stnga) i distribuia potenialului n plasma Arcului Termoionic n Vid (dreapta) Dup cum se poate observa din figur, configuraia experimental a arcului termoionic n vid este compus din: Catod constituit dintr-un filament din wolfram nclzit din exterior cu ajutorul unei surse de curent de intensitate mare (0 100 A) i un cilindru Wehnelt care joaca rolul de lentil electromagnetic. Cilindrul Wehnelt este necesar pentru focalizarea electronilor emii de filament. Anod constituit de o nacela, care n cazul de fata a fost confecionat din diborur de titan (TiB2) , n care se afl materialul folosit pentru depunere. n alte variante anodul este un cilindru confecionat numai din materialul care urmeaz s fie depus. Anodul este conectat la borna pozitiv a unei surse de curent continuu de (DC) de nalt tensiune 0 6000 V i de putere medie (0 3 A). Odat cu aprinderea arcului electric i formarea plasmei sistemul fizic se modific radical procesul de depunere a materialului pe substrat fiind, de aceast dat, cu o vitez mult mai mare i n prezena unui bombardament ionic. n figura 5 este prezentat caracteristica volt-amperic a arcului produs n vapori de Cu. Ramura caracteristicii la intensiti mici ale curentului din sistem are panta pozitiv i corespunde caracteristicii unei diode n vid, pentru care intensitatea curentului este determinat doar de termoelectronii emii de catod. Tensiunea maxim din aceast caracteristic reprezint tensiunea de aprindere a plasmei. Partea caracteristicii n care intensitatea curentului ncepe s creasc rapid iar tensiunea dintre anod i catod scade reprezint trecerea la regimul de funcionare ca descrcare TVA.

700 600

Curent Arc (mA)

500 400 300 200 100 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400

Tensiune arc (V)

Figura 5. Caracteristica volt-amperic a unei plasme de Cu obinut prin TVA n plasma obinut prin TVA, ionii produi ntre electrozi sunt accelerai ctre pereii incintei de cderea de potenial dintre plasm i acetia. Datorit acestui fapt, distribuia spaial a potenialului plasmei ofer informaii n legtur cu energia ionilor.

a
Potentialul plasmei (V)

800 700 600 500 400 300 200 100 0

b a c d

b
0 2 4 6 8 10 12 14

a
16

distanta anod - sonda (cm)

Figura 6. Imagine fotografic a plasmei obinut prin TVA n vapori de Cu Dup cum se poate observa n figura 6, curba distribuiei potenialului se poate mpri n 3 regiuni: ab corespunde plasmei slab ionizate; n aceast poriune, potenialul plasmei crete practic liniar de la pereii incintei spre anod bc regiune de tranziie n care potenialul plasmei crete rapid ctre valori mari; acest comportament este caracteristic unui strat dublu n care exist un cmp electric de intensitate mare ce accelereaza ionii nspre pereii incintei, respectiv electronii spre plasma din jurul anodului cd zona luminoas a plasmei n care potenialul ei este aproape constant i apropiat de potenialul anodului Distribuia spaial a potenialului plasmei de tip TVA depinde de parametrii de lucru folosii (tensiunea i intensitatea curentului pe descrcare) iar valoarea cderii de potenial este direct proporional cu tensiunea aplicat pe anod. Rezultatele obinute n urma masurtorilor de caracterizare a plasmei TVA, demonstreaz c metoda arcului termoionic n vid nu funcioneaz doar ca o tehnic de evaporare n vid prin bombardament electronic ci reprezint o tehnic de generare a unor plasme de densitate i grad de ionizare mari. Gradul nalt de ionizare al plasmei generate prin metoda TVA asigur un bombardament ionic al substratului n timpul proceselor de depunere de filme subiri, fapt ce conduce la o mbuntire a calitii filmelor obinute.

2.2

Tehnici de analiz cu fascicul de ioni ( Ion Beam Analysis - IBA)

Principalele metode de analiz cu fascicule de ioni (IBA Ion Beam Analysis) sunt urmtoarele: i) Spectrometrie de retromprtiere Rutherford (Rutherfor Backscattering Spectrometry - RBS), ii) Particle Induced Gamma-Ray Emission (PIGE), iii) Particle Induced XRay Emission (PIXE) i iv) Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA). Pentru msurtorile de analiz cu fascicul de ioni este necesar un sistem care s produc un fascicul de ioni monoenergetici. De regul acest fascicul de ioni monoeneergetici se produce intr-un sistem care conine, n esen, o surs de ioni i respectiv un accelerator, n cazul de fa, tandem. Fasciculul monoenergetic de ioni obinut este direcionat apoi, cu ajutorul unui sistem de electromagnei, ctre sistemele folosite pentru analiza materialelor cu fascicul de ioni. 2.2.1 Spectrometrie de retromprtiere Rutherford Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) Spectrometria de retromprtiere Rutherford (RBS) este metoda cel mai des folosit n analiza cu fascicul de ioni. Aceast metod se bazeaz pe faptul c energia unei particule mpratiate n urma unui proces de ciocnire depinde de: i) masa atomului int prin intermediul factorului cinematic, ii) adncimea, msurat de la suprafaa probei, la care a avut loc procesul de ciocnire, iii) energia pierdut pn la i de la locul ciocnirii. Prin acest fapt, analiza RBS permite obinerea unui profil al compoziiei atomice a probei n zona suprafeei [59]. n figura 7 este prezentat, schematic, principiul RBS.

Figura 7. Reprezentare schematic a aranjamentului experimental folosit pentru Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) Identificarea masei atomice a unui element din int se face, dup cum am precizat, prin intermediul factorului cinetic k definit prin:
1 ( M 22 M12 sin 2 ) 2 + M1 cos E1 (2.1) k= = E0 M 2 + M1 n care E0 reprezint energia ionului incident de mas M1, E1 reprezint energia proiectilului mprtiat, M2 reprezint masa atomului int i reprezint unghiul de mprtiere. Semnalul din detector, corespunztor unui atom din vecinatatea suprafaei probei, va aprea n spectrul energetic la poziia: E1 = k E0 (2.2) Semnalul din detector corespunztor atomilor de aceeai mas, aflai sub suprafaa de analizat, va fi deplasat cu cantitatea de energie pierdut prin trecerea proiectilului prin prob (att nainte de ciocnire cu Ein ct i dup aceea cu Eout ), conform desenului din figura 7. Dup cum se poate 2

10

observa, n apropierea suprafeei exist o relaie liniar ntre energia msurat E1 i adncimea x la care mprtierea a avut loc: E1 ( x) = k E0 S x (2.3) Astfel, spectrul RBS este o suprapunere de profiluri de adncime ale tuturor speciilor atomice individuale prezente n materialul int. 2.2.2 Analiza de reacii nucleare Nuclear Reaction Analysis (NRA) Analiza de reacii nucleare (Nuclear Reaction Analysis - NRA) este o metod de msur nuclear folosit pentru determinarea cantitativ a elementelor uoare. Totodat, metoda este folosit i pentru determinarea profilului n adncime al elementelor uoare. Din punct de vedere al proceselor fizice de baz, cum ar fi pierderea de energie n solide a particulelor ncrcate electric, aceast procedeu de analiz prezint multe similitudini cu RBS. Echipamentul necesar msurtorilor NRA este, n principiu, acelai cu cel folosit n cazul RBS, diferena constnd n tipul de detectori folosii. Astfel, pentru msurtorile de tip NRA trebuie folosii detectori speciali necesari filtrrii particulelor nedorite. Totodat, n alegerea detectorilor folosii n msurtorile de tip NRA, trebuie s se in cont de faptul c seciunile eficace ale reaciilor nucleare sunt mai mici dect n cazul RBS. Aceste diferene n seciunile eficace de reacie dintre NRA i RBS, conduc la necesitatea folosirii unor detectori cu suprafa mai mare n cazul NRA. Pentru inelegerea fenomenelor specifice NRA, n figura 8 este reprezentat schematic cinetica unei reacii nucleare, iar n tabelul 1 sunt prezentate principalele mrimi implicate n cinetica reaciilor nucleare.

Figura 8. Reprezentare schematic a cineticii reaciilor nucleare

Masa M1 M2 M3 M4 Energie E1 0 E3 E4 Q ET = E1+Q = E3+E4

Ion incident Nucleu int Nucleu uor (produs de reacie) Nucleu greu (produs de reacie) Energie eliberat n reacie Energia total

Tabel 1. Mrimile implicate n cinetica reaciilor nucleare n analiza de reacii nucleare se folosesc de obicei doar acele reacii pentru care valoarea Q este pozitiv. Aceasta alegere se datoreaz faptului c, pentru valori pozitive ale lui Q, energia produilor de reacie este mai mare dect energia fasciculului incident iar semnalul particulelor retromprtiate este clar delimitat n spectrul experimental de cel al produilor de reacie. ntr-un strat subire, cantitatea total a unui element poate fi determinat n aproximaia energetic prin formula:

11

N 0 ( E0 ) (2.4) cos( ) unde N reprezint numrul de evenimente nregistrate pentru fiecare produs de reacie, N0 reprezint numrul de particule incidente, este unghiul solid al detectorului, (E0) seciunea eficace a reaciei pentru valoarea E0 a energiei incidente, reprezint numarul de nuclee pe cm2, iar reprezint unghiul de inciden. Pentru grosimi mari ale stratului analizat, variaia seciunii eficace a reaciei nucleare nu mai poate fi neglijat, acest fapt fcnd necesar folosirea n evaluarea datelor a unor coduri de simulare precum SIMNRA. Una dintre reaciile nucleare cel mai des folosite n studiul reteniei de deuteriu n materiale este cea n care ionul de 3He+ reacioneaz cu deuteriul formnd un proton i o particula 4 He. Aceast reacie nuclear, notat pe scurt D(3He, p)4He, ofer informaii cantitative asupra deuteriului implantat n prob. Pentru detectarea produilor de reacie, n spe particule i protoni, se folosesc 2 detectori poziionai la unghiuri de 102o, respectiv 135o. Pentru a putea observa doar protonii de energii mari provenii din reacia nuclear, detectorul de 135o are n fa o folie multistrat special confecionat din Mylar, nichel i aur n timp ce cu detectorul poziionat la 102o se observ particulele 4He mprtiate de la adncimi corespunztoare zonei imediat de sub suprafa. Astfel, folosind rezultatele obinute cu ajutorul detectorului de protoni putem obine informaii despre cantitatea total de deuteriu din prob iar cu ajutorul detectorului de particule se poate obine un profil n adncime al concentraiei deuteriului [59]. N=
2.3 Spectroscopie de desorbie termic Thermal Desorption Spectroscopy (TDS) Spectroscopia de desorbie termic (TDS) reprezint una din principalele metode de determinare experimental a parametrilor cinetici i energetici ai adsorbiei i desorbiei. Acest tehnic, dezvoltat dintr-o metod propus de Becker i Hartman n 1953, va fi prezentat pe scurt n cele ce urmeaz, fiind pe larg descris n diferite lucrri de specialitate [62 - 65]. Aspectele experimentale ale spectroscopiei de desorbie termic sunt bazate pe conceptele adsorbiei i desorbiei. Cnd suprafaa unui solid este plasat ntr-un mediu gazos, va incepe un proces de adsorbie care, n condiii statice, va continua pn cnd concentraia particulelor adsorbite va atinge o valoare de saturaie. Dac suprafaa solidului considerat este plasat ntr-o incint de volum V care este vidat cu o viteza de pompare constant S i n care este introdus gazul cu o rata constant L, concentraia de echilibru de care aminteam n rndurile de mai sus, poate fi descris, n funcie de presiunea de echilibru (peq) din incint, astfel:

L = KSp eq

(2.5)

unde K este o constant de proporionalitate (K = 3.27 1019 molecule l-1 pentru o presiune de 1 Torr la T = 295 K). Dac suprafaa eantionului este nclzit cu o rat constant, presiunea gazului din incinta experimental crete datorit fluxului de particule desorbite. Presupunnd c nu are loc procesul de re-adsorbie al particulelor desorbite, echilibrul dintre particulele care intr i ies din incint este dat de procesele de adsorbie i desorbie, astfel nct poate fi scris ecuaia:

dN dp + L = KSp + KV dt dt

(2.6)

Unde: A este aria suprafeei adsorbantului, incint.

dN rata de desobie iar p presiunea momentan din dt

n timpul experimentelor de desorbie, temperatura suprafeei analizate este crescut n mod liniar iar determinarea diferiilor parametri de adsorbie i desorbie se face prin analiza

12

curbei de presiune n funcie de temperatur, numit i spectru de desorbie. Spectrele TDS sunt obinute prin plasarea eantionului analizat (expus n prealabil unui fascicul de ioni de deuteriu) ntr-un tub de quartz ataat unei camere de vid echipat cu o pompa turbomolecular de 170 l/s ce asigur o presiune de 10-8 Torr. Tubul de quartz este introdus ntr-un cuptor programabil menit s nclzeasc proba uniform. Temperatura probei este monitorizat cu ajutorul unui termocuplu n timp ce presiunea parial a gazelor desorbite este msurat folosind un spectrometru de mas calibrat pentru deuteriu i hidrogen molecular. Odat ce presiunea din tubul de quartz, n care este introdus eantionul de analizat, scade sub valoarea de 10-8 Torr, cuptorul este programat s urmeze o ramp liniar de temperatura de 15 Kmin-1 pn atinge palierul de 1050 K. Eantionul este meninut pe palierul de 1050 K pentru nc 20 min dup care temperatura este cobort pn la temperatura camerei. Studii anterioare au demonstrat c aceast temperatur este suficient pentru desorbia deuteriului din beriliu. CAP. III Rezultate experimentale privind retenia deuteriului n filme subiri de beriliu i analiza acestora n acest capitol vor fi prezentate contribuiile aduse n cadrul acestui studiu efectuat n pregtirea tezei att la optimizarea procesului de depunere de filme protective de Be prin metoda arcului termoionic n vid ct i n studiul reteniei de deuteriu n aceste filme. n prima parte vor fi prezentate rezultatele obinute n studiul influenei condiiilor de lucru folosite n timpul depunerii filmelor subiri de Be asupra caracteristilor lor morfologice, n timp ce n cea de-a doua parte vor fi prezentate rezultate obinute privind retenia de deuteriu n aceste filme. n cea de-a treia parte a acestui capitol vor fi prezentate rezultate obinute n studiul desorbiei deuteriului prin tratament termic din filmele protective de Be obinute prin arc termoionic n vid. Pentru caracterizarea morfologic i structural au fost folosite msurtori prin microscopie de for atomic (Atomic Force Microscopy - AFM), microscopie electronic de baleaj (Scanning Electron Microscopy - SEM), spectroscopie de fotoelectroni n domeniul radiaiei X (X-ray Photoelectron Spectroscopy - XPS) i spectroscopie de retromprtiere Rutherford (Rutherford Backscattering Spectrometry - RBS) n timp ce pentru studiul reteniei i al desorbiei deuteriului au fost folosite urmtoarle tehnici: analiza reaciilor nucleare (Nuclear Reaction Analysis - NRA) i spectroscopia de desorbie termic (Thermal Desorption Spectroscopy - TDS). 3.1 Prepararea i caracterizarea morfologic a filmelor subiri de Be obinute prin metoda Arcului Termoionic n Vid (TVA) Este bine cunoscut faptul c orice proces de depunere de straturi subiri se realizeaz n trei pai [76]: i) producerea, dup caz, de specii moleculare, atomice sau ionice, ii) transportul speciilor respective ctre substrat i iii) condensarea speciilor respective pe substrat pentru a forma filmul solid. Formarea straturilor subiri are loc prin procesele de nucleaie i cretere. Studii experimentale i teoretice [77-80] au demonstrat c procesul de cretere const din procese statistice de nucleaie i cretere tridimensional a nucleelor de germinaie controlat de difuzia pe suprafa. Aceste procese statistice sunt, dup cum am menionat, guvernate de o serie de parametri de lucru cum ar fi: energia speciilor ce ajung la substrat, rata de depunere, energia de activare a adsorbiei i desorbiei, coeficientul de difuzie termic precum i temperatura, topografia i natura chimic a substratului.

13

Metoda folosit pentru obinerea filmelor subiri de Beriliu este cea a arcului termoionic n vid i prezentat succint n capitolul anterior. n scopul studierii efectelor condiiilor de depunere asupra proprietilor filmelor subiri au fost preparate mai multe seturi de probe folosind condiii experimentale diferite, n care au fost modificai i controlai urmtorii parametri de lucru: presiunea din incinta de preparare a probelor, temperatura substratului, intensitatea curentului de filament, tensiunea aplicat pe anod, intensitatea curentului de descrcare. Trebuie subliniat faptul c, indiferent de condiiile de lucru folosite, filmele subiri obinute prin TVA prezint un grad mare de puritate. Pentru demonstrarea puritii filmelor de beriliu depuse prin arc termoionic n vid, n figura 9 sunt prezentate spectrul RBS experimental i profilul n adncime obinute pentru un film de Be depus pe substrat de grafit. n spectrul experimental RBS, obinut cu ajutorul unui fascicul de ioni 4He de energie 2600 KeV, se poate observa, pe lng vrfurile caracteristice substratului de C i Be, apariia, att la suprafaa eantionului analizat ct i la interfaa film substrat, a vrfurilor caracteristice oxigenului.
500

film de Be depus pe substrat de grafit

experiment SIMNRA
100

Film de Be pe substrat de C
Be O C

400

Intensitate (a.u.)

80

Film de Be
300

O de la interfata Substrat de carbon O de la suprafata

concentratie(at %)

60

200

40

100

20

0 0 100 200 300 400

0 0 1000 2000 3000 4000 5000 6000 7000 8000

Canal (a.u.)

Adancime (1015 at/cm2)

Figura 9. Spectrul experimental RBS (stnga) i profilul compoziional n adncime (dreapta) ale unui film de Be depus pe substrat de C (fasciculul de ioni 4He+ de energie 2.6 MeV) De asemenea, profilurile n adncime obinute prin X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) tipice filmelor de Be depuse pe substraturi de carbon i wolfram prin tehnica TVA i prezentate n figura 10 confirm rezultatele obinute prin RBS.
Film Be pe substrat de C
1.0 0.9 0.8 0.7
1.0

Film de Be pe substrat de C

b)
timp mare de masura! crestere a concentratiei O cauzata de gazul rezidual
compozitie Be1s
0.8

concentratie (at %)

0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0.0 0 10 20 30 40 50 60 70 80

0.6

Be% C% O%

0.4

Be% met% carb% ox%

a)

0.2

0.0 0 20 40 60 80

timp pulverizare (min)

timp de pulverizare (min)

Figura 10. Profilul compoziional n adncime al unui film de Be depus pe substrat de C obinut prin XPS Mai mult, din analiza liniei spectrale Be1s obinut prin XPS se evideniaz prezena strii oxidice a beriliului pe toat grosimea filmului precum i creterea n intensitate a liniei caracteristice BeO la interfaa film-substrat. Tot n zona de interfa film-substrat se poate observa

14

apariia carburii de beriliu (Be2C). Apariia strii oxidice a Beriliului n toat grosimea filmului, evideniat prin msurtorile XPS, este cauzat de prezena oxigenului rezidual n incinta de depunere. Cu toate acestea, concentraia de oxigen prezent n filmele de Beriliu depuse pe substrat de carbon prin arc termoionic n vid se limiteaz n jurul a 6 8 procente atomice. O alt caracteristic a filmelor depuse este reprezentat de policristalinitatea acestora, demonstrat prin msurtori de difracie de raze X i de electroni prezentate n figura 11.
Si Intensitate (a.u) - film de Be depus pe Si Be

90

90

Intensitate (a.u.) - Substratul de Si

Be Be

60

60

30

30

20

40

60
2 (degrees)

80

0 100

Figura 11. Figurile de difracie de raze X (stnga) i de electroni (dreapta) ale unui film de Be obinut prin metoda TVA. Totodat, dup cum se poate observa att din profilurile de adncime obinute prin RBS, ct i din cele obinute prin XPS, cantitatea de oxigen prezent n film crete la interfaa filmsubstrat ct i la suprafaa filmului. Prezena stratului de oxid de la suprafa (de aproximativ 5 10 nm grosime) este justificat prin expunerea probelor la atmosfer. Este cunoscut faptul c beriliul prezint o mare afinitate pentru oxigen aa nct, chiar i o simpl expunere a unui eantion de beriliu n atmosfera nconjurtoare conduce la formarea unui strat de oxid de beriliu la suprafaa acetuia. n ceea ce privete parametrii electrici ai plasmei, s-a constatat experimental c exist, aa cum era de ateptat, o interdependen ntre acetia i morfologia/structura filmelor obinute. n primul rnd, prin modificarea parametrilor electrici ai plasmei, se modific rata de depunere; acest fapt are ca urmare modificarea coninutului de impuriti (n special oxigen) din film. Prin analiza profilurilor n adncime obinute din msurtorile RBS s-a constatat c pentru rate de depunere mici (~2 nm/sec) concentraia de oxigen din film este de aproximativ 7-8 procente atomice, n timp ce pentru rate de depunere mari (~ 5 nm/sec) concentraia de oxigen scade la jumtate, ajungnd la valori de 3-4 procente atomice. Totodat, dimensiunea grunilor cristalini se modific. Astfel, pentru rate mari de depunere s-au obinut dimensiuni medii ale cristalitelor de ~ 1,2 nm, n timp ce pentru rate mici de depunere s-au obinut valori de ~ 7,4 nm. Modificarea dimensiunii medii a cristalitelor este legat de cinetica procesului de formare a filmului expus la nceputul acestei seciuni. Astfel, prin creterea ratei de depunere (obinute prin creterea tensiunii aplicate pe anod) se obine o cretere a densitii nucleelor de germinaie i o reducere a dimensiunii critice a nucleelor de germinaie. Totodat, creterea tensiunii aplicate pe anod duce, dup cum am menionat, la o cretere a energiei ionilor ce ajung pe substrat. Rezultatul creterii energiei ionilor incideni const n diminuarea dimensiunii medii a cristalitelor [81]. Ali parametri luai n considerare n studiul morfologiei i proprietilor de aderen a straturilor de beriliu, pe lng rata de depunere, au fost energia respectiv fluxul de ioni ajuni la suprafaa eantionului. Prin modificarea polarizrii substratului au putut fi schimbate i controlate att fluxul ct mai ales energia ionilor care bombardeaz eantionul ce urmeaz a fi analizat. Pentru aceasta au fost preparate filme subiri de beriliu pe substraturi de grafit, wolfram i siliciu aplicnd, n timpul depunerii, diferite tensiuni de polarizare pe substrat. Pentru prima serie de

15

msurtori, tensiunile de polarizare aplicate au fost: -200 V, -100V, + 400 V i respectiv + 700 V. Fiind un studiu comparativ, pentru a putea observa modificrile induse de aplicarea tensiunii de polarizare asupra morfologiei stratului depus, restul parametrilor de lucru au fost pstrai aceeiai n timpul fiecarui proces de depunere, i anume: Pincinta = 1.2 10-5 Torr, Ifilament = 48 A, Udescarcare = 600 V si Idescarcare = 1.5 A.

Figura 12. Imagini AFM si SEM ale filmelor de Be depuse aplicnd pe substrat tensiune de polarizare negativ (a), pozitiv (b) si cu eantionul la masa (c) Rezultatele AFM au indicat faptul c filmele depuse n condiii de polarizare negativ prezint o rugozitate mai mic (Rms = 7 2 nm) fa de cele crescute n condiii de polarizare pozitiv (Rms = 19 4 nm). n figura 12 sunt prezentate imaginile AFM obinute pentru valori ale tensiunii de polarizare aplicate de -200 V , +700V i respectiv cu substratul conectat la masa. Este de ateptat ca apariia acestor modificri n morfologia i structura filmelor de beriliu, obinute prin schimbarea parametrilor de lucru folosii n timpul depunerii, s aib efect asupra proprietilor de retenie i desorbie ale filmelor. Aceste aspecte vor fi studiate n cele ce urmeaz. 3.2. Retenia deuteriului n filme subiri de beriliu ntr-o alt serie de msurtori a fost urmrit comportarea deuteriului n filmele de beriliu. Implantarea deuteriului s-a fcut folosind sursa de ioni de fluenta mare disponibil la IPP Garching la un unghi de incidena perpendicular pe prob. Valoarea energiei fasciculului de ioni D3+ incident a fost de 600 eV (nsemnnd 200 eV/D+) iar implantarea s-a realizat la temperatura

16

camerei. Au fost urmrite trei direcii de studiu al comportamentului filmelor de beriliu n ceea ce privete retenia de combustibil nuclear: Variaia cantitii de deuteriu reinut n film cu variaia cantitii de deuteriu implantate. Variaia cantitii de deuteriu reinut n film n funcie de proprietile morfologice ale filmului. A treia direcie urmrit a constat n studiul variaiei cantitii de deuteriu reinut n filme de beriliu obinute n aceleai condiii de depunere n funcie de temperatura probei n timpul expunerii acestora la fasciculul de ioni de deuteriu. Rezultatele obinute n urma acestor studii fac subiectul seciunilor care urmeaz. 3.2.1 Studiul reteniei i desorbiei deuteriului implantat n filme subtiri de beriliu la temperatura camerei

Primul parametru analizat cu privire la studiul proprietilor de retenie i desorbie a deuteriului din eantioanele de beriliu a fost cantitatea de deuteriu introdus n eantion. Un rezultat tipic este prezentat n figura 13 n care au fost utilizate la implantare doze ale ionilor de deuteriu cuprise intre 1015 i respectiv 6x1018 ioni/cm2, expunerea probei la bombardamentul cu ioni de deuteriu fiind efectuat la temperatura camerei. n cazul unei retenii totale de 100% a dozei de particule la intrarea n eantion ar trebui s se obin dependena liniar a cantitii de deuteriu reinut n eantion funcie de doza incident pe prob. Aceasta ar corespunde liniei dreapte din figura 13. n realitate se constat c la doze ce depesc circa 2x1017 ioni/cm2 se obine un fenomen de saturare a cantitii de deuteriu reinut n eantion. Acest rezultat poate fi de maxim imprtan n evaluarea bilanului global al combustiblului n instalaiile energetice.
10
18

Deuteriu retinut in film (at/cm2)

10

17

10

16

retentie 100% implantare la temperatura camerei

10

15

10

15

10

16

10

17

10

18

10

19

Deuteriu implantat (at/cm2)

Figura 13. Variaia cantitii de deuteriu reinut n film de Be n funcie de doza de implantare (cazul expunerii la temperatura camerei) Pentru studiul variaiei cantitii de deuteriu reinut n film n funcie de proprietile morfologice ale acestuia, implantarea cu ioni de deuteriu, de energie de 200 eV, s-a efectuat la temperatura camerei cu o fluen de 5 1018 D/cm2. Conform studiilor anterioare, aceast valoare reprezint doza la care este expus primul perete n timpul unei descrcri ntr-o instalaie tokamak. Cantitatea total de deuteriu reinut n film, avnd o valoare de ordinul 1017 D/cm2 determinat prin msurtori NRA folosind un fascicul de ioni 3He+ cu o energie de 1200 keV, nu difer semnificativ (avnd acelai ordin de mrime) de proprietile morfologice ale filmului de beriliu. Cu toate acestea, profilul n adncime al deuteriului reinut in filmele depuse n aceleai

17

condiii de presiune i parametri electrici ai plasmei TVA, difer n funcie de tensiunea de polarizare aplicat pe substrat n timpul depunerii filmelor. Astfel, pentru filmele de beriliu depuse n condiii de tensiune de polarizare negativ aplicat pe substrat profilul n adncime, obinut prin analiza NRA folosind un fascicul de ioni de 3He+ de energie 690 keV, indic faptul c deuteriul este reinut ntr-o cantitate mai mare n zona din apropierea suprafeei, n timp ce, pentru filmele obinute prin aplicarea unei tensiuni de polarizare pozitiv deuteriul intr mai adnc n film (figura 14).
4

Be/C @ polarizare negativa Be/C @ masa Be/C @ polarizare pozitiva

3

Concentratie D (%)

2000

4000

6000
15

8000
2

10000

12000

Adancime (10 at/cm )

Figura 14. Profilurile n adncime ale deuteriului reinut n filme de beriliu depuse n condiii diferite de tensiune de polarizare aplicat pe substrat Acest comportament este strns legat de structura indus filmului prin aplicarea potenialului pe substrat n timpul depunerii. Astfel, prin aplicarea unei tensiuni de polarizare pozitiv pe substrat n timpul depunerii filmul este format, n principal, prin condensarea atomilor neutri provenii din plasm. Acest fapt conduce la o cretere a porozitii filmului prin mrirea dimensiunilor grunilor cristalini i a diametrului coloanelor din care este constituit filmul. Dup implantarea cu deuteriu i analiza NRA, pentru determinarea distribuiei acestuia n filmele studiate, s-au facut msurtori de analiz spectral de desorbie termic (Thermal Desorption Spectroscopy - TDS) folosind facilitatea Thermal Effusion Spectroscopy Setup (TESS) disponibil n cadrul IPP-Garching.
film de Be depus pe substrat de C
4.0x10 3.5x10
14

800

14

pozitia primului varf de desorbtie ~ 200 C

Rata de desorbtie (molecule/sec)

3.0x10 2.5x10 2.0x10 1.5x10 1.0x10 5.0x10

14

600

Temperatura esantion ( C)

14

14

400

14

14

D2 (2,24 x 10 molecule) HD (2,94 x 10 molecule) temp esantion

16

16

200

13

100

200

300

400

500
o

600

700

Temperatura cuptor ( C)

Figura 15. Spectrele TDS ale moleculelor D2 i HD obinute pentru filmele de Be depuse pe substrat de grafit

18

n figura 15 sunt reprezentate grafic evoluiile cu temperatura, n timp, a moleculelor de D2 i HD desorbite dintr-un film de Be depus pe substrat de C. Dup cum se poate observa din analiza spectrelor TDS, majoritatea deuteriului din film a fost eliberat, n proporie de 89 %, sub form de deuteriu molecular (D2), restul deuteriului fiind eliberat sub form de HD i D2O. Poziia vrfului de desorbie a deuteriului molecular (~ 200 C) este n concordan cu rezultatele obinute pe probe de beriuliu cristalin. Acest vrf de desorbie reprezint o caracteristic intrinsec a beriliului cristalin i este cauzat de prezena defectelor cu energie de legatura mic. Totodat, lipsa unor vrfuri de desorbie corespunztoare unor temperaturi mai ridicate (i, implicit, unor energii de legtur mari) denot faptul c filmul nu a suferit schimbri de structur induse prin implantarea ionilor de deuteriu. Analiza NRA cu fascicul de ioni 3He de energie de 800 keV efectuate dup msurtorile TDS au confirmat faptul c tot deuteriul prezent n film a fost desorbit. 3.2.2 Studiul reteniei i desorbiei n filme de beriliu al deuteriului implantat la temperaturi nalte

Un alt aspect important n studiul reteniei combustibilului nuclear n filmele subiri de beriliu este reprezentat de comportamentul acestora atunci cnd implantarea deuteriului are loc la temperaturi ridicate. innd cont de poziia vrfului de desorbie caracteristic beriliului (~ 200 C) precum i de temperatura de formare a carburii de beriliu, eantioanele (filme subiri de beriliu depuse n aceleai condiii pe substrat de grafit i wolfram) au fost implantate la diferite fluene la temperaturi de 150 C i 300 C.
10
18

retentie 100% RT o 150 C o 300 C

Retinut (D/cm )

10

17

10

16

10

15

10

15

10

16

10

17

10
2

18

10

19

Implantat (D/cm )

Figura 16. Variaia reteniei deuteriului n filme de beriliu n funcie de temperatura de implantare n figura 16 este prezentat variaia reteniei deuteriului n funcie de temperatura de implantare. Cuantificarea cantitii totale de deuteriu reinut n film a fost fcut prin analiza spectrului de protoni rezultai n urma reaciei nucleare dintre fasciculul de ioni 3He de energie 1 MeV i deuteriul prezent n probe. Dup cum se poate observa din graficul de mai jos, retenia combustibilului nuclear scade odat cu creterea temperaturii la care s-a efectuat implantarea. Totodat, trebuie remarcat faptul c variaia reteniei n funcie de doza deuteriului implantat pstreaz, n linii mari, aceeai dependen de proporionalitate cu fluena incident (de aproximativ ~ 0.28 ) indiferent de temperatura de implantare ajungnd la o cvasisaturaie la fluene mari. Totodat, au fost determinate i profilurile distribuiei n adncime a deuteriului pe baza spectrului de particule alfa rezultate n urma reaciei nucleare dintre fasciculul de ioni de 3He de

19

energie 690 keV i deuteriu. Pentru exemplificare, n figura 17 sunt prezentate profilurile de adncime obinute pentru filmele de beriliu depuse pe substrat de grafit expuse unui fascicul de deuteriu la o fluen de ~ 2 1018 D/cm2 la temperatura camerei, 150 C i respectiv 300 C.
5

Fluenta ~ 2.1 10 D/cm

4

18

Concentratie D (at %)

R.T. o 150 C o 300 C

0 0 1000 2000 3000

15 2

4000

Adancime (10 at/cm )

Figura 17. Profilurile distribuiei n adncime a deuteriului pentru diferite temperaturi de implantare Se poate observa c forma profilului n adncime al deuteriului se pstreaz, ns, odat cu creterea temperaturii, scad att valoarea de maxim a concentraiei deuteriului ct i adncimea de ptrundere a acestuia n film. Tot analiza NRA a demonstrat c, prin creterea temperaturii de expunere a filmului de beriliu la fasciculul de ioni de deuteriu, cantitatea de deuteriu reinut n film scade fa de valoarea nregistrat n cazul expunerii la temperatura camerei astfel: Cu aproximativ 65% pentru o temperatur de expunere de 150 C Cu aproximativ 80% pentru o temperatur de expunere de 300 C Analiza TDS, ale crei spectre corespunztoare deuteriului molecular (D2) sunt prezentate n figura 18, evideniaz faptul c, n domeniul de temperatur n care s-a desfurat experimentul (23C 765C), tot deuteriul este desorbit din probele analizate.
1E15 800

Rata de desorbtie (molec/sec)

RT o 150 C o 300 C temp. proba

1E14

700 600

Temperatura (oC)

500 400 300 1E13 200 100 1E12 1000 2000 3000 0

timp (sec)

Figura 18. Spectrele de desorbie ale moleculelor D2 pentru filmele de beriliu expuse unor fascicule de ioni de deuteriu la temperatura camerei (simbol negru), 150C (simbol albastru) i 300C (simbol rou)

20

Din analiza acestor spectre de desorbie se poate observa c la temperatura de implantare de 150C vrful de desorbie de temperatur joas (~ 200 C) este nc prezent ns, valoarea sa de intensitate maxim este diminuat i deplasat n comparaie cu spectrul obinut pentru probele implantate la temperatura camerei. Aceast diminuare a valorii maxime a intensitii este explicat de faptul c, la aceast temperatur, deuteriul difuzeaz nspre suprafa i este desorbit n timpul procesului de implantare. Totodat, se poate observa i o lrgire a acestui peak cauzat de apariia unor noi capcane pentru deuteriu, de energii mai mari. n cazul probelor implantate la 300 C, vrful de desorbie de temperatur joas dispare complet observndu-se ns apariia unui vrf de desorbie n jurul temperaturii de 500 C, caracteristic unor capcane de deuteriu cu energii de activare mai ridicate. De altfel, acest vrf de desorbie poate fi observat i n spectrele de desorbie obinute pentru filmele ce au fost expuse fasciculului de deuteriu la temperatura camerei. Prin prelucrarea spectrelor de desorbie a deuteriului molecular s-au obinut curbele de variaie a cantitii de deuteriu rmas n film cu temperatura, pentru fiecare dintre temperaturile de implantare (figura 19).
1.0 700

600

500

Temperatura ( C)

~ 23 C o ~ 150 C o ~ 300 C

0.8

Ratie D2 ramas

0.6

400

300

0.4

200 0.2 100

0 0 1000 2000 3000

0.0 4000

Timp (sec)

Figura 21. Variaia cu temperatura a raiei de deuteriu molecular rmas n filmele de beriliu n timpul analizei TDS Din analiza acestor curbe, se poate observa scderea cantitii de deuteriu desorbit din film cu creterea temperaturii de expunere a eantioanelor la fasciculul de ioni de deuteriu. Pentru a putea compara rezultatele obinute n condiii experimentale diferite a fost folosit un proces de normare a acestora. Normarea la unitate s-a facut fa de cantitatea de deuteriu reinut n film prin expunerea sa la fasciculul de ioni de deuteriu la temperatura camerei. Prin implantarea deuteriului la temperaturi ridicate (150C si 300C) s-a constatat o diminuare a reteniei de combustibil n film cu ~65%, respectiv ~80% iar msurtorile TDS au relevat apariia unor noi capcane de deuteriu de energii mai mari. 3.3 Retenia deuteriului n filme compozite Be-W obinute prin co-depunere folosind tehnica arcului termoionic n vid

Dup cum am menionat n seciunile anterioare, n timpul reaciei de fuziune termonuclear exist posibilitatea interaciunii dintre particule provenite din plasma de fuziune i primul perete. Aceste interaciuni pot conduce la formarea, pe suprafeele componentelor primului perete, a unor straturi superficiale de aa numite materiale mixte (amestecuri de materiale ce intr n componena primului perete). Formarea acestor filme subiri de materiale

21

mixte aduc modificri asupra proprietilor fizico-chimice ale materialelor originale. Din punct de vedere al studiului reteniei de combustibil nuclear n materialele componente ale primului perete al viitoarelor reactoare de fuziune termonuclear, un aspect important l constituie att prepararea i caracterizarea acestor aa numite materiale mixte, ct i studiul efectelor apariiei acestora asupra proprietilor materialelor pure. 3.3.1 Metodologia depunerilor simultane folosind tehnica TVA

n seciunile precedente a fost prezentat metoda arcului termoionic n vid pentru depunerea straturilor subiri din materiale conductoare cum ar fi beriliu, wolfram i carbon n conditii de puritate crescut folosind presiuni foarte sczute (de regul sub 10-5 mbar). Pentru a se putea executa depuneri de straturi formate din amestecul a dou metale, se folosete un aranjament experimental ca cel prezentat n figura 20. Proporia dorit a celor dou materiale din amestec poate fi obinut prin controlul regimurilor de funcionare a celor dou sisteme TVA. n acest mod se pot depune simultan amestecuri binare de beriliu-wolfram, beriliucarbon, wolfram-carbon cu viteze de ordinul nanometrilor pe secund, la concentraii relative variate.

Figura 20. Schema aranjamentului experimental pentru realizarea depunerilor combinatoriale utiliznd simultan dou surse de evaporare de tip TVA Folosind montajul experimental prezentat schematic n figura 20, filme compozite Be-W au fost depuse pe substraturi de carbon i siliciu. Au fost efectuate diferite depuneri de filme combinatoriale n care parametrii de lucru pentru descrcrile de wolfram i beriliu au fost modificai. Astfel, au fost obinute i caracterizate filme compozite Be-W cu concentraii de wolfram cuprinse n intervalul 370 procente atomice [69]. n ideea ncercrii obinerii unor compui stabili ai sistemului Be-W (n special Be12W) parametrii experimentali folosii pentru obinerea filmelor compozite sunt prezentai n tabelul 2. Ifilament (A) Be 50 Udescarcare (V) 800 Idescarcare (A) 0.8 8 10-6 W 55 1400 1.6 Presiune (Torr)

Tabel 2. Parametrii de lucru folosii la obinerea filmelor compozite Be-W

22

3.3.2

Studiul reteniei i desorbiei de deuteriu n filme compozite Be-W obinute prin arc termoionic n vid

Dup cum am meniont anterior, prin modificarea parametrilor de lucru (tensiunea anodic i intensitatea curentului de filament) s-au putut obine filme compozite Be-W cu diferite rapoarte de concentraii ale celor doi compui [69]. Analiza AFM a filmelor compozite a evideniat faptul c rugozitatea filmelor crete odat cu creterea concentraiei de wolfram din film. Pentru exemplificare, n figura 21 sunt prezentate imaginile AFM obinute pentru dou filme compozite Be-W ce conin 10 (A), respectiv 60 (B) procente atomice wolfram. Rezultatele AFM au indicat o cretere a rugozitii medii de la ~ 20 nm pentru filmul cu o concentraie de 10 % wolfram, la ~ 120 nm n cazul filmului cu o concentraie de 60 % wolfram.

Figura 21. Imagini AFM obinute pentru filme compozite Be-W cu concentraii de wolfram de 10% (A) i 60% (B) Ca i n cazul filmelor de beriliu, eantioanele filmelor compozite Be-W au fost expuse unui fascicul de ioni de deuteriu de energie 200 eV. Rezultatele analizelor NRA cu fascicul de ioni 3He de energie 1 MeV au indicat o scdere a reteniei de deuteriu cu creterea concentraiei de wolfram din filmele compozite [69]. n ceea ce privete studiul filmelor compozite cu coninut sczut de wolfram, analizele XPS prin care au fost obinute profilurile n adncime prezentate n figura 22, au scos n eviden prezena ambelor elemente, concentraia de wolfram din film variind de la aproximativ 10 procente atomice n film, la aproximativ 30 de procente atomice n zona din imediata apropiere a suprafeei. Aceast variaie n concentraia de wolfram din film a fost cauzat de instabilitatea parametrilor electrici ai plasmei de wolfram. Totodat, s-a putut observa i prezena unei concentraii ridicate de oxigen, concentraie ce crete de la ~ 10% n film la ~ 30% n zona de suprafa. Apariia acestei concentraii ridicate de oxigen este cauzat de combinarea beriliului cu oxigenul rezidual din incint.
1.0 0.9 0.8 0.7

1.0 0.9 Be% met% alloy% oxide% carbide%

composition Be1s signal

Be O C W

0.8 0.7 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1

compozition

0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0.0 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200 220 240 260 280

0.0 0 50 100 150 200 250

Ar fluence (10 /cm )

16

Ar+ fluence (1016/cm2)

Figura 22. Profilul n adncime obinut prin XPS al unui film compozit Be-W preparat prin metoda TVA

23

Din analiza liniei spectrale Be1s s-a constatat c doar o cantitate foarte mic din beriliul prezent n film (< 3%) se combin cu wolframul formnd aliajul stabil Be12W, restul beriliului din film aflndu-se fie ca metal, fie sub form de oxid. Din analiza acestor rezultate putem concluziona c, dei s-a obinut un raport stoechiometric favorabil formrii compusului stabil Be12W folosind parametrii din tabelul 2, structura filmelor compozite preparate prin arc termoionic n vid este de tip matriceal. Pentru a urmri comportamentul filmelor compozite BeW cu coninut sczut de wolfram din punct de vedere al reteniei i desorbiei de combustibil nuclear, o serie de eantioane au fost expuse unui fascicul de ioni de deuteriu. Implantarea deuteriului s-a fcut, ca i n cazul filmelor de beriliu pur, folosind sursa de ioni de fluen mare disponibil la IPP Garching la un unghi de incidena perpendicular pe prob. Valoarea energiei fasciculului de ioni D3+ incident a fost de 600 eV (nsemnnd 200 eV/D+) iar implantarea s-a realizat la temperatura camerei cu o fluen de 2 1023 D/m2. Spectrele TDS (figura 23) au fost obinute, ca i n cazul filmelor subiri de beriliu pur, prin nclzirea probelor de la temperatura camerei pn la 1050 K pe o ramp de 0.25 Ks-1 optimizat n prealabil pentru liniaritate.
800 700

6.0x10

14

Rata de desorbtie (molec/sec)

Be pur
600

Temperatura proba ( C)

500

4.0x10
400 300 200 100 0 0 100 200 300 400 500
o

14

10% W
2.0x10
14

600

700

800

Temperatura cuptor ( C)

Figura 23. Spectrele de desorbie termic a deuteriului molecular obinute n cazul unui film subire de Be (curba neagr) i n cazul unui film compozit Be-W cu o concentraie de 10% wolfram
1.0 700

Be pur Be cu 10% W
0.8

600

500

Temperatura ( C)

Ratie D2 ramas

0.6 400

350 C
0.4
o

300

240 C
200 0.2 100

0 0 1000 2000

0.0 3000

Timp (sec)

Figura 24. Variaia cu temperatura a raiei de deuteriu molecular rmas n timpul analizei TDS n filmele de Be pur i cele de Be-W cu 10% Wolfram

24

Comparnd spectrele de desorbie termic a deuteriului molecular prezentate n figura 23, se poate observa, n cazul filmului compozit Be-W, o diminuare semnificativ a vrfului de desorbie situat n jurul temperaturii de 200 C i caracteristic deuteriului desorbit din beriliu pur. Totodat, prezena wolframului n filmul compozit conduce la apariia unui al doilea vrf de desorbie centrat n jurul temperaturii de 350 C. Apariia acestui al doilea vrf de desorbie poate fi atribuit, comparnd rezultatele obinute cu cele prezentate n literatura de specialitate [70 - 74], suprapunerii vrfului de desorbie de temperatur joas al deuteriului desorbit din wolfram (situat n intervalul de temperatur 250C - 350C) cu un vrf de desorbie caracteristic eliberrii deuteriului din beriliu pur. Analiznd graficul variaiei cu temperatura a raiei de deuteriu rmas att n filmele de beriliu pur ct i n cele compozite Be-W cu coninut sczut de wolfram prezentat n figura 24, se poate observa c prezena wolframului n filmul compozit, chiar i ntr-un procentaj de 10%, conduce la mrirea concentraiei de deuteriu rmas. Astfel, pentru temperaturile de interes n reciclarea combustibilului termonuclear, msurtorile efectuate au evideniat urmtoarele: n cazul temperaturii de 240 C, aleas ca temperatur de funcionare a primului perete, prezena a 10% de wolfram n compoziia filmului de beriliu conduce la o scdere a deuteriului desorbit din film de la 80%, la 60%. n cazul temperaturii de 350 C, aleas ca temperatur de funcionare a componentelor din zona divertorului, prezena a 10% de wolfram n compoziia filmului de beriliu conduce la o scdere a deuteriului desorbit din film de la 90%, la 80%.

CAP. IV Concluzii Msurtorile efectuate pentru gsirea distribuiei energiei ionilor ca i a distribuiei de potenial a plasmei pe direcia expansiunii ei, pentru diferite condiii experimentale, au permis stabilirea parametrilor de care depinde energia ionilor generai prin metoda arcului termoionic n vid. n condiii de operare staionare, aceast surs de plasm produce ioni energetici fr alte mijloace adiionale de accelerare. Mai mult, energia acestor ioni poate fi ajustat obinndu-se valori de pn la 1200 eV doar selectnd condiiile de operare specifice pentru TVA. Condiiile de depunere (n special tensiunea de polarizare aplicat suportului n timpul depunerii) modific structura i morfologia filmelor obinute. Rezultatele obinute i prezentate n cadrul acestui studiu, referitoare la structura i morfologia filmelor subiri de beriliu depuse prin arc termoionic n vid, demonstreaz urmtoarele: filmele subiri de beriliu depuse prin arc termoionic n vid prezint un grad nalt de puritate (> 90 %). Singurele impuriti prezente n filme sunt oxigenul i carbonul. Impurificarea filmelor de beriliu obinute este cauzat de prezena oxigenului rezidual n incinta de depunere i de expunerea acestora, dup depunere, la atmosfera nconjurtoare. filmele subiri de beriliu depuse prin arc termoionic n vid sunt caracterizate de policristalinitate. Conform msurtorilor de difracie de raze X i de electroni, indiferent de condiiile de depunere folosite, filmele de beriliu obinute prin TVA sunt policristaline. Dimensiunea grunilor cristalini se modific odat cu modificarea parametrilor electrici ai descrcrii TVA reprezentai de intensitatea curentului de filament, intensitatea curentului de descrcare i tensiunea aplicat pe anod n timpul depunerii. Astfel, pentru rate mari de depunere, obinute prin creterea intensitii curentului de descrcare, dimensiunea medie a cristalitelor are o valoare de ~ 7,4 nm, n timp ce pentru rate mici de depunere, obinute prin creterea tensiunii aplicate pe anod, s-au obinut valori de ~ 1,2 nm pentru dimensiunea medie a cristalitelor.

25

aplicarea unei tensiuni de polarizare pe substrat n timpul depunerii modific morfologia filmelor de beriliu. Astfel, filmele depuse n condiii de polarizare negativ prezint o rugozitate mai mic (Rms = 7 2 nm) fa de cele crescute n condiii de polarizare pozitiv (Rms = 19 4 nm), rezultate evideniate prin msurtori AFM. Din punct de vedere al studiului reteniei i desorbiei de deuteriu n filmele subiri de beriliu depuse prin arc termoionic n vid, s-au putut trage urmtoarele concluzii: S-a demonstrat ca retenia de deuteriu n filmele de beriliu pur studiate depinde de structura obinut prin modificarea condiiilor de depunere. S-a constatat, prin determinarea profilului n adncime al deuteriului prezent n film, o diminuare a valorii de maxim a concentraiei deuteriului pe msur ce tensiunea de polarizare aplicat pe substrat trece de la valori negative (accelerarea ionilor din plasm catre substrat) la valori pozitive (decelerarea ionilor din plasm). Acest comportament apare ca rezultat al modificrii dimensiunilor grunilor cristalini i a diametrului coloanelor consituente ale filmului prin aplicarea tensiunii de polarizare pe substrat n timpul formrii filmului. S-a artat, prin analiza spectrelor TDS, c majoritatea deuteriului din film a fost eliberat, n proporie de 89 %, sub form de deuteriu molecular (D2), restul deuteriului fiind eliberat sub form de HD i D2O. Poziia vrfului de desorbie a deuteriului molecular (~ 200 C) este n concordan cu rezultatele obinute pe probe de beriuliu masiv cristalin. Acest vrf de desorbie reprezint o caracteristic intrinsec a beriliului cristalin i este cauzat de prezena defectelor cu energie de legatur mic. Totodata, lipsa unor vrfuri de desorbie corespunztoare unor temperaturi mai ridicate (i, implicit, a unor energii de legtur mai mari) denot faptul c filmul nu a suferit schimbri de structura induse prin implantarea ionilor de deuteriu de energie 200 eV. Analiza NRA cu fascicul de 3He cu o energie de 800 keV efectuate dup msurtorile TDS au confirmat faptul c tot deuteriul prezent n film a fost desorbit. Spectrele obinute n urma msurtorilor de desorbie evideniaz prezena unui vrf de desorbie n jurul valorii de 200 C caracteristic beriliului cristalin. Toat cantitatea de deuteriu din film este desorbit n intervalul de temperatura 150 C 765 C, majoritatea ca deuteriu molecular (D2) dar i prin formarea de molecule HD. Prin expunerea filmelor de beriliu la fasciculul de ioni de deuteriu la temperaturi ridicate (150C i 300C) s-a constatat o diminuare a reteniei de combustibil n film astfel: cu ~ 65 % n cazul expunerii la 150 C cu ~ 80 % n cazul expunerii la 300 C Msurtorile TDS au relevat apariia unor noi capcane de deuteriu de energii mai mari prin creterea temperaturii de expunere. Din analiza spectrelor de desorbie ale probelor implantate la temperaturi ridicate, se poate observa c: La temperatura de expunere de 150C vrful de desorbie de temperatura joas ( ~ 200 C) este nc prezent ns valoarea sa de intensitate maxim este diminuat n comparaie cu spectrul obinut pentru probele implantate la temperatura camerei. Aceast diminuare a valorii maxime a intensitii este explicat de faptul c, la aceast temperatur, deuteriul difuzeaz nspre suprafaa i este desorbit n timpul procesului de implantare. Totodat se poate observa i o lrgire a acestuia cauzat de apariia unor noi capcane pentru deuteriu de energii mai mari. n cazul probelor implantate la 300 C vrful de desorbie de temperatur joas dispare complet observandu-se ins apariia unui nou vrf de desorbie n jurul temperaturii de 500 C. Aceste rezultate demonstreaz c prin meninerea componentelor din interiorul unui reactor de fuziune termonuclear la o temperatur ridicat n timpul funcionrii se poate reduce considerabil retenia de combustibil nuclear n perei.

26

Bibliografie:
[1] G. Federici, C.H. Skinner, J.N. Brooks, J.P. Coad, C. Grisolia, A.A. Haasz, A. Hassanein, V. Philipps, C.S. Pitcher, J. Roth, W.R. Wampler and D.C. Whyte, Nuclear Fusion 41 (2001), 1967 [2] H. Verbeek, J. Stober, Nuclear Fusion 38 12 (1998) 1789 [3] ITER Project, Detailed Design Document, IdoMS G 16 DDD 2 96-11-27 [4] R.W. Conn, R.P. Doerner and J. Won, Fusion Engineering and Design 37 (1997) 481 [5] R. Parker, Nuclear Fusion, 473 (2000) 1 [6] G. Janeschitz, ITER JCT and HTs, Journal of Nuclear Materials 290-293 [7] J. Roth and C. Garca-Rosales, Nuclear Fusion, 36, 12 (1996) 1647 [8] F. Waelbroeck et al., Report Juel-1966, Kernforschungsanlage Juelich GmbH, Institut fuer Plasmaphysik, Association Euratom-KfA, 1984. [9] M.I. Baskes, J. Nucl. Mater. 92 (1980) 318. [10] G. Federici et al., Fus. Eng. Des. 39-40 (1998) 445. [11] P.H. Rebut et al., JET-R(85)03, JET Joint Undertaking, Abingdon, Oxfordshire, UK, 1985. [12] E. Bertolini, Fus. Eng. Des. 27 (1995) 27. [13] R. Sartori et al., J. Nucl. Mater. 176&177 (1990) 624. [14] K.L. Wilson et al., J. Vac. Sci. Technol. A 8 (3) (1990) 1750. [15] M.C. Billone et al., Fus. Eng. Des. 27 (1995) 179. [16] A.M. Khomutov et al., J. Nucl. Mater. 233 - 237 (1996) 111. [17] G.R. Longhurst et al., J. Nucl. Mater. 258 - 263 (1998) 640. [18] R.A. Langley, J. Nucl. Mater. 85 - 86 (1979) 1123. [19] K. Ashida et al., J. Nucl. Mater. 241 - 243 (1997) 1060. [20] M. Mayer, J. Nucl. Mater. 240 (1997) 164. [21] A.A. Haasz, J.W. Davis, J. Nucl. Mater. 241 - 243 (1997) 1076. [22] W.R. Wampler, J. Nucl. Mater. 122 - 123 (1984) 1598. [23] W.R. Wampler, unpublished data, 1997. [24] V.N. Chernikov et al., J. Nucl. Mater. 233 - 237 (1996) 860. [25] V. Kh. Alimov, unpublished data, 1997. [26] R.A. Anderl, unpublished data, 1997. [27] W. Moller et al., Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, IPP-JET Report No. 26, 1985. [28] R.A. Causey et al., J. Nucl. Mater. 241 - 243 (1997) 1041. [29] R.A. Causey, D. Walsh, J. Nucl. Mater. 254 (1998) 84. [30] R.P. Doerner et al., J. Nucl. Mater., accepted for publication. [31] R. Doerner et al., in: 17th IEE/NPSS Symposium on Fusion Engineering, San Diego, CA, 6 - 9 October 1997. [32] W.R. Wampler et al., J. Nucl. Mater. 233 - 237 (1996) 791. [33] H.D. Falter et al., JET unpublished data. [34] D. Naujoks and R. Behrisch, Proceedings of the International Conference on Plasma Physics, Innsbruck, 16C part II (1992) 843 [35] Y. Hirooka, Fusion Engineering and Design 37 (1997) 299 [36] M. Mayer, R. Behrisch, P. Andre and A.T. Peacock, Journal of Nuclear Materials, 241-243 (1997) 469 [37] M. Mayer, M. Balden and R. Behrisch, Journal of Nuclear Materials, 252 (1998) 55 [38] R.A. Anderl et al., J. Fus. Energy 16 (1/2) (1997) 95. [39] K. Ashida, K. Watanabe and T. Okabe, Journal of Nuclear Materials 241- 243 (1997) 1060-1064 [40] K. Ashida, K. Watanabe, in: Proceedings of the 3rd IEA Int'l Workshop on Beryllium Technology for Fusion, Sangyo Kaikan, Mito City, Japan, 22 - 24 October 1997, JAERI Conf. 98-001, Janaury 1998. [41] R. Doerner et al., in: 17th IEE/NPSS Symposium on Fusion Engineering, San Diego, CA, 6 - 9 October 1997. [42] R. Doerner, C. Mays, Fusion Engr. Des. 37 (1997) 325. [43] R.P. Doerner, et al., J. Nucl. Mater. 257 (1998) 51. [44] R.P. Doerner, et al., J. Nucl. Mater. 266269 (1999) 392. [45] R.P. Doerner et al. : Fusion Engineering and Design 4950 (2000) 183188

27

[46] R.A. Causey, Journal of Nuclear Materials, 300 (2002) 91 [47] R.A. Causey, W.L. Hsu, B.E. Mills, J. Ehrenberg and V. Philipps, Journal of Nuclear Materials 176&177 (1990) 654-660 [48] Linsmeier C, Goldstrass P and Klages K U 2001 Phys. Scr. T94 28 [49] Reinelt M and Linsmeier C 2007 Phys. Scr. T 128 111 [50] K. Schmidt, A. Wiltner, Ch. Linsmeier, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 219220 (2004) 947-952 [51] A.M. Yacout, A. Hassanein, Journal of Nuclear Materials 337339 (2005) 1048-1052 [52] A.F. Jankowski, M.A. Wall, A.W. Van Buuren, T.G. Nieh, J. Wadsworth, Acta Materialia 50 (2002) 4791-480 [53] C. P. Lungu, I. Mustata, V. Zaroschi, A. M. Lungu, P. Chiru, A. Anghel, G. Burcea, V. Bailescu, G. Dinuta, F. Din, JOAM, 9 - 4 (2007) 884-886 [54] C. P. Lungu, I. Mustata, V. Zaroschi, A. M. Lungu, A. Anghel, P. Chiru, M. Rubel, P. Coad G. F. Matthews and JET-EFDA contributors, Beryllium Coatings on metals: Development of Process and Characterizations of Layers, Phys. Scr. T128 (March 2007) 157161 [55] H. Ehrich, J. Schuhmann, G. Musa, A. Popescu, I. Mustata, Thin Solid Films, vol. 333, 1998, pp. 95102. [56] G.Musa, I.Mustata, V.Ciupina, R.Vladoiu, G.Prodan, E.Vasile, H.Ehrich, Diamond and Related Materials, vol 13, no. 4, 2004, pp. 13981401. [57] G. Musa, H. Ehrich, M. Mausbach, J. Vac. Sci. Technol., vol A12, no. 5, 1994. pp. 2887-2895 [58] G. Musa, H. Ehrich, J. Schuhmann, IEEE Transactional of Plasma Science, vol. 25, no. 2, 1997, pp. 386-391 [59] M. Mayer, SIMNRA Users Guide, Tech. Report IPP 9/113, Max-Plank-Institut fur Plasmaphysik [60] R.A. Causey, W.L. Hsu, B.E. Mills, J. Ehrenberg and V. Philipps, Journal of Nuclear Materials 176&177 (1990) 661-665 [61] R.A. Anderl, M.R. Hankins, G.R. Longhurst, R.J. Pawelko and R.G. Macaulay - Newcombe, Journal of Nuclear Materials 196-198 (1992) 986-991 [62] Ageev, V. N. and Ionov, N. I., Progress in Surface Science (Ed. Davison, S. G.), volume 5, pp. 1118 (Pergamon Press, Oxford, 1975). [63] Christmann, K., Introduction to Surface Physical Chemistry (Springer Verlag, Heidelberg, 1991). [64] King, D. A., Surface Science, 47 (1975) 384. [65] Redhead, P. A., Thermal desorption of gases, Vacuum, 12 (1962) 203. [66] Linsmeier, Ch., 19th PSI Conference, San Diego, USA, 2010-06-25 [68] Bulletin of Alloy Phase Diagrams, vol 7, no 4, (1986) 356 [69] C. Poronicu, Sinteza i caracterizarea filmelor de interes pentru fuziune nuclear prin metoda arcului termoionic n vid (T.V.A.), Tez de Doctorat, 2011 [70] R.P. Doerner,M.J. Baldwin, D. Buchenauer, et al., J. Nucl.Mater. 390391 (2009) 681 [71] C. Garcia-Rosales, P. Franzen, H. Plank, et al., J. Nucl. Mater. 233237 (1996) 803. [72] P. Franzen, C. Garcia-Rosales, H. Plank, V.Kh. Alimov, J. Nucl. Mater. 241243 (1997) 1082 [73] A.A. Haasz et al., J. Nucl. Mater. 258263 (1998) 889. [74] M. Reinelt et al., New Journal of Physics 11 (2009), 043023 [75] Mattox, D.M., Handbook of Physical Vapor Deposition Processing, Noyes Publications, NJ (1998) [76] Neugebauer, C.A., Condensation, nucleation and growth of thin films, in Handbook of thin film technology, (Maissel and Glang, eds.), McGraw-Hill (1970) [77] Kizotaka Wasa, Thin film materials and devices, in Thin film materials technology, William Andrew (2004) [78] Munteanu I., Fizica solidului, Editura Universitii Bucureti (2003) [79] Bunshah, R.F., Deposition Technologies for films and coatings, Noyes Publications, NJ (1994) [80] Venables, J.A., Introduction to surface and thin film processes, Cambridge University Press (2000) [81] Chopra, K.L. and Kaur, I., Thin film device applications, Plenum Press, New York (1983)

28

Lista de lucrri publicate

A. Anghel, I. Mustata, C. Porosnicu, C. P. Lungu, Influence of the bias voltage on the formation of beryllium films prepared by thermionic vacuum arc method, Journal of Nuclear Materials, Volume 385, Issue 2, 31 March 2009, Pages 242-245 A. Anghel, C. Porosnicu, M. Badulescu, I. Mustata, C.P. Lungu, K. Sugiyama, S. Lindig, K. Krieger, J. Roth, A. Nastuta, G. Rusu, G. Popa, Surface morphology influence on deuterium retention in beryllium films prepared by thermionic vacuum arc method, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, Volume 267,Issue 2, January 2009, Pages 426-429 A. Anghel, C. Porosnicu, C. P. Lungu, K. Sugiyama, C. Krieger, J. Roth; Thermal Treatment Influence on Be/C Mixed Material Formation and Fuel Retention; Journal of Nuclear Materials; In Press, Corrected Proof, Available online 6 February 2011 K. Sugiyama, J. Roth, A. Anghel, C. Porosnicu, M. Baldwin, R. Doerner, K. Krieger, C.P. Lungu, Consequences of deuterium retention and release from Be-containing mixed materials for ITER Tritium Inventory Control, J. Nucl. Mater. (2010) C. P. Lungu, I. Mustata, V. Zaroschi, A. M. Lungu, A. Anghel, P. Chiru, M. Rubel, P. Coad G. F. Matthews and JET-EFDA contributors, Beryllium Coatings on Metals: Development of Process and Characterizations of Layers, Phys. Scr. T128 (March 2007) 157161 C. P. Lungu, I. Mustata, V. Zaroschi, A. M. Lungu, P. Chiru, A. Anghel, G. Burcea, V. Bailescu, G. Dinuta, F. Din, Spectroscopic study of beryllium plasma produced by thermionic vacuum arc, JOAM, vol. 9, no 4, 2007, 884-886. K. Sugiyama, J. Roth, A. Anghel, C. Porosnicu, M. Baldwin, R. Doerner, K. Krieger, C.P. Lungu ; Consequences of deuterium retention and release from be-containing mixed materials for iter tritium inventory control ; Journal of Nuclear Materials, In Press, Corrected Proof, Available online: 8 October 2010; C. Porosnicu, A. Anghel, K. Sugyiama, K. Krieger, J. Roth, C. P. Lungu; Influence of beryllium carbide formation on deuterium retention and release; Journal of Nuclear Materials, Journal of Nuclear Materials; In Press, Corrected Proof, Available online 29 December 2010; C.P. Lungu, I. Mustata, C. Porosnicu, I. Jepu, A. Anghel, Caracterizarea filmelor compozite combinatoriale obinute prin metoda arcului termoionic n vid, Bucuresti: Editura Academiei Oamenilor de Stiinta din Romania, 2010, ISBN 978-606-92500-1-3

29