UBP Bucuresti

Student: Nicolau Flavius Grupa 8412

PROIECT S.A.p.T.

Profesor indrumator: Nemteanu Florin Student: Nicolau Flavius - Alin Grupa: 8412

UBP Bucuresti

Student: Nicolau Flavius Grupa 8412

MEMS (Sistem micro-electro-mecanic)

INTRODUCERE

Un sistem micro electro-mecanic este un dispozitiv format din diferite componente (mecanice, electrice i electronice) de dimensiuni extrem de reduse, integrate pe un strat de siliciu. Acest tip de de sistem semiconductor este capabil s combine capacitile de calcul ale microelectronicii cu capacitile de percepie i control ale micro-senzorilor i micro-actuatorilor. Marele avantaj al acestor microsisteme integrate este acela c pot fi realizate compact, dimensiunile acestora fiind de ordinul micrometrilor. Dup ce senzorii achiziioneaz datele de la stimuli, intervine modulul electronic care are rolul de a procesa aceste date, ca n cele din urm, s fie generate anumite comenzi la ieirea sistemului funcie de rezultatul procesrii datelor. Odat ce sistemele micro electro-mecanice pot procesa funcii optice, chimice, termice, electronice, mecanice i biologice, acestea pot opera ca dispozitive precum accelerometre, senzori de presiune, microfoane, giroscoape, etc., cu posibilitatea combinrii mai multor funcii pe acelai microsistem. Acestea sunt utilizate extensiv n cteva domenii, cum ar fi : automotive, electronic, bunuri de larg consum, tehnologie. Sistemele micro electro-mecanice necesit un nalt nivel al cunotinelor de fabricare respectiv proiectare, pentru a crea componente funcionale conform cerinelor, avnd dimensiuni ct mai compacte. Pe departe, toate sistemele micro electro-mecanice sunt formate din microcomponente dispuse pe un strat subire de silicon. Aceste microsisteme sunt dispuse pe stratul de silicon, dar procesul de fabricare const n parcurgerea mai multor etape. nafar de silicon i arseniur de Ga, cele mai utilizate n industria semiconductoare, alte materiale precum quartz-ul, materiale piezoelectrice, Pyrex, polimeri, plastice i ceramice sunt utilizate frecvent.

SCHEMA BLOC MONTAJ

UBP Bucuresti

Student: Nicolau Flavius Grupa 8412

ADXL377
DESCRIERE GENERALA

ADXL377 este un accelerometru mic, subtire, de mica putere, cu 3 axe, conditionat de tensiunea de iesire. Acesta masoara acceleratia rezultata din miscare, soc sau vibratii pe o scara larga de +/- 200g. Utilizatorul selectetaza latimea de banda a accelerometrului folosind condensatorii CX, CY, CZ si pinii la cele XOUT, YOUT, si ZOUT. Latimile de banda pot fi selectate pentru a corespunde aplicatiei dorite, cu o gama cuprinsa intre 0.d Hz la 1300 Hz pentru axele X si Y, iar pentru axa Z intre 0,5 Hz si 1000 Hz. ADXL377 este disponibil intr-o carcasa mica de 3mm x 3mm x 1,45mm.

UBP Bucuresti

Student: Nicolau Flavius Grupa 8412

Tensiunea de alimentare este de 3V iar regimul normal de functionare intre 1.8 si 3.6 V, iar limitele temperaturii in care poate lucra normal sunt -40 respectiv +85 C. Maximele absolute ale ADXL377 sunt: alimentarea: -0.3 V ... +3.6V temperatura de lucru: -55 ... +125 C temperatura de depozitare: -65 ... +150 C

Configuratia pinilor

ADXL377 contine un polisiliciu, un senzor microprelucrat de suprafata si un circuit ce conditioneaza semnalul pentru a crea o bucla deschisa de masurare a acceleratiei. Semnalele de ieire sunt tensiuni analogice , care sunt proporionale cu accelerarea. Accelerometrul poate masura accelerarea statica de greutate n aplicaii cu senzori de nclinare , precum i accelerarea dinamic rezult din micare , oc , sau vibraii . La iesirea din demodulator semnalul este amplificat si adus de pe cip printr-un rezistor de 32 k. Utilizatorul seteaz limea de band a semnalului dispozitivului prin adugarea unui condensator.

UBP Bucuresti AXELE DE SENSIBILITATE LA ACCELERARE

Student: Nicolau Flavius Grupa 8412

Figura 14 prezint axele de sensibilitate pentru accelerometru. Figura 15 prezint rspunsul ieire cnd accelerometrul este orientat paralel cu fiecare dintre aceste axe.