2.6.

Senzori de for i de deformare (tensiune mecanic)

Msurarea forei este utilizat n ingineria mecanic i civil, cntrirea obiectelor,

proiectarea protezelor, etc. De fiecare dat cnd msurm o presiune, se va msura de
fapt o for. n continuare vom considera c msurm o for atunci cnd interaciunea se
aplic asupra unui punct i o presiune atunci cnd interaciune este distribuit pe o
anumit arie.
Senzorii de for se pot mprii n dou clase: calitativi i cantitativi. Un senzor de for
cantitativ va genera un semnal electric proporional cu mrimea forei. Senzorul de for
cantitativ este un dispozitiv cu prag i funcia lui este de a semnala prezena unei fore
prin generarea unui semnal electric. Deci va genera semnal electric atunci cnd mrimea
forei este mai mare dect valoarea de prag.

Metodele de sesizare a forei se mpart n urmtoarele categorii:

1. Prin echilibrarea forei de msurat la fora gravitaional sau la o mas

standard
2. Prin msurare acceleraiei unui corp de mas cunoscut atunci cnd i se
aplic fora exterioar
3. Prin echilibrarea forei de msurat la o for determinat de un cmp
electromagnetic
4. Prin convertirea forei de msurat la o presiune a unui lichid i msurarea
acelei presiuni
5. Prin msurarea deformrii produse de for asupra unui material elastic

Senzorii moderni folosesc n special metoda 5, iar 3 i 4 sunt folosite ocazional

Majoritatea senzorilor nu vor converti n mod direct fora n semnal electric, ci sunt
necesari anumii pai de conversie. De exemplu un senzor poate fi compus dintr-un
senzor de poziie i un convertor for deplasare. Convertorul poate fi un arc a crei
deplasare x va depinde de fora aplicat F i de constanta de elasticitate:
x kF
Senzorul prezentat n figura 2.31A este format dintr-un arc i un senzor de deplasare
inductiv de tip LVDT. n interiorul domeniului de deplasare a arcului, senzorul de
deplasare va genera semnal electric proporional cu mrimea forei aplicate. Un senzor
asemntor se poate obine din combinarea unui arc cu un senzor de presiune figura
2.31B. Practic senzorul de presiune va msura presiunea lichidului din interiorul unui
material elastic.

38
 Figura 2.31. Metode de msurarea forei: A senzor inductiv de deplasare, B senzor de
presiune

2.6.1. Senzori de tensiune mecanic (Gauge strain)

Un astfel de senzor este format dintr-un senzor elastic rezistiv a crei rezisten electric
este funcie de deformarea materialului la aplicarea unei fore. Acest efect se numete
efect piezorezitiv. Variaia relativ a rezistenei electrice a materialului este funcie de
factorul piezorezistiv Se al conductorului:
dR
See
R
unde e este tensiunea (deformarea) aplicat.
Pentru majoritatea materialelor Se este aproximativ egal cu 2.
Un astfel de senzor este format dintr-un rezistor, ce are o anumit form, depus pe un
material elastic figura 2.32.

Figura 2.32. Forma unui senzor de tensiune mecanic (timbrul tensiometric)

Coeficientul de dilatare termic a conductorului trebuie s fie de aceeai mrime ca a

materialului plastic. Cele mai folosite materiale la fabricarea acestor senzori sunt aliajele
pe baz de constantan, nichel etc. Rezistena electric tipic a acestor materiale variaz de
la sute de ohmi la cteva mii. Pentru a avea o bun sensibilitate senzorii trebuie s fie
formai din segmente longitudinale lungi i segmente transversale scurte.

2.6.2. Senzori tactili

Senzorii tactili fac parte dintr-o clas special de senzori de for sau presiune a
cror caracteristic principal este subirimea lor. Aceasta face ca ei s poat fi folosii la
msurarea forei ce apare ntre dou suprafee foarte apropiate una de alta. Un exemplu ar
fi aplicarea lor n robotic, i anume poziionarea lor pe vrful degetelor unui actuator
mecanic pentru a produce un feedbeack la contactul cu un obiect. O alt aplicaie este

39
folosirea lor n fabricarea touch screen-urilor, tastaturilor sau a altor dispozitive ce
presupun sesizarea unui contact fizic. O alt aplicaie este n domeniul biomedical unde
senzorii sunt folosii n studiul forei dezvoltate de piciorul omului n timpul unei
locomoii sau pot fi implantai ntr-un genunchi artificial pentru realizarea unei proteze.
Exist mai multe metode de fabricare a acestor senzori. Un senzor tactil simplu este
format din dou foie conductoare desprite de un distanator figura 2.33.

Figura 2.33 Arhitectura unui senzor tactil realizat din membrane ntreruptoare

Acesta va genera un semnal de tip on-off (0-1). O foi va fi legat la mas iar cealalt la
un rezistor pull-up. n cazul in care sunt mai multe arii senzitive se poate folosi un
multiplexor. Cnd se aplic o for exterioar asupra foiei superioare, conductorul se va
flexa, va atinge cealalt foi i va realiza un contact electric. Deoarece foia de jos este
legat la mas senzorul va genera o tensiune de zero voli indicnd prezena unei fore.
Un senzor tactil bun este alctuit dintr-un film piezoelectric, cum este florura de
polivinilid (PVDF), i este folosit n mod activ sau pasiv. Un senzor tactil ultrasonic
format dintr-un trei filme piezoelectrice laminate este prezentat in figura 2.34.

Figura 2.34 Arhitectura unui senzor tactil realizat din filme PVDF

40
Filmul de sus i cel de jos sunt din PVDF n timp ce filmul central are scopul de a cupla
acustic cele dou filme exterioare. Cu ct filmul central va fi mai moale cu att senzorul
va avea o sensibilitate i un domeniu de operare mai mare. Filmului din partea de jos i se
aplic o tensiune electric alternativ provenit de la un oscilator. Acest semnal de
excitare va determina producerea unor contracii mecanice ale filmului median ce la
rndul lui va produce deformaii filmului din partea superioar. Deoarece
piezoelectricitatea este un fenomen reversibil, contraciile mecanice vor determina
generarea unei tensiuni electrice alternative. Aceste oscilaii sunt amplificate i introduse
ntr-un demodulator sincron. Demodulatorul este sensibil att la amplitudinea ct i la
faza semnalului receptat. Cnd se aplic o for de compresie F asupra filmului superior,
mrimea cuplajului mecanic dintre cele trei straturi se va schimba, ceea ce determin o
modificare a amplitudinii i a fazei semnalului recepionat. Demodulatorul va sesiza
aceste modificri i va genera un semnal electric proporional.
ntre anumite limite, semnalul de ieire a senzorului va fi o funcie liniar de
mrimea forei aplicat. Dac filmele PVDF au o grosime de 25m iar filmul median de
compresie din cauciuc siliconat va avea o grosime de 40m, grosimea ntregului
ansamblu, incluznd i stratul de protecie, nu va depi 200m. Partea superioar sau
inferioar a filmului din PVDF (partea receptoare, respectiv partea emitent) va fi
format din mai multe celule dispuse una lng alta i a cror ieiri vor fi multiplexate n
vederea recunoaterii poziiei fiecrei celule. Senzorul poate fi folosit i la msurarea
deplasrilor de valori foarte mici. Ei pot avea un domeniu de msur cuprins ntre civa
m la civa mm.
Un senzor tactil piezoelectric poate fi fabricat din film PVDF ncapsulat ntr-un
strat de protecie din cauciuc figura 2.35A.

Figura 2.35 Senzor tactil piezoelectric ncapsulat

Fiind un senzor pasiv, semnalul electric de ieire va fi generat de filmul piezoelectric i

fr a fi nevoie de un semnal extern de excitaie. Astfel c senzorul va genera un semnal
proporional cu frecvena de aplicare a forei i mai puin cu mrimea forei aplicate.
Un alt tip de senzori tactili sunt cei rezistivi FSR. Aceti senzori sunt construii
din materiale a cror rezistena electric se schimb n funcie de fora aplicat. Materiale
de acest tip sunt elastomerii sau cernelurile sensibile la presiune. Un elastomer conductiv
este fabricat din cauciuc siliconat, poliuretan i alte componente ce sunt dopate cu fibre
sau particule conductive. Principiul de operare a senzorilor tactili elastomerici se bazeaz

41
pe variaia ariei de contact a elastomerului atunci cnd este strns ntre dou straturi
conductive Figura 2.36B.

Figura 2.36: A Principiul de funcionare a unui senzor tactil realizat din filme FSR,
B Variaia rezistenei filmului FSR funcie de fora aplicat

La aplicarea unei fore, aria de contact dintre elastomer i stratul conductiv pe care se
aplic fora se va modifica, producnd o scdere a valorii rezistenei figura 2.36B. Pentru
o anumita valoare a forei aplicate, aria de contact va atinge valoarea maxim i funcia
de transfer va ajunge la saturaie.
Senzori mult mai subiri se pot obine din polimeri semiconductori a cror rezisten
electric se va modifica n funcie de presiunea aplicat pe suprafaa de contact figura
2.37.

Figura 2.37 Arhitectura unui senzor tactil realizat din filme FSR

Domeniul tipic de operare este de 0 3 kg iar grosimea lor este de aproximativ 0,25 mm.

42
 2.6.3. Senzori de for piezoelectrici

Efectul piezoelectric poate fi folosit att de senzorii de for pasivi ct i de cei activi. n
msurrile cantitative mrimea forei aplicate va fi raportat la frecvena de rezonan a
cristalului piezoelectric. Ecuaia ce descrie spectrul de frecven de rezonan a unui
oscilator piezoelectric este:
n c
fn ,
2l
unde n este numrul armonicei considerate, l este un coeficient ce depinde de
dimensiunea oscilatorului, c constanta de elasticitate a materialului, iar este densitatea
materialului. Sensibilitatea, respectiv mrimea variaiei frecvenei de rezonan, depinde
de axa cristalului pe care se aplic fora. De obicei aceste direcii de sensibilitate pe care
va fi aplicat fora de msurat sunt alese nc din fabricaia oscilatorului figura 2.38.

Figura 2.38 Arhitectura unui senzor de for piezoelectric

O alt modalitate de proiectare un senzor de for piezoelectric este prezentat n figura

2.39B. Acest senzor va prezenta o bun liniaritate i un domeniu relativ restrns de
msur de la 0 la 1,5 kg. Cristalul va fi tiat sub o form rectangular n care o singur
margine va fi paralel cu axa x, iar faetele cristalului vor forma un unghi de 35 de grade
cu axa z. Aceast form este cunoscut sub denumirea de tietur AT, figura 2.39A . Pe
suprafaa cristalului se vor depune electrozi pentru a se putea efectul piezoelectric. Aceti
electrozi vor fi conectai pe reacia pozitiv a unui amplificator. Variaia frecvenei de
rezonan la aplicarea unei fore F va fi dat de formula
Kf 0 n
f F ,
l
un K este o constant, l mrimea cristalului. Varianta comercial a unui astfel de senzor
este prezentat n figura 2.39C.

43
 Figura 2.39 Arhitectura unui senzor de for piezoelectric format dintr-un cristal
piezoelectric cu tietur AT

2.7. Senzori de vitez i acceleraie

Acceleraia este o caracteristic dinamic a unui corp, deoarece conform legii a doua a lui
Newton pentru ca obiectul s fie accelerat asupra lui trebuie s se exercite o for. Ca
urmare intre deplasare vitez i acceleraie exist o strns legtur: viteza este derivata
de ordinul nti a deplasrii iar acceleraia este derivata de ordinul doi a deplasrii. Dar n
condiii de zgomot derivata unui astfel de semnal va conine erori de valoare foarte mare,
fiind nevoie de circuite de condiionare de mare complexitate pentru a se obine un
semnal corespunztor. Astfel c se ncerc evitarea obinerii vitezei sau a acceleraiei din
derivarea deplasrii. Ca regul general n aplicaiile de frecven joas (sub 1 Hz) se va
msura deplasarea, n cele de frecven medie (sub 1 kHz) se prefer msurarea vitezei
iar la frecvenele nalte acceleraia.
Ideea de baz n construcia acestor tipuri de senzori const n msurarea
deplasrii unui obiect n raport cu un sistem de referin, astfel c fiecare senzor va
conine componente senzitive la deplasare.

2.7.1. Senzori de vitez electromagnetici

Conform legii lui Faraday micarea unui magnet n interiorul unei bobine va induce n
bobin o tensiune, figura 2.40. Aceasta tensiune va fi proporional cu viteza magnetului
i mrimea cmpului magnetic.

Figura 2.40 Senzori de vitez inductiv

44
Traductorii liniari de vitez vor folosi inducia magnetic dezvoltat n interiorul bobinei.
La senzorul de vitez ambele capete ale magnetului se vor afla n interiorul bobinei. Dac
s-ar folosi o singur bobin tensiunea generat de aceasta ar fi tot timpul zero, deoarece
tensiunea generat de un capt al magnetului va fi anulat de tensiunea generat de
cellalt capt. Astfel c bobinele vor fi divizate n dou pri. Polul nord al magnetului se
va induce un curent intr-o bobin iar polul sud n cealalt. Cele dou bobine sunt
conectate n serie i in opoziie de faz, pentru a obine un curent proporional cu viteza
magnetului.
Viteza maxim detectabil depinde n principal de etajul de intrare a circuitului
electronic de condiionare. Viteza minim detectabil va depinde de nivelul zgomotului i
n special de zgomotul produs de echipamentele ce lucreaz la frecvene nalte. Valorile
tipice ale unui senzor electromagnetic sunt date n tabelul 6.1.1. Senzorii de vitez
electromagnetici sunt similari senzorilor de deplasare LVDT, dar cu deosebirea c acetia
sunt senzori activi.

Caracteristici Valoare
Deplasarea magnetului, oli (1 ol = 2,54 cm) 0,5 - 24
Sensibilitate, mV pe ol / s 35 - 400
Rezistena bobinei, k 2 - 45
Inductana bobinei. henry 0,06 7,5
Greutate, g 20 - 1500

Varianta comercial a acestor senzori sunt prezentai n figura 2.41

Figura 2.41 Varianta comercial a senzorilor de vitez inductiv

45
 2.7.2. Accelerometre

Accelerometrele sunt formate dintr-o component, considerat fix i totodat

sistem de referin pentru partea mobil a senzorului, legat de obiectul a crei acceleraie
dorim s-o msurm i o component mobil a crei micare inerial va fi msura
acceleraiei corpului studiat. Aceast component mobil este denumit n mod frecvent
mas inerial sau seismic. Indiferent de arhitectura sau metoda de conversie a
senzorului, accelerometrele vor msura deplasarea masei ineriale fa de corpul
senzorului. Deci orice senzor capabil s msoare deplasri microscopice n condiii de
acceleraii sau vibraii puternice, poate fi folosit ca senzor de acceleraie.

2.7.2.1. Accelerometre capacitive

Conversia capacitiv a deplasrii este una dintre cele mai folosite metode. Un
senzor capacitiv este format n esen din dou componente. O component este armtura
staionar (deci conectat de corpul senzorului) iar cealalt este o armtur ataat de
masa inerial. Aceste armturi formeaz un condensator a crei capacitate este funcie
de distana d dintre armturi. Altfel spus, valoarea capacitii este modulat de
acceleraie. Valoarea maxim a deplasrii pe care o pot msura aceste tipuri de senzori
este aproximativ de 20 m. Astfel c, la aa deplasri mici, se impune o compensare a
deplasrilor sau interferenelor nedorite. Aceasta se realizeaz folosind metoda
diferenial prin utilizarea a nc unui condensator de valoare apropiat de primul
condensator i legat n antifaz fa de acesta. Deci valoarea acceleraiei msurate va fi
diferena dintre cele dou valori ale capacitilor considerate.
Figura 2.42A prezint o seciune transversal a unui accelerometru capacitiv n
care masa inerial este cuprins intr-o structur de tip sandwich ca strat median ntre
dou armturi. ntregul senzor este confecionat din siliciu. Masa inerial este susinut
pe patru arcuri din siliciu (figura. 2.42B). Armtura superioar i cea inferioar sunt la
distana de d1 respectiv d2 fa de masa inerial.

Figura 2.42 Arhitectura unui senzor de acceleraie capacitiv

Condensatorul plan Cmc este format din masa inerial i armtura superioar de
arie S1. Distana d1 dintre cele dou armturi (armtura superioar i armtura masei
ineriale) se va modifica cu valoarea atunci cnd masa inerial se va deplasa nspre
armatura superioar, figura 2.43.

46
 Figura 2.43 Circuitul echivalent al unui senzor de acceleraie capacitiv

Al doilea condensator Cmb va avea o arie de valoare S2 diferit de S1. Valoarea

deplasrii masei neriale va fi direct proporional cu valoarea forei ineriale i invers
proporional cu valoarea constantei de elasticitate a arcului.
Fm

k
Strict vorbind, circuitul echivalent a accelerometrului este valid doar cnd poziia
masei ineriale nu este influenat de forele electrostatice i deci capacitatea va depinde
liniar de Fm. Tensiunea de ieire a circuitului amplificator sumator cu capaciti comutate
va avea valoarea:
Cmc Cmb
Vout 2 E
Cf
Tensiunea de ieire a accelerometrelor este de asemenea funcie de temperatur.

2.7.2.2. Accelerometre piezorezistive

Elementul senzitiv a unui accelerometru piezorezistiv va msura tensiunea de

deformare din arcul de susinere a masei ineriale. Mrimea tensiunii de deformare este
direct proporional cu deplasarea masei ineriale i implicit cu acceleraia de msurat.
Un exemplu de accelerometru piezorezistiv este prezentat n figura 2.44.

47
 Figura 2.44 Arhitectura unui senzor de acceleraie piezorezistiv

Acest senzor a fost dezvoltat de compania Endevco/Allied Signal Aerospace

(Sunnyvale, CA). Microsenzorul este format din trei straturi de siliciu. Masa inerial este
suspendat de lama elastic pe care sunt aplicate pe o parte i pe alta cte un timbru
tensiometric.
Cnd se aplica o acceleraie de-a lungul axei senzitive, masa inerial va
determina o flexare a lamei elastice. Mrimea flexrii este determinat de timbrele
tensiometrice dispuse pe ambele pri alei lamei. Valorile caracteristice ale unui astfel de
accelerometru sunt prezentate n tabelul 6.2.2

Caracteristici Valori
Mrime (mm) 1,65 x 1,78
Domeniu (g) 1000
Sensibilitate (mV/g) 0,2
Domeniul de temperatur de funcionare
-54 +135
(C)
Rezisten la oc (g) 10000
Greutate (g) 0,8

48
 2.7.2.3. Accelerometre termice.

Deoarece ideea de baz a unui accelerometru este de a converti micarea masei

ineriale n msurarea deplasrii acesteia se poate folosi principiul transferului de cldur
intre dou corpuri.
dT T Q T
a
dt RC C RC
unde temperatura corpului cald, Q este cldura furnizat corpului cald, Ta este
temperatura mediului nconjurtor, R i C sun rezistena respectiv capacitatea termic a
corpului.
Accelerometrul este format dintr-o mas inerial suspendat, poziionat pe o
bar rigid ncastrat la un capt i poziionat n apropierea unui receptor de cldur sau
ntre dou receptoare de cldur (figura 2.45).

Figura 2.45 Arhitectura unui senzor de acceleraie termic

Spaiul dintre aceste componente este umplut cu un gaz termoconductor. Masa

inerial este nclzit la o temperatur constant T1. n condiia n care acceleraia este
zero, ntre masa inerial i cele dou receptoare termice se stabilete un echilibru termic:
cantitatea de cldur pe care o primete fiecare receptor termic va fi funcie de distana
dintre aceti receptori i masa inerial.

2.8. Senzori de presiune

2.8.1. Introducere

n termeni generali corpurile se mpart n solide sau fluide (lichide i gaze). Nu

exist o distincie clar ntre lichide i gaze variind presiunea, un corp poate trece din
starea lichid n starea gazoas sau viceversa. Presiunea se poate aplica asupra unui lichid
doar pe o direcie perpendicular pe suprafaa de separaie. Pentru un lichid n repaus,
presiunea poate fi definita ca fora F aplicat perpendicular pe unitatea de arie a
suprafeei de separaie A
dF
p
dA
Presiunea este de asemenea dependent de altitudine, variaia acesteia fiind dat de
ecuaia:

49
 dp wdh
unde w este greutatea specific a mediului iar dh este variaia de altitudine.
Presiunea nu depinde de forma suprafeei de separaie dintre medii, astfel c se
pot construi senzori de presiune fr s se ia n consideraie forma i mrimea lor.
Presiunea aplicat ntr-un punct al lichidului se va propaga n toat masa
lichidului fr nici o pierdere de energie.
Unitatea de msur a presiunii este pascalul: 1 Pa = 1 N/m 2. n aplicaiile tehnice
presiunea este dat n atmosfere, o atmosfer reprezentnd presiunea exercitat de o
coloan de ap de un metru la temperatura de 4 C pe o suprafa de un centimetru ptrat.
In estimrile practice o coloan de 0,1 mm H 2O este egal cu 1 Pa.. n industrie o alt
unitate de msura des ntlnit este torrul i reprezint presiunea exercitat de 1 mm
coloan de Hg la 0 C la presiune atmosferic normal i acceleraie gravitaional
normal. Presiunea atmosferic ideal a Pmntului este 760 torri i se numete presiune
atmosferic fizic.
1 atm = 760 torr = 101325 Pa
Presiunea poate fi, absolut atunci cnd se msoar n raport cu vidul absolut, relativ a
efectiv dac msurarea se face ca o diferen fa de presiunea atmosferic i diferenial
atunci cnd msurarea se face n raport cu o presiune considerat de referin.
Principiul de operare a unui senzor de presiune se bazeaz pe conversia n semnal
electric a mrimii rezultate n urma exercitrii unei presiuni, care n general este o
deplasare.

2.8.2. Senzori de presiune cu mercur

Este un senzor simplu i eficient i este bazat pe principiul vaselor comunicante (figura
2.46). Iniial au fost folosii ca senzori de presiune a gazelor. Un conductor in form de U
este imersat n mercur ce-i va micora rezistena electric n funcie de nlimea coloanei
de mercur din fiecare ramur. Practic mercurul din fiecare ramur se va comporta ca o
rezisten legat n paralel cu rezistena conductorului imersat. Rezistorii sunt conectai
ntr-o punte Wheatstone ce va fi n echilibru atunci cnd diferena de presiune este zero.

Figura 2.46 Senzori de presiune cu mercur bazat pe principiul vaselor

comunicante

50
 Presiunea se aplic pe o ramur a tubului i diferena de nivel va determina un
semnal de ieire proporional. Cu ct presiunea gazului este mai mare cu att rezistena
corespunztoare ramurii este mai mare i rezistena ramurii opuse este mai mic.
Semnalul de ieire va fi proporional cu rezistena electric a poriunii rezultate ca
diferen de nivel ntre cele dou ramuri R.
R
Vout V V p .
R
2.8.3. Senzori de presiune piezorezistivi

Un senzor de presiune este compus din dou elemente eseniale: o membran de

arie A cunoscut i un detector ce rspunde la fora aplicat F. Ambele componente pot fi
fabricate din siliciu.
Membran din siliciu este alctuit dintr-o diafragm subire de siliciu - diafragma
va avea rolul de membran elastic - i un rezistor piezorezistiv rezistorul este format
din impuritile difuzate n diafragm.
Caracteristicile elastice speciale ale cristalului de cuar (histerezisul este
neglijabil, nu se produc defecte de reea) fac ca factorul de sensibilitate la tensiuni,
deformri, s fie foarte ridicat. De obicei aceti rezistori se conecteaz n punte
Wheatstone i vor genera un semnal de ordinul sutelor de milivoli. Mrimea semnalului
de ieire i faptul ca rezistorii sunt puternic dependeni de temperatur se impune
folosirea circuitelor de condiionare a semnalelor.
Variaia relativ a rezistenei electrice a unui rezistor piezorezistiv este direct
proporional cu tensiunile (deformaia) transversal i cea longitudinal din materialul
rezistorului t respectiv l aprute ca rezultat al aplicrii unei fore exterioare, i cu
coeficienii piezorestivi longitudinali i transversali l respectiv t, deci va depinde de
orientarea rezistorilor piezoelectrici fa de axele cristalului de siliciu:
R
t t l l
R
Exist mai multe metode de fabricare a senzorilor de presiune din siliciu. n una
dintre ele pe un substrat de siliciu de tip n se aplic ioni de bor n concentraie de 3 x 10 18
cm-1 ce vor forma un rezistor piezoelectric R1 paralel i R2 perpendicular pe axa
diafragmei figura 2.47.

51
 Figura 2.47 Arhitectura unui senzor de presiune piezorezistiv

O alt modalitate este cea folosit de compania Motorola n realizarea senzorului

integrat Motorola MPX, figura 2.48.

Figura 2.48 Senzorului integrat Motorola MPX.

Elementul piezorezistiv este dat de ionii implantai n diafragma din siliciu. Se

aplic un curent de excitare pe terminalele 1 i 3, iar presiunea se va exercita pe o direcie
perpendicular pe direcia de aplicare a curentului de excitare. Deformaia din material va
genera o tensiune electric sesizabil pe terminalele 2 i 4. De asemenea n senzorul
integrat sunt incorporate i componente de calibrare, compensare a temperaturii, de
condiionare a semnalului i de interfaare, figura 2.49.

52
 Figura 2.49 Senzor de presiune integrat

Senzorii de presiune sunt n general n trei configuraii de baz ce permit

msurarea presiunilor absolute, relative sau difereniale. Presiunea absolut, ca n cazul
barometrelor, este msurat n raport cu presiunea dintr-o camer vidat. Aceast camer
vidat poate fi una exterioar senzorului sau incorporat n senzor, figura 2.50.

Figura 2.49 Senzor de presiune cu camer vidat ncorporat

Presiunea diferenial, cum ar fi presiunea stabilit intr-un debitmetru cu presiune

diferenial, este msurat prin aplicarea presiunii pe ambele fee ale diafragmei n mod
simultan. Presiunea ce determina deformarea materialului este msurat n raport cu
presiunea de referin.
Toi senzorii bazai pe siliciu sunt dependeni de temperatur. O modalitate simpl
i eficient de compensare este legarea n serie sau n paralel cu senzorul a unei rezistene
electrice termostabile de o anumit valoare.
O alternativ viabil o reprezint i compensarea prin software. n acest caz
temperatura de compensat a traductorului trebuie msurat cu un senzor de temperatur.

2.8.4. Senzori VRP

O soluie privind msurarea presiunilor de valoare foarte mic o reprezint

senzorii magnetici. Un senzor de presiune cu reluctan variabil VRP (variable
reluctance pressure) folosete o diafragm conductiv magnetic pentru a modifica

53
rezistena magnetic a unui transformator diferenial. Principiul de funcionare este
similar cu cel al senzorilor magnetici de proximitate. Figura 2.51 ilustreaz ideea de baz
n modulare fluxului magnetic.

Figura 2.51, A Principiul de funcionare a unui senzor VRP, B Circuitul echivalent

al unui senzor VRP

Ansamblul format dintr-o structur n form de E i o bobin, produce un flux

magnetic a cror linii de cmp vor trece prin structur, aerul dintre structur i diafragm,
i diafragm. Deoarece rezistena magnetic a aerului este de 1000 de ori mai mare dect
a structurii n form de E sau a bobinei, inductana ansamblului va fi determinat de
distana dintre diafragm i structura n form de E. Cnd diafragma i va schimba forma
sau poziia, spaiul cu aer va crete sau va scdea n funcie de direcia de deflexie, se va
modifica distana parcurs de liniile de cmp magnetic i implicit inductana ansamblului.
La fabricarea senzorilor VPR, diafragma permeabil magnetic va fi introdus ntre
dou structuri identice formate din ansamblul: structur n form de E bobin
formndu-se in acest mod cte o cavitate de presiune pe ambele fee ale diafragmei figura
2.52. Cu ct diafragma este mai subire cu att domeniul de msura este mai mare, dar nu
va trece de 25 30 m.

Figura 2.52 Arhitectura unui senzor VRP

54