UNIVERSITATEA TEHNICA GHEORGHE ASACHI IASI

FACULTATEA DE MECANICA

STUDENT: Craciun Ionut

MASTER: AN I
SPECIALIZAREA: MECATRONICA AVANSATA

Microsisteme electromecanice
Sunt sisteme integrate de dimensiuni mici i foarte mici (de la civa
micrometri pn la milimetri) care combin n structura lor elemente electrice i
mecanice.
ntr-o form general, MEMS constau n microstructuri mecanice,
microsenzori, microactuatoare i microelectronic, toate integrate pe acelai chip.
MEMS se constituie ca un mod de proiectare i creare a unor dispozitive mecanice i
sisteme complexe integrnd electronica aferent la nivel micro i nano.
TRADUCTORI dispozitive care
transform un semnal n energie.

MICROSISTEME ELECTROMECANICE

SENZORI dispozitive care msoar

informaia din mediu i produc la ieire un
semnal proporional cu mrimea msurat
(mecanice, termice, chimice, radioactive,
magnetice, electrice).

ACTUATORI dispozitive care realizeaz

conversia unui semnal electric n aciune
mecanic (lucru mecanic).

Fabricarea microaturilor

Fabricatia structurilor de tip MEMS este similara cu fabricatia

conventionala a microcircuitelor integrate la care se adauga o serie
de tehnologii specifice. Astfel, structurile MEMS sunt, n general
structuri multistrat realizate prin succesiuni de procedee de
depunere pe o structura de baza si de corodare cu diverse
tehnologii, tehnologii numite generic "micromachining".
Exista doua mari categorii de tehnologii de prelucrare: Surface
micromachining si Bulk micromachining

Microsenzori

De ce miniaturizare?

Apreciere, Dimensiune, Greutate

Utilizare eficienta a tehnologiei circuitelor integrate
Matrici de senzori
Masuratori online in loc de masuratori din laborator

Domenii de aplicare
Industria automobilelor
Masuri ecologice si de siguranta
Aplicatii medicale
Masuratori continue a parametrilor chimici/fizici, electrocasnice,
microchirurgie de la distanta, terapie cu ingerari minime
Electronice de consum, automatizare casnica
Ex: accelerometre din Hard Disk-uri, sensori din camere video,
controlere pt jocuri, senzori de calitate al aerului.
Protectia mediului inconjurator
Masuri de concentrare diferite
Industria de proces
Robotica

Clasificarea senzorilor-microsenzorilor
Tip de
Semnal

Masuranzi

Termic

Temperatura, caldura, flux de caldura, entropie,

capacitate termica etc

Radiatie

Raze Gamma, Raze X, Raze ultra-violete, lumina vizibila

si lumina infrarosie, micro-unde, unde radio etc

Mecanic

Dislocare, viteza, acceleratie, forta, presiune, debit de

masa, amplitudine si lungime de unda acustica

Magnetic

Camp magnetic, flux, moment magnetic, magnetizare,

permeabilitate magnetica, etc

Chimic

Umiditate, nivel pH si ionic, concentratie gazoasa,

material toxice si inflamabile, concentratie de vapori si
mirosuri, poluanti, etc
Zaharuri, proteine, hormoni, antigeni etc

Biologic

Senzori de presiune piezorezistivi

Masoara apasarea materialului
Caracteristici:
-Dimensiune redusa
-Linearitate buna pe o distanta
dinamica intinsa
-Sensitivitate moderata la presiune
mare
-Relativ independenti fata de histerezis
si in filtrare
Rezistori aranjati intr-o punte
Wheatstone => coeficientii de
temperatura se anuleaza.
Diferite tipuri de senzori: standard,
diferential si absolut
Performanta senzorilor variaza simultan
in functie de temperatura si presiune.
Sensibilitatea piezorezistorului scade
odata cu cresterea temperaturii.
.

Senzor de presiune piezorezistiv

4 piezorezistori de polisilicon sunt
formati in diafragma
Strat de 1 m grosime de SiN depus
deasupra suprafatei pt a izola gaurile
de gravura folosind CVD plasma
7 straturi folosite pentru fabricarea
senzorului
Presiunea din interiorul cavitatii mai
mica de 0.3 torr
Sensitivitate presiune de ~ 2
V/V/kPa
Nelinearitate mai mica de 1% din
dimensiunea totala
Coeficientul de temperatura al
sensitivitatii presiunii
a) sectiune schematica transversal,
b) microfotografie microscop de
scanarare a electronilor

Senzori de presiune capacitivi

Senzor capacitiv de presiune

Masoara deformarea medie

Proprietati (comparativ cu omologii
piezorezistivi):
Sensibilitate la presiune mai mare
Sensibilitate de temperature mai mica
Linearitate mai mare
Necesita zona de stingere mai mare
si circuite de detectie mai sofisticate
Nu au histerezis
Stabilitate pe termen lung mai buna
Costuri de fabricare mai mari

Modificarea capacitantei nu este lineara in raport cu deformarea sau presiunea

(dar relatia este reproductibila)
Structura senzorului este oarecum simpla si fabricarea se poate face folosind
tehnici de microprelucrare conventionale
Dezavantaj: capacitanta mica circuitul de masurare trebuie sa fie integrat in cip
sau proiectat special astfel incat sa anuleze capacitanta reziduala

Microsenzori Chimici
Identifica concentratia
Masurari calitative sau cantitative
60% din senzori sunt senzori de gaz
Strutura:
Reactie chimica in stratul sensibil si
transformare in semnal electric
Structura unui microsenzor chimic
Domenii de aplicabilitate:
Mediul inconjurator
Automobile
Medicina
Nutritie
Reglare de proces
Masurari de laborator

Metode coventionale:
Obtinere de rezultate bune
Metode de masurare complicate si
scumpe
Cantitatea de reactivi necesara
Masurari efectuate in laborator
Lent

Scop

Sunt usor de fabricat

Sunt precisi si robusti
Folosesc o cantitate mica de reactivi
Au timpi de raspuns mici
Pot procesa semnalele inteligent
Se pot grupa in matrici/retele
Pot efectua masuratori in timp real
Sunt biocompatibili si fara sensibilitate incrucisata

Microactuatori
Microactuatorii reprezint dispozitive cu mrimea de la civa
microni la civa centimetri i care materializeaz un principiu
funcional aplicabil n lumea micro. Microactuatorii includ, de
asemenea, acei actuatori care sunt fabricai folosind tehnologiile
specifice micromecanicii.

Actuatorul pieptene poate fi

configurat lateral sau
transversal. ntr-un actuator
pieptene lateral, un set mobil
(rotor) i un set fix (stator) de
degete de pieptene sunt
pereche constand dintr-o
polarizare in c.c. si o comanda
in c.a. O pereche de degete,
care definesc o celul a unui
actuator lateral pieptene este
prezentata n figura

O metod de actionare prin

impingere-tragere, realizata
prin utilizarea unui set de
piepteni similari dar opusi asa
cum se arat n figura. poate fi
utilizata pentru a anula al
doilea termen al fortei
electrostatice generate.

Figura arat un actuator

pieptene transversal,
care este larg utilizat
pentru a sesiza
deplasari foarte mici
datorita capacitatii sale
nalte de sensibilitate la
miscarea transversal,
n comparatie cu
structurile pieptene
laterale.

Microactuatorii care
utilizeaz energia
optic, prin intermediul
fibrelor optice, sunt de
interes n multe aplicaii.
O seciune transversal
a unui astfel de
microactuator, constnd
ntr-o microcelula de
siliciu care conine un
lichid i un absorbant de
lumin, este prezentat
n figura alaturata.

Microcelula este
ermetic nchis cu o
membran elastic,
ptrat, aceasta este
sub tensiune mecanic
i se curbeaz spre
interior n stare iniial.
n figura alaturata sunt
prezentate cele dou
stri ale membranei.

O membran mecanica este definita aici ca o

diafragm cu stres initial mare, avnd o
deformare sub presiune determinat n principal
de stresul iniial
n plus, fa de diafragmele plane convenionale,
diferite diafragme ondulate, au fost folosite de
asemenea, de comunitatea MEMS, pentru
diferite aplicatii ale dispozitivelor.

Tipuri de microactuatori
Microactuatori electrostatici

Microactuatori piezoelectrici

Aplicatii
Un micromotor nou, extrem
de scalabil i cu un cuplu
foarte mare pentru aplicaii
MEMS i MOEMS folosind
rectificarea mecanic a
micrii de oscilaie.
Caracteristica sa de
funcionare este destul de
bogat i scoate la iveal
diferite moduri de excitare.

O alta aplicatie a
microactuatorilor este DMD
sau Digital Micromirror
Device.
Acest dispozitiv combina
oglinzile din aliaj de
aluminiu, actuatori
electrostatici pe baza de
siliciu, si microelectronica
din siliciu pentru a crea un
intrerupator de lumina.

Concluzii
MEMS au capacitatea de a impacta aproape
orice domeniu tehnic. Dimensiunile lor mici,
volumul mare i preul redus permit crearea unei
serii de senzori de unic folosin i dispozitive.
Ele pot interaciona cu mediul la nivel molecular
pentru a atinge noi obiective.
Cu toate acestea, tehnologia MEMS este nc n
faza de nceput a dezvoltrii. Este capabil de
revoluionarea multor tehnologii i poate aduce
multe beneficii n toate domeniile

VA MULTUMESC!