Metode şi tehnici de studiu a

suprafeţelor

curs opţional

-4-

1
Imagistica si caracterizarea topografică a suprafeței

Cele mai răspândite tehnici de imagistică a suprafeței si măsurare a caracteristicilor morfologice ale
acesteia
2
 SPM - Scanning probe microscopy

O comparaţie între diversele forme de SPM

* Rezoluția laterală depinde de performanțele manipulatorului XY

3
 1. Microscopia de forţă atomică (AFM)

Laser
Oglinda

Cantilever
Matrice de fotodiode

Eșantion
Vârf
Scanner XYZ piezoelectric

 Suprafața eșantionului este scanată de vârful atașat cantileverului.

 Sistemul este capabil să detecteze și să măsoare forțe de ordinul nN, folosind detecția
asistată optic.

4
 Microscopia de forță atomica (AFM)
v Mod CONTACT
 Interacțiunea dintre atomii individuali ai varfului cantileverului (tip) și cei ai suprafeței.
 Teoria este foarte complexa (forte coulombiene și/sau cele induse de polarizare).
 Forțele de interactiune tip - suprafață au intensitate considerabilă, care pot afecta
starea fizică a suprafeței.
 Servește pentru caracterizarea morfologica a suprafeței.


v Mod NON-CONTACT
 Distanta vârf-suprafață este menținută constantă (2-30 nm).
 Teorie - simplă, fiind implicate doar forțe „individuale“ de interactiune intre UN ATOM din
varful tip-ului (cel mai apropiat de suprafață) si eșantion, ca întreg.
 Forțe coulombiene, magnetostatice, van der Waals (cu 2 - 4 ordine de marime mai mici
decat in cazul tehnicii CM).

v Mod REZONANT (TAPPING)

 O combinație a celor două moduri precedente.
 Se bazeaza pe amortizarea oscilatiilor și pe modificarea frecvenței proprii de rezonanță
a lamelei cantileverului, în condițiile apropierii vârfului de suprafață.
 Se evita apariția efectelor de forfecare in timpul zgârierii probei.
5
 Microscopia de forță atomică (cont.)

 În principiu, AFM în mod contact amintește de pick-

up, sau de stylus profilometer.

 AFM incorporeaza, totusi, o serie de rafinamente ce

permit atingerea rezoluției la scara atomica:
1. Detecția sensibilă la fază (lock-in).
2. Cantilevere sensibile (constantă elastică mică)
3.Vârfuri mai ascuțite.
4. Posibilitatea poziționării vârfului în condiții de înaltă
acurateță spațială.
5. Reacție negativă pentru controlul intensității forței.

Dependența de distanța interatomică a intensității și a

semnului forțelor van der Waals.

1 D 1 D
D 0 D 0
Rugozitatea medie a suprafeței: R  | z0  z ( x) | dx unde: z0  z ( x) dx

6
 AFM în mod contact. Topografia suprafeței
 Este tehnica folosită cel mai frecvent.
 Permite determinarea topografiei suprafeţei, prin deplasarea vârfului activ pe suprafaţa de
studiat. Există, in principal, 3 moduri de operare:

O imagine CM a unui strat de TiO2 depus

prin ablație laser

7
AFM in Contact Mode. Topografia suprafeței

O imagine a suprafetei unui film de TiO2

obţinut prin pulverizare magnetron.

8
AFM in Contact Mode. Topografia suprafeţei

O imagine de eroare in cazul scanării în contact-

mode a suprafeței unui film de TiO2, depus prin
PLD

9
 AFM in Contact Mode. Imagistica de forta

 Este folosit pentru a scana

suprafețe relativ plate. Operatia
este asigurata intr-un mod mai
precis si mai rapid prin eliminarea
buclei de control automat cu
reacție negativă (feedback). z =
const.

Aplicatii in fizica polimerilor, semi-

conductorilor, materialelor compozite s.a.

1
0
AFM in mod contact. Imagistica de forță atomică

 Distinge regiuni cu valori diferite

ale coeficientilor de frecare statică.

 Permite obținerea de imagini cu

contururi foarte nete în cazul oricăror
suprafețe.

 Poate fi folosită in asociație cu alte

tehnici AFM, pentru o caracterizare
mai completă.

 Aplicații in tehnologia
semiconductorilor, polimerilor,
dispozitivelor de stocare în masă,
detectarea contaminării superficiale,
în nano-tribologie etc.
1
1
AFM in Contact Mode. Imagistica de forta

 In acest caz se traseaza caracteristicile forta-

distanta, din care se deduc valorile
componentei verticale a fortei cu care varful
actioneaza asupra suprafetei, in mod
contact.

 Utilizare: caracterizarea catalizatorilor,

semiconductorilor, polimerilor, straturilor
subtiri, dispozitivelor de stocare a
informatiei, contaminarii suprafetei.

1
2
AFM în mod contact. Imagistica forţei de adeziune

 Se obțin informatii asupra proprietăților de aderență a suprafeței eșantionului.

 Se scaneaza suprafata trasandu-se curbele F(d). Se alcatuiește o harta a valorilor forței

corespunzătoare saltului (SNAP BACK).

1
3
AFM în mod contact. Modul spreading resistance

 Aici se foloseste un tip conductor pentru a obtine,

de exemplu, concentratia dopanților intr-un
semiconductor.

 Este asigurata o valoare relativ mare a fortei pentru

a strapunge stratul nativ de SiO2

 Cantileverul fiind acoperit cu un strat exterior

conductor, se mapeaza conductivitatea locala a
suprafe’ei.

 Se foloseste in mod curent in asociatie cu o altă

metodă convențională de imagistică AFM.

1
4
AFM în mod rezonant (tapping mode)

O imaginea TM a suprafetei de lucru a unei

matrite pentru manufacturarea CD-urilor.

1
5
AFM in modul rezonant. Imaginea de fază

 Măsurătorile se efectueaza, de obicei, în

asociație cu alte metode conventionale de de
imagistică topologică pentru a obtine “harți”
bidimensionale ale proprietăților de suprafață,
cum ar fi hărțile compoziției, aderenței,
coeficientului de frecare, sau
viscoelasticitatea.

 Informatii pretioase pentru o gama larga de

aplicatii (biologie, magnetism etc.)

1
6
Kelvin SPM

 În acest caz, între vârf și eșantion se

aplica o diferență de potențial electric. Se
obțin informații despre distribuția
superficială a potențialului electric.

 Metoda permite localizarea și

identificare cauzelor apariţiei defectelor
din structura unor dispozitive cu structura
multi-material si multi-strat.

1
7
 Microscopia de forță magnetică (MFM)

Folosită în cercetarea fundamentală și aplicativă, pentru a obține imaginea de domenii

magnetice în cazul materialelor feromagnetice masive, a straturilor subțiri feromagnetice, discurilor
si benzilor magnetice, magnetilor permanenti si materialelor magnetice moi.

.
1
8
 2. Microscopia folosind efectul tunel (STM)

Z
X

v Permite maparea topografiei suprafeței,

Notă:
punând în evidență detalii de dimensiuni
Ceea ce se măsoara din punct de vedere
atomice:
fizic este densitatea electronică a
supafeței, nu pozitia atomilor!
v Determinarea topologiei suprafatei.

Imaginile sunt frecvent interpretate ca

v Caracterizarea cresterii suprafetei si a
pozitiilor de legatura interatomice. “atomi”, însă aceasta nu este in mod
v necesar adevarat in orice circumstanțe.
 Rezoluție:
 laterală < 1Å
1
 verticala < 0.1Å 9
 Schema unui
dispozitiv STM
.

Destinat doar
investigarii
suprafețelor
conductoare…

Inventatorii STM, Gerd Binnig si Heinrich Rohrer au fost răsplatiți cu premiul Nobel in fizică
în anul 1986.

2
0
 Principiile fizice ale STM

Tip STM Eșantion

EV
EV
φ1 φ2
EF
EF
Bulk
Bulk
Barieră de
Barieră de
potențial
potențial

Tip STM Eșantion

EV EV
d

EF EF

Bulk Bulk
Barieră de Barieră de
potențial potențial

2
1
 Principiile fizice ale STM

tip STM Aplicând o tensiune de polarizare V:

EV Eșantion
EV
d
EF
EF
masiv
masiv
Barieră de
potențial Barieră de
potențial

j – densitatea de curent; α1, α2 – constante;

V – tensiunea aplicata; s – distanța vârf - eșantion
ϕav – valoarea medie a lucrul de extracție a perechii tip-suprafață;

2
2
 Moduri de operare a STM

Două moduri de operare: curent constant si înălțime constantă

Modul de operare în curent constant este

cel mai frecvent utilizat.

Este aleasa o valoare a Itunel (0.1 - 1 nA).

Pentru a păstra

Itunel = constant,

valoarea lui z trebuie ajustată în mod automat de

un circuit de reacție inversă.

2
3
 Modul curent constant

În acest mod se înregistrează

curenți de tunelare de până la 30 pA, valoare
suficient de mică pentru a putea investiga și:

 suprafetele cu conductivitate electrică

scazută,

 preparate biologice.

.
2
4
 Modul înălțime constantă

În acest caz se fixeaza o anumita valoare a lui

z, urmând a se măsura Itunel direct …

fără feedback.

 Apare o variatie periodica a distantei dintre

tip si atomii din regiunea de suprafață.

 In pozitia in care tip-ul va fi exact deasupra

unui atom de pe suprafata, curentul de tunelare
va fi maxim.

 Cand vârful se va gasi deasupra unei

“adâncituri”, curentul de tunelare va fi mult mai
mic.
Folosit doar pentru suprafetele foarte plate!

2
5
Modul înălţime constantă (cont.)

Dificultățile STM:

Complexitatea interpretarii rezultatelor

in cazul unor anumite suprafete:
imaginea suprafetei nu este
determinată doar de relief, ci și de:
- densitatea de stări electronice,
- semnul si valoarea tensiunii de
polarizare,
- valoarea curentului etc.

2
6
 Ce informatii putem obtine din imaginile STM?

 1. Segregarea atomilor la suprafata…

…inclusiv segregarea impuritatilor la limitele de graunti
cristalini.

Imaginea reprezinta suprafata (110) a aliajului Fe-3.5 at

% Si. Aproximativ 1/3 din atomii de la suprafata sunt
atomi de Si (de culoare inchisa in imaginea alaturata)
care substituie atomi de Fe!
Atomii de carbon nu este detectabil direct, dar ei
mascheaza atomii de Fe din randurile centrale ale
structurii de tip scara.

Imagini din articolul H. Biedermann, M. Schmid, P. Varga, Surf. Sci. 331-333 (1995) 787-793.
2
7
 Ce informatii putem obtine din imaginile STM?
2. Procese de creștere la suprafață

(i) Pb and Cu sunt metale non-miscibile:

rPb= 1.37 rCu.
 Es Pb = 0.50 J/m2, în timp ce Es Cu = 1.96 J/m2.
 In conformitate cu teoria clasica a fenomenelor de
creștere, Cu trebuie sa creasca sub forma de insule pe
Pb

(ii) Atomii de Pb sunt foarte mobili!

 O insula de Cu formata pe Pb are, la randul ei o
suprafata pe cele doua extremitati laterale ale ei, ceea
ce se reflecta in creșterea energiei de suprafață.

 Configurația cea mai favorabilă (energie minimă) este
aceea in care aceste extremitții sunt acoperite cu atomi
de Pb.
Un compromis intre tendința de segregare a
Cu și mobilitatea mai ridicată a atomilor de
Pb.

2
8
 Alte aplicaţii ale STM
Nanolitografia

 Calea cea mai directă de prelucrare a unei suprafete.

 Suprafata eșantionului de sub vârful STM poate fi topită și evaporată.

Un exemplu de litografie STM: o imagine STM a 3 ML de film, pe durata expunerii la 3 pulsuri

electrice.

2
9
 Nano-anodizarea

v Se aplica o tensiune electrică între varful unui cantilever conductor si suprafața metalică
de anodizat; se produc procese electrochimice care conduc la formarea de nanostructuri
oxidice.
v Folosind electro-litografierea se pot modifica proprietatile geometrice si compozitionale
locale ale suprafetei eșantionului.

.
3
0
Nano-manipularea

Fe pe Cu (111)

3
1