MNT

Subiecte pentru examen*

1) Prelucrarea substraturilor specificaii ale plachetelor (condiii tehnice impuse) i succesiunea de operaii.
2) Fotolitografia succesiunea operaiilor; caracteristicile fotorezitilor; fotomti; materiale de expunere prin
umbrire i proiecie.

3) Factori care limiteaz rezoluia procesului fotolitografic; efectele substraturilor asupra fotolitografiei; metode
de cretere a rezoluiei procesului litografic.

4) Litografia cu fascicul de electroni principiu de realizare; tehnici de expunere; performane i limitri.

5) Litografia cu raze X principiu de realizare; masca pentru raze X; performane i limitri.
6) Microprelucrri bazate pe anizotropie cristalin (corodare chimic anizotrop) definiia anizotropiei;
noiuni de cristalografie; profile de corodare obinute; poziionarea mtilor.

7) Microprelucrri bazate pe selectivitatea procesului de corodare definiia selectivitii; soluii de atac

(corodare) pentru corodarea izotrop i anizotrop a siliciului monocristalin; corodarea siliciului policristalin
i a altor materiale; materiale pentru mti i pentru stratul de stopare a corodrii.

8) Metode de corodare uscat (eroziune n plasm) fenomenele fizice i chimice asociate corodrii n plasma
(bombardament ionic, corodare n plasm reactiv); controlul vitezei de corodare (parametri); selectivitatea;
profilul de corodare.

9) Metode de depunere a straturilor subiri evaporare termic n vid; pulverizare catodic i n plasm;
pulverizare magnetron; implantare ionic; depunere galvanic i autocatalitic (fr curent electric); oxidare
termic; difuzie termic; cretere epitaxial.
10) Microprelucrarea siliciului policristalin succesiunea etapelor de lucru pentru aplicarea tehnicii straturilor
de sacrificiu la realizarea structurilor suspendate (microgrind n consol, utiliznd ca material de sacrificiu
PSG)

11) Microprelucrarea siliciului policristalin succesiunea etapelor de lucru pentru aplicarea tehnicii straturilor
de sacrificiu la realizarea elementelor constructive mobile (mbinri cu joc, roat-arbore).

12) Procedeul LIGA definiie; succesiunea operaiilor specifice; materiale implicate; masca pentru
expunerea la radiaii X; avantaje i performane; aplicarea pentru reproducerea structurilor microspaiale
(realizarea unei microturbine prin asocierea cu tehnica straturilor de sacrificiu.

* de scris i de desenat