ELIPSOMETRIA

ELIPSOMETRIA
• Elipsometria este o tehnica
optica non-destructiva ce
permite caracterizarea cu
acuratete a filmelor subtiri, a
suprafetelor si a interfetelor.
Elipsometria spectroscopica
este utilizata in general pentru
determinarea grosimii filmelor
subtiri (de la 1Å la 30µm) si a
constantelor optice (n,k).
 ELIPSOMETRIA (I)
Elipsometria măsoară schimbarea polarizării luminii după transmisie sau
reflexie. Practic elipsometria este dată doar de sistemul de reflexie, iar natura
exactă a schimbării polarizării este determinată de proprietăţile mostrei de
analizat: grosime, complexul de indici de refracţie, respectiv tensorul funcţiei
dielectrice.
ELIPSOMETRIA (II)
• Elipsometria imagistică poate fi
folosită pentru obţinerea de imagini
prin utilizarea unei camere digitale
ca detector şi care dă informaţii
despre grosimea filmului precum şi
indicele de refracţie. Analiza datelor
măsurate prin modelare optică
computerizată conduce la obţinerea
valorilor indicelui complex de
refracţie precum şi la „rezolvarea
spaţială” a grosimii filmului.
 Elipsometria in situ
• Se referă la măsurători dinamice în timpul
proceselor de modificare ale probei:
creşteri în grosime ale filmului, gravarea
sau curăţirea probei. Prin măsurători
elipsometrice in situ este posibilă
determinarea parametrilor fundamentali
ale proceselor, cum ar fi viteza creşterii
grosimii filmului sau viteza de gravare,
variaţia proprietăţilor optice în timp, etc.
 Porozimetria elipsometrică
• EP – măsoară schimbările proprietăţilor
optice şi grosimea materialelor în timpul
adsorbţiei sau desorbţiei de substanţe
volatile la presiune atmosferică sau la
presiune redusă în funcţie de utilizări.
Tehnica EP este unică prin capacitatea ei
de a măsura porozitatea filmelor foarte
subţiri, sub 10 nm.
 Elipsometria magneto-optică
generalizată
• Este o tehnică avansată de elipsometrie
spectroscopică în infraroşu care studiază
proprietăţile purtătorilor de sarcină liberi în probe
conductoare. Prin aplicarea unui câmp magnetic
extern este posibilă determinarea în mod
independent a densităţii, parametrului de
mobilitate optică şi parametrului de masă efectiv
ale purtătorilor de sarcină liberi. În afara
câmpului magnetic doar doi din cei trei
parametrii corespunzători purtătorilor de sarcină
liberi pot fi independent determinaţi.
 Elipsometria prin anulare
(NULLING ELLIPSOMETRY )
Elipsometria spectrala de imagine
Elipsometria spectrala de imagine
Elipsometria spectrala de imagine
Elipsometria spectrala de imagine
Elipsometria spectrala de imagine
(imagine 3D prin scanare)
Starile de polarizare a luminii
Lumina este o undă electromagnetică. Pentru a o
descrie se va folosi intensitatea şi direcţia unui camp
electric E, deoarece acesta interacţionează cu
material mult mai puternic decât câmpul magnetic.
Lumina monocromatică, într-un punct din spaţiul E,
poate fi rezolvată (descompusă) sub forma a trei
oscilaţii armonice pe cele trei axe: x, y,z. Dacă unda
luminoasă este o undă plană care se propagă în
lungul axei z, atunci vectorul E este tot timpul
perpendicular pe axa z astfel încât poate fi descris prin
două oscilaţii armonice în raport cu x si y., Aceste
oscilaţii au aceeaşi frecvenţă dar în general diferă
prin amplitudine şi fază. Drept rezultat vectorul E, într-
un punct dat din spaţiu, descrie o elipsă. Variaţia în
funcţie de timp a câmpului vectorial într-un punct din
spaţiu se numeşte polarizare. Astfel, în general,
polarizarea luminii monocromatice este eliptică. Dacă
faza oscilaţiilor pe x şi y este aceeaşi, elipsa
rezultantă degenerează într-o linie dreaptă. Dacă
diferenţa de fază este ± 90o elipsa devine un cerc.
Astfel, polarizarea liniară şi cea circulară devin cazuri
speciale ale stării generale eliptice.
 Polarizarea luminii

Δ-diferenta de
faza

Polarizare eliptica Descompunere in

doua unde plane
 Semnificatia fizica a parametrilor
Δ si ψ

=unghiul de inclinare a
axei mari a elipsei in raport
cu axa p
Δ-diferenta de faza

Caracteristicile elipsei:
•Elipitcitatea “tan “(raportul dintre axa mica si cea mare)
sin2=sin2sin
•Unghiul de rotatie “” dintre axa principala a elipsei si axa “p”
tan2=tan2cos
 Indicele complex de reflexie 

n-coef de refractie
k-coef de extinctie
T-grosime
Elipsometrul masoara indicele complex de reflexie
Legatura matematica dintre ,
 si 

• tan ψ-unghiul dintre

axa s si diagaonala
dreptunghiului in care
se inscrie elipsa
• cos -indica latimea
elipsei

Legatura matematica dintre ,  si 

tan(2) = tan(2)cos
Elipse pentru  fixat si diferite
valori a diferentei de faza 
Deoareceeste
fixat toate elipsele
sunt inscrie in
acelasi dreptunghi
dar au diferite
forme
Goniometru Microspot
Brat Polarizor

Brat Analizor

Relevare

Proba
 GENERAL GES5 DESCRIPTION:

• -Xenon Lamp:75 W, Short arc, High brilliance

• -MgF2 Rotating Polarizer MgF2 : 6 Hz
• -Adjustable Analyzer
• Goniometer from 7°up to 90°
• Microspots : spot size : 400 μm
• High resolution way :
• Spectral range : 190 nm up to 2000 nm-resolution < 0.5 nm
• double monochromator: prism + grating
• Photon counting PMT

• High speed way : Spectral range : 190 nm up to 1700 nm

• Measurement duration : few seconds
• Fixed grating spectrograph
• CCD (1024x64 pixels)and OMA NIR (256 pixels) detectors
 Intrebari
• Elipsometria. Definitie si domeniu de aplicatii.
• Tipuri de analize elipsometrice: imagistica, in situ,
porozimetrica, magneto-optica generalizata . Definitii.
• Starile de polarizare a luminii. Polarizarea luminii.
• Semnificatia fizica a parametrilor Δ si ψ