Sunteți pe pagina 1din 31

Stratul de sarcini spatiale

curs 5

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 1


Stratul de sarcini spatiale

catod anod
•Straturile de sarcini spatiale apar frecvent + + + + + + + + + +
la marginile plasmei: + -
- +
+
- +
• Interfata plasmei cu anodul si catodul + plasma -
+ -
descarcarilor electrice in gaze + + -
•Interfata plasmei cu peretii flotanti (sau
+ + + + + + + + + -
nu) ai incintei care contine plasma
• Interfata plasmei cu mici electrozi electrod
(sonde) introdusi in plasma -
•Ve > Vp Vp - - Ve
-
plasma

Ve > Vp
polarizare pozitiva  sarcina spatiala negativa

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 2


Stratul de sarcini spatiale

catod anod
•Straturile de sarcini spatiale apar frecvent + + + + + + + + + +
la marginile plasmei: + -
- +
+
- +
• interfata plasmei cu anodul si catodul + plasma -
+ -
descarcarilor electrice in gaze + + -
•Interfata plasmei cu peretii flotanti (sau
+ + + + + + + + + -
nu) ai incintei care contine plasma
• Interfata plasmei cu mici electrozi electrod
(sonde) introdusi in plasma +
•Ve < Vp Vp + + Ve
+
•Spre deosebire de sarcina spatiala de
ecranare Debye, care contribuie la plasma
ecranarea campurilor electrice slabe pe
distante microscopice ( |Ve -Vp| < kTe/e), Ve < Vp
straturile de sarcina spatiala se pot intinde
pe distante comparabile cu dimensiunile polarizare negativa  sarcina spatiala pozitiva
plasmei si apar la diferente mari de
potential
16:37 |V -V | >> kT /e.
e p e
curs 4: stratul de sarcini spatiale 3
Stratul de sarcini spatiale
•Fenomenul de formare a straturilor de sarcini spatiale este atat de intim legat de proprietatile
plasmei, incat plasma a fost definita de catre Langmuir in opozitie cu straturile de sarcini
spatiale care o marginesc.
•Plasma este regiunea unei descarcari electrice in gaze unde densitatea de sarcina spatiala
este nula: e = e(ni-ne)  0.

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 4


Stratul de sarcini spatiale

•Consideram electrodul polarizat negativ faţă


de plasmă la un potenţial Ve << Vf, astfel electrod
încât majoritatea electronilor care vin dinspre S+
plasmă spre electrod să fie respinşi în câmpul ji + + Ve
electric al sarcinii spaţiale pozitive formate la +
Vp
interfaţa plasmă-electrod.
plasma

Ve < Vp
I

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 5


Stratul de sarcini spatiale

plasma sarcina spatiala + electrod


•Consideram electrodul polarizat negativ faţă
de plasmă la un potenţial Ve << Vf, astfel + + + + ++--
încât majoritatea electronilor care vin dinspre + + + + + + -- - Ve <Vp
-
plasmă spre electrod să fie respinşi în câmpul - -
-
electric al sarcinii spaţiale pozitive formate la + -
-
interfaţa plasmă-electrod. + + + + ++ -
-
•Energia termică a electronilor este neglijabil -
+ + + + ++ -
de mică în comparaţie cu energia potenţială a
O
acestora în câmpul electric din vecinătatea Vp = 0
electrodului . kBTe << |eVe| d
•Curentul electronic spre electrod se poate
neglija astfel încât curentul total drenat de
acesta din plasmă este aproximat de curentul j = ji
ionic je = 0 j = j i
Ve << Vf

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 6


Stratul de sarcini spatiale
•Plasma simpla: electroni, ioni şi neutri.
•Geometrie unidimensionala L >> d plasma sarcina spatiala + electrod
•Strat necolizional: Ciocnirile dintre particulele
încărcate şi atomi se pot neglija, d << en şi d
+ + + + ++--
<< in
+ + + + + + -- - Ve <Vp
-
•In plasma neperturbata fiecare sort de particule - -
-
+ -
se află la echilibru termodinamic: distribuţia -
particulelor după viteze este Maxwelliană
+ + + + ++ -
-
-
•Particulele încărcate care ajung pe electrod nu + + + + ++ -
sunt reflectate de acesta. O d Vp = 0
•Sunt neglijate efectele de emisie de particule de
catre electrod (emisie electronica secundara,
termoemisie de electroni, etc.) u0
•.Ionii intra in stratul de sarcina spatiala cu o
viteza finita, u0, a carei valoare va fi definita
ulterior. Ve << Vf

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 7


Ecuatia satatului de sarcini spatiale
Mişcarea ionilor în strat poate fi descrisă de ecuaţia de conservare a energiei
totale ca sumă a energiilor cinetică şi potenţială
plasma sarcina spatiala + electrod
+ + + + ++--
+ + + + + + -- - Ve <Vp
-
+ -
-
-
-
+ + + + ++ -
-
-
+ + + + ++ -
O d Vp = 0
u0 u(x)

Ve << Vf

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 8


Ecuatis satatului de sarcini spatiale
1.0
Pentru a determina ni(x) in strat,
n(V)/n(0)
aplicam ecutia de continuitate 0.8

ni/ni0
0.6

0.4
Rezulta ca ni(x) scade cu cresterea
vitezei ionilor, sau a valorii absolute a 0.2

lui V(x) conform relatiei: 0.0


0 -20 -40 -60 -80 -100
potential [ V ]

O Vp = 0
START accelerare u0 u(x)d
n0 n

Ve << Vf
u0 u
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 9
Ecuatia satatului de sarcini spatiale

•În stare staţionară densitatea


electronilor în strat, ne(x), se 10
0

supune unei distribuţii Boltzmann: -1


10

ns /ns0
-2
10

ni/ni0
-3
10 ne/ne0
•Comportarea potenţialului V(x) în
strat este descrisă de ecuaţia 10
-4

0 -2 -4 -6 -8 -10
Poisson: potential [ V ]

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 10


Ecuatia satatului de sarcini spatiale

•Înlocuim expressile lui ni(x) ai


ne(x) in ecuatia Poisson

•Este convenabil ca în locul variabilelor V(x), x şi u0 să se folosească variabilele


reduse la mărimi specifice plasmei, respectiv potenţialul termic kBTe/e, lungimea
Debye, D, şi viteza ionoacustică, cs = (kBTe/mi)1/2.

•Folosirea variabilelor adimensionale permite o descriere pur matematică a


ecuaţiei păturii sarcinii spaţiale şi generalizează soluţiile acesteia funcţie de
mărimile caracteristice plasmei.

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 11


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: criteriul Bohm

•În regiunea pentru care  << 1 energia potenţială a sarcinilor electrice în câmpul
electric al sarcinii spaţiale este mică în raport cu energia corespunzătoare agitaţiei
termice eV << kBTe.
plasma sarcina spatiala + electrod
+ + + + ++ -
-
- Ve <Vp
-
+ -
-
+ + + + ++ -

O d Vp = 0
u0 u(x)
miu0 /2  kBTe>> eV
2

Ve << Vf

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 12


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: criteriul Bohm

•În regiunea pentru care  << 1 energia potenţială a sarcinilor electrice în câmpul
electric al sarcinii spaţiale este mică în raport cu energia corespunzătoare agitaţiei
termice eV << kBTe.
•/M2 << 1, deoarece numărul lui Mach trebuie să fie de ordinul unităţii
miu02 /2  kBTe
•În aceste condiţii termenii din membru drept al ecuaţiei se pot lineariza după cum
urmeaza

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 13


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: criteriul Bohm
 1 
1  2   k
2
d 2
 M   k 
d 2

k eTe
cs 
mi

•Daca M > 1  k  R si ecuatia admite o solutie monotona de forma:


 ( )  0  exp( k   )

•Daca M < 1  k = iki, unde i2 = -1.si ecuatia admite o solutie oscilatorie de


forma:
 ( )  0  exp(ik i   )

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 14


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: criteriul Bohm

M  1  u0  (kBTe /mi)1/2

ni/ni0
1
0.9 ne/ne0
0.8
ns /ns0

0.7
0.6

0.5
ne < ni
0.4

0.3
0.0 -0.2 -0.4 -0.6 -0.8 -1.0
potential [ V ]

Dacă M > 1, viteza de intrare a ionilor în strat este suficient de mare pentru ca accelerarea
acestora sa nu producă o creştere apreciabilă a vitezei, şi deci o scădere importantă a
densităţii. În acest caz scăderea densităţii ionilor datorită accelerării lor în strat este mult mai
lentă decât celei a electronilor, ca urmare sarcinile pozitive sunt tot timpul în exces în strat.
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 15
Ecuatia satatului de sarcini spatiale: criteriul Bohm

u0  (kBTe /mi)1/2 M < 1  u0 < (kBTe /mi)1/2

ni/ni0 ni/ni0
1 1
0.9 ne/ne0 ne/ne0
0.9
0.8 0.8
ns /ns0

0.7

ns /ns0
0.7
0.6 0.6
0.5
ne < ni 0.5

0.4 0.4
n e > ni ne < ni
0.3 0.3
0.0 -0.2 -0.4 -0.6 -0.8 -1.0 0.0 -0.2 -0.4 -0.6 -0.8 -1.0
potential [ V ] potential [ V ]
-- -- -- -- -- -- ++ ++ ++ ++ ++ ++
•Dacă M < 1, viteza de intrare a ionilor în strat este mica astfel incat accelerarea lor sa
producă o creştere apreciabilă a vitezei, şi deci o scădere importantă a densităţii.
•În acest caz scăderea densităţii ionilor datorită accelerării lor la intrarea în strat este in mai
accentuata decât celei a electronilor, ca urmare se formeaza un strat dublu sau chiar multiplu
de sarcini spatiale negative si pozitive.
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 16
Ecuatia satatului de sarcini spatiale: criteriul Bohm

•In cazul M < 1 distributia de potential in strat u0 < (kBTe /mi)1/2


nu mai este monoton descrescatoare , ci
prezinta oscilatii. d2V/dx2 > 0 d2V/dx2 < 0

ne > n i ne < ni
 < 0  V > 0

 > 0  V < 0 -- -- -- -- -- -- ++ ++ ++ ++ ++ ++

•Dacă M < 1, viteza de intrare a ionilor în strat este mica astfel incat accelerarea lor sa
producă o creştere apreciabilă a vitezei, şi deci o scădere importantă a densităţii.
•În acest caz scăderea densităţii ionilor datorită accelerării lor la intrarea în strat este in mai
accentuata decât celei a electronilor, ca urmare se formeaza un strat dublu sau chiar multiplu
de sarcini spatiale negative si pozitive.
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 17
Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir
•Linearizam ecuatia stratului de sarcini spatiale
in regiunea din apropierea electrodului , unde plasma sarcina spatiala + electrod
este îndeplinită condiţia  >> 1 + + + + ++--
 eV + + + + + + -- - Ve <Vp
 1 eV  k BTe -
k BTe + -
-
-
•În acest caz energia termică a electronilor kBTe, -
+ + + + ++ -
-
este mult mai mică decât energia lor potenţiala în + + + + ++ -
-
câmpul electric al stratului de sarcini spaţiale, ‘ O’
-eV(x) d Vp = 0
•Termenul ce exprimă densitatea electronilor,
exp(-)  0, ceea ce înseamnă că se neglijează
complet prezenţa electronilor în această regiune,
aceştia fiind respinşi aproape integral în câmpul
-
electricintens al stratului de sarcini spaţiale.
Ve << Vf
exp(-)  0

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 18


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir

exp(-)  0

1 / 2 1 / 2
 2   2  M
1  2   2  
 M  M  2

d 2 M M M '
 "   '  '" 
d 2 2 2 2
 
 '  M
   ' 
  
2 2
M
d 
 2
 
 2
d 2 

0
d 
 2
 
 0
2
d 2 

 ' ( ) 2   ' (0) 2  2 M   2 ( )  2 (0) 


16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 19
Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir

 ' ( ) 2   ' (0) 2  2 M   2 ( )  2 (0) 


' O’ x d
' (0)  0
 ( 0)  0   x / D

Ve << Vf

 ' ( ) 2  2 M  2 ( ) '  M 1/ 2  23 / 4 1/ 4

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 20


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir
25 / 2  3e / 2
M  2
9 e

k eTe
cs 
mi

25 / 2   eVe / k BTe 
3/ 2
k BTe
u0   2 
9 d   n0 e 2 /  0 k BTe  mi

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 21


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir
25 / 2   eVe  mi1/ 2
3/ 2
u0   2 e
9 d  n0 e 2 /  0 O’ d
25 / 2   Ve   e3 / 2

(colector de ioni)
ji

(sursa de ioni)
3/ 2
je  en0u0  en0   2 V

Plasma

electrod
9 mi d  n0 e /  0
2

•Relaţia exprimă legea Child-Langmuir, lege cunoscută de electronişti din studiul


caracteristicilor curent-tensiune a tuburilor electronice sub numele de “legea 3/2”.

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 22


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir
25 / 2   eVe  mi1/ 2
3/ 2
u0   2
9 d  n0e 2 /  0

(colector de electroni)
(sursa de electroni)
25 / 2   Ve   e3 / 2 je
3/ 2

ANOD
CATOD
je  en0u0  en0   2
9 mi d  n0 e /  0 V
2

O e d

•Relaţia exprimă legea Child-Langmuir, lege cunoscută de electronişti din studiul


caracteristicilor curent-tensiune a tuburilor electronice sub numele de “legea 3/2”.
•În cazul tuburilor electronice în vecinătatea catodului se formează o pătura de
sarcină spaţială electronică care determină o dependenţă a intensităţii curentului
electric de forma I = CU3/2, unde C (măsurată în AV-3/2) este perveanţa tubului şi U
este tensiunea sau căderea de potenţial între anod şi catod.

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 23


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir

(colector de electroni)
(sursa de electroni)

ELECTROD
je

PLASMA
•Legea Child-Langmuir este aplicabilă şi stratului V
electronic de sarcini spaţiale, strat care se formează în
situaţia în care electrodul este polarizat puternic
pozitiv în raport cu plasma, caz in care electrodul
O e d
capteaza curentul electronic de densitate, je,

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 24


Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir

•Legea 3/2 se poate folosi pentru a calcula grosimea stratului de sarcini spatiale

4 2 e  V 3/ 2
d 2  0  e

9 mi ji

•Cum ji este limitat de plasma (care este sursa de ioni), rezulta ca d  Ve3/4

•Pentru Ve >> kBTe, d de ordinul a zeci de D


•Aplicatie practica
Valoarea lui d este importanta in
procesul de corodare cu plasma.
Pentru a asigura o corodare
neizotropa trebuie ca masca
Au
d >> grosimea mastii substrat
corodare neizotropa

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 25


Satatul dublu de sarcini spatiale
•Stratul dublu este o structură ne > ni ne < n i

plasma 1

plasma 2
(V1)
- - - - - - ++ + + + +

(V2)
electrostatică formată din două straturi
adiacente de sarcini spaţiale opuse - - - - - - ++ + + + +
•Poate să apară:
-între două regiuni ale unei plasme E
aflate sub actiunea unei diferente
semnificative de potenţial, V0,
-între două plasme diferite intre care V
exista V0
•In ansamblu, sarcina electrică netă a V0
stratului dublu este nulă
•Câmpul electric în plasma neperturbată
(aflată în afara stratului dublu) este nul
si are o valoare maxima la interfata e
celor doua straturi de sarcini spatiale
opuse.

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 26


Satatul dublu de sarcini spatiale
•Câmpul electric în plasma neperturbată ne > ni ne < n i

plasma 1

plasma 2
(V1)
- - - - - - ++ + + + +

(V2)
(aflată în afara stratului dublu) este nul
si are o valoare maxima la interfata - - - - - - ++ + + + +
celor doua straturi de sarcini spatiale
opuse. E
•Variatia potentialului in strat se supune
ecuatiei Poisson
V

d2V/dx2 d2V/dx2 V0
•Pentru stratul unidimensional, > 0 < 0
 < 0  d2V/dx2 > 0
e
 > 0  d2V/dx2 < 0  < 0
 > 0

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 27


Satatul dublu de sarcini spatiale
•Stratul dublu unidimensional (d << dimensiunea laterala)
E(x), V(x), ni(x), ne(x), jix, jex
•Stratul dublu necolizional
e si i >> d
•Stratul dublu puternic
eV0 >> kBTe, kBTi
•Electronii din P2 sunt total sau partial
reflectati

•Electronii din P1 sunt accelerati si dau


curentul de densitate je

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 28


Satatul dublu de sarcini spatiale
Stratul dublu unidimensional, necolizional, puternic

•Ionii din P1 sunt total sau partial


reflectati

•Ionii din P2 sunt accelerati si dau


curentul de densitate ji

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 29


Ecuatia satatul dublu de sarcini spatiale
Stratul dublu unidimensional, necolizional, puternic

•Densitatea de sarvini negative

e(x) = -

•Densitatea de sarvini pozitive


i(x) =

16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 30


Ecuatia satatul dublu de sarcini spatiale
Stratul dublu unidimensional, necolizional, puternic

mişcarea electronilor prin


strat are contribuţia majoră la
curentul electric

Prezenţa straturilor duble la marginea plasmelor este considerata drept cauza


multor fenomene nelineare şi nestaţionare (instabilităţi) ce apar atât în plasmele de
laborator cât şi a celor din natură (aurora boreală, erupţiile plasmei solare,
turbulenţe şi diferite tipuri de instabilităţi în plasma de fuziune termonuleara
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 31

S-ar putea să vă placă și