Documente Academic
Documente Profesional
Documente Cultură
curs 5
catod anod
•Straturile de sarcini spatiale apar frecvent + + + + + + + + + +
la marginile plasmei: + -
- +
+
- +
• Interfata plasmei cu anodul si catodul + plasma -
+ -
descarcarilor electrice in gaze + + -
•Interfata plasmei cu peretii flotanti (sau
+ + + + + + + + + -
nu) ai incintei care contine plasma
• Interfata plasmei cu mici electrozi electrod
(sonde) introdusi in plasma -
•Ve > Vp Vp - - Ve
-
plasma
Ve > Vp
polarizare pozitiva sarcina spatiala negativa
catod anod
•Straturile de sarcini spatiale apar frecvent + + + + + + + + + +
la marginile plasmei: + -
- +
+
- +
• interfata plasmei cu anodul si catodul + plasma -
+ -
descarcarilor electrice in gaze + + -
•Interfata plasmei cu peretii flotanti (sau
+ + + + + + + + + -
nu) ai incintei care contine plasma
• Interfata plasmei cu mici electrozi electrod
(sonde) introdusi in plasma +
•Ve < Vp Vp + + Ve
+
•Spre deosebire de sarcina spatiala de
ecranare Debye, care contribuie la plasma
ecranarea campurilor electrice slabe pe
distante microscopice ( |Ve -Vp| < kTe/e), Ve < Vp
straturile de sarcina spatiala se pot intinde
pe distante comparabile cu dimensiunile polarizare negativa sarcina spatiala pozitiva
plasmei si apar la diferente mari de
potential
16:37 |V -V | >> kT /e.
e p e
curs 4: stratul de sarcini spatiale 3
Stratul de sarcini spatiale
•Fenomenul de formare a straturilor de sarcini spatiale este atat de intim legat de proprietatile
plasmei, incat plasma a fost definita de catre Langmuir in opozitie cu straturile de sarcini
spatiale care o marginesc.
•Plasma este regiunea unei descarcari electrice in gaze unde densitatea de sarcina spatiala
este nula: e = e(ni-ne) 0.
Ve < Vp
I
Ve << Vf
ni/ni0
0.6
0.4
Rezulta ca ni(x) scade cu cresterea
vitezei ionilor, sau a valorii absolute a 0.2
O Vp = 0
START accelerare u0 u(x)d
n0 n
Ve << Vf
u0 u
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 9
Ecuatia satatului de sarcini spatiale
ns /ns0
-2
10
ni/ni0
-3
10 ne/ne0
•Comportarea potenţialului V(x) în
strat este descrisă de ecuaţia 10
-4
0 -2 -4 -6 -8 -10
Poisson: potential [ V ]
•În regiunea pentru care << 1 energia potenţială a sarcinilor electrice în câmpul
electric al sarcinii spaţiale este mică în raport cu energia corespunzătoare agitaţiei
termice eV << kBTe.
plasma sarcina spatiala + electrod
+ + + + ++ -
-
- Ve <Vp
-
+ -
-
+ + + + ++ -
O d Vp = 0
u0 u(x)
miu0 /2 kBTe>> eV
2
Ve << Vf
•În regiunea pentru care << 1 energia potenţială a sarcinilor electrice în câmpul
electric al sarcinii spaţiale este mică în raport cu energia corespunzătoare agitaţiei
termice eV << kBTe.
•/M2 << 1, deoarece numărul lui Mach trebuie să fie de ordinul unităţii
miu02 /2 kBTe
•În aceste condiţii termenii din membru drept al ecuaţiei se pot lineariza după cum
urmeaza
k eTe
cs
mi
M 1 u0 (kBTe /mi)1/2
ni/ni0
1
0.9 ne/ne0
0.8
ns /ns0
0.7
0.6
0.5
ne < ni
0.4
0.3
0.0 -0.2 -0.4 -0.6 -0.8 -1.0
potential [ V ]
Dacă M > 1, viteza de intrare a ionilor în strat este suficient de mare pentru ca accelerarea
acestora sa nu producă o creştere apreciabilă a vitezei, şi deci o scădere importantă a
densităţii. În acest caz scăderea densităţii ionilor datorită accelerării lor în strat este mult mai
lentă decât celei a electronilor, ca urmare sarcinile pozitive sunt tot timpul în exces în strat.
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 15
Ecuatia satatului de sarcini spatiale: criteriul Bohm
ni/ni0 ni/ni0
1 1
0.9 ne/ne0 ne/ne0
0.9
0.8 0.8
ns /ns0
0.7
ns /ns0
0.7
0.6 0.6
0.5
ne < ni 0.5
0.4 0.4
n e > ni ne < ni
0.3 0.3
0.0 -0.2 -0.4 -0.6 -0.8 -1.0 0.0 -0.2 -0.4 -0.6 -0.8 -1.0
potential [ V ] potential [ V ]
-- -- -- -- -- -- ++ ++ ++ ++ ++ ++
•Dacă M < 1, viteza de intrare a ionilor în strat este mica astfel incat accelerarea lor sa
producă o creştere apreciabilă a vitezei, şi deci o scădere importantă a densităţii.
•În acest caz scăderea densităţii ionilor datorită accelerării lor la intrarea în strat este in mai
accentuata decât celei a electronilor, ca urmare se formeaza un strat dublu sau chiar multiplu
de sarcini spatiale negative si pozitive.
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 16
Ecuatia satatului de sarcini spatiale: criteriul Bohm
ne > n i ne < ni
< 0 V > 0
> 0 V < 0 -- -- -- -- -- -- ++ ++ ++ ++ ++ ++
•Dacă M < 1, viteza de intrare a ionilor în strat este mica astfel incat accelerarea lor sa
producă o creştere apreciabilă a vitezei, şi deci o scădere importantă a densităţii.
•În acest caz scăderea densităţii ionilor datorită accelerării lor la intrarea în strat este in mai
accentuata decât celei a electronilor, ca urmare se formeaza un strat dublu sau chiar multiplu
de sarcini spatiale negative si pozitive.
16:37 curs 4: stratul de sarcini spatiale 17
Ecuatia satatului de sarcini spatiale: ecuatia Child-Langmuir
•Linearizam ecuatia stratului de sarcini spatiale
in regiunea din apropierea electrodului , unde plasma sarcina spatiala + electrod
este îndeplinită condiţia >> 1 + + + + ++--
eV + + + + + + -- - Ve <Vp
1 eV k BTe -
k BTe + -
-
-
•În acest caz energia termică a electronilor kBTe, -
+ + + + ++ -
-
este mult mai mică decât energia lor potenţiala în + + + + ++ -
-
câmpul electric al stratului de sarcini spaţiale, ‘ O’
-eV(x) d Vp = 0
•Termenul ce exprimă densitatea electronilor,
exp(-) 0, ceea ce înseamnă că se neglijează
complet prezenţa electronilor în această regiune,
aceştia fiind respinşi aproape integral în câmpul
-
electricintens al stratului de sarcini spaţiale.
Ve << Vf
exp(-) 0
exp(-) 0
1 / 2 1 / 2
2 2 M
1 2 2
M M 2
d 2 M M M '
" ' '"
d 2 2 2 2
' M
'
2 2
M
d
2
2
d 2
0
d
2
0
2
d 2
Ve << Vf
k eTe
cs
mi
25 / 2 eVe / k BTe
3/ 2
k BTe
u0 2
9 d n0 e 2 / 0 k BTe mi
(colector de ioni)
ji
(sursa de ioni)
3/ 2
je en0u0 en0 2 V
Plasma
electrod
9 mi d n0 e / 0
2
(colector de electroni)
(sursa de electroni)
25 / 2 Ve e3 / 2 je
3/ 2
ANOD
CATOD
je en0u0 en0 2
9 mi d n0 e / 0 V
2
O e d
(colector de electroni)
(sursa de electroni)
ELECTROD
je
PLASMA
•Legea Child-Langmuir este aplicabilă şi stratului V
electronic de sarcini spaţiale, strat care se formează în
situaţia în care electrodul este polarizat puternic
pozitiv în raport cu plasma, caz in care electrodul
O e d
capteaza curentul electronic de densitate, je,
•Legea 3/2 se poate folosi pentru a calcula grosimea stratului de sarcini spatiale
4 2 e V 3/ 2
d 2 0 e
9 mi ji
•Cum ji este limitat de plasma (care este sursa de ioni), rezulta ca d Ve3/4
plasma 1
plasma 2
(V1)
- - - - - - ++ + + + +
(V2)
electrostatică formată din două straturi
adiacente de sarcini spaţiale opuse - - - - - - ++ + + + +
•Poate să apară:
-între două regiuni ale unei plasme E
aflate sub actiunea unei diferente
semnificative de potenţial, V0,
-între două plasme diferite intre care V
exista V0
•In ansamblu, sarcina electrică netă a V0
stratului dublu este nulă
•Câmpul electric în plasma neperturbată
(aflată în afara stratului dublu) este nul
si are o valoare maxima la interfata e
celor doua straturi de sarcini spatiale
opuse.
plasma 1
plasma 2
(V1)
- - - - - - ++ + + + +
(V2)
(aflată în afara stratului dublu) este nul
si are o valoare maxima la interfata - - - - - - ++ + + + +
celor doua straturi de sarcini spatiale
opuse. E
•Variatia potentialului in strat se supune
ecuatiei Poisson
V
d2V/dx2 d2V/dx2 V0
•Pentru stratul unidimensional, > 0 < 0
< 0 d2V/dx2 > 0
e
> 0 d2V/dx2 < 0 < 0
> 0
e(x) = -