Tema de cercetare

Prelucrarea
suprafetelor prin
vapori chimici si fizici
.

1.1 Generalitati
Este cunoscut faptul c dup un anumit numr de ore de funcionare, utilajele nu mai au aceiai
indici de exploatare, starea tehnic se nrutete i apare necesitatea efecturii reparaiilor prin care
maina s fie repus n stare normal de funcionare, pe o perioad de timp determinat.

Modificrile care apar n urma fenomenelor de uzur la nivelul suprafeelor conduc ctre o
politic managerial, care s permit refacerea calitilor iniiale ale acestora. Perioada de timp dup
care un anumit tip de main are nevoie de reparaie, s-a determinat pe baze statistice pentru fiecare tip
aparte. De asemenea, dac din punct de vedere tehnic reparaiile se pot face n numr nelimitat, putnduse crede c un anumit tip de main poate fi utilizat un timp nedefinit, dup anumite criterii tehnicoeconomice se poate stabili cu precizie cte reparaii capitale se pot face unui utilaj, pentru ca exploatarea
acestuia s fie economic.
Dac un utilaj nou funcioneaz pn la prima reparaie capital, timp de 6300 ore. Dup prima
reparaie timpul se scurteaz la 5100 ore, aceasta putndu-se repeta o dat sau de dou ori, cu timp de
funcionare normal ntre ele din ce n ce mai mic.Rezult c utilajul de tipul menionat, poate fi
exploatat n condiiile normale, timp de 8-10 ani, prima reparaie capital efectundu-se dup
aproximativ 3 ani de funcionare.
Dac utilajele, ajunse la limita funcionrii normale, n loc s li se refac parametrii iniiali prin
reparare, se reformeaz, s-ar obine pierderi impresionante pe economia naional.
1.2. Sigurana n funcionare
Sigurana n funcionare reprezint un indicator cantitativ, prin care se nelege capacitatea unei
piese sau a unui produs, de a funciona potrivit destinaiei pentru care au fost fabricate, cu cheltuieli
minime, n perioada i n condiiile de exploatare date.
Mainile lucrnd n condiiile grele de exploatare, au sigurana n funcionare n strns
legtur cu uniformitatea uzurii principalelor elemente componente i cu modificarea n timp a structurii
i proprietilor fizicochimice ale materialelor, mai ales n zona stratului superficial al suprafeelor.
Evaluarea siguranei n funcionare se face pe cale statistic, pe baza observaiilor din timpul
ncercrii prototipului, sau n procesul exploatrii mainii i este n strns legtur cu destinaia
acesteia, condiiile ei de funcionare i o perioad de timp determinat.
Evoluia noiunii de calitate ctre cea de siguran n funcionare i cumularea lor cu elementul
timp, n noiunea complex de fiabilitate, pe baza calculului probabilitilor i a statisticii matematice,
diminuiaz influena factorilor aleatori n favoarea celor ceri, n construcia i exploatarea mainilor.

2. DURIFICAREA SUPRAFETELOR PRIN ACOPERIRI CVD I PVD

n ultima perioad a crescut interesul pentru tratamentele de suprafa, care reduc costul
recondiionrii suprafeelor i duc la creterea durabilitii lor. Modificarea suprafeei, procesele de
acoperire ca i carburarea, depunerea vaporilor chimici CVD (Chemical Vapour Despo-sition),
pulverizarea metalic i nitrurarea au fost dezvoltate ca s prelungeasc viaa pieselor de uzur. n
ultimii ani au fost introduse procese noi ca: implantarea ionic i depunerea de vapori fizici PVD
(Physical Vapour Deposition) (tabelul 2.1).
Tabelul 2.1. Procedee termice de tratament la suprafa

Dou tratamente eficiente sunt CVD i PVD ale cror principale acoperiri sunt carbura de titan
(TiC) i nitrura de titan (TiN). CVD a fost aplicat cu succes la oeluri n timp ce PVD aplicat sculelor din
oel rapid a revoluionat industria.

Fig 2.1. Utilaj folosit pentru tratarea PVD a suprafetelor

Acoperirile cu TiN i TiC mresc durabilitatea sculelor sporind rezistena la coroziune i acioneaz
ca o barier chimic i termic contra difuziei i fuziunii. Acoperirile sunt foarte dure i sunt aplicate n
straturi foarte subiri 2...8 :m. Acoperirile sunt, de asemenea, foarte lubrefiante, lucru care servete pentru
un coeficient de frecare mai redus. O scul din oel
rapid acoperit cu TiN i TiC are o duritate mare la suprafa aa cum reiese din tabelul 2.2.
Tabelul 2.2. Duriti pentru diferite suprafee

TiN are o culoare aurie aprins, are o duritate cuprins ntre 2500 i 3000 HV i are o excelent
proprietate de ungere. Acoperirile cu TiN sunt folosite de obicei pentru scule achietoare, punctatoare i
filiere. TiC este gri metalic cu o durabilitate de 3000-4000 HV. TiN i TiC se oxideaz n aer la
temperaturi mai mari dect 5000C, de aceea nu se pot folosi acolo unde prelucrarea se face la temperaturi
mai mari i n prezena oxigenului. n aplicaiile n care numai piesa este incandescent i sculele sunt
expuse doar intermitent la temperaturi nalte, sculele acoperite sunt foarte bune.
n unele aplicaii alternarea stratelor de TiC i TiN ofer rezultate mai bune dect un singur strat,
combinndu-le efectele.
Tabelul 2.3. Aplicaii ale acoperirilor CVD i PVD

1.1.

Depunerea vaporilor chimici (CVD)

CVD este un proces de reacie chimic n gaz care are loc la temperaturi ntre 950 i 11000C.
Sculele trebuie acoperite cu un strat dur, trebuie bine pregtite i curate. n cele mai multe aplicaii,
geometria sculei prezint o form optim i o finisare a suprafeei dup cteva cicluri de acoperire. La
acoperire trebuie acordat o mare atenie muchiilor sculelor sau pieselor. Piesele curite sunt ncrcate
n reactorul CVD pe rafturi.
Armturile de grafit sunt utilizate pentru c sunt ieftine n comparaie cu oelurile inoxidabile
sau aliajele pe baz de Ni i au o bun comportare la compresie n condiiile unei temperaturi nalte.
Piesele sunt aduse la temperatura de acoperire (1050 0C) ntr-o atmosfer inert. Ciclul de
acoperire ncepe prin introducerea vaporilor de tetraclorur de titan (TiCl4) i metan (CH4), ori azot (N2)
n reactor. Vaporii de TiCl4 sunt transportai n reactor printr-un gaz portant cum ar fi hidrogenul.
Reaciile chimice pentru formarea TiN i TiC sunt:
TiCl4 + CH4 + H2 9500C TiC + 4HCl + H2 (8.1)
TiCl4 + N2 + H2 11000C TiN + 4 HCL + N2
n figura 2.2. se prezint schema sistemului CVD multiarc.

Fig.2.2. Schema sistemului CVD multiarc

Gazul derivat HCl rezultat din reacia chimic este scos din reactor ntr-un epurator unde este
neutralizat. La nlocuirea metanului cu azotul se formeaz azotatul de titan
(TiN). Acoperirea n mai multe straturi cu TiC/TiN se face n acelai ciclu, depunndu-se nti TiC prin
utilizarea CH4 dup care se depune TiN, azotul fiind reactant.
Depuse prin CVD, TiC i TiN cresc pe atomii de carburi prezentate n oeluri rapide. S-a
demonstrat c un minim de 0,5% carbon, 1,5% crom i 1% tungusten, vanadiu ori molibden este necesar
ca s asigure o reea continu pentru o bun acoperire.
Oelurile inferioare nu fac straturi acceptabile datorit concentraiilor mici de carbon i faptului c
temperaturile austenitice sunt mult mai joase dect temperatura de acoperire CVD.
Ciclul de acoperire CVD const n aproximativ 3 ore de nclzire, 4 de acoperire i 6-8 ore de rcire.
Pentru c temperatura de acoperire este superioar temperaturii de normalizare a oelurilor rapide este
necesar durificarea sculelor din oel dup acoperirea cu CVD.
Durificarea trebuie fcut ntr-o incint astfel ca acoperirile CVD s nu se oxideze. Pentru c
tratamentul termic al sculelor finisate poate atrage deformaii, sculele trebuie prelucrate astfel nct s
suporte dilatrile sau contractrile care pot apare. n general sculele din oel rapid cu tolerane mai mici
pot fi acoperite CVD, o deosebit grij trebuie avut n timpul acoperirii i tratamentelor termice pentru
evitarea dilatrii, contractrii sau deformaiilor excesive.
Parametrul cheie n tratamentul termic al pieselor acoperite CVD este de a nclzi piesele dup
acoperire i a le cli rapid de la 12000C la 9500C ntr-un minut.
a. Depunerea vaporilor fizici (PVD)
PVD este cea mai nou metod pentru aplicarea acoperirilor rezistente. Exist trei tehnici PVD
diferite: pulverizarea, implantarea ionic i evaporarea n arc. Toate se petrec ntr-o incint. Reacia
atomilor de Ti, a ionilor generai prin pulverizare sau surs de evaporare, atmosfera parial de azot care
este introdus n incint, formeaz o acoperire de TiN pe suprafaa sculelor aflate n incint. Diferena
dintre cele trei procese const n metoda prin care materialul de acoperire se transform dintr-o stare
solid n una atomic.

n timpul procesului de acoperire PVD piesele i sculele de acoperit sunt nclzite. Temperatura
maxim depinde de mrimea lor i de grosimea acoperirii. Aceast temperatur trebuie controlat
pentru a se evita modificrile metalurgice sau dimensionale nedorite. Pentru obinerea unei acoperiri
uniforme una sau mai multe surse ale materialului de acoperire pot fi puse n ncint, iar ncrctura
rotit n timpul procesului. Procesul de evaporare (fig.8.2) este metoda cea mai nou de acoperire PVD.
Sursele de evaporare produc un procent mai mare de ioni dect celelalte tehnici (60% sau 80%
ioni pe lng 1% sau 5%), iar ionii au un nivel energetic mult mai nalt dect cei produi prin pulverizare
sau alte tehnici de evaporare (50-150 eV fa de 1-4 eV). Beneficiul acestei energii mai mari este un
control sporit asupra structurii cristalografice a acoperirii i
o adeziune mai mare.
La procesele PVD, operaiile de pregtire i curire a sculelor sunt similare cu cele de la CVD.
Datorit faptului c temperatura procesului PVD este mai mic, adeziunea acoperirii depinde n
mare msur de curirea suprafeei.

Fig.2.3. Procesul de evaporare la acoperiri PVD

b.

Acoperirea suprafeelor cu nitrur de titan prin procesul PVD

Depunerea unor straturi subiri de TiN, ultradure, pe piese n general i pe sculele achietoare n
special, i gsete explicaia n creterea rezistenei la uzur. Reducerea uzurii sculelor este important
att pentru meninerea calitii produciei ct i pentru atingerea unor productiviti nalte.
Acoperirile ceramice a sculelor cu TiN au fost folosite nc din 1960. Aceste acoperiri au fost
realizate prin procedeul de depunere chimic de vapori (CVD). Acoperirile prin CVD prezint
dezavantaje n cazul sculelor din oeluri rapide. CVD are loc la temperaturi ntre 850-11000C i de aceea
nu poate fi folosit fr s produc deformaii, nmuieri sau fr s ridice
probleme de tratament termic dup depunere.
Dezvoltarea depunerilor fizice de vapori (PVD) a permis depunerea unor straturi pure de ceramici
dure pe sculele achietoare la temperaturi sub temperatura de normalizare. Cel mai bun material de depus
pentru temperaturi sau schimbri msurabile de volum.
Nitrura de titan, cnd este depus prin PVD, are urmtoarele proprieti:
a) duritate mare (2500-3000 HV) n comparaie cu oelurile rapide;
b) rezistena bun la abaraziune i coeficient redus de frecare;

c) rezisten mare la coroziune i proprieti chimice stabile la temperaturi mari;

d) solubilitate mic n oel chiar sub 13500C;
e) conductibilitate termic mare i temperatur de topire nalt (29500C) comparativ cu oelurile rapide
(1250-13000C).
TiN are o structur cubic cu fee centrate de tipul NaCl n care Ti ocup poziia atomilor de
clor. Parametrul reelei, compoziia i duritatea variaz n funcie de temperatura i tehnica utilizat n
producerea compusului.
Depunerile inerte reduc uzura prin adeziune prin micorarea lungimii zonei de contact
dintre scul i achie, scznd astfel temperatura sculei i gradul de deformare plastic superficial.
Uzura abraziv este redus ca urmare a duritii nalte a stratului depus i a micorrii
temperaturii acestuia.Procesul are loc ntr-o incint vidat, prin reacia vaporilor de titan n plasm sau
descrcri luminiscente.
Procedeul a rezultat prin pulverizarea ionic i sistemul diod DC (fig.2.4). Acest procedeu a
fost folosit pentru depunerea straturilor metalice. Pentru depunerea unor straturi i adeziuni superioare
este necesar creterea ionizrii materialelor evaporate. S-au dezvoltat astfel sistemele BARE (.Based
Activated Reaction Evaporation.) i sistemul triod (fig.2.5).

Fig.2.4. Sistemul DC

i.

Fig.2.5. Sistemul BARE

Acoperirea suprafeelor cu nitrur de titan

Procesul de depunere fizic de vapori (PVD) are urmtoarele faze:

1) Curirea prin pulverizare. Sculele i piesele curate n prealabil sunt introduse ntr-o incint
care este apoi vidat. Se introduce un flux controlat de argon i se aplic un potenial negativ
sculelor care s induc o descrcare luminiscent sau plasm. Ionii pozitivi de argon generai
astfel se ciocnesc cu sculele ncrcate negativ. Acest bombardament cu ioni cur i activeaz
suprafaa.

2) Curirea prin pulverizare i nclzire. Cnd este necesar curirea ionic este continuat
pn ce sculele sunt nclzite la 3500C. Prin aceasta se realizeaz un grad nalt de curire i o
adeziune bun.
3) Depunerea. Titanul, aezat n partea inferioar a incintei, se evapor cu ajutorul unui
bombardament cu electronii produi de un tun electronic. Se introduce un flux controlat de azot
n ncpere. Vaporii de titan i azot sunt ionizai. Deoarece piesele sunt meninute la un potenial
negativ ele atrag ionii pozitivi de titan i azot, pe suprafaa lor formndu-se un strat cu o putere
de adeziune excelent.
Acest procedeu ridic dou grupe de probleme: legate de proces i de materialul pe care se face
depunerea. n primul caz de adeziune e singurul factor mai important. De aceea au aprut tehnici noi care
s asigure un grad nalt de curenie i sensibilitate a suprafeei pe care urmeaz s se fac depunerea.
Acolo unde apar eecuri premature ale pieselor acoperite, acestea sunt rezultatele substratului
suport inadecvat depunerilor. Dac piesa eueaz prin deformare plastic superfical atunci adugarea
unei depuneri nu i vor mbunti durata de funcionare. n acest condiii substratul va .zbura. dnd
natere unor crpturi i deci impresia vizual poate fi aceea c uzura este
motivul eecului.
La o examinare mai atent se observ o deformare plastic a substratului suprafeei. n aceste
cazuri se sugereaz examinarea prealabil a tipurilor de materiale, a condiiilor de tratare i chiar a
formei piesei. Acoperirea sculelor cu TiN a determinat creterea cu 300-800% a durabilitii acestora.
Acoperirile asigur un numr mai mare de piese/ascuire i viteze de achiere mai mari.

c.

Instalaii pentru acoperiri CVD i PVD

Bazat pe pulverizarea catodic tip magnetron n atmosfer reactiv, instalaiile de depunere se

remarc prin uniformitatea depunerii, cicluri rapide de lucru i uurina n exploatare.
Instalaiile sunt utilizate pentru acoperirea n flux tehnologic a sculelor cu nitrur de titan,
carbur de titan, nitrur de aluminiu, aliaje stelite. CoCrAl(M) etc.
Schema bloc a unei instalaii se prezint n figura 2.6.

O instalaie pentru acoperiri CVD i PVD se compune din:

1. Camera tehnologic (1) cu urmtoarele dotri:
- magnetroane;
- ferestre de vizitare;
- suport port-piese rotativ, cu vitez variabil;
- alimentare electric a suportului port-piese (0-3 kV);
- control n infrarou a arjei;
- control automat al debitului pentru trei gaze de lucru;
- vitez variabil automat a grupului de vid;
- bucl de reglaj automat a presiunii;
2. Alimentarea electric:
- o surs de nalt tensiune (0-3 kV, 300 mA);
- surse individuale de alimentare cu curent continuu a
magnetroanelor (0-600 V minim, 10 kW fiecare;
3. Sistem de vidare:
- agregat de vid cu pomp de difuzie i capcan cu azot lichid;
- control automat centralizat al ciclului de vidare . admise aer cu
presiunea final de minim 5 x 10-5 torri.
Camera tehnologic a instalaiei este o incint cilindric vertical din oel inoxidabil austenitic
cu perei dubli rcii cu ap i cu trei electrozi de pulverizare de tipul magnetron rectangular, montai
de-a lungul pereilor incintei. Un suport port-scule rotativ este montat n axul camerei. Aceast simetrie
cilindric aproape perfect face ca toate sculele din arj s se afle n condiii identice de depunere
pentru asigurarea unor grosimi uniforme i de calitate foarte bun.
Cele trei magnetroane lucrnd la putere mare, ntr-un spaiu restrns, creaz efectul de ionizare
mutual, conducnd la un grad ridicat de densitate a plasmei i o stabilitate crescut la presiuni sczute
de lucru. Aceti doi factori conduc la producerea de depuneri cu structur intern excelent, aderena
crescut, uniformitate, bun rezisten la uzur i aspect atractiv

(galben-auriu).
Sistemul face posibil acoperirea unei mari cantiti de scule, practic putnd fi utilizat ntregul
volum al incintei. Volumul redus al camerei de reacie combinat cu un grup de vidare de mare vitez
conduce la reducerea ciclului de lucru. Automatizarea ciclului de producie determin o bun
reproductibilitate a tehnologiilor. Prin adaptarea sistemului de prindere pot fi
acoperite i alte repere cum ar fi: broe, matrie, boluri, angrenaje etc.
Duritatea obinut este de 2400-2500 HV (pentru TiN).

Bibliografie:

1. Tehnologii de procesare a suprafeelor - Doru Bardac,Constantin Rnea, Dragos

Paraschiv-Iasi: Junimea, 2005
2. www.scribd.ro
3. Bdru, E. . Fizica descrcrii n gaze, Bucureti, Editura Didactic i Pedagogic, 1992
4. Bonetti, R. . Acoperiri dure pentru mrirea duratei de utilizare a sculelor obinut prin depunere
chimic de vapori, n: Metal Progress, SUA, 119, nr.7, ian.1981.