Specializarea: Inginerie Medical

Microscopia electronica de
baleiaj cu dispersie dup
energie
SEM-EDS

Studente:
Bucur Mihaela
Gheorghe Aura-Andreea
Moroanu Roxana-Mdlina

-2015-

Cuprins
Cuprins---------------------------------------------------------------------------------2
1.1. Introducere---------------------------------------------------------------------3
1.2. Scurt istoric al microscopiei electronice--------------------------------4
1.3. Principii fizice ale microscopiei electronice de baleiaj-------------5
1.4. Principii tehnice ale microscopiei electronice de baleiaj----------6
1.5. Spectrometrul cu dispersie dup energie-EDS-----------------------9
1.5.1. Moduri de lucru ale EDS------------------------------------------------------11

2. Bibliografie----------------------------------------------------------------------12

1.1. Introducere
Ochiul uman este un instrument minunat i perfect, mai presus de orice instrument pe
care omul l-a proiectat i construit. Natura fizic care ne nconjoar este nregistrat de creier
prin acest senzor optic extraordinar i, datorit acestei conexiuni, putem cunoate contient
universul ambiant. Dei fascinante i complexe, datele furnizate de vederea uman nu satisfac n
totalitate curiozitatea i dorina de cunoatere. ntr-adevr n secolul al XX-lea investigaia a
condus la dou direcii contrare: studiul universului extraterestru ( macrocosmosul) i explorarea
microcosmosului materiei.
Pn la inventarea microscopului electronic, n anii 30 ai secolului trecut, generaii ntregi
de cercettori au putut utiliza doar mrirea oferit de lupe i microscoape optice.
Dezvoltarea rapid ntre anii 1940-1960 a microscopiei electronice a permis depirea
limitelor de mrire i rezoluie ale microscopiei optice, permind observarea direct la nivelul
molecular i chiar atomic. n urmtorul sfert de secol s-a acumulat o enorm cantitate de date i
de observaii tiinifice, obinute prin aceast tehnic, care au condus la o cunoatere mai
profund a structurii materiei.
Microscoapele electronice sunt instrumente utilizate pentru obinerea unor imagini mrite
ale probelor investigate, care folosesc un fascicul de electroni, permind astfel examinarea unor
obiecte foarte mici. Examinarea probelor utiliznd aceast metod permite captarea unor
informaii privind:
morfologia suprafeelor analizate - caracteristicile suprafeelor obiectelor sau,
altfel spus, detalii privind textura acestora, legtura dintre caracteristicile i
proprietile materialelor (ductilitatea, rezistena, reactivitatea, etc.);
compoziia chimic a probelor - date privind elementele, compuii i fazele din
care sunt alctuite, dar i a proporiei cantitative;
structura cristalin - distribuia atomilor n cristal; corelaia direct ntre
aranjamentele atomilor n reeaua cristain i proprietile materialelor
( conductivitate, proprieti electrice, rzisten, etc.);
Fa de alte tipuri de microscoape, cele de baleiaj ofer cteva avantaje semnificative,
prin cteva detalii fundamentale privind performanele. Cel mai important avantaj conferit de
SEM ar fi rezoluia acestuia, avnd posibilitatea de a investiga elementele de suprafa extrem
de mici. Posibilitatea de a alege ce nivel al suprafeei probei investigate, de la nlimi diferite,
rmne focalizat (profunzimea cmpului de focalizare), reprezint un alt avantaj important oferit
de SEM; microanaliza este de asemenea o obiune pe care microscoapele de baleaj o nglobeaz,
oferindu-ne posibilitatea de a afla compoziia chimic a suprafeelor investigate.

1.2. Scurt istoric al microscopiei electronice

Necesitatea evidenierii structurii intime a corpului solid sau a structurii esuturilor
biologice a condus la ideea nlocuirii luminii, utilizate n microscopia optic, cu fascicule
electronice care permit mbuntirea puterii de rezoluie cu circa cinci ordine de mrime.
Apariia i dezvoltarea microscopiei electronice a fost precedat de o lung perioad de
concepie n care o serie de idei i descoperiri fundamentale au jucat un rol esenial.
Din punct de vedere istoric, prima idee o constituie analogia optomecanic a lui W.
Hamilton care a observat o similitudine perfect ntre ecuaiile mecanicii pentru particulele n
micare i ecuaiile opticii geometrice pentru radiaiile luminoase.
Pe cale matematic s-a demonstrat c o particul, sub aciunea unui cmp de fore,
descrie traiectorii similare cu cele ale radiaiilor luminoase n medii cu indice de refracie
variabil. Cazul absenei cmpului de fore echivaleaz n optic cu un mediu omogen cu indice
de refracie constant, n care traiectoriile particulelor sunt de tip linear.
Comportarea similar a particulelor i a radiaiilor de lumin a condus la ntrebarea
fundamental: lumina este constituit din particule sau din unde? n istoria fizicii a urmat o etap
lung de experimentri i dezvoltri teoretice, pentru a se putea rspunde la aceast ntrebare i
pentru a pune bazele utilizrii electronilor n microscopie.
Studiul descrcrilor n gaze a evideniat faptul c fluxuri de particule ncrcate pot fi
deviate sau concentrate prin focalizare n cmpuri electrostatice sau magnetice. A fost dovedit
existena electronilor de ctre J. J. Thomson (1897), iar R. Millikan a msurat sarcina specific
elementar asociat acestora.
Reprezentarea cuantei luminoase (numit ulterior foton) sub forma unui pachet de unde
electromagnetice, introdus de A. Einstein la nceputul secolului XX, a conferit luminii un
caracter hibrid de und i particul. Prin analogie, n 1923, L. de Broglie a emis ipoteza c
electronilor li se pot asocia unde, ceea ce implic posibilitatea ca aceste unde s se poat difracta
sau focaliza.
Aceste dificulti tehnice au fost nvinse n iunie 1931 de ctre E. Knoll i E. Ruska,
cercettori la un institut berlinez, celui din urm fiindu-i decernat n 1986 premiul Nobel pentru
fizic, alturi de ali doi fizicieni. Cei doi cercettori au construit primul microscop electronic
experimental, care putea realiza o mrire de doar aproximativ 17 ori.
n 1935, E. Knoll a sugerat c se poate construi un tip diferit de microscop electronic n
care un fascicul de electroni focalizai s baleieze pe o suprafa, determinnd apariia unui
current de electroni emii, care ar putea fi nregistrat. Construirea practic a acestui prim tip de
microscop electronic de baleiaj se datoreaz fizicienilor E. Knoll i Manfred von Ardenne. Acest
instrument utiliza dou lentile magnetice (condensoare i obiectiv) i permitea studiul unor
straturi subiri. Aparatul respectiv poate fi considerat ca fiind prototipul rudimentar al
microscopului electronic de transmisie cu baleiaj, care va fi perfecionat dupa 1970.
Evoluia microscopiei electronice cu baleiaj a luat startul mai tarziu, dar a mers n parallel
cu cea a microscopiei electronice de transmisie, folosind principii asemntoare. Astfel, in 1942,

la RCA Laboratories (S.U.A.), Vladimir Zworykin mpreun cu J. Hilllier i L.L. Snyder,

realizeaz un microscop de baleiaj cu o rezoluie de 500 .

1.3. Principii fizice ale microscopiei electronice de baleiaj

O seciune transversal printr-un microscop electronic modern relev urmatoarele
elemente constructive: coloana electrono-optic, sistemul de vidare, sistemele de detecie,
prelucrare, procesare i redare a informaiei i blocul de alimentare cu energie a tuturor
componentelor.
Coloana electrono-optic se compune din tunul de electroni, lentilele condensatoare i
lentila obiectiv.
Principial, construcia unui microscop electronic este ntr-o oarecare msur analog
construciei proiectorului optic obinuit. Prile principale, comune celor dou instrumente, sunt
urmtoarele: sursa (de iluminare la microscopul optic, de electroni la microscopul electronic),
lentila condensatoare (sau condensatorul), obiectul de studiat, lentila proiectoare i sistemul de
vizualizare i nregistrare a informaiei.
Condensatorul are rolul de a focalize fasciculul de electroni pe prob, asigurnd un
paralelism ct mai bun al radiaiilor cu axa optic. Obiectivul formeaz imaginea primar,
mrit, a obiectului; aceasta este preluat de lentila proiector care o mrete mai mult, pentru
observarea pe ecranul instrumentului.
Tunul de electroni are rolul de a genera fasciculul de electroni. n interiorul tunului de
electroni un cmp electrostatic dirijeaz electronii emisi de o poriune foarte mic a suprafeei
unui filament, printr-o diafragm foarte ngust. Dup aceea, tunul accelereaz electronii prin
coloan spre prob, cu energii cuprinse ntre cteva zeci si zeci de mii de electrovoli.
Fasciculul de electroni, emis de tunul electronic, care bombardeaz suprafaa probei, este
compus din electroni monocinetici i poart numele de fascicul incident sau primar. El poate fi
supus unei tensiuni de accelerare de la 100 V pn la 40.000 de V, n funcie de tipul de
microscop folosit.
n momentul de fa sunt utilizate cteva tipuri de tunuri de electroni: cu wolfram, cu
hexaborur de lantan (LaB6) i cu emisie de cmp. Constructiv, sunt utilizate materiale i
principicii fizice diferite pentru obinerea tunurilor de electroni, dar au ca scop comun generarea
unui fascicul de electroni direcionat, avnd curent stabil i diametru ct mai mic posibil.
Electronii parcurg tunul ca un fascicul divergent. O serie de lentile electromagnetice i de
diafragme din coloan reconverg i focalizeaz fasciculul ntr-o imagine micorat. Aproape de
zona de jos a coloanei exist cteva bobine de scanare n rastere, care deflecteaz fasciculul de
electroni ntr-o gril de baleiere pe suprafaa probei. Lentila final focalizeaz fasciculul ntr-o
arie cu o dimensiune ct mai mic pe suprafaa probei.

Figura. 1.: Reprezentarea schematic a microscopului electronic de baleiaj

Dup parcurgerea coloanei de electroni, fasciculul ajunge n camera probei. Aceasta
ncorporeaz dispozitivul de manevrare a probei, o u pentru introducerea sau extragerea
eantionului analizat i cteva dispozitive pentru montarea detectorilor de semnale sau a altor
accesorii. n momentul interaciei fasciculului de electroni cu suprafaa probei rezult o serie de
semnale, care dup ce sunt detectate, amplificate i procesate permit obinerea unor informaii
privind morfologia, structura i compoziia probelor.
Mrimea semnalelor obinute, depinde de trei factori: grosimea probei investigate,
compoziia chimic a acesteia i tensiunea de accelerare a electronilor.

1.4. Principii tehnice ale microscopiei electronice de

baleiaj
n microscopul electronic de baleiaj, fasciculul de electroni, produs de tunul de electroni, este
micorat la maximum prin intermediul a dou sau trei lentile electromagnetice, urmrindu-se
astfel obinerea unui fascicul extrem de ngust, care este proiectat pe suprafaa probei. Cu
ajutorul a dou bobine de baleiaj, plasate n interiorul ultimei lentile electromagnetice,
activate de un curent produs de un generator de baleiaj, fasciculul primar de electroni astfel
focalizat, este determinat s efectueze o micare zig-zag (raster), linie cu linie, a unei zone
rectangulare de pe suprafaa probei, realizndu-se un fel de mturare a acesteia.
Baleierea se poate realiza prin dou metode:
deviaia fasciculului de electroni cu ajutorul unor cmpuri electrostatice sau electromagnetice
variabile pe dou direcii reciproc perpendiculare;
prin deplasarea mecanic a probei n fasciculul electronic meninut fix.

Generatorul de baleiaj trimite un curent n form de dinte de fierstru n bobinele de

deflexie ale microscopului, n vederea producerii micrii de baleiere a fasciculului pe suprafaa
probei. Fiecare punct scanat pe suprafaa probei va corespunde unui punct din imaginea final.

Figura 2.: Formarea imaginii n microscopul electronic de baleiaj

Funcionarea unui microscop electronic de baleiaj se bazeaz pe cteva etape:
formarea i accelerarea unui fascicul de electroni;
fasciculul de electroni este delimitat i concentrat folosind diafragmele metalice i lentilele
condensatoare;
utiliznd lentila obiectiv (final), fasciculul este focalizat pe suprafaa probei;
interaciile generate n interiorul probei bombardate genereaz semnale care sunt identificate i
transformate ntr-o imagine sau n date privind coninutul sau concentraia elementelor din prob.
Din punct de vedere constructiv, sistemul electrono-optic este constituit din coloana
microscopului, camera de lucru n care se monteaz proba i sistemul de detectori.
Coloana microscoapelor electronice de baleiaj nu depete 80 cm n nlime i este
aezat de obicei pe aceeai mas pe care se afl sistemul de operare i afiaj, sau este fixat pe
un suport separat n raport cu panoul de operare. n partea superioar a coloanei se afl tunul
electronic. Aproape la toate microscoapele de baleiaj se utilizeaz tunurile triod cu termocatod
de wolfram.

Tensiunea de accelerare aplicat la tun nu depete 40.000 V i se aplic n trepte de la 100 V n

sus, n funcie de proba examinat. Fasciculul de electroni accelerai are la ieirea din cilindrul
Wehnelt un diametru cuprins ntre 250.000 i 500.000 .
n partea interioar a coloanei se afl camera probei i detectorii pentru semnalele emise de ctre
prob. n interior, camera propriu-zis este circular, cu diametrul i nlimea variabile, n
funcie de instrument.

Figura 3.: Camera probei i dispozitivul de fixare a probelor n interiorul camerei de lucru
Suportul pentru probe este format dintr-o msu pe care se pot fixa preparate, cu diametrul de
pn la 50 mm i nlimea de 10-20 mm, sau chiar mai mari. Suportul este mobil, astfel c
preparatul poate fi rotit i nclinat sub diferite unghiuri, pentru a fi expus fasciculului de
electroni.
De asemenea, el poate fi adus pn la 5 mm distan de lentila final, n special pentru obinerea
unor imagini de nalt rezoluie.
Sistemul de detector reprezint partea cea mai important a microscoapelor de baleiaj, care
permit funcionarea instrumentelor n unul sau mai multe moduri de operare. Sistemul de baz,
din dotarea standard a microscoapelor, este format din detectorul pentru electroni secundari i
detectorul de electroni retrodifuzai.

Figura 4.: Modaliti de pregtire a preparatelor biologice n vederea examinrii cu ajutorul

microscopiei electronice de baleiaj

1.5. Spectrometrul cu dispersie dup energie-EDS

Tehnologia de construcie a spectrometrelor cu dispersie dup energie (EDAX), a fost
dezvoltat ntre sfritul anilor 1960 i pn la mijlocul anilor 1970. Aceste intrumente, fiind
rezultatul direct al dezvoltrii tehnologiilor de fabricare a materialelor semiconductoare, sunt
compacte, stabile, robuste, uor de folosit i permit o interpretare rapid a rezultatelor.
Un spectrometru cu dispersie dup energii este constituit din trei pri principale:
detectorul, electronica de procesare a semnalelor i analizorul multicanal (MCA). Cele trei
componente sunt controlate de un calculator. n primul rnd, n momentul pornirii instalaiei,
computerul controleaz dac detectorul este pornit sau oprit. n al doilea rnd, computerul
controleaz procesarea electronic, stabilete timpul necesar achiziionrii i analizrii
semnalelor de radiaii X i stocheaz semnalele n canalele corecte din MCA. n al treilea rnd,
programul calculatorului controleaz etalonarea spectrului afiat pe monitorul MCA i datele alfa
numerice privind condiiile n care a fost achiziionat spectrul. Orice dat procesat este redat
prin intermediul calculatorului.
Pe scurt, EDAX-ul are urmtoarele funcii:
detectorul genereaz un puls de sarcin, proporional cu energia radiaiilor caracteristice;
acest puls este convertit n tensiune electric;

semnalul este amplificat direct de ctre un tranzistor cu efect de cmp (FET), izolat fa
de un alt puls, amplificat din nou, apoi identificat electronic;
n final, semnalul digitalizat este stocat ntr-un canal destinat acestei energii din MCA.

Figura 5.: Spectrometru EDS

Un analizor EDAX detecteaz radiaiile X i le separ ntr-un spectru dup energia lor, de
unde i denumirea de spectrometru dup energii.
Utiliznd un sistem EDS, toate energiile radiaiilor X caracteristice incidente pe detector
sunt msurate simultan, iar achiizionarea datelor este prin urmare foarte rapid de la un capt la
altul al ntregului spectru.
n ceea ce privete rezoluia detectorului EDS, pot aprea situaii complexe, deoarece
apare posibilitatea suprapunerii vrfurilor cu energii apropiate, care pot ngreuna serios analiza.
Multe dintre suprapuneri pot fi separate prin calcularea deconvoluiei vrfurilor, dar pot aprea i
probleme mai dificile, n cazul n care unele dintre elementele care pot genera suprapuneri se
gsesc numai n cantiti foarte mici n compoziia probei.
Cele mai des ntlnite suprapuneri de vrfuri n microanaliza EDS sunt:
Na K-Zn L
Nb L-Hg M
Si L-W M-Ta M-Rb L
Al K-BrL

Pentru examinarea unei probe necunoscute, n practic, este avantajos s se

utilizeze viteza de achiziie a datelor atins de sistemele EDS, deoarece elementele principale vor
fi identificate rapid. Oricum, dac sunt prezente doar urme ale unor elemente chimice, exist
posibilitatea ca acestea s nu fie identificate, ceea ce face i mai dificil interpretarea apariiei
unor suprapuneri ale vrfurilor.

1.5.1. Moduri de lucru ale EDS

Spectrometrele EDS pot fi programate s analizeze cteva elemente de interes punct cu
punct, n timpul scanrii probei cu fasciculul de electroni existnd posibilitatea obinerii unor
rezultate compoziionale calitative i cantitative dintr-un singur punct de pe suprafa, de pe o
direcie selectat (profil liniar), sau distribuii ale elementelor pe ntreaga suprafa analizat.

Figura 6. Profilul liniei K pentru cupru, la

interfaa matricei neferoase cu o particular de
ranforsare

Figura 7.: Distribuia elementelor Fe, C, Zr i

Si pe suprafaa unei incluziuni ntr-o font

2. Bibliografie
Microscopie electronic de baleiaj i aplicaii-- Editura Agir, Autori: Dionezie Bojin,
Marian Miculescu, Florin Miculescu, Daniel Bunea, BUCURETI 2005