CAPITOLUL 4

TRADUCTOARE CU ULTRASUNETE

Ultrasunetele, ca i sunetele, sunt oscilaii elastice datorit vibraiilor mecanice ale

particulelor mediului, n jurul unor poziii de echilibru.
Domeniul de frecven al ultrasunetelor este 16 kHz ... 100 GHz.
n gaze i lichide se propag un singur tip de unde elastice, undele longitudinale.
Acestea se gsesc i n solide mai mari dect lungimea de und a oscilaiilor elastice.
Generatoarele i receptoarele de ultrasunete se bazeaz pe efectul
piezoelectric i efectul piezomagnetic.
Dielectricii formai din dipoli permaneni care nu au centru de simetrie (substanele
feroelectrice) au efect piezoelectric direct. Dac un astfel de cristal este supus unei
deformri elastice de ntindere, compresiune sau torsiune, dipolii se rotesc i cristalul
se polarizeaz. Pe feele opuse ale cristalului apar sarcini legate care creeaz un
cmp electric i o diferen de potenial ntre aceste fee. Mrimea polarizrii e
proporional cu deformaia mecanic. La schimbarea sensului deformaiei, se
schimb i semnul polarizrii. Cristalele piezoelectrice sunt cristale naturale (cuar,
sare Seignette - tartrat dublu de Na i K) i cristale artificiale (metatitanatul de Ba).
Efectul piezoelectric invers apare dac se aplic o diferen de potenial cristalului.
Ca urmare a rotirii dipolilor, apare o deformaie de ntindere, comprimare sau
torsiune. Cristalele se taie astfel nct cmpul electric i deformaia s fie reciproc
perpendiculare (efect piezoelectric transversal) sau cmpul electric i deformaia s
fie paralele (efect piezoelectric longitudinal).

Efectul piezoelectric invers nu trebuie confundat cu fenomenul de

electrostriciune, care apare la dielectricii cu legturi ionice (ex. NaCl).
Reelele ionilor pozitivi i ale celor negativi din dielectric se deplaseaz n
direcii opuse, producnd o deformare. Datorit deplasrii reciproce a
particulelor electrice de semne contrare, electrostriciunea, spre deosebire
de efectul piezoelectric, nu depinde de sensul cmpului aplicat: deformaia
prin electrostriciune depinde ptratic de cmp, n timp ce efectul
piezoelectric depinde liniar de cmp.
Efectul magnetostrictiv este deformarea unui material feromagnetic sub
aciunea cmpului magnetic, independent de sensul acestuia i depinznd
doar de mrimea cmpului i de natura materialului. Efectul este reversibil.
Materiale magnetostrictive:
metale feromagnetice (Ni, Co, Fe) i
aliaje ale acestora: permendur (75 % Co, 25 % Fe),
alifer (13 % Al, 87 % Fe),
hipert (50 % Ni, 50 % Fe),
permalloy (40 % Ni, 60 % Fe),
unele ferite.
Proprietile piezoelectrice i piezomagnetice dispar cnd materialele
respective sunt nclzite peste temperatura Curie a acestora.

Tehnici de defectoscopie ultrasonor

1. Metoda vizualizrii
Imaginea obinut prin analiza obiectului cu ultrasunete se transform n imagine
optic; dup strbaterea obiectului, fasciculul ultrasonic nu mai are intensitate
uniform n toate punctele i se folosete un convertor acustico-optic pentru a obine
zone luminoase sau ntunecate.
Convertorul acustico-optic se bazeaz pe unul din urmtoarele efecte:
- reliefarea suprafeei unui lichid sub aciunea presiunii ultrasonice i a gravitaiei,
- modificarea indicelui de refracie a luminii n lichidele supuse ultrasunetelor,
- orientarea unor suspensii metalice n lichide, datorit ultrasunetelor i examinarea
acestor orientri la iluminare oblic.
2. Metoda rezonanei ultrasonice - formarea undelor staionare, n cazul existenei unui
raport ntre lungimea de und a fasciculului ultrasonor i grosimea piesei examinate.
3. Metoda umbrei - analogia dintre propagarea ultrasunetelor n spatele unui defect i
propagarea luminii n spatele unui corp opac.
4. Metoda impulsului reflectat.
Ultrasunetele emise sunt trenuri de oscilaii, a cror propagare n material poate fi
urmrit cu precizie.
Emitorul i receptorul de ultrasunete se fixeaz de o parte i de alta a piesei
examinate sau ambele pe aceeai parte.

Traductoare semiconductoare cu ultrasunete

Unde ultrasonore n materiale solide

Viteza sczut comparativ cu viteza undelor electromagnetice.

viteza ultrasunetelor n solide este de 1,5.105 ... 12.105 cm/s iar
viteza ultrasunetelor la senzorii cu unde ultrasonore de suprafa (SAW Surface
Acoustic Waves) este 3,8.105 ... 4,2.105 cm/s.
Se observ c viteza ultrasunetelor este cu cinci ordine de mrime mai mic dect
viteza undelor electromagnetice, rezultnd astfel senzori de dimensiuni foarte mici.
Frecvena senzorilor cu unde ultrasonore de suprafa este aprox. 5 GHz, au
suprafee de civa mm2, sunt fabricai monolitic pe acelai substrat mpreun cu
circuitele electronice necesare.
Undele elastice care se propag n materiale solide sunt de patru tipuri:
- unde longitudinale de volum, cu viteza de faz v = 4000 12000 m/s,
- unde transversale de volum, v = 2000 ... 6000 m/s,
- unde de suprafa (Rayleigh), v = 2000 6000 m/s i
- unde plate (Lamb) n dou variante:
simetrice, v = 2000 ... 12000 m/s i
antisimetrice, v = 100 ... 4000m/s.

Senzori semiconductori cu ultrasunete

Senzori microelectromecanici cu US din materiale semiconductoare:
- cu torsionarea grosimii (TSM - thickness shear mode), fig. a,
- cu unde ultrasonore de suprafa (SAW), fig. b,
- cu unde plate de flexiune (FPW- flexural plate waves), fig. c,
- cu mod plat ultrasonor (APM - acoustic plate mode) i tip suprafa de microtobe, fig. d.
La senzorii cu torsionarea grosimii, frecvena de rezonan depinde de numrul de
molecule absorbite n stratul activ de deasupra.
La senzorii cu mod plat ultrasonor, undele sar cu un unghi ascuit ntre planele vecine
ale plcii. Constructiv, arat la fel ca senzorii SAW.

Senzori cu unde ultrasonore de suprafa (SAW)

Obinui prin fotolitografie, pe straturi subiri piezoelectrice depuse pe materiale

semiconductoare (ZnO pe Si sau AlN pe GaAs).
Au form de linii de ntrziere, filtre, spirale, rezonatoare, oscilatoare, senzori de
gaze, acceleraie, presiune, etc.
Materiale piezoelectrice folosite pentru senzorii SAW sunt:
cuar cristalin SiO2,
cristal feroelectric artificial i
straturi subiri de ZnO - latura = 2,5 mm, produc ultrasunete n gama 100...500 MHz.
Deplasarea particulelor aproape de suprafaa unui solid prin care se propag o und
Rayleigh de suprafa are dou componente:
- una longitudinal (nainte i napoi, paralel cu suprafaa) i
- una vertical de torsiune (n sus i n jos).
Suprapunerea celor dou componente determin traiectorii eliptice ale particulelor
suprafeei, n jurul poziiilor de echilibru.
Undele de suprafa au cea mai mare parte a energiei localizat n una sau dou
lungimi de und, care permite o interaciune puternic cu mediul adiacent suprafeei.
Undele Rayleigh se genereaz uor, ntr-o varietate de substraturi piezoelectrice, cu
un senzor interdigitat (IDT, interdigitate transducer).
IDT este o ncrcare capacitiv pentru sursa de tensiune de radiofrecven i pentru
a mbunti transferul de putere este nevoie de o inductan serie de cuplaj.

Senzorii cu und ultrasonor de suprafa tip linie de ntrziere

Au cte un senzor interdigitat IDT la fiecare capt al substratului.

Un IDT acioneaz ca emitor, cellalt ca receptor al energiei ultrasonore. Unda
Rayleigh care se propag interacioneaz cu materia la suprafaa liniei de ntrziere
i modific caracteristicilor undelor (amplitudine, faz, vitez, coninut n armonici).
Senzorii IDT sunt bidirecionali, o cantitate mare de energie fiind reflectat de muchia
substratului de lng senzor. Aceasta provoac un efect cunoscut sub numele de
ecou de trecere tripl, ce se poate elimina prin aplicarea absorbanilor de energie
ultrasonor (ex. adeziv siliconic) la capetele liniei de ntrziere, sau prin tierea oblic
a capetelor, astfel ca undele ultrasonore s fie reflectate n afara axei.
Alt problem apare cnd o cantitate mic de energie a undei SAW este mprtiat
n substrat i convertit n unde ultrasonore de volum, care se reflect de suprafaa
de jos a substratului i interfer cu unda de suprafa de sus. Efectul se reduce prin
realizarea unor striaii sau se folosete material absorbant pe partea inferioar a
substratului, pentru a distruge coerena de faz a undelor ultrasonore de volum.
Senzorii cu unde SAW tip linie de ntrziere sunt folosii la monitorizarea variaiilor de
amplitudine sau variaiilor de vitez a undelor ultrasonore.
- msurrile de amplitudine: unda Rayleigh este excitat cu o surs de putere de
radiofrecven i se msoar puterea undelor ultrasonore la captul receptor al liniei
de ntrziere.
- msurrile de vitez: se fac indirect, cu o precizie mult mai bun dac se utilizeaz
linia de ntrziere ca element rezonant.

Schema de msurare a variaiilor de vitez pentru undele

ultrasonore, folosind linia de ntrziere.

Un amplificator de putere de RF este legat n bucl cu senzorul SAW tip linie de

ntrziere. Sistemul oscileaz pe frecvena de rezonan a IDT, oscilaiile avnd loc
doar cnd ctigul amplificatorului este mai mare dect pierderile liniei de ntrziere.
Frecvena de rezonan a traductorului se modific datorit variaiilor vitezei undelor
Rayleigh i se poate msura cu acuratee cu un frecvenmetru numeric.
Frecvenmetru
numeric

1H
50

1H
Acoperire
sensibila

50

ieire

Senzori cu unde ultrasonore plate de flexiune (FPW)

Pe o membran nepiezoelectric din Si mbogit i nitrat de Si se depune ZnO fig. c.

Dac grosimea membranei este mult mai mic dect lungimea de und, modul de
flexiune cu ordinul cel mai sczut se va propaga n membran cu o vitez de faz de
sute de m/s, mai mic dect viteza ultrasunetelor n majoritatea lichidelor (viteza
ultrasunetelor n ap la 25C este 1480 m/s).
Cnd membrana intr n contact cu un fluid nevscos ideal, unda de flexiune produce
doar o perturbaie n fluid la suprafaa membranei i nu radiaz energie din
membran n fluid.
Senzorii cu unde ultrasonore plate de flexiune (FPW) se folosesc n aplicaii:
- ca senzori gravimetrici (variaia masei datorit absorbiei unor vapori);
- ca senzori de vscozitate;
- ca senzori pentru microdebit;
- n micropompe, micromixere, etc.