6.

MICROPRELUCRAREA SILICIULUI MONOCRISTALIN

Solutiile constructive pentru senzorii si traductorii micromecanici [6.1; 6.2; 6.3] se deosebesc de cele
utilizate frecvent astazi.

Pentru ca motivul principal al micrometrizarii este acela al integrarii senzorilor in structuri comune cu
sistemele electronice de prelucrare a semnelor, unul dintre materialele cele mai utilizate pentru confectionarea
lor este siliciul monocristalin.

Analog cu prelucrarile mecanice care transforma semifabricatele in piese de diferite forme si profile, tot
asa microprelucrarea siliciului monocristalin permite obtinerea cavitatilor de diferite forme, a orificiilor
deschise, sau inchise de membrane plane/profilate, de elemente elastice - de tipul arcurilor lamelare sau al
arcurilor spirale plane duble etc.

Producerea acestor forme se bazeaza pe eroziune chimica umeda, selectiva, anizotropa si cu influentarea
formei prin dopaj controlat al materialului din care sunt confectionate [6.4; 6.5].

Selectivitatea si anizotropia sunt exploatate in procesul tehnologic de realizare a microstructurilor in

sensul ca pot fi "selectate" materialele straturilor de structurare si solutiile de atac, astfel incat actiunile sa fie
convergente sau divergente; pe baza anizotropiei recunoscute a materialelor cristaline poate fi accentuata sau
diminuata tendinta de corodare, prin orientarea corespunzatoare a cristalului.

6.1. Anizotropia

Anizotropia este copacitatea materialelor cristaline de a prezenta comportari sau proprietati fizice
diferite, functie de distributia preferintiala a atomilor sau moleculelor in spatiu.

93

In prccesul configurarii unei microstructuri prin eroziune chimica cu diferite substante, comportarea
materialului difera, putand oscila, teoretic, intre o izotropie si o anizotropie totale sau ideale.

Anizotropia poate fi exprimata printr-o relatie in care apare raportul dintre marimea corodarii pe directia
de actiune a substantei de corodare, care reprezinta adancimea corodarii -h si marimea corodarii pe directie
perpendiculara, care reprezinta atacul lateral, e:
A = 1 e/h

Figura 6.1 infatiseaza cele doua situatii ideale: cand A = 0, pentru corodarea total izotropa si A = 1,
pentru corodare total anizotropa.

In realitate orice proces de corodare este caracterizat de un anume grad de anizotropie,

0 < Areal < 1

93