Ministerul Educaiei al Republicii Moldova

Universitatea Tehnic a Moldovei

Facultatea de Inginerie i Management n Electronic i

Telecomunicaii

Catedra: Sisteme i Reele de Comunicaii Optoelectronice

Lucrare de control
Tema: Comutatori optici

La disciplina: Optoelectronica

A efectuat st.

A verificat lector superior:

Chiinu 2015
1
 Cuprins:

1. Introducere ....................................................................................................3

2. Noiune de comutator optic ...........................................................................4

2.1 Parametrii comutatoarelor optice..............................................................5

3. Tipurile comutatoarelor optice de baz...........................................................6

3.1 Comutatoare optice mecanice...................................................................7

3.2 Comutatoare electro-optice.......................................................................8

3.3 Comutatoare termo-optice........................................................................9

3.4 Comutatoare pe baz de SOA...................................................................9

3.5 Comutatoare AWS..................................................................................10

3.6 Comutatoare cu matrice de chei optoelectronice......................................12

3.7 Comutatoare cross. Principiul de realizare i arhitectura...........................13

3.8 Comutator optic digital realizat cu un cuplor n form de Y....................14

3.9 Comutator Optic cu Motor Pas cu Pas............................................................16

3.10 Comutatoare Optice Prism..16

3.11 Comutatoarele MEMS. Construcia i princiul de funcionare.........17

3.11.1 Structura MEMS a oglinzilor..............................................................18

3.11.2 Substratul oglinzii................................................................................19

3.11.3 Substratul electrodului de conducere..................................................20

3.11.4 Metode de fabricare. Substratul oglind electrod................................20

4. Concluzii................................................................................................................22

5. Bibliografie.............................................................................................................23

2
 1. Introducere

Actuala "er a tehnologiei" este rezultatul a numeroaselor invenii i descoperiri i

responsabil pentru aceast evoluie este nevoia iar apoi, capabilitatea noastr de a
transmite date i informaii prin variate modaliti. Pornind de la cablurile din fire de
cupru, ale secolului trecut, pn la cablurile din fibre optice, puterea noastr de a
transmite mai mult informaie, mai repede i peste mari distane, a mrit grani ele
dezvoltrii tehnologice din toate domeniile.

De la apariia laserelor cu divergen foarte mic, a aprut preocuparea pentru

transmiterea informaiei pe cale optic. ntr-un timp foarte scurt, de la transmiterea
direct prin atmosfer s-a trecut la transmisia prin ghiduri de und conductoare de
lumin, medii transparente, dielectrice, protejate - fibrele optice. n acest caz lumina
rmne concentrat ntr-un fir subire de sticl care constituie fibra optic.

Sistemele cu fibre optice de prim generaie puteau transmite lumina pe distane

de civa kilometri fr a utiliza repetoare, dar aveau o atenuare n fibr de circa 2
dB/km. Curnd apare cea de-a doua generaie, care folosea lasere InGaAsP ce
emiteau pe lungimea de und de 1,3 m, unde atenuarea era de 0,5 dB/km, iar
dispersia pulsului mai mic de 850 nm. Dezvoltarea primelor sisteme hardware
pentru cabluri transatlantice de fibr a demonstrat c fibrele monomod sunt cele mai
fiabile. Cnd s-a produs liberalizarea pieei telefoniei internaionale n 1980,
companiile au construit sisteme backbone naionale de fibr optic monomod cu
surse de lumin de 1300 nm. Aceast tehnologie s-a rspndit i n alte aplicaii de
telecomunicaii, i rmne standardul pentru cele mai multe sisteme de fibre optice.
Oricum, o nou generaie de fibre optice monomod se dezvolt i i gsete aplicaii
n sistemele care servesc un numr mare de utilizatori. Opereaz cu unde luminoase
de 1,55 m, unde atenuarea n fibr este de 0,1-0,2 dB/km, permind astfel distane
mai lungi ntre repetoare. Mai important, fibrele dopate cu erbium pot funciona ca
amplificatoare optice la aceast lungime de und, eliminnd necesitatea
regeneratoarelor electro-optice. Cablurile submarine pot opera la viteze de 5

3
Gbii/sec i pot fi upgradate de la viteze mai mari numai prin nlocuirea prii
electronice a terminalelor. Amplificatoarele optice sunt atractive i n cazul sistemelor
care trimit aceleai semnale la terminale multiple.

Progresele din acest domeniu sunt determinate de realizarea i perfecionarea

diodelor laser acordabile, a fibrelor optice cu pierderi de dispersie mici, a circuitelor
optice integrate de mare vitez a tehnologiilor de conectare i a modulatorilor externi.
S-a reuit c pe distane de zeci de km s se transmit informaii cu debite de peste 11
Gbii/sec, bidirecional pe dou fibre optice, sau pe o singur fibr folosind tehnica
multiplexrii i demultiplexrii prin lungime de und. Fibrele optice au nceput s fie
folosite i pentru transmisia programelor de TV prin cablu (CATV).

Utilizrile fibrelor monomod cu =1,3m i =1,7 m permite mrirea

distanelor ntre noduri la 40-50 km i se tinde spre sute de km, n loc de 2-10 km la
fibrele multimod.

Prin interconectarea reelelor FDDI (Fiber Distributed Data Interface),

LAN(Local Area Network) i MAN(Metropolitan Area Network) se va putea avea
acces la suporturi informaionale ale diferitelor uniti de calcul (mini,
microcalculatoare, PC-uri sau diferite tipuri de echipamente periferice).

2. Noiune de comutator optic.

Comutatorul este un element pasiv care posed unul sau mai multe porturi, ce
transmit sau redirecioneaz puterea optic n una din fibrele optice ale sistemului de
comunicare prin fibra optic.

Comutarea i procesarea datelor sunt realizate prin conversia unui semnal optic
napoi n forma sa electronic. Comutatoarele asigur un grad mare de flexibilitate
pentru funciile de comutare i de rutare. Conversia electro-optica dintr-un nod
intermediar n reea introduce o ntrziere suplimentar. Componentele de comutare
optic pot s inverseze limea mare de band a fluxurilor optice de date far o

4
conversie electro-optic. Pentru sistemele WDM se dezvolt comutatoare dependente
de lungimea de und.

2.1 Parametrii comutatoarelor optice.

Comutatoarele optice sunt caracterizate de doi parametri principali viteza de

comutare i capacitatea. Dupa viteza de comutare se cunosc patru tipuri de
comutatoare :

comutatoarele de vitez mic de comutare, mai mult de 1 mls sunt utilizai

pentru operaiile de configurare i reconfigurare automat a dispozitivelor, de
exemplu: reconfigurarea traficului de informaie pentru a ocoli un bloc ieit din
funciune, sau renoirea tabelelor de marrutizare. nsa pentru o reea mare este
nevoie de comutatoare de capacitate mare.

comutatoarele de vitez medie, aproximativ o microsecund, sunt utlizate

pentru rutarea sau marrutizarea n reele pentru comutarea traficului dintr-o
fibr n alta.

comutatoare de vitez mare o nanosecund, sunt utilizate pentru comutarea

fluxului de informaie, care necesit o comutare mai rapid dect timpul de
trecere a pachetului (42 de nanosecunde pentru o celula de 53 de bi i a unei
centrale telefonice automate la viteza de 10 Gigabii pe secund).

comutatoarele de vitez foarte mare o picosecund, sunt utilizate pentru

modularea fluxului luminos printr-un flux de date. Timpul de comutare n acest
caz trebuie s fie minimum cu un ordim mai mic dect durata unui interval de
bii (100 de picosecunde pentru un flux de 10 Gigabii ).

Capacitatea este numrul de canale comutate sau numrul de module standarte

de comutare (STM 1). Comutatorul optic 16x16 are capacitate mare chiar i n ciuda
faptului c nu este comparabil cu comutatoarele electronice cu capacitatea
2048x2048 canale.

5
 Comutatoarele mai au civa parametri secundari care sunt :

Atenuarea de trecere este raportul dintre puterea semnalului pe canalul

comutat i a puterii semnalelor pe restul ieirilor, care trebuie s fie ct mai mare.

Pierderile de polarizare este slbirea semnalului din cauza polarizrii sale,

care deasemenea trebuie s fie minime. Nivelul acestor pierderi depinde foarte mult
de amplasarea comutatorului n cadrul SCFO. Pentru a micora nivelul pierderilor la
polarizare este utilizat o fibr optic ce nu polarizeaz lumina.

Coeficientul de atenuare a semnalului comutat este raportul dintre puterea

semnalului la ieire n regim de deconectare i a puterii n regim conectat. El poate
varia de la 40-50 la 10-15 dB n dependen de tipul comutatorului.

3. Tipurile de comutatoare optice de baz.

n prezent se cunosc mai multe construcii de comutatoare optice. Acestea sunt

prezentate mai jos :

Comutatoare optice mecanice

Comutatoare electro-optice

Comutatoare termo-optice

Comutatoare optoelectronice pe baz SOA

Comutatoare AWS(Active Waveguide Switch )

Comutatoare cross

Comutatoare pe matrici cu cristale lichide a ghidurilor de und n multistrat

Comutatoare cu matrice de chei optoelectronice

6
 3.1 Comutatoare optice mecanice.

Acestea utilizeaz micarea mecanic a elementului care comuteaz fluxul

luminos de la portul de intrare la cel de ieire. Se cunosc trei tipuri de astfel de
comutatoare :

Comutatoare cu ghid de und care se rotete, avnd un anumit unghi de rotire

prestabilit pentru a comuta portul de intrare cu unul sau mai multe porturi de
ieire dispuse circular.

Comutatoare cu prism sau oglind rotitoare (plat sau sferic concav), care
are un unghi de rotire prestabilit pentru a ndrepta raza de lumin de la portul
de intrare la cel de ieire.

Comutatoare de tip stea sau arbore care funcioneaz pe baza focusrii fluxului
luminos pe unul din porturi din contul modificrii coeficientului de legtur
prin intermediul aciunii mecanice asupra ramificatorului n zona de comutare
optic (de exemplu: rsucire sau ntindere).

Comutatoarele optice mecanice (fig. 3.1.1) au unul sau doua intrri i n ieiri,
timpul de comutare al crora este de la 10-500 de milisecunde. Ca urmare ele sunt
utilizabile numai de sistemele de reconfigurare automat. Caracteristica principala a
acestor comutatoare sunt pierderile introduse foarte mici 0.5 dB i o atenuare de
trecere foarte mare pna la 80 dB. Capacitatea acestor comutatoare este de sute de
porturi de ieiri, de exemplu comutatoarele de tip FS-S, FS-M, FS-L, ale companiei
Fujikura care au de la 50 pna la 1600 porturi de ieire. nsa numarul porturilor de
intrare este maxim 2 nectnd la faptul c aceste comutatoare sunt practic perfecte n
construcia lor, utilizarea lor n sisteme mrete problematica nu numai din cauza
numrului mic de intrari ci i din cauza procesului complicat de dirjare a lor.

7
 Fig. 3.1.1 Comutatoare optice mecanice

3.2 Comutatoare electro-optice.

Acestea deasemenea utilizeaz ramificatoare orientate pentru focusarea fluxului

luminos pe unul din porturile de ieire din contul dirijarii cu coeficientul de legtur
nsa prin intermediul modificrii coeficientului de refracie al materialului
ramificatorului n regiunea de legatur optic. Un exemplu de astfel de comutator este
cel cu ghid de und din niobat de litiu (LiNbO3), coeficientul de refracie al cruia se
modific sub influena tensiunii aplicate la electrozii conectai la zona de legatur
optic. Comutatoarele optice au o vitez mare de comutare ntre 10 i 100
picosecunde nsa care este limitat de capacitatea parazidic a electrozilor i care pot
fi folosii n modulatoarele externe. Capacitatea acestui tip de comutatoare este mic
(2x2), dar ea poate fi mrit conectnd mai multe comutatoare mpreun. n afar de
aceasta comutatoarele electro-optice (fig. 3.2.1) introduc pierderi de polarizare destul
de mari.

Fig. 3.2.1 Comutator optic bazat pe efectul electro-optic

8
 3.3 Comutatoare termo-optice.

Aceste comutatoare sunt bazate pe modificarea coeficientului de refracie sub

influena temperaturii. n calitate de dispozitiv de comutare este folosit
interferometrul Mah-Zender (MZI), materialul ghidului de und al cruia i modific
coeficientul de refracie efectiv sub influena temperaturii i ca rezultat este
modificat i constanta de propagare a modei. Aceasta la rndul su induce
modificarea fazei ntre elementele de comutare ale interferometrului. De baza se scot
elementele de comutare cu capacitate de 2x2, care prin conectarea n cascada ntro
anumita ordine permite de a crea un comutator 8x8. Baza elementului principal o
constituie MZI construit din 2 reflectoare conectate n serie, legate ntre ele prin dou
ghiduri de und de diferit lungime pentru a crea o diferen de faz. Cnd diferena
de faz este egal cu a atunci este comutat canalul 1. Cnd diferenta de faz este
egal cu b atunci este comutat canalul 2. Originea termic a procesului de comutare i
d caracteristicilor dispozitivului caracter inerional. n afar de aceasta le induc
pierderi foarte mari i atenuare de trecere foarte mic. n fig. 3.3.1 este reprezentat un
model de comutator termo-optic.

Fig. 3.3.1 Comutatoare termo-optice

3.4 Comutatoare optoelectronice pe baz SOA.

Aceste comutatoare pot fi fabricate pe baza amplificatoarelor optice pe

semiconductoare (SOA), de exemplu al amplificatoarelor laser cu rezonator Fabri-
Perrot. Acest comutator are o viteza de comutare destul de nalta (1 ns). Pe baza lui n
componen cu alte elemente optice pasive, ramificatoare pot fi construite
9
comutatoare de capacitate mare. nsa costul nalt al SOA face aceast construcie
nerentabil n comparaie cu comutatoarele electro-optice de aceiai vitez.

3.5 Comutatoare AWS.

Sunt bazate pe dezvoltarea comutatoarelor electro-optice pe baza

amplificatoarelor optice semiconductoare. Ca rezultat au fost create scheme integrale
optoelectronice cu amplificatoare optice. O schema integrala de acest tip prezint o
stuctur multistrat n care sunt incluse un ghid de und, un amplificator optic, un
laser, un modulator optic, un detector, un receptor i un transmiator optic.

Baza shemei integrale optice este heterostructur cu gid de und evideniat.

Coeficientul de refracie n acest strat are profil n trepte (SISCH) care este
determinat de regiunile cuantice poteniale (QW). Aceste regiuni poteniale servesc ca
capcane pentru purttorii de sarcin. Stratul ghidului de und este creat prin cresterea
epitaxial a stratului InGaAsP ntre dou straturi InP (deasupra de tip p dedesupt de
tip n), care creaz jonctiunea p-n propriu zis. Din cauza stratului de sarcin spaial
mic n acest strat ptrund purttori de sarcina de ambele semne care sunt captai de
regiunile cuantice poteniale. Ca rezultat este creat un surplus de purttori de sarcina
care pot recombina sub influena semnalului optic, care se propag prin ghidul de
und i creaz condiiile necesare pentru amplificarea semnalului cu largimea de
apoximativ 60 nm, cu lungime de und central de 1550 nm. O astfel de structur se
numete structura cu ghid de und activ.

Fig. 3.5.1 Comutator AWS

10
 n cazul polarizarii indirecte a jonctiunii p-n, curentul prin ea nu trece. Regiunile
cuantice poteniale capteaz fotonii i dispozitivul lucreaz ca un atenuator optic. n
cazul unui curent mediu prin jonciune dispozitivul lucreaz ca un conductor optic
fr pierderi. n cazul unor cureni de valoare nalt ghidul de und capt
proprietile unui amplificator optic cu coeficientul de amplificare de 18 dB pe mm,
pentru lungimea de und de 1550 nm.

Dirijind curentul prin jonctiune prin intermediul contactului auxiliar ce se afl

pe heterojonciune se poate modula fluxul luminos n ghid. Cu ajuorul aceluia
contact poate fi detectat fotocurentul n ghidul de und. Heterostructura poate fi
transformat n laser dac vor fi create suprafee reflectante pe marginile sale. n
cazul realizrii scheimei optice a unui comutator este nevoie de a schimba direcia n
ghid cu 90 de grade.Acest efect este obinut n urma reflexiei totale a semnalului de la
marginile create n structura heterojonciunii n locul conexiunii ghidurilor de und.
Reflexia total a semnalului pentru unghiul incident este posibila din cauza
coeficientului mare de refracie a stratului de InGaAsP, n=3.5.

Una din problemele principale ale comutatorului cu ghid de und activ este
devierea razei luminoase. Anume din aceast cauz sunt folosite dispozitivele
integrale analogice prismelor optice unghiulare. Aceiai problem poate fi rezolvat
i cu ajutorul cristalelor fotonice, care sunt structuri dielectrice periodice cu zona
interzis care impedic propagarea luminii de un anumit spectru de frecvent. Crend
ntr-un astfel de cristal defecte liniare sau punctiforme (caviti de rezonan sau
canale interne respectiv) este posibil de a comuta unda optic purttoare dintr-un
canal intern n altul. Cristalele fotonice rezolv trei probleme importante din
sistemele optice :

- rotirea axei de propagare a semnalului optic practic fr pierderi ;

- intersectarea a dou giduri de und, dispuse ntr-un singur plan, cu pierderi induse
minime ;

11
- filtrarea sau evidenierea a unui sau mai multor canale cu posibilitatea de comutare
posterioar.

Un exemplu de comutator de acest tip este compus dintr-un sistem rezonator optic,
compus din 4 sau 8 cavitti rezonatoare, care unete bara principal cu barele
ieirilor. Unda optic propagndu-se prin bara principal rectiliniu, genereaz n
cavitile rezonatoare oscilaii ale anumitor mode, care n rezultatul interaciunii
dintre ele trec n bara de ieire, propagndu-se n sens direct i opus.

Construcia cavitilor rezonatoare determin parametrii filtrelor (de exemplu

numrul modelor) i eficiena transmiterii energiei din bara principal n cele de
ieire. n cazul unei singure caviti rezonatoare, rezonatorul se configureaz pentru
regim monomod. n cazul a dou caviti rezonatoare se folosesc dou mode
simetrice, una fiind proiecia invers a alteia. Semnalul de intrare este comutat pe una
din barele de ieire, rezonatorul fiind configurat pentru diferite unde purttoare. n
fig. 3.5.1 este reprezentat structura unui comutator AWS.

3.6 Comutatoare cu matrice de chei optoelectronice.

Sunt bazate pe aa numita tehnologie intelectual, global (N4) de interaciune cu

ajutorul razelor de lumina, care se propag n spaiu. Modulele unor astfel de
comutatoare sunt compuse din trei sau patru matrici plan paralele fixate n spatiu,
care interacionez prin intermediul unei raze laser.

Ca elemente a matricilor de intrare sunt laserele cu cavitate rezonatoare i

suprafa de emisie vertical (VCSEL), care emit raze laser pe matricea intermediar,
creat de elementele de interactiune de origine difractionara (DOIE). Aceste elemente
ndreapat razele incidente la unul sau mai multe elemente intelectuale DANE ale
matricei de ieire n baza unor sabloane de comutare predefinite. Ele sunt numite
intelectuale deoarece indeplinesc concomitent 4 functii: Detecteaz semnalul
receptionat, l amplific, inversaz impulsurile de amplificare, i stimuleaz emisia
laserului VCSEL. Elementele DANE realizeaz operaia logic sau-nu asupra datelor
de ieire (razele laserului n urma DOIE).
12
 Utiliznd un aa set de matrice poate fi comutat orce element al matricei de
intrare pe oricare din elementele matricei de ieire (conexiune punct-punct), sau cu
mai multe astfel de elemente (comexiune punct-multipunct), numrul punctelor
conectate n acelai timp depinznd de puterea laserului i de pragul de declanare a
detectorului.

3.7 Comutatoare cross. Principiul de realizare i arhitectura.

n ciuda numeroaselor succese n dezvoltarea tenologiilor pentru counicaiile

optice legate de dezvoltarea WDM, comutarea canalelor a utilajelor i a datelor pna
la momentul dat era efectuat prin metode electronice, adic marutizarea i
comutatoarele cros. Aceasta se explic prin unele particulariti de construcie a
comutatoarelor electronice n special funcionalitatea i universionalitatea. nsa
folosirea aparatelor de transformare a semnalului electric n optic aducea la o
transformare dubla a semnalului i ca rezultat n semnal erau induse erori. n rezultat
reeaua a devenit neomogena, iar costul utilajului a crescut considerabil. Din aceast
cauz sunt efectuate cercetri pentru a crea reele de fibr optic omogene bazate
numai pe comutatoare optice.

Fig. 3.7.1 Strile de comutare (a- DIRECT i b- CROSS) ale unui comutator optic
de tip crossconnect (OXC) cu dou intrri i dou ieiri.

Un comutator optic de tip crossconnect are dou intrri i dou ieiri. La o

comutare DIRECT, porturile de intrare i de ieire se conecteaz astfel: P1 cu P2 i

13
P4 cu P3. La o comutare CROSS, porturile de intrare i de ieire se conecteaz invers
dect n primul caz: P1 cu P3 i P4 cu P2.

Fig. 3.7.2 Dou variante tehnologice pentru comutatoare optice de tip crossconnect:
a- variant cu o pereche de electrozi metalici i b-variant cu dou perechi de
electrozi metalici.

3.8 Comutator optic digital realizat cu un cuplor n form de Y.

La comutatorul optic digital n form de Y (fig. 3.8.1), n prezena unui cmp

electric aplicat pe electrozii metalici ai cuplorului n form de Y, indicele de refracie
pentru substratul de LiNbO3 utilizat se modific diferit pe cele dou porturi (P2 i P3,
adic nLiNbO3 crete sau scade, respectiv scade sau crete n funcie de sensul
cmpului electric aplicat pe cele dou ramuri de ghidare optic). Selecia de comutare
pentru UEM corespunztoare semnalului optic de intrare (n portul P1) se realizeaz
pe calea cu valoarea cea mai mare a indicelui de refracie nLiNbO3.

Fig. 3.8.1 O structur de comutator optic digital realizat cu un cuplor n form de Y

avnd un port de intrare i dou porturi de ieire.
14
Fig. 3.8.2 O structur de comutator optic la care cuploarele optice n form de Y sunt
nlocuite cu cuploare rezonante de 3 dB.

n figura 3.8.2 cuploarele optice n form de Y sunt nlocuite cu cuploare

rezonante de 3 dB. Comutarea de tip CROSS se realizeaz pentru urmtoarea
coresponden de porturi: P1 - P3 i P4 - P2 n absena tensiunii aplicate i comutarea
DIRECT cu urmtoarea coresponden de porturi: P1 - P2 i P4 - P3 n prezena
tensiunii aplicate.

Fig. 3.8.3 Un exemplu de comutator controlat optic, cu bucl optic neliniar (care
opereaz cu efect Kerr neliniar).

Comutatorul optic din figura 3.8.3 apaine unor structuri de dispozitive foarte
rapide pentru diferite tipuri de aplicaii (pentru atenuarea zgomotului de background
n comunicaii optice, pentru atenuarea unor impulsuri optice la intrarea unor canale
de date, inclusiv pentru demultiplexarea unui ir de bii care sunt multiplexai cu
divizare de timp DTDM Demultiplexing the Time Division Multiplexed). Mrimea
atenurii de amplitudine este determinat de interferena semnalelor optice
(interferen constructiv sau distructiv) care parcurg bucla cu FO n sensuri diferite
15
de la cuplorul cu rol de splitter (avnd o splittare teoretic de 50/50, care difer de o
splittare practic - cu 45/55 sau cu 55/45, care conduce la o diferen de intensitate
ntre cele dou semnale optice ce parcurg bucla cu FO n sensuri diferite).

3.9 Comutator Optic cu Motor Pas cu Pas.

Comutatorul optic motorizat foloseste un motor Pas-cu-Pas de precizie nalt

pentru a roti fibra de intrare precis ctre poziiile fibrelor de ieiri aliniate. Puterea
mecanic adugtoare a motorului Pas-cu-Pas permite comutarea mai multor tipuri de
fibre cu miez mare, care sunt des folosite n industria tiinelor vieii i biomedicale.

Fig. 3.9.1 Comutatoare optice cu motor pas cu pas

3.10 Comutatoare Optice Prism.

Comutatorul optic prism produs de DiCon obine comutarea canalelor prin

nserarea sau scoaterea fizic unei prisme optice n calea semnalului. Un numr mai
mare de canale e obinut prin folosirea a mai multor prisme aranjate n serie i n
cascad. Comutatorul optic Prism e ideal pentru aplicaiile de protacie a reelelor
unde este necesar blocarea.

16
 Fig. 3.10.1 Comutatoare optice prism

3.11 Comutatoarele MEMS. Construcia i princiul de funcionare.

Sistemele optice micro-electro-mecanice (MEMS) sunt promitoare pentru multe

componente optice. Comutatoarele optice 3D (3 dimensionale) atrag mult interes ca
comutatoare complet optice mari datorit potenialului mare, costului jos, consumului
mic de energie i furnizarea gabaritelor compacte meninnd perfomane optice nalte.
Cteva construcii de comutatoare optice MEMS au fost raportate i au strnit interes.

Configurarea de baz a modulelor de comutare optic 3D MEMS care folosesc

interconexiuni optice n spaiu liber e prezentat n fig. 2.3.1. Modulul consta din un
tablou de oglinzi MEMS care se incline pe 2 axe i un tablou colimator de fibre
optice. Pentru fiecare port de intrare i ieire sunt dedicate oglinzi. Fasciculele optice
de la portul de intrare sunt colimate de tabloul de collimator i sunt reflectate de
oglinzile MEMS ce se nclin n 2 plane. Cnd oglinzile sunt nclinate n 2D, i
fasciculul e abtut 2 dimensional. Conexiunea dintre orice port de intrare i orice port
de ieire poate fi obinut prin controlarea unghiul de nclinare a fiecrei oglinzi.

17
 Fig. 3.11.1 Structura de baz a comutatoarelor optice 3D MEMS.

Tabloul de oglinzi MEMS e un element funcional a comutatorului optic 3D

MEMS. Caracteristicile a comutatorului optic depind mult de carateristicile tabloului
de oglinzi, aa cum reflectivitatea i suprafaa plat. Au fost introduse o mulime de
tipuri de oglinzi mono-cristal cu caracteristici bune. Dar, a fost raportat puin n
privina metodelor de fabricare a oglinzilor. Noi am dezvoltat procese cu randament
nalt pentru fabricarea tablourilor cu oglinzi MEMS nclinabile cu arcuri torsionale cu
o rezisten nalt care asigur micarea de nclinare. Acest material descrie structura
dezvoltrii oglinzilor nclinabile MEMS i metodelor de fabricare. De asemenea sunt
prezentate rezultatele pentru micarea de nclinare a oglinzilor care indic c
tablourile cu oglinzi sunt promitoare pentru aplicare n comutatoarele optice 3D
MEMS.

3.11.1 Structura MEMS a oglinzilor

O schem a seciunii transversale unui dispozitiv MEMS cu oglinzi nclinabile n

2 plane e prezentat n fig. 3.11.1.1 Oglinda MEMS const din 2 substrate de
monocristal din silicon: substratul oglinzii i substratul electrodului de conducere.
Aceste substrate sunt prelucrate independent i asamblate dup metoda cipurilor
inversate pentru a primi un gol umplut cu aer ntre oglind i electrozi. Oglinda este
pus n micare de fora electrostatic generat la aplicarea tensiunii ntre oglind i
electrozi. Unghiul de nclinare e controlat prin aplicarea unei tensiuni de micare la
fiecare electrod.
18
 Fig. 3.11.1.1 Seciunea transversal a oglinzilor nclinabile MEMS

3.11.2 Substratul oglinzii

Fotografia efectuat de microscopul electronic a oglinzii nclinabile n 2 plane

MEMS i a unui arc de torsiune sunt prezentate n fig. 3.11.2.1(a) i (b), respectiv.
Oglinda MEMS, ce are 600 m n diametru, e meninut de o pereche de arcuri de
torsiune pliate i conectate la o balama n form de cerc pe axa X. Balamaua e
conectat cu baza prin o alt pereche de arcuri pliate pe axa Y. n consecin, oglinda
se rotete pe axa X i Y pentru a ndrepta fluxul optic n spaiul 3D. Oglinda i
arcurile sunt confecionate din silicon mono-cristalic, care asigur o micare sigur a
oglinzilor. Arcurile au o rezisten nalt care este definit de raportul dintre grosimea
arcului i limea lui. Arcurile cu rezisten nalt sunt rigide n direcia Z relative cu
direcia de torsiune. Aceasta previne tragerea oglinzii n jos i atingerea de dnsa a
electrozilor.

Fig. 3.11.2.1 Fotografia efectuat de microscopul electronic a unei oglinzi MEMS (a)
i a unui arc torsional de rezisten nalt (b).
19
 3.11.3 Substratul electrodului de conducere

O fotografie efectuat de microscopul electronic a 4 electrozi cu o structur 3D n

cascad e prezentat n fig. 3.11.3.1. Oglinda e pus n micare de fore electrostatice
generate la aplicarea tensiunii fiecrui electrod. Fora electrostatic e invers
proporional ptratului distanei dintre oglind i electrod. Strctura 3D n cascad a
electrodului reduce distana n comparaie cu electrodul convenional plat, deci
permite folosirea unui voltaj mai mic de conducere.

Fig. 3.11.3.1 Fotografie de electrozi SEM.

3.11.4 Metode de fabricare. Substratul oglind electrod

Parcurgerea procesului pentru substratul oglinzii este prezentat n fig. 3.11.4.1. La

nceput, este creat un ablon pentru oglind pe prescur de Silicon-pe-Semiconductor
prin litografie i gravare uscat (Fig. 3.11.4.1 (a)). Dup aceasta este alipit
poliimida peste oglinda format, folosind metoda centrifugal (Fig. 3.11.4.1 (b)).
Desenul pentru deschizturile oglinzii pe opusul suprafeii bombate-Si sunt profilate
iar sunt gravate folosind o masc de rezistent. Oxidul cufundat (BOX) funcioneaz
ca un stopant a gravrii (Fig. 3.11.4.1 (d)). Oxidul cufundat e nlturat cu ajutorul
acidului hidrofilic, iar apoi este aplicat nc un strat de poliimid pe cealalt parte a
oglinzii (Fig. 3.11.4.1 (f)). Poliimidul protejeaz oglinda de ocuri n timpul micrii.
Stratul de poliimid este eliminate cu ajutorul plasmei de oxigen (Fig. 3.11.4.1 (g)).

20
Folosind acest process uscat pentru a elibera oglinzile previne apariia efectului de
alipire n timpul procesului.

Fig. 3.11.4.1 Procesul de debit pentru oglinda substrat

Suprafaa plat a oglinzii afecteaz caracteristicile optice a comutatorului cu

tablou cu oglinzi. Ambele pri ale oglinzii sunt poleite cu Au pentru a reduce
interferenele oglinzii i de asemenea pentru a asigura o reflectivitate nalt. Diferena
dintre punctual superior i cel inferior e de 0.05 m, aceasta indic o suprafa plat a
oglinzii.

21
 4. Concluzii:

n aceast lucrare de control am descris tipurile de comutatorii optici, principul de

funcionare a fiecrui comutator, parametrii principali. Am studiat mai aprofundat
comutatorii: optici mecanici, electro-optici, termo-optici, pe baz de SOA, AWS, cu
matrice de chei optoelectronice, cros, MEMS, optici prism, optici digitali cu un
cuplor n form de Y, optici cu motor pas cu pas. Aceast lucrare de control a
completat att cunotinele teoretice, ct i cele practice , ce este o informaie foarte
util i important.

22
5. Bibliografie:

1. http://www.sursa.md/product_info.php/products_id/209

2. http://www.scrigroup.com/calculatoare/retele-calculatoare/Comutatoare-
Comutatoare-direct72921.php

3. http://www.sursa.md/product_info.php/products_id/209

4. http://www.scrigroup.com/calculatoare/retele-calculatoare/Comutatoare-
Comutatoare-direct72921.php

5. http://protlc.net/giduri-de-unda-comutatori-optici-comunicatii-optice-cu-
modulatie-numerica/

6. http://ru.scribd.com/doc/116748303/Optica-integrata-si-materiale-
optice#scribd

7. http://documents.tips/documents/mems-1.html

23