Facultatea de inginerie Electic3, Energetic’ si Informatica Aplicata Iasi Catodra ,Utiizan, Aevonari gi Automatizan Industnialc” Laboraterul . Palew Alexandru ‘Student (masterand): CECM Specializarea Grupa: Go Data: REFERAT PENTRU LUCRAREA DE LABORATOR ECHIPAMENTE DE TEHNICA VIDULUI SI DEPUNERI DE STRATURI SUBTIRI IN VID 41. Scopul lucrari: 4. Famitarizarea studentlor cu echipamentele de tenica vidull side dapunen de stalur eubti prn puvorizare eatocica; 2 Realzaroa de operatuni Ge vicars, masurd a nivolului do vid (vacuum) si depuneri de sraturi subtirin vt 2. Destésurarea lucrait 2.1 Enumerat pnnepalale avaniale ale destisuram unor procese In via sibilitatea incAlvirii materialelor fir4 oxidare si a elaborasii aliajelor refractare ori active cexploatare, in comparatic ew instalafiile cu atmosfora chimic; realizarea de econo: controlata; evitarea incluziunilor gazoase sau cu oxizi climinarea porozitafiler, obtinerea decarburarii sau liminarea altor adaosuri dauaatoare din metalele prelucrate prin topire; lor de Incr cresterea calitatii prin modificarea princi 22 Precieatielemeniele sistemuluide vi din figura 1 sae fig. 1 Sstom a vit crlogenica: 5/9-vacumetre de vid redus; 6vacumetru de vid inalt; 7-pompa de vid inal; 8vas aerisie; 13-vana pompa vid inalts fampon; 10-pompade vid preliminar; L1-racord evacuare gaa; 14 vana vas tampon; 15. t[Page23 Precizat inci funcional a pempa cu pale ricice sla pana cu die sunt introdnse n scasur rotrice,presnd pe suprafatainteioara statoricd, prin foria elastics a resoartelor(arcuri ce preseaza paletele pe stator. Se creeara trei volume variable in timp ‘elimitate de rotor, palete si alexajal statorie. Gara itra ix pompa priat-un racord ‘creseator, atinge voll mann ia roma iaferioara 41 erte Fansportat spre rowa de vals ‘Tesereacitor spre racordul de evacuare prevarut cu o supaps. Camera de pompare exte plasat {nt-un bazin de ule ew linia de nivel in extremitatea superioara, ceea ce asigura o bund ‘Stanqare 3 permite obfimeres presiwall imita de resorts Pompele de difurie sunt pope de vid inal. La aceste pompe un flid de lucen lich sam vapori, se deplaseaza iu-uu tub de sectiuue variabila, Iu oua unde sectiunea tubuluiseade, Viteza fluid ereste iar presiunea statied seade, conform une ecvatii Bernoulli 2.4 In.canu joel terme Pra, oaalé cu cresterea vaeuumull, cuenul elechic prin temnoreistents tteoue 2 se008 panini mennerea temperature constants a emmoreasien= Just etange la vid. Pe exteriorul tubului este bobinat o rezistent, tot din nichel, pentru compensarea variafilr temperaturit medinlui ambiant. Reristenfele samt alimentate ia “carent continua sau curent alternate (SATE) 255 Exotcan prep tanejonal al ior once. din incints, 26 Rdepunceya umdioarel eda agate de schema elec de comand an Tau 2 + cum 9 eatzeao3eomanda pom, semnalzarea apie acu a tanctiae pam de aie? + Ge suc reatzears cle dou ode 01 §| D2 conetate In senundan ranstornatoni) T2 ‘eateat eu preh mean? + Cum seo realli semmateara ey lamps LS, nls roll iste 2 + De ce contac normal deschise KI gi Ritsu nse, iar cele nol nchise 9 conecat n envane? i - s 4 - ‘souerie va ft activa daca. in timpul vidaritincinte, se opreste pompa de vid preliminar sat ‘ponpa de difuzie, Sommalizarea optic’ se realizoazs priu 4 mpi de semmalzare. Lampa LSI semmalizeazi functionares pompei de vid preliminar, lanpa LS2 semnalizeara poxitia {joprie”a motoralui M, Tampa LSS, prin stingerea sa condifionata de refed de presiune, marcheaza lipsa apei din cirentul de race al pompei de di lampa LS4 semalesza functionarea resoului RE al pompei de difarian. Grupal regulator format din T1-D1. fn momentele cind emisia de filament seade sub valoarea nominal grupal regulator TI-DI trece in stare de blocare, iar cand emisia electronica ereste peste valoarea nominals grupul regulator intra in conductie. Curental media de alimentare a filamentul (carental de colector al tranzistoralui Tl) fsi modifica astfel valoarea incat emisia termoclectronica ‘4 rimind constants, Diods D1 se foloseste pentra compensarea caremtilorreziduali tranristorului Comutatoral electronic este consttnt din diodele Zener D2 si D3; atanci diferenta de potential intre intrare si iesire depageste un anumit nivel corespunzator treceri dintr-0 gua in alta a domeniulai de misurs, diods respectiva ve deschide scurtciveuitind practic reristenta de reacfie cu o rezistenti de valoare mai mici de 10 oi micyorand astfel seusibilitatea amplficatorulu, Resistentele de reactie suat RU, RIG, RIS. 2ipagede ricire alpompei de difuzie, “Pentru a uu permite pornirea pompei de difwrie dae’ de vid preliminar uu funcfioneaza. l Ko | Bt @ d, Le. Rit wal i aE _ | tea [sa ri La blige! a & ze - ccc — wht — HH od Td Hl eae we Fig. 2 Schema de comands a istatagel a aborator 3iPage221 Enumerai procedeste de depunen In 1224 de vapor tae! (PVD) depunere prin evaporare termica epunere prin pulverizare catodicd ‘2 Precizay pnneplul dapuneri prn evapora termicd Inve Aceasti metod’i consti fa evaporarea sau sublimarea materialului de depus intr-un creuzet in ‘vid prin incalzirea la temperatura inalta. Materialul evaporat se depune prin condensare pe ‘Suprafaja piesei, denumit’ substrat. 2.9 Pracizal avansajele ¢ cezavaniajele depunet prin evaporare termi’ in vid i pe mista decorative dde vapori redusaz evaporaren eu fascical de elect 5 ia originea defectelor cristaline; stratul poate fi contaminat prin reac{ia cu materialul creuzetului, cu flamental sau prim degazareaperefilor prin inealzire ~ 2.40 Precizalprncpul depunet prin puverizarecalodic3 fn curent confi, seusiune continua. jar calodul la polul minus alacsleasi surse. De abicei se falasesc teusiu 1...10 LV. Pe iutreaga suprafatd a catodulul (pe directia anodulul) se plaseaz materialul, de ‘opus, denumit tints, ar pe suportul anodic - piesele, de acoperit. Un gaz de lucru, de regula argon de mala pUNTare (ArZOR Spectral, de PUNTATE TTIVISTS], este mTOTUS Tepra cinta la ‘aind_aecelerarea acestara,rinenirea cx atamiide argon sitransfarmarea arestara in joni ppozitivi. Se formeaza o plasma in spatiul dimtre cei dol electrozi. Tonii pozitivi de argon bombardcaza tinta (aflata Ia potential negativ) sii extrage atomi, 241 Precizal avantajee sl dazavantajele deperteri pri puverzate calocicd cant contious ‘Avantajul medotei: acest procedeu se pot obtine straturi subtini avand compozitia Dezavantajul metodel: confinutul n re de Impuritifi gazoase in pelicula aPaae2.12 Preszatl prnepiul st avantaele depuneni orn purverzare catoded in radorecventa in cazul clasic - sistem dioda — tinta din material dielectric se comporta asemeni unui bombardeava tinta, se acumuleaza la suprafafa acesteia, creand o sarcind spatiald care, prin ‘cimpul format, respinge iouii de plasm, Peutru a evita acest feuomen, se creeazi o plasma ‘alimientats tu cureut alrernaliv de lalla reeveagi.—————— 2.13 Conciuzit personale privind operat de vidare side depunere a unui strat de cupru pe suport Ccadrul didactic: Cont. Dr. Ing. PAICU George! Nota Semnitura