Facultatea de Inginerie Electrică, Energetică şi Informatică Aplicată Iaşi

Catedra „Utilizări, Acţionări şi Automatizări Industriale”

nr.7 TES Echipamente de Tehnica Viduluisi depuneri de straturi subtiri in vid
Laboratorul ................................................................

Student (masterand): Plamadeala Serghei

…………………………
IEEIA CECM
Specializarea: ................................................
Grupa: 6601
...............
Data: 01.12.2023
………………….

REFERAT PENTRU LUCRAREA DE LABORATOR

ECHIPAMENTE DE TEHNICA VIDULUI ȘI DEPUNERI DE
STRATURI SUBȚIRI IN VID
1. Scopul lucrării: A. Familiarizarea studenţilor cu echipamentele de tehnica vidului și de depuneri de
straturi subțiri prin pulverizare catodică; B. Realizarea de operațiuni de vidare, măsură a nivelului de
vid (vacuum) și depuneri de straturi subțiri în vid

2. Desfăşurarea lucrării
2.1 Enumerați principalele avantaje ale desfășurării unor procese în vid
posibilitatea încălzirii materialelor fără oxidare şi a elaborării aliajelor refractare ori active chimic
______________________________________________________________________________________
evitarea incluziunilor gazoase sau cu oxizi, eliminarea porozităţilor, obţinerea decarburării sau
______________________________________________________________________________________
eliminarea altor adaosuri dăunătoare din metalele prelucrate prin topire;
______________________________________________________________________________________
îmbunătăţirea calităţii prin prelucrarea la temperaturi mai mici a materialelor care se pot deprecia la temperatură ridicată, de
exemplu efectuarea unor tratamente sub punctul de topire al materialului
______________________________________________________________________________________
realizarea de economii în exploatare, în comparaţie cu instalaţiile cu atmosferă controlată;
______________________________________________________________________________________
creşterea calităţii prin modificarea principiilor de lucru (utilizând bombardamentul cu electroni sau ioni, depunerea peliculelor
______________________________________________________________________________________
subţiri, implantare ionică, etc.).
2.2 Precizați elementele sistemului de vid din figura 1.

1 LB 15

5 6 12 9
8 10
4 7
16 11
3
13 14
2
Fig. 1 Sistem de vid
1 gazul din incinta de lucru 11 racord vas evacuare gaz
______________________________________________________________________________________
2 robinet micrometric 12 aerisire
___________________________________________________________________________________
3 racord pentru admisie gaz de spălare sau de lucru 13 – vană pompă vid înalt
______________________________________________________________________________________
4 capcana criogenica 14 – vană vas tampon
______________________________________________________________________________________
5 vacuummetre de vid redus 15 vană bypass
______________________________________________________________________________________
6 vacuummetru de vid înalt 16 robinet de aerisire
______________________________________________________________________________________
7 pompă de vid înalt
______________________________________________________________________________________
8 vas tampon
______________________________________________________________________________________
9 vacuummetre de vid redus
______________________________________________________________________________________
10 – pompă de vid preliminar
______________________________________________________________________________________

1|Page
2.3 Precizați principiile funcționale la pompa cu palete rotorice și la pompa cu difuzie
Rotorul 8 este plasat excentric (cu excentricitatea e) în interiorul carcasei statorice 7. Paletele 9 sunt introduse în
______________________________________________________________________________________
lăcaşuri rotorice, presând pe suprafaţa interioară statorică, prin forţa elastică a resoartelor 5. Se creează trei volume variabile în
timp delimitate de rotor, palete şi alezajul statoric. Gazul intră în pompă prin racordul 6 în volumul crescător, atinge volumul
______________________________________________________________________________________
maxim în zona 10 şi este transportat spre zona de volum descrescător spre racordul de evacuare 1 prevăzut cu supapa 3.
Camera de pompare este plasată într-un bazin de ulei 4, cu linia de nivel 2, ceea ce asigură o bună etanşare şi
______________________________________________________________________________________
permite obţinerea presiunii limită de 5 .10-3torr.
______________________________________________________________________________________
Pompele de difuzie sunt pompe de vid înalt. La aceste pompe un fluid de
lucru, lichid sau vapori, se deplasează într-un tub de secţiune variabilă. În zona
______________________________________________________________________________________
unde secţiunea tubului scade (figura 8.4), viteza fluidului creşte iar presiunea
statică scade, conform ecuaţiei Bernoulli:
______________________________________________________________________________________
Dacă volumul vidat este racordat la
______________________________________________________________________________________
secţiunea tubului cu presiune redusă, fluidul va
aspira, în această zonă, gazul cu presiune mai
______________________________________________________________________________________
mare şi prin frecare internă îl va antrena în
direcţia sa de deplasare.
______________________________________________________________________________________
În figura 8.5 este reprezentată construcţia
simplificată a pompei de difuzie
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

2.4 În cazul jojei termice Pirani, odată cu creșterea vacuumului, curentul electric prin termorezistență
trebuie să scadă pentru menținerea temperaturii constante a termorezistenței. Justificați.
______________________________________________________________________________________
Pentru ca variaţiile presiunii în tub, deci a căldurii pierdute prin convecţie
Qc, să nu modifice Qr şi Qa, temperatura rezistenţei este menţinută constantă.
______________________________________________________________________________________
Controlul temperaturii se face prin controlul valorii rezistenţei. La scăderea
presiunii şi la tendinţa creşterii temperaturii şi a valorii rezistenţei, se scade
______________________________________________________________________________________
intensitatea curentului de la valoarea I, la valoarea I1
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

2.5 Explicați principiul funcțional al jojelor ionice.

______________________________________________________________________________________
Principiul funcţional constă în ionizarea moleculelor gazului prin
bombardamentul produs de un flux de electroni, iar probabilitatea ionizării
______________________________________________________________________________________
creşte odată cu presiunea din incintă.
Ionii de gaz sunt culeşi pe un electrod colector, polarizat negativ, formând
______________________________________________________________________________________
curentul ionic Ii – proporţional cu presiunea şi curentul electronic Ie
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

2.6 Răspundeți la următoarele întrebări legate de schema electrică de comandă din figura 2:
 Cum se realizează comanda pornirii, semnalizarea optică și acustică a funcționării pompei de difuzie?
 Ce structură realizează cele două diode D1 și D2 conectate în secundarul transformatorului T2
realizat cu priză mediană?
 Cum este realizată semnalizarea cu lampa LS3, inclusiv rolul rezistenței R?
 De ce contactele normal deschise K1 și Ri1 s-au înseriat, iar cele normal închise s-au conectat în
derivație?
Pentru pornirea pompei de vid preliminar se acționează butonul cu revenire automată BP închizându-se
______________________________________________________________________________________
contactul normal-deschis al acestuia
______________________________________________________________________________________
D1 si D2 are ca sens redresare a sinusului, cand amplituda de exemplu pozitiva atunci curentul pozitiv
______________________________________________________________________________________
trece prin D1 si cel negativ e blocat prin D2, invers merge prin D2 cel pozitiv si cel negativ blocat prin D1
Mijlocul e referinta.
______________________________________________________________________________________
2|Page
Semnalizarea optică se realizează prin 4 lămpi de semnalizare. Lampa
LS1 semnalizează funcționarea pompei de vid preliminar, lampa LS2
______________________________________________________________________________________
semnalizează poziția ,,oprit” a motorului M, lampa LS3, prin stingerea sa
condiționată de releul de presiune, marchează lipsa apei din circuitul de răcire
______________________________________________________________________________________
al pompei de difuzie, iar lampa LS4 semnalează funcționarea reșoului RE al
______________________________________________________________________________________
pompei de difuziune.R e pentru limitarea curentului pentru LS3
______________________________________________________________________________________
Cred ca daca in caz ca se blocheaza unul din contacte normal deschis sa functioneze macar al 2 contact
______________________________________________________________________________________
pentru intrerupere circuitului. Iar daca cele inchise normal pentru semnalizar SB in caz de defect unuia sa
mearga cel putin al 2 de asta se pun paralel. Asta petru redundatnta securizarii
______________________________________________________________________________________

Ri1

Fig. 2 Schema de comandă a instalației din laborator

3|Page
2.7 Enumerați procedeele de depuneri în fază de vapori fizici (PVD)
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

2.8 Precizați principiul depunerii prin evaporare termică în vid.

Depunerile în fază de vapori chimici sunt tehnologii chimice
______________________________________________________________________________________
Depunerea în fază de vapori fizici - PVD prezintă mai multe avantaje în
___________________________________________________________________________________
raport cu depunerea CVD: peliculele sunt mai dense, procesul este uşor de
controlat şi nu există poluare
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

2.9 Precizați avantajele și dezavantajele depunerii prin evaporare termică în vid.

Este metoda cea mai veche, apărută pe scară industrială la nivelul anului 1950
______________________________________________________________________________________
Această metodă constă în evaporarea sau sublimarea materialului de
______________________________________________________________________________________
depus într-un creuzet în vid prin încălzirea la temperatură
înaltă. Materialul evaporat se depune prin
______________________________________________________________________________________
condensare pe suprafaţa piesei, denumită
______________________________________________________________________________________
substrat
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

2.10 Precizați principiul depunerii prin pulverizare catodică în curent continuu.

______________________________________________________________________________________
Instalaţiile de acest tip au căpătat o pondere industrială importantă abia
______________________________________________________________________________________
după anul 1970, deşi încă din 1852 Grove a observat că într-un tub de
descărcare, pe peretele din sticlă, se formează un depozit metalic în zona
______________________________________________________________________________________
electrodului negativ.
______________________________________________________________________________________
Pulverizarea catodică elimină din neajunsurile metodei anterioare: gama
de materiale de acoperire este mai largă, aderenţa şi durabilitatea stratului
______________________________________________________________________________________
depus este mai bună, randamentul acoperirii mai înalt
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

2.11 Precizați avantajele și dezavantajele depunerii prin pulverizare catodică în curent continuu.
______________________________________________________________________________________
Un avantaj incontestabil al metodei pulverizării catodice constă în faptul
______________________________________________________________________________________
că prin acest procedeu se pot obţine straturi subţiri având compoziţia
materialului pulverizat
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
Un dezavantaj al metodei de pulverizare catodică este conţinutul mare de
______________________________________________________________________________________
impurităţi gazoase în peliculă (mai mare decât în cazul metodei evaporării
termice).
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

4|Page
2.12 Precizați principiul și avantajele depunerii prin pulverizare catodică în radiofrecvență
Depunerea prin pulverizare catodică în radiofrecvenţă se aplică în
______________________________________________________________________________________
special la depunerea de straturi subţiri din materiale de rezistivitate foarte mare.
______________________________________________________________________________________
În cazul clasic - sistem diodă – ţinta din material dielectric se comportă
asemeni unui condensator alimentat cu tensiune continuă, care se încarcă
______________________________________________________________________________________
rapid. Ionii pozitivi, care bombardează ținta, se acumulează la suprafaţa
______________________________________________________________________________________
acesteia, creând o sarcină spaţială care, prin câmpul format, respinge ionii de
______________________________________________________________________________________
plasmă. Pentru a evita acest fenomen, se creează o plasmă alimentată în
curent alternativ de înaltă frecvenţă.
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
Dezavantaj este lucrul la tensiuni inalte
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

2.13 Concluzii personale privind operația de vidare și de depunere a unui strat de cupru pe suport
______________________________________________________________________________________
Evolutia aplicarii in vid in diferite metode este impresionanta.
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________
______________________________________________________________________________________

Cadrul didactic: Conf. Dr. Ing. PAICU Georgel Nota ………………..

Semnătura ………………..

5|Page