4.

Spectroscopia de elipsometrie
4.1.Propagarea luminii polarizate n medii reale
Spectroscopia de elipsometria (SE) este o tehnic optic experimental comun,
care msoar modificarea strii de polarizare a luminii reflectat sau transmis
de un mediu material real. Interac ia luminii cu mediul material const n
modificarea att a strii de polarizare a luminii, ct i a propriet ilor optice ale
materialului.
In tehnica elipsometriei, lumina este caracterizat ca o und electromagnetic
transversal, ale crei componente cmp electric i cmp magnetic sunt
respectiv perpendiculare i orientate perpendicular pe direc ia de propagare. Intr
un sistem de referin cartezian, pentru o direc ie de propagare , cmpul are
dou componente , !ig.".#. $nd cele dou componente au amplitudini i
faze ar%itrare, vectorul poate avea orice orientare in spa iu, iar unda este
nepolarizat. &ac cele dou componente au amplitudini egale i oscileaz n
faz, vrful vectorului descrie o direc ie situat ntrun plan perpendicular
direc iei de propagare,diferit de axe, iar unda este polarizat linear, !ig.".# (a).
$nd cele dou componente au amplitudini egale, dar oscileaz n opozi ie de
faz, vrful vectorului descrie un cerc ntrun plan perpendicular direc iei de
propagare, iar unda este polarizat circular, !ig.".# (%). In sfr it, cnd cele dou
componente au amplitudini diferite i faze ar%itrate, vrful vectorului descrie
o elipsa ntrun plan perpendicular direc iei de propagare, iar unda este
polarizat eliptic, !ig.".# (c). 'cesta este argumentul denumirii tehnicii
experimentale( prin interac ie cu mediul material, unda luminoas este atenuat
i defazat n raport cu unda incident, astfel nct lumina detectat este n
general polarizat eliptic.
!ig.".#.$ondi iile de polarizare a luminii, pe o anumit direc ie de propagare) (a)
polarizare liniar, prin suprapunerea undelor ortogonale, n faz i cu aceea i
amplitudine( (%) polarizarea circular, prin suprapunerea undelor ortogonale,
defazate cu i cu aceea i amplitudine( (c) polarizarea eliptic, prin
suprapunerea undelor ortogonale, defazate cu un unghi cu i cu aceea i
amplitudine
*a rndul su, materialul are propriet i optice descrise prin func ii de rspuns
complexe, i anume)
indicele de refrac ie complex, , cu componentele real numit
index de refrac ie, i imaginar numit coeficient de extinc ie(
permitivitatea complex , care verific rela ia .
'sa cum am demonstrat n prima parte a acestei lucrri, oricare ar fi mecanismul
de polarizare a mediului su% ac iunea cmpului radia iei luminoase,
componentele real i imaginar ale acestor func ii, nu sunt independente.
Indexul define te viteza de faz a luminii n mediul real, n raport cu cea n
spa iul li%er, , iar coeficientul de extinc ie caracterizeaz pierderile de
energie n material i este n rela ie direct cu coeficientul de a%sor% ie, .
'tenuarea intensit ii undei luminoase datorit pierderilor n mediu de
propagare, este descris de legea +eer*am%ert, . ,ropagarea
undei luminoase n medii materiale cu propriet i diferite, poate fi descris astfel
n cazul unui sistem %istrat plasat in aer) unda incident din aer, traverseaz
filmul a%sor%ant #, apoi se propag in filmul transparent -..iteza de faz i
lungmea de und se modific n fiecare material, n func ie de indicele de
refrac ie al acestuia, !ig. ".-.
!ig.".-. ,ropagarea undei luminoase n sisteme neomogene
4.2.Parametrii elipsometriei
In tehnica elipsometriei, componentele sunt componentele luminii
polarizat (vectorul perpendicular pe planul de inciden ), respectiv
(vectorul n planul de inciden ). /etoda nregistreaz datele primare su%
forma raportului coeficien ilor de reflexie0transmisie ai celor dou componente,
n func ie de metoda de masur prin reflexie0transmisie)
(".#)
(".-)
1nde reprezint unghiul din planul elipsei determinat de amplitudinile celor
dou componente , iar , i reprezint
diferen a de faz a celor dou unde ortogonale, !ig.".2..
!ig.".2. ,arametrii elipsometriei
&efinirea parametrilor elipsometriei, n sistemul de coordonate al undei,
, iar (".2)
3ehnica SE este adecvat pentru caracterizarea materialelor su% form de strat
su% ire, fiind sensi%il la grosimea stratului, calitatea suprafe ei, constantele
optice i ale materialului filmului. ,entru a o% ine informa ii cantitative ale
acestor propriet i, este necesar prelucrarea datelor pe un model al
propriet ilor optice ale materialului.
4.3.Prelucrarea datelor de elipsometrie
Msurarea propriet ilor optice bulk
/etoda este aplica%il pentru msurarea propriet ilor optice ale materialului
%ul4, dac se proceseaz datele de elipsometrie o% inute printro singur reflexie
a luminii incidente, la interfa a aer0film material. In acest caz, permitivitatea
medie (sau pseudopermitivitate) poate fi evaluat cu expresia)
(".")
5% inut n aproxima ia suprafe ei ideale, fr rugozitate i fr un strat exogen.
In situa ii reale, suprafa a e antionului material este afectat de prezen a unui
asemenea strat, de exemplu de oxid, i de un grad de rugozitate, astfel nct,
pentru convertirea datelor de elipsometrie n constante optice, acestea tre%uie
analizate ntro procedur regresiv, !ig.".", pe un model al propriet ilor.
Estimatorul folosit pentru evaluarea diferen ei dintre cur%a experimental i cea
construit pe model, este eroarea evaluat prin metoda celor mai mici ptrate
(/ean S6uared Error /SE). $nd se o% ine minimul /SE, se identific
parametrii modelului i se evalueaz constantele materialului.
!ig.".". Schema analizei regresive a datelor de elipsometrie
Determinarea grosimii filmului
,entru e antioanele su% form de film, alegerea modelului permitivit ii depinde
de natura materialului (metal, semiconductor, cristalin, necristalin, domeniul de
frecven , etc.). ,entru determinarea grosimii filmului, se analizeaz condi ia de
interferen dintre unda luminoas reflectat la suprafa a de inciden cu filmul
i unda reflectat dup ce aceasta a parcurs filmul, !ig.".7.
!ig.".7.$ondi ia de interferen optic ntrun film depus pe un su%strat
&iferen a de faz total dintre cele dou fascicule, este)
(".7)
iar mrimea
(".8)
Se nume te grosimea fazei filmului (film phase thic4ness).
Interferen a poate fi constructiv sau distructiv, 9n func ie de amplitudinea i de
diferen a de faz a undelor. &iferen a de faz este sensi%il pn la grosimi su%
cea de monolayer a filmului. 3ehnica ellipsometriei este adecvat studiului
filmelor cu grosimi variind de la cele su%nanometrice, pn la c iva microni.
In func ie de natura filmului, tehnica ellipsometriei este adecvat pentru grosimi
care asigur transparen a fa de radia ia incident. 'ceast limitare impune de
asemenea, alegerea domeniului spectral n care a%sor% ia este minim. &e
exemplu, un film organic poate fi puternic a%sor%ant n domeniul spectral 1. i
I:, dar este transparent n domeniul vizi%il mediu. In cazul filmelor metalice,
care sunt puternic a%sor%ante pe tot domeniul optic, grosimea maxim care
poate fi determinat cu precizie este su% #;; nm. *imitarea grosimii filmului
depinde ns i de constantele optice ale acestuia, deoarece acestea controleaz
propagarea luminii prin viteza de faz i prin atenuarea n procese de a%sor% ie,
astfel nct, pentru determinarea grosimii filmului dintro msurtoare optic,
valorile acestora constituie date de intrare.
4.4.Modele ale permitivit ii
&eterminarea grosimii filmului este dependent de constantele optice ( i )
ale materialului. &ac scopul studiului este tocmai determinarea constantelor
optice ale materialului, atunci datele de elipsometrie tre%uie procesate avnd un
model de reprezentare a legii de dispersie a acestora, care, a a cum am vazut,
depind att de natura filmului, ct i de domeniul spectral, prin natura
mecanismelor de polarizare. $a i n cazul determinrii grosimii, utiliznd
estimatorul /SE, din procesarea datelor de ellipsometrie se o% in parametrii
modelului de constante optice utilizat.
Modelul Cauchy
In cazul filmelor materiale transparente, indexul poate fi modelat cu rela ia
$auch<, cu forma general)
(".=)
,articularizat pentru , ai crei parametri se determin din condi>a
de fitare cu datele experimentale de refrac ie. In acest caz, , astfel nct
procedura de procesare nu este consistent cu teorema ??.
Modelul Sellmeier
,entru a descrie indicele de refrac ie printro form realist (cu semnifica ie
fizic), n cazul acestor materiale, ca i n cazul materialelor a%sor%ante la
anumite frecven e, se folose te rela ia Sellmeier pentru componenta real a
permitivit ii)
(".@)
$are asigur consisten a cu rela ia ??.
In cazul materialelor reale, , astfel nct maAoritatea modelelor
pentru dispersie folosesc teoria oscilatorului, care permite studiul cantitativ al
propriet ilor a%sor%ante. &e i se modeleaz diverse tipuri de ocilatori, toate
legile de dispersie de acest tip au acelea i caracteristici) amplitudine, pozi ia
maximului i largimea %enzii de a%sor% ie. $unoscnd comportarea pr ii
imaginare, componenta real se determin utiliznd teorema ??. *a valoarea
determinat astfel, tre%uie adugat o valoare de offset care ia n considerare
a%sor% ii parazite n domeniul spectral respectiv.
Modelul Lorentz
In formalismul oscilatorului *orentz, legea de dispersie a permitivit ii (relative)
are expresia)
(".B)
:espectiv,
(".#;)

In cazul materialului nedispersiv, , expresiile (".B) i (".#;), se
particularizeaz n forma Sellmeier (".@).
In cazul metalelor, legea de dispersie are forma)
(".##)
In toate aceste expresii, energia i lungimea de und sunt n rela ia
(".#-)
In multe cazuri practice, se folosesc medele de dispersie mai complexe.
Modelul Tauc-Lorentz
In cazul materialelor amorfe, este adecvat utilizarea modelului 3auc*orentz,
pentru care componentele permitivit ii au expresiile)
(".#2)
(".#")
1nde este lCrgimea %anzii interzise (de mo%ilit i), este un factor
propor ional cu elementul de matrice al tranzi iei n care are loc a%sor% ia,
este pozi ia maximului de a%sor% ie, iar este parametrul lrgimii %enzii de
a%sor% ie.
In cazul materialelor cristaline, spectrele optice sunt foarte complexe. 'cestea
reflect existen a unor influen e specifice precum cea a punctelor critice, a
excitonilor, etc., astfel nct se folose te un model de sum de oscilatori *orentz,
(".#7)
Dn care numrul de oscilatori este un parametru de model.
Modelul permitivit ii efective
In cazul materialelor moderne din clasa materialelor compozite,
permitivitatea sistemului material este modelat n teoria mediului
effectiv (M! "effective medium appro#imation). 'ceasta este o teorie
selfconsistent, denumit practic $,' (coherent potential
approximation), n care sistemul real neomogen, este nlocuit cu un sistem
virtual omogen, constnd dintro matrice n care sunt imersate toate
componentele materialului real, n propor iile lor reale. Sistemul virtual
are propriet i effective identice cu sistemul real.
!ig.".8. &iagrama schematic a matricii mediului efectiv. Inclusiunile de
tip # i - reprezint componentele sistemului real. !orma sferic
sugereaz un sistem cu propriet i omogene.
/aAoritatea materialelor compozite sunt sisteme percolante (devin
conductoare) pentru dimensiuni mari ale clusterilor (fazelor)
componen ilor simpli. /etoda E/' nu este aplica%il n vecintatea
pragului de percola ie, i din acest motiv nu este o metod adecvat pentru
determinarea acestui prag. Eroarea de determinare este mai sczut (7;E)
pentru structuri %idimensionale (-&). In cadrul teoriei E/',
permitivitatea mediului efectiv este n general, solu ie a ecua iei)
(".#8)
Dn care reprezint permitivitatea matricii gazd, permitivitatea
incluziunii de tip cu frac ia de volum , iar este specific factorului care
controleaz cmpul electric *orentz (pentru simetria sferic care are
factorul *orentz #02, ).
Ecua ia are forme diferite pentru modele propuse n cazuri particulare.
'stfel, n modelul /axFellGarnett adecvat unui sistem material %ifazic,
ecua ia devine)

(".#=)
Iar cu ipoteza , ecua ia devine)
(".#@)
In modelul +rugemann, cu ipoteza , se o% ine ecua ia)
(".#B)
Su% aceast form, ecua ia poate fi generalizat pentru un sistem
multifazic)
(".-;)
Su% aceast form, metoda E/' poate fi adaptat pentru studiul
rugozit ii unei suprafe e reale, ca n schema din !ig.".=.
!ig.".=.'legerea modelului optic i utilizarea metodei E/' pentru
determinarea rugozit ii suprafe ei unui film
,entru aceasta, se poate imagina modelul stratului rugos, de grosime i
indice de refrac ie complex ca fiind un sistem %ifazic, n care n
matricea %ul4 cu indicele de refrac ie , se gse te frac ia de incluziuni
din mediul inconAurtor, cu indicele de refrac ie . &ac mediul
inconAurtor este aerul, atunci , iar pentru determinarea indicelui
este necesar cunoa terea lui i a fractiei . Grosimea stratului rugos
determinat prin spectroscopie elipsometric i folosirea modelului
E/' al permitivit ii, este compara%il cu (the root mean s6uare
roughness) determinatCprin '!/, dac sistemul ndepline te urmtoarele
condi ii)
#. &imensiunea fazelor (dielectrice) ale sistemului compozit sunt mult
mai mari dect dimensiunile atomice, dar mult mai mici dect (
-. !unc ionalele permitivit ii componentelor sunt independente de
forma i dimensiunea incluziunilor.