Senzori capacitivi

Senzorii capacitivi sunt senzori de tip pasiv (parametric) care convertesc mărimea
neelectrică de măsurat (deplasare liniară, deplasare unghiulară, forţă, presiune, nivel,
umiditate, etc.) într-o variaţie de capacitate electrică.
Constructiv, senzorii capacitivi au la bază condensatoare plane sau cilindrice. Pentru
condensatorul plan (figura 5.1.a), capacitatea electrică este de forma:
o r  A
C
d , [3.1]
unde: ε0 – permitivitatea vidului (ε0=8.854·10-12F/m); εr – permitivitatea relativă a mediului
dintre electrozi (armături); A – aria suprafeţei active a electrozilor; d – distnţa dintre electrozi.
In cazul condensatorului cilindric (figura 5.1.b), expresia capacităţii este:

2   o  r  h
Cc 
r
ln e
ri , [3.2]
unde: h – înălţimea de suprapunere a electrozilor cilindrici; ri, re – razele electrozilor interior,

A
ri
h
εr C re
d

respectiv exterior.
a. b.
Figura 1.1 a. condensator plan; b. condensator cilindric
Din relaţiile 3.1 şi 3.2 se observă că senzorii capacitivi pot măsura practic orice
mărime neelectrică ce acţionează asupra parametrilor d, A şi εr.
Se realizează şi senzori capacitivi de tip condensator plan sau cilindric cu mai multe
straturi (figura 3.2), ale căror capacităţi sunt date de relaţiile:
o A 2o  h
C ; C
a1 a2 a3 1 r 1 r 1 r
   ln 2   ln 3   ln 4
r r r  r1 r1  r2 r2  r3 r3
1 2 3 ;
 a. b.
Figura 1.2 Senzori capacitivi multistrat
a. tip condensator plan;
b. tip condensator cilindric

Senzori capacitivi bazaţi pe modificarea distanţei dintre electrozi

Senzorul este constituit dintr-un condensator plan, având un electrod fix şi unul mobil,
care se deplasează sub acţiunea mărimii de măsurat. In absenţa acesteia, capacitatea
condensatorului are expresia dată de relaţia 3.1. Dacă sub acţiunea mărimii de măsurat
armătura mobilă se deplasează, distanţa dintre electrozi micşorându-se cu Δd (figura 5.3.a),
capacitatea condensatorului devine:
o r  A
C1 
d  d

Variaţia capacităţii electrice a senzorului este:

 1 1 d
C  C1  C   r   o  A     r o  A
 d  d d  d (d   d )

Variaţia relativă a capacităţii este de forma:

d
C d C d
  
C d  d C d
1
d
Din reprezentarea grafică a variaţiei relative a capacităţii în funcţie de deplasarea
relativă a electrodului mobil (figura 3.3.b) se observă caracterul neliniar al caracteristicii de
conversie pentru acest tip de senzor. Cu toate acestea, în cazul deplasărilor mici caracteristica
senzorului poate fi considerată liniară.
 Sensibilitatea senzorului, pentru cazul Δd<<d, este cu atât mai ridicată cu cât distanţa
d dintre armăturile condensatorului este mai mică:
C A
S   0  r  2
d d
ΔC [%]
x 25 C
+Q 20
Δd
15
d
10
Q 5
d
[%]
5 15 d
10 20

a. b.
Figura 1.3 Senzor capacitiv cu armătură mobilă
a. schema de principiu;
b. caracteristica de conversie
Cu senzori capacitivi cu armătură mobilă se pot măsura, aşadar, doar distanţe foarte
mici (de ordinul micrometrilor), distanţa minimă dintre armături fiind de 10-2mm.
Senzorii capacitivi de acest tip pot fi utilizaţi şi la măsurarea presiunii fluidelor; în
acest caz, armătura mobilă este înlocuită cu o membrană care se deformează sub acţiunea
presiunii de măsurat.
Între armăturile condensatorului plan ia naştere o forţă de atracţie F care poate fi
calculată pe baza ecuaţiei de bilanţ energetic:
 W  Fdx  U  dQ ,

unde:  W – variaţia energiei câmpului electric; Fdx – lucrul mecanic efectuat de forţele de

atracţie; U  dQ – energia consumată de sistem de la sursa de tensiune constantă U ( dQ fiind

variaţia sarcinii acumulate pe electrozi ca urmare a modificării distanţei cu valoarea dx).
Ţinând cont de relaţiile:
1 
 o r E 2  A(d  x)  o r  A 2 1
W    o r E  dV 
2
 U  QU
2V 2 2(d  x) 2
;

 o r  A  o r  A
Q  C U   U  dQ    dx
dx ( d  x) 2 ,
din ecuaţia de bilanţ rezultă:
 dQ 1 dQ  F    o  r  A  U   U  C
2
dQ dW
F U  U  U
dx dx dx 2 dx 2(d  x) 2 2 dx
Ca şi în cazul senzorilor inductivi, pentru a obţine precizii superioare de măsurare este
necesar ca forţa de atracţie dintre armături să fie cel puţin cu un ordin de mărime inferioară
forţei cu care acţionează mărimea neelectrică asupra armăturii mobile.
Forţele de atracţie dintre plăcile condensatorului sunt în general mici, dar efectul lor poate fi
total atenuat la senzorul capacitiv diferenţial. El este constituit din trei armături, cele
exterioare fiind fixe, iar armătura interioară mobilă, deplasabilă sub acţiunea mărimii
neelectrice de măsurat (figura 3.4).
Deplasarea armaturii mobile centrale a condensatorului are ca efect creşterea unei
capacităţi şi micşorarea celeilalte. Senzorul este conectat într-o punte de curent alternativ
formată din capacităţile C1, C2 (variabile) şi C3, C4 (fixe).

C3
C1
Ui a
b
C2
C4

Ue

Figura 1.4 Senzor capacitiv diferenţial cu armătură mobilă, în punte de c.a.

Notând cu a şi b distanţele dintre armături în starea iniţială, variaţiile acestora la
deplasarea armăturii mobile sunt Δa, respectiv Δb. Puntea, alimentată cu tensiunea Ui, este
conectată la ieşire la un instrument de mare impedanţă. Tensiunea obţinută la ieşire este de
forma:
 1 1 
 
Ue  Ui  C1

C3 
 1 1 1 1 
   
 C1 C 2 C 3 C 4  ,

unde capacităţile parţiale ale condensatorului diferenţial sunt:

A A
C1   r  o  C2   r o 
a   a şi b  b
 C3 b

Iniţial puntea fiind echilibrată, pentru a  0  U e  0 şi C 4 a . Înlocuind aceste

valori, pentru cazul a  b se obţine:

a
Ue  Ui
2a ,
adică valoarea semnalului de ieşire este proporţională cu variaţia relativă a distanţei dintre
plăci, adică variază liniar cu valoarea deplasării. Defazajul tensiunii de ieşire faţă de tensiunea
de alimentare este dependent de sensul deplasării.
Senzorul capacitiv diferenţial cu armătură mobilă este utilizat la măsurarea
deplasărilor mici (5 ÷ 100μm), dar şi la măsurarea presiunii fluidelor.

Senzori capacitivi bazaţi pe modificarea ariei suprafeţei active a electrozilor

In acest caz, senzorul de tip condensator plan are o armătură fixă şi una mobilă, care se
poate deplasa (sub acţiunea mărimii de măsurat) în plan paralel cu cel al electrodului fix
(figura 3.5).
In absenţa mărimii de măsurat, capacitatea condensatorului este:
 o r  Ao  o  r  b  xo
Co  
d d
La deplasarea armăturii mobile, se modifică aria suprafeţei de suprapunere (A) a celor
doi electrozi, deci valoarea capacităţii electrice a senzorului devine:
 o r  A  o r  b  x
C 
d d
Variaţia relativă a capacităţii senzorului este:
C x o  x  x
 
Co xo xo
Se observă dependenţa liniară între variaţia capacităţii senzorului şi deplasarea
armăturii mobile.

d
x
xo

Figura 1.5 Senzor capacitiv plan cu modificarea suprafeţei active a electrozilor

 Aceşti senzori sunt puternic afectaţi de modificarea în timpul funcţionării a distanţei
dintre armături. Acest dezavantaj poate fi mult diminuat în cazul senzorului prezentat în
figura 3.6, al cărui capacitate electrică are expresia:
1 1 
C   o r  x  b    
 a1 a 2  ,

unde d  a1  a2 – distanţa dintre armăturile fixe; b – lăţimea lor.

a1
a2
x
xC
U

Figura 1.6 Reducerea influenţei variaţiei distanţei dintre armături la senzorul capacitiv
plan
 o r x  b  2
C 
Considerând: a1  a2  a a .
In cazul modificării distanţei dintre armături (Δa), capacitatea senzorului se modifică:
 1 1  2a
C    o r x  b       o r x  b  2 
 a  a a  a  a  a 2
2   x b 2 1
  o r x  b   o r   C  C 
a 2 a a 2
a 2
a 1 2 1 2
a a ao
a
 0,1
Dacă la senzorul clasic o variaţie relativă a distanţei dintre armături a conduce
la erori de aproximativ 10%, în cazul variantei din figura 3.6 erorile sunt doar de circa 1%.
Şi în acest caz se poate realiza o variantă diferenţială, la care armătura mobilă se
deplasează în faţa a două armături fixe, modificând astfel simultan capacităţile a două
condensatoare.
 Senzorii capacitivi bazaţi pe modificarea suprafeţei active a electrozilor pot fi utilizaţi
la măsurarea deplasărilor liniare chiar de ordinul centimetrilor. In schimb, sensibilitatea
acestor senzori este mai mică decât a senzorilor cu distanţă variabilă între electrozi.
Există şi variante pentru măsurarea deplasărilor unghiulare, la care armăturile au forma unor
sectoare semicirculare (figura 3.7).

α
α0

Figura 1.7 Senzor capacitiv de deplasare unghiulară

Sub acţiunea mărimii de măsurat, armătura mobilă se roteşte cu unghiul α-α0, iar
capacitatea senzorului devine:
 0 r r 2
C (   0 )
360d

Senzori capacitivi cu strat dielectric deplasabil

Senzori de deplasare liniară
Intre armăturile unui condensator plan se introduce un dielectric, care se poate deplasa
sub acţiunea mărimii de măsurat (figura 3.8). In acest caz, sarcina acumulată pe armături este:
x x x
Q  A  D1  o  A D
xo xo
La suprafaţa de separaţie aer-dielectric este valabilă ecuaţia:
div E  0   o  1  E1   o  2  E 2

Fie U tensiunea aplicată la bornele condensatorului:

E1 (a1  a2 )  a2 E2  U  E  a1

E1, D1 
a2  E, D a1
E1, D1

x
x0
 Figura 1.8 Senzor capacitiv plan cu dielectric variabil pentru măsurarea deplasării
Capacitatea condensatorului este:
  
 1 1 
Q  x 2
C   C o  1   
U  xo a1  1   1 
 a2 2 
,
unde C0 este capacitatea sistemului fără dielectricul de permitivitate ε2.
Rezultă astfel o variaţie liniară a capacităţii în funcţie de valoarea x a deplasării.
Sensibilitatea senzorului este dată de relaţia:
1
1
C C o 2
 
 x xo a1 
1 1
a2 2

In realizările practice, de obicei  2  1 , iar grosimea dielectricului deplasabil se

alege cât mai mare posibil, astfel încât a1/a2≈1. In acest caz, sensibilitatea devine:
C Co  2
 
 x xo  1
Senzorii de tip condensator cilindric pot fi utilizaţi la măsurarea unor distanţe mai mari
(1 ÷ 100cm). De obicei, electrodul cilindric interior este acoperit cu un strat subţire
electroizolant, având o constantă dielectrică cât mai mare astfel încât modificarea poziţiei
electrozilor să conducă la o variaţie maximă a capacităţii senzorului (figura 3.9).

2r l l

Figura 1.9 Senzor capacitiv cilindric cu dielectric variabil pentru măsurarea deplasării
 Senzori pentru măsurarea nivelului
Senzorul capacitiv cilindric poate fi utilizat la măsurarea nivelului unui lichid, pe baza
modificării permitivităţii relative a mediului dintre electrozi. Electrodul exterior este constituit
din rezervorul în care se află fluidul al cărui nivel se măsoară (figura 3.10).
Pentru lichide electroizolante, electrodul interior este neizolat; capacitatea senzorului
pentru rezervorul umplut parţial cu lichid poate fi calculată ca sumă a capacităţilor celor două
condensatoare formate: Ch – condensatorul de înălţime h, având ca dielectric lichidul; CH-h –
condensatorul de înălţime H-h, având ca dielectric aerul.
C  Ch  C H h  Co ( r  h  H  h)  Co  H  Co h( r  1) ,

unde: C0 – capacitatea specifică pe cm de înălţime a rezervorului gol.

Figura 1.10 Senzor capacitiv cilindric pentru măsurarea nivelului

Din relaţia anterioară se observă că la capacitatea electrică fixă a electrodului interior
faţă de rezervorul gol se adaugă o capacitate liniar variabilă cu nivelul lichidului în rezervor.
In cazul lichidelor conductoare, electrodul interior este izolat cu P.V.C., polietilenă sau
teflon, asigurând astfel şi protecţia împotriva coroziunii. Sistemul poate fi considerat ca fiind
alcătuit din două condensatoare cilindrice conectate în serie. Dacă Ci este capacitatea între
electrodul cilindric şi exteriorul cămaşii sale electroizolante, iar Cr capacitatea dintre
exteriorul cămăşii electroizolante şi rezervorul gol, capacitatea totală a rezervorului gol este:
Ci  C r
Cg 
Ci  Cr
Pentru rezervorul plin cu un lichid având permitivitatea relativă εr, capacitatea devine:
Ci  C r   r
Cp 
Ci   r  Cr
Se pot calcula capacităţile specifice pe unitatea de lungime atât pentru Cg cât şi pentru
Cp şi apoi capacitatea totală a rezervorului parţial umplut cu lichid:
Ctotal  Ct  Ct  C go ( H  h)  C po  h
h H h
 Valorile uzuale ale capacităţilor acestor senzori sunt de ordinul a 10÷100pF, iar
precizia de măsurare este cuprinsă între 1 şi 3 %.
La măsurarea nivelului fluidelor se pot utiliza şi senzori capacitivi de tip condensator
plan. Fie un condensator plan cu electrozi identici de suprafaţă A, dispuşi la distanţa a şi
introduşi într-un lichid electroizolant de permitivitate εr2 (figura 3.11). Fie h2 – înălţimea
porţiunii introduse în lichid şi h1 înălţimea porţiunii aflate în aer. Sistemul este astfel constituit
din două condensatoare cuplate în paralel: C1 – condensatorul având ca dielectric aerul şi C2 –
condensatorul având ca dielectric lichidul. Capacitatea totală este:
bh1 bh
C  C1  C2   o  r   o r  2
1 a 2 a
 r1  1
Notând h1  h2  h , h2 h   şi , se obţine expresia:
h h   b
C  b o  1   r 2  2   o h h2   r 2 h2  
a a a  
 bh 
 o  1    r 2  
a  

Figura 1.11 Senzor capacitiv plan pentru măsurarea nivelului

Dacă Co este capacitatea sistemului fără lichid:

C  Co  Co ( r2   )

Variaţia capacităţii electrice a senzorului cu nivelul fluidului este:

C  C  Co  Co ( r2   )

In valori relative:
C
  r2     ( r2  1)
Co
 Din reprezentarea grafică (figura 3.12) se observă dependenţa liniară ΔC/C0=f(λ). In
plus, se poate constata că variaţia nivelului determină o variaţie a capacităţii senzorului numai

pentru lichide cu  r  1 .
Pentru măsurarea nivelului lichidelor conductoare se folosesc senzori capacitivi plani
cu electrozii izolaţi, calculul fiind asemănător celui de la condensatorul cilindric.

Figura 1.12 Dependenţa capacitate - nivel la senzorul capacitiv plan

Senzori pentru măsurarea grosimii
Senzorii capacitivi de tip condensator plan pot fi utilizaţi la măsurarea fără contact a
grosimii unor corpuri.
In general, senzorii capacitivi sunt folosiţi la măsurarea grosimii materialelor izolante
(hârtie, mase plastice, sticlă). Materialul al cărui grosime se măsoară, de permitivitate relativă
εr, se deplasează între armăturile condensatorului, modificând permitivitatea mediului dintre
electrozi. Se asigură astfel o măsurare continuă a grosimii materialului într-un proces
tehnologic.
Pe acest principiu se poate măsura şi grosimea unui strat de gheaţă, avându-se în
vedere că raportul constantelor dielectrice gheaţă-apă este de 3 : 80. In acest caz, între plăcile
condensatorului plan se găsesc trei medii diferite: aer (ε0), gheaţă (εr1) şi apă (εr2), sistemul
fiind astfel constituit din trei condensatoare în paralel (figura 3.13).
Capacitatea totală este dată de relaţia:

 o Ao  o  r1 A1  o  r2 A2
C  
a a a ,
unde A0, A1, A2 – ariile suprafeţelor active ale celor trei condensatoare, adică grosimile celor
trei straturi.

Figura 1.13 Măsurarea grosimii unui strat de gheaţă cu senzor capacitiv

Condensatorul având ca dielectric aerul are capacitatea constantă, iar suma celorlalte
A1  A 2  A
două este variabilă. Considerând , valorile iniţială şi finală ale capacităţii
electrice a senzorului sunt:

 o Ao  o  r2  o Ao  o  r1 A1  o  r2 A2
Ci    A; C f   
a a a a a
Variaţia absolută a capacităţii electrice este:
 o  r2  o  r1 A 1
C  C i  C f  ( A  A2 ) 
a a
 o Ao   o  r2 A
Cum , se poate aproxima:

C
 r 2 ( A  A 2 )   r1 A 1 A 1  r2   r 1
 o  r2    
Ci  A Ci  r2  A A  r2
a
Variaţia capacităţii senzorului depinde astfel de grosimea stratului de gheaţă (A1).
 Bibliografie

1. Ivănescu, M, Cojocaru D., Diaconu I., Introducere în mecatronică, Editura

Universitaria Craiova, 2002.
2. Ivănescu, M, Niţulescu M., Stoian V., Bâzdoacă N., Sisteme neconvenţionale de
acţionare, Editura Universitaria Craiova, 2002.
3. Ivănescu, M, Roboţi industriali, Editura Universitaria Craiova, 2006.