Documente Academic
Documente Profesional
Documente Cultură
Operaţiile tehnologice pentru realizarea joncţiunilor p–n fac parte din categoria celor
referitoare la doparea controlată a materialelor semiconductoare.
Doparea controlată a materialelor semiconductoare se poate realiza prin difuzie sau prin
implantare ionică.
O altă posibilitate de a obţine un semiconductor cu dopare controlată este operaţia de
depunere a peliculelor epitaxiale.
Dacă în procesul de depunere epitaxială, pelicula semiconductoare nou formată poate
avea caracteristici complet independente de ale suportului semiconductor pe care se realizează
depunerea, în cazul difuziei şi implantării ionice are loc schimbarea caracteristicilor suportului în
anumite regiuni ale acestuia prin pătrunderea în interior a altor substanţe dopante.
N 2 N 2 N 2 N
D
t x2 y 2 2
z
Ecuaţia poate fi rezolvată numai în cazuri speciale care se întâlnesc şi în practică:
- difuzia dintr-o sursă semiinfinită;
- difuzia dintr-o sursă limitată.
Figura V.3. Reprezentarea soluţiei legii a-II-a a lui Fick pentru difuzia
din sursa semiinfinită
Acest model matematic este adecvat difuziilor din fază gazoasă care se sprijină pe
operaţii de sublimare şi condensare a impurităţilor. Ca fenomenologie, pe măsură ce impurităţile
pătrund în adâncimea plachetei, alte impurităţi sunt aduse la suprafaţa plachetei, menţinând astfel
constantă concentraţia de impurităţi de la suprafaţa plachetei.
V.1.3. Difuzia dintr-o sursă limitată
Fie o peliculă de aluminiu de 1μm grosime la suprafaţa plachetei de siliciu. Pentru ca
vaporii de aluminiu să nu se evapore ci să intre în material se adaugă o peliculă de oxid de siliciu
(SiO2).
D t
Q0 – numărul de ioni pe unitatea de suprafaţă.
În cazul siliciului procesul de implantare se desfăşoară pe baza ionizării impurităţilor
provenite în general din cloruri sau bromuri. Acestea, prin încălzire, trec în stare de vapori şi
ionizează relativ uşor, ca orice alt gaz, în special în prezenţa unui câmp magnetic aplicat.
PCl3. Cu ajutorul bobinelor are loc separarea ionilor P şi Cl . Se vor extrage doar
31
încărcăturile pozitive (ionii de P) cu ajutorul diafragmei (4). Separatorul magnetic face ca
m v2
particula extrasă să se mişte pe o circumferinţă care are o forţă centripetă: e B v ,
r
m v
rezultând raza traiectoriei r ,unde r – raza de mişcare, m – masa, v – viteza, care este
e B
dată de potenţialul de accelerare, B – intensitatea câmpului magnetic, e – sarcina electronului
propriu-zis.
Placheta fiind legată la electrodul negativ permite preluarea sarcinii electrice a
impurităţilor, iar curentul electric care trece prin electrod depinde de fluxul de impurităţi ce
pătrund în plachetă.
Dacă e, B şi v sunt constante, rezultă că raza traiectoriei este proporţională cu masa, ca
urmare particulele cu rază mai mică vor avea şi masa mai mică şi cele cu rază mai mare vor fi
separate de diafragmă astfel încât separăm ionii după masă şi se elimină şi impurităţile.
Avantajul major al implantării ionice este că ionii cad pe verticală (perpendicular) şi
joncţiunea pn se realizează exact fără a se pătrunde sub oxid.
Figura V.18. Realizarea unui tranzistor bipolar pnp vertical prin implantare ionică
Capitolul VI.Procesul de litografie pentru producerea
dispozitivelor semiconductoare şi a circuitelor integrate
monolitice
2-
VII.4. Corodarea
Corodarea se poate realiza chimic (corodare umedă) sau pe cale electrochimică
(corodare uscată).
Corodarea SiO2 în acid fluorhidric (HF) este o corodare umedă.
SiO2 4 HF SiF4 2 H 2O
SiF4 poate duce la desprinderea foterezistului.
Mai des folosită este corodarea cu HF şi fluorură de amoniu (NH4F):
SiO2 HF NH 4 F SiF6 ...
Indiferent de agenţii de corodare utilizaţi şi de metoda de corodare folosită, pentru
operaţia propriu-zisă prezintă interes doi parametrii: anizotropia de corodare (A) şi selectivitatea
agentului de corodare. Selectivitatea agentului de corodare este dată de raportul dintre viteza de
corodare orizontală şi viteza de corodare verticală.
V
A 1 L
VV
Un proces de corodare este cu atât mai bun cu cât anizotropia se apropie de valoarea
unitară (VL=0) şi cu cât selectivitatea agentului de corodare este mai bună (viteza de corodare a
substanţei ce se doreşte a se înlătura este mult mai mare decât viteza de corodare a celorlalte
substanţe).
2º) Fotolitografie prin care se protejează selectiv regiunile active (regiuni în care se vor
forma tranzistoarele bipolare):
K f 1 l
Dacă l b K f atunci b rezultând lăţimea maximă a rezistorului
Kf b
Kf
K f l R
care satisface cerinţele de precizie. b b . Ştiind că
Kf rezultă
K f K f s
R s K f
R T unde αR=10-4[ºC]-1, ΔT- ales din proiectare şi rezistenţa se poate
R s Kf
schimba dacă T se schimbă, ΔR/R=0.2, ΔρS/ρS=0.05 0.1=eroarea relativă a rezistivităţii
specifice (depinde de concentraţia la suprafaţă, stabilitatea temperaturii, adâncimea joncţiunii)
K f R s
Astfel R T nu trebuie să rezulte valoare negativă.
Kf R s
Pentru determinarea lăţimii rezistorului care să satisfacă cerinţele de disipare a căldurii
se porneşte de la puterea disipată pe unitatea de suprafaţă care pentru siliciu este 0.5 3W/mm2
Pi P Pi Pi
P0 i rezultând bp
S l bp K f bp
2
P0 K f
După determinarea valorii bcalc se poate determina lăţimea rezistoarelor dreptunghiulare.
l bcal K f
Pentru un rezistor de tip meandru trebuie determinat şi numărul de segmente:
b a a 4 a b lmij
2
a a2 lmij
n1,2
2a 2 a b 2(a b) 4(a b) a b
2
lmij
a y y2
Notând: y rezultă n1,2 b , primii doi termeni au valoare
b 2( y 1) 4( y 1) y 1
lmij / b Kf
mică şi putem să-i neglijăm astfel încât n .
y 1 y 1
Kf
Adesea a=b atunci n segmente.
2
Exemplu de calcul pentru un rezistor meandru
Ri=28KΩ
Rt R0
R 10 4
R0 t
Pi=5 mW ΔT=(-20 40ºC)=60ºC
R
20%
R
Ri 28 K Kf
Kf 93 n 46 7 segmente
s 2
300
patrat
K f R s
R T 0.2 0.1 60 104 0.1
Kf R s
Δl K 0.1 1
bΔ Δb f 0.1 1 m
K
f ΔK f 0.3 0.1
Pi 5mW 5 103
bp 10 m
P0 K f 0.5
W
93 46.5
mm 2
lmij b K f 10 93 930 m
L n( a b) 2 a n 2 10 7 140 m
lmij n a 930 70 860
B 123 m
2 7 7
Tehnologia MOS uzuală a adus cu sine avantajul unui număr mult mai mic de operaţii
tehnologice, o arie ocupată de zeci de ori mai mică şi un cost redus. Dezavantajul major al
tehnologiei MOS faţă de tehnologia bipolară este dat de variaţia mare a parametrilor
dispozitivelor cu temperatura.
La început tranzistorul MOS era realizat prin oxidare, fotolitografie, corodare şi difuzie.
Electrodul de poartă al tranzistorului MOS era realizat din aluminiu, această metodă fiind
menţinută şi în prezent pentru realizarea dispozitivelor discrete.
Etapele de realizare a tranzistorului MOS sunt descrise mai jos:
1. Se consideră o plachetă de siliciu de tip p;
2. Se realizează o oxidare a întregii suprafeţe apoi fotolitografie şi difuzia de tip n+
pentru drenă şi sursă;
3. Se înlătură oxidul din regiunea grilei şi se formează prin oxidare termică uscată un
strat subţire de oxid ce va constitui oxidul izolator de sub poartă;
4. Urmează operaţii de corodare selectivă pentru contactele de sursă şi drenă apoi
depunere selectivă de aluminiu pentru realizarea metalizărilor pentru sursă, drenă şi
grilă.
X.1.2. Autoalinierea
Alinierea precisă a sursei şi drenei în raport cu electrodul de poartă se realizează
depunând întâi electrodul şi apoi realizându-se implantarea ionică pentru drena şi sursă. Ionii vor
pătrunde în plachetă doar prin oxidul subţire şi nu vor pătrunde în regiunea de canal datorită
electrodului.
Pentru a obţine un număr mic de defecte la nivelul interfeţei dintre electrodul de poartă
şi dielectric se poate utiliza polisiliciu care are dezavantajul unei rezistenţe crescute. De fapt în
cursul implantării ionice se realizează şi o scădere a rezistivităţii electrodului de poartă.
Figura X.7. Tranzistor MOS parazit ce apare între două tranzistoare MOS utile
Dacă distanţa dintre tranzistoare este mare atunci şi lungimea canalului MOS parazit
este mare şi în consecinţă curenţii de scurgere prin aceste tranzistoare parazite vor fi mici. În
condiţiile măririi densităţii de integrare distanţa dintre tranzistoare devine comparabilă cu a unui
tranzistor MOS util. Deci curentul care circulă prin tranzistorul parazit este mare, ceea ce
afectează funcţionarea în ansamblu a circuitului.
Astfel tehnicile de izolare trebuie sa asigure următoarele cerinţe:
- Să asigure curenţi de scurgere cât mai mici;
- Aria ocupată de regiunile de izolare să fie cât mai mică astfel încât să nu fie afectată
densitatea de integrare;
- Tehnicile de izolare să fie simple astfel încât costul procesului tehnologic să fie cât mai
mic.
Izolarea poate fi realizată prin patru metode:
- izolarea cu ajutorul oxidului gros şi dopării pe câmp (locul liber dintre tranzistoare);
- izolarea locală sau tehnica LOCOS (LOCal Oxidation Silicon);
- izolarea prin şanţuri corodate în Si;
- izolarea cu ajutorul epitaxiei selective.
Aceste metode se deosebesc prin complexitatea lor. Cea mai utilizată este tehnica LOCOS.
Cele două tranzistoare sunt cu atât mai mari cu cât distanţa de la contactele folosite
pentru polarizarea substrat/vană până la corpul tranzistoarelor sunt mai mari acest lucru poate
duce la apariţia fenomenului de latch-up